KR101117472B1 - Apparatus and Method for Visual Inspection - Google Patents

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KR101117472B1
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가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
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Abstract

본 발명은, 검사원의 숙련도에 의존하는 것이 적고, 검사효율이 좋은 육안 검사장치 및 육안 검사방법과, 그와 같은 육안 검사장치를 갖춘 검사시스템을 제공하는 것을 과제로 한다. 검사대상 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단을 갖춘 디스플레이 패널의 육안 검사장치로서, 테스트 패턴 기억수단과, 자동 검사장치가 작성한 자동 검사결과 정보를 취득하는 수단과, 자동 검사장치가 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함에 관한 마커 패턴을 상기 취득한 자동 검사결과 정보에 근거해 작성하는 수단과, 작성한 마커 패턴을 테스트 패턴에 중첩시키는 수단과, 마커 패턴이 중첩된 테스트 패턴을 검사대상 패널에 표시시키는 수단을 갖추고 있는 육안 검사장치 및 육안 검사방법, 및 그와 같은 육안 검사장치를 갖춘 검사시스템 및 육안 검사방법을 제공함으로써 해결한다. An object of the present invention is to provide a visual inspection apparatus, a visual inspection method, and an inspection system equipped with such a visual inspection apparatus, which are less dependent on the skill of the inspector, and have a good inspection efficiency. A visual inspection apparatus of a display panel having a means for displaying a test pattern on an inspection target panel, wherein the test pattern storage means, the means for acquiring the automatic inspection result information generated by the automatic inspection apparatus, and the automatic inspection apparatus exist in the inspection target panel. Means for creating a marker pattern for a defect determined to be determined based on the obtained automatic inspection result information, means for superimposing the created marker pattern on a test pattern, and means for displaying a test pattern in which the marker pattern is superimposed on the inspection target panel. The present invention provides a visual inspection apparatus and a visual inspection method, and an inspection system and a visual inspection method equipped with such a visual inspection apparatus.

Description

육안 검사장치와 육안 검사방법{Apparatus and Method for Visual Inspection}Visual inspection device and visual inspection {Apparatus and Method for Visual Inspection}

본 발명은, 육안 검사장치와 육안 검사방법에 관한 것으로, 상세하게는, 액정 디스플레이 패널이나 플라즈마 디스플레이 패널 등의 디스플레이 패널의 결함을 육안으로 검사하는 디스플레이 패널의 육안 검사장치와 육안 검사방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a visual inspection apparatus and a visual inspection method, and more particularly, to a visual inspection apparatus and a visual inspection method of a display panel for visually inspecting a defect of a display panel such as a liquid crystal display panel or a plasma display panel. .

액정 디스플레이 패널 등의 디스플레이 패널에 있어서는, 통상, 셀 공정의 최종검사에서, 패널을 실제로 점등시켜, 점 결함, 선 결함, 얼룩 결함 등의 유무를 조사하는, 이른바 점등 검사가 행해지고 있다. 이 점등 검사에는, 통상, 자동 검사장치 및 육안 검사장치라 불리는 2종류의 검사장치가, 각각 단독으로, 혹은 조합하여 사용되고 있다.In display panels, such as a liquid crystal display panel, what is called a lighting test which normally illuminates a panel in the last inspection of a cell process, and examines the presence or absence of a point defect, a line defect, an uneven defect, etc. is performed. For this lighting inspection, two types of inspection apparatuses, usually called an automatic inspection apparatus and a visual inspection apparatus, are used alone or in combination, respectively.

자동 검사장치는, 테스트 패턴을 표시시킨 디스플레이 패널을 CCD카메라 등으로 촬영해 화상데이터로 하고, 그 화상데이터를 컴퓨터로 화상처리하고, 결함의 유무를 자동적으로 판단하는 검사장치로서, 검사원의 육안에 의한 판단을 개입시키지 않으므로, 결함의 유무 판단이 일률적이고, 객관성이 있음과 동시에, 처리능력도 높다는 이점을 갖고 있다. 그러나, 그 반면, 자동 검사장치에는, 화상처리된 데이터가 결함을 나타내는 것인지 아닌지를 컴퓨터에 탑재된 소프트웨어에 판단시킬 때의 역치(threshold value)의 설정이 어렵다는 결점이 있다. 즉, 결함의 검출 누락을 피하기 위해 역치를 낮게 설정하면, 소프트웨어는 패널 상의 먼지나 흠집까지도 결함으로 판단해 버리고, 이른바 과(過)검출이 되어, 제품의 수율이 악화된다는 지장이 생기고, 반대로, 과검출을 피하기 위해, 역치를 높게 설정하면, 본래 결함으로서 검출되어야 하는 것을 놓쳐, 결함의 검출 누락을 초래해 버리게 된다. The automatic inspection device is an inspection device that photographs a display panel displaying a test pattern as a CCD camera or the like to form image data, and processes the image data with a computer to automatically determine the presence of a defect. Since the judgment is not intervened, there is an advantage in that the presence or absence of a defect is uniform, objectivity and high processing capacity. On the other hand, however, the automatic inspection apparatus has a drawback in that it is difficult to set a threshold value when the software mounted on the computer determines whether or not the image processed data indicates a defect. In other words, if the threshold value is set low to avoid omission of detection of defects, the software may determine that even dust and scratches on the panel are defects, so-called over-detection causes a problem that the yield of the product is deteriorated. In order to avoid overdetection, setting a high threshold value misses what should be detected as an original defect, resulting in a missing detection of the defect.

이에 대해, 육안 검사장치는, 테스트 패턴을 표시시킨 디스플레이 패널을 검사원이 실제로 눈으로 보고 결함의 유무를 검사하는 장치로서, 검사원이 육안으로 결함의 유무를 판단하므로, 자동 검사장치보다 섬세한 결함검사가 가능하다는 이점을 갖고 있다. 그러나, 육안 검사장치에서의 결함검출의 정밀도는 검사원의 숙련 정도에 따르는 바가 커, 검사원에게 의존해 결함검출의 정밀도에 불규칙함을 피할 수 없다는 결점이 있으며, 또한, 검사에 시간이 걸려, 효율이 나쁘다는 지장이 있다. On the other hand, the visual inspection device is a device for inspecting the display panel displaying the test pattern by the inspector to visually inspect for the presence of a defect. Since the inspector visually determines the presence of a defect, the defect inspection is more delicate than the automatic inspection device. It has the advantage of being possible. However, the precision of defect detection in the visual inspection apparatus is largely dependent on the skill of the inspector, and there is a drawback that the irregularity of the accuracy of defect detection cannot be avoided depending on the inspector, and the inspection is time consuming and the efficiency is poor. Is disturbed.

이 때문에, 자동 검사장치와 육안 검사장치 양자를 조합해, 서로의 결함을 서로 보완하게 하는 것도 고려된다. 그러나, 자동 검사장치에 의해 결함이 있다고 판단된 검사패널을 육안 검사장치로 확인한다는 조합에서는, 예를 들어, 결함의 검출 누락을 피하기 위해, 자동 검사장치에서의 역치를 낮게 설정하면, 자동 검사장치에서 결함이 있다고 판단되는 패널 수가 늘어나고, 이들 패널의 전체 수량을 육안 검사장치로 보내, 하나하나 점등시켜 육안 검사를 하게 되면, 검사에 매우 시간이 걸리고, 검사시스템 전체로서의 처리능력이 대폭 떨어진다는 지장이 생긴다. 반대로, 육안 검사장치로 검사하는 패널 수를 억제하기 위해서, 자동 검사장치에서의 역치를 조금 높게 설정하면, 본래 결함으로서 검출되어야 하는 것을 놓쳐, 결함의 검출 누락을 일으킨다는 지장이 생기고, 어쨌든, 자동 검사장치에서의 역치의 설정에 곤란성이 수반된다는 문제점은 해소되지 않는다.For this reason, it is also considered to combine both an automatic inspection apparatus and a visual inspection apparatus so that mutual defects may be mutually compensated. However, in the combination of checking the inspection panel determined by the automatic inspection device as a defect with the visual inspection device, if the threshold value in the automatic inspection device is set low, for example, to avoid the omission of detection of the defect, the automatic inspection device Increasing the number of panels deemed to be defective, and sending the total quantity of these panels to the visual inspection device and lighting them one by one, the inspection takes a very long time, greatly reducing the processing capacity of the entire inspection system. This occurs. On the contrary, in order to suppress the number of panels inspected by the visual inspection apparatus, if the threshold value of the automatic inspection apparatus is set a little higher, it may miss that it should be detected as a defect in the first place, causing a problem in that the detection of the defect is lost. The problem that difficulty in setting the threshold in the inspection apparatus is not solved.

상기 문제점을 해소하기 위해, 예를 들어, 특허문헌 1, 2에서는, 자동 검사장치에 있어, 수신한 화상데이터를 해석해 결함이 있다고 판단된 경우에는, 그 패널에 관한 화상을 모니터화면에 표시시키고, 검사원이 모니터화면 상에서 결함의 유무를 확인할 수 있게 한 검사시스템이 제안되고 있다. 이들 검사시스템에 따르면, 검사원은, 자동 검사장치에 의해 결함이 있다고 판단된 패널의 화상을 모니터화면 상에서 확인할 뿐이므로, 검사패널을 하나하나 점등시켜 육안 검사를 하는 경우에 비해, 육안 검사를 효율적으로 할 수 있다는 이점을 얻을 수 있다. In order to solve the above problem, for example, in Patent Documents 1 and 2, when it is determined that there is a defect by analyzing the received image data in the automatic inspection apparatus, an image relating to the panel is displayed on the monitor screen, An inspection system has been proposed that allows the inspector to confirm the presence of a defect on the monitor screen. According to these inspection systems, the inspector only checks the image of the panel determined to be defective by the automatic inspection device on the monitor screen, so that the visual inspection can be performed more efficiently than when the inspection panels are lit one by one. You can get the advantage that you can.

그러나, 이들 종래의 검사시스템에 있어서는, 육안 검사의 대상으로 여겨지는 것은, 테스트 패턴을 표시해 점등한 실제 디스플레이 패널이 아니라, 자동 검사장치에 의해 촬영된 디스플레이 패널의 표시화상이므로, 육안 검사라고는 해도, 그 검사 정밀도는, 자동 검사장치에 있어 촬영된 화상의 선명함이나 해상도 등에 따른 제약을 받아, 육안 검사 본래의 정밀도를 얻을 수 없다는 결점이 있다.However, in these conventional inspection systems, the object of visual inspection is not an actual display panel which displays a test pattern and lights up, but a display image of a display panel photographed by an automatic inspection apparatus. The inspection accuracy has a drawback in that the automatic inspection apparatus is limited by the sharpness, resolution, and the like of the photographed image, and thus the original precision of visual inspection cannot be obtained.

일본특허출원공개제2001-289733호공보Japanese Patent Application Publication No. 2001-289733 일본특허출원공개제2004-279037호공보Japanese Patent Application Publication No. 2004-279037

본 발명은, 상기 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 만들어진 것으로, 검사원의 숙련도에 의존하는 일이 적고, 검사효율이 좋은 육안 검사장치 및 육안 검사방법과, 그 같은 육안 검사장치를 갖춘 검사시스템을 제공하는 것을 과제로 한다.
The present invention has been made to solve the problems of the prior art, and provides a visual inspection apparatus and visual inspection method having a low inspection efficiency and a good inspection efficiency, and an inspection system having such a visual inspection apparatus. It is a task to do it.

본 발명은, 상기의 과제를, 검사대상 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단을 갖춘 디스플레이 패널의 육안 검사장치로서, 테스트 패턴 기억수단과, 자동 검사장치가 작성한 자동 검사결과 정보를 취득하는 수단과, 자동 검사장치가 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함에 관한 마커 패턴을 상기 취득한 자동 검사결과 정보에 근거해 작성하는 수단과, 작성한 마커 패턴을 테스트 패턴에 중첩시키는 수단과, 마커 패턴이 중첩된 테스트 패턴을 검사대상 패널에 표시시키는 수단을 갖추고 있는 육안 검사장치를 제공함으로써, 또한, 그와 같은 육안 검사장치를 갖춘 검사시스템을 제공함으로써, 해결하는 것이다.The present invention provides a visual inspection apparatus for a display panel having a means for displaying a test pattern on an inspection target panel, comprising: test pattern storage means, means for acquiring automatic inspection result information created by an automatic inspection apparatus, Means for creating a marker pattern for a defect determined by the automatic inspection apparatus to exist in the inspection target panel based on the obtained automatic inspection result information, means for superimposing the created marker pattern on the test pattern, and a test pattern in which the marker pattern is superimposed This is solved by providing a visual inspection apparatus equipped with a means for displaying a panel on an inspection target panel, and by providing an inspection system equipped with such a visual inspection apparatus.

본 발명의 육안 검사장치에 있어서의 마커 패턴이란, 바람직하게는, 자동 검사장치가 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함의 검사대상 패널 상의 위치에 대응하는 위치에 표시되는, 결함의 종류 및/또는 크기에 대응한 1 또는 복수의 도형 및/또는 기호로 구성되는 패턴이다. 본 발명의 육안 검사장치는, 이 마커 패턴을 테스트 패턴에 중첩해 검사대상 패널에 표시시킴으로써, 검사원이 검사대상 패널 상의 특정 영역에 주의를 집중하는 것을 가능하게 하고, 검사대상 패널 전역을 치우침 없이 하나부터 검사하는 경우에 비해, 효율적이고, 동시에, 검사원의 숙련도에 의존하는 일이 적은 정밀도 높은 육안 검사를 하는 것을 가능하게 한다. 그 결과, 자동 검사장치 및 육안 검사장치 양쪽을 갖춘 검사시스템 전체에 있어서의 처리능력이 향상되고, 자동 검사장치에서의 역치를 낮게 설정하여, 결함의 검출 누락의 저감을 도모하는 것이 가능해진다.The marker pattern in the visual inspection apparatus of the present invention is preferably a type and / or size of a defect, which is displayed at a position corresponding to a position on the inspection target panel of the defect determined by the automatic inspection apparatus to exist in the inspection target panel. Is a pattern composed of one or a plurality of figures and / or symbols corresponding to. The visual inspection apparatus of the present invention superimposes this marker pattern on a test pattern and displays it on a panel to be inspected, thereby enabling the inspector to focus attention on a specific area on the panel to be inspected, without shifting the entire panel to be inspected. Compared to the case of the inspection, the inspection can be performed efficiently and visually with high precision, with little dependence on the skill of the inspector. As a result, the processing capacity in the entire inspection system provided with both the automatic inspection apparatus and the visual inspection apparatus is improved, and the threshold value in the automatic inspection apparatus can be set low, so that it is possible to reduce the omission of detection of defects.

또한, 본 발명의 육안 검사장치는, 모니터화면과, 상기 모니터화면에 자동 검사장치가 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함을 표시하는 수단과, 표시된 결함 중에서 1 또는 복수의 결함을 선택하는 것을 가능하게 하는 수단과, 선택된 결함과, 상기 결함에 관한 육안 검사결과를 관련짓는 것을 가능하게 하는 수단과, 결함과 그에 관련된 육안 검사결과에 근거해, 육안 검사결과 정보를 작성하는 수단을 갖추고 있는 것이 바람직하다. 이에 의해, 검사원은, 실시한 육안 검사의 결과에 근거해, 육안 검사결과 정보를 작성하는 것이 가능해진다. 상기 육안 검사결과 정보는, 그대로 이용되어도 되고, 또한, 이 육안 검사결과 정보에 근거해, 먼저 취득한 자동 검사결과 정보를 고쳐 써, 종합적인 검사결과 정보로서 이용하는 것도 가능하다. Further, the visual inspection apparatus of the present invention is capable of selecting one or a plurality of defects from a monitor screen, means for displaying a defect determined by the automatic inspection apparatus on the inspection target panel on the monitor screen, and a displayed defect. It is preferable to have a means for making a connection, a means for enabling the association of the selected defect with a visual inspection result of the defect, and a means for creating visual inspection result information based on the defect and the visual inspection result related thereto. . As a result, the inspector can create visual inspection result information based on the result of the visual inspection performed. The visual inspection result information may be used as it is, or based on the visual inspection result information, the previously obtained automatic inspection result information may be corrected and used as comprehensive inspection result information.

모니터화면에 자동 검사장치가 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함을 표시하는 수단은, 적어도 마커 패턴이 표시된 검사대상 패널의 화상을 모니터화면에 표시하는 수단인 것이 바람직하다. 마커 패턴이 표시된 검사대상 패널의 화상이 모니터화면에 표시될 경우에는, 점등되어 있는 실제 검사대상 패널과, 모니터화면에 표시된 검사대상 패널의 화상이 대응하고 있으므로, 모니터화면에 표시된 결함 중에서 1 또는 복수의 결함을 선택하는 것이 용이해진다는 이점을 얻을 수 있다.The means for displaying the defect determined by the automatic inspection apparatus on the inspected panel on the monitor screen is preferably a means for displaying on the monitor screen an image of the inspected panel on which the marker pattern is displayed. When the image of the inspection target panel on which the marker pattern is displayed is displayed on the monitor screen, since the actual inspection panel that is lit and the image of the inspection panel displayed on the monitor screen correspond, one or more of the defects displayed on the monitor screen are supported. The advantage that it becomes easy to select the defect of can be acquired.

본 발명의 검사시스템에 있어, 육안 검사장치에서의 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단을, 자동 검사장치에서의 검사대상 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단으로 하는 것도 가능하다. 이 경우에는, 자동 검사장치와 육안 검사장치에서, 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단이 공통이 되며, 자동 검사장치에 의한 검사를 종료한 검사패널에, 그대로, 자동 검사결과 정보에 근거한 마커 패턴을 표시시켜, 육안 검사를 실시하는 것이 가능해진다. In the inspection system of the present invention, it is also possible to use means for displaying the test pattern on the panel in the visual inspection apparatus as means for displaying the test pattern on the inspection target panel in the automatic inspection apparatus. In this case, in the automatic inspection apparatus and the visual inspection apparatus, the means for displaying the test pattern on the panel is common, and the marker pattern based on the automatic inspection result information is directly applied to the inspection panel which has finished the inspection by the automatic inspection apparatus. It can be displayed and visual inspection can be performed.

본 발명은, 또한, 검사대상 패널을 육안 검사장치의 검사위치에 반입하는 공정, 검사위치에 반입한 검사패널에 관해 자동 검사장치가 작성한 자동 검사결과 정보를 취득하는 공정, 취득한 자동 검사결과 정보에 근거해, 자동 검사장치가 그 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함에 관한 마커 패턴을 작성하는 공정, 작성한 마커 패턴을 테스트 패턴에 중첩시켜 검사위치에 있는 검사대상 패널에 표시시키는 공정을 포함하는 육안 검사방법을 제공함으로써, 상기의 과제를 해결하는 것이다.The present invention also provides a process of bringing an inspection subject panel into an inspection position of a visual inspection apparatus, a process of acquiring automatic inspection result information created by an automatic inspection apparatus with respect to an inspection panel carried into an inspection position, and acquired automatic inspection result information. A visual inspection including a step of creating a marker pattern for a defect determined by the automatic inspection apparatus to exist in the panel to be inspected, and a step of superimposing the created marker pattern on the test pattern and displaying it on the panel to be inspected at the inspection position The above problem is solved by providing a method.

본 발명의 육안 검사방법에 있어서는, 선행하는 자동검사에서 작성된 자동 검사결과 정보에 근거해, 자동 검사장치가 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함에 관한 마커 패턴이 검사대상 패널에 표시되므로, 검사원은, 검사대상 패널 전역을 치우침 없이 하나부터 검사하는 경우에 비해, 효율적이고, 동시에, 정밀도 높은 육안 검사를 하는 것이 가능해진다. 이 때문에, 검사효율이 향상되고, 자동 검사장치에서의 역치를 낮게 설정하여, 결함의 검출 누락의 저감을 도모하는 것이 가능해진다.
In the visual inspection method of the present invention, since the marker pattern regarding the defect determined by the automatic inspection apparatus to be present in the inspection target panel is displayed on the inspection target panel based on the automatic inspection result information created by the preceding automatic inspection, Compared to the case where the entire inspection target panel is inspected without bias, it is possible to perform visual inspection with higher efficiency and at the same time. For this reason, inspection efficiency improves, it becomes possible to set the threshold value in an automatic inspection apparatus low, and to aim at reduction of the detection omission of a defect.

본 발명의 디스플레이 패널의 육안 검사장치 및 육안 검사방법에 따르면, 자동 검사장치가 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함이, 마커 패턴으로서, 테스트 패턴에 중첩해 검사대상 패널에 표시되므로, 육안 검사장치에서의 검사원은, 마커 패턴으로 표시된 패널 상의 특정 영역에 주의를 집중해 결함의 유무를 판단할 수 있다. 그 때문에, 패널 전역을 치우침 없이 검사하는 경우에 비해, 결함 발견의 정밀도가 높아져, 경험이 부족한 검사원이라도, 정밀도 높은 육안 검사를 효율적으로 할 수 있고, 검사원의 숙련도에 의존하는 일이 적은 고정밀도의 육안 검사를 효율적으로 할 수 있다는 이점을 얻을 수 있다. According to the visual inspection apparatus and the visual inspection method of the display panel of the present invention, since the defect determined by the automatic inspection apparatus to exist in the inspection target panel is displayed on the inspection target panel as a marker pattern, overlapping the test pattern, the visual inspection apparatus The inspector can determine the presence or absence of a defect by focusing attention on a specific area on the panel indicated by the marker pattern. Therefore, compared with the case where the whole panel is inspected without bias, the precision of defect detection becomes high, and even the inexperienced inspector can perform the high-precision visual inspection efficiently, and it is highly precise that it does not depend on the skill of the inspector. The advantage is that the visual inspection can be performed efficiently.

특히, 마커 패턴이, 결함의 종류 및/또는 크기에 대응한 1 또는 복수의 도형 및/또는 기호로 구성되는 패턴인 경우에는, 패널 상에 표시된 마커 패턴을 봄으로써, 존재할 가능성이 있는 결함의 위치뿐 아니라, 그 종류나 크기에 관한 정보도 얻을 수 있으므로, 검사 효율이 대폭 상승한다는 이점을 얻을 수 있다.In particular, when the marker pattern is a pattern composed of one or a plurality of figures and / or symbols corresponding to the type and / or size of the defect, the position of the defect that may exist by looking at the marker pattern displayed on the panel. In addition, since information on the type and size can be obtained, it is possible to obtain an advantage that the inspection efficiency greatly increases.

또한, 자동 검사장치와 본 발명의 육안 검사장치를 갖춘 본 발명의 검사시스템에 따르면, 육안 검사장치의 검사효율이 높으므로, 자동 검사장치에서의 역치를 낮게 설정해, 자동 검사장치에서의 결함의 검출 누락을 방지할 수 있다는 이점을 얻을 수 있다. 또한, 자동 검사장치에서의 역치를 낮게 설정함으로써, 자동 검사장치에서 결함이 있다고 판단되는 패널의 비율이 증가해도, 후속하는 육안 검사장치에서, 정밀도 높은 육안 검사가 효율적으로 행해지므로, 검사시스템 전체로서 과검출될 우려가 없고, 제품의 수율을 필요 이상으로 저하시킬 일이 없다는 이점을 얻을 수 있다.
In addition, according to the inspection system of the present invention having the automatic inspection device and the naked eye inspection device of the present invention, since the inspection efficiency of the visual inspection device is high, the threshold value of the automatic inspection device is set low to detect defects in the automatic inspection device. The advantage is that the omission can be prevented. In addition, by setting the threshold value in the automatic inspection apparatus low, even if the proportion of the panel judged to be defective in the automatic inspection apparatus increases, the visual inspection apparatus with high accuracy is performed efficiently in the subsequent visual inspection apparatus, so as a whole inspection system. There is no fear of overdetection, and the advantage that the yield of a product does not fall more than necessary can be acquired.

도1은, 본 발명의 검사시스템의 일례를 나타낸 개념도이다.
도2는, 본 발명의 육안 검사장치의 일례를 나타낸 개략도이다.
도3은, 육안 검사장치의 검사부의 개념도이다.
도4는, 패널에 표시되는 마커의 일례를 나타낸 도면이다.
도5는, 패널에 표시되는 마커의 다른 예를 나타낸 도면이다.
도6은, 패널에 표시되는 마커의 또 다른 예를 나타낸 도면이다.
도7은, 마커 패턴의 일례를 나타낸 도면이다. 1 is a conceptual diagram showing an example of the inspection system of the present invention.
2 is a schematic view showing an example of the visual inspection apparatus of the present invention.
3 is a conceptual diagram of an inspection unit of the visual inspection apparatus.
4 is a diagram illustrating an example of a marker displayed on a panel.
5 is a diagram illustrating another example of a marker displayed on a panel.
6 is a diagram illustrating still another example of the marker displayed on the panel.
7 is a diagram illustrating an example of a marker pattern.

이하, 도면을 이용해, 검사패널이 액정 디스플레이 패널인 경우를 예로, 본 발명을 상세하게 설명하나, 본 발명이 도시된 것에 한정되지 않음은 물론이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail by taking an example in which the inspection panel is a liquid crystal display panel, but the present invention is not limited thereto.

도1은, 본 발명의 검사시스템의 일례를 나타낸 개념도이다. 도1에서, 부호 1은 본 발명의 검사시스템을 나타내고, 2는 자동 검사장치, 3은 본 발명의 육안 검사장치, 4는, 예를 들어, 공장 내에 설치된 LAN 등의 네트워크, 5는 관리 서버이다. 도면에 나타낸 바와 같이, 자동 검사장치(2), 육안 검사장치(3), 및 관리 서버(5)는, 네트워크(4)를 통해, 유선 혹은 무선으로, 상시 또는 수시 접속되고, 필요에 따라 데이터나 명령을 주고받을 수 있게 되어 있으며, 전체로서 본 발명의 검사시스템(1)을 형성하고 있다. 1 is a conceptual diagram showing an example of the inspection system of the present invention. In Fig. 1, reference numeral 1 denotes an inspection system of the present invention, 2 denotes an automatic inspection device, 3 denotes a visual inspection device of the present invention, 4 denotes a network such as a LAN installed in a factory, and 5 denotes a management server. . As shown in the figure, the automatic inspection apparatus 2, the visual inspection apparatus 3, and the management server 5 are always or at any time connected by wire or wirelessly via the network 4, and the data as needed. It is possible to send and receive commands and to form the inspection system 1 of the present invention as a whole.

자동 검사장치(2)는, 통상적인 자동 검사장치로서, 검사대상 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단과, 테스트 패턴이 표시된 검사대상 패널의 표시화면을 화상데이터로서 수신하는 화상데이터 취득수단과, 취득한 화상데이터를 해석하는 화상 처리수단과, 해석된 화상데이터에 근거해 자동 검사결과 정보를 작성하는 수단과, 작성한 자동 검사결과 정보를 기억하는 기억수단을 갖추고 있다. The automatic inspection apparatus 2 is a normal automatic inspection apparatus, which includes means for displaying a test pattern on an inspection target panel, image data acquisition means for receiving, as image data, a display screen of the inspection subject panel on which the test pattern is displayed, and Image processing means for analyzing image data, means for creating automatic inspection result information based on the analyzed image data, and storage means for storing the created automatic inspection result information.

예를 들어, 자동 검사장치(2)는, 뒤에서 설명하는 육안 검사장치(3)에 있어서와 마찬가지로, 검사대상 패널을 수신하고, 세트 스테이지에 세트시켜 검사부로 반송(搬送)하는 로더부와, 검사부에 반송된 검사패널의 위치를 맞추는 얼라인먼트 카메라와, 검사패널의 전극에 접촉하는 프로브 유닛과, 프로브 유닛에 신호를 공급해, 검사패널을 점등하고, 테스트 패턴을 표시시키는 검사부와, 테스트 패턴을 기억하는 기억장치를 갖추고 있고, 이들에 의해, 검사대상 패널에 테스트 패턴을 표시시킬 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 테스트 패턴을 기억하는 기억장치는, 관리 서버(5) 상에 있어도 된다. For example, similarly to the visual inspection apparatus 3 demonstrated later, the automatic inspection apparatus 2 is a loader part which receives an inspection object panel, sets it in a set stage, and conveys it to an inspection part, and an inspection part An alignment camera for aligning the position of the inspection panel conveyed to the probe panel, a probe unit in contact with the electrode of the inspection panel, a inspection unit for supplying a signal to the probe unit to turn on the inspection panel to display the test pattern, and a test pattern A storage device is provided and configured to display a test pattern on the inspection target panel. The storage device for storing the test pattern may be on the management server 5.

또한, 자동 검사장치(2)는, 테스트 패턴이 표시된 검사대상 패널의 표시화면을 화상데이터로서 수신하는 화상데이터 취득수단으로서, 텔레비전 카메라, CCD카메라 등의 촬상장치를 갖추고, 취득한 화상데이터를 해석하는 화상 처리수단, 및, 해석된 화상데이터에 근거해 자동 검사결과 정보를 작성하는 수단으로서, 컴퓨터와, 상기 컴퓨터에 상기의 화상처리 및 자동 검사결과 정보의 작성을 하게 하는 프로그램을 더 갖추고 있다. 자동 검사장치(2)에 갖춰져 있는 컴퓨터는, 작성한 자동 검사결과 정보를, 자동 검사장치(2) 내에 갖춰져 있는 기억장치 또는 관리 서버(5)에 설치되어 있는 기억장치, 혹은 그 양쪽에 기억시킨다. The automatic inspection device 2 is provided with image data acquisition means for receiving, as image data, a display screen of an inspection object panel on which a test pattern is displayed, and includes an imaging device such as a television camera or a CCD camera to analyze the acquired image data. An image processing means and a means for creating automatic inspection result information based on the analyzed image data, the computer further includes a computer and a program for causing the computer to generate the image processing and automatic inspection result information. The computer provided in the automatic inspection apparatus 2 stores the created automatic inspection result information in the storage provided in the automatic inspection apparatus 2, the storage provided in the management server 5, or both.

또한, 자동 검사장치(2)로 검사되는 각각의 검사패널에는, 예를 들어, 2차원 바코드, IC태그 등을 이용해, 식별용 ID가 부착되어 있고, 자동 검사장치(2)에 갖춰진 컴퓨터는, 텔레비전 카메라, CCD카메라, IC태그리더(IC tag reader) 등의 적당한 수단을 이용해, 로더부 또는 검사부에서 각 검사패널의 식별용 ID를 독해한다. 작성된 상기의 자동 검사결과 정보는, 독해한 상기 검사패널의 식별용 ID와 관련지어, 자동 검사장치(2) 내에 갖춰진 기억장치 또는 관리 서버(5)에 설치된 기억장치, 혹은 그 양쪽에 기억되게 된다. 이때, 상기 검사패널에 관해 촬상한 화상데이터 및/또는 그 화상데이터의 해석결과도 함께, 기억시키게 해도 된다. In addition, each inspection panel inspected by the automatic inspection device 2 is provided with an identification ID using, for example, a two-dimensional bar code, an IC tag, and the computer provided in the automatic inspection device 2, By using suitable means such as a television camera, CCD camera, IC tag reader, etc., the identification part of each inspection panel is read out by a loader part or an inspection part. The generated automatic test result information is stored in a storage device provided in the automatic test device 2, a storage device installed in the management server 5, or both in association with the identification ID of the inspection panel read. . At this time, the image data photographed with respect to the inspection panel and / or the analysis result of the image data may also be stored.

도2는, 본 발명의 육안 검사장치(3)의 일례를 나타낸 개략도이다. 도2에서, 부호 6은 로더부, 7은 검사부이고, 이들 로더부(6) 및 검사부(7)는 육안 검사장치(3)를 형성하고 있다. 부호 8은, 검사부(7)에 설치된 모니터화면, 9, 9는 검사부(7)에 설치된 얼라인먼트 카메라, 10, 10은 마찬가지로 검사부(7)에 설치된 프로브 유닛, 11은 검사패널이다. 2 is a schematic diagram showing an example of the visual inspection apparatus 3 of the present invention. In Fig. 2, reference numeral 6 denotes a loader portion, 7 denotes an inspection portion, and the loader portion 6 and the inspection portion 7 form a visual inspection device 3. Reference numeral 8 denotes a monitor screen provided in the inspection unit 7, 9 and 9 are alignment cameras provided in the inspection unit 7, 10 and 10 are similarly probe units provided in the inspection unit 7, and 11 represents an inspection panel.

로더부(6)는, 도시되지 않은 반송장치로부터, 예를 들어 기계 핸드로 검사대상이 되는 액정패널을 받아들이고, XYZθ방향으로 이동가능한 세트 스테이지에 세트해, 검사부(7)로 반송하는 기능을 갖추고 있다. 검사부(7)에서는, 얼라인먼트 카메라(9, 9)와, 세트 스테이지를 이용해, 세트 스테이지에 세트된 검사패널(11)이 소정의 검사위치가 되도록 위치가 맞춰진다. 위치맞춤이 완료되면, 검사패널(11)의 전극에 프로브 유닛(10, 10)이 눌려, 검사패널(11)이 점등하고, 테스트 패턴 등이 표시된다. 이를 검사원이 눈으로 보고, 육안 검사가 행해진다. 검사가 종료된 검사패널(11)은, 로더부(6)로 반송되고, 외부의 반송장치로 되돌아간다. 육안 검사장치(3)에 있어서의 이들 동작은, 검사부(7)에 수용된 컴퓨터에 의한 제어 하에 행해진다. The loader part 6 has a function to receive, for example, a liquid crystal panel to be inspected by a mechanical hand from a conveying device (not shown), set it on a set stage movable in the XYZθ direction, and transport it to the inspector 7. have. In the inspection unit 7, the alignment cameras 9 and 9 and the set stage are used to position the inspection panel 11 set in the set stage to be a predetermined inspection position. When the alignment is completed, the probe units 10 and 10 are pressed against the electrodes of the inspection panel 11, the inspection panel 11 is turned on, and a test pattern or the like is displayed. This is visually examined by the inspector and visual inspection is performed. The inspection panel 11 after the inspection is conveyed to the loader section 6 and returns to the external conveying apparatus. These operations in the visual inspection apparatus 3 are performed under control by a computer accommodated in the inspection unit 7.

도3은, 검사부(7)의 구성을 나타낸 개념도이다. 도3에서, 부호 12는 컴퓨터, 13은 기억장치, 14는 입출력장치, 15는 테스트 패턴 기억장치, 16은 마커 패턴 작성장치, 17은 패턴 합성장치, 18은, 액정패널(11)에 테스트 패턴 등을 표시시키는 구동장치이다. 도3에 나타낸 바와 같이, 컴퓨터(12)와, 기억장치(13), 입출력장치(14), 테스트 패턴 기억장치(15), 마커 패턴 작성장치(16), 및 모니터화면(8)은, 신호선으로 접속되어 있고, 컴퓨터(12)는, 네트워크(4)와 유선 혹은 무선으로 접속되어 있다. 3 is a conceptual diagram showing the configuration of the inspection unit 7. In Fig. 3, reference numeral 12 denotes a computer, 13 denotes a memory device, 14 denotes an input / output device, 15 denotes a test pattern memory device, 16 denotes a marker pattern generating device, 17 denotes a pattern synthesizing device, and 18 denotes a test pattern on the liquid crystal panel 11. It is a driving device for displaying the back. As shown in Fig. 3, the computer 12, the storage device 13, the input / output device 14, the test pattern storage device 15, the marker pattern creation device 16, and the monitor screen 8 are signal lines. The computer 12 is connected to the network 4 by wire or wirelessly.

이하, 도2 및 도3을 이용해, 본 발명의 육안 검사장치(3)의 동작, 및 본 발명의 육안 검사방법을 설명한다. 우선, 도시되지 않은 검사원이, 입출력장치(14)를 통해, 컴퓨터(12)에 패널의 검사 개시를 지시하면, 컴퓨터(12)는, 로더부(6)에 명령을 보내고, 외부의 반송장치 상에서 대기하고 있는 검사패널(11)을 받아들여, 세트 스테이지에 세트하고, 검사부(7)로 반송시킨다. 검사패널(11)의 검사부(7)로의 반송이 완료되면, 컴퓨터(12)는 검사부(7)에 명령을 보내고, 반송되어 온 검사패널(11)을, 얼라인먼트 카메라(9, 9) 및 세트 스테이지를 사용해, 검사부(7)의 소정의 검사위치에 위치를 맞춘다. 2 and 3, the operation of the visual inspection apparatus 3 of the present invention and the visual inspection method of the present invention will be described. First, when an inspector (not shown) instructs the computer 12 to start inspection of the panel via the input / output device 14, the computer 12 sends a command to the loader unit 6, and then on an external conveying device. The waiting inspection panel 11 is received, set in a set stage, and conveyed to the inspection unit 7. When the conveyance of the inspection panel 11 to the inspection unit 7 is completed, the computer 12 sends a command to the inspection unit 7 and moves the inspection panel 11 that has been conveyed to the alignment cameras 9 and 9 and the set stage. Position is set to a predetermined inspection position of the inspection section 7.

검사패널(11)에 부착되어 있는 식별용 ID는, 앞서 설명한 자동 검사장치(2)에 있어서와 마찬가지로, 검사부(7)에 설치되어 있는 적당한 독해수단에 의해 독해되고, 기억장치(13)에 일시 기억됨과 동시에, 모니터화면(8)에 표시된다. 또한, 검사패널(11)에 부착되어 있는 식별용 ID의 독해는, 로더부(6)에서 하게 해도 된다. The identification ID attached to the inspection panel 11 is read by an appropriate reading means provided in the inspection unit 7 as in the automatic inspection apparatus 2 described above, and temporarily stored in the storage device 13. It is stored and displayed on the monitor screen (8). In addition, the loader 6 may read out the identification ID attached to the inspection panel 11.

식별용 ID의 독해가 끝나면, 컴퓨터(12)는, 자동적으로, 혹은, 입출력장치(14)로부터의 지령을 기다리고, 네트워크(3)를 통해, 독해한 식별용 ID의 검사패널(11)에 관한 자동 검사결과 정보의 송신을 요구한다. 이 요구는, 자동 검사결과 정보가 자동 검사장치(2)의 기억장치에 기억되어 있는 경우에는 자동 검사장치(2)에 대해 행해지고, 관리 서버(5)에 기억되어 있는 경우에는 관리 서버(5)에 대해 행해진다. 자동 검사장치(2) 또는 관리 서버(5)로부터, 그 검사패널(11)의 자동 검사결과 정보를 수신하면, 컴퓨터(12)는, 그것을 마커 패턴 작성장치(16)로 송신한다. After reading of the identification ID, the computer 12 automatically waits for an instruction from the input / output device 14 or via the network 3 to the inspection panel 11 of the identification ID read out. Request the transmission of automatic test result information. This request is made to the automatic inspection apparatus 2 when the automatic inspection result information is stored in the storage device of the automatic inspection apparatus 2, and when the automatic inspection result information is stored in the management server 5, the management server 5 Is done for. When the automatic inspection result information of the inspection panel 11 is received from the automatic inspection apparatus 2 or the management server 5, the computer 12 transmits it to the marker pattern preparation device 16.

마커 패턴 작성장치(16)는, 송신되어 온 자동 검사결과 정보에 근거해, 그 검사패널(11)에 관한 마커 패턴을 작성한다. 마커 패턴 작성장치(16)에 의한 마커 패턴의 작성은, 예를 들어 이하처럼 하여 행해진다. 즉, 마커 패턴 작성장치(16)는, 송신되어 온 자동 검사결과 정보에 근거해, 그 검사패널(11)에 존재한다고 판단된 1 또는 복수의 결함 각각에 관해, 그 결함이, 예를 들어, 점 결함, 선 결함, 또는 얼룩 결함 중 어느 하나인지를 판별하여, 그 판별결과를, 각 결함과 관련지어, 기억장치(13)에 기억한다. 마커 패턴 작성장치(16)가 독자적인 기억장치를 갖고 있는 경우에는, 그 기억장치에 기억시키게 해도 된다. 결함 종류의 판별은, 자동 검사결과 정보에 포함되어 있는 각각의 결함의 위치정보에 근거해 할 수 있다. 송신되어 온 자동 검사결과 정보에 이미 각각의 결함의 종류에 관한 정보가 포함되어 있는 경우에는, 그것을 그대로 이용해도 된다. The marker pattern preparation device 16 creates a marker pattern for the inspection panel 11 based on the transmitted automatic inspection result information. The marker pattern creation by the marker pattern preparation device 16 is performed as follows, for example. That is, the marker pattern preparation device 16, for each of one or a plurality of defects determined to exist in the inspection panel 11 based on the transmitted automatic inspection result information, for example, One of the point defect, the line defect, or the uneven defect is determined, and the result of the determination is stored in the storage device 13 in association with each defect. If the marker pattern creating device 16 has its own memory device, the memory device may be stored in the memory device. Determination of the defect type can be made based on the positional information of each defect included in the automatic inspection result information. If the information about the type of each defect is already included in the transmitted automatic test result information, it may be used as it is.

기억장치(13) 또는 마커 패턴 작성장치(16) 내의 기억장치에는, 결함의 종류와, 마커로서 표시해야 할 도형 또는 기호, 및 그 색들과의 대응 테이블이 기억되어 있다. 예를 들어, 점 결함인 마커 도형은 '원'이고, 그 색은 '적색', 선 결함인 마커 기호는 '×'이고, 그 색은 '녹색', 얼룩 결함인 마커 도형은 '사각형'이고, 그 색은 '청색',이란 대응관계가, 대응 테이블에 기억되어 있다. 덧붙여 말하면, 이들 마커 도형 또는 기호, 및 그 색들은, 어디까지나 일례에 지나지 않는다. 각 결함에 다른 도형 또는 기호, 혹은 다른 색을 대응시키는 것이 가능함은 물론이고, 상기 대응 테이블에 설정되어 있는 도형이나 기호, 및 그 색들은, 예를 들어, 검사원이, 입출력장치(14)로부터 컴퓨터(12)를 통해 적당히, 설정, 변경을 할 수 있다. 또한, 이들 마커로서의 도형 또는 기호는, 이들을 점멸시키거나, 이들에 화살표 등의 기호를 부가하거나 하여, 검사원의 주의를 쉽게 끌게 해도 된다. In the storage device 13 or the marker pattern creating device 16, a type of defect, a figure or symbol to be displayed as a marker, and a correspondence table between the colors are stored. For example, a marker defect with a point defect is 'circle', its color is 'red', a marker symbol with a line defect is 'x', its color is 'green', and a marker figure with a stain defect is 'square' The correspondence relationship of the color "blue" is stored in the correspondence table. Incidentally, these marker figures or symbols and their colors are only examples. It is possible to associate different defects, symbols, or different colors with each defect, and the figures, symbols, and colors set in the correspondence table are, for example, by an inspector from the input / output device 14 to the computer. (12) allows you to set and change as appropriate. In addition, the figure or symbol as these markers may make them flicker or add symbols, such as an arrow, to them, and may attract the attention of an inspector easily.

다음으로, 마커 패턴 작성장치(16)는, 송신되어 온 자동 검사결과 정보에 포함되어 있는 각각의 결함의 위치정보와, 먼저 판별한 결함의 종류에 근거해, 각각의 결함에 관해, 표시시켜야 할 마커를 형성하는 검사패널(11)에 있어서의 셀의 어드레스를 산출한다. 예를 들어, 1번째 결함이 점 결함이었던 경우에는, 마커 패턴 작성장치(16)는, 상기 결함 종류와 마커의 대응 테이블로부터 마커가 '원'이고 색이 '적색'임을 판독하고, 검사패널(11)에서 점 결함이 존재한다고 여겨지는 셀을 중심으로 하는 '원'을 그리는 셀의 어드레스를 산출한다. 산출된 셀의 어드레스는, 1번째 결함에 관한 마커 패턴으로서, 그 마커의 색과 함께, 기억장치(13) 혹은 마커 패턴 작성장치(16) 내의 기억장치에 기억된다. Next, the marker pattern preparation device 16 should display each defect on the basis of the positional information of each defect included in the transmitted automatic inspection result information and the type of the defect determined earlier. The address of the cell in the inspection panel 11 forming the marker is calculated. For example, when the first defect was a point defect, the marker pattern creating device 16 reads from the corresponding table of the defect type and the marker that the marker is 'circle' and the color is 'red', and the inspection panel ( In Fig. 11, the address of a cell that draws a 'circle' around the cell where a point defect is considered to exist is calculated. The calculated cell address is stored in the storage device 13 or the storage device in the marker pattern creating device 16 together with the color of the marker as the marker pattern for the first defect.

산출된 셀의 어드레스에 근거해, 검사패널(11)에 표시되는 마커로서의 '원'은, 예를 들어, 도4에서, 부호 M1으로 나타낸 것 같은 것이다. 도4에 나타낸 바와 같이, 마커(M1)는, 자동 검사장치에서 결함으로 판단된 점 결함(D1)을 중심으로 하는, 적당한 반경의 '원'으로서 검사패널(11)에 표시되게 된다. 또한, 도4에는, 설명의 편의상, 마커(M1)와 함께, 점 결함(D1)이 함께 나타나 있지만, 결함(D1)은, 검사원이 육안으로 그 존재의 유무를 판단하는 대상물이지, 검사패널(11)에 표시되는 것은 아니다. 또한, 도4에서는, 마커(M1)에 색은 주어져 있지 않지만, 마커(M1)는, 실제로는, 대응 테이블에 점 결함인 마커에 대해 설정되어 있는 색, 예를 들어 '적색'으로 검사패널(11)에 표시된다.Based on the calculated cell address, the circle as a marker displayed on the inspection panel 11 is, for example, as indicated by reference numeral M 1 in FIG. 4. As shown in Fig. 4, the marker M 1 is displayed on the inspection panel 11 as a 'circle' of an appropriate radius, centering on the point defect D 1 determined as a defect in the automatic inspection apparatus. Further, Fig. 4, with the convenience, the marker (M 1) of the description, a point defect (D 1), but shown collectively, the defect (D 1) is not subject to the Surveyor determining the presence or absence of its existence by the naked eye, It is not displayed on the inspection panel 11. In addition, in Figure 4, the marker on the (M 1) the color does not given, a marker (M 1) is, in practice, the color that is set for the point defects of the marker in the correspondence table, for example, check the "red" It is displayed on the panel 11.

마커(M1)로서의 '원'의 반경은, 적당한 크기로 설정하면 된다. '원'의 반경이 너무 작으면, 검사패널(11) 상에서, 그 '원'을 발견하는 것이 곤란해지고, 또, 너무 크면, 그 '원'으로 둘러싸이는 영역이 너무 넓어, 마커로서의 '원'을 검사패널(11)에 표시하는 의미가 사라지므로 바람직하지 않다. 마커로서의 '원'의 반경은, 검사원이, 입출력장치(14)로부터 컴퓨터(12)를 통해 적당히 설정, 변경할 수 있게 해 두는 것이 바람직하다.What is necessary is just to set the radius of the "circle" as the marker M 1 to an appropriate size. If the radius of the 'circle' is too small, it becomes difficult to find the 'circle' on the inspection panel 11, and if it is too large, the area surrounded by the 'circle' is too wide, and the 'circle' as a marker It is not preferable because the meaning of displaying on the inspection panel 11 disappears. The radius of the circle as a marker is preferably such that the inspector can set and change the input / output device 14 from the input / output device 14 appropriately.

또한, 점 결함이 복수 존재하고, 각각의 점 결함에 관한 마커로서의 '원'이 겹쳐져 버릴 때에는, 마커 패턴 작성장치(16)는, 그 복수의 점 결함들의 중심이 되는 셀의 어드레스를 계산으로 구하고, 그 셀을 중심으로 복수의 점 결함을 커버하는 반경의 '원'이 표시되도록, 셀의 어드레스를 산출하게 해도 된다. In addition, when a plurality of point defects exist and 'circles' as markers for each point defect overlap, the marker pattern creating device 16 calculates an address of a cell serving as the center of the plurality of point defects by calculation. The address of the cell may be calculated so that a 'circle' of a radius covering a plurality of point defects is displayed around the cell.

2번째 결함이, 예를 들어 선 결함이었던 경우에는, 마커 패턴 작성장치(16)는, 상기 결함종류와 마커의 대응 테이블로부터 마커가 '×'이고 색이 '녹색'임을 판독하고, 검사패널(11)에서 선 결함이 존재한다고 여겨지는 셀 열(列)의 양끝에 '×'라는 기호를 그리는 셀의 어드레스를 산출한다. 산출된 셀의 어드레스는, 2번째 결함에 관한 마커 패턴으로서, 그 마커의 색과 함께, 기억장치(13) 혹은 마커 패턴 작성장치(16) 내의 기억장치에 기억된다.In the case where the second defect is a line defect, for example, the marker pattern creating device 16 reads from the corresponding table of the defect type and the marker that the marker is 'x' and the color is 'green', and the inspection panel ( In (11), the address of the cell which draws the symbol 'x' at both ends of the cell row in which the line defect is considered to be calculated is calculated. The calculated cell address is stored in the storage device 13 or the storage device in the marker pattern creating device 16 together with the color of the marker as the marker pattern for the second defect.

산출된 셀의 어드레스에 근거해, 검사패널(11)에 표시되는 마커로서의 '×'는, 예를 들어, 도5에서, 부호 M2, M2로 나타낸 것 같은 것이다(도5에는, 도4에서 나타낸 마커(M1) 및 결함(D1)도 함께 나타나 있다). 도5에 나타낸 바와 같이, 마커(M2, M2)는, 자동 검사장치에서 결함으로 판단된 선 결함(D2)의 양끝을, 각각의 2개 선의 교점으로 하는 2개의 '×'기호로서 검사패널(11)에 표시되게 된다. 또한, 도5에는, 설명의 편의상, 마커(M2, M2)와 함께, 선 결함(D2)이 함께 나타나 있지만, 결함(D2)은, 검사원이 육안으로 그 존재의 유무를 판단하는 대상물이지, 검사패널(11)에 표시되는 것은 아니다. 또한, 도5에서는, 마커(M2, M2)에 색은 주어져 있지 않지만, 마커(M2, M2)는, 실제로는, 대응 테이블에 선 결함인 마커에 대해 설정되어 있는 색, 예를 들어 '녹색'으로 검사패널(11)에 표시된다. Based on the calculated address of the cell, 'x' as a marker displayed on the inspection panel 11 is, for example, the same as indicated by the symbols M 2 and M 2 in FIG. 5 (FIG. 5 in FIG. 4). Markers (M 1 ) and defects (D 1 ) shown in FIG. 3 are also shown). As shown in Fig. 5, the markers M 2 and M 2 are shown as two '×' symbols that make both ends of the line defect D 2 judged to be a defect in the automatic inspection device as the intersection of the two lines. It is displayed on the inspection panel 11. Further, Fig. 5, together with convenience, the marker (M 2, M 2) of explanation, the line defect (D 2) is shown collectively, the defect (D 2) is that the inspector is judged whether or not its presence to the naked eye This is an object, but is not displayed on the inspection panel 11. In Figure 5, the marker, but the color is not given to (M 2, M 2), the marker (M 2, M 2) are, in practice, a color, for example, which is set for the line defect of a marker in the corresponding table For example, 'green' is displayed on the inspection panel 11.

도5에서는, 마커(M2, M2)는, 2개 1세트로, 선 결함(D2)의 양끝을 사이에 두는 위치에 표시되게 되어 있지만, 선 결함(D2)의 한쪽 끝에만 기호 '×'를 표시하게 해도 되고, 선 결함(D2)의 중앙이 되는 위치에 1개의 '×'기호가 표시되게 해도 된다. 또한, 선 결함(D2)의 한쪽 끝만, 또는 중앙부에만 기호 '×'를 표시할 경우에는, 선 결함(D2)의 길이에 따라 기호 '×'의 크기를 바꾸고, 선 결함(D2)이 길 때에는 기호 '×'를 크게, 반대로 짧을 때에는 기호 '×'를 작게 표시하게 하면, 기호 '×'의 크기에 따라, 선 결함(D2)이 존재한다고 생각되는 선 형태 영역의 대체적인 길이를 알 수 있어, 편리하다. In Fig. 5, the markers M 2 and M 2 are set in two , and are displayed at positions where both ends of the line defect D 2 are interposed, but only at one end of the line defect D 2 . 'X' may be displayed, and one 'x' symbol may be displayed at a position which becomes the center of the line defect D 2 . Further, the line in the case to display the defect (D 2) one kkeutman, or only the symbol '×' a central portion of, depending on the length of the line defect (D 2) to change the size of the symbol '×', the line defect (D 2) If the symbol 'x' is long in this case, and the symbol 'x' is made small in the case of short, the length of the line region where the line defect D 2 is considered to be present depends on the size of the symbol 'x'. It is easy to know.

3번째 결함이, 예를 들어 얼룩 결함이었던 경우에는, 마커 패턴 작성장치(16)는, 상기 결함종류와 마커의 대응 테이블로부터 마커가 '사각형'이고 색이 '청색'임을 판독하고, 검사패널(11)에서 얼룩 결함이 존재한다고 여겨지는 영역을 둘러싸는 '사각형'을 표시하는 셀의 어드레스를 산출한다. 산출된 셀의 어드레스는, 3번째 결함에 관한 마커 패턴으로서, 그 마커의 색과 함께, 기억장치(13) 혹은 마커 패턴 작성장치(16) 내의 기억장치에 기억된다. In the case where the third defect is, for example, a spot defect, the marker pattern creating device 16 reads from the corresponding table of the defect types and markers that the marker is 'square' and the color is 'blue', and the inspection panel ( In step 11), the address of the cell representing the 'square' surrounding the area where the spot defect is considered to exist is calculated. The calculated cell address is stored in the storage device 13 or the storage device in the marker pattern creating device 16 together with the color of the marker as the marker pattern for the third defect.

산출된 셀의 어드레스에 근거해, 검사패널(11)에 표시되는 마커로서의 '사각형'은, 예를 들어, 도6에서, 부호 M3로 나타낸 것 같은 것이다(도6에는, 도5에서 나타낸 마커(M1, M2, M2) 및 결함(D1, D2)도 함께 나타나 있다). 도6에 나타낸 바와 같이, 마커(M3)는, 자동 검사장치에서 결함으로 판단된 얼룩 결함(D3)을 둘러싸는 '사각형'으로서 검사패널(11)에 표시되게 된다. 또한, 도6에는, 설명의 편의상, 마커(M3)와 함께, 얼룩 결함(D3)이 함께 나타나 있지만, 결함(D3)은, 검사원이 육안으로 그 존재의 유무를 판단하는 대상물이지, 검사패널(11)에 표시되는 것은 아니다. 또한, 도6에서는, 마커(M3)에 색은 주어져 있지 않지만, 마커(M3)는, 실제로는, 대응 테이블에 얼룩 결함인 마커에 대해 설정되어 있는 색, 예를 들어 '청색'으로 검사패널(11)에 표시된다. Based on the calculated cell address, the 'rectangle' as the marker displayed on the inspection panel 11 is, for example, as indicated by the symbol M 3 in FIG. 6 (in FIG. 6, the marker shown in FIG. 5). (M 1 , M 2 , M 2 ) and defects (D 1 , D 2 ) are also shown). As shown in Fig. 6, the marker M 3 is displayed on the inspection panel 11 as a 'square' surrounding the spot defect D 3 judged as a defect in the automatic inspection apparatus. Further, in Figure 6, with ease, a marker (M 3) of explanation, shown with the splash defect (D 3), the defect (D 3) is not subject to the Surveyor determining the presence or absence of its existence by the naked eye, It is not displayed on the inspection panel 11. In Figure 6, the marker (M 3) the color does not given, a marker (M 3) is, in practice, the color set for the splash defect of the marker in the correspondence table, for example, check the "blue" It is displayed on the panel 11.

이상과 같은 조작을 반복하여, 마커 패턴 작성장치(16)는, 수신한 자동 검사결과 정보에 포함되어 있는 모든 결함에 관해, 표시해야 할 마커의 셀의 어드레스를 산출하고, 그 마커의 색과 함께, 기억장치(13) 혹은 마커 패턴 작성장치(16) 내의 기억장치에 기억해, 마커 패턴을 작성한다. 작성된 마커 패턴은, 예를 들어 도7에 나타난 것과 같은 패턴이다. 이 마커 패턴은, 모니터화면(8)에 표시시켜, 그 내용을 확인하는 것이 가능하다. By repeating the above operation, the marker pattern preparation device 16 calculates the address of the cell of the marker to be displayed for all the defects included in the received automatic inspection result information, together with the color of the marker. The memory device is stored in the storage device 13 or the storage device in the marker pattern creating device 16 to create a marker pattern. The created marker pattern is, for example, a pattern as shown in FIG. This marker pattern can be displayed on the monitor screen 8 to confirm its contents.

마커 패턴의 작성이 종료되면, 컴퓨터(12)는, 자동적으로, 혹은, 입출력장치(14)로부터의 지령을 기다려, 마커 패턴 작성장치(16)가 작성한 마커 패턴을 패턴 합성장치(17)에 송신시킴과 동시에, 테스트 패턴 기억장치(15)에 기억되어 있는 적당한 테스트 패턴을 패턴 합성장치(17)로 송신시킨다. 송신된 마커 패턴과 테스트 패턴은, 패턴 합성장치(17)로 합성, 중첩되어, 구동장치(18)로 보내지고, 검사패널(11)에 표시된다.When the creation of the marker pattern is completed, the computer 12 automatically waits for an instruction from the input / output device 14 or sends the marker pattern created by the marker pattern creating device 16 to the pattern synthesizing device 17. At the same time, the appropriate test pattern stored in the test pattern storage device 15 is transmitted to the pattern synthesizing device 17. The transmitted marker pattern and the test pattern are synthesized and superimposed by the pattern synthesizing apparatus 17, sent to the driving apparatus 18, and displayed on the inspection panel 11.

테스트 패턴 기억장치(15)에는, 1 또는 복수 종류의 테스트 패턴이 기억되어 있고, 검사원은, 입출력장치(14)로부터 컴퓨터(12)를 통해, 패턴 합성장치(17)에 송신하는 테스트 패턴의 종류를 검사패널마다 선택, 지정할 수 있다. 또한, 테스트 패턴 기억장치(15)에 기억되어 있는 테스트 패턴의 검사원에 의한 변경, 갱신, 교체도, 입출력장치(14)로부터 컴퓨터(12)를 통해, 적당히 하는 것이 가능하다. In the test pattern storage device 15, one or more types of test patterns are stored, and the inspector transmits the test pattern from the input / output device 14 to the pattern synthesizing device 17 via the computer 12. Can be selected and specified for each inspection panel. In addition, it is possible to appropriately change, update, or replace the test pattern stored in the test pattern storage device 15 by the inspector via the computer 12 from the input / output device 14.

이상과 같이 하여, 검사패널(11) 상에, 테스트 패턴과 마커 패턴이 중첩된 상태로 표시되면, 검사원은, 표시되어 있는 마커 패턴 부분에 주의를 집중해, 육안 검사장치에서 존재한다고 판단된 각각의 결함에 관하여, 그 유무를, 육안으로 검사한다.As described above, when the test pattern and the marker pattern are displayed in a state in which the test pattern and the marker pattern are superimposed on each other, the inspector focuses attention on the displayed marker pattern portion, and each of the judged that they exist in the visual inspection apparatus. Visually inspect for the presence of defects.

또한, 검사패널(11) 상으로의 마커 패턴의 표시는, 검사원이, 입출력장치(14)를 통해 컴퓨터(12)에 지령을 보냄으로써, 일괄하여, 온?오프하는 것이 가능하다. 따라서, 검사원은, 필요하지 않은 경우에는, 마커 패턴의 표시를 오프(off)로 하여, 검사패널(11) 상에 테스트 패턴만을 표시시켜 검사를 할 수도 있고, 필요한 경우에는, 마커 패턴의 표시를 온(on)으로 하여, 위에서 설명한 바와 같이, 검사패널(1) 상에 테스트 패턴과 마커 패턴 양자를 표시시켜 검사를 할 수 있다. In addition, the marker pattern on the inspection panel 11 can be collectively turned on or off by sending an instruction to the computer 12 via the input / output device 14. Therefore, the inspector may turn off the display of the marker pattern when it is not necessary and display only the test pattern on the inspection panel 11 to perform the inspection. When turned on, as described above, both the test pattern and the marker pattern can be displayed on the test panel 1 to perform the test.

또한, 검사원은, 필요한 경우에는, 입출력장치(14)를 통해, 컴퓨터(12)에 지령을 내림으로써, 마커 패턴을 구성하는 마커 중 1 또는 복수의 마커를 선택해, 마커마다 개별로, 검사패널(11)로의 표시를 온?오프하거나, 점멸시키거나, 색을 변경하거나 하는 것이 가능하다. 따라서, 검사원은, 예를 들어, 육안 검사가 종료된 마커나, 불필요하다고 생각되는 마커에 관해서는, 검사패널(11)로의 표시를 오프로 하여 표시시키지 않게 하거나, 반대로, 필요하다고 생각되는 마커에 관해서는, 검사패널(11)로의 표시를 온으로 해서 표시시키거나, 혹은, 점멸시키거나, 색을 바꿔보기 쉽게 하거나 하여, 육안 검사의 효율화를 도모하는 것이 가능하다. 대상이 되는 마커의 선택은, 예를 들어, 마커 패턴을 모니터화면 상에 표시시키고, 선택하고 싶은 마커를 손가락으로 터치하거나, 마우스로 클릭하는 등의 수단에 의해, 모니터화면 상에서 할 수 있다.If necessary, the inspector issues a command to the computer 12 via the input / output device 14 to select one or a plurality of markers constituting the marker pattern, and individually selects the inspection panel (for each marker). 11) It is possible to turn on / off, blink or change the color of the display. Therefore, the inspector may, for example, turn off the display on the inspection panel 11 so as not to display a marker for which visual inspection has been completed or a marker that is considered unnecessary, or, conversely, to a marker considered to be necessary. As for the display on the inspection panel 11, the display can be turned on, displayed or flashed, or the color can be easily changed, and the visual inspection can be made more efficient. The selection of the target marker can be performed on the monitor screen, for example, by displaying a marker pattern on the monitor screen and touching the marker to be selected with a finger, or clicking with a mouse.

검사원에 의한 육안 검사 시, 모니터화면(8)에는, 검사대상이 되고 있는 검사패널(11)의 식별용 ID와 함께, 테스트 패턴 및 마커 패턴이 표시된 검사패널의 화상이 표시된다. 이 검사패널의 화상은, 예를 들어, 패턴 합성장치(17)의 출력에 근거해, 컴퓨터(12)에 의해 작성되고, 모니터화면(8)으로 보내진다. 검사원은, 이하에 설명하는 바와 같이, 상기 모니터화면(8)에 표시된 검사패널의 화상을 통해, 검사패널(11) 상에서 육안으로 행한 검사결과를, 컴퓨터(12)에 입력할 수 있다. During visual inspection by the inspector, the monitor screen 8 displays an image of the inspection panel on which the test pattern and the marker pattern are displayed together with the identification ID of the inspection panel 11 to be inspected. The image of this inspection panel is created by the computer 12 based on the output of the pattern synthesizing apparatus 17 and sent to the monitor screen 8, for example. As described below, the inspector can input the inspection result visually performed on the inspection panel 11 to the computer 12 through the image of the inspection panel displayed on the monitor screen 8.

예를 들어, 검사패널(11)에 도7에 나타낸 바와 같은 마커 패턴이 테스트 패턴과 함께 표시되어 있고, 검사원이, 검사패널(11) 상에서, 마커(M1)로 표시된 원형의 영역 내에서의 점 결함의 유무를 육안 검사하여, 그 결과, 점 결함은 '존재한다' 또는 '존재하지 않는다'고 판단한 경우, 검사원은, 모니터화면(8)에 표시되어 있는 검사패널의 화상 상에서, 마커(M1)에 대응하는 부분을 손가락으로 터치하거나, 마우스로 클릭해 선택하고, 그때 열린 윈도우 혹은 풀다운 메뉴 상에서, 결함 '유' 또는 '무' 중 어느 하나를 지정하거나, 모니터화면(8) 상에 표시되어 있는 결함 '유' 또는 '무' 선택버튼 중 어느 하나를 손가락으로 터치하거나, 마우스로 클릭함으로써, 그 결함에 관한 육안 검사결과를, 그 결함과 관련지어, 컴퓨터(12)에 입력할 수 있다. For example, the marker pattern as shown in FIG. 7 is displayed on the inspection panel 11 together with the test pattern, and the inspector is in the circular area indicated by the marker M 1 on the inspection panel 11. In the case of visual inspection of the presence or absence of a point defect, and as a result, it is determined that the point defect is 'exists' or 'does not exist', the inspector marks the marker M on the image of the inspection panel displayed on the monitor screen 8. 1 ) Touch the part corresponding to 1 ) with your finger, or click the mouse to select it, and then specify one of the defects 'present' or 'no' on the opened window or pull-down menu, or display it on the monitor screen 8 The visual inspection result of the defect can be input to the computer 12 in association with the defect by touching either a finger with a finger or clicking on any one of the defective 'Yes' or 'no' selection buttons. .

즉, 모니터화면(8) 상에 표시되어 있는 마커 패턴이 표시된 검사패널의 화상은, 자동 검사장치가 검사패널(11)에 존재한다고 판단한 결함을 표시하는 수단임과 동시에, 검사원에게, 그 표시된 결함들 중에서 하나의 결함을 선택하는 것을 가능하게 하는 수단이다. 또한, 결함이 선택됐을 때 열리는 윈도우 혹은 풀다운 메뉴에 표시된 결함 '유' 또는 '무' 선택지, 및, 모니터화면(8) 상에 표시되어 있는 결함 '유' 또는 '무' 선택버튼은, 검사원에게, 선택된 결함과, 상기 결함에 관한 육안 검사결과를 관련짓는 것을 가능하게 하는 수단이 되는 것이다.That is, the image of the inspection panel in which the marker pattern displayed on the monitor screen 8 is displayed is a means for displaying the defect which the automatic inspection apparatus judged to exist in the inspection panel 11, and at the same time, the defect indicated by the inspector Means for making it possible to select one defect among them. In addition, the defect 'yes' or 'no' choice displayed in the window or pull-down menu that opens when the defect is selected, and the defect 'yes' or 'no' selection button displayed on the monitor screen 8 are provided to the inspector. And means for making it possible to associate the selected defect with the visual inspection results for the defect.

검사원이 모니터화면(8) 상에서 선택하는 결함은 복수여도 되며, 그 경우에는, 선택된 복수의 결함에 관한 육안 검사결과를, 모아서, 그 복수의 결함들과 관련지어, 컴퓨터(12)에 입력할 수 있다. 또한, 상기의 예에서는, 모니터화면(8)에, 마커 패턴과 테스트 패턴 양쪽이 표시된 검사패널 화상이 표시되게 되어 있지만, 모니터 화면(8)에 표시되는 검사패널 화상은, 마커 패턴만이 표시된 것이어도 된다. The defect that the inspector selects on the monitor screen 8 may be plural. In that case, the visual inspection results of the selected plural defects can be collected and input to the computer 12 in association with the plural defects. have. In the above example, the inspection panel image in which both the marker pattern and the test pattern are displayed on the monitor screen 8 is displayed. However, only the marker pattern is displayed on the inspection panel image displayed on the monitor screen 8. You can do it.

또한, 자동 검사장치가 검사패널(11)에 존재한다고 판단한 결함 중에서 1 또는 복수의 결함을 선택하는 것을 가능하게 하는 수단은, 모니터화면(8)에 표시된 검사패널의 화상에만 한정되지 않는다. 예를 들어, 모니터화면(8)에 표시된 검사패널의 화상에 표시되어 있는 결함 각각에 번호를 달고, 그 번호에 대응하는 일람표를 모니터화면(8)에 표시하고, 대상 결함의 선택과, 선택된 결함에 관한 육안 검사결과의 입력은, 그 일람표 상에서 하게 해도 된다.Incidentally, the means for enabling the automatic inspection apparatus to select one or a plurality of defects from among the defects judged to exist in the inspection panel 11 is not limited to the image of the inspection panel displayed on the monitor screen 8. For example, each of the defects displayed on the image of the inspection panel displayed on the monitor screen 8 is numbered, and a list corresponding to the number is displayed on the monitor screen 8 to select the target defect and to select the selected defect. Input of visual inspection result about may be made on the table | surface.

이상과 같은 조작을 반복함으로써, 검사원은, 검사패널(11)에 표시된 마커 패턴에 근거해, 자동 검사장치가 결함이라고 판단한 검사패널(11) 상의 모든 영역에 관해 결함의 유무를 검사하고, 그 결과를, 모니터화면(8)을 통해 컴퓨터(12)에 입력한다. 입력된 검사결과는, 육안 검사결과 정보로서, 검사패널(11)의 식별용 ID와 관련지어 기억장치(13)에 기억된다. 이처럼 해서 작성된 육안 검사결과 정보는, 육안 검사결과 정보로서, 자동 검사결과 정보와는 별개의 것으로서 이용되어도 되고, 육안 검사결과 정보에 근거해, 대응하는 검사패널의 자동 검사결과 정보를 고치고, 새로 검사결과 정보를 작성해, 그것을 종합적인 검사결과 정보로서 이용하게 해도 된다. By repeating the above operation, the inspector checks the presence or absence of a defect in all areas on the inspection panel 11 determined by the automatic inspection device as a defect based on the marker pattern displayed on the inspection panel 11, and as a result, Is input to the computer 12 via the monitor screen 8. The input inspection result is stored in the storage device 13 as visual inspection result information in association with the identification ID of the inspection panel 11. The visual inspection result information thus produced may be used as visual inspection result information as a separate thing from the automatic inspection result information, and based on the visual inspection result information, the automatic inspection result information of the corresponding inspection panel is corrected and newly inspected. The result information may be created and used as the comprehensive test result information.

이상과 같이, 본 발명의 육안 검사장치(3), 및 본 발명의 육안 검사방법에 따르면, 검사패널(11)의 점등 검사 시에, 자동 검사장치(2)가 결함이 존재한다고 판단한 검사패널(11) 상의 위치 또는 영역을 나타내는 마커 패턴이 테스트 패턴과 함께 검사패널(11)에 표시되므로, 검사원은, 마커 패턴이 표시된 부분에만 주의를 집중해서 육안 검사를 할 수 있으므로, 경험이 적은 검사원이라도, 정밀도 높은 육안 검사를 효율적으로 할 수 있다. As described above, according to the visual inspection apparatus 3 of the present invention and the visual inspection method of the present invention, at the time of the lighting inspection of the inspection panel 11, the automatic inspection apparatus 2 judges that a defect exists. 11) Since the marker pattern indicating the position or area on the image is displayed on the inspection panel 11 together with the test pattern, the inspector can visually inspect the attention only to the portion where the marker pattern is displayed, so that even an inexperienced inspector, High-precision visual inspection can be performed efficiently.

또한, 본 발명의 육안 검사장치(3)에 따르면, 만약, 검사패널(11)에 마커 패턴을 표시할 수 없는 경우라도, 모니터화면(8)에는 마커 패턴과 테스트 패턴이 표시된 검사패널의 화상이 표시되므로, 검사원은, 모니터화면(8)을 보면서, 검사패널(11) 상의 결함으로 판단된 위치 또는 영역을 알 수 있어, 정밀도 높은 육안 검사를 효율적으로 하는 것이 가능하다. In addition, according to the visual inspection apparatus 3 of the present invention, even if the marker pattern cannot be displayed on the inspection panel 11, the monitor screen 8 displays an image of the inspection panel on which the marker pattern and the test pattern are displayed. Since it is displayed, the inspector can know the position or area | region judged as the defect on the inspection panel 11, looking at the monitor screen 8, and it is possible to perform the visual inspection with high precision efficiently.

따라서, 도1에 그 일례를 나타낸 본 발명의 검사시스템(1)에 따르면, 자동 검사장치(2)에서의 결함 판별의 역치를 낮게 설정하여, 결함의 검출 누락의 위험성을 가급적 낮게 억제하는 것이 가능하고, 역치를 낮게 설정함으로써, 결함이 있어 불량품으로 판단된 패널의 비율이 증가해도, 후속하는 본 발명의 육안 검사장치(3)에 의해, 정밀도 높은 육안 검사가 행해지므로, 제품의 수율이 필요 이상으로 저하할 우려는 없다. 이처럼, 본 발명의 검사시스템(1)에서는, 종래부터 문제였던 자동 검사장치에서의 역치 설정의 곤란성이 극복되고, 결함의 검출 누락이 없는, 정밀도 높은 검사를 효율적으로 하는 것이 가능하다. Therefore, according to the inspection system 1 of the present invention showing one example in FIG. 1, it is possible to set the threshold value of the defect discrimination in the automatic inspection apparatus 2 to be low, so as to suppress the risk of missing detection of the defect as low as possible. By setting the threshold low, even if the proportion of the defective panel determined to be defective is increased, the visual inspection with high precision is performed by the visual inspection apparatus 3 of the present invention, so that the yield of the product is more than necessary. There is no fear of falling. As described above, in the inspection system 1 of the present invention, the difficulty of setting the threshold value in the automatic inspection apparatus, which has been a problem conventionally, is overcome, and it is possible to efficiently perform the inspection with high accuracy without missing the detection of the defect.

또한, 본 발명의 검사시스템(1)에 있어, 필요하면, 자동 검사장치(2)에서의 검사대상 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단과, 육안 검사장치(3)에서의 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단을 같은 것으로 해도 된다. 이 경우에는, 자동 검사장치(2)와 육안 검사장치(3)가, 검사대상 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단을 제외하고, 서로 부족한 요소를 가산해 융합한 종합 검사장치가 되며, 1대의 검사장치에 있어, 우선, 자동검사를 하고, 그 결과를 자동 검사결과 정보로서 작성한 후에, 같은 장치를 사용하여, 육안 검사를 하는 것이 가능해진다. 이 경우에는, 검사패널(11)을, 검사부(7)로 반송하고, 위치를 맞추는 작업이 한번에 끝나므로, 효율이 좋다는 이점을 얻을 수 있다.Further, in the inspection system 1 of the present invention, if necessary, means for displaying a test pattern on the inspection target panel in the automatic inspection apparatus 2 and a test pattern on the panel in the visual inspection apparatus 3 are displayed. The means for making the same may be the same. In this case, the automatic inspection apparatus 2 and the visual inspection apparatus 3 become a comprehensive inspection apparatus which adds and fuses elements which are lacking with each other except a means which displays a test pattern on a panel to be inspected. In the apparatus, first, the automatic inspection is performed, and the result is created as the automatic inspection result information, and then visual inspection can be performed using the same apparatus. In this case, since the inspection panel 11 is conveyed to the inspection part 7 and the operation to adjust the position is completed at once, the advantage that the efficiency is good can be obtained.

또한, 이상 설명한 예에서는, 자동 검사장치(2)에 있어 결함이 있다고 판단된 패널에 관해서만, 육안 검사장치(3)에 의한 육안 검사가 행해지게 되어 있지만, 필요하면, 자동 검사장치(2)로 검사된 모든 패널에 관해 육안 검사장치(3)에 의한 육안 검사를 하게 해도 된다.In the example described above, the visual inspection by the visual inspection apparatus 3 is performed only on the panel determined to be defective in the automatic inspection apparatus 2, but if necessary, the automatic inspection apparatus 2 Visual inspection by the visual inspection device 3 may be performed on all panels inspected by the visual inspection.

본 발명의 육안 검사장치 및 검사시스템, 나아가 본 발명의 육안 검사방법이 대상으로 하는 디스플레이 패널은, 액정 디스플레이 패널에 한정되지 않고, 플라즈마 디스플레이 패널, EL 디스플레이 패널, 전계 방출 디스플레이 패널, 전자 페이퍼 등, 패널 상의 결함을 자동 검사 및 육안 검사하는 모든 디스플레이 패널을 대상으로 하는 것이다.
The visual inspection apparatus and inspection system of the present invention, and furthermore, the display panel targeted by the visual inspection method of the present invention are not limited to a liquid crystal display panel but include a plasma display panel, an EL display panel, a field emission display panel, an electronic paper, and the like. It is intended for all display panels that automatically and visually inspect for defects on the panel.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 육안 검사장치와 그것을 갖춘 검사시스템 및 육안 검사방법에 따르면, 디스플레이 패널의 결함검사를, 검출 누락없이, 높은 정밀도로, 효율적으로 할 수 있으므로, 디스플레이 패널의 제조에 관계되는 산업분야에서, 매우 큰 산업상의 이용가능성을 갖는 것이다.As described above, according to the visual inspection apparatus of the present invention, the inspection system equipped with the visual inspection method, and the like, the defect inspection of the display panel can be efficiently performed with high precision without omission of detection. In the industrial sector, there is very large industrial applicability.

본 발명은, 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit thereof.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.
Simple modifications and variations of the present invention can be readily used by those skilled in the art, and all such variations or modifications can be considered to be included within the scope of the present invention.

1: 검사시스템 2: 자동 검사장치
3: 육안 검사장치 4: 네트워크
5: 관리 서버 6: 로더부
7: 검사부 8: 모니터화면
9: 얼라인먼트 카메라 10: 프로브 유닛
11: 검사패널 12: 컴퓨터
13: 기억장치 14: 입출력장치
15: 테스트 패턴 기억장치 16: 마커 패턴 작성장치
17: 패턴 합성장치 18: 구동장치1: Inspection system 2: Automatic inspection device
3: visual inspection device 4: network
5: management server 6: loader
7: Inspection unit 8: Monitor screen
9: alignment camera 10: probe unit
11: test panel 12: computer
13: storage device 14: input / output device
15: Test pattern storage 16: Marker pattern writing device
17: pattern synthesizing device 18: driving device

Claims (9)

검사대상 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단을 갖춘 디스플레이 패널의 육안 검사장치로서, 상기 육안 검사장치는,
테스트 패턴 기억수단;
자동 검사장치가 작성한 자동 검사결과 정보를 취득하는 수단;
상기 자동 검사장치가 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함의 종류 및/또는 크기에 대응한 1 또는 복수의 도형 및/또는 기호인 마커 패턴을 상기 취득한 자동 검사결과 정보에 근거해 작성하는 수단;
상기 작성한 마커 패턴을 상기 결함의 검사대상 패널 위의 대응하는 위치에 표시되도록 테스트 패턴에 중첩시키는 수단; 및
상기 마커 패턴이 상기 중첩된 테스트 패턴을 상기 검사대상 패널에 표시시키는 수단;
상기 검사대상 패널로의 상기 마커 패턴의 표시를 일괄하여, 또는 마커마다 개별로, 온?오프하는 수단을 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 육안 검사장치.
A visual inspection apparatus of a display panel having means for displaying a test pattern on a panel to be inspected, wherein the visual inspection apparatus includes:
Test pattern storage means;
Means for obtaining automatic inspection result information created by the automatic inspection apparatus;
Means for creating a marker pattern which is one or a plurality of figures and / or symbols corresponding to the type and / or size of the defect determined by the automatic inspection apparatus to exist in the inspection target panel based on the acquired automatic inspection result information;
Means for superimposing the created marker pattern on a test pattern to be displayed at a corresponding position on the inspection object panel of the defect; And
Means for displaying the test pattern with the marker pattern superimposed on the inspection target panel;
And a means for turning on / off the display of the marker pattern on the inspection target panel collectively or individually for each marker.
삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, 모니터 화면과, 상기 모니터 화면에 상기 자동 검사장치가 상기 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함을 표시하는 수단과, 표시된 결함 중에서 1 또는 복수의 결함을 선택하는 것을 가능하게 하는 수단과, 선택된 결함과, 그 결함에 관한 육안 검사결과를 관련짓는 것을 가능하게 하는 수단과, 상기 결함과 그 관련된 상기 육안 검사결과에 근거해, 육안 검사결과 정보를 작성하는 수단을 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 육안 검사장치.
The display apparatus according to claim 1, further comprising: a monitor screen, means for displaying a defect determined by the automatic inspection apparatus on the inspection target panel on the monitor screen, and means for enabling one or more defects to be selected from among the displayed defects. And means for enabling association of the selected defect with the visual inspection result of the defect, and means for creating visual inspection result information based on the defect and the visual inspection result associated therewith. Visual inspection device.
제4항에 있어서, 상기 작성한 육안 검사결과 정보에 근거해, 상기 취득한 자동 검사결과 정보를 고치고, 검사결과 정보를 작성하는 수단을 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 육안 검사장치.
The visual inspection apparatus according to claim 4, further comprising means for correcting the acquired automatic inspection result information and creating inspection result information based on the created visual inspection result information.
자동 검사장치와 육안 검사장치를 갖춘 디스플레이 패널의 검사시스템으로서, 자동 검사장치가, 검사대상 패널에 테스트 패턴을 표시시키는 수단과, 테스트 패턴이 표시된 검사대상 패널의 표시화면을 화상데이터로서 수신하는 화상데이터 취득수단과, 취득한 화상데이터를 해석하는 화상 처리수단과, 해석된 화상데이터에 근거해 자동 검사결과 정보를 작성하는 수단과, 작성한 자동 검사결과 정보를 기억하는 기억수단을 갖춘 자동 검사장치이며, 육안 검사장치가 청구항 1, 4, 5의 어느 한 항에 기재된 육안 검사장치인 것을 특징으로 하는 검사시스템.
An inspection system of a display panel having an automatic inspection device and a visual inspection device, wherein the automatic inspection device receives means for displaying a test pattern on the inspection target panel and an image of the display panel of the inspection target panel on which the test pattern is displayed as image data. An automatic inspection device having data acquisition means, image processing means for analyzing acquired image data, means for creating automatic inspection result information based on the analyzed image data, and storage means for storing the created automatic inspection result information, A visual inspection apparatus is a visual inspection apparatus according to any one of claims 1, 4 and 5.
제6항에 있어서, 상기 자동 검사장치에서의 상기 검사대상 패널에 상기 테스트 패턴을 표시시키는 수단이, 상기 육안 검사장치에서의 패널에 상기 테스트 패턴을 표시시키는 수단인 것을 특징으로 하는 검사시스템.
The inspection system according to claim 6, wherein the means for displaying the test pattern on the inspection target panel in the automatic inspection apparatus is a means for displaying the test pattern on the panel in the visual inspection apparatus.
검사대상 패널을 육안 검사장치의 검사위치에 반입하는 공정,
상기 검사위치에 반입한 검사 패널에 관해 자동 검사장치가 작성한 자동 검사결과 정보를 취득하는 공정,
상기 취득한 자동 검사결과 정보에 근거해, 상기 자동 검사장치가 상기 검사대상 패널에 존재한다고 판단한 결함의 종류 및/또는 크기에 대응한 1 또는 복수의 도형 및/또는 기호인 마커 패턴을 작성하는 공정,
상기 작성한 마커 패턴을 상기 결함의 상기 검사대상 패널 위의 대응하는 위치에 표시되도록 테스트 패턴에 중첩시켜 상기 검사위치에 있는 상기 검사대상 패널에 표시시키는 공정, 및
상기 검사대상 패널로의 상기 마커 패턴의 표시를 일괄하여, 또는 마커마다 개별로, 온?오프하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 육안 검사방법.
Bringing the panel to be inspected into the inspection position of the visual inspection device;
Acquiring automatic inspection result information prepared by the automatic inspection apparatus with respect to the inspection panel brought into the inspection position;
Creating a marker pattern which is one or a plurality of figures and / or symbols corresponding to the type and / or size of the defect determined by the automatic inspection apparatus to exist in the inspection target panel based on the acquired automatic inspection result information;
Superimposing the created marker pattern on a test pattern so as to be displayed at a corresponding position on the inspection object panel of the defect, and displaying on the inspection object panel at the inspection position; and
And a step of collectively displaying the marker pattern on the inspection target panel or individually for each marker.
삭제delete
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