KR101055693B1 - Infrared detector inspection device - Google Patents

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KR101055693B1
KR101055693B1 KR1020090043252A KR20090043252A KR101055693B1 KR 101055693 B1 KR101055693 B1 KR 101055693B1 KR 1020090043252 A KR1020090043252 A KR 1020090043252A KR 20090043252 A KR20090043252 A KR 20090043252A KR 101055693 B1 KR101055693 B1 KR 101055693B1
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Abstract

본 발명은 적외선 검출기 검사 장치에 관한 것으로, 흑체 소스로부터 방사되는 적외선을 평행하게 방사하는 제 1렌즈와 적외선을 분산시키는 제 2렌즈를 통해 흑체 패키지를 형성하고, 다수개의 흑체 패키지를 통해 동시에 많은 수의 적외선 검출기를 검사하고 적외선 검출기 각각의 특성 데이터를 추출하여 적외선 검출기 고속 검사와 비균일성 데이터 추출을 위한 흑체 소스 어셈블리를 구성할 수 있다.The present invention relates to an infrared detector inspection apparatus, and forms a black body package through a first lens for distributing infrared rays emitted from a black body source and a second lens for dispersing infrared rays, and through a plurality of black body packages at the same time Infrared detectors can be inspected and the characteristic data of each of the infrared detectors can be extracted to construct a blackbody source assembly for infrared detector high-speed inspection and non-uniform data extraction.

본 발명에 의하면, 다수개의 흑체 패키지를 어셈블리로 형성함에 따라 다양한 온도 범위를 확보할 수 있으며, 흑체 소스 어셈블리의 전체 온도를 변화시킴으로써 각각의 흑체 소스의 온도를 신속하게 변경 제어할 수 있다.According to the present invention, as a plurality of black body packages are formed in an assembly, various temperature ranges can be secured, and the temperature of each black body source can be quickly changed and controlled by changing the overall temperature of the black body source assembly.

흑체 소스, 어셈블리, 적외선 검출기 검사 Black body source, assembly, infrared detector inspection

Description

적외선 검출기 검사 장치{INFRARED RAY DETECTOR INSPECTION EQUIPMENT}Infrared detector inspection device {INFRARED RAY DETECTOR INSPECTION EQUIPMENT}

본 발명은 적외선을 평행으로 방사하는 렌즈를 포함하는 흑체 소스 어셈블리를 다수 개 장착하여 스텝(step)별로 신속하게 온도를 변화시킴으로서 적외선 검출기의 고속 검사와 비 균일성 데이터 추출을 위한 적외선 검출기 검사 장치에 관한 것이다.The present invention is equipped with a plurality of black body source assembly including a lens that emits infrared radiation in parallel to change the temperature rapidly step by step (step) to the infrared detector inspection apparatus for high-speed inspection and non-uniform data extraction of the infrared detector It is about.

적외선 검출기의 픽셀 별 오프셋(offset) 및 게인(gain)을 측정하기 위하여 종래에는 흑체 소스에서 방사되는 적외선을 이용하여 측정하였다. In order to measure the offset and the gain of each pixel of the infrared detector, the measurement is conventionally performed using infrared rays emitted from a black body source.

하지만, 이는 흑체 소스에서 방사되는 적외선이 공기중으로 분산되어 측정 거리에 따라 급격히 감쇄되기 때문에 정확하게 측정이 불가능한 문제가 발생한다. However, this causes a problem that cannot be accurately measured because infrared rays emitted from a black body source are dispersed in the air and rapidly attenuated according to the measurement distance.

그리고, 다양한 온도 변화에 따라 적외선 검출기의 특성을 파악하기 위해서는 흑체 소스를 안정화시키는 시간이 소요되는 문제가 발생하는데, 특히 온도 차이가 큰 온도를 원할 경우에는 안정화 시키는 시간이 더욱 많이 소요된다.In addition, in order to grasp the characteristics of the infrared detector according to various temperature changes, a problem that takes time to stabilize the blackbody source occurs. In particular, when a temperature with a large temperature difference is desired, the stabilization time takes longer.

따라서, 흑체 소스의 온도 셋팅 시 안정화에 소요되는 시간을 절감하면서, 방사되는 적외선이 외부로 손실되는 것을 방지할 수 있는 적외선 방사 장치가 요구된다.Therefore, while reducing the time required for stabilization at the time of setting the temperature of the black body source, there is a need for an infrared radiation device that can prevent the infrared rays emitted to the outside.

본 발명은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 흑체 소스로부터 발생한 적외선이 외부로 분산되는 것을 방지하면서, 흑체 소스의 온도 안정화 시간을 절감할 수 있는 적외선 검출기 검사 장치를 제공하는 데에 목적이 있다.An object of the present invention is to provide an infrared detector inspection apparatus that can reduce the temperature stabilization time of the black body source while preventing the infrared rays generated from the black body source to be dispersed to the outside in order to solve the problems of the prior art.

또한, 흑체 소스 어셈블리를 구성하여 한번에 다양한 온도의 적외선의 특성을 검사할 수 있는 적외선 검출기 검사 장치를 제공하는 데에 목적이 있다.In addition, an object of the present invention is to provide an infrared detector inspection apparatus capable of configuring a black body source assembly to inspect the characteristics of infrared rays of various temperatures at once.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 적외선 검출기 검사 장치는 흑체 소스 어셈블리를 구성하는 각각의 흑체 소스 패키지를 소정 온도로 셋팅하여 흑체 소스 어셈블리의 전체적인 온도를 제어하여 신속하게 다양한 범위의 온도를 확보할 수 있다.In order to achieve the above object, the infrared detector inspection apparatus of the present invention sets the respective black body source packages constituting the black body source assembly to a predetermined temperature to control the overall temperature of the black body source assembly to quickly obtain various ranges of temperatures. have.

본 발명은 적외선 검출기 검사 장치에 관한 것으로 진공 흑체 용기의 내부 일면에 형성되며 소정의 온도로 셋팅 된 흑체 소스를 포함하고, 상기 흑체 소스로부터 방사된 적외선을 소정의 패턴으로 필터링하여 통과시키는 타겟을 포함하며, 상기 타겟을 통과한 상기 적외선을 진공 흑체 용기 외부로 평행하게 방사하는 제 1렌즈를 포함하여 이루어진 흑체 소스 패키지가 적어도 하나 이상 장착되며, 상기 다수의 타켓을 회전하는 타켓 휠 및 상기 다수의 제 1렌즈가 장착되는 렌즈 마운트 를 포함하는 원형 배열 구조의 흑체 소스 어셈블리를 포함하고, 상기 흑체 소스 어셈블리의 구조와 대응되며, 상기 흑체 소스 어셈블리를 통과한 적외선의 특성을 검출하는 검출부를 포함할 수 있다.The present invention relates to an infrared detector inspection apparatus, comprising a black body source formed on an inner surface of a vacuum black body container and set to a predetermined temperature, and including a target for filtering and passing infrared radiation emitted from the black body source in a predetermined pattern. And at least one black body source package including a first lens for radiating the infrared rays passing through the target in parallel to the outside of the vacuum black body container, wherein the target wheel rotates the plurality of targets and the plurality of targets. It may include a black body source assembly of a circular array structure including a lens mount for mounting one lens, and corresponds to the structure of the black body source assembly, it may include a detector for detecting the characteristics of the infrared light passing through the black body source assembly. .

본 발명에서 상기 검출부는 일면에 적외선 투과 물질이 도포되어 상기 흑체 소스 어셈블리를 통과한 적외선을 검출하는 검출부 어셈블리를 포함하고, 상기 검출부 어셈블리를 통과한 적외선을 검출하는 다수의 적외선 검출기를 포함하는 프린트 기판을 포함하며, 상기 적외선 검출기에서 검출된 적외선의 특성을 검지하는 전자 회로부를 포함할 수 있다.In the present invention, the detector comprises a detector assembly for detecting infrared light passing through the black body source assembly is coated with an infrared transmitting material on one surface, a printed circuit board comprising a plurality of infrared detectors for detecting the infrared light passing through the detector assembly It may include, and may include an electronic circuit unit for detecting the characteristics of the infrared rays detected by the infrared detector.

본 발명에서 상기 검출부 어셈블리는 냉각 검출기 또는 비냉각 검출기로 형성할 수 있다.In the present invention, the detection unit assembly may be formed as a cooling detector or an uncooling detector.

본 발명에서 상기 적외선 특성은 상기 적외선의 검사 속도 및 데이터의 균일성을 포함할 수 있다.In the present invention, the infrared characteristic may include the inspection speed of the infrared and the uniformity of data.

본 발명에서 상기 흑체 소스 패키지는 상기 제 1렌즈로부터 방사된 상기 적외선을 분산시키는 제 2렌즈를 더 포함할 수 있다.In the present invention, the black body source package may further include a second lens for dispersing the infrared rays emitted from the first lens.

본 발명에서 상기 흑체 소스 패키지는 상기 흑체 소스와 결합되는 형태로 형성되며, 상기 흑체 소스의 온도를 제어하는 온도 제어부를 더 포함할 수 있다.In the present invention, the black body source package may be formed in a form that is combined with the black body source, and may further include a temperature controller for controlling the temperature of the black body source.

본 발명에서 상기 흑체 소스 어셈블리를 구성하는 각각의 흑체 소스 패키지는 서로 상이한 온도를 나타낼 수 있다.In the present invention, each of the black body source packages constituting the black body source assembly may exhibit different temperatures.

본 발명에서 상기 흑체 소스 어셈블리에 형성된 적어도 하나 이상의 상기 흑체 소스 패키지의 온도 범위는 -100℃ 이상 250℃ 이하로 설정할 수 있다.In the present invention, the temperature range of the at least one black body source package formed in the black body source assembly may be set to -100 ° C. or more and 250 ° C. or less.

본 발명에 의하면 소정 온도도 상이하게 셋팅된 다수개의 흑체 소스 패키지를 하나의 어셈블리에 장착하여 온도 변경 시 스텝(step)별로 한번에 변경함으로 온도별 셋팅 시간이 단축되며, 다양한 온도 범위를 확보할 수 있어 적외선 검출기의 특성을 효과적으로 검출할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, by mounting a plurality of blackbody source packages that are set differently at a predetermined temperature in one assembly, the temperature setting time is shortened by changing each step at a time when changing the temperature, thereby securing various temperature ranges. There is an effect that can effectively detect the characteristics of the infrared detector.

또한, 작은 크기의 흑체 소스 패키지를 통해 적외선 검출기를 구성함으로써 전체 장비의 소형화가 가능한 효과가 있다.In addition, by configuring the infrared detector through a small size of the black body source package, there is an effect that can be miniaturized the entire equipment.

본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 하기의 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하며, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.Preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In adding reference numerals to components of the following drawings, it is determined that the same components have the same reference numerals as much as possible even if displayed on different drawings, and it is determined that they may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention. Detailed descriptions of well-known functions and configurations will be omitted.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 흑체 소스 패키지를 나타낸 도면이다.1A and 1B are diagrams illustrating a black body source package according to an embodiment of the present invention.

도 1a를 참조하면, 흑체 소스 패키지(100)는 진공 흑체 용기(110), 흑체 소스(120), 타겟(130), 제 1렌즈(140), 및 제 2렌즈(150)를 포함한다.Referring to FIG. 1A, the black body source package 100 includes a vacuum black body container 110, a black body source 120, a target 130, a first lens 140, and a second lens 150.

흑체 소스(120)는 점 또는 면으로 형성되며 진공 흑체 용기(110) 내부의 일측면에 형성되어 온도에 따른 상이한 파장의 적외선을 방사한다.The black body source 120 is formed of a dot or a face and is formed on one side of the inside of the vacuum black body container 110 to emit infrared rays of different wavelengths according to temperature.

타겟(130)은 상기 흑체 소스(120)로부터 방사되는 적외선 중 일정 영역의 적외선만 방사하기 위하여 패턴 화하여 형성한다. 즉, 타겟(130) 중 뚫려있는 부분으로만 적외선이 통과된다.The target 130 is formed by patterning to emit only infrared rays of a predetermined region among the infrared rays emitted from the black body source 120. That is, the infrared ray passes only to a portion of the target 130 that is drilled.

제 1렌즈(140)는 타겟(130)을 통과한 적외선을 진공 흑체 용기(110) 외부로 방사시키며, Collimated lens로 형성되어 입사된 적외선을 평행하게 방사한다.The first lens 140 emits infrared rays passing through the target 130 to the outside of the vacuum black body container 110, and is formed as a collimated lens to radiate the incident infrared rays in parallel.

제 2렌즈(150)는 제 1렌즈(140)로부터 입사된 적외선을 고르게 분산시키는 defocus 용 렌즈로 형성되며, 사용자의 설계 변경에 의해 생략될 수 있다.The second lens 150 is formed of a defocus lens that evenly distributes the infrared rays incident from the first lens 140, and may be omitted due to a user's design change.

도 1b를 참조하면, 도 1a에서 흑체 소스(100)의 온도를 제어하기 위한 온도 제어부(160), 냉각팬(170), 및 컨트롤러(180)를 더 포함한다.Referring to FIG. 1B, the apparatus further includes a temperature controller 160, a cooling fan 170, and a controller 180 for controlling the temperature of the black body source 100 in FIG. 1A.

온도 제어부(160)는 진공 용기(100) 내부에 냉각기 또는 가열기로 형성되어 흑체 소스(100)의 온도를 제어한다. The temperature controller 160 is formed inside the vacuum vessel 100 as a cooler or a heater to control the temperature of the black body source 100.

냉각팬(170)은 온도 제어부(160)가 설치된 진공 흑체 용기(100)의 측면으로 진공 흑체 용기(100) 외측면에 형성되어 흑체 소스(100)의 온도를 효율적으로 제어한다.The cooling fan 170 is formed on the outer surface of the vacuum black body container 100 to the side of the vacuum black body container 100 in which the temperature controller 160 is installed to efficiently control the temperature of the black body source 100.

컨트롤러(180)는 진공 용기(100) 내의 온도를 측정하여 흑체 소스(100)의 온도를 정확하게 나타내게 위하여 온도 제어부(160), 냉각팬(170)을 제어한다.The controller 180 controls the temperature controller 160 and the cooling fan 170 to measure the temperature in the vacuum vessel 100 to accurately represent the temperature of the black body source 100.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 다수의 흑체 소스 패키지를 포함하는 흑체 소스 어셈블리를 나타낸 도면이다.2 illustrates a black body source assembly including a plurality of black body source packages according to an embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 도 1a 및 도 1b에서 형성된 흑체 소스 패키지(100a 내지 100j)를 하나의 어셈블리로 구성하여 어셈블리의 온도 변경에 따라 흑체 소스 패키지의 온도 변경을 신속하게 한다. Referring to FIG. 2, the black body source packages 100a to 100j formed in FIGS. 1A and 1B are configured as one assembly to quickly change the temperature of the black body source package according to the temperature change of the assembly.

예를 들어 하기의 표 1과 같이 어셈블리를 구성하는 각각의 흑체 소스 패키지의 흑체 소스의 온도가 셋팅될 경우, 흑체 소스 어셈블리(200)의 전체 온도를 2℃ 향상시키면 각각의 흑체 소스의 온도를 셋팅하지 않더라도 한번에 다양한 온도의 흑체 소스로부터 발생한 적외선을 검출할 수 있으며(표2 참조), 흑체 소스의 온도 범위는 -100℃이상 250℃이하의 범위로 다양하게 확보가 가능하다.For example, when the temperature of the black body source of each black body source package constituting the assembly is set as shown in Table 1 below, when the total temperature of the black body source assembly 200 is increased by 2 ° C., the temperature of each black body source is set. If not, infrared rays generated from a black body source of various temperatures can be detected at a time (see Table 2), and the temperature range of the black body source can be secured in a range of -100 ° C to 250 ° C.

100a100a 100b100b 100c100c 100d100d 100e100e 100f100f 100g100 g 100h100h 100i100i 100j100j 온도Temperature 10℃10 ℃ 20℃20 ℃ 30℃30 ℃ 40℃40 ℃ 50℃50 ℃ 60℃60 ℃ 15℃15 ℃ 25℃25 ℃ 35℃35 ℃ 45℃45 ℃

100a100a 100b100b 100c100c 100d100d 100e100e 100f100f 100g100 g 100h100h 100i100i 100j100j 온도Temperature 12℃12 ℃ 22℃22 ℃ 32℃32 ℃ 42℃42 ℃ 52℃52 ℃ 62℃62 ℃ 16℃16 ℃ 26℃26 ℃ 36℃36 ℃ 46℃46 ℃

그리고, 본 발명에서는 10개의 흑체 소스 패키지(100a 내지 100j)를 하나의 흑체 소스 어셈블리(200)로 형성하였지만, 그 갯수에 제한받지 않으며 사용자가 용이하게 설계 변경할 수 있다.In the present invention, the ten black body source packages 100a to 100j are formed as one black body source assembly 200, but the number is not limited and the user can easily change the design.

도 3a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 적외선 검출기 검사 장치를 나타낸 도면으로, 도 2에서 형성된 흑체 소스 어셈블리(200)에서 방사되는 다수의 적외선을 검출하는 적외선 검출기의 특성을 검사할 수 있다.FIG. 3A is a view illustrating an infrared detector inspection apparatus according to an exemplary embodiment of the present disclosure, and may inspect a characteristic of an infrared detector detecting a plurality of infrared rays emitted from the black body source assembly 200 formed in FIG. 2.

도 3a를 참조하면, 다수개의 흑체 소스 패키지(100)와 흑체 소스 패키지(100)로부터 방출되는 적외선을 검사하는 검출부(400)를 포함한다. Referring to FIG. 3A, a plurality of black body source packages 100 and a detector 400 for inspecting infrared rays emitted from the black body source packages 100 are included.

다수개의 흑체 소스 패키지(100)는 도 1a 및 도 1b의 흑체 소스 패키지가 원형으로 배열되어 어셈블리 구조를 나타낸 것으로서, 좀더 자세하게 살펴보면, 흑체소스(120)가 흑체 소스 어셈블리(200)를 형성하고 흑체 소스 어셈블리(200)의 뒷 부분에 흑체 소스의 온도를 제어하는 온도 제어부(160), 방열판(162), 및 냉각팬(170)을 형성한다.The plurality of black body source packages 100 show an assembly structure in which the black body source packages of FIGS. 1A and 1B are arranged in a circle. In more detail, the black body source 120 forms the black body source assembly 200 and the black body source A temperature controller 160, a heat sink 162, and a cooling fan 170 that control the temperature of the black body source are formed at the rear of the assembly 200.

그리고, 흑체 소스 어셈블리(200)의 앞부분에 다수개의 패턴화된 타켓(130)을 어셈블리 구조로 배열한 타켓 휠(300)을 형성하고, 타켓 휠(300)의 앞부분에 다수개의 제 1렌즈(140)가 어셈블리 구조로 배열된 렌즈 마운트(310)를 형성한다.In addition, a target wheel 300 having a plurality of patterned targets 130 arranged in an assembly structure is formed at the front of the black body source assembly 200, and a plurality of first lenses 140 are provided at the front of the target wheel 300. ) Forms the lens mount 310 arranged in an assembly structure.

이때, 흑체 소스(120), 타켓(130), 및 제 1렌즈(140)의 갯수, 배열구조, 및 형태는 모두 동일하게 형성한다.In this case, the number, arrangement, and shape of the black body source 120, the target 130, and the first lens 140 are all the same.

또한, 타켓 휠(300)과 렌즈 마운트(310)는 회전이 가능하도록 형성하여, 각각의 흑체소스(120)마다 타켓(130) 패턴을 달리하여 검사할 수 있다.In addition, the target wheel 300 and the lens mount 310 may be formed to be rotatable, and may be inspected by varying the target 130 pattern for each black body source 120.

검출부(400)는 흑체 소스 어셈블리(200)의 구조와 대응되는 구조로 형성되며 다수의 흑체 소스(120)로부터 방사되는 적외선을 특성을 검출한다.The detector 400 is formed in a structure corresponding to that of the black body source assembly 200 and detects characteristics of infrared rays emitted from the plurality of black body sources 120.

검출부(400)는 검출부 어셈블리(410), 프린트 기판(420), 및 전자 회로부(430)를 포함한다.The detector 400 includes a detector assembly 410, a printed board 420, and an electronic circuit unit 430.

검출부 어셈블리(410)는 일면에 적외선 투과 물질(412)이 도포되어 흑체 소스 패키지(100)로부터 방사된 적외선을 투과시킨다.The detector assembly 410 is coated with an infrared ray transmitting material 412 on one surface to transmit infrared rays emitted from the black body source package 100.

그리고, 검출부 어셈블리(410)는 냉각 또는 비냉각 검출기로 1차원 또는 2차원 초점면 배열검출기(focal plane arrary) 배열이 가능하며, 단소자, 선형 다소자, 8*8, 64*64, 160*120, 320*240, 640*480 어레이로 형성할 수 있다.In addition, the detector assembly 410 may be a one-dimensional or two-dimensional focal plane arrary array as a cooled or uncooled detector, and may include a short element, a linear small letter, 8 * 8, 64 * 64, and 160 *. 120, 320 * 240, 640 * 480 array can be formed.

프린트 기판(420)은 검출부 어셈블리(410)를 통과한 적외선을 검출하는 다수의 적외선 검출기(422)를 포함하며, 전자 회로부(430)와 연결되며 흑체 소스 어셈블리(200)의 구조와 대응하는 구조로 형성한다.The printed board 420 includes a plurality of infrared detectors 422 for detecting infrared rays passing through the detector unit 410, and is connected to the electronic circuit unit 430 and has a structure corresponding to that of the black body source assembly 200. Form.

전자 회로부(430)는 매트릭스(Matrix) 전자회로로서 적외선 검출기(422)에 의해 검출된 적외선의 특성 즉, 적외선 검출기의 고속 검사 및 비균일성 데이터 추출을 검지(처리)한다. The electronic circuit unit 430 detects (processes) the characteristics of the infrared rays detected by the infrared detector 422 as a matrix electronic circuit, that is, high-speed inspection and non-uniform data extraction of the infrared detector.

도 3b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 다양한 패턴의 타겟을 포함하는 타켓휠을 나타낸 도면이다.3B is a view illustrating a target wheel including a target of various patterns according to an embodiment of the present invention.

도 3b를 참조하면, 6개의 타켓을 포함하는 타켓휠을 도시하였지만, 타켓의 수는 흑체 소스 어셈블리에 포함되는 흑체소스 패키지의 수와 동일하게 형성하며, 그 형태는 원으로 도시하였지만, 흑체 소스 패키지의 형태와 동일하게 형성할 수 있다. 그리고, 원으로 형성된 각 타켓 내부에는 소정의 패턴이 형성되며, 이 패턴은 사용자에 의해 용이하게 변경하여 사용할 수 있다.Referring to FIG. 3B, although a target wheel including six targets is illustrated, the number of targets is formed equal to the number of black body source packages included in the black body source assembly, and the shape is shown as a circle, but the black body source package is illustrated. It can be formed in the same manner as A predetermined pattern is formed inside each target formed of a circle, and the pattern can be easily changed and used by a user.

이에 따라, 적외선 검출기를 통과하는 적외선의 특성 즉, 적외선 검출기의 검사 속도 및 데이터의 균일성을 파악할 수 있다.Accordingly, it is possible to grasp the characteristics of the infrared rays passing through the infrared detector, that is, the inspection speed of the infrared detector and the uniformity of the data.

상기와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.As described above, it has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, but those skilled in the art various modifications and changes of the present invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below I can understand that you can.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 흑체 소스 패키지를 나타낸 도면.1A and 1B illustrate a black body source package according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 다수의 흑체 소스 패키지를 포함하는 흑체 소스 어셈블리를 나타낸 도면.2 illustrates a black body source assembly including a plurality of black body source packages according to an embodiment of the present invention.

도 3a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 적외선 검출기 검사 장치를 나타낸 도면.Figure 3a is a diagram showing an infrared detector inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 다양한 패턴의 타겟을 포함하는 타켓휠을 나타낸 도면.3B is a view illustrating a target wheel including a target of various patterns according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>              <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

100a 내지 100j, 100 : 흑체 소스 패키지100a to 100j, 100: black body sauce package

110 : 진공 흑체 용기 120 : 흑체 소스110: vacuum black body container 120: black body source

130a 내지 130f, 130 : 타겟 140 : 제 1렌즈(Collimated lens)130a to 130f and 130: target 140: first lens

150 : 제 2렌즈(defocus lens) 160 : 온도 제어부150: defocus lens 160: temperature controller

162 : 방열핀 170 : 냉각팬162: heat sink fin 170: cooling fan

180 : 컨트롤 200 : 흑체 소스 어셈블리180 control 200 black body source assembly

300 : 타켓 휠 310 : 렌즈 마운트300: target wheel 310: lens mount

400 : 검출부 410 : 검출부 어셈블리400: detector 410: detector assembly

412 : 적외선 투과물질 420 : 프린트 기판412: infrared ray transmitting material 420: printed circuit board

422 : 적외선 검출기 430 : 전자 회로부422: infrared detector 430: electronic circuit portion

Claims (8)

진공 흑체 용기의 내부 일면에 형성되며 소정의 온도로 셋팅된 흑체 소스, 상기 흑체 소스로부터 방사된 적외선을 소정의 패턴으로 필터링하여 통과시키는 타겟 및 상기 타겟을 통과한 상기 적외선을 진공 흑체 용기 외부로 평행하게 방사하는 제 1렌즈로 이루어진 흑체 소스 패키지가 적어도 하나 이상 장착되며, A black body source formed on one inner surface of the vacuum black body container and set to a predetermined temperature, a target for filtering and passing infrared rays emitted from the black body source in a predetermined pattern, and the infrared rays passing through the target are parallel to the outside of the vacuum black body container. At least one black body source package consisting of a first lens that emits light is mounted, 상기 타켓을 회전하는 타켓 휠 및 상기 제 1렌즈가 장착되는 렌즈 마운트를 포함하는 원형 배열 구조의 흑체 소스 어셈블리; 및A black body source assembly having a circular array structure including a target wheel for rotating the target and a lens mount to which the first lens is mounted; And 상기 흑체 소스 어셈블리의 원형 배열 구조에 대응되는 원형 배열 구조로 형성되며, 상기 흑체 소스 어셈블리를 통과한 적외선의 특성을 검출하는 검출부;A detector configured to have a circular array structure corresponding to the circular array structure of the black body source assembly and detect a characteristic of the infrared ray passing through the black body source assembly; 를 포함하는 적외선 검출기 검사 장치.Infrared detector inspection device comprising a. 제 1항에 있어서, 상기 검출부는,The method of claim 1, wherein the detection unit, 일면에 적외선 투과 물질이 도포되어 상기 흑체 소스 어셈블리를 통과한 적외선을 투과시키는 검출부 어셈블리;A detector assembly coated with an infrared ray transmitting material on one surface to transmit infrared rays passing through the black body source assembly; 상기 검출부 어셈블리를 통과한 적외선을 검출하는 다수의 적외선 검출기를 포함하는 프린트 기판; 및A printed circuit board including a plurality of infrared detectors for detecting infrared light passing through the detection unit assembly; And 상기 적외선 검출기에서 검출된 적외선의 특성을 검지하는 전자 회로부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 검출기 검사 장치.And an electronic circuit unit for detecting the characteristic of the infrared rays detected by the infrared detector. 제 2항에 있어서, 상기 검출부 어셈블리는The method of claim 2, wherein the detector assembly 냉각 검출기 또는 비냉각 검출기로 형성하는 것을 특징으로 하는 적외선 검출기 검사 장치.Infrared detector inspection apparatus, characterized in that formed by a cooling detector or an uncooled detector. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 적외선 특성은,The method of claim 1 or 2, wherein the infrared ray characteristics, 상기 적외선의 검사 속도 및 데이터의 균일성을 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 검출기 검사 장치.And an inspection speed of the infrared ray and a uniformity of data. 제 1항에 있어서, 상기 흑체 소스 패키지는,The method of claim 1, wherein the blackbody source package, 상기 제 1렌즈로부터 방사된 상기 적외선을 분산시키는 제 2렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 검출기 검사 장치.And a second lens dispersing the infrared rays emitted from the first lens. 제 1항에 있어서, 상기 흑체 소스 패키지는,The method of claim 1, wherein the blackbody source package, 상기 흑체 소스와 결합되는 형태로 형성되며, 상기 흑체 소스의 온도를 제어 하는 온도 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 검출기 검사 장치.Infrared detector inspection apparatus is formed in a form coupled to the black body source, the temperature control unit for controlling the temperature of the black body source. 제 1항에 있어서, 상기 흑체 소스 어셈블리를 구성하는 각각의 흑체 소스 패키지는 서로 상이한 온도를 나타내는 것을 특징으로 하는 적외선 검출기 검사 장치.The infrared detector inspection apparatus of claim 1, wherein each of the blackbody source packages constituting the blackbody source assembly exhibits different temperatures. 제 1항에 있어서, 상기 흑체 소스 어셈블리에 형성된 적어도 하나 이상의 상기 흑체 소스 패키지의 온도 범위는 -100℃ 이상 250℃ 이하인 것을 특징으로 하는 적외선 검출기 검사 장치.The apparatus of claim 1, wherein a temperature range of at least one of the black body source packages formed in the black body source assembly is -100 ° C. or more and 250 ° C. or less.
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