KR101092109B1 - Apparatus to Supply Iso-propyl Alcohol - Google Patents

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Abstract

본 발명의 이소프로필 알코올 공급장치는, 액체 상태의 이소프로필 알코올(IPA, Iso-propyl alcohol)이 수용되는 저장조를 구비하며, 액체 상태의 이소프로필 알코올을 기체 상태의 이소프로필 알코올로 변환시키는 이소프로필 알코올 공급부; 이소프로필 알코올 공급부에 의해 공급되는 기체 상태의 이소프로필 알코올에 의해 웨이퍼(wafer)에 대한 건조 작업이 진행되는 건조 공간을 형성하는 웨이퍼 건조부; 이소프로필 알코올 공급부로부터 웨이퍼 건조부로 기체 상태의 이소프로필 알코올을 이송시킬 수 있도록, 일단부가 이소프로필 알코올 공급부에 배치되는 일체관과, 일단부가 웨이퍼 건조부에 연결되는 적어도 2개의 분기관을 갖는 이소프로필 알코올 이송부; 및 일체관과 적어도 2개의 분기관 시이에 결합되어, 일체관으로부터 적어도 2개의 분기관으로 기체 상태의 이소프로필 알코올이 균일하게 배분되도록 하는 이소프로필 알코올 분배부;를 포함한다. 본 발명에 따르면, 웨이퍼 건조부로 공급되는 기체 상태의 이소프로필 알코올을 균일하게 분배함으로써, 웨이퍼 건조부에서의 웨이퍼 건조 작업의 신뢰성을 향상시킬 수 있으며, 또한 이소프로필 알코올 이송부 내에서 기체 상태의 이소프로필 알코올이 응축되는 현상을 저지할 수 있다.The isopropyl alcohol supply apparatus of the present invention includes a storage tank in which isopropyl alcohol (IPA) in a liquid state is accommodated, and isopropyl for converting isopropyl alcohol in a liquid state into isopropyl alcohol in a gas state. Alcohol supply unit; A wafer drying unit forming a drying space in which a drying operation is performed on the wafer by the gaseous isopropyl alcohol supplied by the isopropyl alcohol supply unit; Isopropyl having an integral tube having one end disposed in the isopropyl alcohol supply and at least two branch pipes connected at one end thereof to the wafer drying unit for transferring gaseous isopropyl alcohol from the isopropyl alcohol supply to the wafer drying unit. Alcohol transfer unit; And an isopropyl alcohol distribution unit coupled to the unitary tube and the at least two branch pipes so as to uniformly distribute the gaseous isopropyl alcohol from the unitary tube to the at least two branch tubes. According to the present invention, by uniformly distributing gaseous isopropyl alcohol supplied to the wafer drying unit, the reliability of the wafer drying operation in the wafer drying unit can be improved, and gaseous isopropyl in the isopropyl alcohol transfer unit. It can prevent the condensation of alcohol.

Description

이소프로필 알코올 공급장치{Apparatus to Supply Iso-propyl Alcohol}Apparatus to Supply Iso-propyl Alcohol}

본 발명은, 이소프로필 알코올 공급장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 이소프로필 알코올 이송부의 분기 영역에서 기체 상태의 이소프로필 알코올을 균일하게 분배함으로써, 웨이퍼 건조부에서의 웨이퍼 건조 작업의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 이소프로필 알코올 공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to an isopropyl alcohol supply device, and more particularly, to uniformly distribute gaseous isopropyl alcohol in the branched region of the isopropyl alcohol transfer unit, thereby improving the reliability of the wafer drying operation in the wafer drying unit. To an isopropyl alcohol supply device.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는, 리소그래피(lithography), 증착 및 에칭(etching) 등의 여러 공정을 반복적으로 수행한다. 이러한 공정들을 거치는 동안 기판(예를 들어 실리콘 재질의 웨이퍼) 상에는 파티클, 금속 불순물, 유기물 등이 잔존하게 된다. 이와 같은 오염 물질은 제품의 수율 및 신뢰성에 악영향을 미치기 때문에 반도체 제조 공정에서는 기판에 잔존된 오염 물질을 제거하기 위한 세정 공정이 수행되고, 세정 공정 후에는 웨이퍼에 대한 건조 공정이 수행된다.In general, in order to manufacture a semiconductor device, various processes such as lithography, deposition, and etching are repeatedly performed. During these processes, particles, metal impurities, organics, and the like remain on the substrate (eg, silicon wafer). Since such contaminants adversely affect product yield and reliability, a cleaning process for removing contaminants remaining on a substrate is performed in a semiconductor manufacturing process, and a drying process for a wafer is performed after the cleaning process.

종래 알려진 건조 방식으로는 스핀 건조방식, 이소프로필 알코올(IPA, Iso-propyl Alcohol)에 의한 마란고니 효과(Marangoni effect)를 이용한 건조 방식 등이 있다. 그 중 이소프로필 알코올을 이용한 건조 방식은 웨이퍼를 순수(DIW, deionized water) 안에서 수직 방향으로 끌어올림과 동시에 이소프로필 알코올 및 질소가스를 웨이퍼 표면의 기액 계면 부근에 불어 넣는 것에 의해 마란고니 효과를 발생시켜 웨이퍼를 건조시키는 방식을 말한다.Conventionally known drying methods include spin drying, drying using Marangoni effect by isopropyl alcohol (IPA, Iso-propyl Alcohol). Among them, the drying method using isopropyl alcohol generates a marangoni effect by pulling the wafer vertically in pure water (DIW) and blowing isopropyl alcohol and nitrogen gas near the gas-liquid interface on the wafer surface. To dry the wafer.

일반적으로 건조 공정 시 사용되는 이소프로필 알코올은 이소프로필 알코올 공급장치로부터 기체 상태로 제공된다. 여기서, 이소프로필 알코올 공급장치는 히터를 이용하는 직/간접 가열 방식 또는 가스를 공급함에 따른 버블링(bubbling)에 의해 액상 이소프로필 알코올이 기화될 수 있도록 구성되어 있다.In general, isopropyl alcohol used in the drying process is provided in a gaseous state from an isopropyl alcohol supply. Here, the isopropyl alcohol supply device is configured such that the liquid isopropyl alcohol can be vaporized by a direct / indirect heating method using a heater or bubbling by supplying a gas.

도 1은 종래의 일 실시예에 따른 이소프로필 알코올 공급장치의 구성도를 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a view schematically showing the configuration of an isopropyl alcohol supply apparatus according to a conventional embodiment.

이에 도시된 바와 같이, 종래의 일 실시예에 따른 이소프로필 알코올 공급장치(1)는, 질소가스(N2)와 액체 상태의 이소프로필 알코올(5a)을 반응시켜 기체 상태의 이소프로필 알코올(5b)을 발생시키는 이소프로필 알코올 공급부(30)와, 이소프로필 알코올 공급부(30)에 의해 생성된 기체 상태의 이소프로필 알코올(5b)에 의해 웨이퍼(W)를 건조시키는 웨이퍼 건조부(20)와, 이소프로필 알코올 공급부(30)와 웨이퍼 건조부(20)를 연결함으로써 기체 상태의 이소프로필 알코올(5b)을 이송시키는 배관 라인(40)을 포함한다.As shown therein, the isopropyl alcohol supply device 1 according to the conventional embodiment reacts the nitrogen gas (N2) with the isopropyl alcohol (5a) in the liquid state to the gaseous isopropyl alcohol (5b) An isopropyl alcohol supply unit 30 for generating a gas, a wafer drying unit 20 for drying the wafer W by gaseous isopropyl alcohol 5b generated by the isopropyl alcohol supply unit 30, and iso By connecting the propyl alcohol supply unit 30 and the wafer drying unit 20 includes a piping line 40 for transferring the isopropyl alcohol (5b) in the gas state.

여기서, 도 1에 도시된 바와 같이, 배관 라인(40)은 웨이퍼 건조부(20)의 내부에 균일한 기체 상태의 이소프로필 알코올(5b)을 공급하기 위하여 두 개의 분 배 배관(45)으로 분기된다.Here, as shown in FIG. 1, the pipe line 40 branches into two distribution pipes 45 to supply isopropyl alcohol 5b in a uniform gas state inside the wafer drying unit 20. do.

즉, 이소프로필 알코올 공급부(30)에서 소정의 공정에 의해 기체화된 이소프로필 알코올(5b)은 배관 라인(40)으로 인입된 후, 분배 배관(45)에서 배분되고 이어서 웨이퍼 건조부(20)로 공급된다. 공급된 기체 상태의 이소프로필 알코올(5b)은 전술한 마란고니 효과에 의해 웨이퍼(W)를 건조시킬 수 있다.That is, the isopropyl alcohol 5b gasified by the predetermined process in the isopropyl alcohol supply unit 30 is introduced into the piping line 40, and then distributed in the distribution piping 45, and then the wafer drying unit 20. Is supplied. The gaseous isopropyl alcohol 5b can dry the wafer W by the aforementioned Marangoni effect.

그런데 이러한 종래의 일 실시예에 따른 이소프로필 알코올 공급장치(1)에 있어서는, 배관 라인(40)이 두 개의 분배 배관(45)으로 전환되는 부분에서 기체 상태의 이소프로필 알코올(5b)이 균일하게 배분되지 못하며, 따라서 웨이퍼 건조부(20) 상에 균일한 기체 상태의 이소프로필 알코올(5b)이 공급되지 못함으로써 웨이퍼 건조부(20) 내에서의 건조 작업이 신뢰성 있게 진행되지 못하는 문제점이 있다.However, in the isopropyl alcohol supply device 1 according to the conventional embodiment, the gaseous isopropyl alcohol 5b is uniformly formed at the portion where the pipe line 40 is converted into two distribution pipes 45. Since it is not distributed, and thus isopropyl alcohol 5b of a uniform gas state is not supplied to the wafer drying unit 20, there is a problem that the drying operation in the wafer drying unit 20 does not proceed reliably.

더불어, 기체 상태의 이소프로필 알코올(5b)이 배관 라인(40)을 통과하는 동안 온도가 급격하게 하강되어 배관 라인(40) 내에서 기체 상태의 이소프로필 알코올(5b)이 응축되는 현상이 발생되는 문제점이 있었다.In addition, while the gaseous isopropyl alcohol (5b) passes through the piping line 40, the temperature is drastically lowered so that the phenomenon that the gaseous isopropyl alcohol (5b) condenses in the piping line 40 occurs There was a problem.

이에, 기체 상태의 이소프로필 알코올을 균일하게 배분할 수 있는 구조를 가지면서도, 기체 상태의 이소프로필 알코올이 응축되는 현상을 방지할 수 있는 새로운 구조의 이소프로필 알코올 공급장치의 개발이 필요한 실정이다.Accordingly, there is a need for the development of an isopropyl alcohol supply device having a new structure capable of uniformly distributing gaseous isopropyl alcohol and preventing condensation of gaseous isopropyl alcohol.

본 발명의 목적은, 이소프로필 알코올 이송부에 마련된 이소프로필 알코올 분배부에 의해 이소프로필 알코올 이송부를 통해 이송되는 기체 상태의 이소프로필 알코올을 균일하게 분배함으로써, 웨이퍼 건조부에서의 웨이퍼 건조 작업의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 이소프로필 알코올 공급장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to uniformly distribute the gaseous isopropyl alcohol transferred through the isopropyl alcohol transfer unit by the isopropyl alcohol distribution unit provided in the isopropyl alcohol transfer unit, thereby improving the reliability of the wafer drying operation in the wafer drying unit. It is to provide an isopropyl alcohol supply apparatus that can be improved.

또한 본 발명의 목적은, 이소프로필 알코올 이송부를 통해 기체 상태의 이소프로필 알코올이 이송될 때 온도가 급격히 하강하는 것을 방지할 수 있어 이소프로필 알코올 이송부 내에서 응축 현상이 발생되는 것을 방지할 수 있는 이소프로필 알코올 공급장치를 제공하는 것이다.In addition, an object of the present invention, it is possible to prevent the temperature is sharply lowered when the isopropyl alcohol in the gaseous state is transferred through the isopropyl alcohol transfer portion isopropyl alcohol that can prevent the condensation occurs in the isopropyl alcohol transfer portion It is to provide a propyl alcohol supply.

본 발명의 실시예에 따른 이소프로필 알코올 공급장치는, 액체 상태의 이소프로필 알코올(IPA, Iso-propyl alcohol)이 수용되는 저장조를 구비하며, 상기 액체 상태의 이소프로필 알코올을 기체 상태의 이소프로필 알코올로 변환시키는 이소프로필 알코올 공급부; 상기 이소프로필 알코올 공급부에 의해 공급되는 상기 기체 상태의 이소프로필 알코올에 의해 웨이퍼(wafer)에 대한 건조 작업이 진행되는 건조 공간을 형성하는 웨이퍼 건조부; 상기 이소프로필 알코올 공급부로부터 상기 웨이퍼 건조부로 상기 기체 상태의 이소프로필 알코올을 이송시킬 수 있도록, 일단부가 상기 이소프로필 알코올 공급부에 배치되는 일체관과, 일단부가 상기 웨이퍼 건조부에 연결되는 적어도 2개의 분기관을 갖는 이소프로필 알코올 이송부; 및 상기 일체관과 상기 적어도 2개의 분기관 시이에 결합되어, 상기 일체관으로부터 상기 적어도 2개의 분기관으로 상기 기체 상태의 이소프로필 알코올이 균일하게 배분되도록 하는 이소프로필 알코올 분배부;를 포함하며, 이러한 구성에 의해, 이소프로필 알코올 이송부를 통해 이송되는 기체 상태의 이소프로필 알코올을 균일하게 분배할 수 있어 웨이퍼 건조부에서의 웨이퍼 건조 작업의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.An isopropyl alcohol supply apparatus according to an embodiment of the present invention includes a storage tank in which isopropyl alcohol (IPA) in a liquid state is accommodated, and isopropyl alcohol in a gas state is used for the isopropyl alcohol in a liquid state. Isopropyl alcohol supply to convert to; A wafer drying unit forming a drying space in which a drying operation on a wafer is performed by the gaseous isopropyl alcohol supplied by the isopropyl alcohol supply unit; An integral tube having one end portion disposed in the isopropyl alcohol supply portion and at least two portions having one end portion connected to the wafer drying portion so as to transfer the gaseous isopropyl alcohol from the isopropyl alcohol supply portion to the wafer drying portion. An isopropyl alcohol transporter having an engine; And an isopropyl alcohol distribution unit coupled to the unitary pipe and the at least two branch pipes so that the gaseous isopropyl alcohol is uniformly distributed from the unitary pipe to the at least two branch pipes. By this structure, the gaseous isopropyl alcohol conveyed through the isopropyl alcohol conveyance part can be distributed uniformly, and the reliability of the wafer drying operation in a wafer drying part can be improved.

여기서, 상기 이소프로필 알코올 이송부는, 일단부가 상기 이소프로필 알코올 공급부에 배치되는 일체관과, 일단부가 상기 웨이퍼 건조부에 연결되는 적어도 2개의 분기관을 포함하며, 상기 일체관과 상기 적어도 2개의 분기관 사이에 상기 이소프로필 알코올 분배부가 마련되는 것이 바람직하다.The isopropyl alcohol transfer part may include an integrated tube having one end disposed at the isopropyl alcohol supply unit and at least two branch pipes having one end connected to the wafer drying unit. It is preferred that the isopropyl alcohol distribution is provided between the engines.

상기 이소프로필 알코올 분배부는 매니폴드(manifold, 다기관) 타입으로 마련되며, 따라서 기체 상태의 이소프로필 알코올의 균일 분배를 실행할 수 있다.The isopropyl alcohol distribution part is provided in a manifold (manifold) type, and thus can uniformly distribute the gaseous isopropyl alcohol.

상기 이소프로필 알코올 분배부는, 상기 일체관의 타단부와 연결되는 일체관 연결부분; 및 상기 일체관 연결부분과 일체로 마련되며, 상기 적어도 2개의 분기관의 타단부들과 연결되는 분기관 연결부분을 포함하며, 상기 일체관 연결부분을 통과한 상기 기체 상태의 이소프로필 알코올은 상기 분기관 연결부분과 연결된 상기 적어도 2개의 분기관으로 균일하게 분배될 수 있다.The isopropyl alcohol distribution unit, integral pipe connecting portion connected to the other end of the integral pipe; And a branch pipe connection part provided integrally with the unit pipe connection part and connected to the other ends of the at least two branch pipes, wherein the gas isopropyl alcohol passed through the unit pipe connection part is It may be uniformly distributed to the at least two branch pipes connected to the branch pipe connecting portion.

상기 이소프로필 알코올 분배부는, 상기 분기관 연결부분에 각각 결합되어 상기 분기관으로 이송되는 상기 기체 상태의 이소프로필 알코올의 유량을 감지하는 유량 감지부; 상기 유량 감지부의 후미 영역에서 상기 분기관 연결부분에 각각 장착되어 상기 분기관으로 이송되는 상기 기체 상태의 이소프로필 알코올의 유량을 조절하는 유량 조절 밸브; 및 상기 유량 감지부에 의해 감지된 정보에 기초하여 상기 유량 조절 밸브의 개폐 정도를 제어하는 제어부를 포함하며, 이러한 구성에 의해 이소프로필 알코올 이송부를 통해 이송되는 기체 상태의 이소프로필 알코올의 균일 분배를 보다 정확하게 수행할 수 있다.The isopropyl alcohol distribution unit, the flow rate sensing unit for detecting the flow rate of the isopropyl alcohol in the gas state is respectively coupled to the branch pipe connection portion is transferred to the branch pipe; A flow rate control valve mounted at each of the branch pipe connection portions in the rear region of the flow rate sensing part to adjust a flow rate of the gas isopropyl alcohol transferred to the branch pipe; And a control unit for controlling the opening and closing degree of the flow control valve on the basis of the information detected by the flow rate detection unit, by this configuration to uniform distribution of isopropyl alcohol in the gas state conveyed through the isopropyl alcohol transfer unit This can be done more accurately.

상기 이소프로필 알코올 이송부의 적어도 일부분과 결합되어, 상기 이소프로필 알코올 이송부를 따라 이송되는 상기 기체 상태의 이소프로필 알코올의 온도를 유지시키는 히팅부를 더 포함하며, 이에 따라 이소프로필 알코올 이송부를 통해 기체 상태의 이소프로필 알코올이 이송될 때 온도가 급격히 하강하는 것을 방지할 수 있어 이소프로필 알코올 이송부 내에서 응축 현상이 발생되는 것을 방지할 수 있다.And a heating unit coupled to at least a portion of the isopropyl alcohol transfer unit to maintain a temperature of the gaseous isopropyl alcohol transferred along the isopropyl alcohol transfer unit, and thus the gaseous state through the isopropyl alcohol transfer unit. When the isopropyl alcohol is transferred, it is possible to prevent the temperature from falling sharply, thereby preventing condensation from occurring in the isopropyl alcohol transfer part.

상기 히팅부는, 전류 인가시 상기 이소프로필 알코올 이송관을 가열시킬 수 있도록, 상기 이소프로필 알코올 이송관의 일부 구간의 둘레 방향을 따라 권취되는 코일(coil) 형태로 마련될 수 있다.The heating unit may be provided in the form of a coil wound along the circumferential direction of a portion of the isopropyl alcohol transport tube so as to heat the isopropyl alcohol transport tube when a current is applied.

본 발명의 실시예에 따르면, 이소프로필 알코올 이송부에 마련된 이소프로필 알코올 분배부에 의해 이소프로필 알코올 이송부를 통해 이송되는 기체 상태의 이소프로필 알코올을 균일하게 분배함으로써, 웨이퍼 건조부에서의 웨이퍼 건조 작 업의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the wafer drying operation in the wafer drying unit by uniformly distributing isopropyl alcohol in the gas state transferred through the isopropyl alcohol transfer unit by the isopropyl alcohol distribution unit provided in the isopropyl alcohol transfer unit. Can improve the reliability.

또한, 본 발명의 실시예에 의하면, 히팅부가 이소프로필 알코올 이송부를 부분적으로 가열함으로써, 이소프로필 알코올 이송부를 통해 기체 상태의 이소프로필 알코올이 이송될 때 온도가 급격히 하강하는 것을 방지할 수 있으며, 이로 인해 이소프로필 알코올 이송부 내에서 응축 현상이 발생되는 것을 방지할 수 있다.In addition, according to the embodiment of the present invention, by heating the isopropyl alcohol transfer part partially heating portion, it is possible to prevent the temperature drop sharply when the isopropyl alcohol in the gas state is transferred through the isopropyl alcohol transfer unit, Therefore, it is possible to prevent the occurrence of condensation in the isopropyl alcohol transfer part.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 구성 및 적용에 관하여 상세히 설명한다. 이하의 설명은 특허 청구 가능한 본 발명의 여러 태양(aspects) 중 하나이며, 하기의 기술(description)은 본 발명에 대한 상세한 기술(detailed description)의 일부를 이룬다. Hereinafter, configurations and applications according to embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The following description is one of several aspects of the patentable invention and the following description forms part of the detailed description of the invention.

다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail for the sake of clarity and conciseness.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 이소프로필 알코올 공급장치의 구성을 도시한 도면이고, 도 3은 도 2의 이소프로필 알코올 분배부의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.2 is a view showing the configuration of the isopropyl alcohol supply apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a view schematically showing the configuration of the isopropyl alcohol distribution of Figure 2;

이들 도면에 도시된 바와 같이, 세정장치로 적용될 수 있는 본 발명의 일 실시예에 따른 이소프로필 알코올 공급장치(100)는, 웨이퍼(W, wafer)에 대한 세정 작업을 실행하는 세정조(110)와, 웨이퍼(W)에 대한 건조 작업을 실행하는 웨이퍼 건조부(120)와, 액체 상태의 이소프로필 알코올(105a, Iso-propyl alcohol)을 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)로 변환시킨 후 공급하는 이소프로필 알코올 공급부(130)와, 이소프로필 알코올 공급부(130)로부터 웨이퍼 건조부(120)로 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)을 이송시키는 이소프로필 알코올 이송부(140)와, 이소프로필 알코올 이송부(140)에 마련되며 이소프로필 알코올 이송부(140)를 따라 이송되는 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)을 균일하게 배분하는 이소프로필 알코올 분배부(150)를 포함한다.As shown in these figures, the isopropyl alcohol supply device 100 according to an embodiment of the present invention that can be applied as a cleaning device, the cleaning tank 110 for performing a cleaning operation for the wafer (W, wafer) And the wafer drying unit 120 for performing the drying operation on the wafer W and the liquid isopropyl alcohol 105a (Iso-propyl alcohol) are converted into gaseous isopropyl alcohol 105b and then supplied. An isopropyl alcohol supply unit 130, an isopropyl alcohol supply unit 140 for transferring a gaseous isopropyl alcohol 105b from the isopropyl alcohol supply unit 130 to the wafer drying unit 120, and isopropyl alcohol transport unit And an isopropyl alcohol distribution unit 150 provided at 140 and uniformly distributing the isopropyl alcohol 105b in the gas state transported along the isopropyl alcohol transfer unit 140.

먼저 세정조(110)는, 웨이퍼(W)를 세정하기 위한 세정액(111)이 수용되는 용기로서 웨이퍼(W) 수용에 적합한 크기로 형성되며, 세정조(110)의 형태 및 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 또한 세정조(110)는 세정액(111)과 반응하지 않는 재질로 마련되며, 이러한 세정조(110)의 재질은 요구되는 조건에 따라 적절히 변경될 수 있다. 예를 들어 본 실시예의 세정조(110)는 석영(quartz)으로 마련될 수 있으며, 이외에도 다른 재질이 적용될 수 있음은 물론이다. First, the cleaning tank 110 is a container in which the cleaning liquid 111 for cleaning the wafer W is formed, and is formed in a size suitable for accommodating the wafer W, and the shape and structure of the cleaning tank 110 are required. And can be variously changed according to design specifications. In addition, the cleaning tank 110 is provided with a material that does not react with the cleaning liquid 111, the material of the cleaning tank 110 may be appropriately changed according to the required conditions. For example, the cleaning tank 110 of the present embodiment may be made of quartz, and of course, other materials may be applied.

한편, 웨이퍼 건조부(120)는 세정조(110)의 상부에 선택적으로 분리 가능하게 배치되며, 이러한 웨이퍼 건조부(120)에는, 세정 공정이 완료된 웨이퍼(W)를 건조시키기 위한 건조 공간(120S)이 형성되어 있다. 이러한 웨이퍼 건조부(120)의 내측 상부에는 후술할 이소프로필 알코올 이송부(140)의 단부와 연결된 노즐(149)이 장착되어 이소프로필 알코올 이송부(140)를 따라 이송된 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)이 웨이퍼 건조부(120)의 건조 공간(120S)으로 균일하게 분사될 수 있다.On the other hand, the wafer drying unit 120 is disposed to be selectively separated on the cleaning tank 110, the drying space 120S for drying the wafer (W), the cleaning process is completed in the wafer drying unit 120 ) Is formed. The inside of the wafer drying unit 120 is equipped with a nozzle 149 connected to an end of the isopropyl alcohol transfer unit 140 to be described later, isopropyl alcohol 105b in a gas state transferred along the isopropyl alcohol transfer unit 140. ) May be uniformly sprayed into the drying space 120S of the wafer drying unit 120.

또한, 세정조(110)에서 세정된 웨이퍼(W)를 건조 처리하기 위해 웨이퍼(W)를 웨이퍼 건조부(120)의 건조 공간(120S)으로 승강시켜야 하는데, 본 실시예에서는 이러한 역할이 도 2에 도시된 리프트부재(115)에 의해 수행된다.In addition, in order to dry process the wafer W cleaned in the cleaning tank 110, the wafer W must be elevated to the drying space 120S of the wafer drying unit 120. In this embodiment, this role is illustrated in FIG. 2. It is performed by the lift member 115 shown in.

도 2의 웨이퍼(W)를 그에 가로되는 방향(화살표 'A' 방향)으로 보면, 수십 개의 웨이퍼(W)가 상호 나란하게 배치되는데, 이러한 웨이퍼(W)들은 리프트부재(115)에 로딩(loading)된 상태를 유지한다. 리프트부재(115)는 웨이퍼(W)들의 세정이 완료되면 승강되어, 세정된 웨이퍼(W) 전체가 웨이퍼 건조부(120)의 건조 공간(120S)으로 이송될 수 있도록 한다.When the wafer W of FIG. 2 is viewed in a direction transverse thereto (arrow 'A' direction), dozens of wafers W are arranged side by side, and these wafers W are loaded onto the lift member 115. Keeps). The lift member 115 is elevated when the cleaning of the wafers W is completed, so that the entire cleaned wafer W may be transferred to the drying space 120S of the wafer drying unit 120.

한편, 이소프로필 알코올 공급부(130)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 액체 상태의 건조제, 즉 본 실시예의 이소프로필 알코올(105a)이 저장되는 저장조(131)에, 질소 가스(N2)를 공급하는 질소 가스 공급관(133)과, 전술한 이소프로필 알코올 이송부(140)의 일부분이 배치되어 있다.Meanwhile, as shown in FIG. 2, the isopropyl alcohol supply unit 130 supplies nitrogen gas (N2) to a storage tank 131 in which a liquid desiccant, that is, isopropyl alcohol 105a of the present embodiment is stored. A nitrogen gas supply pipe 133 and a portion of the isopropyl alcohol transfer unit 140 described above are disposed.

저장조(131)에는 본 실시예에서 웨이퍼(W)를 건조시키는 건조제로 사용되는 이소프로필 알코올(105a)이 액체 상태로 수용되어 있다. 이러한 액체 상태의 이소프로필 알코올(105a)에 질소 가스 공급관(133)을 통하여 질소 가스를 공급하면, 액체 상태의 이소프로필 알코올(105a)과 질소 가스(N2) 간의 버블링(bubbling) 작용이 활발하게 발생되어, 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)이 발생되며, 발생된 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)은 액체 상태의 이소프로필 알코올(105a)로부터 이탈되어 이소프로필 알코올 이송부(140)로 인입된다. In the storage tank 131, isopropyl alcohol 105a, which is used as a drying agent for drying the wafer W in this embodiment, is accommodated in a liquid state. When nitrogen gas is supplied to the isopropyl alcohol 105a in the liquid state through the nitrogen gas supply pipe 133, the bubbling action between the isopropyl alcohol 105a in the liquid state and the nitrogen gas N2 is actively performed. Generated, gaseous isopropyl alcohol 105b is generated, and the generated gaseous isopropyl alcohol 105b is separated from the liquid isopropyl alcohol 105a and introduced into the isopropyl alcohol transfer part 140. .

다만, 이러한 버블링 작용이 활발하게 이루어지기 위해서는, 액체 상태의 이소프로필 알코올(105a)이 일정 수준의 고온을 유지하는 것이 좋은데, 이를 위해, 도시하지는 않았지만, 저장조(131)는 중탕의 증류수에 소정 부분 잠기게 마련될 수 있으며, 중탕의 주변에는 중탕의 증류수를 가열하기 위한 히팅 장치(미도시)가 마련될 수 있다.However, in order to actively perform such a bubbling action, it is preferable that the liquid isopropyl alcohol 105a maintain a high temperature at a predetermined level. For this purpose, although not illustrated, the storage tank 131 is predetermined in distilled water of the bath. It may be provided to be partially submerged, a heating device (not shown) for heating the distilled water of the bath may be provided in the vicinity of the bath.

한편, 이소프로필 알코올 이송부(140)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 이소프로필 알코올 공급부(130)와 웨이퍼 건조부(120) 간을 연결하여 이소프로필 알코올 공급부(130)에서 생성된 기체 상태의 이소프로필 알코올이 웨이퍼 건조부(120)로 공급될 수 있도록 한다.Meanwhile, as shown in FIG. 2, the isopropyl alcohol transfer unit 140 connects the isopropyl alcohol supply unit 130 and the wafer drying unit 120 in a gas state generated by the isopropyl alcohol supply unit 130. Allow isopropyl alcohol to be supplied to the wafer drying unit 120.

이러한 이소프로필 알코올 이송부(140)는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 일단부가 이소프로필 알코올 공급부(130)에 마련되는 일체관(141)과, 웨이퍼 건조부(120)의 내측 상부에 마련된 두 개의 노즐(149)과 각각 연결되는 두 개의 분기관(145)을 포함한다. 한편, 후술하겠지만, 일체관(141)과 두 개의 분기관(145)은 이소프로필 알코올 분배부(150)에 의해 연결되며, 이러한 구성에 의해 일체관(141)을 통해 이송된 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)은 두 개의 분기관(145)으로 실질적으로 균일하게 배분될 수 있다.As shown in FIGS. 2 and 3, the isopropyl alcohol transfer unit 140 has an integrated pipe 141 having one end portion provided in the isopropyl alcohol supply unit 130 and an inner upper portion of the wafer drying unit 120. Two branch pipes 145 are respectively connected to two nozzles 149 provided. On the other hand, as will be described later, the integral pipe 141 and the two branch pipes 145 are connected by the isopropyl alcohol distribution unit 150, by this configuration isopropyl in gas state transferred through the integral pipe 141 Alcohol 105b may be distributed substantially uniformly into two branch tubes 145.

일체관(141)과 분기관(145)은 상호 동일한 재질로 형성되되, 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)과 반응하지 않은 스테인리스 스틸(stainless steel) 등의 재질로 마련되는 것이 바람직하다.The integral pipe 141 and the branch pipe 145 are formed of the same material, but preferably made of a material such as stainless steel that does not react with the isopropyl alcohol 105b in the gas state.

일체관(141)에는, 도시하지는 않았지만, 이소프로필 알코올 공급부(130)로부터 유입되는 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)의 유량을 조절하는 유량 조절 밸브(미도시)가 장착될 수 있으며, 이에 따라 적절한 양의 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)이 전술한 웨이퍼 건조부(120)로 공급될 수 있도록 한다.Although not shown, the unit pipe 141 may be equipped with a flow control valve (not shown) for adjusting the flow rate of the isopropyl alcohol 105b in the gas state flowing from the isopropyl alcohol supply unit 130. An appropriate amount of gaseous isopropyl alcohol 105b can be supplied to the wafer drying unit 120 described above.

한편, 이소프로필 알코올 분배부(150)는, 균입한 압력 분배가 가능한 매니폴드(manifold, 다기관) 타입으로 마련되며, 이로 인해 일체관(141)으로부터 전달된 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)을 두 개의 분기관(145)으로 정확하게 배분할 수 있어, 동일한 압력의 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)이 웨이퍼 건조부(120)의 건조 공간(120S)으로 균일하게 분사될 수 있다.On the other hand, the isopropyl alcohol distribution unit 150 is provided in a manifold (manifold) type capable of uniform pressure distribution, and thus isopropyl alcohol 105b of the gas state delivered from the unit pipe 141. Since it can be accurately distributed to the two branch pipes 145, the isopropyl alcohol 105b of the gas state of the same pressure can be uniformly injected into the drying space 120S of the wafer drying unit 120.

다만, 이소프로필 알코올 분배부(150)에서 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)의 분배를 보다 균일하게 하기 위해, 본 실시예의 이소프로필 알코올 분배부(150)는, 일체관(141)에 연결되는 일체관 연결부분(151)과, 일체관 연결부분(151)과 일체로 마련되며 두 개의 분기관(145)과 연결되는 분기관 연결부분(152)과, 두 개의 분기관(145)과 각각 연결되는 분기관 연결부분(152)에 장착되어 두 개의 분기관(145)으로 각각 이송되는 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)의 유량을 감지하는 유량 감지부(미도시)와, 분기관 연결부분(152)에 장착되어 각 분기관(145)으로 이송되는 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)의 유량을 조절하는 유량 조절 밸브(153)와, 유량 감지부에 의해 감지된 정보에 기초하여 유량 조절 밸브(153)의 개폐 정도를 제어하는 제어부(미도시)를 포함한다.However, in order to more uniformly distribute the gaseous isopropyl alcohol 105b in the isopropyl alcohol distribution unit 150, the isopropyl alcohol distribution unit 150 of the present embodiment is connected to the integrated pipe 141. Integral pipe connecting portion 151, branch pipe connecting portion 151 is provided integrally with the integral pipe connecting portion 151 and connected to the two branch pipes 145, and connected to the two branch pipes 145, respectively A flow rate sensing unit (not shown) mounted on a branch pipe connection part 152 to sense a flow rate of isopropyl alcohol 105b in a gas state respectively transferred to two branch pipes 145, and a branch pipe connection part ( A flow control valve 153 mounted on the 152 and controlling a flow rate of the isopropyl alcohol 105b in a gas state, which is transferred to each branch pipe 145, and a flow control valve based on information detected by the flow sensor A control unit (not shown) for controlling the opening and closing degree of the 153 is included.

이러한 구성에 의해, 각각의 유량 감지부에서 각 분기관(145)으로 들어가는 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)의 유량을 감지한 후, 감지된 정보는 제어부로 전송되고 제어부는 그 정보에 기초하여 해당 유량 조절 밸브(153)의 개폐 정 도를 조절하여, 각 분기관(145)으로 동일한 유량의 이소프로필 알코올(105b)이 동일한 압력으로 이송될 수 있도록 하며, 이로 인해 웨이퍼 건조부(120)의 건조 공간(120S)으로 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)이 균일하게 분사될 수 있다.By this configuration, after detecting the flow rate of isopropyl alcohol 105b in the gas state entering each branch pipe 145 in each flow rate sensing unit, the detected information is transmitted to the control unit and the control unit is based on the information. By adjusting the opening and closing degree of the flow control valve 153, isopropyl alcohol (105b) of the same flow rate can be transferred to each branch pipe 145 at the same pressure, thereby the wafer drying unit 120 Gas isopropyl alcohol 105b may be uniformly sprayed into the drying space 120S.

다만, 본 실시예의 이소프로필 알코올 분배부(150)는 전술한 구성에 한정되는 것은 아니며, 일체관(141)으로부터의 이소프로필 알코올(105b)을 분기관(145)에서 균일하게 배분할 수 있다면, 다른 구조로 마련되어도 무방하다 할 것이다.However, the isopropyl alcohol distribution unit 150 of the present embodiment is not limited to the above-described configuration, and if the isopropyl alcohol 105b from the integrated pipe 141 can be uniformly distributed in the branch pipe 145, another It may be provided as a structure.

또한, 본 실시예의 이송관 분배부(150)는 하나의 일체관(141)과 두 개의 분기관(145)을 연결하는 구조를 갖지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 필요에 따라 하나의 일체관과 세 개 이상의 분기관을 연결하는 구조를 가질 수도 있다.In addition, the transfer pipe distribution unit 150 of the present embodiment has a structure for connecting one integral pipe 141 and two branch pipes 145, but is not limited thereto, one integral pipe and three as needed. It may have a structure for connecting two or more branch pipes.

이하에서는, 이러한 구성을 갖는 이소프로필 알코올 공급장치(100)의 작동 과정에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, the operation of the isopropyl alcohol supply device 100 having such a configuration will be described.

먼저, 액체 상태의 이소프로필 알코올(105a)이 저장된 이소프로필 알코올 공급부(130)의 저장조(131)에 질소 가스(N2)를 주입하여 액체 상태의 이소프로필 알코올(105a)과 질소 가스(N2)를 버블링시킨다. 그러면, 액체 상태의 이소프로필 알코올(105a)이 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)로 변환되고, 변환된 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)은 이소프로필 알코올 이송부(140)의 일체관(141)으로 인입된다.First, nitrogen gas (N2) is injected into the storage tank 131 of the isopropyl alcohol supply unit 130 in which the isopropyl alcohol 105a in the liquid state is stored to obtain the isopropyl alcohol 105a and the nitrogen gas (N2) in the liquid state. Bubble. Then, the isopropyl alcohol 105a in the liquid state is converted to the isopropyl alcohol 105b in the gas state, and the converted isopropyl alcohol 105b is the unitary tube 141 of the isopropyl alcohol transfer part 140. It is pulled in.

인입된 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)은 일체관(141)을 지나 이소프로필 알코올 분배부(150)에 도달하게 되며, 이소프로필 알코올 분배부(150)에서는 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)을 실질적으로 동일하게 배분하여 두 개의 분기관(145)으로 이송시킨다. 각각의 분기관(145)을 따라 이송된 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)은 웨이퍼 건조부(120)의 건조 공간(120S)으로 분사되며, 분사된 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)은 리프트부재(115)에 의해 승강하는 웨이퍼(W)를 마란고니 효과에 의해 건조시킨다.The gaseous isopropyl alcohol 105b passes through the unitary tube 141 and reaches the isopropyl alcohol distribution unit 150. In the isopropyl alcohol distribution unit 150, the isopropyl alcohol 105b is gaseous. To be distributed substantially the same to the two branch pipes (145). The gaseous isopropyl alcohol 105b transferred along each branch pipe 145 is injected into the drying space 120S of the wafer drying unit 120, and the injected isopropyl alcohol 105b is lifted. The wafer W lifted by the member 115 is dried by the Marangoni effect.

이어서, 세정 및 건조 완료된 웨이퍼(W)는 외부로 배출되고, 추후 공정을 통해 하나의 완성품으로 제조 완료된다.Subsequently, the cleaned and dried wafers W are discharged to the outside and manufactured into one finished product through a later process.

이와 같이, 본 실시예에 의하면, 이소프로필 알코올 이송부(140)에 마련된 이소프로필 알코올 분배부(150)에 의해 웨이퍼 건조부(120)와 연결된 두 개의 분기관(145)으로 기체 상태의 이소프로필 알코올(105b)을 균등하게 분배할 수 있으며, 이로 인해 웨이퍼 건조부(120)에서의 웨이퍼(W) 건조 작업의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the present exemplary embodiment, the isopropyl alcohol in the gas state is provided by the two branch pipes 145 connected to the wafer drying unit 120 by the isopropyl alcohol distribution unit 150 provided in the isopropyl alcohol transfer unit 140. The 105b can be evenly distributed, thereby improving the reliability of the wafer W drying operation in the wafer drying unit 120.

한편, 이하에서는, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 이소프로필 알코올 공급장치를 설명하되, 본 발명의 일 실시예의 이소프로필 알코올 공급장치에서 설명한 바와 동일한 것에 대해서는 그 설명을 생략하기로 한다.Meanwhile, hereinafter, an isopropyl alcohol supply device according to another embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings, and the same description as for the isopropyl alcohol supply device according to an embodiment of the present invention will be omitted. Shall be.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이소프로필 알코올 공급장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.4 is a view schematically showing the configuration of an isopropyl alcohol supply apparatus according to another embodiment of the present invention.

이에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 이소프로필 알코올 공급장치(200)는, 전술한 이소프로필 알코올 공급장치(100, 도 2 참조)와 실질적으로 유사한 구성을 갖되, 이소프로필 알코올 이송부(240)에 마련되며, 이소프로필 알코올 이송부(240)를 따라 이송되는 기체 상태의 이소프로필 알코올(205b)의 온도 를 유지시키기 위한 히팅부(260)를 더 포함한다.As shown therein, the isopropyl alcohol supply device 200 according to another embodiment of the present invention has a configuration substantially similar to the aforementioned isopropyl alcohol supply device 100 (see FIG. 2), and isopropyl alcohol transport unit. It is provided on the 240, and further comprises a heating unit 260 for maintaining the temperature of the isopropyl alcohol (205b) of the gas state is transferred along the isopropyl alcohol transfer unit 240.

이러한 히팅부(260)는, 일체관(241)과, 두 개의 분기관(245) 각각에 장착되어, 이소프로필 알코올 이송부(240)를 통해 웨이퍼 건조부(220)로 이송되는 기체 상태의 이소프로필 알코올(205b)의 온도를 유지시킨다. 즉, 이소프로필 알코올 이송부(240)의 일부 구간을 가열함으로써, 기체 상태의 이소프로필 알코올(205b)의 온도가 급격하게 하강하는 것을 저지할 수 있으며, 이에 따라 이소프로필 알코올 이송부(240) 내부에서 기체 상태의 이소프로필 알코올(205b)이 액화되는 응축 현상이 발생되는 것을 저지할 수 있다.The heating unit 260 is mounted on the integral pipe 241 and the two branch pipes 245, respectively, and isopropyl in a gas state transferred to the wafer drying unit 220 through the isopropyl alcohol transfer unit 240. The temperature of the alcohol 205b is maintained. That is, by heating a portion of the isopropyl alcohol transfer part 240, it is possible to prevent the temperature of the isopropyl alcohol 205b in the gas state from falling sharply, and thus the gas inside the isopropyl alcohol transfer part 240 The condensation phenomenon in which the isopropyl alcohol 205b in the state is liquefied can be prevented from occurring.

이러한 히팅부(260)는 다양하게 마련될 수 있다. 예를 들면, 히팅부(260)는 전류 인가 시 가열되는 코일(coil) 형태로 마련될 수 있다. 즉, 이소프로필 알코올 이송부(240)의 일부 구간의 둘레 방향을 따라 코일 형태의 히팅부(260)를 마련한 후 코일에 전류를 인가함으로써 이소프로필 알코올 이송부(240)를 따라 이송되는 기체 상태의 이소프로필 알코올(205b)의 온도를 유지시킬 수 있다.The heating unit 260 may be provided in various ways. For example, the heating unit 260 may be provided in the form of a coil heated when a current is applied. That is, the gas isopropyl conveyed along the isopropyl alcohol transporter 240 by providing a coil heating unit 260 along the circumferential direction of a portion of the isopropyl alcohol transporter 240 and applying a current to the coil. The temperature of the alcohol 205b can be maintained.

또한, 다른 예로서, 히팅부(260)는 따뜻한 유체가 수용되는 수용관 형태로 마련될 수 있다. 즉, 이소프로필 알코올 이송부(240)의 일부 구간의 둘레 방향을 따라 수용관 형태의 히팅부(260)를 장착하고 그 내부에 따뜻한 유체를 수용시킴으로써 이소프로필 알코올 이송부(240)를 따라 이송되는 기체 상태의 이소프로필 알코올(205b)의 온도를 유지시킬 수 있다.In addition, as another example, the heating unit 260 may be provided in the form of a receiving tube for receiving a warm fluid. That is, a gas state transported along the isopropyl alcohol transporter 240 by mounting a heating unit 260 in the shape of a receiving tube along the circumferential direction of a section of the isopropyl alcohol transporter 240 and receiving a warm fluid therein. The temperature of isopropyl alcohol 205b can be maintained.

이와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 의하면, 이소프로필 알코올 이송부(240)에 마련된 이소프로필 알코올 분배부(250)에 의해 웨이퍼 건조부(220)와 연 결된 두 개의 분기관(245)으로 기체 상태의 이소프로필 알코올(205b)을 균등하게 분배할 수 있을 뿐만 아니라, 이소프로필 알코올 이송부(240)를 따라 이송되는 기체 상태의 이소프로필 알코올(205b)의 온도를 유지하는 히팅부(260)를 구비함으로써 온도 하강에 의하여 기체 상태의 이소프로필 알코올(205b)이 응축되는 현상을 방지할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to another embodiment of the present invention, a gaseous state is provided in two branch pipes 245 connected to the wafer drying unit 220 by the isopropyl alcohol distribution unit 250 provided in the isopropyl alcohol transfer unit 240. It is possible to equally distribute the isopropyl alcohol 205b, as well as to provide a heating unit 260 for maintaining the temperature of the gas isopropyl alcohol 205b conveyed along the isopropyl alcohol transfer unit 240 There is an effect of preventing the phenomenon in which the isopropyl alcohol 205b in the gas state is condensed by the temperature drop.

전술한 다른 실시예에서는, 히팅부가 일체관 및 두 개의 분기관에 모두 장착된다고 상술하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 일체관 또는 두 개의 분기관에 선택적으로 장착될 수도 있음은 물론이다.In another embodiment described above, the heating unit is described above that it is mounted to both the integral pipe and two branch pipes, but is not limited to this may be selectively mounted to the integral pipe or two branch pipes.

한편, 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.On the other hand, the present invention is not limited to the described embodiments, it is apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, such modifications or variations will have to be belong to the claims of the present invention.

도 1은 종래의 일 실시예에 따른 이소프로필 알코올 공급장치의 구성도를 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a view schematically showing the configuration of an isopropyl alcohol supply apparatus according to a conventional embodiment.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 이소프로필 알코올 공급장치의 구성을 도시한 도면이다.2 is a view showing the configuration of an isopropyl alcohol supply apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3은 도 2의 이소프로필 알코올 분배부의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.FIG. 3 is a view schematically illustrating a configuration of the isopropyl alcohol distribution unit of FIG. 2.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 이소프로필 알코올 공급장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.4 is a view schematically showing the configuration of an isopropyl alcohol supply apparatus according to another embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

100 : 이소프로필 알코올 공급장치 110 : 세정조100: isopropyl alcohol supply device 110: cleaning tank

120 : 웨이퍼 건조부 130 : 이소프로필 알코올 공급부120: wafer drying unit 130: isopropyl alcohol supply unit

140 : 이소프로필 알코올 이송부 150 : 이소프로필 알코올 분배부140: isopropyl alcohol transfer unit 150: isopropyl alcohol distribution unit

W : 웨이퍼W: Wafer

Claims (6)

액체 상태의 이소프로필 알코올(IPA, Iso-propyl alcohol)이 수용되는 저장조를 구비하며, 상기 액체 상태의 이소프로필 알코올을 기체 상태의 이소프로필 알코올로 변환시키는 이소프로필 알코올 공급부;An isopropyl alcohol supply unit having a storage tank in which isopropyl alcohol (IPA) in a liquid state is accommodated, and converting the isopropyl alcohol in a liquid state into isopropyl alcohol in a gas state; 상기 이소프로필 알코올 공급부에 의해 공급되는 상기 기체 상태의 이소프로필 알코올에 의해 웨이퍼(wafer)에 대한 건조 작업이 진행되는 건조 공간을 형성하는 웨이퍼 건조부; A wafer drying unit forming a drying space in which a drying operation on a wafer is performed by the gaseous isopropyl alcohol supplied by the isopropyl alcohol supply unit; 상기 이소프로필 알코올 공급부로부터 상기 웨이퍼 건조부로 상기 기체 상태의 이소프로필 알코올을 이송시킬 수 있도록, 일단부가 상기 이소프로필 알코올 공급부에 배치되는 일체관과, 일단부가 상기 웨이퍼 건조부에 연결되는 적어도 2개의 분기관을 갖는 이소프로필 알코올 이송부; 및 An integral tube having one end portion disposed in the isopropyl alcohol supply portion and at least two portions having one end portion connected to the wafer drying portion so as to transfer the gaseous isopropyl alcohol from the isopropyl alcohol supply portion to the wafer drying portion. An isopropyl alcohol transporter having an engine; And 상기 일체관과 상기 적어도 2개의 분기관 사이에 결합되어, 상기 일체관으로부터 상기 적어도 2개의 분기관으로 상기 기체 상태의 이소프로필 알코올이 균일하게 배분되도록 하는 이소프로필 알코올 분배부;An isopropyl alcohol distribution unit coupled between the unitary tube and the at least two branch tubes to uniformly distribute the gaseous isopropyl alcohol from the unitary tube to the at least two branch tubes; 를 포함하며,Including; 상기 이소프로필 알코올 분배부는,The isopropyl alcohol distribution unit, 상기 일체관의 타단부와 연결되는 일체관 연결부분;An integral pipe connection part connected to the other end of the integrated pipe; 상기 일체관 연결부분과 일체로 마련되며, 상기 적어도 2개의 분기관의 타단부들과 연결되는 분기관 연결부분;A branch pipe connection part provided integrally with the integral pipe connection part and connected to the other ends of the at least two branch pipes; 상기 분기관 연결부분에 각각 결합되어 상기 분기관으로 이송되는 상기 기체 상태의 이소프로필 알코올의 유량을 감지하는 유량 감지부;A flow rate sensing unit coupled to each of the branch pipe connection portions to sense a flow rate of the isopropyl alcohol in the gas state transferred to the branch pipe; 상기 유량 감지부의 후미 영역에서 상기 분기관 연결부분에 각각 장착되어 상기 분기관으로 이송되는 상기 기체 상태의 이소프로필 알코올의 유량을 조절하는 유량 조절 밸브; 및A flow rate control valve mounted at each of the branch pipe connection portions in the rear region of the flow rate sensing part to adjust a flow rate of the gas isopropyl alcohol transferred to the branch pipe; And 상기 유량 감지부에 의해 감지된 정보에 기초하여 상기 유량 조절 밸브의 개폐 정도를 제어하는 제어부를 포함하며,It includes a control unit for controlling the opening and closing degree of the flow control valve on the basis of the information detected by the flow rate detection unit, 상기 일체관 연결부분을 통과한 상기 기체 상태의 이소프로필 알코올은 상기 분기관 연결부분과 연결된 상기 적어도 2개의 분기관으로 균일하게 분배되는 이소프로필 알코올 공급장치.The isopropyl alcohol in the gas state passing through the integral pipe connecting portion is uniformly distributed to the at least two branch pipes connected to the branch pipe connecting portion. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이소프로필 알코올 분배부는 매니폴드(manifold, 다기관) 타입으로 마련되는 이소프로필 알코올 공급장치.The isopropyl alcohol distributor is provided in the manifold (manifold, manifold) type. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이소프로필 알코올 이송부의 적어도 일부분과 결합되어, 상기 이소프로필 알코올 이송부를 따라 이송되는 상기 기체 상태의 이소프로필 알코올의 온도를 유지시키는 히팅부를 더 포함하는 이소프로필 알코올 공급장치.And a heating unit coupled with at least a portion of the isopropyl alcohol transfer unit to maintain a temperature of the gaseous isopropyl alcohol transferred along the isopropyl alcohol transfer unit. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 히팅부는, 전류 인가시 상기 이소프로필 알코올 이송관을 가열시킬 수 있도록, 상기 이소프로필 알코올 이송관의 일부 구간의 둘레 방향을 따라 권취되는 코일(coil) 형태로 마련되는 이소프로필 알코올 공급장치.The heating unit, isopropyl alcohol supply device is provided in the form of a coil (coil) is wound along the circumferential direction of a portion of the isopropyl alcohol transfer tube, so that the isopropyl alcohol transfer tube is heated when a current is applied.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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