KR100854930B1 - Drying apparatus and drying method - Google Patents

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박미경
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

A drying apparatus is provided to supply isopropyl alcohol of an optimum atmosphere state by heating isopropyl alcohol after the isopropyl alcohol is injected in a particulate state. A processed article is received in a dry chamber. A flowable dry agent is supplied to the dry chamber by a supply line connected to the dry chamber. A heating unit(60) includes a heating chamber(62) formed on the supply line, an injection nozzle(67) installed in the heating chamber wherein the injection nozzle injects the drying agent of a particulate state supplied by the supply line, and a heater(64) installed in the heating chamber wherein the heater heats the drying agent injected by the injection nozzle. The heating unit can include an extension pipe(66) extended from the inlet of the heating chamber to the inside of the heating chamber, and the injection nozzle can be formed in the extension pipe.

Description

건조장치 및 건조방법{DRYING APPARATUS AND DRYING METHOD}Drying Equipment and Drying Method {DRYING APPARATUS AND DRYING METHOD}

도 1은 본 발명에 따른 건조장치가 적용된 습식세정장치를 설명하기 위한 도면이다.1 is a view for explaining a wet cleaning apparatus to which the drying apparatus according to the present invention is applied.

도 2는 본 발명에 따른 건조장치를 설명하기 위한 도면이다.2 is a view for explaining a drying apparatus according to the present invention.

도 3 내지 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 건조장치를 설명하기 위한 도면이다.3 to 6 are views for explaining a drying apparatus according to another embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 : 세정조 20 : 리프트부재10: washing tank 20: lift member

30 : 건조 챔버 40 : 이소프로필 알콜 공급부30: drying chamber 40: isopropyl alcohol supply

50 : 공급라인 60 : 히팅유닛50: supply line 60: heating unit

62 : 히팅챔버 64 : 히터62: heating chamber 64: heater

66 : 연장관 67 : 분사노즐66: extension tube 67: injection nozzle

본 발명은 건조장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 이소프로필 알콜의 기화(vaporizing) 효율을 향상시킬 수 있는 건조장치 및 건조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a drying apparatus, and more particularly, to a drying apparatus and a drying method capable of improving the vaporizing efficiency of isopropyl alcohol.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는 리소그래피, 증착 및 에칭 등의 공정을 반복적으로 수행한다. 이러한 공정들을 거치는 동안 기판(예를 들어 실리콘 웨이퍼) 상에는 각종 파티클, 금속 불순물, 유기물 등이 잔존하게 된다. 이와 같은 오염 물질은 제품의 수율 및 신뢰성에 악영향을 미치기 때문에 반도체 제조 공정에서는 기판에 잔존된 오염 물질을 제거하기 위한 세정 공정이 수행되고, 세정 공정 후에는 웨이퍼에 대한 건조 공정이 수행된다.In general, in order to manufacture a semiconductor device, processes such as lithography, deposition, and etching are repeatedly performed. During these processes, various particles, metal impurities, organics, etc. remain on the substrate (eg, silicon wafer). Since such contaminants adversely affect product yield and reliability, a cleaning process for removing contaminants remaining on a substrate is performed in a semiconductor manufacturing process, and a drying process for a wafer is performed after the cleaning process.

종래 알려진 건조 방식으로서는 스핀 건조방식, 이소프로필 알콜(IPA : Iso-Propyl Alcohol)에 의한 마란고니 효과(Marangoni effect)를 이용한 건조방식 등이 있다. 그 중 이소프로필 알콜을 이용한 건조방식은 웨이퍼를 순수(DIW : Distilled Water) 안에서 수직 방향으로 끌어올리거나 순수를 배수시킴과 동시에 이소프로필 알콜 및 질소가스를 웨이퍼 표면의 기액(氣液)계면 부근에 불어 넣는 것에 의해 마란고니 효과를 발생시켜 웨이퍼를 건조시키는 방식을 말한다.Conventionally known drying methods include spin drying and drying using the Marangoni effect by Iso-Propyl Alcohol (IPA). Among them, the drying method using isopropyl alcohol lifts the wafer vertically in distilled water (DIW) or drains the pure water, while isopropyl alcohol and nitrogen gas are placed near the gas-liquid interface on the wafer surface. It refers to a method of drying the wafer by generating a marangoni effect by blowing.

한편, 이소프로필 알콜을 이용한 건조장치에서 건조 챔버로 공급되는 이소프로필 알콜의 농도는 웨이퍼의 건조 효율에 많은 영향을 미친다. 즉, 건조 챔버로 공급되는 이소프로필 알콜의 농도가 너무 낮으면 웨이퍼의 건조 효율이 저하되기 때문에 이소프로필 알콜이 일정 이상의 농도를 갖는 상태로 공급될 수 있어야 한다. 더욱이, 최근에는 고집적화에 대응되게 웨이퍼 상에 미세선폭 패턴이 형성되고 있으며, 이러한 미세선폭 패턴이 형성된 웨이퍼를 효과적으로 건조하기 위해서는 이소프로필 알콜이 최적의 분위기 상태로 공급될 수 있어야 한다.Meanwhile, the concentration of isopropyl alcohol supplied to the drying chamber in the drying apparatus using isopropyl alcohol is It greatly affects the drying efficiency of the wafer. That is, if the concentration of isopropyl alcohol supplied to the drying chamber is too low, the drying efficiency of the wafer is lowered, so that the isopropyl alcohol should be able to be supplied in a state having a certain concentration or more. Furthermore, in recent years, fine line width patterns are formed on wafers to cope with high integration, and in order to effectively dry the wafer on which the fine line width patterns are formed, isopropyl alcohol should be supplied in an optimum atmosphere.

이에 따라, 최근에는 건조 챔버로 공급되는 이소프로필 알콜의 분위기를 효 과적으로 구현하기 위한 일부 대책들이 제안되고 있으나 아직 미흡하여 이에 대한 개발이 절실히 요구되고 있다.Accordingly, in recent years, some measures for effectively realizing the atmosphere of isopropyl alcohol supplied to the drying chamber have been proposed, but development is still urgently required.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서 안출한 것으로서, 이소프로필 알콜의 기화 효율을 향상시키고 웨이퍼의 건조 효율을 향상 시킬 수 있는 건조장치 및 건조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a drying apparatus and a drying method capable of improving the vaporization efficiency of isopropyl alcohol and improving the drying efficiency of a wafer.

특히, 본 발명은 이소프로필 알콜이 최적의 분위기 상태로 공급될 수 있게 하며 보다 효과적으로 웨이퍼의 건조가 이루어질 수 있도록 한 건조장치 및 건조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.In particular, it is an object of the present invention to provide a drying apparatus and a drying method which allow the isopropyl alcohol to be supplied in an optimum atmosphere and to dry the wafer more effectively.

또한, 본 발명은 이소프로필 알콜이 기화되는 처리시간을 단축하고, 처리량을 향상시킬 수 있는 건조장치 및 건조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.It is also an object of the present invention to provide a drying apparatus and a drying method which can shorten the treatment time for vaporizing isopropyl alcohol and improve the throughput.

또한, 본 발명은 이소프로필 알콜의 사용량을 절감할 수 있는 건조장치 및 건조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, an object of the present invention is to provide a drying apparatus and a drying method that can reduce the amount of isopropyl alcohol used.

또한, 본 발명은 공간효율성 및 설계자유도를 향상 시킬 수 있음은 물론 제품의 소형화에 기여할 수 있는 건조장치 및 건조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, an object of the present invention is to provide a drying apparatus and a drying method that can improve space efficiency and design freedom, as well as contribute to miniaturization of a product.

상술한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 건조장치는 피처리물이 수용되는 건조 챔버, 건조 챔버에 연결되어 건조 챔버로 건조를 위한 유동성 건조제를 공급하는 공급라인, 공급라인 상에 제공되며, 공급라인을 통해 공급되는 건조제를 미립자 상태로 분사하는 분사노즐 및 분사노즐을 통해 분사된 건조제를 가열하는 히터를 포함하는 히팅유닛을 구비한다.According to a preferred embodiment of the present invention for achieving the above object of the present invention, the drying apparatus is connected to a drying chamber in which the object to be treated, a supply line for supplying a fluid desiccant for drying to the drying chamber, A heating unit is provided on the supply line and includes a heating nozzle for spraying the desiccant supplied through the supply line in a particulate state and a heater for heating the desiccant injected through the injection nozzle.

건조 챔버는 세정 공정이 완료된 피처리물을 건조시키기 위한 건조 공간을 정의한다. 건조 챔버의 형태 및 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있으며, 건조 챔버의 내부에는 건조를 위한 유동성 건조제가 공급될 수 있다.The drying chamber defines a drying space for drying the workpiece to be cleaned. The shape and structure of the drying chamber can be variously changed according to the required conditions and design specifications, and the flowable drying agent for drying can be supplied to the interior of the drying chamber.

건조제로서는 요구되는 조건 및 건조 환경에 따라 다양한 물질이 사용될 수 있다. 일 예로 건조제로서는 마란고니 효과(Marangoni effect)를 유도하기 위한 이소프로필 알콜(IPA : Iso-Propyl Alcohol)이 사용될 수 있다.As the desiccant, various materials can be used depending on the required conditions and the drying environment. As an example, as a desiccant, isopropyl alcohol (IPA: Iso-Propyl Alcohol) may be used to induce the Marangoni effect.

공급라인의 일단은 건조 챔버에 연결되고, 다른 일단은 건조제 공급부에 연결되어 건조제 공급부에서 발생된 건조제를 건조 챔버로 공급한다. 공급라인 상에는 건조제의 공급 여부 및 공급량을 제어하기 위한 밸브 및 각종 제어수단이 제공될 수 있으며, 공급라인을 통해서는 건조제와 함께 건조제를 운반하기 위한 캐리어 가스가 함께 공급될 수 있다. 아울러 건조제 공급부로부터 발생되는 건조제는 증기 또는 미스트(mist) 상태로 제공될 수 있다.One end of the supply line is connected to the drying chamber and the other end is connected to the desiccant supply part to supply the desiccant generated in the desiccant supply part to the drying chamber. On the supply line may be provided with a valve and various control means for controlling the supply and supply amount of the desiccant, through the supply line may be supplied with a carrier gas for transporting the desiccant together with the desiccant. In addition, the desiccant generated from the desiccant supply unit may be provided in a vapor or mist state.

히팅유닛은 공급라인을 통해 공급되는 건조제가 미립자 상태로 분사된 후 가열될 수 있게 함으로써 건조제가 최적의 분위기 상태로 건조 챔버에 공급될 수 있게 한다. 건조제를 미립자 상태로 분사하기 위한 분사수단으로서는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 방식이 채용될 수 있다. 일 예로 건조제는 통상의 분사노즐을 통해 미립자 상태로 분사될 수 있으며, 분사노즐은 분사 방향이 상기 히 터를 향하도록 형성될 수 있다.The heating unit allows the desiccant supplied through the supply line to be sprayed into the particulate state and then heated so that the desiccant can be supplied to the drying chamber in an optimum atmosphere. As the injection means for injecting the desiccant in the particulate state, various methods may be employed depending on the required conditions and design specifications. For example, the desiccant may be sprayed in a particulate state through a conventional spray nozzle, and the spray nozzle may be formed such that the spray direction is directed to the heater.

공급라인 상에는 내부에 소정 공간을 갖는 히팅챔버가 제공될 수 있으며, 분사노즐 및 히터는 히팅챔버의 내부에 제공될 수 있다. 경우에 따라서는 별도의 히팅챔버를 배제하고 공급라인의 내부에 분사노즐 및 히터가 구비되도록 구성하여 공급라인 자체를 히팅챔버로서 사용할 수 있다.A heating chamber having a predetermined space therein may be provided on the supply line, and the injection nozzle and the heater may be provided inside the heating chamber. In some cases, the supply line itself may be used as the heating chamber by excluding a separate heating chamber and configured to include a spray nozzle and a heater inside the supply line.

그리고, 히팅유닛은 히팅챔버의 입구로부터 히팅챔버의 내부로 연장되는 연장관 및 연장관으로부터 분기되는 분기관을 더 포함하여 구성될 수 있으며, 이때 분사노즐은 연장관 및 분기관에 각각 형성될 수 있다. 이러한 연장관 및 분기관의 형태 및 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다.The heating unit may further include an extension pipe extending from the inlet of the heating chamber into the heating chamber and a branch pipe branching from the extension pipe, wherein the injection nozzles may be formed in the extension pipe and the branch pipe, respectively. The shape and structure of the extension pipe and branch pipe can be variously changed according to the requirements and design specifications.

한편, 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 건조방법은 유동성 건조제를 공급하기 위한 공급라인 상에 분사노즐 및 히터를 포함하는 히팅유닛을 제공하는 단계, 분사노즐을 이용하여 건조제를 미립자 상태로 분사하는 단계, 히터를 이용하여 분사된 건조제를 가열하는 단계, 공급라인을 이용하여 가열된 건조제를 피처리물이 수용되는 건조 챔버로 공급하는 단계를 포함한다.On the other hand, according to a preferred embodiment of the present invention, the drying method comprises the steps of providing a heating unit including a spray nozzle and a heater on a supply line for supplying a fluid desiccant, spraying the desiccant in a particulate state using the spray nozzle Step, heating the sprayed desiccant using a heater, supplying the heated desiccant using a supply line to a drying chamber that is to be processed.

건조제를 분사하는 단계에서 건조제는 히터를 향해 분사될 수 있다. 아울러 히터는 분사노즐의 분사 방향을 향하도록 분사노즐의 측면에 배치되는 측면히터 및 분사노즐의 하부에 배치되는 저면히터를 포함하여 제공될 수 있다.In the spraying of the desiccant, the desiccant may be injected toward the heater. In addition, the heater may include a side heater disposed on the side of the injection nozzle so as to face the injection direction of the injection nozzle and a bottom heater disposed under the injection nozzle.

건조제는 분사되기 전에 증기 또는 미스트(mist) 상태로 제공될 수 있다. 증기 또는 미스트 상태로 공급되는 건조제를 다시 미립자 상태로 분사한 후 가열하기 때문에 건조제는 최적의 분위기 상태로 기화되어 건조 챔버로 공급될 수 있다.The desiccant may be provided in a vapor or mist state before being sprayed. Since the desiccant supplied in the vapor or mist state is sprayed again into the particulate state and then heated, the desiccant may be vaporized in an optimum atmosphere and supplied to the drying chamber.

이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 참고로, 본 설명에서 동일한 번호는 실질적으로 동일한 요소를 지칭하며, 상기 규칙 하에서 다른 도면에 기재된 내용을 인용하여 설명할 수 있고, 당업자에게 자명하다고 판단되거나 반복되는 내용은 생략될 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited or limited by the embodiments. For reference, in the present description, the same numbers refer to substantially the same elements, and may be described by quoting the contents described in other drawings under the above rules, and the contents repeated or deemed apparent to those skilled in the art may be omitted.

도 1은 본 발명에 따른 건조장치가 적용된 습식세정장치를 설명하기 위한 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 건조장치를 설명하기 위한 도면이다.1 is a view for explaining a wet cleaning apparatus to which a drying apparatus according to the present invention is applied, and FIG. 2 is a view for explaining a drying apparatus according to the present invention.

도 1에서 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 건조장치가 적용된 습식세정장치는 세정조(10), 건조 챔버(30), 공급라인(50) 및 히팅유닛(60)을 포함한다.As shown in FIG. 1, the wet cleaning apparatus to which the drying apparatus according to the present invention is applied includes a cleaning tank 10, a drying chamber 30, a supply line 50, and a heating unit 60.

상기 세정조(10)는 세정액(S)이 수용되는 용기로서 세정하기 위한 피처리물을 수용 가능한 크기로 형성되며, 세정조(10)의 형태 및 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 또한, 세정조(10)는 세정액과 반응하지 않는 재질로 형성되며, 이러한 세정조(10)의 재질은 요구되는 조건에 따라 적절히 변경될 수 있다. 예를 들어 상기 세정조(10)는 통상의 석영(quartz)으로 형성될 수 있으며, 그외 다른 재질이 사용될 수 있다.The cleaning tank 10 is formed in a size that can accommodate the object to be cleaned as a container in which the cleaning liquid S is accommodated, and the shape and structure of the cleaning tank 10 vary depending on the required conditions and design specifications. can be changed. In addition, the cleaning tank 10 is formed of a material that does not react with the cleaning liquid, the material of the cleaning tank 10 may be appropriately changed according to the required conditions. For example, the cleaning tank 10 may be formed of ordinary quartz, and other materials may be used.

본 발명에서 피처리물이라 함은 건조 처리가 이루어지는 대상물로서, 통상의 실리콘 웨이퍼(W)를 포함할 수 있으며, 그외 다른 반도체 장치 등이 포함될 수 있다. 또한, 본 발명에서 세정액(S)이라 함은 기판에 잔존하는 오염물질을 세정하기 위한 화학 용액으로서 단일 또는 복수개의 화학 용액을 포함하여 구성될 수 있다.In the present invention, the object to be treated is a target to be subjected to a drying process, and may include a conventional silicon wafer (W), and may include other semiconductor devices. In addition, in the present invention, the cleaning solution S may include a single or a plurality of chemical solutions as a chemical solution for cleaning contaminants remaining on the substrate.

상기 건조 챔버(30)는 세정조(10)의 상부에 선택적으로 분리 가능하게 배치 되어 세정 공정이 완료된 피처리물을 건조시키기 위한 건조 공간을 정의한다. 건조 챔버(30)의 형태 및 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있으며, 건조 챔버(30)의 내측 상부에는 건조 챔버(30)의 내부 공간으로 유동성 건조제를 제공하기 위한 노즐(32)이 제공될 수 있다.The drying chamber 30 is selectively disposed on the upper portion of the cleaning tank 10 to define a drying space for drying the object to be cleaned. The shape and structure of the drying chamber 30 may be variously changed according to required conditions and design specifications, and a nozzle for providing a fluid desiccant to the inner space of the drying chamber 30 at an inner upper portion of the drying chamber 30. 32 may be provided.

한편, 습식세정장치에는 피처리물을 선택적으로 승하강 시키기 위한 리프트부재(20)가 제공될 수 있다. 상기 리프트부재(20)는 세정 공정이 완료된 피처리물을 수납한 상태로 승하강하며 피처리물이 선택적으로 세정조(10) 또는 건조 챔버(30) 내부에 배치될 수 있게 한다.On the other hand, the wet cleaning device may be provided with a lift member 20 for selectively raising and lowering the object to be processed. The lift member 20 is moved up and down in a state in which the object to be cleaned is completed, and the object can be selectively disposed in the cleaning tank 10 or the drying chamber 30.

건조제로서는 요구되는 조건 및 건조 환경에 따라 다양한 물질이 사용될 수 있다. 이하에서는 상기 건조제로서 마란고니 효과(Marangoni effect)를 유도하기 위한 이소프로필 알콜(IPA : Iso-Propyl Alcohol)이 사용된 예를 들어 설명하기로 한다.As the desiccant, various materials can be used depending on the required conditions and the drying environment. Hereinafter, an example in which isopropyl alcohol (IPA: Iso-Propyl Alcohol) is used to induce the Marangoni effect as the drying agent will be described.

상기 공급라인(50)은 건조 챔버(30)에 연결되어 건조를 위한 이소프로필 알콜이 건조 챔버(30)로 공급될 수 있도록 제공된다. 즉, 상기 공급라인(50)의 일단은 건조 챔버(30)에 연결되고, 다른 일단은 이소프로필 알콜 공급부(40)에 연결되어 이소프로필 알콜 공급부(40)에서 발생된 이소프로필 알콜을 건조 챔버(30)로 공급한다.The supply line 50 is connected to the drying chamber 30 so that isopropyl alcohol for drying can be supplied to the drying chamber 30. That is, one end of the supply line 50 is connected to the drying chamber 30, and the other end is connected to the isopropyl alcohol supply 40 so that isopropyl alcohol generated in the isopropyl alcohol supply 40 is dried. 30).

상기 공급라인(50) 상에는 이소프로필 알콜의 공급 여부 및 공급량을 제어하기 위한 밸브(42) 및 각종 제어수단(44)이 제공될 수 있다. 또한, 상기 공급라인(50)을 통해서는 이소프로필 알콜과 함께 이소프로필 알콜을 운반하기 위한 캐리 어 가스(예를 들어 질소(N2))가 함께 공급될 수 있으며, 이러한 캐리어 가스는 캐리어 가스 공급부(80)로부터 별도의 독립적인 라인을 통해 공급될 수 있다. 한편, 상기 이소프로필 알콜 공급부(40)로부터 발생되는 이소프로필 알콜은 증기 또는 미스트(mist) 상태로 제공될 수 있다.The supply line 50 may be provided with a valve 42 and various control means 44 for controlling the supply and supply amount of isopropyl alcohol. In addition, a carrier gas (for example, nitrogen (N 2 )) for transporting isopropyl alcohol together with isopropyl alcohol may be supplied through the supply line 50, and the carrier gas may be a carrier gas supply unit. From 80 may be supplied via a separate independent line. Meanwhile, the isopropyl alcohol generated from the isopropyl alcohol supply part 40 may be provided in a vapor or mist state.

상기 히팅유닛(60)은 공급라인(50) 상에 제공되어 공급라인(50)을 통해 건조 챔버(30)로 공급되는 이소프로필 알콜이 최적의 분위기 상태로 공급될 수 있게 한다. 이러한 히팅유닛(60)은 공급라인(50)을 통해 공급되는 이소프로필 알콜이 미립자 상태로 분사된 후 가열될 수 있게 함으로써 최적의 분위기 상태로 건조 챔버(30)에 공급될 수 있게 한다.The heating unit 60 is provided on the supply line 50 so that isopropyl alcohol supplied to the drying chamber 30 through the supply line 50 can be supplied in an optimum atmosphere. The heating unit 60 allows the isopropyl alcohol supplied through the supply line 50 to be sprayed in a particulate state and then heated so that the heating unit 60 can be supplied to the drying chamber 30 in an optimal atmosphere.

건조제로 사용되는 이소프로필 알콜을 미립자 상태로 분사하기 위한 분사수단으로서는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 방식이 채용될 수 있다. 일 예로 이소프로필 알콜은 통상의 분사노즐을 통해 미립자 상태로 분사될 수 있다.As the injection means for injecting the isopropyl alcohol used as the desiccant in the particulate state, various methods may be employed depending on the required conditions and design specifications. For example, isopropyl alcohol may be sprayed in the particulate state through a conventional spray nozzle.

즉, 상기 히팅유닛(60)은 분사노즐(67) 및 히터(64)를 포함하여 구성될 수 있다. 상기 분사노즐(67)은 공급라인(50) 상에 제공되어 공급라인(50)을 통해 공급되는 이소프로필 알콜이 미립자 상태로 분사될 수 있게 한다. 상기 히터(64)는 분사노즐(67)에 인접하게 제공되어 분사노즐(67)을 통해 분사된 이소프로필 알콜을 가열시킨다.That is, the heating unit 60 may include a spray nozzle 67 and a heater 64. The injection nozzle 67 is provided on the supply line 50 to allow the isopropyl alcohol supplied through the supply line 50 to be injected into the particulate state. The heater 64 is provided adjacent to the injection nozzle 67 to heat the isopropyl alcohol injected through the injection nozzle 67.

아울러 상기 공급라인(50) 상에는 내부에 소정 공간을 갖는 히팅챔버(62)가 제공될 수 있으며, 상기 분사노즐(67) 및 히터(64)는 히팅챔버(62)의 내부에 제공 될 수 있다. 경우에 따라서는 별도의 히팅챔버(62)를 배제하고 공급라인(50)의 내부에 분사노즐(67) 및 히터(64)가 구비되도록 구성하여 공급라인(50) 자체를 히팅챔버로서 사용할 수 있다. 그러나, 공급라인(50) 자체를 히팅챔버로서 사용할 경우에는 매우 협소한 공급라인(50) 내부에 분사노즐(67) 및 히터(64)를 적절히 배치하기 어려운 문제점이 있기 때문에, 별도의 히팅챔버(62)를 구비하고 히팅챔버(62)의 내부에 분사노즐(67) 및 히터(64)가 배치되도록 구성함이 바람직하다.In addition, a heating chamber 62 having a predetermined space therein may be provided on the supply line 50, and the injection nozzle 67 and the heater 64 may be provided in the heating chamber 62. In some cases, the supply line 50 itself may be used as the heating chamber by excluding the separate heating chamber 62 and including the injection nozzle 67 and the heater 64 inside the supply line 50. . However, when the supply line 50 itself is used as the heating chamber, since it is difficult to properly arrange the injection nozzle 67 and the heater 64 inside the very narrow supply line 50, a separate heating chamber ( It is preferable that the injection nozzle 67 and the heater 64 are disposed inside the heating chamber 62.

그리고, 상기 히팅유닛(60)은 히팅챔버(62)의 입구로부터 히팅챔버(62)의 내부로 연장되는 연장관(66)을 더 포함하여 구성될 수 있으며, 이때 상기 분사노즐(67)은 연장관(66)에 형성될 수 있다. 본 발명의 실시예에서는 상기 연장관(66)이 직선 형태로 형성된 예를 들어 설명하고 있지만, 연장관(66)의 형태 및 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다.The heating unit 60 may further include an extension pipe 66 extending from the inlet of the heating chamber 62 to the inside of the heating chamber 62, wherein the injection nozzle 67 is an extension pipe ( 66). In the embodiment of the present invention, the extension pipe 66 is described as an example formed in a straight form, the shape and structure of the extension pipe 66 may be variously changed according to the required conditions and design specifications.

상기 분사노즐(67)의 분사 방향은 히터(64)를 향해 형성됨이 바람직하다. 이와 같은 구조는 분사노즐(67)을 통해 분사되는 이소프로필 알콜이 직접 히터(64) 상에 분사될 수 있게 하며, 이소프로필 알콜이 더욱 효과적으로 가열 및 기화될 수 있게 한다. 경우에 따라서는 분사노즐(67)로부터 분사되는 이소프로필 알콜이 히터(64) 상에 직접 분사되지 않고 히터(64)에 의해 가열된 히팅챔버(62) 내부공간 상에 분사되며 간적접으로 가열이 이루어질 수 있도록 분사노즐(67)의 분사 방향이 히터(64)와 다른 방향을 향하도록 구성할 수 있다. 이와 같은 분사노즐(67)의 개수와 배치 구조 역시 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있으며, 이에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.The spraying direction of the spray nozzle 67 is preferably formed toward the heater 64. This structure allows the isopropyl alcohol injected through the injection nozzle 67 to be directly sprayed on the heater 64, and the isopropyl alcohol can be heated and vaporized more effectively. In some cases, isopropyl alcohol sprayed from the spray nozzle 67 is not sprayed directly on the heater 64, but is sprayed on the internal space of the heating chamber 62 heated by the heater 64, and heating is indirectly performed. The injection direction of the injection nozzle 67 may be configured to face a direction different from that of the heater 64 so as to be achieved. The number and arrangement of the injection nozzles 67 may also be changed in various ways depending on the required conditions and design specifications, whereby the present invention is not limited or limited.

상기 히터(64)는 분사노즐(67)의 둘레를 감싸도록 형성될 수 있다. 여기서 분사노즐(67)의 둘레라 함은 분사노즐(67)의 측면은 물론 분사노즐(67)의 상면 및 저면 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.The heater 64 may be formed to surround the circumference of the injection nozzle 67. Herein, the circumference of the injection nozzle 67 may include at least one of a top surface and a bottom surface of the injection nozzle 67 as well as a side surface of the injection nozzle 67.

일 예로 상기 히터(64)는 히팅챔버(62)의 내측면에 형성되는 측면히터(64a), 및 상기 히팅챔버(62)의 저면에 형성되는 저면히터(64b)를 포함하여 구성될 수 있다. 상기 측면히터(64a)를 통해서는 분사노즐(67)로부터 분사된 이소프로필 알콜이 직접 가열될 수 있으며, 상기 저면히터(64b)를 통해서는 분사노즐(67)로부터 분사된 이소프로필 알콜 중 하부에 잔류될 수 있는 이소프로필 알콜이 가열될 수 있다. 경우에 따라서는 저면히터(64b)를 배제하고 측면히터(64a)만이 제공될 수도 있다.For example, the heater 64 may include a side heater 64a formed on the inner surface of the heating chamber 62 and a bottom heater 64b formed on the bottom surface of the heating chamber 62. The isopropyl alcohol injected from the injection nozzle 67 may be directly heated through the side heater 64a, and the isopropyl alcohol injected from the injection nozzle 67 may be lowered through the bottom heater 64b. Isopropyl alcohol, which may remain, may be heated. In some cases, the bottom heater 64b may be excluded and only the side heater 64a may be provided.

한편, 상기 히팅챔버(62)의 출구(62a)는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있으나, 바람직하게는 히팅챔버(62)의 상부에 형성된다. 여기서 히팅챔버(62)의 상부라 함은 히팅챔버(62)의 상면은 물론 상단 측면을 포함할 수 있다. 이와 같은 구조는 히팅챔버(62)로 공급된 이소프로필 알콜 중 상대적으로 농도가 높은 부분 즉, 최적의 분위기 상태로 기화된 부분이 건조 챔버(30)로 공급될 수 있게 한다.On the other hand, the outlet 62a of the heating chamber 62 may be variously changed according to the required conditions and design specifications, but is preferably formed on the heating chamber 62. Here, the upper portion of the heating chamber 62 may include an upper surface as well as an upper side of the heating chamber 62. Such a structure enables a relatively high concentration of isopropyl alcohol supplied to the heating chamber 62, that is, a vaporized portion to be in an optimum atmosphere, to be supplied to the drying chamber 30.

이와 같은 본 발명에 따르면 건조제 즉, 이소프로필 알콜이 미립자 상태로 분사된 후 가열될 수 있게 함으로써, 이소프로필 알콜이 최적의 분위기 상태로 공급될 수 있게 하며 보다 효과적으로 피처리물의 건조가 이루어질 수 있게 한다. 더욱이 이와 같은 구조는 이소프로필 알콜이 기화되는 처리시간을 단축하고, 처리량 역시 향상될 수 있게 한다.According to the present invention, by allowing the desiccant, that is, isopropyl alcohol, to be sprayed in the particulate state and then heated, it is possible to supply the isopropyl alcohol in an optimum atmosphere state and to dry the workpiece more effectively. . Moreover, such a structure shortens the treatment time for isopropyl alcohol to be vaporized, and the throughput can also be improved.

뿐만 아니라 이소프로필 알콜이 미립자 상태로 분사된 후 가열되며 최적의 분위기 상태로 기화될 수 있는 바, 이와 같은 방식은 이소프로필 알콜의 불필요한 낭비를 방지하고 사용량을 절감할 수 있게 한다.In addition, the isopropyl alcohol can be sprayed into the particulate state and then heated and evaporated to an optimum atmosphere, which can prevent unnecessary waste of isopropyl alcohol and reduce the amount of use.

또한, 기존에는 히터에 의한 가열이 효과적으로 이루어지기 위해서는 일정 이상의 가열 구간이 확보되어야 했고 이에 따라 히팅유닛을 일정 이상 소형으로 제작하기 어려운 문제점이 있다. 그러나, 본 발명에서는 상대적으로 적은 가열 구간을 갖더라도 이소프로필 알콜이 최적의 분위기 상태로 기화될 수 있기 때문에 제품의 소형화에 기여할 수 있으며, 공간효율성 및 설계자유도를 향상 시킬 수 있다.In addition, conventionally, in order for heating by the heater to be effectively performed, a heating section having a predetermined value or more must be secured, and accordingly, there is a problem that it is difficult to manufacture the heating unit in a small size. However, the present invention can contribute to the miniaturization of the product because the isopropyl alcohol can be vaporized in the optimum atmosphere even with a relatively small heating section, it is possible to improve the space efficiency and design freedom.

한편, 도 3 내지 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 건조장치를 설명하기 위한 도면이다. 아울러, 전술한 구성과 동일 및 동일 상당 부분에 대해서는 동일 또는 동일 상당한 참조 부호를 부여하고, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.On the other hand, Figures 3 to 6 is a view for explaining a drying apparatus according to another embodiment of the present invention. In addition, the same or equivalent reference numerals are given to the same or equivalent components as those described above, and detailed description thereof will be omitted.

전술 및 도시한 본 발명의 실시예에서는 하나의 연장관(66) 상에 분사노즐(67)이 형성된 예를 들어 설명하고 있지만, 도 3과 같이 본 발명의 다른 실시예에 따른 히팅유닛은 연장관(66)으로부터 분기되는 분기관(66a)을 더 포함하여 구성될 수 있다. 상기 분기관(66a)은 연장관(66)으로부터 분기되도록 적어도 하나 이상 제공될 수 있으며, 이때 상기 분사노즐(67)은 연장관(66) 및 분기관(66a) 상에 각각 형성될 수 있다. 아울러 이러한 분기관(66a)의 개수 및 구조는 요구되는 조건 및 설계 환경에 따라 다양하게 변경될 수 있다.In the above-described and illustrated embodiments of the present invention, the injection nozzle 67 is formed on one extension pipe 66. For example, as shown in FIG. 3, the heating unit according to another embodiment of the present invention is an extension pipe 66. It may be configured to further include a branch pipe (66a) branching from). At least one branch pipe 66a may be provided to branch from the extension pipe 66, and the injection nozzle 67 may be formed on the extension pipe 66 and the branch pipe 66a, respectively. In addition, the number and structure of the branch pipe (66a) can be variously changed according to the required conditions and design environment.

또한, 전술 및 도시한 본 발명의 실시예에서는 분사노즐(67)이 단순히 구멍 형태로 형성된 예를 들어 설명하고 있지만, 도 4와 같이 본 발명의 다른 실시예에 따른 히팅유닛은 분사노즐(67)과 연통되게 연장되는 노즐연장부(68)를 더 포함하여 구성될 수 있다. 상기 노즐연장부(68)는 일종의 미세관 형태로 형성되어 분사노즐(67)을 통해 분사되는 건조제가 더욱 효과적으로 분사될 수 있게 한다. 이러한 노즐연장부(68)의 구조 및 형태는 요구되는 조건 및 설계 환경에 따라 다양하게 변경될 수 있으며, 이에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.In addition, in the above-described and illustrated embodiments of the present invention, the injection nozzle 67 is simply described as an example in the form of a hole. However, as shown in FIG. 4, the heating unit according to another embodiment of the present invention is the injection nozzle 67 It may be configured to further include a nozzle extension 68 extending in communication with. The nozzle extension 68 is formed in the form of a kind of microtubules so that the desiccant sprayed through the spray nozzle 67 can be more effectively sprayed. The structure and shape of the nozzle extension 68 may be variously changed depending on the required conditions and design environment, and the present invention is not limited or limited thereto.

또한, 전술 및 도시한 본 발명의 다른 실시예에서는 노즐연장부(68)가 일률적인 길이를 가지며 직선 형태로 형성된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 도 5와 같이, 노즐연장부(69)가 서로 다른 길이를 가지며 각각의 출구가 서로 다른 높이에 배치되도록 절곡된 형태로 형성될 수 있다.In addition, in the above-described and illustrated other embodiments of the present invention, the nozzle extension 68 has a uniform length and is formed in a straight line, but in some cases, as shown in FIG. 5, the nozzle extension 69 ) May be formed in a bent shape to have different lengths and each outlet is disposed at a different height.

또한, 전술 및 도시한 본 발명의 실시예에서는 히터(64)가 분사노즐(67)의 둘레를 감싸도록 히팅챔버(62)의 내벽면을 따라 형성된 예를 들어 설명하고 있지만, 도 6과 같이 본 발명의 다른 실시예에 따르면 히터(65)는 분사노즐의 둘레를 감싸도록 코일 형태로 형성될 수 있으며, 코일 형태로 형성되는 히터(65)의 직경 및 권취(捲取) 구조는 요구되는 조건 및 설계 환경에 따라 다양하게 변경될 수 있다.In addition, in the above-described and illustrated embodiments of the present invention, the heater 64 is described with an example formed along the inner wall surface of the heating chamber 62 so as to surround the circumference of the injection nozzle 67, but as shown in FIG. According to another embodiment of the present invention, the heater 65 may be formed in the form of a coil to surround the circumference of the injection nozzle, and the diameter and winding structure of the heater 65 formed in the form of the coil are required conditions and Various changes can be made depending on the design environment.

이하에서는 본 발명에 따른 건조방법을 설명하기로 한다. 아울러, 전술한 구성과 동일 및 동일 상당 부분에 대해서는 동일 또는 동일 상당한 참조 부호를 부여하고, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, the drying method according to the present invention will be described. In addition, the same or equivalent reference numerals are given to the same or equivalent components as those described above, and detailed description thereof will be omitted.

본 발명에 따른 건조방법은 유동성 건조제를 공급하기 위한 공급라인(50) 상 에 분사노즐(67) 및 히터(64)를 포함하는 히팅유닛(60)을 제공하는 단계, 상기 분사노즐(67)을 이용하여 건조제를 미립자 상태로 분사하는 단계, 상기 히터(64)를 이용하여 분사된 건조제를 가열하는 단계, 상기 공급라인(50)을 이용하여 가열된 건조제를 피처리물이 수용되는 건조 챔버(30)로 공급하는 단계를 포함한다.The drying method according to the present invention provides a heating unit 60 including a spray nozzle 67 and a heater 64 on a supply line 50 for supplying a fluid desiccant, and spraying the spray nozzle 67. Spraying the desiccant into a particulate state using the heater 64, heating the sprayed desiccant using the heater 64, and a drying chamber 30 in which the desiccant heated using the supply line 50 is accommodated. Supplying).

상기 건조제를 분사하는 단계에서 상기 건조제는 히터(64)를 향해 분사될 수 있다. 즉, 분사노즐(67)을 통해 분사되는 이소프로필 알콜이 직접 히터(64) 상에 분사될 수 있게 하며, 이소프로필 알콜이 더욱 효과적으로 가열 및 기화될 수 있다.In the spraying of the desiccant, the desiccant may be sprayed toward the heater 64. That is, the isopropyl alcohol injected through the injection nozzle 67 can be directly sprayed on the heater 64, the isopropyl alcohol can be heated and vaporized more effectively.

또한, 상기 히터(64)는 분사노즐(67)의 분사 방향을 향하도록 분사노즐(67)의 측면에 배치되는 측면히터(64a) 및 분사노즐(67)의 하부에 배치되는 저면히터(64b)를 포함하여 제공될 수 있다. 이에 따라 건조제를 가열하는 단계에서는 측면히터(64a)를 통해서 분사노즐(67)로부터 분사된 이소프로필 알콜이 직접 가열될 수 있으며, 상기 저면히터(64b)를 통해서 분사노즐(67)로부터 분사된 이소프로필 알콜 중 하부에 잔류될 수 있는 이소프로필 알콜이 가열될 수 있다In addition, the heater 64 is a side heater 64a disposed on the side of the injection nozzle 67 so as to face the injection direction of the injection nozzle 67 and a bottom heater 64b disposed below the injection nozzle 67. It may be provided including. Accordingly, in the heating of the desiccant, isopropyl alcohol injected from the injection nozzle 67 may be directly heated through the side heater 64a, and iso injected from the injection nozzle 67 through the bottom heater 64b. Isopropyl alcohol, which may remain at the bottom of the propyl alcohol, may be heated

건조제로서는 요구되는 조건 및 건조 환경에 따라 다양한 물질이 사용될 수 있다. 일 예로 상기 건조제로서 이소프로필 알콜이 사용될 수 있다. 또한, 상기 건조제는 분사되기 전에 증기 또는 미스트(mist) 상태로 제공될 수 있다. 증기 또는 미스트 상태로 공급되는 건조제를 다시 미립자 상태로 분사한 후 가열하기 때문에 건조제는 최적의 분위기 상태로 기화되어 건조 챔버(30)로 공급될 수 있다.As the desiccant, various materials can be used depending on the required conditions and the drying environment. As an example, isopropyl alcohol may be used as the drying agent. In addition, the desiccant may be provided in a vapor or mist state before being sprayed. Since the desiccant supplied in the vapor or mist state is sprayed again into a particulate state and then heated, the desiccant may be vaporized in an optimum atmosphere and supplied to the drying chamber 30.

상기 건조제를 미립자 상태로 분사하는 방식으로서는 건조제를 미립자 상태 로 분사 가능한 다양한 방식이 채용될 수 있다. 일 예로 건조제는 통상의 분사노즐(67)을 통한 분사 방식을 통해 미립자 상태로 분사될 수 있다.As a method of spraying the desiccant in the particulate state, various methods capable of spraying the desiccant in the particulate state may be employed. As an example, the desiccant may be sprayed in a particulate state through a spray method through a conventional spray nozzle 67.

이상에서 본 바와 같이, 본 발명에 따른 건조장치 및 건조방법에 의하면 이소프로필 알콜의 기화 효율을 향상시키고 웨이퍼의 건조 효율을 향상 시킬 수 있는 효과가 있다.As seen above, the drying apparatus and the drying method according to the present invention has the effect of improving the vaporization efficiency of isopropyl alcohol and the drying efficiency of the wafer.

특히, 본 발명은 이소프로필 알콜이 미립자 상태로 분사된 후 가열될 수 있게 함으로써 이소프로필 알콜이 최적의 분위기 상태로 공급될 수 있게 하며 보다 효과적으로 웨이퍼의 건조가 이루어질 수 있게 한다.In particular, the present invention allows the isopropyl alcohol to be injected into the particulate state and then heated so that the isopropyl alcohol can be supplied in an optimum atmosphere and the wafer can be dried more effectively.

또한, 본 발명은 이소프로필 알콜이 기화되는 처리시간을 단축하고, 처리량을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention has the effect of shortening the treatment time for vaporizing isopropyl alcohol and improving the throughput.

또한, 본 발명은 이소프로필 알콜의 불필요한 낭비를 방지하고 사용량을 절감할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention has the effect of preventing unnecessary waste of isopropyl alcohol and reducing the amount of use.

또한, 본 발명은 공간효율성 및 설계자유도를 향상 시킬 수 있게 하고, 제품의 소형화에 기여할 수 있게 한다.In addition, the present invention can improve the space efficiency and design freedom, and contribute to the miniaturization of the product.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.As described above, although described with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art various modifications and variations of the present invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below I can understand that you can.

Claims (17)

피처리물이 수용되는 건조 챔버;A drying chamber in which a workpiece is to be accommodated; 상기 건조 챔버에 연결되어 상기 건조 챔버로 건조를 위한 유동성 건조제를 공급하는 공급라인; 및A supply line connected to the drying chamber and supplying a fluid desiccant for drying to the drying chamber; And 상기 공급라인 상에 제공되는 히팅챔버, 상기 히팅챔버의 내부에 제공되며 상기 공급라인을 통해 공급되는 상기 건조제를 미립자 상태로 분사하는 분사노즐, 상기 히팅챔버의 내부에 제공되며 상기 분사노즐을 통해 분사된 건조제를 가열하는 히터를 포함하는 히팅유닛;A heating chamber provided on the supply line, an injection nozzle provided in the heating chamber and spraying the desiccant supplied through the supply line in a particulate state, provided in the heating chamber, and sprayed through the injection nozzle Heating unit including a heater for heating the dried desiccant; 을 구비하는 건조장치.Drying apparatus having a. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 히팅유닛은 상기 히팅챔버의 입구로부터 내부로 연장되는 연장관을 더 포함하고, 상기 분사노즐은 상기 연장관에 형성된 것을 특징으로 하는 건조장치.The heating unit further comprises an extension tube extending inward from the inlet of the heating chamber, wherein the injection nozzle is characterized in that the drying tube is formed in the extension tube. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 히팅유닛은 상기 연장관으로부터 분기되는 분기관을 더 포함하고, 상기 분사노즐은 상기 연장관 및 상기 분기관에 형성된 것을 특징으로 하는 건조장치.The heating unit further comprises a branch pipe branched from the extension pipe, the spray nozzle is characterized in that the drying pipe is formed in the extension pipe and the branch pipe. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 히팅챔버의 출구는 히팅챔버의 상부에 형성된 것을 특징으로 하는 건조장치.And the outlet of the heating chamber is formed above the heating chamber. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 분사노즐은 분사 방향이 상기 히터를 향하도록 형성된 것을 특징으로 하는 건조장치.The spray nozzle is characterized in that the spraying direction is formed toward the heater. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 히팅유닛은 상기 분사노즐과 연통되게 연장되는 노즐연장부를 더 포함하는 것을 건조장치.The heating unit further comprises a nozzle extension extending in communication with the injection nozzle. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 히터는 상기 히팅챔버의 내측면에 형성되는 측면히터를 포함하고,The heater includes a side heater formed on the inner surface of the heating chamber, 상기 분사노즐은 분사 방향이 상기 측면히터를 향하도록 형성된 것을 특징으로 하는 건조장치.The spray nozzle is characterized in that the spraying direction is formed so as to face the side heater. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 히터는 상기 히팅챔버의 저면에 형성되는 저면히터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 건조장치.The heater further comprises a bottom heater formed on the bottom of the heating chamber. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 히터는 상기 분사노즐의 둘레를 감싸도록 코일 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 건조장치.The heater is characterized in that the drying device is formed in the form of a coil to surround the injection nozzle. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 건조제는 이소프로필 알콜을 포함하는 것을 특징으로 하는 건조장치.And the desiccant comprises isopropyl alcohol. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 공급라인으로 공급되는 건조제는 증기 또는 미스트(mist) 상태로 제공되는 것을 특징으로 하는 건조장치.Desiccant supplied to the supply line is a drying apparatus, characterized in that provided in the steam or mist (mist) state. 웨이퍼가 수용되는 건조 챔버;A drying chamber in which the wafer is accommodated; 상기 건조 챔버에 연결되어 상기 건조 챔버로 건조를 위한 이소프로필 알콜을 공급하는 공급라인; 및A supply line connected to the drying chamber for supplying isopropyl alcohol for drying to the drying chamber; And 상기 공급라인 상에 제공되는 히팅챔버, 상기 히팅챔버의 입구로부터 상기 히팅챔버의 내부로 연장되는 연장관, 상기 히팅챔버의 내벽면에 제공되는 히터, 상 기 연장관에 형성되어 상기 연장관으로부터 공급되는 이소프로필 알콜을 상기 히터를 향해 미립자 상태로 분사하는 분사노즐을 포함하는 히팅유닛;Heating chamber provided on the supply line, an extension pipe extending from the inlet of the heating chamber into the heating chamber, a heater provided on the inner wall surface of the heating chamber, isopropyl formed in the extension pipe and supplied from the extension pipe A heating unit including an injection nozzle for injecting alcohol into the particulate state toward the heater; 을 포함하는 건조장치.Drying apparatus comprising a. 유동성 건조제를 공급하기 위한 공급라인 상에 분사노즐 및 히터를 포함하는 히팅유닛을 제공하는 단계;Providing a heating unit including a spray nozzle and a heater on a supply line for supplying a fluid desiccant; 상기 분사노즐을 이용하여 상기 건조제를 미립자 상태로 분사하는 단계; 및Spraying the desiccant in a particulate state using the spray nozzle; And 상기 히터를 이용하여 분사된 상기 건조제를 가열하는 단계;Heating the sprayed desiccant using the heater; 상기 공급라인을 이용하여 상기 가열된 건조제를 피처리물이 수용되는 건조 챔버로 공급하는 단계;를 구비하는 건조방법.And supplying the heated desiccant to a drying chamber in which an object to be processed is accommodated using the supply line. 제14항에 있어서,The method of claim 14, 상기 건조제를 분사하는 단계에서 상기 건조제는 히터를 향해 분사되는 것을 특징으로 하는 건조방법.And in the spraying of the desiccant, the desiccant is sprayed toward a heater. 제14항에 있어서,The method of claim 14, 상기 히터는 상기 분사노즐의 분사 방향을 향하도록 상기 분사노즐의 측면에 배치되는 측면히터 및 상기 분사노즐의 하부에 배치되는 저면히터를 포함하여 제공되는 것을 특징으로 하는 건조방법.The heater is provided with a side heater disposed on the side of the injection nozzle so as to face the injection direction of the injection nozzle and a bottom heater disposed below the injection nozzle is provided. 제14항에 있어서,The method of claim 14, 상기 건조제는 분사되기 전에 증기 또는 미스트(mist) 상태로 제공되는 것을 특징으로 건조방법.And the desiccant is provided in a vapor or mist state before being sprayed.
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