KR101124018B1 - apparatus for measurement of aspheric surface - Google Patents

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Abstract

본 발명에 의한 비구면 렌즈 측정장치는, 입사광을 발생시켜 되돌아온 참조광과 시험광의 간섭을 측정하는 간섭계; 상기 입사광으로부터 상기 참조광을 반사시키고, 상기 시험광을 통과시키는 제1반사면; 상기 제1반사면을 통과한 시험광이 통과할 수 있도록 시험렌즈를 장착하기 위한 렌즈 장착부; 상기 시험렌즈를 통과한 시험광을 수렴 또는 발산시키기 위한 보조렌즈; 및 상기 보조렌즈를 통과한 시험광의 파면을 보정하고, 회절을 일으켜 반사시키기 위하여 컴퓨터 생성 홀로그램(computer generated hologram, CGH)이 일면에 형성된 제2반사면;을 포함한다.An aspherical lens measuring apparatus according to the present invention comprises: an interferometer for measuring interference between reference light and test light returned by generating incident light; A first reflection surface reflecting the reference light from the incident light and passing the test light; A lens mounting unit for mounting a test lens to allow the test light passing through the first reflective surface to pass therethrough; An auxiliary lens for converging or diverging the test light passing through the test lens; And a second reflecting surface having a computer generated hologram (CGH) formed on one surface thereof to correct the wavefront of the test light passing through the auxiliary lens and to reflect and cause diffraction.

컴퓨터 생성 홀로그램(computer generated hologram, CGH) Computer generated hologram (CGH)

Description

비구면 렌즈 측정장치{apparatus for measurement of aspheric surface}Aspheric lens measuring device {apparatus for measurement of aspheric surface}

본 발명은 비구면 렌즈 측정장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 구성이 간단하고 측정될 시험렌즈의 장착이 용이한 비구면 렌즈 측정장치에 관한 것이다.The present invention relates to an aspherical lens measuring apparatus, and more particularly, to an aspherical lens measuring apparatus having a simple configuration and easy mounting of a test lens to be measured.

정전 방식을 사용하는 디지털 복사기나 레이져 프린터 및 카메라 등에 사용되는 광학 소자로서 플라스틱 재료로 제조되는 성형 렌즈가 보급되고 있다. 이러한 플라스틱 성형 렌즈는, 유리 연마 렌즈에 비해 비구면 렌즈의 제작성이 뛰어나고 저렴하지만, 굴절률의 분포가 불안정해 렌즈 내부에 불균질성을 일으키는 경우가 많다. 렌즈 내부의 굴절률의 불균질성은 광학 특성에 큰 영향을 미쳐, 결상 성능을 열화 시키는 원인이 될 우려가 있다. 따라서, 플라스틱 렌즈의 품질 안정화를 위해서는, 굴절률의 분포를 정밀하게 측정할 필요가 있다.BACKGROUND ART Optical lenses used in digital copiers, laser printers and cameras using electrostatic methods, and molded lenses made of plastic materials have been widely used. Such plastic molded lenses are excellent in production and inexpensive aspherical lenses in comparison with glass polished lenses, but are often uneven in the lens due to unstable distribution of refractive indices. The heterogeneity of the refractive index inside the lens has a great influence on the optical properties, which may cause deterioration of the imaging performance. Therefore, in order to stabilize the quality of a plastic lens, it is necessary to measure the distribution of refractive index precisely.

일반적으로 비구면 렌즈의 굴절률을 측정하기 위하여 피조 간섭계(Fizeau interferometer)를 포함한 측정장치가 사용된다. 피조 간섭계는 굴절률을 측정할 시험렌즈에 레이저와 같은 입사광을 투사한 후 이를 시험렌즈를 통과시킨 뒤 반사면에 의해 반사된 시험광과 시험렌즈를 통과하지 않은 참조광을 서로 중첩시키면 간섭 무늬가 발생하게 되며, 이러한 간섭 무늬를 분석하여 시험렌즈의 굴절률 분포를 정밀하게 측정하는 장치이다. 이러한 피조 간섭계와 함께 다수의 광학 소자가 배열된 광학계를 포함하는 비구면 측정장치를 사용하여 비구면 렌즈의 굴절률을 측정할 수 있다.In general, a measuring device including a Fizeau interferometer is used to measure the refractive index of an aspherical lens. The created interferometer projects an incident light such as a laser onto the test lens to measure the refractive index, passes it through the test lens, and then overlaps the test light reflected by the reflective surface and the reference light not passing through the test lens to generate an interference fringe. The interference fringes are analyzed to accurately measure the refractive index distribution of the test lens. The refractive index of an aspherical lens can be measured using an aspherical measuring device including an optical system in which a plurality of optical elements are arranged together with the created interferometer.

종래의 피조 간섭계를 포함하는 비구면 렌즈 측정장치의 경우 참조광 및 시험광을 생성하기 위해 비구면을 통과한 파면을 펴서 간섭무늬를 형성하도록 해야하는데, 광학소자들의 구성 및 배열이 복잡하고, 시험렌즈가 장착될 공간이 협소하여 시험렌즈의 장착 및 교체가 어려운 문제점이 발생할 수 있어 이에 대한 개선이 요구되는 상황이다.Aspheric lens measuring apparatus including a conventional interferometer has to spread the wavefront passing through the aspherical surface to form the reference pattern and the test light to form an interference pattern, the configuration and arrangement of the optical elements is complicated, the test lens is mounted It is difficult to install and replace the test lens due to the small space.

본 발명의 목적은, 피조 간섭계의 외부에 배열되는 광학 소자의 구성을 간단히 하여 시험렌즈의 장착 및 교체가 용이한 비구면 렌즈 측정장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an aspherical lens measuring apparatus that is easy to mount and replace a test lens by simplifying the configuration of an optical element arranged outside of a created interferometer.

본 발명의 일 실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치는, 입사광을 발생시켜 되돌아온 참조광과 시험광의 간섭을 측정하는 간섭계; 상기 입사광으로부터 상기 참조광을 반사시키고, 상기 시험광을 통과시키는 제1반사면; 상기 제1반사면을 통과한 시험광이 통과할 수 있도록 시험렌즈를 장착하기 위한 렌즈 장착부; 상기 시험렌즈를 통과한 시험광을 수렴 또는 발산시키기 위한 보조렌즈; 및 상기 보조렌즈를 통과한 시험광의 파면을 보정하고, 회절을 일으켜 반사시키기 위하여 컴퓨터 생성 홀로그램(computer generated hologram, CGH)이 일면에 형성된 제2반사면;을 포함할 수 있다.An aspherical lens measuring apparatus according to an embodiment of the present invention, the interferometer for measuring the interference of the reference light and the test light returned by generating the incident light; A first reflection surface reflecting the reference light from the incident light and passing the test light; A lens mounting unit for mounting a test lens to allow the test light passing through the first reflective surface to pass therethrough; An auxiliary lens for converging or diverging the test light passing through the test lens; And a second reflecting surface having a computer generated hologram (CGH) formed on one surface thereof to correct the wavefront of the test light passing through the auxiliary lens and to reflect and diffract.

본 발명의 다른 실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 제1반사면은 0의 굴절력을 갖고, 상기 보조렌즈는 부의 굴절력을 가질 수 있다.The first reflective surface of the aspherical lens measuring apparatus according to another embodiment of the present invention may have a refractive power of zero, and the auxiliary lens may have a negative refractive power.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 제1반사면은 0의 굴절력을 갖고, 상기 보조렌즈는 정의 굴절력을 가질 수 있다.The first reflective surface of the aspherical lens measuring apparatus according to another embodiment of the present invention may have a refractive power of zero, and the auxiliary lens may have a positive refractive power.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치는, 상기 제1반사면 과 렌즈 장착부 사이에 배치되는 정의 굴절력을 갖는 한 쌍의 필터보조렌즈; 및 상기 한 쌍의 필터보조렌즈 사이에 배치되어 0차 회절광을 제거하기 위한 공간 필터;를 더 포함할 수 있다.Aspheric lens measuring apparatus according to another embodiment of the present invention, a pair of filter auxiliary lens having a positive refractive power disposed between the first reflecting surface and the lens mounting portion; And a spatial filter disposed between the pair of filter auxiliary lenses to remove zero-order diffracted light.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 제1반사면은 정의 굴절력을 갖고, 상기 보조렌즈는 부의 굴절력을 가질 수 있다.The first reflecting surface of the aspherical lens measuring apparatus according to another embodiment of the present invention may have a positive refractive power, the auxiliary lens may have a negative refractive power.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 제1반사면 및 보조렌즈는 정의 굴절력을 가질 수 있다.The first reflecting surface and the auxiliary lens of the aspherical lens measuring apparatus according to another embodiment of the present invention may have positive refractive power.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치는, 상기 제1반사면과 렌즈 장착부 사이에 배치되어 0차 회절광을 제거하기 위한 공간 필터;를 더 포함할 수 있다.An aspherical lens measuring apparatus according to another embodiment of the present invention may further include a spatial filter disposed between the first reflecting surface and the lens mounting unit to remove zero-order diffracted light.

본 발명에 의한 비구면 렌즈 측정장치는 컴퓨터 생성 홀로그램(computer generated hologram, CGH)이 일면에 형성된 반사경을 사용함으로써 광학계의 구성이 간단해질 수 있다.In the aspherical lens measuring apparatus according to the present invention, the configuration of the optical system can be simplified by using a reflector formed on one surface of a computer generated hologram (CGH).

따라서, 시험렌즈의 장착을 위한 충분한 공간의 확보가 가능하여 시험렌즈의 장착 및 교체가 용이한 비구면 렌즈 측정장치를 제공할 수 있다.Therefore, it is possible to provide sufficient space for the mounting of the test lens to provide an aspherical lens measuring apparatus that can be easily mounted and replaced the test lens.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. However, in describing the preferred embodiment of the present invention in detail, if it is determined that the detailed description of the related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.In addition, the same reference numerals are used throughout the drawings for parts having similar functions and functions.

덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결'되어 있다고 할 때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.In addition, in the entire specification, when a part is referred to as being 'connected' to another part, it may be referred to as 'indirectly connected' not only with 'directly connected' . Also, to "include" an element means that it may include other elements, rather than excluding other elements, unless specifically stated otherwise.

도 1a는 본 발명의 제1실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 구성도이다.1A is a block diagram of an aspherical lens measuring apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 1a를 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치는, 피조 간섭계 본체(100) 및 제1반사면(210), 보조렌즈(220), 및 제2반사면(230)을 포함할 수 있다. 또한, 측정대상인 시험렌즈(T)는 상기 제1반사면(210)과 보조렌즈(220) 사이에 배치될 수 있다.Referring to FIG. 1A, an aspherical lens measuring apparatus according to a first exemplary embodiment of the present invention may include an interferometer body 100, a first reflecting surface 210, an auxiliary lens 220, and a second reflecting surface 230. It may include. In addition, the test lens T to be measured may be disposed between the first reflecting surface 210 and the auxiliary lens 220.

상기 피조 간섭계 본체(100)는, 레이저 발진기(110), 빔 스플리터(120), 콜리메이팅 렌즈(130), 및 측정센서(140)를 포함할 수 있다.The created interferometer body 100 may include a laser oscillator 110, a beam splitter 120, a collimating lens 130, and a measurement sensor 140.

상기 레이저 발진기(110)로부터 조사된 레이저 빔은 상기 콜리메이팅 렌즈(130)에 의해 평행한 입사광이 된다. 입사광은 상기 제1반사면(210)에서 일부가 반사되어 참조광이 되어 다시 상기 피조 간섭계 본체(100)의 내부로 진행하고, 일부는 상기 제1반사면(210)을 통과하여 시험광이 된다.The laser beam irradiated from the laser oscillator 110 becomes incident light in parallel by the collimating lens 130. The incident light is partially reflected by the first reflecting surface 210 and becomes a reference light, and then proceeds to the inside of the created interferometer body 100 again, and a part of the incident light passes through the first reflecting surface 210 and becomes test light.

상기 제1반사면(210)과 보조렌즈(220) 사이에는 시험렌즈(T)를 장착할 수 있는 렌즈 장착부(미도시)가 구비될 수 있다.A lens mounting part (not shown) may be provided between the first reflecting surface 210 and the auxiliary lens 220 to mount the test lens T.

상기 제1반사면(210)을 통과한 시험광은 시험렌즈(T) 및 보조렌즈(220)를 차례로 통과한 후 상기 제2반사면(230)에서 반사되어 다시 순서대로 보조렌즈(220), 시험렌즈(T) 및 제1반사면(210)을 통과하여 상기 피조 간섭계 본체(100)로 진행할 수 있다.The test light passing through the first reflecting surface 210 passes through the test lens T and the auxiliary lens 220 in sequence, and then is reflected from the second reflecting surface 230 and again returns to the auxiliary lens 220 in order. The test lens may pass through the first reflecting surface 210 and may proceed to the created interferometer body 100.

피조 간섭계 본체(100) 내부로 진행한 참조광 및 시험광은 상기 빔 스플리터(120)에 의해 경로가 변경되어 상기 측정센서(140)로 진행하게 된다.The reference light and the test light propagated into the created interferometer main body 100 are changed by the beam splitter 120 so as to travel to the measurement sensor 140.

상기 측정센서(140)에서는 참조광 및 시험광에 의하여 발생하는 간섭무늬를 분석하여 시험렌즈(T)의 면의 굴절률을 측정할 수 있다.The measurement sensor 140 may measure the refractive index of the surface of the test lens T by analyzing the interference fringes generated by the reference light and the test light.

본 발명의 제1실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치는 정의 굴절력을 가지는 시험렌즈(T)의 굴절률을 측정하기 위한 구성을 가진다.The aspherical lens measuring apparatus according to the first embodiment of the present invention has a configuration for measuring the refractive index of the test lens (T) having a positive refractive power.

구체적으로는, 평평한 상기 제1반사면(210)을 통과하여 평행하게 진행하는 시험광은 상기 시험렌즈(T)를 통과하여 수렴하게 된다. 그리고 다시 부의 굴절력을 가지는 상기 보조렌즈(220)를 통과함으로써 상기 제2반사면(230)에 평행하게 입사 할 수 있다. 이와 같이 시험렌즈(T)를 통과한 시험광의 파면을 확대하고 시준하는 보조렌즈(220)를 사용함으로써 상기 제2반사면(230)의 정렬이 용이하여 상기 시험렌즈(T) 장착을 위한 공간의 확보가 가능하다.Specifically, the test light that passes in parallel through the flat first reflection surface 210 converges through the test lens T. In addition, the light may pass in parallel to the second reflection surface 230 by passing through the auxiliary lens 220 having negative refractive power. In this way, by using the auxiliary lens 220 for enlarging and collimating the wavefront of the test light passing through the test lens T, the second reflecting surface 230 is easily aligned, thereby providing a space for mounting the test lens T. It can be secured.

상기 제2반사면(230)의 일면에 형성된 컴퓨터 생성 홀로그램(computer generated hologram, 이하 CGH)은 광학소자를 투과한 파면수차를 포함한 광속의 파면을 보정하는 역할을 한다.A computer generated hologram (hereinafter referred to as CGH) formed on one surface of the second reflective surface 230 serves to correct the wavefront of the light beam including wavefront aberration transmitted through the optical element.

본 발명의 제1실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치에서는 반사형 CGH를 제2반사면(230)으로 사용함으로써 구성 광학소자의 수를 줄일 수 있고 정렬의 번거로움을 피할 수 있다. 또한, 일반적으로 사용하는 투과형 CGH에 비하여 반사형 CGH는 제작이 용이하고 비용이 절감되며 CGH를 형성하기 위한 소재 선택의 자유도가 증가한다.In the aspherical lens measuring apparatus according to the first embodiment of the present invention, by using the reflective CGH as the second reflecting surface 230, the number of constituent optical elements can be reduced and the trouble of alignment can be avoided. In addition, the reflective CGH is easier to manufacture, the cost is reduced, and more freedom of material selection to form the CGH compared to the commonly used transmission type CGH.

반사형 CGH인 상기 제2반사면(230)은 예를 들어, 마스크를 제작한 후 크롬(Cr) 코팅된 실리콘 기판에 접촉 노광 방식으로 CGH 패턴을 새기는 방법을 사용함으로써 기존의 레이저 다이렉트 라이팅(laser direct writing) 방식에 비해 제조비용을 절감할 수 있다.The second reflective surface 230, which is a reflective CGH, is a conventional laser direct lighter, for example, by using a method of engraving a CGH pattern on a chromium (Cr) coated silicon substrate by a contact exposure method after fabricating a mask. The manufacturing cost can be reduced compared to the direct writing method.

도 1b는 본 발명의 제2실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 부분 구성도이다.1B is a partial configuration diagram of an aspherical lens measuring apparatus according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 1b를 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치는 상기 제1실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치와 비교하여 제1반사면(210)과 시험렌 즈(T) 사이에 정의 굴절력을 가지는 한 쌍의 필터보조렌즈(310a, 310b) 및 상기 한 쌍의 필터보조렌즈(310a, 310b) 사이에 구비되는 공간필터(320)를 추가적으로 구비할 수 있다. 따라서, 이하에서는 동일한 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.Referring to FIG. 1B, the aspherical lens measuring apparatus according to the second embodiment of the present invention may be disposed between the first reflecting surface 210 and the test lens T as compared to the aspherical lens measuring apparatus according to the first embodiment. A pair of filter auxiliary lenses 310a and 310b having positive refractive power and a spatial filter 320 provided between the pair of filter auxiliary lenses 310a and 310b may be additionally provided. Therefore, detailed description of the same configuration will be omitted below.

상기 한 쌍의 필터 보조렌즈(310a, 310b)는 상기 제1반사면(210)을 통과하여 평행하게 진행하는 시험광이 상기 공간필터(320)를 통과할 수 있도록 추가적으로 구비되는 구성이다.The pair of filter auxiliary lenses 310a and 310b are additionally provided to allow the test light that passes in parallel to pass through the first reflection surface 210 to pass through the spatial filter 320.

상기 공간필터(320)는 상기 제2반사면(230)에서 반사된 0차 회절광을 걸러내어 0차 회절광이 간섭무늬에 노이즈로 작용하는 것을 방지하는 역할을 한다.The spatial filter 320 filters the zeroth order diffracted light reflected from the second reflective surface 230 to prevent the zeroth order diffracted light from acting as a noise on the interference fringe.

도 2a는 본 발명의 제3실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 구성도이다. 이때, 피조 간섭계 본체(100)는 상기 제1실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 경우와 동일하므로 구체적인 구성의 도시는 생략하였다.2A is a block diagram of an aspherical lens measuring apparatus according to a third exemplary embodiment of the present invention. At this time, the creation interferometer body 100 is the same as the case of the aspherical lens measuring apparatus according to the first embodiment, so a detailed configuration is omitted.

도 2a를 참조하면, 본 발명의 제3실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치는 보조렌즈(220)가 적어도 일면이 볼록한 형상인 정의 굴절력을 갖는 렌즈인 점을 제외하면 상기 제1실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치와 동일하다. 따라서, 이하에서는 동일한 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.Referring to FIG. 2A, the aspherical lens measuring apparatus according to the third exemplary embodiment of the present invention is an aspherical surface according to the first exemplary embodiment except that the auxiliary lens 220 is a lens having positive refractive power in which at least one surface is convex. Same as the lens measuring device. Therefore, detailed description of the same configuration will be omitted below.

본 발명의 제3실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치는 부의 굴절력을 가지는 시험렌즈(T)의 굴절률을 측정하기 위한 구성을 가진다.The aspherical lens measuring apparatus according to the third embodiment of the present invention has a configuration for measuring the refractive index of the test lens T having negative refractive power.

구체적으로는, 평평한 상기 제1반사면(210)을 통과하여 평행하게 진행하는 시험광은 상기 시험렌즈(T)를 통과하여 발산하게 된다. 그리고 다시 정의 굴절력을 가지는 상기 보조렌즈(220)를 통과함으로써 상기 제2반사면(230)에 평행하게 입사할 수 있다. 이와 같이 시험렌즈(T)를 통과한 시험광의 파면을 확대하고 시준하는 보조렌즈(220)를 사용함으로써 상기 제2반사면(230)의 정렬이 용이하여 상기 시험렌즈(T) 장착을 위한 공간의 확보가 가능하다.Specifically, the test light propagating in parallel through the flat first reflective surface 210 is emitted through the test lens T. In addition, the light may pass through the auxiliary lens 220 having a positive refractive power to be incident on the second reflecting surface 230 in parallel. In this way, by using the auxiliary lens 220 for enlarging and collimating the wavefront of the test light passing through the test lens T, the second reflecting surface 230 is easily aligned, thereby providing a space for mounting the test lens T. It can be secured.

도 2b는 본 발명의 제4실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 부분 구성도이다.2B is a partial configuration diagram of an aspherical lens measuring apparatus according to a fourth exemplary embodiment of the present invention.

도 2b를 참조하면, 본 발명의 제4실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치는 상기 제3실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치와 비교하여 제1반사면(210)과 시험렌즈(T) 사이에 정의 굴절력을 가지는 한 쌍의 필터보조렌즈(310a, 310b) 및 상기 한 쌍의 필터보조렌즈(310a, 310b) 사이에 구비되는 공간필터(320)를 추가적으로 구비할 수 있다. 따라서, 이하에서는 동일한 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.Referring to FIG. 2B, the aspherical lens measuring apparatus according to the fourth embodiment of the present invention is defined between the first reflecting surface 210 and the test lens T as compared to the aspherical lens measuring apparatus according to the third embodiment. A pair of filter auxiliary lenses 310a and 310b having refractive power and a spatial filter 320 provided between the pair of filter auxiliary lenses 310a and 310b may be additionally provided. Therefore, detailed description of the same configuration will be omitted below.

상기 한 쌍의 필터 보조렌즈(310a, 310b)는 상기 제1반사면(210)을 통과하여 평행하게 진행하는 시험광이 상기 공간필터(320)를 통과할 수 있도록 추가적으로 구비되는 구성이다.The pair of filter auxiliary lenses 310a and 310b are additionally provided to allow the test light that passes in parallel to pass through the first reflection surface 210 to pass through the spatial filter 320.

상기 공간필터(320)는 상기 제2반사면(230)에서 반사된 0차 회절광을 걸러내어 0차 회절광이 간섭무늬에 노이즈로 작용하는 것을 방지하는 역할을 한다.The spatial filter 320 filters the zeroth order diffracted light reflected from the second reflective surface 230 to prevent the zeroth order diffracted light from acting as a noise on the interference fringe.

도 3a는 본 발명의 제5실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 구성도이다. 이때, 피조 간섭계 본체(100)는 상기 제1실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 경 우와 동일하므로 구체적인 구성의 도시는 생략하였다.3A is a block diagram of an aspherical lens measuring apparatus according to a fifth exemplary embodiment of the present invention. At this time, since the created interferometer body 100 is the same as the aspherical lens measuring apparatus according to the first embodiment, a detailed configuration is omitted.

도 3a를 참조하면, 본 발명의 제5실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치는, 제1반사면(210)이 적어도 한 면이 볼록한 형상으로 정의 굴절력을 가지는 점 및 보조렌즈(220)가 적어도 한 면이 오목한 형상인 부의 굴절력을 갖는 렌즈인 점을 제외하면 상기 제1실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치와 동일하다. 따라서, 이하에서는 동일한 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.Referring to FIG. 3A, in the aspherical lens measuring apparatus according to the fifth embodiment of the present invention, at least one point of the first reflective surface 210 having a positive refractive power in a convex shape and at least one auxiliary lens 220 is convex. The same as the aspherical lens measuring apparatus according to the first embodiment except that the surface is a lens having negative refractive power of a concave shape. Therefore, detailed description of the same configuration will be omitted below.

본 발명의 제5실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치는 정의 굴절력을 가지는 시험렌즈(T)의 굴절률을 측정하기 위한 구성을 가진다.An aspherical lens measuring apparatus according to a fifth embodiment of the present invention has a configuration for measuring the refractive index of the test lens (T) having a positive refractive power.

구체적으로는, 적어도 한 면이 볼록한 상기 제1반사면(210)을 통과하여 수렴하여 진행하는 시험광은 상기 시험렌즈(T)를 통과하여 다시 한 번 수렴하게 된다. 그리고 다시 부의 굴절력을 가지는 상기 보조렌즈(220)를 통과함으로써 상기 제2반사면(230)에 평행하게 입사할 수 있다. 이와 같이 시험렌즈(T)를 통과한 시험광의 파면을 확대하고 시준하는 보조렌즈(220)를 사용함으로써 상기 제2반사면(230)의 정렬이 용이하여 상기 시험렌즈(T) 장착을 위한 공간의 확보가 가능하다.Specifically, the test light that converges and passes through the first reflection surface 210 where at least one surface is convex passes through the test lens T and converges again. In addition, the light may pass in parallel to the second reflection surface 230 by passing through the auxiliary lens 220 having negative refractive power. In this way, by using the auxiliary lens 220 for enlarging and collimating the wavefront of the test light passing through the test lens T, the second reflecting surface 230 is easily aligned, thereby providing a space for mounting the test lens T. It can be secured.

도 3b는 본 발명의 제6실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 부분 구성도이다.3B is a partial configuration diagram of an aspherical lens measuring apparatus according to a sixth exemplary embodiment of the present invention.

도 3b를 참조하면, 본 발명의 제6실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치는 상기 제5실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치와 비교하여 제1반사면(210)과 시험렌즈(T) 사이에 공간필터(320)를 추가적으로 구비할 수 있다. 따라서, 이하에서는 동 일한 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.Referring to FIG. 3B, the aspherical lens measuring apparatus according to the sixth embodiment of the present invention has a space between the first reflecting surface 210 and the test lens T as compared to the aspherical lens measuring apparatus according to the fifth embodiment. The filter 320 may be additionally provided. Therefore, detailed description of the same configuration will be omitted below.

이때, 상기 공간필터(320)를 추가적으로 구비하기 위하여 상기 제5실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치에 비하여 상기 제1반사면(210)과 상기 시험렌즈(T) 사이의 간격을 넓게 할 수 있다.In this case, in order to further include the spatial filter 320, an interval between the first reflecting surface 210 and the test lens T may be wider than that of the aspherical lens measuring apparatus according to the fifth embodiment.

상기 공간필터(320)는 상기 제2반사면(230)에서 반사된 0차 회절광을 걸러내어 0차 회절광이 간섭무늬에 노이즈로 작용하는 것을 방지하는 역할을 한다.The spatial filter 320 filters the zeroth order diffracted light reflected from the second reflective surface 230 to prevent the zeroth order diffracted light from acting as a noise on the interference fringe.

도 4a는 본 발명의 제7실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 구성도이다.4A is a block diagram of an aspherical lens measuring apparatus according to a seventh exemplary embodiment of the present invention.

이때, 피조 간섭계 본체(100)는 상기 제1실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 경우와 동일하므로 구체적인 구성의 도시는 생략하였다.At this time, the creation interferometer body 100 is the same as the case of the aspherical lens measuring apparatus according to the first embodiment, so a detailed configuration is omitted.

도 4a를 참조하면, 본 발명의 제7실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치는, 제1반사면(210)이 적어도 한 면이 볼록한 형상으로 정의 굴절력을 가지는 점 및 보조렌즈(220)가 적어도 한 면이 볼록한 형상인 정의 굴절력을 갖는 렌즈인 점을 제외하면 상기 제1실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치와 동일하다. 따라서, 이하에서는 동일한 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.Referring to FIG. 4A, an aspherical lens measuring apparatus according to a seventh exemplary embodiment of the present invention may include at least one point where the first reflective surface 210 has a positive refractive power in a convex shape and at least one auxiliary lens 220. The same as the aspherical lens measuring apparatus according to the first embodiment except that the surface is a lens having a positive refractive power of the convex shape. Therefore, detailed description of the same configuration will be omitted below.

본 발명의 제7실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치는 부의 굴절력을 가지는 시험렌즈(T)의 굴절률을 측정하기 위한 구성을 가진다.The aspherical lens measuring apparatus according to the seventh embodiment of the present invention has a configuration for measuring the refractive index of the test lens (T) having a negative refractive power.

구체적으로는, 적어도 한 면이 볼록한 상기 제1반사면(210)을 통과하여 수렴하여 진행하는 시험광은 상기 시험렌즈(T)를 통과하여 발산하게 된다. 그리고 다시 정의 굴절력을 가지는 상기 보조렌즈(220)를 통과함으로써 상기 제2반사면(230)에 평행하게 입사할 수 있다. 이와 같이 시험렌즈(T)를 통과한 시험광의 파면을 확대하고 시준하는 보조렌즈(220)를 사용함으로써 상기 제2반사면(230)의 정렬이 용이하여 상기 시험렌즈(T) 장착을 위한 공간의 확보가 가능하다.Specifically, the test light that converges and passes through the first reflection surface 210 having at least one surface convex is emitted through the test lens T. In addition, the light may pass through the auxiliary lens 220 having a positive refractive power to be incident on the second reflecting surface 230 in parallel. In this way, by using the auxiliary lens 220 for enlarging and collimating the wavefront of the test light passing through the test lens T, the second reflecting surface 230 is easily aligned, thereby providing a space for mounting the test lens T. It can be secured.

도 4b는 본 발명의 제8실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 부분 구성도이다.4B is a partial configuration diagram of an aspherical lens measuring apparatus according to an eighth exemplary embodiment of the present invention.

도 4b를 참조하면, 본 발명의 제8실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치는 상기 제7실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치와 비교하여 제1반사면(210)과 시험렌즈(T) 사이에 공간필터(320)를 추가적으로 구비할 수 있다. 따라서, 이하에서는 동일한 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.Referring to FIG. 4B, the aspherical lens measuring apparatus according to the eighth embodiment of the present invention has a space between the first reflecting surface 210 and the test lens T as compared to the aspherical lens measuring apparatus according to the seventh embodiment. The filter 320 may be additionally provided. Therefore, detailed description of the same configuration will be omitted below.

이때, 상기 공간필터(320)를 추가적으로 구비하기 위하여 상기 제7실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치에 비하여 상기 제1반사면(210)과 상기 시험렌즈(T) 사이의 간격을 넓게 할 수 있다.In this case, in order to further include the spatial filter 320, an interval between the first reflecting surface 210 and the test lens T may be wider than that of the aspherical lens measuring apparatus according to the seventh embodiment.

상기 공간필터(320)는 상기 제2반사면(230)에서 반사된 0차 회절광을 걸러내어 0차 회절광이 간섭무늬에 노이즈로 작용하는 것을 방지하는 역할을 한다.The spatial filter 320 filters the zeroth order diffracted light reflected from the second reflective surface 230 to prevent the zeroth order diffracted light from acting as a noise on the interference fringe.

본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니다. 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명에 따른 구성요소를 치환, 변형 및 변경할 수 있다는 것이 명백할 것이다.The present invention is not limited by the above-described embodiment and the accompanying drawings. It will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be substituted, modified, and changed in accordance with the present invention without departing from the spirit of the present invention.

도 1a는 본 발명의 제1실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 구성도,1A is a block diagram of an aspherical lens measuring apparatus according to a first embodiment of the present invention;

도 1b는 본 발명의 제2실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 부분 구성도,1B is a partial configuration diagram of an aspherical lens measuring apparatus according to a second exemplary embodiment of the present invention;

도 2a는 본 발명의 제3실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 구성도,2A is a block diagram of an aspherical lens measuring apparatus according to a third embodiment of the present invention;

도 2b는 본 발명의 제4실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 부분 구성도,2B is a partial configuration diagram of an aspherical lens measuring apparatus according to a fourth exemplary embodiment of the present invention;

도 3a는 본 발명의 제5실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 구성도3A is a configuration diagram of an aspherical lens measuring apparatus according to a fifth exemplary embodiment of the present invention.

도 3b는 본 발명의 제6실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 부분 구성도,3B is a partial configuration diagram of an aspherical lens measuring apparatus according to a sixth embodiment of the present invention;

도 4a는 본 발명의 제7실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 구성도4A is a configuration diagram of an aspherical lens measuring apparatus according to a seventh exemplary embodiment of the present invention.

도 4b는 본 발명의 제8실시예에 따른 비구면 렌즈 측정장치의 부분 구성도이다.4B is a partial configuration diagram of an aspherical lens measuring apparatus according to an eighth exemplary embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 간단한 설명><Brief description of the main parts of the drawing>

100: 피조 간섭계 본체 210: 제1반사면100: interferometer body 210: first reflecting surface

T: 시험렌즈 220: 보조렌즈T: test lens 220: auxiliary lens

230: 제2반사면 310a, 310b: 필터보조렌즈230: second reflecting surface 310a, 310b: filter auxiliary lens

320: 공간필터320: space filter

Claims (7)

입사광을 발생시켜 되돌아온 참조광과 시험광의 간섭을 측정하는 간섭계;An interferometer for measuring the interference between the reference light and the test light returned by generating incident light; 상기 입사광으로부터 상기 참조광을 반사시키고, 상기 시험광을 통과시키는 제1반사면;A first reflection surface reflecting the reference light from the incident light and passing the test light; 상기 제1반사면을 통과한 시험광이 통과할 수 있도록 시험렌즈를 장착하기 위한 렌즈 장착부;A lens mounting unit for mounting a test lens to allow the test light passing through the first reflective surface to pass therethrough; 상기 시험렌즈를 통과한 시험광을 수렴 또는 발산시키기 위한 보조렌즈; 및An auxiliary lens for converging or diverging the test light passing through the test lens; And 상기 보조렌즈를 통과한 시험광의 파면을 보정하고, 회절을 일으켜 반사시키기 위하여 컴퓨터 생성 홀로그램(computer generated hologram, CGH)이 일면에 형성된 제2반사면;A second reflecting surface having a computer generated hologram (CGH) formed on one surface thereof to correct the wavefront of the test light passing through the auxiliary lens and reflect and cause diffraction; 을 포함하는 비구면 렌즈 측정장치.Aspheric lens measuring apparatus comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1반사면은 0의 굴절력을 갖고, 상기 보조렌즈는 부의 굴절력을 갖는 것을 특징으로 하는 비구면 렌즈 측정장치.The first reflecting surface has a refractive power of zero, the auxiliary lens has a negative refractive power, characterized in that the apparatus. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1반사면은 0의 굴절력을 갖고, 상기 보조렌즈는 정의 굴절력을 갖는 것을 특징으로 하는 비구면 렌즈 측정장치.The first reflective surface has a refractive power of zero, and the auxiliary lens has a positive refractive power, characterized in that the apparatus. 제2항 또는 제3항에 있어서,The method according to claim 2 or 3, 상기 제1반사면과 렌즈 장착부 사이에 배치되는 정의 굴절력을 갖는 한 쌍의 필터보조렌즈; 및A pair of filter auxiliary lenses having positive refractive power disposed between the first reflecting surface and the lens mounting portion; And 상기 한 쌍의 필터보조렌즈 사이에 배치되어 0차 회절광을 제거하기 위한 공간 필터;A spatial filter disposed between the pair of filter auxiliary lenses to remove zero-order diffracted light; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비구면 렌즈 측정장치.Aspheric lens measuring apparatus further comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1반사면은 정의 굴절력을 갖고, 상기 보조렌즈는 부의 굴절력을 갖는 것을 특징으로 하는 비구면 렌즈 측정장치.The first reflective surface has a positive refractive power, the auxiliary lens has a negative refractive power, characterized in that the apparatus. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1반사면 및 보조렌즈는 정의 굴절력을 갖는 것을 특징으로 하는 비구면 렌즈 측정장치.An aspherical lens measuring apparatus, characterized in that the first reflecting surface and the auxiliary lens has a positive refractive power. 제5항 또는 제6항에 있어서,The method according to claim 5 or 6, 상기 제1반사면과 렌즈 장착부 사이에 배치되어 0차 회절광을 제거하기 위한 공간 필터;A spatial filter disposed between the first reflecting surface and the lens mounting unit to remove zero-order diffracted light; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비구면 렌즈 측정장치.Aspheric lens measuring apparatus further comprising a.
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