KR101131249B1 - Apparatus and method of dispensing liquid crystal - Google Patents

Apparatus and method of dispensing liquid crystal Download PDF

Info

Publication number
KR101131249B1
KR101131249B1 KR1020030085739A KR20030085739A KR101131249B1 KR 101131249 B1 KR101131249 B1 KR 101131249B1 KR 1020030085739 A KR1020030085739 A KR 1020030085739A KR 20030085739 A KR20030085739 A KR 20030085739A KR 101131249 B1 KR101131249 B1 KR 101131249B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
liquid crystal
dropping
nozzle
substrate
discharge pump
Prior art date
Application number
KR1020030085739A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20050052572A (en
Inventor
곽수민
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020030085739A priority Critical patent/KR101131249B1/en
Priority to CNB2004100738479A priority patent/CN100362399C/en
Priority to TW093132568A priority patent/TWI302613B/en
Priority to US10/988,834 priority patent/US7316248B2/en
Priority to DE102004055287A priority patent/DE102004055287B4/en
Priority to JP2004333093A priority patent/JP4119418B2/en
Publication of KR20050052572A publication Critical patent/KR20050052572A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101131249B1 publication Critical patent/KR101131249B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1341Filling or closing of cells
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/6715Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133354Arrangements for aligning or assembling substrates

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)

Abstract

본 발명의 액정적하장치는 액정이 충진된 용기와, 상기 용기에 충진된 액정을 흡입하여 토출하는 토출펌프와, 상기 토출펌프로부터 토출된 액정을 기판으로 적하하는 노즐과, 상기 노즐 근처에 설치되어 노즐 표면의 액정뭉침을 감지하는 감지수단으로 구성된다. 노즐표면에 액정이 뭉치는 경우 감지수단에 의해 이를 감지한 후 더미적하를 하거나 세정장치에 의해 노즐을 세정함으로써 노즐표면에 뭉친 액정을 제거할 수 있게 된다.The liquid crystal dropping apparatus of the present invention includes a container filled with a liquid crystal, a discharge pump for sucking and discharging the liquid crystal filled in the container, a nozzle for dropping the liquid crystal discharged from the discharge pump onto a substrate, and provided near the nozzle. It consists of a sensing means for detecting the liquid crystal agglomeration of the nozzle surface. When the liquid crystals are agglomerated on the nozzle surface, the liquid crystals agglomerated on the nozzle surface can be removed by detecting a drop by the sensing means and performing a dummy drop or cleaning the nozzle by a cleaning device.

액정적하, 토출펌프, 노즐, 액정뭉침, 센서, 너미적하, 세정장치Liquid crystal dropping, discharge pump, nozzle, liquid crystal agglomeration, sensor, dropping, cleaning device

Description

액정적하장치 및 적하방법{APPARATUS AND METHOD OF DISPENSING LIQUID CRYSTAL}Liquid crystal dropping device and dropping method {APPARATUS AND METHOD OF DISPENSING LIQUID CRYSTAL}

도 1은 일반적인 액정표시소자의 단면도.1 is a cross-sectional view of a general liquid crystal display device.

도 2는 액정표시소자를 제조하는 종래의 방법을 나타내는 흐름도.2 is a flowchart showing a conventional method for manufacturing a liquid crystal display device.

도 3은 종래 액정표시소자의 액정주입을 나타내는 도면.3 is a view showing liquid crystal injection of a conventional liquid crystal display device.

도 4는 본 발명에 따른 액정적하방식에 의해 제작된 액정표시소자를 나타내는 도면.4 is a view showing a liquid crystal display device manufactured by the liquid crystal dropping method according to the present invention.

도 5는 액정적하방식에 의해 액정표시소자를 제작하는 방법을 나타내는 흐름도.5 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device by the liquid crystal dropping method.

도 6은 액정적하방식의 기본적인 개념을 나타내는 도면.6 is a view showing a basic concept of the liquid crystal dropping method.

도 7은 본 발명에 따른 액정적하기의 구조를 나타내는 사시도.7 is a perspective view showing the structure of the liquid crystal droplets according to the present invention.

도 8은 본 발명에 따른 액정적하기의 구조를 나타내는 분해사시도.8 is an exploded perspective view showing the structure of the liquid crystal droplets according to the present invention.

도 9(a)는 본 발명에 따른 액정적하기의 액정토출펌프의 구조를 나타내는 사시도.Figure 9 (a) is a perspective view showing the structure of the liquid crystal discharge pump of the liquid crystal drop according to the present invention.

도 9(b)는 액정토출펌프의 구조를 나타내는 분해사시도.Figure 9 (b) is an exploded perspective view showing the structure of the liquid crystal discharge pump.

도 10은 액정토출펌프가 고정부에 고정된 상태를 나타내는 도면.10 is a view showing a state in which the liquid crystal discharge pump is fixed to the fixed portion.

도 11(a)~도 11(d)는 액정토출펌프의 동작을 나타내는 도면. 11 (a) to 11 (d) are views showing the operation of the liquid crystal discharge pump.                 

도 12는 고정각도가 증가한 액정토출펌프의 구조를 나타내는 도면.12 is a view showing a structure of a liquid crystal discharge pump having a fixed angle increased.

도 13은 노즐표면에 액정이 뭉침 현상을 나타내는 도면.FIG. 13 is a graph showing liquid crystal aggregation on the nozzle surface; FIG.

도 14는 본 발명에 따른 액정적하장치의 제어시스템을 나타내는 도면.14 is a view showing a control system of the liquid crystal dropping apparatus according to the present invention.

도 15는 본 발명에 따른 세정장치를 나타내는 도면.15 shows a cleaning apparatus according to the present invention.

도 16은 본 발명에 따른 액정적하방법을 나타내는 흐름도.16 is a flowchart showing a liquid crystal dropping method according to the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

120 : 액정적하기 122 : 액정용기120: liquid crystal drop 122: liquid crystal container

123 : 케이스 128 : 핀123: Case 128: Pin

131,133 : 모터 134 : 액정용적량 조절부재131,133: motor 134: liquid crystal volume adjusting member

136 : 회전축 137 : 조절레버136: rotation axis 137: control lever

140 : 액정토출펌프 142 : 실린더140: liquid crystal discharge pump 142: cylinder

145 : 피스톤 145a : 홈145: piston 145a: groove

147 : 액정흡입구 148 : 액정토출구147: liquid crystal suction opening 148: liquid crystal discharge opening

149 : 고정부 150 : 노즐149: fixing part 150: nozzle

154, 162 : 센서 200 : 제어부154, 162: sensor 200: control unit

205 : 모터구동부 206 : 기판구동부205: motor driver 206: substrate driver

209 : 더미적하 실행부 210 : 세정장치 구동부209: dummy loading execution unit 210: cleaning device drive unit

220 : 세정장치220: cleaning device

본 발명은 액정적하장치에 관한 것으로, 특히 노즐의 양측면에 센서를 구비하여 액정이 노즐에 뭉치는 경우 이를 감지하여 효율적으로 제거함으로써 정밀한 액정의 적하가 가능한 액정적하장치 및 적하방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal dropping device, and more particularly, to a liquid crystal dropping device and a dropping method capable of accurately dropping a liquid crystal by detecting and efficiently removing a liquid crystal when the liquid crystals are agglomerated in the nozzle by having sensors on both sides of the nozzle.

근래, 핸드폰(Mobile Phone), PDA, 노트북컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 경박단소용의 평판표시장치(Flat Panel Display Device)에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등이 활발히 연구되고 있지만, 양산화 기술, 구동수단의 용이성, 고화질의 구현이라는 이유로 인해 현재에는 액정표시소자(LCD)가 각광을 받고 있다.Recently, with the development of various portable electronic devices such as mobile phones, PDAs, and notebook computers, there is a growing demand for flat panel display devices for light and thin applications. Such flat panel displays are being actively researched, such as LCD (Liquid Crystal Display), PDP (Plasma Display Panel), FED (Field Emission Display), VFD (Vacuum Fluorescent Display), but mass production technology, ease of driving means, Liquid crystal display devices (LCDs) are in the spotlight for reasons of implementation.

LCD는 액정의 굴절률 이방성을 이용하여 화면에 정보를 표시하는 장치이다. 도 1에 도시된 바와 같이, LCD(1)는 하부기판(5)과 상부기판(3) 및 상기 하부기판(5)과 상부기판(3) 사이에 형성된 액정층(7)으로 구성되어 있다. 하부기판(5)은 구동소자 어레이(Array)기판이다. 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 하부기판(5)에는 복수의 화소가 형성되어 있으며, 각각의 화소에는 박막트랜지스터(Thin Film Transistor;이하, TFT라 한다)와 같은 구동소자가 형성되어 있다. 상부기판(3)은 컬러필터(Color Filter)기판으로서, 실제 컬러를 구현하기 위한 컬러필터층이 형성되어 있다. 또한, 상기 하부기판(5) 및 상부기판(3)에는 각각 화소전극 및 공통전극이 형성되어 있으며 액정층(7)의 액정분자를 배향하기 위한 배향 막이 도포되어 있다.LCD is a device for displaying information on the screen using the refractive anisotropy of the liquid crystal. As shown in FIG. 1, the LCD 1 is composed of a lower substrate 5 and an upper substrate 3 and a liquid crystal layer 7 formed between the lower substrate 5 and the upper substrate 3. The lower substrate 5 is a drive element array substrate. Although not shown in the figure, a plurality of pixels are formed on the lower substrate 5, and a driving element such as a thin film transistor (hereinafter referred to as TFT) is formed in each pixel. The upper substrate 3 is a color filter substrate, and a color filter layer for real color is formed. In addition, a pixel electrode and a common electrode are formed on the lower substrate 5 and the upper substrate 3, respectively, and an alignment film for aligning liquid crystal molecules of the liquid crystal layer 7 is coated.

상기 하부기판(5) 및 상부기판(3)은 실링재(Sealing Material)(9)에 의해 합착되어 있으며, 그 사이에 액정층(7)이 형성되어 상기 하부기판(5)에 형성된 구동소자에 의해 액정분자를 구동하여 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 정보를 표시하게 된다.The lower substrate 5 and the upper substrate 3 are bonded by a sealing material 9, and a liquid crystal layer 7 is formed therebetween by a driving element formed on the lower substrate 5. Information is displayed by controlling the amount of light passing through the liquid crystal layer by driving the liquid crystal molecules.

액정표시소자의 제조공정은 크게 하부기판(5)에 구동소자를 형성하는 구동소자 어레이기판공정과 상부기판(3)에 컬러필터를 형성하는 컬러필터기판공정 및 셀(Cell)공정으로 구분될 수 있는데, 이러한 액정표시소자의 공정을 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다.The manufacturing process of the liquid crystal display device can be largely divided into a driving element array substrate process of forming a driving element on the lower substrate 5, a color filter substrate process of forming a color filter on the upper substrate 3, and a cell process. However, the process of the liquid crystal display will be described with reference to FIG. 2.

우선, 구동소자 어레이공정에 의해 하부기판(5)상에 배열되어 화소영역을 정의하는 복수의 게이트라인(Gate Line) 및 데이터라인(Date Line)을 형성하고 상기 화소영역의 각각에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 구동소자인 박막트랜지스터를 형성한다(S101). 또한, 상기 구동소자 어레이공정을 통해 상기 박막트랜지스터에 접속되어 박막트랜지스터를 통해 신호가 인가됨에 따라 액정층을 구동하는 화소전극을 형성한다.First, a plurality of gate lines and data lines arranged on the lower substrate 5 to define a pixel region are formed by a driving element array process, and the gate line and the gate line are formed in each of the pixel regions. A thin film transistor which is a driving element connected to the data line is formed (S101). In addition, the pixel electrode is connected to the thin film transistor through the driving element array process to drive the liquid crystal layer as a signal is applied through the thin film transistor.

또한, 상부기판(3)에는 컬러필터공정에 의해 컬러를 구현하는 R,G,B의 컬러필터층과 공통전극을 형성한다(S104).In addition, the upper substrate 3 is formed with a color filter layer and a common electrode of R, G, B to implement the color by the color filter process (S104).

이어서, 상기 상부기판(3) 및 하부기판(5)에 각각 배향막을 도포한 후 상부기판(3)과 하부기판(5) 사이에 형성되는 액정층의 액정분자에 배향규제력 또는 표면고정력(즉, 프리틸트각(Pretilt Angel)과 배향방향)을 제공하기 위해 상기 배향 막을 러빙(Rubbing)한다(S102,S105). 그 후, 하부기판(5)에 셀갭(Cell Gap)을 일정하게 유지하기 위한 스페이서(Spacer)를 산포하고 상부기판(3)의 외곽부에 실링재(9)를 도포한 후 상기 하부기판(5)과 상부기판(3)에 압력을 가하여 합착한다(S103,S106,S107).Subsequently, an alignment layer is applied to the upper substrate 3 and the lower substrate 5, respectively, and then the alignment control force or surface fixing force (ie, the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer formed between the upper substrate 3 and the lower substrate 5). The orientation film is rubbed to provide a pretilt angle and orientation direction (S102 and S105). Subsequently, a spacer is disposed on the lower substrate 5 to maintain a constant cell gap, and a sealing material 9 is applied to an outer portion of the upper substrate 3, and then the lower substrate 5 is disposed. And the upper substrate 3 by applying pressure (S103, S106, S107).

한편, 상기 하부기판(5)과 상부기판(3)은 대면적의 유리기판으로 이루어져 있다. 다시 말해서, 대면적의 유리기판에 복수의 패널(Panel)영역이 형성되고, 상기 패널영역 각각에 구동소자인 TFT 및 컬러필터층이 형성되기 때문에 낱개의 액정패널을 제작하기 위해서는 상기 유리기판을 절단, 가공해야만 한다(S108). 이후, 상기와 같이 가공된 개개의 액정패널에 액정주입구를 통해 액정을 주입하고 상기 액정주입구를 봉지하여 액정층을 형성한 후 각 액정패널을 검사함으로써 액정표시소자를 제작하게 된다(S109,S110).On the other hand, the lower substrate 5 and the upper substrate 3 is made of a large area glass substrate. In other words, a plurality of panel regions are formed on a large area glass substrate, and a TFT and a color filter layer, which are driving elements, are formed in each of the panel regions. Must be processed (S108). Thereafter, the liquid crystal is injected into the liquid crystal panel processed as described above through the liquid crystal inlet, and the liquid crystal inlet is encapsulated to form a liquid crystal layer. Then, the liquid crystal display is manufactured by inspecting each liquid crystal panel (S109 and S110). .

액정은 패널에 형성된 액정주입구를 통해 주입된다. 이때, 액정의 주입은 압력차에 의해 이루어진다. 도 3에 액정패널에 액정을 주입하는 장치가 도시되어 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 진공챔버(Vacuum Chamber;10)내에는 액정이 충진된 용기(12)가 구비되어 있으며, 그 상부에 액정패널(1)이 위치하고 있다. 상기 진공챔버(10)는 진공펌프와 연결되어 설정된 진공상태를 유지하고 있다. 또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 진공챔버(10) 내에는 액정패널 이동용 장치가 설치되어 상기 액정패널(1)을 용기(12) 상부로부터 용기까지 이동시켜 액정패널(1)에 형성된 주입구(16)를 액정(14)에 접촉시킨다(이러한 방식을 액정딥핑(Dipping) 주입방식이라 한다). The liquid crystal is injected through the liquid crystal inlet formed in the panel. At this time, the injection of the liquid crystal is made by the pressure difference. 3 shows an apparatus for injecting liquid crystal into the liquid crystal panel. As shown in FIG. 3, a container 12 filled with liquid crystal is provided in a vacuum chamber 10, and a liquid crystal panel 1 is positioned on an upper portion thereof. The vacuum chamber 10 is connected to a vacuum pump to maintain a set vacuum state. In addition, although not shown in the drawing, an apparatus for moving the liquid crystal panel is installed in the vacuum chamber 10 to move the liquid crystal panel 1 from the upper part of the container 12 to the container, and thus the injection hole 16 formed in the liquid crystal panel 1. ) Is brought into contact with the liquid crystal 14 (this method is referred to as a liquid crystal dipping injection method).                         

상기와 같이 액정패널(1)의 주입구(16)를 액정(14)에 접촉시킨 상태에서 진공챔버(10)내에 질소(N2)가스를 공급하여 챔버(10)의 진공정도를 저하시키면, 상기 액정패널(1) 내부의 압력과 진공챔버(10)의 압력차에 의해 액정(14)이 상기 주입구(16)를 통해 패널(1)로 주입되며 액정이 패널(1)내에 완전히 충진된 후에 상기 주입구(16)를 봉지재에 의해 봉지함으로써 액정층이 형성된다(이러한 방식을 액정의 진공주입방식이라 한다).As described above, when nitrogen (N 2 ) gas is supplied into the vacuum chamber 10 while the injection port 16 of the liquid crystal panel 1 is in contact with the liquid crystal 14, the vacuum degree of the chamber 10 is reduced. The liquid crystal 14 is injected into the panel 1 through the injection hole 16 by the pressure difference between the pressure inside the liquid crystal panel 1 and the vacuum chamber 10 and the liquid crystal is completely filled in the panel 1. The liquid crystal layer is formed by sealing the injection hole 16 with a sealing material (this method is called vacuum injection of liquid crystal).

그런데, 상기와 같이 진공챔버(10)내에서 액정패널(1)의 주입구(16)를 통해 액정을 주입하여 액정층을 형성하는 방법에는 다음과 같은 문제가 있었다.However, the method of forming the liquid crystal layer by injecting liquid crystal through the injection hole 16 of the liquid crystal panel 1 in the vacuum chamber 10 as described above has the following problems.

첫째, 패널(1)로의 액정주입시간이 길어진다는 것이다. 일반적으로 액정패널의 구동소자 어레이기판과 컬러필터기판 사이의 간격은 수㎛ 정도로 매우 좁기 때문에, 단위 시간당 매우 작은 양의 액정만이 액정패널 내부로 주입된다. 예를 들어, 약 15인치의 액정패널을 제작하는 경우 액정을 완전히 주입하는데 에는 대략 8시간이 소요되는데, 이러한 장시간의 액정주입에 의해 액정패널 제조공정이 길어지게 되어 제조효율이 저하된다.First, the liquid crystal injection time to the panel 1 is long. In general, the distance between the driving element array substrate and the color filter substrate of the liquid crystal panel is very narrow, such as several μm, so that only a very small amount of liquid crystal is injected into the liquid crystal panel per unit time. For example, when manufacturing a liquid crystal panel of about 15 inches takes about 8 hours to completely inject the liquid crystal, the liquid crystal panel manufacturing process is lengthened by the long-term liquid crystal injection, the manufacturing efficiency is lowered.

둘째, 상기와 같은 액정주입방식에서는 액정소모율이 높게 된다. 용기(12)에 충진되어 있는 액정(14)중에서 실제 액정패널(1)에 주입되는 양은 매우 작은 양이다. 한편, 액정은 대기나 특정 가스에 노출되면 가스와 반응하여 열화될 뿐만 아니라 액정패널(1)과의 접촉시 유입되는 불순물에 의해 열화된다. 따라서, 용기(12)에 충진된 액정(14)이 복수매의 액정패널(1)에 주입되는 경우에도 주입후 남게 되는 액정(14)을 폐기해야만 하는데, 고가의 액정을 폐기하는 것은 결국 액정패널 제조비용의 증가를 초래하게 된다.Second, the liquid crystal consumption rate is high in the liquid crystal injection method as described above. Of the liquid crystals 14 filled in the container 12, the amount injected into the liquid crystal panel 1 is a very small amount. Meanwhile, when the liquid crystal is exposed to the atmosphere or a specific gas, the liquid crystal not only deteriorates by reacting with the gas, but also deteriorates due to impurities introduced upon contact with the liquid crystal panel 1. Therefore, even when the liquid crystal 14 filled in the container 12 is injected into the plurality of liquid crystal panels 1, the liquid crystal 14 remaining after the injection must be discarded. This leads to an increase in manufacturing cost.

본 발명은 상기한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 액정토출펌프에 의해 액정을 적하함으로써 항상 기판상에 정확한 양의 액정을 적하할 수 있는 액정적하장치 및 적하방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above, and an object thereof is to provide a liquid crystal dropping apparatus and a dropping method capable of always dropping an accurate amount of liquid crystal onto a substrate by dropping the liquid crystal by a liquid crystal discharge pump.

본 발명의 다른 목적은 노즐 주위에 액정의 뭉침을 감지하는 센서를 설치하여 노즐표면의 액정 뭉침에 의한 액정적하의 불량을 방지할 수 있는 액정적하장치 및 적하방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a liquid crystal dropping device and a dropping method for installing a sensor that senses agglomeration of liquid crystals around a nozzle to prevent a liquid crystal dropping failure due to the liquid crystal agglomeration of the nozzle surface.

본 발명의 또 다른 목적은 노즐표면에 뭉치는 액정을 제거하는 수단을 구비함으로써 액정적하의 불량을 방지할 수 있는 액정적하장치 및 적하방법을 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a liquid crystal dropping device and a dropping method capable of preventing a liquid crystal dropping failure by providing a means for removing liquid crystals agglomerated on the nozzle surface.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 액정적하장치는 액정이 충진된 용기와, 상기 용기에 충진된 액정을 흡입하여 토출하는 토출펌프와, 상기 토출펌프로부터 토출된 액정을 기판으로 적하하는 노즐과, 상기 노즐 근처에 설치되어 노즐 표면의 액정뭉침을 감지하는 감지수단으로 구성된다. In order to achieve the above object, the liquid crystal dropping apparatus according to the present invention is to drop the container filled with the liquid crystal, the discharge pump for sucking and discharging the liquid crystal filled in the container, and the liquid crystal discharged from the discharge pump to the substrate And a sensing means installed near the nozzle to sense liquid crystal agglomeration on the nozzle surface.

상기 토출펌프는 실린더와, 상기 실린더 내에 삽입되고 하부의 일정 영역에 홈이 형성되어 회전 및 상하운동함에 따라 액정을 흡입하고 토출하는 피스톤과, 상기 피스톤이 운동함에 따라 액정이 흡입되고 토출되는 흡입구 및 토출구로 이루어진다. The discharge pump includes a cylinder, a piston which is inserted into the cylinder and has a groove formed in a predetermined lower portion thereof to suck and discharge the liquid crystal as it rotates and moves up and down, and a suction port through which the liquid crystal is sucked and discharged as the piston moves. It consists of a discharge port.                         

또한, 상기 액정적하장치는 모터를 구동하여 토출펌프를 작동시키는 모터구동부와, 기판을 구동하여 액정의 적하위치를 노즐과 정렬시키는 기판구동부와, 노즐 표면에 액정이 뭉치는 경우 더미영역에 액정을 적하시키는 더미실행부와, 상기 감지수단에 의해 액정뭉침이 감지되면 액정의 적하를 중지한 후 더미실행부를 작동시켜 뭉친 액정을 제거하는 제어부를 추가로 포함하며, 노즐표면에 뭉친 액정을 제거하는 세정수단을 추가로 포함할 수도 있다.In addition, the liquid crystal dropping device includes a motor driving part for driving a motor to operate a discharge pump, a substrate driving part for driving a substrate to align the dropping position of the liquid crystal with the nozzle, and a liquid crystal in the dummy area when the liquid crystal is agglomerated on the nozzle surface. And a dummy execution unit to drop the liquid crystal, and a control unit to stop the dropping of the liquid crystal when the liquid crystal aggregation is detected by the sensing means, and then to operate the dummy execution unit to remove the liquid crystals, and to remove the liquid crystal aggregated on the nozzle surface. It may further comprise means.

또한, 본발명에 따른 액정적하방법은 기판에 형성된 액정패널로의 액정 적하시 액정적하기의 노즐 표면에 액정이 뭉치는 것을 감지하는 단계와, 액정의 뭉침이 감지되는 경우 액정적하를 중지하는 단계와, 더미적하하여 노즐 표면에 뭉친 액정을 제거하는 단계와, 액정 적하를 진행하는 단계로 구성된다.In addition, the liquid crystal dropping method according to the present invention comprises the steps of detecting the liquid crystal agglomeration on the nozzle surface of the liquid crystal dropping liquid crystal dropping the liquid crystal panel to the liquid crystal panel formed on the substrate, and stopping the liquid crystal dropping when the liquid crystal agglomeration is detected And dropping the liquid crystal accumulated on the nozzle surface by dummy dropping, and advancing the liquid crystal dropping.

액정딥핑방식 또는 액정진공 주입방식과 같은 종래의 액정주입방식의 단점들을 극복하기 위해, 근래 제안되고 있는 방법이 액정적하방식(Liquid Crystal Dropping Method)에 의한 액정층 형성방법이다. 상기 액정적하방식은 패널 내부와 외부의 압력차에 의해 액정을 주입하는 것이 아니라 액정을 직접 기판에 적하(Dropping) 및 분배(Dispensing)하고 패널의 합착 압력에 의해 적하된 액정을 패널 전체에 걸쳐 균일하게 분포시킴으로써 액정층을 형성하는 것이다. 이러한 액정적하방식은 짧은 시간 동안에 직접 기판상에 액정을 적하하기 때문에 대면적의 액정표시소자의 액정층 형성도 매우 신속하게 진행할 수 있게 될 뿐만 아니라 필요한 양의 액정만을 직접 기판상에 적하하기 때문에 액정의 소모를 최소화할 수 있게 되므로 액정표시소자의 제조비용을 대폭 절감할 수 있다는 장점을 가진다.In order to overcome the shortcomings of the conventional liquid crystal injection method such as the liquid crystal dipping method or the liquid crystal vacuum injection method, a method proposed in recent years is a liquid crystal layer forming method by the liquid crystal dropping method. The liquid crystal dropping method does not inject the liquid crystal by the pressure difference between the inside and the outside of the panel, but directly drops and dispenses the liquid crystal onto the substrate, and uniformly spreads the liquid crystal dropped by the bonding pressure of the panel. The liquid crystal layer is formed by distribution. Since the liquid crystal dropping method directly drops the liquid crystal onto the substrate for a short time, the liquid crystal layer formation of the large area liquid crystal display device can be performed very quickly, and only the required amount of liquid crystal is directly dropped onto the substrate. Since it is possible to minimize the consumption of the liquid crystal display device has the advantage that can significantly reduce the manufacturing cost.

도 4는 액정적하방식의 기본적인 개념을 나타내는 도면이다. 도면에 도시된 바와 같이, 상기 액정적하방식에서는 구동소자와 컬러필터가 각각 형성된 하부기판(105)과 상부기판(103)을 합착하기 전에 하부기판(105)상에 방울형상으로 액정(107)을 적하한다. 상기 액정(107)은 컬러필터가 형성된 기판(103)상에 적하될 수도 있다. 다시 말해서, 액정적하방식에서 액정적하의 대상이 되는 기판은 TFT기판과 CF기판 어느 기판도 가능하다. 그러나, 기판의 합착시 액정이 적하된 기판은 하부에 놓여져야만 한다.4 is a view showing a basic concept of the liquid crystal dropping method. As shown in the figure, in the liquid crystal dropping method, before the lower substrate 105 and the upper substrate 103 on which the driving element and the color filter are formed, respectively, the liquid crystal 107 is droplet-shaped on the lower substrate 105. Dropping The liquid crystal 107 may be dropped on the substrate 103 on which the color filter is formed. In other words, the substrate to be the liquid crystal dropping method in the liquid crystal dropping method may be either a TFT substrate or a CF substrate. However, when the substrates are bonded, the substrate on which the liquid crystal is dropped must be placed at the bottom.

이때, 상부기판(103)의 외곽영역에는 실링재(109)가 도포되어 상기 상부기판(103)과 하부기판(105)에 압력을 가함에 따라 상기 상부기판(103) 및 하부기판(105)이 합착되며, 이와 동시에 상기 압력에 의해 액정(107) 방울이 외부로 퍼져 상기 상부기판(103)과 하부기판(105) 사이에 균일한 두께의 액정층이 형성된다. 다시 말해서, 상기 액정적하방식의 가장 큰 특징은 패널(101)을 합착하기 전에 하부기판상에 미리 액정(107)을 적하한 후 실링재(109)에 의해 패널을 합착하는 것이다.In this case, a sealing material 109 is applied to the outer region of the upper substrate 103 to apply pressure to the upper substrate 103 and the lower substrate 105 so that the upper substrate 103 and the lower substrate 105 are bonded together. At the same time, droplets of the liquid crystal 107 are spread out by the pressure to form a liquid crystal layer having a uniform thickness between the upper substrate 103 and the lower substrate 105. In other words, the biggest feature of the liquid crystal dropping method is that the liquid crystal 107 is previously dropped on the lower substrate before the panel 101 is bonded, and then the panel is bonded by the sealing material 109.

상기와 같은 액정적하방식이 적용된 액정표시소자 제조방법이 도 5에 도시되어 있다. 도면에 도시된 바와 같이, TFT어레이공정과 컬러필터공정을 통해 하부기판(150) 및 상부기판(103)에 각각 구동소자인 TFT와 컬러필터층을 형성한다(S201,S202). 상기 TFT어레이공정과 컬러필터공정은 도 2에 도시된 종래의 제조방법과 동일한 공정으로서 복수의 패널영역이 형성되는 대면적의 유리기판에 일괄적으로 진행된다. 특히, 상기 제조방법에서는 액정적하방식이 적용되기 때문에, 종래의 제조방법에 비해 더 넓은 유리기판, 예를 들면 1000×200mm2 이상의 면적을 갖는 대면적 유리기판에 유용하게 사용될 수 있다.The liquid crystal display device manufacturing method to which the above liquid crystal dropping method is applied is shown in FIG. 5. As shown in the figure, TFT and color filter layers, which are driving elements, are formed on the lower substrate 150 and the upper substrate 103 through the TFT array process and the color filter process (S201 and S202). The TFT array process and the color filter process are the same as those of the conventional manufacturing method shown in FIG. In particular, since the liquid crystal dropping method is applied in the manufacturing method, it can be usefully used in a larger glass substrate, for example, a large area glass substrate having an area of 1000 × 200 mm 2 or more compared with the conventional manufacturing method.

이어서, 상기 TFT가 형성된 하부기판(105)과 컬러필터층이 형성된 상부기판(103)에 각각 배향막을 도포한 후 러빙을 실행한 후(S202,S205), 하부기판(105)의 액정패널 영역에는 액정(107)을 적하하고 상부기판의 액정패널 외곽부 영역에는 실링재(109)를 도포한다(S203,S206).Subsequently, after the alignment film is applied to the lower substrate 105 on which the TFT is formed and the upper substrate 103 on which the color filter layer is formed, rubbing is performed (S202 and S205), the liquid crystal panel region of the lower substrate 105 is formed. 107 is dropped and a sealing material 109 is applied to the liquid crystal panel outer region of the upper substrate (S203, S206).

그 후, 상기 상부기판(103)과 하부기판(105)을 정렬한 상태에서 압력을 가하여 실링재(109)에 의해 상기 상부기판(105)과 하부기판(103)을 합착함과 동시에 압력의 인가에 의해 적하된 액정(107)을 패널 전체에 걸쳐 균일하게 퍼지게 한다(S207). 이와 같은 공정에 의해 대면적의 유리기판(하부기판 및 상부기판)에는 액정층이 형성된 복수의 액정패널이 형성되며, 이 유리기판을 가공, 절단하여 복수의 액정패널로 분리하고 각각의 액정패널을 검사함으로써 액정표시소자를 제작하게 된다(S208,S209).Thereafter, pressure is applied while the upper substrate 103 and the lower substrate 105 are aligned, and the upper substrate 105 and the lower substrate 103 are bonded together by a sealing material 109 and at the same time the application of pressure is applied. The liquid crystal 107 dropped by this is spread evenly over the whole panel (S207). Through this process, a plurality of liquid crystal panels having a liquid crystal layer are formed on glass substrates (lower substrates and upper substrates) having a large area. The glass substrates are processed and cut and separated into a plurality of liquid crystal panels. By inspecting, a liquid crystal display device is produced (S208, S209).

도 5에 도시된 액정적하방식이 적용된 액정표시소자의 제조방법과 도 2에 도시된 종래의 액정주입방식이 적용된 액정표시소자 제조방법의 차이점을 비교하면, 액정의 진공주입과 액정적하의 차이 및 대면적 유리기판의 가공시기의 차이 이외에도 다른 차이점을 있음을 알 수 있다. 즉, 도 2에 도시된 액정주입방식이 적용된 액정표시소자 제조방법에서는 주입구를 통해 액정을 주입한 후에 상기 주입구를 봉 지재에 의해 봉지해야만 하지만 액정적하방식이 적용된 제조방법에서는 액정이 직접 기판에 적하되기 때문에 이러한 주입구의 봉지공정이 필요없게 된다. 또한, 도 2에는 도시하지 않았지만, 액정주입방식이 적용된 제조방법에서는 액정주입시 기판이 액정에 접촉하기 때문에 패널의 외부면이 액정에 의해 오염되므로 오염된 기판을 세정하기 위한 공정이 필요하게 되지만, 액정적하방식이 적용된 제조방법에서는 액정이 직접 기판에 적하되기 때문에 패널이 액정에 의해 오염되지 않으며, 그 결과 세정공정이 필요없게 된다. 이와 같이, 액정적하방식에 의한 액정표시소자의 제조방법은 액정주입방식에 의한 제조방법에 의해 간단한 공정으로 이루어져 있기 때문에 제조효율이 향상될 뿐만 아니라 수율을 향상시킬 수 있게 된다.Comparing the difference between the method of manufacturing the liquid crystal display device to which the liquid crystal drop method shown in FIG. 5 is applied and the method of manufacturing the liquid crystal display device to which the conventional liquid crystal injection method shown in FIG. 2 is applied, the difference between the vacuum injection and the liquid crystal drop of the liquid crystal and In addition to the difference in the processing time of the large-area glass substrate it can be seen that there are other differences. That is, in the manufacturing method of the liquid crystal display device to which the liquid crystal injection method shown in FIG. 2 is applied, the injection hole must be sealed with an encapsulant after the liquid crystal is injected through the injection hole, but in the manufacturing method to which the liquid crystal drop method is applied, the liquid crystal is directly dropped on the substrate. This eliminates the need for sealing of these inlets. In addition, although not shown in FIG. 2, in the manufacturing method to which the liquid crystal injection method is applied, since the substrate contacts the liquid crystal when the liquid crystal is injected, the outer surface of the panel is contaminated by the liquid crystal, thus requiring a process for cleaning the contaminated substrate. In the manufacturing method in which the liquid crystal dropping method is applied, since the liquid crystal is directly dropped on the substrate, the panel is not contaminated by the liquid crystal, and as a result, the cleaning process is unnecessary. As described above, the manufacturing method of the liquid crystal display device by the liquid crystal dropping method is made of a simple process by the manufacturing method by the liquid crystal injection method, so that not only the manufacturing efficiency can be improved but also the yield can be improved.

상기와 같이 액정적하방식이 도입된 액정표시소자의 제조방법에서 액정층을 원하는 두께로 정확하게 형성하기 위한 가장 중요한 요인은 적하되는 액정의 위치 및 액정의 적하량이다. 특히, 액정층의 두께는 액정패널의 셀갭과 밀접한 관계를 가지기 때문에, 정확한 액정의 적하위치 및 적하량은 액정패널의 불량을 방지하기 위한 매우 중요한 요소이다. 따라서, 정확한 위치에 정확한 양의 액정을 적하하는 장치가 필요하게 되는데, 본 발명에서는 이러한 액정적하기를 제공한다.In the manufacturing method of the liquid crystal display device in which the liquid crystal dropping method is introduced as described above, the most important factors for accurately forming the liquid crystal layer to a desired thickness are the position of the liquid crystal to be dropped and the amount of liquid crystal dropping. In particular, since the thickness of the liquid crystal layer has a close relationship with the cell gap of the liquid crystal panel, the accurate dropping position and the dropping amount of the liquid crystal are very important factors for preventing defects of the liquid crystal panel. Therefore, there is a need for an apparatus for dropping the correct amount of liquid crystal at the correct position, and the present invention provides such liquid crystal droplets.

도 6은 본 발명에 따른 액정적하기를 이용하여 기판(대면적의 유리기판;105)상에 액정(107)을 적하하는 기본적인 개념을 나타내는 도면이다. 도면에 도시된 바와 같이, 액정적하기(120)는 기판(105)의 상부에 설치되어 있다. 도면에는 도시하지 않았지만 상기 액정적하기(120)의 내부에는 액정이 충진되어 기판상에 일정량을 충진한다. 6 is a view showing a basic concept of dropping the liquid crystal 107 on the substrate (large area glass substrate) 105 using the liquid crystal drop according to the present invention. As shown in the figure, the liquid crystal droplets 120 are provided on the substrate 105. Although not shown in the figure, the liquid crystal is filled in the liquid crystal dropper 120 to fill a predetermined amount on the substrate.                     

통상적으로 액정은 방울형태로 기판상에 적하된다. 기판(105)은 x,y방향으로 설정된 속도로 이동하고 액정적하기는 설정된 시간 간격으로 액정을 배출하기 때문에, 기판(105)상에 적하되는 액정(107)은 x,y방향으로 일정한 간격으로 배치된다. 물론 액정적하시 기판(105)이 고정되어 있고 액정적하기(120)가 x,y방향으로 이동하여 액정을 일정간격으로 적하할 수도 있다. 그러나, 이 경우 액정적하기(120)의 움직임에 의해 방울형상의 액정이 흔들리기 때문에 액정의 적하위치 및 적하량에 오차가 발생할 수 있으므로 액정적하기(120)를 고정시키고 기판(105)을 이동하는 것이 바람직하다.Typically, the liquid crystal is dropped onto the substrate in the form of droplets. Since the substrate 105 moves at a set speed in the x and y directions, and liquid crystals discharge liquid crystals at set time intervals, the liquid crystals 107 dropped on the substrate 105 are spaced at regular intervals in the x and y directions. Is placed. Of course, the liquid crystal dropping substrate 105 may be fixed and the liquid crystal dropping 120 may move in the x and y directions to drop the liquid crystal at a predetermined interval. However, in this case, since the droplet-shaped liquid crystals are shaken by the movement of the liquid crystal dropping 120, an error may occur in the dropping position and the dropping amount of the liquid crystal. Therefore, the liquid crystal dropping 120 is fixed and the substrate 105 is moved. It is desirable to.

도 7은 본 발명에 따른 액정적하기(120)의 구조를 나타내는 사시도이고 도 8은 액정적하기(120)의 사시분해도이다. 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 액정적하기(120)에서는 원통형의 액정용기(122)가 케이스(123)에 수납되어 있다. 상기 액정용기(122)는 폴리에틸렌(Polyethylene)으로 이루어져 있으며 그 내부에 액정(107)이 충진되어 있으며, 케이스(123)는 스테인리스강(Stainless Steel)으로 형성되어 그 내부에 상기 액정용기(122)가 수납된다. 통상적으로 폴리에틸렌은 성형성이 훌륭하기 때문에 원하는 형상의 용기를 용이하게 형성할 수 있을 뿐만 아니라 액정(107)이 충진되었을 때 액정과 반응하지 않기 때문에 액정용기(122)로서 주로 사용된다. 그러나, 상기 폴리에틸렌은 강도가 약하기 때문에 외부의 약한 충격에 의해서도 변형되기 쉽게 되는데, 특히 액정용기(122)로 폴리에틸렌을 사용하는 경우 용기(122)가 변형되어 정확한 위치에 액정(107)을 적하시킬 수 없기 때문에 강도가 큰 스테인리스강으로 이루어진 케이스(123)에 수납하여 사용하는 것이다. FIG. 7 is a perspective view showing the structure of the liquid crystal dropper 120 according to the present invention, and FIG. 8 is a perspective exploded view of the liquid crystal dropper 120. As illustrated in FIGS. 7 and 8, in the liquid crystal dropper 120, a cylindrical liquid crystal container 122 is accommodated in the case 123. The liquid crystal container 122 is made of polyethylene, and the liquid crystal 107 is filled therein, and the case 123 is made of stainless steel so that the liquid crystal container 122 is formed therein. It is stored. In general, polyethylene is mainly used as the liquid crystal container 122 because it is easy to form a container having a desired shape because of its excellent moldability and does not react with the liquid crystal when the liquid crystal 107 is filled. However, since the polyethylene is weak in strength, the polyethylene is easily deformed by a weak external shock. In particular, when polyethylene is used as the liquid crystal container 122, the container 122 may be deformed to drop the liquid crystal 107 in the correct position. Since it is not present, it is stored in a case 123 made of stainless steel with high strength, and used.                     

한편, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 액정용기(122)의 상부에는 가스공급관이 연결되어 외부로부터 질소와 같은 가스가 공급된다. 이러한 가스 공급에 의해 액정의 적하시 액정용기(122)의 액정이 충진되지 않은 영역이 압력이 저하되어 액정적하를 방해하는 것을 방지할 수 있게 된다.On the other hand, although not shown in the figure, a gas supply pipe is connected to the upper portion of the liquid crystal container 122 is supplied with a gas such as nitrogen from the outside. This gas supply prevents the pressure drop in the region where the liquid crystal is not filled in the liquid crystal container 122 when the liquid crystal is dropped, thereby preventing the liquid crystal dropping.

상기 액정용기(122)는 스테인리스강과 같은 금속으로 형성될 수도 있다. 이 경우 외부의 충격에 의해 액정용기(122)가 변형되지 않기 때문에 외부 케이스(123)가 필요없게 된다. 따라서, 액정적하기(120)의 제조비용을 절감할 수 있게 된다. 이와 같이, 액정용기(122)를 금속으로 형성하는 경우 충진된 액정(107)이 금속과 화학적인 반응을 일으키는 것을 방지하기 위해 내부에 불소수지막을 도포하는 것이 바람직하다.The liquid crystal container 122 may be formed of a metal such as stainless steel. In this case, since the liquid crystal container 122 is not deformed by an external impact, the outer case 123 is not necessary. Therefore, the manufacturing cost of the liquid crystal dropper 120 can be reduced. As such, when the liquid crystal container 122 is formed of a metal, it is preferable to apply a fluorine resin film therein to prevent the filled liquid crystal 107 from causing a chemical reaction with the metal.

상기 액정용기(122)의 하부에는 액정토출펌프(140)가 배치되어 있다. 상기 액정토출펌프(140)는 액정용기(122)의 액정을 일정량 토출하여 기판상에 적하하기 위한 것으로, 상기 액정용기(122)와 연결되어 액정토출펌프(140)가 작동함에 따라 액정이 흡입되는 액정흡입구(147)와 상기 액정흡입구(147)의 반대편에 형성되어 액정토출펌프(140)가 작동함에 따라 액정이 토출되는 액정토출구(148)를 구비하고 있다.The liquid crystal discharge pump 140 is disposed below the liquid crystal container 122. The liquid crystal discharge pump 140 discharges a predetermined amount of liquid crystal of the liquid crystal container 122 and drops the liquid on the substrate. The liquid crystal is discharged as the liquid crystal discharge pump 140 is connected to the liquid crystal container 122. The liquid crystal suction opening 147 and the liquid crystal suction opening 147 are formed opposite to each other, and the liquid crystal discharge pump 140 operates to discharge the liquid crystal.

도 8에 도시된 바와 같이, 액정흡입구(147)에는 제1연결관(126)이 결합되어 있다. 도면에는 상기 액정흡입구(147)가 제1연결관(126)에 삽입되어 결합되어 있지만, 나사와 같은 결합수단에 의해 액정흡입구(147)와 제1연결관(126)이 결합될 수도 있다. 상기 제1연결관(126)의 일측에는 주사바늘과 같이 내부가 통공된 핀(128) 이 형성되어 있으며, 상기 제1연결관(126)으로 액정을 유출하는 액정용기(122)의 하부에는 실리콘이나 부틸고무계열과 같이 수축성과 밀폐성이 강한 재질의 패드(도면표시하지 않음)가 설치되어 있다. 상기 핀(128)은 패드를 통해 액정용기(122)로 삽입되어 액정용기(122)의 액정(107)을 액정흡입구(147)로 유입한다. 핀(128)의 삽입시 패드가 핀(128)으로 강하게 수축되므로 핀(128)의 삽입영역으로 액정(107)이 누설되는 것을 방지할 수 있게 된다. 이와 같이, 핀과 패드에 의해 액정흡입구(147)와 액정용기(122)를 체결하므로 체결구조가 간단하게 되고 그 결과 체결 및 탈착이 용이하게 이루어질 수 있게 된다.As shown in FIG. 8, the first connection pipe 126 is coupled to the liquid crystal suction opening 147. Although the liquid crystal suction opening 147 is inserted and coupled to the first connection pipe 126 in the drawing, the liquid crystal suction opening 147 and the first connection pipe 126 may be coupled by a coupling means such as a screw. One side of the first connecting tube 126 is formed with a pin 128 through which the inside is perforated, such as a needle, and the lower portion of the liquid crystal container 122 that leaks liquid crystal into the first connecting tube 126. And pads (not shown) made of a material having strong shrinkage and sealing properties such as butyl rubber series. The pin 128 is inserted into the liquid crystal container 122 through a pad and flows the liquid crystal 107 of the liquid crystal container 122 into the liquid crystal suction opening 147. Since the pad is strongly contracted into the pin 128 when the pin 128 is inserted, the liquid crystal 107 may be prevented from leaking into the insertion region of the pin 128. As such, since the liquid crystal suction opening 147 and the liquid crystal container 122 are fastened by the pins and the pads, the fastening structure is simplified, and as a result, the fastening and detaching can be easily performed.

상기 액정흡입구(147)와 제1연결관(126)은 일체로 형성될 수도 있다. 이 경우, 핀(128)이 액정흡입구(147)에 형성되어 패드를 통해 액정용기(122)에 직접 삽입되어 액정용기(122)의 액정을 유출하므로, 구조를 간단하게 할 수 있게 된다.The liquid crystal suction opening 147 and the first connection pipe 126 may be integrally formed. In this case, the pin 128 is formed in the liquid crystal suction opening 147 and inserted directly into the liquid crystal container 122 through a pad to leak the liquid crystal of the liquid crystal container 122, thereby simplifying the structure.

상기 액정토출펌프(140)의 하부에는 노즐(150)이 설치되어 있다. 상기 노즐(150)은 제2연결관(160)을 통해 액정토출펌프(140)의 액정토출구(148)에 연결되어 상기 액정토출펌프(150)로부터 토출되는 액정(107)을 기판상에 적하한다.The nozzle 150 is installed below the liquid crystal discharge pump 140. The nozzle 150 is connected to the liquid crystal discharge port 148 of the liquid crystal discharge pump 140 through the second connection pipe 160 to drop the liquid crystal 107 discharged from the liquid crystal discharge pump 150 on a substrate. .

상기 제2연결관(160)은 불투명한 물질로 형성하는 것도 가능하지만 투명한 물질로 형성할 수도 있다. 상기와 같이, 제2연결관(160)을 투명한 물질로 형성하는 이유는 다음과 같다.The second connection pipe 160 may be formed of an opaque material, but may be formed of a transparent material. As described above, the reason for forming the second connection tube 160 made of a transparent material is as follows.

일반적으로 액정의 적하시 액정(107)속에 기포가 포함되어 있으며, 기판에 적하되는 액정(107)의 적하량을 정확하게 제어할 수 없게 된다. 따라서, 액정(107)의 적하시 반드시 기포를 제거해야만 한다. 한편, 기포는 액정용기(122)에 충진되 는 액정(107) 속에 이미 포함되어 있다. 비록 기포제거장치에 의해 액정(107)속의 기포를 제거할 수는 있지만, 이 경우에도 모든 기포를 제거하기란 사실상 불가능하다. 또한, 액정용기(122)로부터 액정토출펌프(140)로의 액정(107)을 유입시 기포가 발생할 수 있다. 결국, 적하되는 액정(107)으로부터 기포를 완전히 제거하기란 거의 불가능하게 된다. 따라서, 기포가 발생했을 경우 액정적하기의 작동을 중단하여 기포를 제거하는 것이 불량을 방지하기 위한 가장 좋을 방법일 것이다.Generally, bubbles are contained in the liquid crystal 107 when the liquid crystal is dropped, and the drop amount of the liquid crystal 107 dropped on the substrate cannot be accurately controlled. Therefore, bubbles must be removed when the liquid crystal 107 is dropped. Meanwhile, bubbles are already contained in the liquid crystal 107 filled in the liquid crystal container 122. Although bubbles in the liquid crystal 107 can be removed by the bubble removing device, it is virtually impossible to remove all bubbles even in this case. In addition, bubbles may occur when the liquid crystal 107 is introduced into the liquid crystal discharge pump 140 from the liquid crystal container 122. As a result, it is almost impossible to completely remove bubbles from the dropped liquid crystal 107. Therefore, when bubbles are generated, removing bubbles by discontinuing the operation of the liquid crystal droplets may be the best way to prevent defects.

제2연결관(160)을 투명한 물질로 형성하는 것은 액정용기(122)에 포함된 기포 또는 액정용기(122)에서 발생한 기포를 용이하게 발견하여 불량을 방지하기 위한 것이다. 이때, 기포의 발견은 작업자의 육안에 의해 이루어질 수도 있지만, 상기 제2연결관(160)의 양측에 포토커플러(photo coupler)와 같은 제1센서(162)를 설치하여 자동으로 기포를 발견하는 것이 더 확실하게 불량을 방지할 수 있을 것이다.The second connecting tube 160 is formed of a transparent material to easily detect bubbles included in the liquid crystal container 122 or bubbles generated in the liquid crystal container 122 to prevent defects. At this time, the discovery of the bubble may be made by the operator's naked eye, but the first sensor 162 such as a photo coupler on both sides of the second connecting tube 160 to automatically detect the bubble. It will more reliably prevent failure.

상기 제2연결관(160)을 통해 토출된 액정이 유입되는 노즐(150)의 양 측면에는 외력 등으로부터 노즐(150)이 파손되는 것을 방지하기 위한 보호부(152)가 설치되어 있다.Protection portions 152 are installed on both side surfaces of the nozzle 150 into which the liquid crystal discharged through the second connection pipe 160 flows, thereby preventing the nozzle 150 from being damaged by an external force.

한편, 상기 액정토출펌프(140)는 회전부재(157)에 삽입되어 있으며, 상기 회전부재(157)는 고정부(155)에 고정된다. 상기 회전부재(157)는 제1모터(131)와 연결되어 있다. 상기 제1모터(131)가 작동함에 따라 상기 회전부재(157)가 회전하게 되며, 상기 회전부재(157)에 고정된 액정토출펌프(140)가 작동하게 된다.On the other hand, the liquid crystal discharge pump 140 is inserted into the rotating member 157, the rotating member 157 is fixed to the fixing portion 155. The rotating member 157 is connected to the first motor 131. As the first motor 131 operates, the rotating member 157 rotates, and the liquid crystal discharge pump 140 fixed to the rotating member 157 operates.

상기 액정토출펌프(140)는 바(bar)와 같은 형태로 이루어진 액정용적량 조절 부재(134)의 일측에 접촉되어 있다. 상기 액정용적량 조절부재(134)의 타측에는 구멍이 형성되어 있으며, 회전축(136)이 상기 구멍에 삽입된다. 상기 액정용적량 조절부재(134)의 구멍과 회전축(136)의 둘레에는 나사가 형성되어, 서로 나사결합된다. 또한, 상기 회전축(136)은 일단은 제2모터(133)에 연결되어 있으며, 타단은 조절레버(137)에 연결되어 있다.The liquid crystal discharge pump 140 is in contact with one side of the liquid crystal volume adjusting member 134 having a shape such as a bar. The other side of the liquid crystal volume adjustment member 134 is formed with a hole, the rotating shaft 136 is inserted into the hole. A screw is formed around the hole of the liquid crystal volume adjusting member 134 and the rotating shaft 136, and is screwed together. In addition, one end of the rotating shaft 136 is connected to the second motor 133, the other end is connected to the control lever 137.

액정토출펌프(140)를 통해 액정용기(122)로부터 토출되는 액정의 양은 회전부재(157)에 고정되는 각도에 따라 달라진다. 즉, 회전부재(157)에 고정되는 고정각도에 따라 액정토출펌프(140)의 액정용적량이 달라지는 것이다. 상기 회전축(136)에 연결된 제2모터(133)가 구동(자동조절)하거나 조절레버(137)를 작동(수동조절)하면 회전축(136)이 회전하게 되며, 이에 따라 상기 회전축(136)과 나사결합된 액정용적량 조절부재(134)의 일단이 회전축(136)을 따라 전후로(직선으로) 움직이게 된다. 이와 같이, 상기 액정용적량 조절부재(134)의 일단이 움직임에 따라 상기 액정토출펌프(140)에 인가되는 힘이 달라지게 되고, 그 결과 상기 액정토출펌프(140)의 고정각도가 달라지게 된다.The amount of liquid crystal discharged from the liquid crystal container 122 through the liquid crystal discharge pump 140 depends on the angle fixed to the rotating member 157. That is, the liquid crystal volume of the liquid crystal discharge pump 140 varies according to the fixed angle fixed to the rotating member 157. When the second motor 133 connected to the rotary shaft 136 is driven (automatically adjusted) or the control lever 137 is operated (manually adjusted), the rotary shaft 136 is rotated, thus rotating screw 136 and the screw One end of the combined liquid crystal volume adjustment member 134 is moved back and forth (straight line) along the rotation axis 136. As such, the force applied to the liquid crystal discharge pump 140 is changed as one end of the liquid crystal volume adjusting member 134 moves, and as a result, the fixed angle of the liquid crystal discharge pump 140 is changed.

상기한 바와 같이, 제1모터(131)는 액정토출펌프(140)을 작동시켜 액정용기(122)의 액정을 토출하여 기판으로 적하하며, 제2모터(133)는 회전부재(157)에 고정되는 액정토출펌프(140)의 고정각도를 조절하여 액정토출펌프(140)로부터 토출되는 액정의 양을 제어한다.As described above, the first motor 131 operates the liquid crystal discharge pump 140 to discharge the liquid crystal of the liquid crystal container 122 to drop the liquid onto the substrate, and the second motor 133 is fixed to the rotating member 157. The fixed angle of the liquid crystal discharge pump 140 is controlled to control the amount of liquid crystal discharged from the liquid crystal discharge pump 140.

한편, 액정토출펌프(140)를 통해 기판으로 적하되는 액정의 1회 적하량은 매우 미세한 양이며, 따라서 제2모터(133)에 의해 조절되는 액정토출펌프(140)의 변 화량 역시 미세한 양이다. 이것은 액정토출펌프(140)의 토출량을 제어하기 위해서는 액정토출펌프(140)의 경사각도를 매우 미세하게 조정해야한다는 것을 의미한다. 이러한 미세 조정을 위해 상기 제2모터(133)로는 펄스입력값에 의해 작동하는 스텝모터(step motor)를 사용한다.Meanwhile, the one-time dropping amount of the liquid crystal dropped onto the substrate through the liquid crystal discharge pump 140 is a very fine amount, and thus the amount of change of the liquid crystal discharge pump 140 controlled by the second motor 133 is also a minute amount. . This means that the inclination angle of the liquid crystal discharge pump 140 must be adjusted very finely in order to control the discharge amount of the liquid crystal discharge pump 140. For such fine adjustment, the second motor 133 uses a step motor operated by a pulse input value.

도 9(a) 및 도 9(b)는 액정토출펌프(140)의 구조를 나타내는 도면으로, 도 9(a)는 사시도이고 도 9(b)는 분해사시도이다.9 (a) and 9 (b) are diagrams showing the structure of the liquid crystal discharge pump 140, (a) is a perspective view and (b) is an exploded perspective view.

도 9(a) 및 도 9(b)에 도시된 바와 같이, 상기 액정토출펌프(140)는 액정흡입구(147) 및 액정토출구(148)가 형성된 케이스(141)와, 상부에 개구가 형성되며 케이스(141)에 결합되는 캡(144)과, 상기 케이스(141) 내부에 삽입되어 액정이 흡입되는 실린더(142)와, 상기 실린더(142)를 실링하는 실링수단(143)과, 상기 캡(144) 상부에 위치하여 액정이 누설되는 것을 방지하는 오링(o-ring;144a)과, 상기 캡(144)의 개구를 통해 실린더(142)에 삽입되어 상하 및 회전운동함으로써 액정흡입구(147) 및 액정토출구(148)를 통해 액정(107)을 흡입 및 토출하는 피스톤(145)으로 구성된다. 상기 피스톤(145)의 상부에는 회전부재(157)에 고정되는 헤드(146a)가 설치되어 있으며, 상기 헤드(146a)에는 바(146b)가 설치되어 있다. 상기 바(146b)은 회전부재(157)에 형성된 홀(도면표시하지 않음)에 삽입, 고정되어 제1모터(131)의 힘에 의해 상기 회전부재(157)가 회전운동할 때 상기 피스톤(145)이 회전운동하도록한다.9 (a) and 9 (b), the liquid crystal discharge pump 140 has a case 141 in which a liquid crystal suction opening 147 and a liquid crystal discharge opening 148 are formed, and an opening is formed in an upper portion thereof. A cap 144 coupled to the case 141, a cylinder 142 inserted into the case 141 to suck liquid crystal, a sealing means 143 for sealing the cylinder 142, and the cap ( O-ring (144a) is located on the upper to prevent the leakage of the liquid crystal and the liquid crystal suction opening 147 by being inserted into the cylinder 142 through the opening of the cap 144 to move up and down It consists of a piston 145 for sucking and discharging the liquid crystal 107 through the liquid crystal discharge port 148. A head 146a fixed to the rotating member 157 is provided at an upper portion of the piston 145, and a bar 146b is installed at the head 146a. The bar 146b is inserted into and fixed to a hole (not shown) formed in the rotating member 157 so that the piston 145 rotates when the rotating member 157 is rotated by the force of the first motor 131. ) To rotate.

한편, 도 9(b)에 도시된 바와 같이, 피스톤(145)의 단부에는 홈(145a)이 형성되어 있다. 이 홈(145a)은 피스톤(145)의 단면 원형상의 약 1/4 면적(또는 그 이 하의 면적)으로 형성되어, 피스톤(145)이 회전운동시(즉, 상하운동시) 액정흡입구(147) 및 액정토출구(148)를 열고 닫아 상기 액정흡입구(147) 및 액정토출구(148)를 통해 액정을 흡입하고 토출하도록 한다.On the other hand, as shown in Figure 9 (b), the groove 145a is formed at the end of the piston 145. The groove 145a is formed to have an area of about 1/4 (or less) in the circular cross section of the piston 145 so that the piston 145 rotates (ie, moves up and down) and the liquid crystal suction opening 147. And opening and closing the liquid crystal discharge opening 148 to suck and discharge the liquid crystal through the liquid crystal suction opening 147 and the liquid crystal discharge opening 148.

이러한 액정토출펌프(140)의 작동을 자세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the liquid crystal discharge pump 140 in detail as follows.

도 10은 액정토출펌프(140)가 회전부재(157)에 고정된 상태를 나타내는 도면이다. 도면에 도시된 바와 같이, 피스톤(145)은 회전부재(157)에 일정 각도(α)로 고정되어 있으며, 피스톤헤드(146a)에 형성된 바(146b)는 회전부재(157)의 내면에 형성된 홀(159)에 삽입되어 피스톤(145)과 회전부재(157)가 결합된다. 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 홀(159) 내부에는 베어링이 구비되어 있기 때문에, 홀(159) 내부에 삽입된 피스톤(145)의 바(146b)는 전후 좌우로 움직일 수 있게 된다. 제1펌프(131)가 작동하게 되면 상기 회전부재(157)가 회전하게 되며, 그 결과 상기 회전부재(157)와 결합된(즉, 고정된) 피스톤(145)이 회전하게 된다.10 is a view showing a state in which the liquid crystal discharge pump 140 is fixed to the rotating member 157. As shown in the figure, the piston 145 is fixed to the rotating member 157 at an angle α, and the bar 146b formed on the piston head 146a is a hole formed in the inner surface of the rotating member 157. The piston 145 and the rotary member 157 are inserted into the 159. Although not shown in the drawing, since the bearing is provided inside the hole 159, the bar 146b of the piston 145 inserted into the hole 159 can move back, forth, left, and right. When the first pump 131 operates, the rotating member 157 rotates, and as a result, the piston 145 coupled with the rotating member 157 (that is, fixed) rotates.

이때, 회전부재(157)에 대한 액정토출펌프의 고정각도(α), 즉 회전부재(157)에 대한 피스톤(145)의 고정각도(α)가 0이라고 가정하면 상기 피스톤(145)은 단지 회전부재(157)를 따라 회전운동만 하게 된다. 그러나, 실질적으로 상기 고정각도(α)가 0이 아니기 때문에(즉, 일정한 각도로 고정되기 때문에), 상기 피스톤(145)은 회전부재(157)의 회전운동을 따라 회전함과 동시에 상하운동을 하게 되는 것이다.At this time, assuming that the fixed angle α of the liquid crystal discharge pump with respect to the rotating member 157, that is, the fixed angle α of the piston 145 with respect to the rotating member 157 is 0, the piston 145 rotates only. Only rotational movement is performed along the member 157. However, since the fixed angle α is not substantially zero (that is, fixed at a constant angle), the piston 145 rotates along the rotational movement of the rotating member 157 and simultaneously moves up and down. Will be.

이와 같은 피스톤(145)의 운동시, 피스톤(145)이 일정 각도 회전하여 상부방향으로 움직이면 실린더(142) 내부에 빈 공간이 생기게되어 이 공간으로 액정흡입 구(147)을 통해 액정이 흡입되며, 이후 피스톤(145)이 더 회전함에 따라 상기 피스톤(145)이 하부방향으로 움직이게 되어 실린더(142)에 흡입된 액정이 액정토출구(148)를 통해 토출된다. 이때, 피스톤(145)에 형성된 홈(145a)은 피스톤(145)의 회전에 의해 액정의 흡입 및 토출시 액정흡입구(147)와 액정토출구(148)을 개폐하는 역할을 한다.During the movement of the piston 145, when the piston 145 is rotated by a certain angle to move upwards, an empty space is created inside the cylinder 142, the liquid crystal is sucked into the space through the liquid crystal suction port 147, Thereafter, as the piston 145 further rotates, the piston 145 moves downward, and the liquid crystal sucked in the cylinder 142 is discharged through the liquid crystal discharge port 148. At this time, the groove 145a formed in the piston 145 serves to open and close the liquid crystal suction opening 147 and the liquid crystal discharge opening 148 during the suction and discharge of the liquid crystal by the rotation of the piston 145.

이하에서는 도 11(a)~도 11(d)를 참조하여 상기와 같은 액정토출펌프(140)의 작동을 더욱 자세히 설명한다. Hereinafter, the operation of the liquid crystal discharge pump 140 as described above will be described in more detail with reference to FIGS. 11A to 11D.

도 11(a)~도 11(d)에 도시된 바와 같이, 액정토출펌프(140)는 4행정을 통해 액정용기(122)의 액정(107)을 노즐(150)로 토출한다. 도면에서, 도 11(a) 및 도 11(c)는 교차행정이며. 도 11(b)는 액정흡입구(147)를 통한 흡입행정이고 도 11(d)는 액정토출구(148)를 통한 액정토출행정이다.As illustrated in FIGS. 11A to 11D, the liquid crystal discharge pump 140 discharges the liquid crystal 107 of the liquid crystal container 122 to the nozzle 150 through four strokes. 11 (a) and 11 (c) are cross strokes. FIG. 11B illustrates a suction stroke through the liquid crystal suction port 147 and FIG. 11D illustrates a liquid crystal discharge stroke through the liquid crystal discharge port 148.

도 11(a)에 도시된 바와 같이, 회전부재(157)에 일정 각도(α)로 고정된 피스톤(145)은 회전부재(157)가 회전함에 따라 회전하게 된다. 이때, 액정흡입구(147) 및 액정토출구(148)는 피스톤(145)에 의해 닫혀있다.As illustrated in FIG. 11A, the piston 145 fixed to the rotating member 157 at an angle α rotates as the rotating member 157 rotates. At this time, the liquid crystal suction opening 147 and the liquid crystal discharge opening 148 are closed by the piston 145.

상기 회전부재(157)가 약 45°회전함에 따라 피스톤(145)도 회전하여, 도 11(b)에 도시된 바와 같이 액정흡입구(147)가 피스톤(145)의 홈(145a)에 의해 열리게 된다. 한편, 회전부재(157)의 홀(159)에는 피스톤(145)의 바(146b)가 삽입되어, 상기 회전부재(157)와 피스톤(145)을 결합한다. 따라서, 회전부재(157)가 회전함에 따라 피스톤(145)이 회전하게 되는데, 이때 상기 바(146b)는 회전면을 따라 회전하게 된다. As the rotating member 157 rotates about 45 °, the piston 145 also rotates, so that the liquid crystal suction opening 147 is opened by the groove 145a of the piston 145 as shown in FIG. . Meanwhile, the bar 146b of the piston 145 is inserted into the hole 159 of the rotating member 157 to couple the rotating member 157 and the piston 145. Accordingly, the piston 145 rotates as the rotating member 157 rotates, and the bar 146b rotates along the rotational surface.                     

피스톤(145)이 회전부재(157)와 일정 각도로 고정되어 있고 바(146b)는 회전면을 따라 회전하므로, 상기 회전부재(145)가 회전함에 따라 피스톤(145)이 상승하게 된다. 또한, 실린더(141)가 고정되어 있으므로, 상기 회전부재(145)가 회전함에 따라 피스톤(145) 하부의 실린더(141)에 공간이 생기게 된다. 따라서, 홈(145a)에 의해 열린 액정흡입구(147)를 통해 상기 공간으로 액정이 흡입된다.Since the piston 145 is fixed to the rotating member 157 at an angle and the bar 146b rotates along the rotating surface, the piston 145 is raised as the rotating member 145 rotates. In addition, since the cylinder 141 is fixed, a space is created in the cylinder 141 under the piston 145 as the rotating member 145 rotates. Therefore, the liquid crystal is sucked into the space through the liquid crystal suction opening 147 opened by the groove 145a.

이러한 액정의 흡입은 흡입행정이 시작된 후(즉, 액정흡입구(147)가 열린 후), 회전부재(157)가 약 45°회전하여 도 11(c)에 도시된 바와 같은 흡입행정이 시작될 때까지(액정흡입구(147)가 닫힐 때까지) 계속된다.The suction of the liquid crystal is carried out after the suction stroke starts (that is, after the liquid crystal suction opening 147 is opened) until the rotation member 157 rotates about 45 ° to start the suction stroke as shown in FIG. 11 (c). It continues (until the liquid crystal suction opening 147 is closed).

이후, 도 11(d)에 도시된 바와 같이, 상기 회전부재(157)가 더 회전함에 따라 액정토출구(148)가 열림과 동시에 상기 피스톤(145)이 하강하기 시작하여, 실린더(141)내의 공간에 흡입된 액정이 상기 액정토출구(148)를 통해 토출된다(토출행정).Thereafter, as shown in FIG. 11 (d), as the rotary member 157 is further rotated, the liquid crystal discharge port 148 is opened and at the same time the piston 145 starts to descend and the space in the cylinder 141. The liquid crystal sucked in is discharged through the liquid crystal discharge port 148 (discharge stroke).

상기한 바와 같이, 액정토출펌프(140)는 제1교차행정, 흡입행정, 제2교차행정 및 토출행정으로 이루어진 4행정을 반복함으로써 액정용기(122)에 충진된 액정(107)을 노즐(150)로 토출하게 된다.As described above, the liquid crystal discharge pump 140 repeats four strokes consisting of a first cross stroke, a suction stroke, a second cross stroke, and a discharge stroke, thereby discharging the liquid crystal 107 filled in the liquid crystal container 122 through the nozzle 150. To be discharged.

이때, 액정의 토출양은 피스톤(145)의 상하운동범위에 따라 달라진다. 그런데, 피스톤(145)의 상하운동범위는 회전부재(157)에 고정되는 액정토출펌프(140)의 각도에 따라 달라진다.At this time, the discharge amount of the liquid crystal depends on the vertical movement range of the piston 145. However, the vertical movement range of the piston 145 varies depending on the angle of the liquid crystal discharge pump 140 fixed to the rotating member 157.

도 12는 액정토출펌프(140)가 회전부재(157)에 β의 각도로 고정된 것을 나타내는 도면이다. 액정토출펌프(140)가 α(〈β)의 각도로 회전부재(157)에 고정된 도 10에 비해서 도 12의 액정토출펌프(140)는 피스톤(145)이 상부방향으로 더 높이 움직일 수 있게 된다. 이것은 회전부재(157)에 고정되는 각도가 증가할수록 피스톤(145)의 운동시 실린더(142) 내부로 흡입되는 액정(107)의 양이 증가한다는 것을 의미하는 것으로, 결국 회전부재(157)에 고정되는 각도를 조정함으로써 액정의 토출량을 제어할 수 있다는 것을 의미한다.12 is a view showing that the liquid crystal discharge pump 140 is fixed to the rotating member 157 at an angle β. Compared to FIG. 10, in which the liquid crystal discharge pump 140 is fixed to the rotating member 157 at an angle of α (<β), the liquid crystal discharge pump 140 of FIG. 12 allows the piston 145 to move higher in the upward direction. do. This means that as the angle fixed to the rotating member 157 increases, the amount of the liquid crystal 107 sucked into the cylinder 142 during the movement of the piston 145 increases, which is fixed to the rotating member 157. It means that the discharge amount of the liquid crystal can be controlled by adjusting the angle.

한편, 회전부재(157)에 고정되는 액정토출펌프(140)의 각도는 도 7에 도시된 바와 같이, 액정용적량 조절부재(134)에 의해 제어되며, 상기 액정용적량 조절부재(134)는 제2펌프(133)을 구동함에 따라 움직이게 된다. 다시 말해서, 액정토출펌프(140)의 각도는 제2펌프(133)를 제어함으로써 조절할 수 있는 것이다.Meanwhile, as shown in FIG. 7, the angle of the liquid crystal discharge pump 140 fixed to the rotating member 157 is controlled by the liquid crystal volume adjusting member 134, and the liquid crystal volume adjusting member 134 is provided as a second. As the pump 133 is driven, it moves. In other words, the angle of the liquid crystal discharge pump 140 can be adjusted by controlling the second pump 133.

물론 상기 액정토출펌프(140)의 고정각도를 각도조절레버(137)에 의해 작업자가 수동으로 할 수도 있지만, 이 경우 정확한 조정이 불가능하고 시간이 많이 소모될 뿐만 아니라 작업중에 액정토출펌프를 중단해야만 한다는 단점도 발생하게 된다. 따라서, 제2펌프(133)에 의해 액정토출펌프(140)의 고정각도를 조절하는 것이 바람직하다.Of course, the operator may manually adjust the fixed angle of the liquid crystal discharge pump 140 by the angle adjusting lever 137, but in this case, accurate adjustment is not possible and time consuming and stops the liquid crystal discharge pump during the operation. There is also a disadvantage. Therefore, it is preferable that the fixed angle of the liquid crystal discharge pump 140 is adjusted by the second pump 133.

이때, 액정토출펌프(140)의 고정각도는 변위측정 자기센서(Linear Variable Differential Transformer)와 같은 센서(139)에 의해 측정되어, 고정각도가 설정된 각도를 초과하는 경우 경보를 발하여 액정토출펌프(140)가 파손되는 것을 방지한다.In this case, the fixed angle of the liquid crystal discharge pump 140 is measured by a sensor 139 such as a linear variable differential transformer, and when the fixed angle exceeds the set angle, an alarm is issued to the liquid crystal discharge pump 140. ) To prevent damage.

상기와 같이, 본 발명에 따른 액정적하장치에서는 제2펌프(133)에 의해 액정토출펌프(140)의 고정각도를 변화시켜 액정이 적하량을 설정한 후 제1펌프(131)를 작동하여 액정토출펌프(140)를 구동함으로써 노즐(150)을 통해 액정을 기판상에 적하한다.As described above, in the liquid crystal dropping apparatus according to the present invention, after the fixed angle of the liquid crystal discharging pump 140 is changed by the second pump 133 to set the drop amount of liquid crystal, the first pump 131 is operated to operate the liquid crystal. By driving the discharge pump 140, the liquid crystal is dropped onto the substrate through the nozzle 150.

그런데, 상기와 같이 정확한 양의 적하량을 설정한 후 실제 액정을 적하할 때에도 기판상에 설정된 액정이 적하되지 않는 경우가 있다. 이러한 경우는 외부의 환경과 같은 다양한 원인에 의해 발생할 수 있지만, 그중에서도 가장 큰 원인은 노즐(150) 표면에 액정이 뭉치는 현상이다.However, the liquid crystal set on the substrate may not drop even when the actual liquid crystal is dropped after setting the correct amount of dropping amount as described above. Such a case may be caused by various causes such as an external environment, but the biggest cause among them is a phenomenon in which liquid crystals aggregate on the surface of the nozzle 150.

노즐(150)은 통상적으로 스테인리스강과 같은 금속으로 이루어진다. 이러한 금속은 액정에 대해 낮은 접촉각(Contact Angle)을 갖는다. 일반적으로 접촉각은 액체가 고체 표면에서 열역학적인 평형을 이룰 때 이루는 각을 말한다. 이러한 접촉각은 고체표면의 젖음성(Wettability)을 나타내는 척도이다. 따라서, 금속은 높은 젖음성(즉, 친수성)과 높은 표면에너지를 갖기 때문에, 액체가 금속 표면으로 퍼져 나가려는 성질이 강하다. 결국, 금속으로 이루어진 노즐(150)을 통해 액정을 적하하는 경우 액정이 노즐(150)의 단부에서 방울형상(이러한 방울형상을 이루는 것은 곧 접촉각이 높음을 의미한다)으로 이루어지지 않고 노즐(150)의 표면으로 퍼져 나가게 되며, 액정적하를 반복함에 따라 도 13에 도시된 바와 같이 노즐(150)의 표면에는 액정뭉침, 즉 잔류액정(107a)이 생기게 된다.The nozzle 150 is typically made of metal, such as stainless steel. Such metals have a low contact angle with respect to the liquid crystal. In general, the contact angle refers to the angle formed when the liquid is in thermodynamic equilibrium at the solid surface. This contact angle is a measure of the wettability of a solid surface. Therefore, since the metal has high wettability (i.e., hydrophilicity) and high surface energy, the liquid tends to spread to the metal surface. As a result, when the liquid crystal is dropped through the nozzle 150 made of a metal, the liquid crystal does not have a drop shape at the end of the nozzle 150 (to achieve such a drop shape, which means that the contact angle is high). Spread out to the surface of the liquid crystal, and as the liquid crystal drop is repeated, as shown in FIG. 13, the liquid crystal agglomeration, that is, the remaining liquid crystal 107a is formed on the surface of the nozzle 150.

노즐(150) 표면으로 액정이 퍼지는 현상은 정확한 액정적하를 불가능하게 한다. 액정토출펌프(140)의 고정각도를 조절함으로써 노즐(150)을 통해 적하되는 액정의 양을 제어하는 경우에도 적하되는 액정중 일부가 노즐표면으로 퍼지기 때문에 실제 기판에 적하되는 양은 노즐(150)를 통해 적하되는 양 보다 작게 된다. 물론, 상기 노즐(150) 표면으로 퍼지는 액정의 양을 감안하여 적하되는 양을 제어할 수는 있지만, 실질적으로 노즐(150) 표면으로 퍼지는 액정의 양을 산출하기란 불가능한 일이다.The spreading of the liquid crystal onto the surface of the nozzle 150 makes accurate liquid crystal dropping impossible. Even when the amount of liquid crystal dropped through the nozzle 150 is controlled by adjusting the fixed angle of the liquid crystal discharge pump 140, some of the dropped liquid crystal spreads to the nozzle surface. It becomes smaller than the amount dropped through. Of course, it is possible to control the amount dropped in consideration of the amount of the liquid crystal spread to the surface of the nozzle 150, but it is impossible to calculate the amount of the liquid crystal substantially spread to the surface of the nozzle 150.

또한, 액정적하의 반복에 의해 노즐(150)에 뭉치는 액정(107a)은 노즐(150)을 통해 배출되는 양과 합해져서 설정된 양보다 많은 액정이 기판에 적하될 수 있다. 다시 말해서, 금속으로 이루어진 노즐(150)에서는 금속의 특성인 낮은 접촉각에 의해 적하되는 액정의 양이 불규칙하게 된다.In addition, the liquid crystal 107a aggregated in the nozzle 150 by the repetition of the liquid crystal drop may be added to the amount discharged through the nozzle 150 and thus more liquid crystals may be dropped onto the substrate. In other words, in the nozzle 150 made of metal, the amount of liquid crystal dropped by the low contact angle, which is a property of the metal, becomes irregular.

상기와 같이 노즐(150)의 표면에 액정이 뭉치는 현상을 방지하기 위해 딥핑(Dipping)이나 스프레이(Spray)방법에 의해 노즐(150) 표면에 접촉각이 높은 불소수지막을 도포하거나 노즐(150) 자체를 불소수지로 이루어진 일회용(물론 설정된 매수의 기판에 액정의 적하를 실행하는)으로 구성하여 불소수지의 낮은 젖음성(소수성)과 낮은 표면에너지에 의해 노즐(150)을 통해 배출되는 액정(107)이 노즐(150) 표면으로 퍼지지 않고 완전한 방울형태를 이룰 수는 있다. 그러나, 상기와 같이 불소수지막을 노즐(150) 표면에 도포하거나 노즐(150)을 불소수지로 형성하는 경우에도 액정적하가 반복됨에 따라 노즐(150)에 소량의 액정이 퍼져 액정이 뭉치는 현상을 완전히 피할 수는 없게 된다.In order to prevent the liquid crystals from agglomerating on the surface of the nozzle 150 as described above, a fluorine resin film having a high contact angle is coated on the surface of the nozzle 150 by dipping or spraying, or the nozzle 150 itself. The liquid crystal 107 which is discharged through the nozzle 150 by the low wettability (hydrophobicity) and the low surface energy of the fluorine resin is formed by using a single-use (of course, dropping the liquid crystal onto the set number of substrates) made of fluorine resin. It is possible to achieve a complete droplet form without spreading to the nozzle 150 surface. However, even when the fluorine resin film is applied to the surface of the nozzle 150 or the nozzle 150 is formed of the fluorine resin as described above, as the liquid crystal drop is repeated, a small amount of liquid crystal spreads through the nozzle 150 to cause the liquid crystal to aggregate. It cannot be completely avoided.

도 7(a) 및 도 7(b)에 도시된 바와 같이, 본 발명에서는 노즐(150) 양 측면에 설치되어 외력 등으로부터 노즐(150)이 파손되는 것을 방지하기 위한 보호부(152)에 제2센서(154)를 설치함으로써 노즐(150)의 표면에 액정뭉침을 검출한다. 이때, 상기 제2센서(154)는 제1센서(162)와 마찬가지로 포토커플러로 형성할 수도 있지만, 다른 종류의 센서로 구성할 수도 있을 것이다.As shown in Fig. 7 (a) and 7 (b), in the present invention is provided on both sides of the nozzle 150 is provided in the protection unit 152 for preventing the nozzle 150 from being damaged from external force, etc. By providing the two sensors 154, liquid crystal agglomeration is detected on the surface of the nozzle 150. In this case, the second sensor 154 may be formed as a photocoupler like the first sensor 162, but may be configured as another type of sensor.

도 13에 도시된 바와 같이, 상기 제2센서(154)는 제어부와 연결된다. 상기 제어부는 상기 제2센서(154)로부터 신호가 입력되어 노즐(150)의 표면에 액정이 뭉친 경우 이를 판단하고 조치하는데, 이를 상세히 설명하면 다음과 같다.As shown in FIG. 13, the second sensor 154 is connected to the controller. When the signal is input from the second sensor 154 and the liquid crystal is agglomerated on the surface of the nozzle 150, the controller determines and measures this.

도 14에 도시된 바와 같이, 제2센서(154)에 의해 검출된 신호는 입력부(202)를 통해 제어부(200)로 입력되며, 상기 제어부(200)에서는 입력된 신호에 기초하여 제2센서(154)의 표면에 액정이 뭉쳤는지를 판단한다. 한편, 상기 제어부(200)는 모터구동부(205)에 제어신호를 출력하여 제1모터(131)와 제2모터(133)를 작동함으로써 액정토출펌프(140)의 토출량을 제어하고 액정토출펌프(140)로부터 액정을 토출한다. 또한, 상기 제어부(200)는 기판구동부(206)를 작동하여 노즐(150)과 기판상의 액정위치가 일치하도록 기판을 이동시킨다. 이때, 기판이 이동하는 대신 액정적하기가 직접 기판위에서 이동할 수도 있을 것이다(이 경우 물론 기판구동부의 명칭은 적하기 이동부로 변경되어야만 할 것이다).As shown in FIG. 14, the signal detected by the second sensor 154 is input to the controller 200 through the input unit 202, and the controller 200 based on the input signal is used to detect the second sensor ( It is determined whether the liquid crystal is agglomerated on the surface of 154. On the other hand, the control unit 200 outputs a control signal to the motor driving unit 205 to operate the first motor 131 and the second motor 133 to control the discharge amount of the liquid crystal discharge pump 140 and the liquid crystal discharge pump ( 140 is discharged. In addition, the controller 200 operates the substrate driver 206 to move the substrate so that the nozzle 150 and the liquid crystal position on the substrate coincide. In this case, the liquid crystal droplets may move directly on the substrate instead of the substrate (in this case, the name of the substrate driver may have to be changed to the droplet moving portion).

상기 제어부(200)는 노즐(150) 표면에 액정이 뭉친 것이 판단되면, 더 이상의 액정적하를 실행하는 경우 액정적하에 불량이 발생함을 판단하여 모터구동부(205)에 제어신호를 출력한다. 상기 제어신호에 의해 모터구동부(205)는 제1펌프(131)의 구동을 정지시켜 액정적하를 중지한다. 이때, 제어부(200)는 출력부(208)에 현재 노즐(150) 표면의 액정 뭉침상태를 표시하여 작업자에게 이를 알려준다.When it is determined that the liquid crystal is agglomerated on the surface of the nozzle 150, the controller 200 determines that a defect occurs in the liquid crystal drop when performing further liquid crystal drop, and outputs a control signal to the motor driver 205. In response to the control signal, the motor driving unit 205 stops driving of the first pump 131 to stop liquid crystal dropping. At this time, the control unit 200 displays the current state of the liquid crystal agglomeration of the surface of the nozzle 150 on the output unit 208 to inform the operator.

상기와 같이 노즐(150)에 액정이 뭉치면 이를 파악한 작업자가 액정적하장치 로부터 노즐(150)을 분리한 후 노즐(150)에 뭉친 액정을 제거할 수도 있지만, 다음과 같이 더미적하 실행부(209)와 세정장치 구동부(210)에 신호를 출력하여 액정을 자동으로 제거할 수도 있다.As described above, when the liquid crystals are agglomerated in the nozzle 150, a worker who detects the liquid crystal may separate the nozzle 150 from the liquid crystal dropping device and then remove the liquid crystal agglomerated in the nozzle 150, but the dummy drop execution unit 209 as follows. The liquid crystal may be automatically removed by outputting a signal to the cleaning device driver 210.

더미적하 실행부(209)에서는 노즐(150) 표면에 액정이 뭉친 경우 제어부(200)로부터 입력되는 신호에 따라 액정의 더미적하를 실행하여 노즐(150) 표면에 뭉친 액정을 제거한다. 더미적하란 실제 기판상의 액정적하위치에 액정을 적하하는 것이 아니라 그 이외의 영역, 예를 들면 기판상의 액정패널이 형성되지 않는 영역이나 액정의 적하량을 측정하기 위해 구비되는 측정컵(이 측정컵에 적하되는 액정의 무게를 측정하여 실제 적하된 액정의 적하량이 설정된 적하량과 동일한지를 검출하고 동일하지 않은 경우 편차 만큼 액정의 적하량을 보정한다), 또는 더미적하용 수납용기 등에 액정을 적하하는 것을 의미한다. 이때, 더미적하에서는 설정된 적하량의 액정이 적하되는 것이 아니라 더 많은 양이 액정, 즉 표면에 뭉친 액정이 모두 적하될 정도의 액정을 적하한다.When the liquid crystal is agglomerated on the surface of the nozzle 150, the dummy dropping execution unit 209 removes the liquid crystal formed on the surface of the nozzle 150 by performing a dummy drop of the liquid crystal according to a signal input from the controller 200. A dummy drop is a measuring cup provided for measuring a dropping amount of a liquid crystal in another region, for example, a region where a liquid crystal panel on a substrate is not formed or a liquid crystal dropping position in a liquid crystal dropping position on an actual substrate. By measuring the weight of the liquid crystal dropped into the liquid crystal and detecting whether the actual amount of liquid crystal dropping is the same as the set dropping amount, and correcting the dropping amount of the liquid crystal by the deviation if it is not the same), or dropping the liquid crystal into a dummy dropping container. Means that. At this time, instead of dropping the set amount of liquid crystals in the dummy dropping, the liquid crystals are dropped so that a larger amount of liquid crystals are dropped, that is, all of the liquid crystals agglomerated on the surface.

이와 같은 액정의 더미적하에 의해 노즐(150)의 표면에 뭉치는 액정을 모두 제거할 수 있게 되며, 이후 모터구동부(205)와 기판구동부(206)를 다시 구동하여 정상적인 액정의 적하를 실행한다.By the liquid drop of the liquid crystal, all the liquid crystals agglomerated on the surface of the nozzle 150 can be removed. Then, the motor driving unit 205 and the substrate driving unit 206 are driven again to perform normal dropping of the liquid crystal.

또한, 세정장치 구동부(210)는 노즐(150) 표면에 액정이 뭉친 경우 제어부(200)로부터 입력되는 신호에 따라 세정장치를 구동하여 노즐(150)의 표면을 세정한다. 물론 더미적하의 실행에 의해 노즐(150)에 뭉친 액정을 제거할 수도 있지만 이 경우 노즐(150) 표면에 남아 있는 액정을 모두 제거하기란 대단히 어렵기 때문에, 세정장치를 사용함으로써 노즐(150)에 뭉친 액정을 모두 제거하는 것이다.In addition, when the liquid crystal is agglomerated on the surface of the nozzle 150, the cleaning device driver 210 drives the cleaning device according to a signal input from the controller 200 to clean the surface of the nozzle 150. Of course, the liquid crystal stuck to the nozzle 150 may be removed by performing a dummy drop, but in this case, since it is very difficult to remove all the liquid crystal remaining on the surface of the nozzle 150, the cleaning apparatus may be used to remove the liquid crystal. It is to remove all the liquid crystal.

상기 더미적하기능과 세정장치에 의한 세정기능은 액정적하장치에 모두 구비될 수 있다. 예를 들어, 단기간에는 더미적하를 실행하여 노즐(150)의 표면의 액정을 제거하고 장기간이 지난 후(일정 회수의 더미적하 실행 후)에는 세정장치에 의해 노즐(150) 표면의 액정을 제거할 수 있을 것이다. 그러나, 본 발명의 액정적하장치에서는 더미적하기능과 세정장치에 의한 세정기능의 하나만 구비할 수도 있다. 물론, 이 경우에도 노즐(150) 표면에 뭉친 액정은 효과적으로 제거할 수 있을 것이다.Both the dummy loading function and the cleaning function by the cleaning device may be provided in the liquid crystal dropping device. For example, the liquid crystals on the surface of the nozzle 150 may be removed by carrying out a dummy drop in a short period of time, and the liquid crystals on the surface of the nozzle 150 may be removed by a cleaning device after a long period of time (after performing a certain number of dummy drops). Could be. However, in the liquid crystal dropping apparatus of the present invention, only one of the dummy loading function and the cleaning function by the cleaning device may be provided. Of course, even in this case, the liquid crystals agglomerated on the surface of the nozzle 150 may be effectively removed.

도 15에 도시된 바와 같이, 노즐세정장치(220)는 본체(222)와 상기 본체(222)에 형성된 흡입관(226)으로 구성되어 있으며, 흡입관(226)에는 진공펌프(228)가 연결되어 있다. 노즐(150)의 세정시, 상기 흡입관(226)은 노즐(150)의 배출구와 실질적으로 정렬되어 있다. 그 이유는 노즐(150) 표면에 뭉치는 액정(107a)은 주로 배출구 주위에 분포하기 때문에 배출구와 흡입관(226)을 정렬시킴으로써 세정의 효율을 증가시키기 위한 것이다.As shown in FIG. 15, the nozzle cleaning device 220 includes a main body 222 and a suction pipe 226 formed on the main body 222, and a vacuum pump 228 is connected to the suction pipe 226. . In cleaning the nozzle 150, the suction pipe 226 is substantially aligned with the outlet of the nozzle 150. The reason for this is to increase the efficiency of cleaning by aligning the outlet and the suction pipe 226 because the liquid crystals 107a which are aggregated on the surface of the nozzle 150 are mainly distributed around the outlet.

노즐(150)의 세정은 주기적으로 반복된다. 설정된 횟수의 액정적하가 종료되면 상기 노즐세정장치(220)가 모터(도면표시하지 않음)에 의해 노즐(150)쪽으로 이동하여 노즐(150)의 배출구와 흡입관(226)이 정렬된다. 이때, 상기 본체(222)에는 지지부(224)가 설치되어 본체(222)와 노즐(150)을 지지하고 있기 때문에, 노즐(150)의 배출구와 흡입관(226)의 정렬시 배출구와 흡입관(226) 사이에 일정한 공간을 형성하게 된다. 상기와 같이, 노즐세정장치(220)가 이동하여 노즐(150)의 배출구와 흡입관(226)이 정렬된 상태에서 진공펌프(228)가 작동함에 따라 본체(222)에 형성된 흡입관(226)이 진공상태로 되며, 그 결과 노즐(150)의 주위, 특히 배출구 주위의 액정(107a)이 흡입관(226)으로 흡입됨으로써 노즐(150) 표면의 액정(107a)이 제거된다.Cleaning of the nozzle 150 is repeated periodically. When the set number of liquid crystal drops is finished, the nozzle cleaner 220 is moved toward the nozzle 150 by a motor (not shown) so that the outlet of the nozzle 150 and the suction pipe 226 are aligned. At this time, since the support 224 is installed on the main body 222 to support the main body 222 and the nozzle 150, the outlet and the suction pipe 226 when the outlet of the nozzle 150 and the suction pipe 226 are aligned. It forms a certain space between them. As described above, the suction pipe 226 formed in the main body 222 is vacuumed as the vacuum pump 228 operates while the nozzle cleaning device 220 moves and the outlet of the nozzle 150 is aligned with the suction pipe 226. As a result, the liquid crystal 107a around the nozzle 150, particularly around the discharge port, is sucked into the suction pipe 226, thereby removing the liquid crystal 107a on the surface of the nozzle 150.

도면에는 도시하지 않았지만, 상기 노즐세정장치(220)에는 세정된 액정(107a)을 수납하기 위한 수납조가 설치될 수 있다. 진공펌프(228)의 가동에 의해 흡입관(226)으로 흡입된 액정(107a)은 중력에 의해 본체(222)와 진공펌프(228) 사이에 설치되는 수납조에 수납됨으로써 상기 진공펌프(228)에 도달하지 않게 된다. 상기와 같이 액정수납조가 설치된 경우 수납조를 노즐세정장치(220)로부터 분리하여 수납된 액정(107a)을 폐기하면 되기 때문에 수집된 액정의 처리가 간단하게 된다.Although not shown in the drawing, the nozzle cleaning device 220 may be provided with a storage tank for accommodating the liquid crystal 107a. The liquid crystal 107a sucked into the suction pipe 226 by the operation of the vacuum pump 228 arrives at the vacuum pump 228 by being accommodated in a storage tank installed between the main body 222 and the vacuum pump 228 by gravity. You will not. In the case where the liquid crystal storage tank is installed as described above, the liquid crystal 107a may be disposed by separating the storage tank from the nozzle cleaning device 220, thereby simplifying the processing of the collected liquid crystal.

상술한 바와 같이, 본 발명의 액정적하장치에서는 노즐(150)의 주위에 액정뭉침을 검출하는 제2센서(154)가 설치되어, 실시간으로 노즐(150) 표면에 뭉치는 액정을 제거하면서 액정을 적하하는데, 이를 간략하게 설명하면 다음과 같다.As described above, in the liquid crystal dropping apparatus of the present invention, a second sensor 154 is installed around the nozzle 150 to detect the liquid crystal lump, and the liquid crystal is removed while removing the liquid crystal lumped on the surface of the nozzle 150 in real time. This is briefly described as follows.

도 16에 도시된 바와 같이, 액정적하가 시작됨에 따라 제2센서(154)는 노즐(150)의 표면의 액정뭉침을 검출하기 시작한다(S301). 제2센서(154)로부터 출력되는 신호는 제어부(200)로 입력되며, 상기 제어부(200)에서는 상기 제2센서(154)로부터 입력된 신호에 따라 액정의 뭉침이 검출되지 않는 경우 정상적인 액정의 적하상태라고 판단하여 액정의 적하를 계속 진행한다(S302).As shown in FIG. 16, as the liquid crystal drop begins, the second sensor 154 starts to detect liquid crystal agglomeration on the surface of the nozzle 150 (S301). The signal output from the second sensor 154 is input to the controller 200, and when the aggregation of the liquid crystal is not detected according to the signal input from the second sensor 154, the drop of the normal liquid crystal is normal. It is determined that the state of the liquid crystal is continued to drop (S302).

액정이 진행중 제2센서(154)에 의해 노즐(150) 표면에서의 액정뭉침이 검출 되면, 제어부(200)는 모터구동부(205)에 제어신호를 출력하여 제1모터(131)를 정지하여 액정의 적하를 중지한다(S303).When the liquid crystal is detected on the surface of the nozzle 150 by the second sensor 154 while the liquid crystal is in progress, the controller 200 outputs a control signal to the motor driving unit 205 to stop the first motor 131 and The dripping is stopped (S303).

이와 동시에 제어부(200)는 모터구동부(205)와 기판구동부(206)를 구동하여 기판의 빈영역(즉, 액정패널이 형성되지 않는 영역)이나 측정컵 또는 별도의 수거용기(더미적하용 용기)에 액정을 적하하여(더미적하하여) 노즐(150)의 표면에 뭉친 액정을 제거한다(S304). 또한, 더미적하하는 대신 세정장치 구동부(210)에 제어신호를 출력하여 세정장치(220)를 구동하여 노즐(150) 표면에 뭉친 액정을 제거할 수도 있다(S305). 이때, 상기 더미적하와 세정장치에 의해 세정을 실행하여(더미적하후 세정) 노즐(150) 표면의 액정을 제거할 수도 있을 것이다.At the same time, the control unit 200 drives the motor driving unit 205 and the substrate driving unit 206 to provide an empty area of the substrate (ie, an area where no liquid crystal panel is formed), a measuring cup, or a separate container (dummy container). The liquid crystal is added dropwise (dummy drop) to remove the liquid crystal aggregated on the surface of the nozzle 150 (S304). In addition, instead of performing a dummy drop, a control signal may be output to the cleaning device driver 210 to drive the cleaning device 220 to remove liquid crystals agglomerated on the surface of the nozzle 150 (S305). At this time, the liquid crystals on the surface of the nozzle 150 may be removed by cleaning by the dummy dropping and washing apparatus (dummy drop cleaning).

상기한 바와 같이, 본 발명에서는 노즐의 표면에 뭉치는 액정을 효과적으로 제거할 수 있게 된다. 이러한 본 발명은 액정이 적하되는 노즐이 구비되어 있다면 어떠한 구조의 액정적하장치에도 적용할 수 있을 것이다. 또한, 노즐의 구조와 관계없이 액정뭉침 검출용 센서를 설치할 수 있으므로, 다양한 구조의 노즐에도 적용할 수 있을 것이다. 더욱이, 스테인리스강 등으로 이루어진 노즐 뿐만 아니라 불소수지로 이루어진 일회용 노즐에도 사용할 수 있을 것이다.As described above, in the present invention, it is possible to effectively remove the liquid crystals agglomerated on the surface of the nozzle. The present invention may be applied to any liquid crystal dropping device having any structure provided that a nozzle for dropping liquid crystals is provided. In addition, since the sensor for detecting the liquid crystal aggregation can be provided regardless of the structure of the nozzle, it may be applied to nozzles of various structures. Moreover, it may be used not only for the nozzle made of stainless steel, but also for the disposable nozzle made of fluorocarbon resin.

상술한 바와 같이, 본 발명에서는 상술한 바와 같이, 본 발명에서는 노즐 주위에 센서를 설치하여 액정표면에 뭉치는 액정을 검출한 후 더미적하나 세정장치에 의해 뭉친 액정을 제거할 수 있게 된다. 따라서, 노즐 표면의 액정에 의해 적하불량이 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있을 것이다.As described above, in the present invention, as described above, in the present invention, a sensor is installed around the nozzle to detect liquid crystals agglomerating on the surface of the liquid crystal, and thus, the liquid crystals can be removed by a dummy or cleaning device. Therefore, the dropping failure may be effectively prevented by the liquid crystal on the nozzle surface.

Claims (27)

액정이 충진된 용기;A container filled with liquid crystal; 상기 용기에 충진된 액정을 흡입하여 토출하는 토출펌프;A discharge pump for sucking and discharging the liquid crystal filled in the container; 상기 토출펌프로부터 토출된 액정을 기판으로 적하하는 노즐;A nozzle for dropping the liquid crystal discharged from the discharge pump onto a substrate; 모터를 구동하여 토출펌프를 작동시키는 모터구동부;A motor driving unit driving the motor to operate the discharge pump; 기판을 구동하여 액정의 적하위치를 노즐과 정렬시키는 기판구동부;A substrate driver for driving the substrate to align the dropping position of the liquid crystal with the nozzle; 노즐 표면에 액정이 뭉치는 경우 제어부에 의해 작동되어 더미영역에 액정을 적하시키는 더미실행부;A dummy execution unit operated by the control unit to drop the liquid crystal onto the dummy area when the liquid crystals are accumulated on the nozzle surface; 상기 노즐 근처에 설치되어 노즐 표면의 액정뭉침을 감지하는 감지수단; 및Sensing means installed near the nozzle to detect liquid crystal agglomeration on the nozzle surface; And 상기 감지수단에 의해 액정뭉침이 감지되면 액정의 적하를 중지한 후 더미실행부를 작동시켜 뭉친 액정을 제거하는 제어부로 구성된 액정적하장치.And a control unit configured to remove the liquid crystals by stopping the dropping of the liquid crystals by operating the dummy execution unit when the liquid crystals are detected by the sensing means. 제1항에 있어서, 상기 토출펌프는,The method of claim 1, wherein the discharge pump, 실린더;cylinder; 상기 실린더 내에 삽입되며, 하부의 일정 영역에 홈이 형성되어 회전 및 상하운동함에 따라 액정을 흡입하고 토출하는 피스톤;A piston which is inserted into the cylinder and has a groove formed in a predetermined region of the lower portion to suck and discharge the liquid crystal as the rotary and vertical movements occur; 상기 피스톤이 운동함에 따라 액정이 흡입되고 토출되는 흡입구 및 토출구로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정적하장치.And a suction port and a discharge port through which the liquid crystal is sucked and discharged as the piston moves. 제2항에 있어서, 상기 토출펌프가 고정되는 고정부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.The liquid crystal dropping device of claim 2, further comprising a fixing part to which the discharge pump is fixed. 제3항에 있어서, 상기 고정부는 토출펌프의 피스톤이 고정되어 피스톤을 회전운동시키는 회전부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.The liquid crystal dropping apparatus of claim 3, wherein the fixing unit includes a rotating member to which the piston of the discharge pump is fixed to rotate the piston. 제4항에 있어서, 상기 피스톤에는 바가 형성되고 회전부재에는 홀이 형성되어 상기 바와 홀이 결합됨에 따라 피스톤이 회전부재에 고정되는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.The liquid crystal dropping apparatus of claim 4, wherein a bar is formed in the piston, and a hole is formed in the rotating member, and the piston is fixed to the rotating member as the bar and the hole are coupled to each other. 제5항에 있어서, 상기 바는 홀에 회동가능하게 삽입되는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.The liquid crystal dropping apparatus according to claim 5, wherein the bar is rotatably inserted into the hole. 제4항에 있어서, 상기 토출펌프의 액정용적량은 피스톤이 회전부재에 고정되는 각도에 따라 달라지는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.The liquid crystal dropping apparatus according to claim 4, wherein the liquid crystal volume of the discharge pump varies depending on an angle at which the piston is fixed to the rotating member. 제1항에 있어서, 상기 토출펌프와 접촉하여 토출펌프의 고정각도를 변화시켜 액정의 토출량을 조절하는 액정용적량 조절부재를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.The liquid crystal dropping apparatus according to claim 1, further comprising a liquid crystal volume adjusting member for contacting the discharge pump to change a fixed angle of the discharge pump to adjust the discharge amount of the liquid crystal. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 액정용적량 조절부재를 구동하는 모터; 및A motor for driving the liquid crystal volume adjusting member; And 상기 액정용적량 조절부재와 나사결합되어 모터가 구동함에 따라 회전하여 상기 액정용적량 조절부재를 직선운동시키는 회전축을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.And a rotating shaft which is screwed with the liquid crystal volume adjusting member and rotates as the motor is driven to linearly move the liquid crystal volume adjusting member. 제1항에 있어서, 상기 감지수단은 포토커플러인 것을 특징으로 하는 액정적하장치.The liquid crystal dropping apparatus according to claim 1, wherein the sensing means is a photocoupler. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 더미영역은 기판에서 액정패널이 형성되지 않는 영역인 것을 특징으로 하는 액정적하장치.The liquid crystal dropping apparatus of claim 1, wherein the dummy region is a region in which a liquid crystal panel is not formed on a substrate. 제1항에 있어서, 상기 더미영역은 적하량 측정컵인 것을 특징으로 하는 액정적하장치.The liquid crystal dropping apparatus according to claim 1, wherein the dummy region is a drop measuring cup. 제1항에 있어서, 노즐표면에 뭉친 액정을 제거하는 세정수단을 추가로 포함 하는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.The liquid crystal dropping apparatus according to claim 1, further comprising cleaning means for removing liquid crystals agglomerated on the nozzle surface. 제14항에 있어서, 상기 세정수단은,The method of claim 14, wherein the cleaning means, 본체; 및main body; And 진공펌프에 연결되어 상기 진공펌프가 작동함에 따라 진공상태로 되어 노즐 표면에 뭉친 액정을 흡입하는 흡입관으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정적하장치.And a suction pipe connected to a vacuum pump to be in a vacuum state as the vacuum pump operates to suck liquid crystals agglomerated on the nozzle surface. 제15항에 있어서, 상기 세정수단은 상기 흡입관에 연결되어 흡입관으로 흡입되는 액정을 수납하는 수납조를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정적하장치.16. The liquid crystal dropping apparatus according to claim 15, wherein the cleaning means further includes a storage tank connected to the suction pipe to accommodate liquid crystal sucked into the suction pipe. 액정이 충진된 용기;A container filled with liquid crystal; 상기 용기에 충진된 액정을 흡입하여 토출하는 토출펌프;A discharge pump for sucking and discharging the liquid crystal filled in the container; 상기 토출펌프로부터 토출된 액정을 기판으로 적하하는 노즐;A nozzle for dropping the liquid crystal discharged from the discharge pump onto a substrate; 모터를 구동하여 토출펌프를 작동시키는 모터구동부;A motor driving unit driving the motor to operate the discharge pump; 기판을 구동하여 액정의 적하위치를 노즐과 정렬시키는 기판구동부;A substrate driver for driving the substrate to align the dropping position of the liquid crystal with the nozzle; 상기 노즐 근처에 설치되어 노즐 표면의 액정뭉침을 감지하는 감지수단;Sensing means installed near the nozzle to detect liquid crystal agglomeration on the nozzle surface; 노즐 표면에 액정이 뭉치는 경우 노즐표면을 세정하는 세정수단을 구동시키는 세정수단 구동부; 및A cleaning means driving unit for driving cleaning means for cleaning the nozzle surface when the liquid crystals stick to the nozzle surface; And 상기 감지수단에 의해 액정뭉침이 감지되면 액정의 적하를 중지한 후 세정수단 구동부에 신호를 출력하여 액정을 제거하는 제어부로 구성된 액정적하장치.And a control unit configured to remove the liquid crystal by outputting a signal to the cleaning means driving unit after stopping the dropping of the liquid crystal when the liquid crystal aggregation is detected by the sensing means. 제1항 또는 제17항에 있어서, 상기 노즐은 스테인레스강으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정적하장치.18. The liquid crystal dropping apparatus according to claim 1 or 17, wherein the nozzle is made of stainless steel. 제1항 또는 제17항에 있어서, 상기 노즐은 일회용인 것을 특징으로 하는 액정적하장치.18. The liquid crystal dropping apparatus according to claim 1 or 17, wherein the nozzle is disposable. 제19항에 있어서, 상기 노즐은 불소수지로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정적하장치.20. The liquid crystal dropping apparatus according to claim 19, wherein the nozzle is made of a fluorine resin. 기판에 형성된 액정패널로의 액정 적하시 액정적하기의 노즐 표면에 액정이 뭉치는 것을 감지하는 단계;Detecting liquid crystal agglomeration on the nozzle surface of the liquid crystal dropping when the liquid crystal is dropped onto the liquid crystal panel formed on the substrate; 액정의 뭉침이 감지되는 경우 액정적하를 중지하는 단계;Stopping liquid crystal dropping when agglomeration of liquid crystals is detected; 더미적하하여 노즐 표면에 뭉친 액정을 제거하는 단계; 및Performing a dripping to remove the liquid crystal aggregated on the nozzle surface; And 액정 적하를 진행하는 단계로 구성된 액정적하방법.Liquid crystal dropping method comprising the steps of proceeding the liquid crystal dropping. 제21항에 있어서, 상기 액정적하기는,The method of claim 21, wherein the liquid crystal 액정이 충진된 용기;A container filled with liquid crystal; 상기 용기에 충진된 액정을 흡입하여 토출하는 토출펌프;A discharge pump for sucking and discharging the liquid crystal filled in the container; 상기 토출펌프로부터 토출된 액정을 기판으로 적하하는 노즐; 및A nozzle for dropping the liquid crystal discharged from the discharge pump onto a substrate; And 상기 노즐 근처에 설치되어 노즐 표면의 액정뭉침을 감지하는 감지수단으로 구성된 액정적하방법.And a sensing means installed near the nozzle and configured to detect liquid crystal agglomeration on the nozzle surface. 제21항에 있어서, 상기 더미적하하는 단계는,The method of claim 21, wherein the step of dummy loading, 기판의 액정패널이 형성되지 않은 영역과 노즐을 정렬시키는 단계; 및Aligning the nozzle with a region where the liquid crystal panel of the substrate is not formed; And 액정을 적하하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정적하방법.Liquid crystal dropping method comprising the step of dropping the liquid crystal. 제21항에 있어서, 상기 더미적하하는 단계는,The method of claim 21, wherein the step of dummy loading, 노즐과 액정수납용 용기를 정렬시키는 단계; 및Aligning the nozzle and the container for liquid crystal storage; And 액정을 적하하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정적하방법.Liquid crystal dropping method comprising the step of dropping the liquid crystal. 제21항에 있어서, 세정수단으로 노즐 표면의 액정을 제거하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정적하방법.22. The liquid crystal dropping method according to claim 21, further comprising the step of removing liquid crystal on the nozzle surface with cleaning means. 제25항에 있어서, 상기 세정수단은,The method of claim 25, wherein the cleaning means, 본체; 및main body; And 진공펌프에 연결되어 상기 진공펌프가 작동함에 따라 진공상태로 되어 노즐 표면에 뭉친 액정을 흡입하는 흡입관으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정적하방법.And a suction tube connected to a vacuum pump to be in a vacuum state as the vacuum pump operates to suck liquid crystals agglomerated on the nozzle surface. 기판에 형성된 액정패널로의 액정 적하시 포토커플러에 의해 액정적하기의 노즐 표면에 액정이 뭉치는 것을 감지하는 단계;Detecting liquid crystal agglomeration on the nozzle surface of the liquid crystal drop by a photocoupler when the liquid crystal is dropped onto the liquid crystal panel formed on the substrate; 액정의 뭉침이 감지되는 경우 액정적하를 중지하는 단계;Stopping liquid crystal dropping when agglomeration of liquid crystals is detected; 본체와 진공펌프에 연결되어 상기 진공펌프가 작동함에 따라 진공상태로 되어 노즐 표면에 뭉친 액정을 흡입하는 흡입관으로 이루어진 세정수단으로 노즐 표면의 액정을 제거하는 단계: 및Removing the liquid crystal on the nozzle surface by the cleaning means consisting of a suction pipe which is connected to the main body and the vacuum pump and the vacuum pump is operated to suck the liquid crystal agglomerated on the nozzle surface; and 액정 적하를 진행하는 단계로 구성된 액정적하방법.Liquid crystal dropping method comprising the steps of proceeding the liquid crystal dropping.
KR1020030085739A 2003-11-17 2003-11-28 Apparatus and method of dispensing liquid crystal KR101131249B1 (en)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030085739A KR101131249B1 (en) 2003-11-28 2003-11-28 Apparatus and method of dispensing liquid crystal
CNB2004100738479A CN100362399C (en) 2003-11-17 2004-09-06 Liquid crystal distributing method and device thereof
TW093132568A TWI302613B (en) 2003-11-17 2004-10-27 Apparatus of dispensing liquid crystal
US10/988,834 US7316248B2 (en) 2003-11-17 2004-11-16 Apparatus and method of dispensing liquid crystal
DE102004055287A DE102004055287B4 (en) 2003-11-17 2004-11-16 Device for dispensing a liquid crystal
JP2004333093A JP4119418B2 (en) 2003-11-17 2004-11-17 Liquid crystal dropping device and liquid crystal dropping method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020030085739A KR101131249B1 (en) 2003-11-28 2003-11-28 Apparatus and method of dispensing liquid crystal

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050052572A KR20050052572A (en) 2005-06-03
KR101131249B1 true KR101131249B1 (en) 2012-03-30

Family

ID=37248452

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020030085739A KR101131249B1 (en) 2003-11-17 2003-11-28 Apparatus and method of dispensing liquid crystal

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101131249B1 (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20010043864A1 (en) 2000-03-07 2001-11-22 Teruo Maruyama Fluid discharge device and fluid discharge method

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20010043864A1 (en) 2000-03-07 2001-11-22 Teruo Maruyama Fluid discharge device and fluid discharge method

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050052572A (en) 2005-06-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100505180B1 (en) A liquid crystal dispensing apparatus with a nozzle cleaning device and a method of dispensing liquid crystal using thereof
JP4180607B2 (en) Liquid crystal dropping apparatus and liquid crystal dropping method using spacer information
KR100996576B1 (en) Liquid crystal dispensing system and method of dispensing liquid crystal material using thereof
KR100495476B1 (en) Liquid crystal dispensing system
JP4119418B2 (en) Liquid crystal dropping device and liquid crystal dropping method
KR100966451B1 (en) Liquid crystal dispensing apparatus
KR101010450B1 (en) Liquid crystal dispensing system
KR100987910B1 (en) An apparatus and method of dispensing liquid crystal
KR100557500B1 (en) Liquid crystal dispensing system which can read information of liqid crystal container and method of dispensing liquid crystal material using thereof
KR100960454B1 (en) Liquid crystal dispensing apparatus having filter
KR101131249B1 (en) Apparatus and method of dispensing liquid crystal
KR100996554B1 (en) Liquid crystal dispensing apparatus having a separatable liquid crystal discharging pump
KR100966423B1 (en) Apparatus for dispensing liquid crystal capable to measure remaining amount of liquid crystal
KR100978258B1 (en) Apparatus and method of dispensing liquid crystal
KR100934835B1 (en) Liquid crystal dropping device with disposable nozzle
KR100532088B1 (en) Liquid crystal dispensing apparatus
KR101015344B1 (en) System and method of dispensing liquid crystal and method of fabricating liquid crystal display device using thereof
KR101003575B1 (en) Liquid crystal dispensing apparatus for separating and assembling easily pump module
KR101186866B1 (en) Liquid crystal dispensing apparatus and method of fabricationg using thereof
KR101265086B1 (en) Liquid crystal dispense device having liquid crystal dispenser
KR100672252B1 (en) Apparatus for dispensing liquid crystal and method of dispensing liquid crystal using thereof
KR20120064065A (en) Liquid crystal dispensing apparatus and method of fabricationg using thereof
KR20080076378A (en) System and method of dispensing liquid crystal and method of fabricating liquid crystal display device using thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141215

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151125

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170118

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180122

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190121

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200120

Year of fee payment: 9