KR101062456B1 - Table Aligner - Google Patents

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KR101062456B1
KR101062456B1 KR1020110041287A KR20110041287A KR101062456B1 KR 101062456 B1 KR101062456 B1 KR 101062456B1 KR 1020110041287 A KR1020110041287 A KR 1020110041287A KR 20110041287 A KR20110041287 A KR 20110041287A KR 101062456 B1 KR101062456 B1 KR 101062456B1
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Abstract

본 발명에 따른 정반 정렬장치는 유입구가 구비되는 제1 부재와, 상기 제1 부재와 이격되어 구비되는 제2 부재 및 상기 제1 부재와 상기 제2 부재 사이에 구비되어 외주면이 반경방향으로 확장 또는 수축되어 상기 제1 부재와 상기 제2 부재 사이의 간격을 가변하게 하는 변동부재를 포함하는 복수 개의 단동 실린더와, 상기 복수 개의 단동 실린더 중 일부가 외주면을 따라 구비되며, 상부기판이 안착되는 상부정반과, 상기 상부정반이 내측에 구비되는 상부챔버와, 상기 상부챔버의 하부에 구비되어, 상기 상부챔버와 함께 밀폐된 공정공간을 형성하는 하부챔버와, 상기 복수 개의 단동 실린더 중 다른 일부가 외주면을 따라 구비되고, 상기 하부챔버의 내측에 위치하며, 하부기판이 안착되는 하부정반과, 상기 복수 개의 단동 실린더 각각과 연결되어 상기 복수 개의 단동 실린더의 압력을 개별적으로 조절하는 압력조절부 및 상기 압력조절부의 동작을 제어하는 제어부를 포함하여, 전체 길이가 가변되는 다수개의 부재를 이용해 정반을 용이하게 정렬할 수 있게 함으로써 기판 정렬에 소요되는 시간을 단축하고 유지보수 비용을 절감할 수 있게 한다.The surface alignment device according to the present invention includes a first member having an inlet, a second member spaced apart from the first member, and between the first member and the second member, and an outer circumferential surface thereof extends radially or A plurality of single-acting cylinders including a variable member contracted to vary the distance between the first member and the second member, and a portion of the plurality of single-acting cylinders provided along an outer circumferential surface, and an upper surface on which the upper substrate is seated. And an upper chamber having the upper plate provided therein, a lower chamber provided below the upper chamber to form a closed process space together with the upper chamber, and another portion of the plurality of single-acting cylinders. It is provided along, and located inside the lower chamber, the lower surface on which the lower substrate is seated, and connected to each of the plurality of single-acting cylinder It includes a pressure control unit for individually controlling the pressure of the plurality of single-acting cylinder and a control unit for controlling the operation of the pressure control unit, to facilitate the alignment of the surface plate using a plurality of members of varying overall length This reduces the time required and reduces maintenance costs.

Description

정반 정렬장치{Table Aligner}Table Aligner

본 발명은 정반 정렬장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전체 길이가 가변되는 다수 개의 부재를 이용해 정반을 쉽게 정렬할 수 있게 함으로써 기판 정렬에 소요되는 시간을 단축하고 유지보수 비용을 절감할 수 있게 하는 정반 정렬장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a surface alignment device, and more particularly, it is possible to easily align the surface using a plurality of members of varying overall length to reduce the time required for substrate alignment and to reduce maintenance costs It relates to a surface alignment device.

일반적으로 액정 표시 장치는 전극이 형성되어 있는 TFT(Thin Film Transisror) 기판과 형광체가 도포된 CF(Color Filter) 기판 사이에 위치하는 주입되는 액정 물질을 포함하며, 상기 두 기판의 가장자리에 액정 물질을 가두는 봉인재로 결합되어 있으며 상기 두 기판 사이에 산포되어 있는 간격재에 의해 지지되고 있다. 또한 상기 두 기판 사이에 주입되어 있는 이방성 유전율을 갖는 액정 물질에 전극을 이용하여 전원을 인가하고, 이 전원의 세기를 조절하여 기판에 투과하는 빛의 양을 조절함으로써 화상을 표시하게 된다.In general, a liquid crystal display includes an injected liquid crystal material positioned between a thin film transistor (TFT) substrate on which electrodes are formed and a color filter (CF) substrate coated with phosphors, and a liquid crystal material is formed on the edges of the two substrates. The curb is joined by a sealing material and is supported by spacers dispersed between the two substrates. In addition, a power is applied to the liquid crystal material having an anisotropic dielectric constant injected between the two substrates by using an electrode, and the intensity of the power is adjusted to adjust the amount of light transmitted through the substrate to display an image.

여기서 상기 두 기판을 합착시키고, 상기 두 기판 사이에 액정 물질을 주입하는 공정에 있어서, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 기판을 정확히 정렬하기 위하여 하부에 마련된 스테이지 상에 베이스 플레이트를 결합시키고, 상기 베이스 플레이트(1)에 다수개의 LM가이드(2,3)를 결합시켜 가로(2a), 세로(2b) 및 회전(2c)에 의해 기판을 정렬하도록 하고 있다.Here, in the process of bonding the two substrates, and injecting a liquid crystal material between the two substrates, as shown in Figures 1 and 2, the base plate on the stage provided in the lower stage for precisely aligning the substrate A plurality of LM guides 2 and 3 are coupled to the base plate 1 to align the substrate by the horizontal 2a, the vertical 2b and the rotation 2c.

그러나 이러한 종래 기술은 베이스 플레이트 정렬을 위해 가로, 세로 및 회전을 위한 별도의 가이드와 구동수단이 개별적으로 구비됨에 따라 이를 구비하기 위한 공간을 많이 차지하고, 각각의 설비가 복잡하게 구성되어 있어서 각각의 설비 유지 보수에 시간과 비용이 많이 소요되는 문제점이 있었다.However, this prior art takes up a lot of space for the separate guide and drive means for horizontal, vertical and rotation for the base plate is arranged separately, and each facility is complicated to configure each facility There was a problem that time-consuming and expensive maintenance.

또한 각각의 설비에 기구적 구속이 많이 신속하고 자유로운 정렬이 이루어지는 않는 문제점이 있었다. 즉, 각각의 설비(가로, 세로 및 회전)를 개별적으로 구동시키며 정렬시켜야 함으로 시간이 많이 소요되는 단점이 있다.
In addition, there was a problem that the mechanical restraint is quickly and freely aligned in each facility. In other words, each facility (horizontal, vertical and rotating) is driven separately and has a disadvantage in that it takes a lot of time.

본 발명의 목적은 전체 길이가 가변되는 다수개의 부재를 이용해 정반을 용이하게 정렬함으로써 기판 정렬에 소요되는 시간을 단축하고 유지보수 비용을 절감할 수 있게 하는 정반 정렬장치를 제공하는 데 있다.
An object of the present invention is to provide a surface alignment device that can easily align the surface plate using a plurality of members having a variable overall length, thereby reducing the time required for substrate alignment and reducing maintenance costs.

전술한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 정반 정렬장치는 유입구가 구비되는 제1 부재와, 상기 제1 부재와 이격되어 구비되는 제2 부재 및 상기 제1 부재와 상기 제2 부재 사이에 구비되어 외주면이 반경방향으로 확장 또는 수축되어 상기 제1 부재와 상기 제2 부재 사이의 간격을 가변하게 하는 변동부재를 포함하는 복수 개의 단동 실린더와, 상기 복수 개의 단동 실린더 중 일부가 외주면을 따라 구비되며, 상부기판이 안착되는 상부정반과, 상기 상부정반이 내측에 구비되는 상부챔버와, 상기 상부챔버의 하부에 구비되어, 상기 상부챔버와 함께 밀폐된 공정공간을 형성하는 하부챔버와, 상기 복수 개의 단동 실린더 중 다른 일부가 외주면을 따라 구비되고, 상기 하부챔버의 내측에 위치하며, 하부기판이 안착되는 하부정반;The surface alignment device according to the present invention for solving the above problems is provided with a first member provided with an inlet, a second member spaced apart from the first member and between the first member and the second member A plurality of single-acting cylinders including a shifting member whose outer circumferential surface is expanded or contracted in a radial direction to vary a distance between the first member and the second member, and some of the plurality of single-acting cylinders are provided along the outer circumferential surface, An upper surface on which the upper substrate is seated, an upper chamber on which the upper surface is provided, a lower chamber provided on the lower portion of the upper chamber and forming a closed process space together with the upper chamber, and the plurality of single acting elements. A lower surface plate provided with another portion of the cylinder along an outer circumferential surface thereof, positioned inside the lower chamber, and having a lower substrate seated thereon;

상기 복수 개의 단동 실린더 각각과 연결되어 상기 복수 개의 단동 실린더의 압력을 개별적으로 조절하는 압력조절부 및 상기 압력조절부의 동작을 제어하는 제어부를 포함한다.And a control unit connected to each of the plurality of single-acting cylinders to control pressure of the plurality of single-acting cylinders individually and the operation of the pressure adjusting unit.

또한 상기 변동부재는 상기 유입구를 통해 유입되는 압력차에 의해 외주면이 반형방향으로 확장 또는 수축되어 상기 상부정반 및 상기 하부정반 중 적어도 어느 하나의 위치를 정렬할 수 있다.In addition, the shifting member may have an outer circumferential surface expanded or contracted in a semi-circular direction by a pressure difference introduced through the inlet so as to align at least one position of the upper plate and the lower plate.

또한 상기 상부정반의 외주면에 구비되는 상기 단동실린더는 상기 제1 부재가 상기 상부챔버의 내측과 연결되고, 상기 제2 부재는 상기 상부정반의 외주면에 연결될 수 있다.In addition, the single-acting cylinder provided on the outer circumferential surface of the upper surface plate may have the first member connected to the inner side of the upper chamber, and the second member may be connected to the outer circumferential surface of the upper surface plate.

또한 상기 상부챔버에는 상기 유입구과 연통되는 연결관이 형성될 수 있다.In addition, the upper chamber may be formed with a connection tube in communication with the inlet.

또한 상기 하부정반의 외주면에 구비되는 상기 단동실린더는 상기 제1 부재가 상기 하부챔버의 내측과 연결되고, 상기 제2 부재는 상기 하부정반의 외주면에 연결될 수 있다.In addition, in the single acting cylinder provided on the outer surface of the lower surface plate, the first member may be connected to the inside of the lower chamber, and the second member may be connected to the outer surface of the lower surface plate.

또한 상기 하부챔버에는 상기 유입구과 연통되는 연결관이 형성될 수 있다.In addition, the lower chamber may be formed with a connection tube in communication with the inlet.

또한 상기 상부챔버와 상기 상부정반 사이에는 상기 상부정반의 이동방향을 안내하는 가이드 레일이 구비될 수 있다.In addition, a guide rail may be provided between the upper chamber and the upper surface plate to guide the moving direction of the upper surface plate.

또한 상기 가이드 레일은 L/M 가이드일 수 있다.In addition, the guide rail may be an L / M guide.

또한 상기 하부챔버와 상기 하부정반 사이에는 상기 하부정반의 이동방향을 안내하는 가이드 레일이 구비될 수 있다.In addition, a guide rail may be provided between the lower chamber and the lower surface plate to guide the movement direction of the lower surface plate.

또한 상기 가이드 레일은 L/M 가이드일 수 있다.
In addition, the guide rail may be an L / M guide.

본 발명에 의하면, 전체 길이가 가변되는 다수개의 부재를 이용해 정반을 용이하게 정렬할 수 있게 함으로써 기판 정렬에 소요되는 시간을 단축하고 유지보수 비용을 절감할 수 있게 하는 효과가 있다.
According to the present invention, it is possible to easily align the surface plate by using a plurality of members whose overall length is variable, thereby reducing the time required for substrate alignment and reducing maintenance costs.

도 1은 종래 기술의 정반 정렬장치를 나타내는 단면도.
도 2는 도 1에 도시된 정반 정렬장치를 나타내는 개략도.
도 3은 본 발명의 단동 실린더를 나타내는 측면도.
도 4는 본 발명의 정반 정렬장치를 나타내는 평면도.
도 5는 도 4에 도시된 정반 정렬장치를 나타내는 측면도.1 is a cross-sectional view showing a surface alignment device of the prior art.
Figure 2 is a schematic diagram showing the surface alignment device shown in Figure 1;
3 is a side view showing a single-acting cylinder of the present invention.
Figure 4 is a plan view showing a surface alignment device of the present invention.
5 is a side view showing the surface alignment device shown in FIG.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 첨부된 도면을 참고하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예들은 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments of the present invention can be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below. These embodiments are provided to explain in detail the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape of each element shown in the drawings may be exaggerated to emphasize a more clear description.

도 3은 본 발명의 단동 실린더를 나타내는 측면도이며, 도 4는 본 발명의 정반 정렬장치를 나타내는 평면도이고, 도 5는 도 4에 도시된 정반 정렬장치를 나타내는 측면도이다.
Figure 3 is a side view showing a single-acting cylinder of the present invention, Figure 4 is a plan view showing the surface alignment device of the present invention, Figure 5 is a side view showing the surface alignment device shown in FIG.

본 발명의 단동 실린더는 도 3을 참조하면, 상기 단동 실린더(10)는 유입구(111)가 개구된 제1 부재(110)와 상기 제1 부재(110)에 대해 이격된 위치에 마련되는 제2 부재(120)와 상기 제1 부재(110)와 제2 부재(120) 사이를 연결하되 상기 유입구(111)와 연통되는 변동부재(130)로 이루어지며, 상기 제2 부재(120)는 상기 변동부재(130)에 의해 상기 제1 부재(110) 측으로 이동되며, 상기 변동부재(130)는 유입구(111)를 통해 유입되는 압력차에 의해 상기 제1 부재(110) 및 제2 부재(120) 사이 간격을 가변되게 하고, 상기 유입구(111)로는 공기압 또는 유체압 중 선택된 어느 하나가 유입된다.Referring to FIG. 3, the single-acting cylinder 10 of the present invention is provided with a second member disposed at a position spaced apart from the first member 110 having the inlet 111 opened and the first member 110. The member 120 is connected to the first member 110 and the second member 120, but is made of a variable member 130 in communication with the inlet 111, the second member 120 is the change The first member 110 and the second member 120 are moved toward the first member 110 by the member 130, and the variable member 130 is moved by the pressure difference introduced through the inlet 111. The interval between them is varied, and any one selected from air pressure or fluid pressure is introduced into the inlet 111.

예컨대 상기 제1 부재(110)의 유입구(111)로부터 공기압 또는 유체압 중 어느 하나의 압력(P)이 유입되면, 유입된 압력은 변동부재(130) 내부를 충진하며 도 3에 도시된 바와 같이 변동부재(130)의 외측으로 압력(P1)이 작용하며, 변동부재(130) 외주면을 반경방향으로 밀어 확장시킨다. 변동부재(130) 단부에 구비된 제2 부재(120)는 변동부재(130)의 확장에 따라 제1 부재(110) 측으로 이동하며 제1 부재(110)와의 사이 간격을 좁히게 된다. 반대로 유입된 압력(P)을 변동부재(130)로부터 반출시키면 확장된 상태의 변동부재(130)가 수축하며 제1 부재(110)로부터 제2 부재(120)를 멀어지게 하여 제1 부재(110)와 제2 부재(120) 사이 간격을 멀어지게 한다. 즉, 유입구(111)를 통해 유입된 압력차에 의해 변동부재(130)가 확장과 수축을 반복하면 제1 부재(110)와 제2 부재(120) 사이 간격을 조절하게 할 수 있게 되어 간단한 조작을 통해서도 실린더 역할을 수행할 수 있게 되는 것이다.
For example, when one of the air pressure or the fluid pressure P is introduced from the inlet 111 of the first member 110, the introduced pressure fills the inside of the variable member 130, as shown in FIG. The pressure P1 acts on the outside of the variable member 130, and pushes the outer circumferential surface of the variable member 130 in the radial direction to expand it. The second member 120 provided at the end of the variable member 130 moves toward the first member 110 according to the expansion of the variable member 130 and narrows the interval between the first member 110 and the first member 110. On the contrary, when the introduced pressure P is taken out from the variable member 130, the variable member 130 in the expanded state contracts and the second member 120 is separated from the first member 110 to allow the first member 110 to move away from the first member 110. And the distance between the second member 120 is increased. That is, when the variable member 130 repeats expansion and contraction by the pressure difference introduced through the inlet 111, it is possible to adjust the gap between the first member 110 and the second member 120. Through it will be able to perform the cylinder role.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 정반 정렬장치(200)를 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described the surface alignment device 200 of the present invention.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 상기 정반 정렬장치(200)는 상부챔버(21)와, 상부챔버(21)의 하부에 상부챔버(21)와 마주보도록 구비되는 하부챔버(22)를 구비한다.상부챔버(21)와 하부챔버(22) 중 적어도 하나는 상하로 구동하여, 상부챔버(21)와 하부챔버(22)가 서로 맞닿아 밀폐된 공정공간을 형성할 수 있고, 상부챔버(21)와 하부챔버(22)가 서로 이격되어 공정대상인 기판(S1,S2)이 상기 공정공간으로 출입할 수 있도록 할 수 있다.3 to 5, the surface alignment device 200 includes an upper chamber 21 and a lower chamber 22 provided to face the upper chamber 21 at the lower portion of the upper chamber 21. At least one of the upper chamber 21 and the lower chamber 22 is driven up and down, the upper chamber 21 and the lower chamber 22 can be in contact with each other to form a closed process space, the upper chamber 21 ) And the lower chamber 22 may be spaced apart from each other to allow the substrates S1 and S2 to be processed to enter and exit the process space.

상부챔버(21) 내측에는 상부기판(S1)이 안착되는 상부정반(31)이 구비될 수 있으며, 하부챔버(22) 내측에는 하부기판(S2)이 안착되는 하부정반(32)이 상부정반(31)과 마주보도록 구비될 수 있다.An upper surface plate 31 on which the upper substrate S1 is seated may be provided inside the upper chamber 21, and a lower surface plate 32 on which the lower substrate S2 is seated may be provided on the inner side of the lower chamber 22. 31) may be provided to face each other.

상부정반(31)과 하부정반(32)의 사변에 해당하는 외주면에는 상술한 단동 실린더(10)가 복수 개 구비될 수 있다. The above-mentioned single-acting cylinder 10 may be provided on the outer circumferential surface corresponding to the quadrangle of the upper surface plate 31 and the lower surface plate 32.

상부정반(31)에 구비되는 단동 실린더(11)는 제1 부재(110)가 상부챔버(21)의 내측에 결합되고, 제2 부재(120)는 상부정반(31)의 외주면에 결합될 수 있다. 그리고 상부챔버(21)에는 제1 부재(110)의 유입구(111)와 연통되는 제1 연결관(71)이 상부챔버(21)를 관통하여 형성될 수 있다. 따라서 단동 실린더(11)의 변동부재(130)를 팽창/수축시키는 공기압 또는 유체압이 외부에서 제1 연결관(71)을 통해 유입구(111)로 유입/유출될 수 있다.In the single acting cylinder 11 provided on the upper surface plate 31, the first member 110 may be coupled to the inner side of the upper chamber 21, and the second member 120 may be coupled to the outer circumferential surface of the upper surface plate 31. have. In the upper chamber 21, a first connecting pipe 71 communicating with the inlet 111 of the first member 110 may pass through the upper chamber 21. Therefore, air pressure or fluid pressure for expanding / contracting the variable member 130 of the single-acting cylinder 11 may be introduced / exited to the inlet 111 through the first connecting pipe 71 from the outside.

하부정반(32)에 구비되는 단동 실린더(12)는 제1 부재(110)가 하부챔버(22)의 내측에 결합되고, 제2 부재(120)는 하부정반(32)의 외주면에 결합될 수 있다. 그리고 하부챔버(22)에는 제1 부재(110)의 유입구(111)와 연통되는 제2 연결관(72)이 하부챔버(22)를 관통하여 형성될 수 있다. 따라서 단동 실린더(12)의 변동부재(130)를 팽창/수축시키는 공기압 또는 유체압이 외부에서 제2 연결관(72)을 통해 유입구(111)로 유입/유출될 수 있다.In the single acting cylinder 12 provided on the lower surface plate 32, the first member 110 may be coupled to the inner side of the lower chamber 22, and the second member 120 may be coupled to the outer circumferential surface of the lower surface plate 32. have. In the lower chamber 22, a second connecting pipe 72 communicating with the inlet 111 of the first member 110 may pass through the lower chamber 22. Therefore, air pressure or fluid pressure for expanding / contracting the variable member 130 of the single-acting cylinder 12 may be introduced / exited to the inlet 111 through the second connecting pipe 72 from the outside.

한편 상부정반(31)과 상부챔버(21)사이에는 상부정반(31)의 이동방향을 안내하는 제1 가이드레일(61a,61b)이 구비될 수 있다.Meanwhile, first guide rails 61a and 61b may be provided between the upper surface plate 31 and the upper chamber 21 to guide the moving direction of the upper surface plate 31.

제1 가이드레일(61a,61b)은 상부정반(31)의 상면, 즉 상부기판(S1)이 안착되는 면의 반대면에 구비될 수 있다. 제1 가이드레일(61a,61b)은 단동 실린더(11)의 동작에 의해 정렬되는 상부정반(31)의 이동방향을 안내하며, 제1 가이드레일(61a,61b)은 L/M 가이드를 사용하여 상부정반(31)이 전후좌우로 이동되도록 할 수 있다.The first guide rails 61a and 61b may be provided on an upper surface of the upper surface plate 31, that is, on an opposite surface of the surface on which the upper substrate S1 is seated. The first guide rails 61a and 61b guide the moving direction of the upper surface plate 31 aligned by the operation of the single-acting cylinder 11, and the first guide rails 61a and 61b use the L / M guides. The upper surface plate 31 may be moved back, front, left, and right.

하부정반(32)과 하부챔버(22)사이에도 하부정반(32)의 이동방향을 안내하는 제2 가이드레일(62a,62b)이 구비될 수 있다.Second guide rails 62a and 62b may also be provided between the lower surface plate 32 and the lower chamber 22 to guide the moving direction of the lower surface plate 32.

제2 가이드레일(62a,62b)은 하부정반(32)의 하면, 즉 하부기판(S2)이 안착되는 면의 반대면에 구비될 수 있다. 제2 가이드레일(62a,62b)은 단동 실린더(12)의 동작에 의해 정렬되는 하부정반(32)의 이동방향을 안내하며, 제2 가이드레일(62a,62b)은 L/M 가이드를 사용하여 하부정반(32)이 전후좌우로 이동되도록 할 수 있다.The second guide rails 62a and 62b may be provided on a lower surface of the lower surface plate 32, that is, on an opposite surface of the surface on which the lower substrate S2 is seated. The second guide rails 62a and 62b guide the moving direction of the lower surface plate 32 aligned by the operation of the single-acting cylinder 12, and the second guide rails 62a and 62b use the L / M guide. The lower surface plate 32 may be moved back, front, left, and right.

한편, 상부정반(31)에 구비되는 단동 실린더(11) 및 하부정반(32)에 구비되는 단동 실린더(12)와 개별적으로 연결되어 각 단동 실린더(11,12)의 압력을 개별적으로 조절하는 압력조절부(40)가 포함될 수 있다. 압력조절부(40)와 각 단동 실린더(11,12)는 압력라인(41)을 통해 연결될 수 있다. 압력라인(41)의 일측은 압력조절부(40)와 연결되고 타측은 상부챔버(21)의 제1 연결관(71) 또는 하부챔버(22)의 제2 연결관(72)과 연결될 수 있다.On the other hand, the pressure to individually control the pressure of each of the single-acting cylinders (11, 12) connected to the single-acting cylinder (11) provided on the upper surface plate 31 and the single-acting cylinder (12) provided on the lower surface plate (32) The adjusting unit 40 may be included. The pressure regulator 40 and each of the single-acting cylinders 11 and 12 may be connected through the pressure line 41. One side of the pressure line 41 may be connected to the pressure control unit 40, and the other side thereof may be connected to the first connecting tube 71 of the upper chamber 21 or the second connecting tube 72 of the lower chamber 22. .

한편 압력조절부(40)를 유선통신 또는 무선통신을 통해 제어하는 제어부(50)가 포함될 수 있다.On the other hand, the pressure controller 40 may include a control unit 50 for controlling through a wired or wireless communication.

상기와 같은 구성에 의해, 상부챔버(21)와 하부챔버(22)가 이격된 상태에서 상부기판(S1)이 상부정반(31)에 안착되고, 하부기판(S2)이 하부정반(32)에 안착된 후, 상부챔버(21)와 하부챔버(22)가 맞닿아 밀폐된 공정공간을 형성할 수 있다. 그리고 제어부(50)로부터 각 단동 실린더(11,12)에 대한 동작 신호를 압력 조절부(40) 측으로 인가하면 압력 조절부(40)는 인가받은 신호에 따라 각각의 단동 실린더(11,12)에 압력을 인가하게 되고 압력 조절부(40) 측에서 인가된 압력에 따라 각각의 단동 실린더(11,12)는 각각 개별적인 동작을 통해 확장 또는 수축을 하게 된다. 이에 따라 상부정반(31) 및/또는 하부정반(32)이 전후좌후 방향으로 이동하며 정렬하게 되고 정렬되는 상부정반(31) 및/또는 하부정반(32)을 통해 상부기판(S1) 및/또는 하부기판(S2)의 정렬이 이루어지게 되어 신속하고 정확한 기판 정렬이 가능하게 된다.By the above configuration, the upper substrate S1 is seated on the upper surface plate 31 in a state where the upper chamber 21 and the lower chamber 22 are spaced apart, and the lower substrate S2 is attached to the lower surface plate 32. After being seated, the upper chamber 21 and the lower chamber 22 may contact each other to form a closed process space. And when the operation signal for each of the single-acting cylinder (11, 12) from the control unit 50 to the pressure control unit 40 side, the pressure control unit 40 to each of the single-acting cylinder (11, 12) in accordance with the applied signal Pressure is applied and each single acting cylinder (11, 12) is expanded or contracted through a separate operation in accordance with the pressure applied from the pressure adjuster 40 side. Accordingly, the upper substrate 31 and / or the lower surface 32 move in the front, rear, left and right directions, and are aligned and aligned with the upper substrate S1 and / or through the upper surface 31 and / or the lower surface 32. Alignment of the lower substrate S2 is made, thereby enabling quick and accurate substrate alignment.

따라서 간단한 조작을 통해 신속한 응답을 하는 단동 실린더를 통해 정반의 정렬을 신속하고 빠르게 함으로써 기판 합착 공정 수율을 증대시킬 수 있게 되고, 더불어 전체적인 구성이 간단하여 유지보수 시간 및 비용이 절감될 수 있게 된다.Therefore, by quickly and quickly responding through a single-acting cylinder, the alignment of the surface plate can be increased quickly and quickly, thereby increasing the substrate bonding process yield, and the overall configuration is simple, thereby reducing maintenance time and cost.

본 발명을 바람직한 실시예들을 통하여 상세하게 설명하였으나, 이와 다른 형태의 실시예들도 가능하다. 그러므로, 이하에 기재된 청구항들의 기술적 사상과 범위는 바람직한 실시예들에 한정되지 않는다.
Although the present invention has been described in detail with reference to preferred embodiments, other forms of embodiments are possible. Therefore, the spirit and scope of the claims set forth below are not limited to the preferred embodiments.

10,11,12 : 단동 실린더 21 : 상부챔버
22 : 하부챔버 31 : 상부정반
32 : 하부정반 40 : 압력 조절부
41 : 압력라인 50 : 제어부
61a,61b : 제1 가이드 레일 62a,62b : 제2 가이드 레일
71 : 제1 연결관 72 : 제2 연결관
110 : 제1 부재 111 :유입구
120 : 제2 부재 130 : 변동부재
200 : 정반 정렬장치10,11,12: single acting cylinder 21: upper chamber
22: lower chamber 31: upper surface plate
32: lower plate 40: pressure control unit
41: pressure line 50: control unit
61a, 61b: first guide rail 62a, 62b: second guide rail
71: first connector 72: second connector
110: first member 111: inlet
120: second member 130: variable member
200: surface alignment device

Claims (10)

유입구가 구비되는 제1 부재와, 상기 제1 부재와 이격되어 구비되는 제2 부재 및 상기 제1 부재와 상기 제2 부재 사이에 구비되어 외주면이 반경방향으로 확장 또는 수축되어 상기 제1 부재와 상기 제2 부재 사이의 간격을 가변하게 하는 변동부재를 포함하는 복수 개의 단동 실린더;
상기 복수 개의 단동 실린더 중 일부가 외주면을 따라 구비되며, 상부기판이 안착되는 상부정반;
상기 상부정반이 내측에 구비되는 상부챔버;
상기 상부챔버의 하부에 구비되어, 상기 상부챔버와 함께 밀폐된 공정공간을 형성하는 하부챔버;
상기 복수 개의 단동 실린더 중 다른 일부가 외주면을 따라 구비되고, 상기 하부챔버의 내측에 위치하며, 하부기판이 안착되는 하부정반;
상기 복수 개의 단동 실린더 각각과 연결되어 상기 복수 개의 단동 실린더의 압력을 개별적으로 조절하는 압력조절부; 및
상기 압력조절부의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 정반 정렬장치.
A first member provided with an inlet, a second member spaced apart from the first member, and provided between the first member and the second member, and an outer circumferential surface thereof expands or contracts in a radial direction so that the first member and the A plurality of single-acting cylinders including a varying member for varying a distance between the second members;
Some of the plurality of single-acting cylinder is provided along the outer peripheral surface, the upper surface on which the upper substrate is seated;
An upper chamber in which the upper surface plate is provided inside;
A lower chamber provided below the upper chamber to form a closed process space together with the upper chamber;
A lower surface plate provided with another portion of the plurality of single-acting cylinders along an outer circumferential surface and positioned inside the lower chamber and on which a lower substrate is seated;
A pressure adjusting unit connected to each of the plurality of single-acting cylinders to individually adjust pressures of the plurality of single-acting cylinders; And
Surface alignment device comprising a control unit for controlling the operation of the pressure adjusting unit.
제1항에 있어서,
상기 변동부재는 상기 유입구를 통해 유입되는 압력차에 의해 외주면이 반형방향으로 확장 또는 수축되어 상기 상부정반 및 상기 하부정반 중 적어도 어느 하나의 위치를 정렬하는 것을 특징으로 하는 정반 정렬장치.
The method of claim 1,
The variable member is a surface alignment device, characterized in that the outer peripheral surface is expanded or contracted in the semi-circular direction by the pressure difference introduced through the inlet to align the position of at least one of the upper surface plate and the lower surface plate.
제1항에 있어서,
상기 상부정반의 외주면에 구비되는 상기 단동실린더는 상기 제1 부재가 상기 상부챔버의 내측과 연결되고, 상기 제2 부재는 상기 상부정반의 외주면에 연결되는 것을 특징으로 하는 정반 정렬장치.
The method of claim 1,
The single acting cylinder provided on the outer circumferential surface of the upper surface plate, wherein the first member is connected to the inside of the upper chamber, and the second member is connected to the outer circumferential surface of the upper surface plate.
제3항에 있어서,
상기 상부챔버에는 상기 유입구과 연통되는 연결관이 형성된 것을 특징으로 하는 정반 정렬장치.
The method of claim 3,
The upper chamber is a surface alignment device, characterized in that the connection pipe is formed in communication with the inlet.
제1항에 있어서,
상기 하부정반의 외주면에 구비되는 상기 단동실린더는 상기 제1 부재가 상기 하부챔버의 내측과 연결되고, 상기 제2 부재는 상기 하부정반의 외주면에 연결되는 것을 특징으로 하는 정반 정렬장치.
The method of claim 1,
The single acting cylinder provided on the outer circumferential surface of the lower surface plate has the first member connected to the inside of the lower chamber, and the second member is connected to the outer circumferential surface of the lower surface plate.
제5항에 있어서,
상기 하부챔버에는 상기 유입구과 연통되는 연결관이 형성된 것을 특징으로 하는 정반 정렬장치.
The method of claim 5,
And the lower chamber is provided with a connecting tube communicating with the inlet.
제1항에 있어서,
상기 상부챔버와 상기 상부정반 사이에는 상기 상부정반의 이동방향을 안내하는 가이드 레일이 구비되는 것을 특징으로 하는 정반 정렬장치.
The method of claim 1,
Surface alignment device between the upper chamber and the upper surface plate is provided with a guide rail for guiding the moving direction of the upper surface plate.
제7항에 있어서,
상기 가이드 레일은 L/M 가이드인 것을 특징으로 하는 정반 정렬장치.
The method of claim 7, wherein
The guide rail is a surface plate alignment device, characterized in that the L / M guide.
제1항에 있어서,
상기 하부챔버와 상기 하부정반 사이에는 상기 하부정반의 이동방향을 안내하는 가이드 레일이 구비되는 것을 특징으로 하는 정반 정렬장치.
The method of claim 1,
Surface alignment device between the lower chamber and the lower surface plate is provided with a guide rail for guiding the movement direction of the lower surface plate.
제9항에 있어서,
상기 가이드 레일은 L/M 가이드인 것을 특징으로 하는 정반 정렬장치.10. The method of claim 9,
The guide rail is a surface plate alignment device, characterized in that the L / M guide.
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