JP2000044059A - Handler device housing mechanism - Google Patents

Handler device housing mechanism

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JP2000044059A
JP2000044059A JP10212861A JP21286198A JP2000044059A JP 2000044059 A JP2000044059 A JP 2000044059A JP 10212861 A JP10212861 A JP 10212861A JP 21286198 A JP21286198 A JP 21286198A JP 2000044059 A JP2000044059 A JP 2000044059A
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JP
Japan
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trays
tray
stacked
guide
horizontal
Prior art date
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Pending
Application number
JP10212861A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akio Nakamura
明生 中村
Yasuhisa Kitajima
康久 北嶋
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Ando Electric Co Ltd
Original Assignee
Ando Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Ando Electric Co Ltd filed Critical Ando Electric Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent measured ICs housed in trays from jumping and so on because the trays are caught by other members when a table on which the trays are piled up, is vertically moved. SOLUTION: This handler device housing mechanism is equipped with a housing part 60 which piles up trays each of which houses devices to be measured, for housing them. This housing part 60 is equipped with a table on which the piled up trays are rested, and with a tray aligning guide aligning the horizontal positions of the piled-up trays. The tray aligning guide is composed of longitudinal guides 5 and 5 which push the piled-up trays from both the front and rear directions for aligning their horizontal positions in the longitudinal direction of the tray 1, and with transverse guides 4 and 4 which push the piled-up trays 1 from both the right and left directions for aligning their horizontal positions in the right and left directions and of cylinders 6,... horizontally moving the transverse guides 4 and 4 in the approaching/parting directions.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、水平搬送方式のオ
ートハンドラに備わり、測定済みの被測定デバイスを収
容したトレーを積み重ねて収納する収納部を具備したハ
ンドラのデバイス収納機構に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device accommodating mechanism of a handler provided in an auto handler of a horizontal transport system and having an accommodating portion for accommodating trays accommodating measured devices to be measured.

【0002】[0002]

【従来の技術】水平搬送方式のオートハンドラに備わ
る、従来のデバイス収納機構について、図7〜図10の
図面を参照しながら説明する。図7及び図8は従来のデ
バイス収納機構の構成を示すもので、図7がその正面
図、図8が側面図である。図9は、図7のデバイス収納
機構を構成する収納部を示す平面図、図10は、図9の
収納部を示す正面図で、積み重ねて収納したトレーが水
平方向にズレている状態を示している。
2. Description of the Related Art A conventional device storage mechanism provided in a horizontal transfer type auto handler will be described with reference to FIGS. 7 and 8 show the structure of a conventional device storage mechanism. FIG. 7 is a front view and FIG. 8 is a side view. 9 is a plan view showing a storage unit constituting the device storage mechanism of FIG. 7, and FIG. 10 is a front view showing the storage unit of FIG. 9, showing a state in which the stacked and stored trays are horizontally displaced. ing.

【0003】従来のデバイス収納機構は、図7及び図8
に示すように、トレー1を供給する供給部30、測定済
みIC25(被測定デバイス)を収容する位置までトレ
ー1を搬送する第1の搬送手段40、測定済みIC25
を収容したトレー1を収納部60Aまで搬送する第2の
搬送手段50、測定済みIC25を収容したトレー1を
収納する収納部60A等により構成されている。収納部
60Aは、図8に示すように、測定済みIC25を収容
したトレー1を積み重ねて載置するテーブル2、テーブ
ル2に積み重ねたトレー1の四隅部をガイドするコーナ
ーガイド3,…、テーブル2を上下方向に移動させるエ
レベータ部27、テーブル2に積み重ねたトレー1の上
面位置を検出する上面検出センサ(図示省略)等により
構成されている。テーブル2は、図9に示すように、略
平板状に形成されると共に、その四隅部には切欠部2
a,…が形成されている。テーブル2の縁部には、上に
載せたトレー1(最下段のトレー1)の位置決めをする
トレーガイド2A,2A、2B,2Bが上方向に起立し
た状態で設けられている。エレベータ部27は、モータ
20、ボールネジ21、テーブル支持部材26等から構
成されている。モータ20の回転駆動は、ボールネジ2
1及びテーブル支持部材26によって直線運動に変換さ
れた後、テーブル2に伝達される。収納部60Aでは、
第2の搬送手段50によって搬送されたトレー1を順次
テーブル2の上に積み重ねていく。このとき、エレベー
タ部27はテーブル2を上下方向に移動させる。
FIGS. 7 and 8 show a conventional device storage mechanism.
As shown in the figure, the supply unit 30 for supplying the tray 1, the first transport unit 40 for transporting the tray 1 to a position for accommodating the measured IC 25 (device to be measured), the measured IC 25
The second transport means 50 transports the tray 1 storing the IC 1 to the storage section 60A, the storage section 60A storing the tray 1 storing the measured IC 25, and the like. As shown in FIG. 8, the storage unit 60A includes a table 2 on which the trays 1 containing the measured ICs 25 are stacked and placed, corner guides 3 for guiding the four corners of the trays 1 stacked on the table 2,. And an upper surface detecting sensor (not shown) for detecting an upper surface position of the trays 1 stacked on the table 2. As shown in FIG. 9, the table 2 is formed in a substantially flat plate shape, and has cutouts 2 at its four corners.
a,... are formed. At the edge of the table 2, tray guides 2A, 2A, 2B, 2B for positioning the tray 1 (the lowermost tray 1) placed on the table 2 are provided in an upright state. The elevator unit 27 includes the motor 20, the ball screw 21, the table support member 26, and the like. The rotation of the motor 20 is controlled by the ball screw 2
After being converted into linear motion by the first and table support members 26, the motion is transmitted to the table 2. In the storage section 60A,
The trays 1 conveyed by the second conveying means 50 are sequentially stacked on the table 2. At this time, the elevator unit 27 moves the table 2 up and down.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
デバイス収納機構では、図10に示すように、テーブル
2に積み重ねたトレー1に、自身の寸法精度、反り等の
影響により積み重ね誤差が生じて、水平方向のズレ(横
ズレや縦ズレ)が発生することがあった。そして、ずれ
た状態のまま、エレベータ部27がテーブル2を下降し
ていくと、積み重ねたトレー1が、コーナーガイド3,
…等に引っかかって、傾いた状態となり、その結果、ト
レー1に収容した測定済みIC25が飛び跳ねて装置内
にこぼれてしまうことがあった。また、トレー1が一度
傾いた状態になると、その後に積むトレー1も正常に積
み重ねることができなかった。
However, in the above-described conventional device storage mechanism, as shown in FIG. 10, a stacking error occurs in the trays 1 stacked on the table 2 due to the influence of its own dimensional accuracy and warpage. In some cases, horizontal displacement (horizontal displacement or vertical displacement) may occur. When the elevator unit 27 descends on the table 2 in the shifted state, the stacked trays 1
.., Etc., the inclined state occurs, and as a result, the measured IC 25 accommodated in the tray 1 may jump and spill into the apparatus. Further, once the tray 1 was tilted, the trays 1 to be stacked thereafter could not be normally stacked.

【0005】本発明は、上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、テーブルに積み重ねたトレーに
生じた水平方向のズレをなくすことによって、テーブル
を上下方向に移動する際に、トレーが他の部材に引っか
かって、トレーに収容した測定済みICが飛び跳ねたり
することを防止するハンドラのデバイス収納機構を提供
することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and eliminates the horizontal displacement generated in the trays stacked on the table so that the table can be moved up and down. An object of the present invention is to provide a device storage mechanism of a handler that prevents a measured IC stored in a tray from jumping due to the tray being caught by another member.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項1記載の発明は、被測定デバイスを収容した
トレーを積み重ねて収納する収納部を備えたハンドラの
デバイス収納機構において、前記収納部が、積み重ねた
トレーを載置するテーブルと、前記テーブル上に積み重
ねたトレーの水平位置を整えるトレー整列用ガイドと、
を備えた構成とした。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a device storage mechanism for a handler having a storage unit for stacking and storing trays storing devices to be measured. Section, a table on which the stacked trays are placed, and a tray alignment guide for adjusting the horizontal position of the trays stacked on the table,
Was provided.

【0007】請求項1記載の発明によれば、積み重ねた
トレーを載置するテーブルと、テーブル上に積み重ねた
トレーの水平位置を整えるトレー整列用ガイドとを収納
部が備えたため、テーブル上に積み重ねたトレーに、例
えば、寸法精度、反り等の影響により水平方向のズレが
生じたとしても、そのズレはトレー整列用ガイドによっ
て解消される。従って、トレーを積み重ねたテーブル
を、例えば、上下方向に移動したとしても、従来のよう
に、積み重ねたトレーが他の部材に引っかかって傾倒し
たりすることがない。そのため、トレーに収容した被測
定デバイスが飛び跳ねることもない。
According to the first aspect of the present invention, since the storage unit includes the table on which the stacked trays are placed and the tray alignment guide for adjusting the horizontal position of the trays stacked on the table, the tray is stacked on the table. Even if the tray is displaced in the horizontal direction due to the influence of, for example, dimensional accuracy or warpage, the displacement is eliminated by the tray alignment guide. Therefore, even if the table on which the trays are stacked is moved, for example, in the vertical direction, the stacked trays are not caught by other members and tilted as in the related art. Therefore, the device to be measured accommodated in the tray does not jump.

【0008】請求項2記載の発明は、請求項1記載のハ
ンドラのデバイス収納機構において、前記トレー整列用
ガイドが、前記テーブル上に積み重ねたトレーを前後両
方向から押圧して前記トレーの前後方向の水平位置を整
える縦ガイドと、前記テーブル上に積み重ねたトレーを
左右両方向から押圧して前記トレーの左右方向の水平位
置を整える横ガイドと、により構成される。
According to a second aspect of the present invention, in the device storage mechanism for the handler according to the first aspect, the tray alignment guide presses the trays stacked on the table from both front and rear directions to move the trays in the front and rear direction. A vertical guide for adjusting the horizontal position, and a horizontal guide for adjusting the horizontal position of the tray in the left-right direction by pressing the trays stacked on the table from both left and right directions.

【0009】請求項2記載の発明によれば、テーブル上
に積み重ねたトレーは、縦ガイドによって前後方向の水
平位置が整えられる一方、横ガイドによって左右方向の
水平位置が整えられる。
According to the second aspect of the present invention, the trays stacked on the table have their horizontal positions in the front-rear direction adjusted by the vertical guides, and their horizontal positions in the left-right direction adjusted by the horizontal guides.

【0010】請求項3記載の発明は、請求項2記載のハ
ンドラのデバイス収納機構において、前記縦ガイド及び
前記横ガイドが、前記テーブル上に積み重ねたトレーを
複数同時に押圧する構成とした。
According to a third aspect of the present invention, in the device storage mechanism for a handler according to the second aspect, the vertical guide and the horizontal guide are configured to simultaneously press a plurality of trays stacked on the table.

【0011】請求項3記載の発明によれば、縦ガイド及
び横ガイドがテーブル上に積み重ねたトレーを複数同時
に押圧する構成としたため、テーブル上に積み重ねたト
レーは短時間で水平位置が整えられる。
According to the third aspect of the invention, since the vertical guide and the horizontal guide are configured to simultaneously press a plurality of trays stacked on the table, the horizontal positions of the trays stacked on the table can be adjusted in a short time.

【0012】請求項4記載の発明は、請求項2又は3に
記載のハンドラのデバイス収納機構において、前記縦ガ
イド及び前記横ガイドが、電気的駆動手段の駆動により
水平移動して、前記テーブル上に積み重ねたトレーを押
圧する構成とした。
According to a fourth aspect of the present invention, in the device storage mechanism of the handler according to the second or third aspect, the vertical guide and the horizontal guide are horizontally moved by driving of an electric driving means, and are moved on the table. The trays stacked on each other are pressed.

【0013】請求項4記載の発明によれば、縦ガイド及
び横ガイドは、電気的駆動手段の駆動により水平移動し
て、テーブル上に積み重ねたトレーを押圧する。
According to the fourth aspect of the present invention, the vertical guide and the horizontal guide are moved horizontally by the driving of the electric driving means, and press the trays stacked on the table.

【0014】電気的駆動手段としては、例えば、電磁弁
と組み合わせたシリンダ、ソレノイド、モータなどが挙
げられる。
As the electric driving means, for example, a cylinder, a solenoid, a motor and the like combined with an electromagnetic valve can be mentioned.

【0015】請求項5記載の発明は、請求項4記載のハ
ンドラのデバイス収納機構において、前記縦ガイド及び
前記横ガイドの移動範囲を制限する移動範囲制限手段を
備えた構成とした。
According to a fifth aspect of the present invention, in the device storage mechanism for the handler according to the fourth aspect, a structure is provided in which movement range limiting means for limiting a movement range of the vertical guide and the horizontal guide is provided.

【0016】請求項5記載の発明によれば、縦ガイド及
び横ガイドの移動範囲は移動範囲制限手段によって制限
される。従って、縦ガイド及び横ガイドが、テーブル上
に積み重ねたトレーを押圧するときの押圧力が制限され
て、トレーの破損が防止される。
According to the fifth aspect of the invention, the moving range of the vertical guide and the horizontal guide is limited by the moving range restricting means. Therefore, the pressing force when the vertical guide and the horizontal guide press the trays stacked on the table is limited, and the breakage of the trays is prevented.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図1〜図6の図面を参照しながら説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS.

【0018】図1及び図2は本発明に係るデバイス収納
機構の構成を示すもので、図1がその正面図、図2が側
面図である。図3は図1のデバイス収納機構を構成する
収納部を示す平面図、図4は図3のA−A矢視図であ
る。また、図5は図1のデバイス収納機構を構成する供
給部を示す平面図、図6は図1のデバイス収納機構を構
成する搬送シャトルを示す平面図である。
FIGS. 1 and 2 show the structure of a device storage mechanism according to the present invention, wherein FIG. 1 is a front view and FIG. 2 is a side view. FIG. 3 is a plan view showing a storage unit that constitutes the device storage mechanism of FIG. 1, and FIG. 4 is a view taken along the line AA of FIG. FIG. 5 is a plan view showing a supply unit constituting the device storage mechanism of FIG. 1, and FIG. 6 is a plan view showing a transport shuttle constituting the device storage mechanism of FIG.

【0019】この実施の形態のデバイス収納機構は、図
1及び図2に示すように、トレー1を供給する供給部3
0、供給部30から供給されたトレー1を測定済みIC
25(被測定デバイス)の収容位置まで搬送する第1の
搬送手段40、測定済みIC25を収容したトレー1を
収納部60Aまで搬送する第2の搬送手段50、測定済
みIC25を収容したトレー1を収納する収納部60等
により構成されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the device storage mechanism of this embodiment has a supply unit 3 for supplying a tray 1.
0, the tray 1 supplied from the supply unit 30 is measured IC
The first transport unit 40 for transporting the tray 25 containing the measured IC 25 to the storage unit 60A, and the first transport unit 40 for transporting the tray 1 containing the measured IC 25 to the storage unit 60A. It is composed of a storage section 60 for storing.

【0020】供給部30は、図5に示すように、積み重
ねたトレー1の四隅部をガイドするトレーガイド7,
…、積み重ねた最下段のトレー1を支持する保持爪9,
9、保持爪9,9を水平移動させるシリンダ9A,9A
等により構成されている。保持爪9,9は、トレー1を
挟んで対向配置され、シリンダ9A,9Aの駆動により
互いに近接及び離間する方向に水平移動する。保持爪
9,9が近接した状態において、トレー1の下端側に形
成される切欠部1Aに、保持爪9,9の略コ字状に形成
された先端部が嵌入して、トレー1が支持される一方、
保持爪9,9が離間した状態において、トレー1の切欠
部1Aから保持爪9,9の先端部が離脱して、トレー1
が開放された状態(下方向に移動可能な状態)となる。
As shown in FIG. 5, the supply section 30 includes tray guides 7, 4 for guiding the four corners of the stacked trays 1.
, Holding claws 9 for supporting the lowermost trays 1 stacked,
9. Cylinders 9A, 9A for horizontally moving holding claws 9, 9
And the like. The holding claws 9, 9 are arranged to face each other with the tray 1 interposed therebetween, and move horizontally in a direction approaching and separating from each other by driving the cylinders 9A, 9A. In a state where the holding claws 9 and 9 are close to each other, the substantially U-shaped tips of the holding claws 9 and 9 are fitted into the cutouts 1A formed on the lower end side of the tray 1, and the tray 1 is supported. While
When the holding claws 9, 9 are separated from each other, the tips of the holding claws 9, 9 are detached from the notch 1A of the tray 1, and the tray 1
Is opened (movable downward).

【0021】第1の搬送手段40は、図1及び図2に示
すように、供給部30の下方位置に設けられた受け台1
4、受け台14を上下方向に移動させるシリンダ14
A、供給部30の下方位置で平行に配置されたレール1
0,10、これらレール10,10に連続して設けられ
たレール11,11、これらレール11,11を近接及
び離間する方向に水平移動させるシリンダ11A,11
A、レール10,10上のトレー1を押圧してレール1
1,11に移動させるプッシャー13等により構成され
ている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the first transport means 40 includes a receiving table 1 provided below the supply section 30.
4. Cylinder 14 for moving cradle 14 up and down
A, Rail 1 arranged in parallel below supply unit 30
0, 10; rails 11, 11 provided continuously to these rails 10, 10; cylinders 11A, 11 for horizontally moving these rails 11, 11 in directions of approaching and separating.
A, pressing the tray 1 on the rails 10 and 10
It is constituted by a pusher 13 and the like that move to the positions 1 and 11.

【0022】第1の搬送手段40では、先ず、シリンダ
14Aの駆動により受け台14を上昇させて供給部30
の積層トレー1を一旦持ち上げた後、シリンダ9A,9
Aの駆動により保持爪9,9を離間する方向に水平移動
させて、トレー1を下方向に移動可能な状態にする。そ
の後、受け台14を所定位置まで下降したところで、保
持爪9,9を近接する方向に水平移動させて保持爪9,
9の先端部を最下段から二枚目のトレー1の切欠部1A
に嵌入させた後、受け台14を下降させて、供給部30
の最下段のトレー1を分離しレール10上に載せる。そ
して、レール10に載せたトレー1を、プッシャー13
の押圧によりレール11,11に移動させた後、収容ハ
ンド24に把持された測定済みIC25をトレー1に収
容する。IC25の収容が完了したら、第2の搬送手段
50によりトレー1を収納部60に搬送する。
In the first transporting means 40, first, the cradle 14 is raised by driving the cylinder 14A, and
After once lifting the stacking tray 1 of the cylinders 9A, 9
By driving A, the holding claws 9, 9 are horizontally moved in a direction to separate from each other, so that the tray 1 can be moved downward. Thereafter, when the cradle 14 is lowered to a predetermined position, the holding claws 9, 9 are horizontally moved in the approaching direction, and the holding claws 9, 9 are moved.
9 is the notch 1A of the second tray 1 from the bottom.
After that, the receiving table 14 is lowered, and
Is separated and placed on the rail 10. Then, the tray 1 placed on the rail 10 is
After being moved to the rails 11 by the pressing of, the measured IC 25 gripped by the storage hand 24 is stored in the tray 1. When the storage of the IC 25 is completed, the tray 1 is transported to the storage section 60 by the second transport means 50.

【0023】第2の搬送手段50は、図2に示すよう
に、レール11,11の下方位置に設けられた受け台2
2、受け台22を上下方向に移動させるシリンダ22
A、レール11,11から移されたトレー1を収納部6
0へと搬送する搬送シャトル19等により構成されてい
る。搬送シャトル19は、図6に示すように、トレー1
を位置決めするトレーガイド18,18、トレー1を挟
持する保持爪16,16、保持爪16,16を水平移動
させるシリンダ16A,16A等により構成されてい
る。また、搬送シャトル19の中央には、開放したトレ
ー1を挿通させる開口部19Aが形成されている。保持
爪16,16は、トレー1を挟んで対向配置され、シリ
ンダ16A,16Aの駆動により互いに近接及び離間す
る方向に水平移動して、トレー1を挟持したり、開放し
たりする。
As shown in FIG. 2, the second transfer means 50 is provided on a receiving table 2 provided below the rails 11 and 11.
2. Cylinder 22 for vertically moving cradle 22
A, the tray 1 transferred from the rails 11
The transport shuttle 19 transports the transport shuttle to zero. The transport shuttle 19 is, as shown in FIG.
Of the tray 1, holding claws 16, 16 for holding the tray 1, cylinders 16A, 16A for horizontally moving the holding claws 16, 16, and the like. In the center of the transport shuttle 19, an opening 19A through which the opened tray 1 is inserted is formed. The holding claws 16, 16 are arranged to face each other with the tray 1 interposed therebetween, and are horizontally moved in a direction of approaching and separating from each other by driving the cylinders 16 </ b> A, 16 </ b> A to pinch or open the tray 1.

【0024】第2の搬送手段50では、シリンダ22A
の駆動により受け台22を上昇させてレール11,11
上にあるトレー1(測定済みIC25の収容が完了した
トレー1)を一旦持ち上げた後、シリンダ11A,11
Aの駆動によりレール11,11を互いに離間する方向
に水平移動させると共に、受け台22を下降させて、ト
レー1を搬送シャトル19に載せる。その後、搬送シャ
トル19によりトレー1を収納部60に搬送する。
In the second transfer means 50, the cylinder 22A
The pedestal 22 is raised by the drive of
Once the upper tray 1 (the tray 1 in which the storage of the measured IC 25 is completed) is once lifted, the cylinders 11A, 11
By driving A, the rails 11 and 11 are horizontally moved in a direction away from each other, and the cradle 22 is lowered to place the tray 1 on the transport shuttle 19. Thereafter, the transport shuttle 19 transports the tray 1 to the storage unit 60.

【0025】収納部60は、図2に示すように、測定済
みIC25を収容したトレー1を積み重ねて載置するテ
ーブル2、テーブル2に積み重ねたトレー1の四隅部を
ガイドするコーナーガイド3、テーブル2を上下方向に
移動させるエレベータ部27、テーブル2に積み重ねた
トレー1を前後両方向(図2から見て)から押圧して前
記トレー1の前後方向の水平位置を整える縦ガイド5,
5、テーブル2に積み重ねたトレー1を左右両方向(図
2から見て)から押圧して前記トレー1の左右方向の水
平位置を整える横ガイド4,4、これらガイド4,4、
5,5を近接及び離間する方向に水平移動させるシリン
ダ6,…(電気的駆動手段)、テーブル2に積み重ねた
トレー1の上面位置を検出する上面検出センサ(図示省
略)等により構成されている。
As shown in FIG. 2, the storage section 60 includes a table 2 on which the trays 1 containing the measured ICs 25 are stacked and placed, a corner guide 3 for guiding the four corners of the trays 1 stacked on the table 2, and a table. An elevator unit 27 for moving the tray 2 vertically and a vertical guide 5, which presses the tray 1 stacked on the table 2 from both front and rear directions (as viewed from FIG. 2) to adjust the horizontal position of the tray 1 in the front and rear direction.
5. Lateral guides 4, 4, which press the trays 1 stacked on the table 2 from both left and right directions (as viewed from FIG. 2) to adjust the horizontal position of the trays 1 in the left and right directions.
(Electric drive means) for horizontally moving the cylinders 5 and 5 in the direction of approaching and separating, and an upper surface detection sensor (not shown) for detecting the upper surface position of the trays 1 stacked on the table 2. .

【0026】テーブル2は、略平板状に形成されると共
に、その縁部には、上に載せたトレー1(最下段のトレ
ー1)の位置決めをするトレーガイド2A、2Bが上方
向に起立した状態で設けられている。エレベータ部27
は、モータ20、ボールネジ21、テーブル支持部材2
6等から構成されている。モータ20の回転駆動は、ボ
ールネジ21及びテーブル支持部材26によって直線運
動に変換された後、テーブル2に伝達される。
The table 2 is formed in a substantially flat plate shape, and at the edge thereof, tray guides 2A and 2B for positioning the tray 1 placed thereon (the lowermost tray 1) stand upright. It is provided in a state. Elevator unit 27
Are motor 20, ball screw 21, table support member 2
6 and so on. The rotational drive of the motor 20 is transmitted to the table 2 after being converted into linear motion by the ball screw 21 and the table support member 26.

【0027】縦ガイド5,5は、図3に示すように、テ
ーブル2上のトレー1を前後両方向から挟む位置に対向
配置される一方、横ガイド4,4は、テーブル2上のト
レー1を左右両方向から挟む位置に対向配置されてい
る。縦ガイド5,5及び横ガイド4,4は、何れも略平
板状に形成されていて、その両側端部には、押圧時にテ
ーブル2上のトレー1に当接する当接部5a,5a、4
a,4aが突設されている。また、縦ガイド5,5及び
横ガイド4,4は、トレーガイド2A、2Bによる係止
によって、その押圧方向への移動が制限されている。従
って、縦ガイド5,5及び横ガイド4,4が、テーブル
2上に積み重ねたトレー1を押圧するときの押圧力が制
限されて、トレー1の破損が防止される。
As shown in FIG. 3, the vertical guides 5, 5 are opposed to each other so as to sandwich the tray 1 on the table 2 from both front and rear directions. It is arranged opposite to a position sandwiched from both left and right directions. Each of the vertical guides 5, 5 and the horizontal guides 4, 4 is formed in a substantially flat plate shape, and has contact portions 5a, 5a, 4a, 4a, 5a, 5a, 4a which are in contact with the tray 1 on the table 2 when pressed.
a, 4a are protruded. The movement of the vertical guides 5, 5 and the horizontal guides 4, 4 in the pressing direction is restricted by the locking by the tray guides 2A, 2B. Therefore, the pressing force when the vertical guides 5, 5 and the horizontal guides 4, 4 press the trays 1 stacked on the table 2 is limited, and the trays 1 are prevented from being damaged.

【0028】収納部60では、上面検出センサに検出さ
れる位置までエレベータ部27がテーブル2を上昇させ
た後、シリンダ16A,16Aの駆動により保持爪1
6,16を互いに離間する方向に水平移動させて、搬送
されたトレー1をテーブル2に積み重ねたトレー1の上
(又はテーブル2の上)に載せる。その後、シリンダ
6,…の駆動により、縦ガイド5,5を互いに近接する
方向に水平移動させて、テーブル2上に積み重ねたトレ
ー1の前後方向の水平位置を整えるとともに、横ガイド
4,4を互いに近接する方向に水平移動させて、前記ト
レー1の左右方向の水平位置を整える。こうして、テー
ブル2上に積み重ねたトレー1の水平位置が整えられた
ら、エレベータ部27の駆動によりテーブル2を下降さ
せる。
In the storage section 60, after the elevator section 27 raises the table 2 to a position detected by the upper surface detection sensor, the holding claws 1 are driven by driving the cylinders 16A, 16A.
The trays 6 and 16 are horizontally moved in a direction away from each other, and the transported tray 1 is placed on the trays 1 stacked on the table 2 (or on the table 2). Then, by driving the cylinders 6,..., The vertical guides 5, 5 are horizontally moved in a direction approaching each other to adjust the horizontal position of the trays 1 stacked on the table 2 in the front-rear direction. The tray 1 is horizontally moved in a direction approaching each other to adjust the horizontal position of the tray 1 in the left-right direction. When the horizontal position of the trays 1 stacked on the table 2 is adjusted in this way, the table 2 is lowered by driving the elevator unit 27.

【0029】以上のように、この実施の形態のハンドラ
のデバイス収納機構によれば、供給部30から供給され
たトレー1は、第1の搬送手段40によって測定済みI
C25の収容位置まで搬送されて、測定済みIC25を
収容した後、第2の搬送手段50によって収納部60A
まで搬送されて、収納部60Aに収納される。ここで、
収納部60には、テーブル2上に積み重ねたトレー1の
前後方向の水平位置を整える縦ガイド5,5と、前記ト
レー1の左右方向の水平位置を整える横ガイド4,4と
が設けられているため、テーブル2上に積み重ねたトレ
ー1に、例えば、寸法精度、反り等の影響により水平方
向のズレが生じたとしても、そのズレは縦ガイド5,5
及び横ガイド4,4によって解消される。従って、トレ
ー1を積み重ねて載せたテーブル2を、エレベータ部2
7が上下方向に移動させたとしても、従来のように、積
み重ねたトレー1がコーナーガイド3,…等に引っかか
って傾倒したりすることがない。そのため、トレー1に
収容した測定済みIC25が飛び跳ねることもない。
As described above, according to the device accommodating mechanism of the handler of this embodiment, the tray 1 supplied from the supply section 30 has been measured by the first transport means 40.
After being transported to the storage position of C25 and storing the measured IC 25, the storage section 60A is
And is stored in the storage section 60A. here,
The storage unit 60 is provided with vertical guides 5 and 5 for adjusting the horizontal position of the tray 1 stacked on the table 2 in the front-rear direction, and horizontal guides 4 and 4 for adjusting the horizontal position of the tray 1 in the left-right direction. Therefore, even if the trays 1 stacked on the table 2 are displaced in the horizontal direction due to the influence of, for example, dimensional accuracy, warpage, etc., the dislocations are reduced by the vertical guides
And the horizontal guides 4 and 4. Therefore, the table 2 on which the trays 1 are stacked is placed on the elevator 2
Even if the tray 7 is moved in the vertical direction, the stacked trays 1 do not fall on the corner guides 3,... Therefore, the measured IC 25 stored in the tray 1 does not jump.

【0030】なお、この実施の形態では、電気的駆動手
段としてシリンダ6,…を例示したが、これに限られる
ものではなく、縦ガイド5,5及び横ガイド4,4をそ
れぞれ近接及び離間する方向に水平移動させることがで
きれば、例えば、ソレノイド、モータを駆動源とする直
動機構等により構成することも可能である。その他、具
体的に示した細部構成、方法等は、発明の主旨を逸脱し
ない範囲で適宜変更可能である。
In this embodiment, the cylinders 6,... Have been exemplified as the electric driving means. However, the present invention is not limited to this, and the vertical guides 5, 5 and the horizontal guides 4, 4 are moved toward and away from each other. If it can be moved horizontally in the direction, it can be constituted by, for example, a solenoid, a linear motion mechanism using a motor as a drive source, or the like. In addition, the specific configurations, methods, and the like specifically shown can be appropriately changed without departing from the gist of the invention.

【0031】[0031]

【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、積み重ね
たトレーを載置するテーブルと、テーブル上に積み重ね
たトレーの水平位置を整えるトレー整列用ガイドとを収
納部が備えたため、テーブル上に積み重ねたトレーに、
例えば、寸法精度、反り等の影響により水平方向のズレ
が生じたとしても、そのズレはトレー整列用ガイドによ
って解消される。従って、トレーを積み重ねたテーブル
を、例えば、上下方向に移動したとしても、従来のよう
に、積み重ねたトレーが他の部材に引っかかって傾倒し
たりすることがない。そのため、トレーに収容した被測
定デバイスが飛び跳ねることもない。
According to the first aspect of the present invention, the storage section includes the table on which the stacked trays are placed and the tray alignment guide for adjusting the horizontal position of the trays stacked on the table. Trays stacked on
For example, even if a horizontal deviation occurs due to the influence of dimensional accuracy, warpage, or the like, the deviation is eliminated by the tray alignment guide. Therefore, even if the table on which the trays are stacked is moved, for example, in the vertical direction, the stacked trays are not caught by other members and tilted as in the related art. Therefore, the device to be measured accommodated in the tray does not jump.

【0032】請求項2記載の発明によれば、テーブル上
に積み重ねたトレーは、縦ガイドによって前後方向の水
平位置が整えられる一方、横ガイドによって左右方向の
水平位置が整えられる。
According to the second aspect of the present invention, the trays stacked on the table have their horizontal positions in the front-rear direction adjusted by the vertical guides, and their horizontal positions in the left-right direction adjusted by the horizontal guides.

【0033】請求項3記載の発明によれば、縦ガイド及
び横ガイドがテーブル上に積み重ねたトレーを複数同時
に押圧する構成としたため、テーブル上に積み重ねたト
レーは短時間で水平位置が整えられる。
According to the third aspect of the invention, since the vertical guide and the horizontal guide are configured to simultaneously press a plurality of trays stacked on the table, the horizontal positions of the trays stacked on the table can be adjusted in a short time.

【0034】請求項4記載の発明によれば、縦ガイド及
び横ガイドは、電気的駆動手段の駆動により水平移動し
て、テーブル上に積み重ねたトレーを押圧する。
According to the fourth aspect of the present invention, the vertical guide and the horizontal guide are moved horizontally by the driving of the electric driving means, and press the trays stacked on the table.

【0035】請求項5記載の発明によれば、縦ガイド及
び横ガイドの移動範囲は移動範囲制限手段によって制限
される。従って、縦ガイド及び横ガイドが、テーブル上
に積み重ねたトレーを押圧するときの押圧力が制限され
て、トレーの破損が防止される。
According to the fifth aspect of the present invention, the moving range of the vertical guide and the horizontal guide is limited by the moving range limiting means. Therefore, the pressing force when the vertical guide and the horizontal guide press the trays stacked on the table is limited, and the breakage of the trays is prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るデバイス収納機構の構成を示す正
面図である。
FIG. 1 is a front view showing a configuration of a device storage mechanism according to the present invention.

【図2】図1のデバイス収納機構の側面図である。FIG. 2 is a side view of the device storage mechanism of FIG.

【図3】図1のデバイス収納機構を構成する収納部を示
す平面図である。
FIG. 3 is a plan view showing a storage unit constituting the device storage mechanism of FIG. 1;

【図4】図3のA−A矢視図である。FIG. 4 is a view as viewed in the direction of arrows AA in FIG. 3;

【図5】図5は図1のデバイス収納機構を構成する供給
部を示す平面図である。
FIG. 5 is a plan view showing a supply unit constituting the device storage mechanism of FIG. 1;

【図6】図1のデバイス収納機構を構成する搬送シャト
ルを示す平面図である。
FIG. 6 is a plan view showing a transport shuttle constituting the device storage mechanism of FIG. 1;

【図7】従来のデバイス収納機構の構成を示す正面図で
ある。
FIG. 7 is a front view showing a configuration of a conventional device storage mechanism.

【図8】図7のデバイス収納機構の側面図である。FIG. 8 is a side view of the device storage mechanism of FIG. 7;

【図9】図7のデバイス収納機構を構成する収納部を示
す平面図である。
FIG. 9 is a plan view showing a storage section constituting the device storage mechanism of FIG. 7;

【図10】図9の収納部を示す正面図で、積み重ねて収
納したトレーが水平方向にズレている状態を示してい
る。
FIG. 10 is a front view showing the storage section of FIG. 9, showing a state in which trays stacked and stored are shifted in the horizontal direction.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 トレー 1A 切欠部 2 テーブル 2A トレーガイド(移動範囲制限手段) 2B トレーガイド(移動範囲制限手段) 3 コーナーガイド 4 横ガイド(トレー整列用ガイド) 5 縦ガイド(トレー整列用ガイド) 6 シリンダ(電気的駆動手段) 25 測定済みIC(被測定デバイス) 27 エレベータ部 30 供給部 40 第1の搬送手段 50 第2の搬送手段 60 収納部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Tray 1A Notch 2 Table 2A Tray guide (moving range restricting means) 2B Tray guide (moving range restricting means) 3 Corner guide 4 Horizontal guide (Tray aligning guide) 5 Vertical guide (Tray aligning guide) 6 Cylinder (Electric) 25) Measured IC (device to be measured) 27 Elevator unit 30 Supply unit 40 First transfer unit 50 Second transfer unit 60 Storage unit

フロントページの続き Fターム(参考) 2G003 AG11 AH07 3F029 AA08 BA01 BA09 CA08 DA04 DA06 4M106 AA04 DG02 DG03 Continued on the front page F term (reference) 2G003 AG11 AH07 3F029 AA08 BA01 BA09 CA08 DA04 DA06 4M106 AA04 DG02 DG03

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】被測定デバイスを収容したトレーを積み重
ねて収納する収納部を備えたハンドラのデバイス収納機
構において、 前記収納部は、 積み重ねたトレーを載置するテーブルと、 前記テーブル上に積み重ねたトレーの水平位置を整える
トレー整列用ガイドと、 を備えたことを特徴とするハンドラのデバイス収納機
構。
1. A device storage mechanism of a handler having a storage unit for stacking and storing trays accommodating devices to be measured, wherein the storage unit includes a table on which the stacked trays are placed, and a table stacked on the table. A device storage mechanism for a handler, comprising: a tray alignment guide for adjusting a horizontal position of the tray.
【請求項2】前記トレー整列用ガイドは、 前記テーブル上に積み重ねたトレーを前後両方向から押
圧して前記トレーの前後方向の水平位置を整える縦ガイ
ドと、 前記テーブル上に積み重ねたトレーを左右両方向から押
圧して前記トレーの左右方向の水平位置を整える横ガイ
ドと、 により構成されることを特徴とする請求項1記載のハン
ドラのデバイス収納機構。
2. The tray alignment guide comprises: a vertical guide for pressing the trays stacked on the table from both front and rear directions to adjust the horizontal position of the trays in the front and rear direction; and a tray for stacking the trays stacked on the table in both left and right directions. 2. The device storage mechanism for a handler according to claim 1, further comprising: a horizontal guide for adjusting the horizontal position of the tray in the left-right direction by pressing the device from the side.
【請求項3】前記縦ガイド及び前記横ガイドは、前記テ
ーブル上に積み重ねたトレーを複数同時に押圧すること
を特徴とする請求項2記載のハンドラのデバイス収納機
構。
3. The device storage mechanism for a handler according to claim 2, wherein said vertical guide and said horizontal guide press a plurality of trays stacked on said table at the same time.
【請求項4】前記縦ガイド及び前記横ガイドは、電気的
駆動手段の駆動により水平移動して、前記テーブル上に
積み重ねたトレーを押圧することを特徴とする請求項2
又は3に記載のハンドラのデバイス収納機構。
4. The apparatus according to claim 2, wherein said vertical guide and said horizontal guide are horizontally moved by driving of an electric driving means to press a tray stacked on said table.
Or the device storage mechanism of the handler according to 3.
【請求項5】前記縦ガイド及び前記横ガイドの移動範囲
を制限する移動範囲制限手段を備えたことを特徴とする
請求項4記載のハンドラのデバイス収納機構。
5. A device storage mechanism for a handler according to claim 4, further comprising a movement range restricting means for restricting a movement range of said vertical guide and said horizontal guide.
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100780058B1 (en) * 2006-03-06 2007-11-29 (주) 디오브이 Substrate alignment device for organic electroluminescent device deposition apparatus
KR101062456B1 (en) 2011-05-02 2011-09-05 엘아이지에이디피 주식회사 Table Aligner
KR101241127B1 (en) * 2006-06-30 2013-03-08 엘지디스플레이 주식회사 cassette transporting system and transporting method using the same
KR101401516B1 (en) * 2007-05-23 2014-06-09 주성엔지니어링(주) Tray aligner and solar cell manufacturing device comprising the same and tray aligning method using the same
CN107499947A (en) * 2017-09-29 2017-12-22 安徽智森电子科技有限公司 A kind of product neatening device
CN108002046A (en) * 2018-01-16 2018-05-08 湖北文理学院 A kind of pallet de-stacking stacking machine
CN110790180A (en) * 2019-10-30 2020-02-14 江苏晨洁日化有限公司 Tray lifting mechanism
CN112453073A (en) * 2020-10-23 2021-03-09 北京科技大学设计研究院有限公司 Automatic slab discharging control method for slab stacking platform
JP2021038097A (en) * 2020-11-24 2021-03-11 Necプラットフォームズ株式会社 Stacker, crate assorter, and program
WO2021201584A1 (en) * 2020-03-31 2021-10-07 주식회사 클레버 Battery cell terrace alignment device
CN114348412A (en) * 2022-02-11 2022-04-15 青岛黄海学院 Logistics pallet, reverse stacking machine and stacking method

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100780058B1 (en) * 2006-03-06 2007-11-29 (주) 디오브이 Substrate alignment device for organic electroluminescent device deposition apparatus
KR101241127B1 (en) * 2006-06-30 2013-03-08 엘지디스플레이 주식회사 cassette transporting system and transporting method using the same
KR101401516B1 (en) * 2007-05-23 2014-06-09 주성엔지니어링(주) Tray aligner and solar cell manufacturing device comprising the same and tray aligning method using the same
KR101062456B1 (en) 2011-05-02 2011-09-05 엘아이지에이디피 주식회사 Table Aligner
CN107499947A (en) * 2017-09-29 2017-12-22 安徽智森电子科技有限公司 A kind of product neatening device
CN108002046A (en) * 2018-01-16 2018-05-08 湖北文理学院 A kind of pallet de-stacking stacking machine
CN110790180A (en) * 2019-10-30 2020-02-14 江苏晨洁日化有限公司 Tray lifting mechanism
CN110790180B (en) * 2019-10-30 2021-04-23 江苏晨洁日化有限公司 Tray lifting mechanism
WO2021201584A1 (en) * 2020-03-31 2021-10-07 주식회사 클레버 Battery cell terrace alignment device
US12288839B2 (en) 2020-03-31 2025-04-29 Clever Co., Ltd. Battery cell terrace alignment device
CN112453073B (en) * 2020-10-23 2022-10-11 北京科技大学设计研究院有限公司 Automatic slab discharging control method for slab stacking platform
CN112453073A (en) * 2020-10-23 2021-03-09 北京科技大学设计研究院有限公司 Automatic slab discharging control method for slab stacking platform
JP2021038097A (en) * 2020-11-24 2021-03-11 Necプラットフォームズ株式会社 Stacker, crate assorter, and program
JP7244104B2 (en) 2020-11-24 2023-03-22 Necプラットフォームズ株式会社 Stacking device and crate sorting device
CN114348412A (en) * 2022-02-11 2022-04-15 青岛黄海学院 Logistics pallet, reverse stacking machine and stacking method
CN114348412B (en) * 2022-02-11 2023-06-27 青岛黄海学院 Logistics tray, reverse stacking machine and stacking method

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