KR101055190B1 - Manufacturing Method of Liquid Crystal Display Panel - Google Patents

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황용섭
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Abstract

본 발명은 공정을 단순화함과 아울러 비용을 절감할 수 있는 액정표시패널의 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a method of manufacturing a liquid crystal display panel which can simplify the process and reduce the cost.

본 발명에 따른 액정표시패널의 제조방법은 기판 상에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계와; 상기 블랙 매트릭스에 의해 구획된 영역에 컬러필터를 형성하는 단계와; 상기 컬러필터 상에 유기물을 도포한 후 상기 유기물을 소프트 몰드로 성형하여 평탄화층 및 스페이서를 동시에 형성하는 단계를 포함하며, 상기 유기물은 상기 평탄화층 및 스페이서의 높이를 합한 두께로 도포되며, 상기 소프트 몰드는 폴리디메틸실록세인(Poly dimethyl siloxane), 폴리 우레탄(Polyurethane)을 이용하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 한다. A method of manufacturing a liquid crystal display panel according to the present invention includes forming a black matrix on a substrate; Forming a color filter in a region partitioned by the black matrix; Forming a planarization layer and a spacer at the same time by coating the organic material on the color filter and then molding the organic material into a soft mold, wherein the organic material is applied to the sum of the heights of the heights of the planarization layer and the spacer. The mold is characterized in that it uses a poly dimethyl siloxane (Poly dimethyl siloxane), polyurethane (Polyurethane).

Description

액정표시패널의 제조방법{Method for Fabricating Liquid Crystal Display Pane} Manufacturing method of liquid crystal display panel {Method for Fabricating Liquid Crystal Display Pane}             

도 1는 종래 액정표시패널을 나타내는 단면도이다. 1 is a cross-sectional view showing a conventional liquid crystal display panel.

도 2a 내지 도 2f는 종래의 IPS모드의 액정표시패널의 상부 어레이 기판의 제조방법을 단계적으로 나타내는 단면도이다. 2A through 2F are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an upper array substrate of a liquid crystal display panel in a conventional IPS mode.

도 3은 본 명의 실시예에 따른 액정표시패널을 나타내는 단면도이다. 3 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 4a 내지 도 4e는 도 3에 도시된 액정표시패널의 상부 어레이 기판의 제조방법을 나타내는 도면이다. 4A to 4E are views illustrating a method of manufacturing the upper array substrate of the liquid crystal display panel illustrated in FIG. 3.

도 5a 내지 도 5c는 소프트 몰드를 이용하여 스페이서 및 평탄화층을 형성을 나타내는 도면이다.
5A to 5C are diagrams illustrating formation of a spacer and a planarization layer using a soft mold.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>         <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

2,102:상부기판 4,104:블랙 매트릭스2,102: upper substrate 4,104: black matrix

18,118:공통전극 32,132:하부기판18,118: common electrode 32,132: lower substrate

6,106:컬러필터 7,107:평탄화층 6,106 color filter 7,107 flattening layer

134:소프트 몰드 113:스페이서
134: Soft mold 113: spacer

본 발명은 액정표시패널에 관한 것으로, 특히 액정표시패널의 평탄화층 및 스페이서를 포토리쏘그래피공정을 사용하지 않고 패터닝 할 수 있는 액정표시패널의 제조방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display panel, and more particularly, to a method for manufacturing a liquid crystal display panel in which the planarization layer and the spacer of the liquid crystal display panel can be patterned without using a photolithography process.

통상적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)는 비디오신호에 따라 액정셀들의 광투과율을 조절함으로써 액정셀들이 매트릭스 형태로 배열되어진 액정표시패널에 비디오신호에 해당하는 화상을 표시하게 된다. 이를 위하여, 액정표시장치는 액정셀들이 액티브 매트릭스(Active Matrix) 형태로 배열된 액정표시패널과, 액정표시패널을 구동하기 위한 구동회로들을 포함하게 된다. In general, a liquid crystal display (LCD) displays an image corresponding to a video signal on a liquid crystal display panel in which liquid crystal cells are arranged in a matrix form by adjusting light transmittance of liquid crystal cells according to a video signal. To this end, the liquid crystal display device includes a liquid crystal display panel in which liquid crystal cells are arranged in an active matrix form, and driving circuits for driving the liquid crystal display panel.

이러한 액정표시장치는 액정을 구동시키는 전계방향에 따라 수직방향 전계를 용하는 TN(Twisted Nematic)모드와 IPS(In plan Switch)모드로 대별된다.Such liquid crystal displays are roughly classified into twisted nematic (TN) mode and in plan switch (IPS) mode using a vertical electric field according to the electric field driving the liquid crystal.

TN모드는 상부기판에 대항하게 배치된 화소전극과 공통전극간의 수직전계에 의해 액정을 구동하는 모드로 개구율이 큰 장점을 가지는 반면에 시야각이 접은 단점을 가진다. IPS모드는 하부기판상에 나란하게 배치된 화소전극,공통전극간의 수평전계에 의해 액정을 구동하는 모드로 시야각이 큰 장점이 있는 반면에 개구율이 작은 단점이 있다. The TN mode is a mode in which a liquid crystal is driven by a vertical electric field between a pixel electrode and a common electrode arranged to face the upper substrate. The TN mode has an advantage that the aperture ratio is large while the viewing angle is folded. The IPS mode is a mode in which a liquid crystal is driven by a horizontal electric field between a pixel electrode and a common electrode disposed side by side on a lower substrate.

도 1은 종래 IPS모드의 액정표시패널을 나타내는 단면도이다. 1 is a cross-sectional view showing a liquid crystal display panel of a conventional IPS mode.                         

도 1을 참조하면, IPS모드의 액정표시패널은 이면에 정전기 등을 방지하기 위한 투명전극층(3) 있는 상부기판(2) 상에 순차적으로 형성된 블랙 매트릭스(4), 컬러필터(6), 평탄화층(7), 스페이서(13), 상부 배향막(8)으로 구성되는 상부어레이 기판(또는 컬러필터 어레이 기판)과, 하부기판(32)상에 형성된 박막 트랜지스터(이하"TFT" 라고 한다), 공통전극(18), 화소전극(16) 및 하부 배향막(38)으로 구성되는 하부어레이 기판(또는 박막 트랜지스터 어레이 기판)과, 상부어레이 기판 및 하부 어레이 기판 사이의 내부공간에 주입되는 액정(도시되지 않음)을 구비한다. Referring to FIG. 1, the liquid crystal display panel of the IPS mode has a black matrix 4, a color filter 6, and a planarization sequentially formed on an upper substrate 2 having a transparent electrode layer 3 thereon to prevent static electricity and the like on the back side. An upper array substrate (or color filter array substrate) composed of a layer 7, a spacer 13, and an upper alignment layer 8, and a thin film transistor (hereinafter referred to as “TFT”) formed on the lower substrate 32 in common. Liquid crystal (not shown) injected into an inner space between the lower array substrate (or thin film transistor array substrate) composed of the electrode 18, the pixel electrode 16 and the lower alignment layer 38, and the upper array substrate and the lower array substrate. ).

상부 어레이 기판에 있어서, 블랙 매트릭스(4)는 하부기판(2)의 TFT 영역과 도시하지 않은 게이트라인들 및 데이터라인들 영역과 중첩되게 형성되며 컬러필터(6)가 형성될 셀영역을 구획한다. 블랙 매트릭스(4)는 빛샘을 방지함과 아울러 외부광을 흡수하여 콘트라스트를 높이는 역할을 한다. 컬러필터(6)는 상기 블랙 매트릭스(4)에 의해 분리된 셀영역에 형성된다. 이 컬러필터(6)는 R,G,B 별로 형성되어 R, G, B 색상을 구현한다. 평탄화층(7)은 컬러필터를 덮도록 형성되어 상부기판(2)을 평탄화한다. 컬럼 스페이서(13)는 상부기판(2)과 하부기판(32)사이에 셀 갭을 유지하는 역할을 한다. In the upper array substrate, the black matrix 4 is formed to overlap the TFT region of the lower substrate 2 with the gate line and data line regions (not shown) and partitions the cell region where the color filter 6 is to be formed. . The black matrix 4 prevents light leakage and absorbs external light to increase contrast. The color filter 6 is formed in the cell region separated by the black matrix 4. The color filter 6 is formed for each of R, G, and B to implement R, G, and B colors. The planarization layer 7 is formed to cover the color filter to planarize the upper substrate 2. The column spacer 13 maintains a cell gap between the upper substrate 2 and the lower substrate 32.

하부어레이 기판에 있어서, TFT는 게이트라인(도시하지 않음)과 함께 하부기판(32)위에 형성되는 게이트전극(9)과, 이 게이트전극(9)과 게이트 절연막(44)을 사이에 두고 중첩되는 반도체층(14,47)과, 반도체층(14,47)을 사이에 두고 데이터라인(도시하지 않음)과 함께 형성되는 소스/드레인전극(40,42)을 구비한다. 이러한 TFT는 게이트라인으로 부터의 스캔신호에 응답하여 데이터라인으로부터 화소신호를 화소전극(16)에 공급한다. 화소전극(16)은 광투과율이 높은 투명전도성 물질로 보호막(50)을 사이에 두고 TFT의 드레인 전극(42)과 접촉된다. 공통전극(18)은 화소전극(16)과 교번되도록 스트라입형태로 형성된다. 공통전극(18)은 액정구동시 기준이 되는 공통전압을 공급한다. 이 공통전압과 화소전극(16)에 공급되는 화소전압과의 수평전계에 의해 액정은 수평방향을 기준으로 회전하게 된다.In the lower array substrate, the TFT overlaps the gate electrode 9 formed on the lower substrate 32 with the gate line (not shown), and the gate electrode 9 and the gate insulating film 44 interposed therebetween. The semiconductor layers 14 and 47 and the source / drain electrodes 40 and 42 formed together with the data lines (not shown) with the semiconductor layers 14 and 47 interposed therebetween. This TFT supplies a pixel signal from the data line to the pixel electrode 16 in response to a scan signal from the gate line. The pixel electrode 16 is a transparent conductive material having a high light transmittance and is in contact with the drain electrode 42 of the TFT with the protective film 50 therebetween. The common electrode 18 is formed in a stripe shape so as to alternate with the pixel electrode 16. The common electrode 18 supplies a common voltage which is a reference when driving the liquid crystal. The liquid crystal rotates with respect to the horizontal direction by the horizontal electric field between the common voltage and the pixel voltage supplied to the pixel electrode 16.

액정배향을 위한 상/하부 배향막(8,38)은 폴리이미드 등과 같은 배향물질을 도포한 후 러빙공정을 수행함으로써 형성된다. The upper and lower alignment layers 8 and 38 for liquid crystal alignment are formed by applying an alignment material such as polyimide and then performing a rubbing process.

도 2a 내지 도 2f는 종래 액정표시패널의 상부 어레이 기판의 제조방법을 단계적으로 나타내는 단면도이다. 2A through 2F are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an upper array substrate of a conventional liquid crystal display panel.

먼저, 스퍼터링 등의 증착방법에 의해 상부기판(2)의 배면에 투명도전층(3)이 형성된다. 이어서, 상부기판(2)의 전면에 불투명 수지가 도포된 후 제1 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 2a에 도시된 바와 같이 블랙 매트릭스(4)가 형성된다. 여기서, 블랙 매트릭스(4) 물질로 크롬(Cr) 등이 이용될 수 있다. First, the transparent conductive layer 3 is formed on the back surface of the upper substrate 2 by a deposition method such as sputtering. Subsequently, after the opaque resin is applied to the entire surface of the upper substrate 2, the black matrix 4 is formed as shown in FIG. 2A by patterning the photolithography process and the etching process using the first mask. Here, chromium (Cr) or the like may be used as the black matrix 4 material.

블랙 매트릭스(4)가 형성된 상부기판(2) 상에 적색수지가 증착된 후 제2 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 적색수지(R)가 패터닝됨으로써 도 2b에 도시된 바와 같이 적색 컬러필터(R)가 형성된다. After the red resin is deposited on the upper substrate 2 on which the black matrix 4 is formed, the red resin R is patterned by a photolithography process and an etching process using a second mask, thereby providing red color as shown in FIG. 2B. The color filter R is formed.

적색 컬러필터(R)가 형성된 상부기판(2)상에 녹색수지가 증착된 후 제3 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 녹색수지가 패터닝됨으로써 도 2c에 도시된 바와 같이 녹색 컬러필터(G)가 형성된다. 녹색 컬러필터(G)가 형성된 상부기판(2)상에 청색수지가 증착된 후 제4 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 청색수지가 패터닝됨으로써 도 2d에 도시된 바와 같이 청색 컬러필터(B)가 형성됨으로써 적, 녹, 청색 컬러필터(6)가 형성된다. After the green resin is deposited on the upper substrate 2 on which the red color filter R is formed, the green resin is patterned by a photolithography process and an etching process using a third mask, thereby displaying the green color filter as shown in FIG. 2C. (G) is formed. After the blue resin is deposited on the upper substrate 2 on which the green color filter G is formed, the blue resin is patterned by a photolithography process and an etching process using a fourth mask, thereby as shown in FIG. 2D. By forming (B), the red, green and blue color filters 6 are formed.

적, 녹, 청색 컬러필터(6)가 형성된 상부기판(2)상에 유기물질이 전면 증착됨으로써 도 2e에 도시된 바와 같이 평탄화층(7)이 형성한다. 평탄화층(7)은 불투명 수지로 형성된 블랙 매트릭스(2)에 의해 발생되는 단차로 인한 전경(Disclination)현상을 방지하게 된다. The organic material is entirely deposited on the upper substrate 2 on which the red, green, and blue color filters 6 are formed, thereby forming the planarization layer 7 as shown in FIG. 2E. The planarization layer 7 prevents the phenomenon of disclination due to the step generated by the black matrix 2 formed of the opaque resin.

평탄화층(7)이 형성된 상부기판(2)상에 스페이서 물질이 증착된 후 제5 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 스페이서 물질이 패터닝됨으로써 도 2f에 도시된 바와 같이 컬럼 스페이서(13)가 형성된다. After the spacer material is deposited on the upper substrate 2 on which the planarization layer 7 is formed, the spacer material is patterned by a photolithography process and an etching process using a fifth mask, so that the column spacer 13 is shown in FIG. 2F. ) Is formed.

이와 같이, 종래 액정표시패널의 상부 어레이 기판을 형성하기 위해서는 적어도 5 이상의 마스크 공정이 필요하다. 각각의 마스크 공정에는 포토리소그래피공정을 포함하고 포토리소그래피공정은 포토레지스트의 도포, 마스크 정렬, 노광 및 현상을 포함하는 일련의 사진공정이다. 이러한, 포토리소그래피공정은 공정 소요시간이 길고 포토레지스트와, 포토레지스트패턴을 현상하기 위한 현상액의 낭비가 크며, 노광장비 등의 고가장비가 필요하게 된다. 그 결과, 제조공정이 복잡하며 액정표시패널의 제조 비용을 상승시키는 문제점이 있다.
As described above, in order to form the upper array substrate of the conventional liquid crystal display panel, at least five or more mask processes are required. Each mask process includes a photolithography process and the photolithography process is a series of photographic processes including application of photoresist, mask alignment, exposure and development. The photolithography process requires a long process time, a large waste of photoresist and a developer for developing a photoresist pattern, and requires expensive equipment such as an exposure apparatus. As a result, the manufacturing process is complicated and there is a problem of increasing the manufacturing cost of the liquid crystal display panel.

따라서, 본 발명의 목적은 포토리쏘그래피공정을 사용하지 않고 패터닝함으로써 공정을 단순화함과 아울러 비용을 절감할 수 있는 액정표시패널의 제조방법을 제공하는데 있다.
Accordingly, an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a liquid crystal display panel which can simplify the process and reduce the cost by patterning without using a photolithography process.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널의 제조방법은 기판 상에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계와; 상기 블랙 매트릭스에 의해 구획된 영역에 컬러필터를 형성하는 단계와; 상기 컬러필터 상에 유기물을 도포한 후 상기 유기물을 소프트 몰드로 성형하여 평탄화층 및 스페이서를 동시에 형성하는 단계를 포함하며, 상기 유기물은 상기 평탄화층 및 스페이서의 높이를 합한 두께로 도포되며, 상기 소프트 몰드는 폴리디메틸실록세인(Poly dimethyl siloxane), 폴리 우레탄(Polyurethane)을 이용하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, a method of manufacturing a liquid crystal display panel according to an embodiment of the present invention comprises the steps of forming a black matrix on the substrate; Forming a color filter in a region partitioned by the black matrix; Forming a planarization layer and a spacer at the same time by coating the organic material on the color filter and then molding the organic material into a soft mold, wherein the organic material is applied to the sum of the heights of the heights of the planarization layer and the spacer. The mold is characterized in that it uses a poly dimethyl siloxane (Poly dimethyl siloxane), polyurethane (Polyurethane).

상기 평탄화층 및 스페이서를 동시에 형성하는 단계는 상기 컬러필터 상에 상기 유기물을 도포하는 단계와; 상기 유기물을 홈을 가지는 소프트 몰드로 가압함으로써 상기 홈과 대응되는 스페이서와 상기 홈 이외의 영역과 대응되는 평탄화층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.Simultaneously forming the planarization layer and the spacer comprises applying the organic material on the color filter; And pressing the organic material into a soft mold having a groove to form a spacer corresponding to the groove and a planarization layer corresponding to a region other than the groove.

상기 소프트 몰드에 의해 가압된 유기물을 베이킹하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다. Baking the organic material pressed by the soft mold is characterized in that it further comprises.

상기 유기물은 열 및 광 중 적어도 어느 하나에 의해 경화되는 것을 특징으로 한다.The organic material is characterized in that it is cured by at least one of heat and light.

상기 스페이서 및 평탄화층 상에 공통전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다. The method may further include forming a common electrode on the spacer and the planarization layer.                     

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. Other objects and features of the present invention in addition to the above objects will become apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 3 내지 도 5c를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 5C.

도 3은 본 발명에 따른 IPS모드의 액정표시패널을 나타내는 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display panel in an IPS mode according to the present invention.

도 3에 도시된 IPS모드의 액정표시패널은 이면에 정전기 등을 방지하기 위한 투명전극층(103) 있는 상부기판(102) 상에 순차적으로 형성된 블랙 매트릭스(104), 컬러필터(106), 평탄화층(107), 스페이서(113), 상부 배향막(108)으로 구성되는 상부어레이 기판(또는 컬러필터 어레이 기판)과, 하부기판(132)상에 형성된 박막 트랜지스터(이하"TFT" 라고 한다), 공통전극(118), 화소전극(116) 및 하부 배향막(138)으로 구성되는 하부어레이 기판(또는 박막 트랜지스터 어레이 기판)과, 상부어레이 기판 및 하부 어레이 기판 사이의 내부공간에 주입되는 액정(도시되지 않음)을 구비한다. The liquid crystal display panel of the IPS mode shown in FIG. 3 is a black matrix 104, a color filter 106, and a planarization layer sequentially formed on the upper substrate 102 having the transparent electrode layer 103 on the back side to prevent static electricity. 107, an upper array substrate (or color filter array substrate) composed of a spacer 113 and an upper alignment layer 108, a thin film transistor (hereinafter referred to as "TFT") formed on the lower substrate 132, and a common electrode 118, a lower array substrate (or a thin film transistor array substrate) composed of a pixel electrode 116 and a lower alignment layer 138, and a liquid crystal (not shown) injected into an internal space between the upper array substrate and the lower array substrate. It is provided.

상부 어레이 기판에 있어서, 블랙 매트릭스(104)는 하부기판(132)의 TFT 영역과 도시하지 않은 게이트라인들 및 데이터라인들 영역과 중첩되게 형성되며 컬러필터(106)가 형성될 셀영역을 구획한다. 블랙 매트릭스(104)는 빛샘을 방지함과 아울러 외부광을 흡수하여 콘트라스트를 높이는 역할을 한다. 컬러필터(106)는 상기 블랙 매트릭스(104)에 의해 분리된 셀영역에 형성된다. 이 컬러필터(106)는 R,G,B 별로 형성되어 액정구동시 다양한 색상을 구현한다. In the upper array substrate, the black matrix 104 is formed to overlap the TFT region of the lower substrate 132 and the gate line and data line regions (not shown) and partitions a cell region in which the color filter 106 is to be formed. . The black matrix 104 prevents light leakage and absorbs external light to increase contrast. The color filter 106 is formed in the cell region separated by the black matrix 104. The color filter 106 is formed for each of R, G, and B to implement various colors when driving the liquid crystal.

평탄화층(107)은 컬러필터(106)를 덮도록 형성되어 상부기판(102)을 평탄화 한다. 컬럼 스페이서(113)는 상부기판(102)과 하부기판(132)사이에 셀 갭을 유지하는 역할을 한다. The planarization layer 107 is formed to cover the color filter 106 to planarize the upper substrate 102. The column spacer 113 serves to maintain a cell gap between the upper substrate 102 and the lower substrate 132.

이러한, 평탄화층(107) 및 컬럼 스페이서(113)는 소프트 몰드(도시하지 않음)를 이용한 가압성형 방식에 의해 동시에 형성된다. 여기서, 평탄화층(107) 및 컬럼 스페이서(113)물질로는 열 또는 광에 의해 경화가능한 유기물이 이용된다. The planarization layer 107 and the column spacer 113 are simultaneously formed by a press molding method using a soft mold (not shown). Here, as the planarization layer 107 and the column spacer 113 material, an organic material curable by heat or light is used.

하부어레이 기판에 있어서, TFT는 게이트라인(도시하지 않음)과 함께 하부기판(132)위에 형성되는 게이트전극(109)과, 이 게이트전극(109)과 게이트 절연막(144)을 사이에 두고 중첩되는 반도체층(114,147)과, 반도체층(114,147)을 사이에 두고 데이터라인(도시하지 않음)과 함께 형성되는 소스/드레인전극(140,142)을 구비한다. 이러한 TFT는 게이트라인으로 부터의 스캔신호에 응답하여 데이터라인으로부터 화소신호를 화소전극(116)에 공급한다. 화소전극(116)은 광투과율이 높은 투명전도성 물질로 보호막(150)을 사이에 두고 TFT의 드레인 전극(142)과 접촉된다. 공통전극(118)은 화소전극(116)과 교번되도록 스트라입형태로 형성된다. 공통전극(118)은 액정구동시 기준이 되는 공통전압을 공급한다. 이 공통전압과 화소전극(116)에 공급되는 화소전압과의 수평전계에 의해 액정은 수평방향을 기준으로 회전하게 된다. In the lower array substrate, the TFT overlaps the gate electrode 109 formed on the lower substrate 132 with the gate line (not shown), and the gate electrode 109 and the gate insulating film 144 interposed therebetween. The semiconductor layers 114 and 147 and the source / drain electrodes 140 and 142 formed together with the data lines (not shown) are disposed between the semiconductor layers 114 and 147. The TFT supplies a pixel signal from the data line to the pixel electrode 116 in response to a scan signal from the gate line. The pixel electrode 116 is a transparent conductive material having a high light transmittance and contacts the drain electrode 142 of the TFT with the passivation layer 150 therebetween. The common electrode 118 is formed in a stripe shape so as to alternate with the pixel electrode 116. The common electrode 118 supplies a common voltage which is a reference when driving the liquid crystal. The liquid crystal rotates with respect to the horizontal direction by the horizontal electric field between the common voltage and the pixel voltage supplied to the pixel electrode 116.

액정배향을 위한 상/하부 배향막(108,138)은 폴리이미드 등과 같은 배향물질을 도포한 후 러빙공정을 수행함으로써 형성된다. The upper and lower alignment layers 108 and 138 for liquid crystal alignment are formed by applying an alignment material such as polyimide and then performing a rubbing process.

도 4a 내지 도 4e는 종래 액정표시패널의 상부 어레이 기판의 제조방법을 단계적으로 나타내는 단면도이다. 4A through 4E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an upper array substrate of a conventional liquid crystal display panel.                     

먼저, 스퍼터링 등의 증착방법에 의해 상부기판(102)의 배면에 투명도전층(103)이 형성된다. 이어서, 상부기판(102)의 전면에 불투명 수지가 도포된 후 제1 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 4a에 도시된 바와 같이 블랙 매트릭스(104)가 형성된다. 여기서, 블랙 매트릭스(104) 물질로 크롬(Cr) 등이 이용될 수 있다. First, the transparent conductive layer 103 is formed on the back surface of the upper substrate 102 by a deposition method such as sputtering. Subsequently, after the opaque resin is coated on the entire surface of the upper substrate 102, the black matrix 104 is formed as shown in FIG. 4A by patterning the photolithography process and the etching process using the first mask. Here, chromium (Cr) or the like may be used as the black matrix 104 material.

블랙 매트릭스(104)가 형성된 상부기판(102) 상에 적색수지가 증착된 후 제2 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 적색수지(R)가 패터닝됨으로써 도 4b에 도시된 바와 같이 적색 컬러필터(R)가 형성된다. After the red resin is deposited on the upper substrate 102 on which the black matrix 104 is formed, the red resin R is patterned by a photolithography process and an etching process using a second mask, thereby redding the red resin as shown in FIG. 4B. The color filter R is formed.

적색 컬러필터(R)가 형성된 상부기판(102)상에 녹색수지가 증착된 후 제3 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 녹색수지가 패터닝됨으로써 도 4c에 도시된 바와 같이 녹색 컬러필터(G)가 형성된다. 녹색 컬러필터(G)가 형성된 상부기판(102)상에 청색수지가 증착된 후 제4 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정과 식각공정에 의해 청색수지가 패터닝됨으로써 도 4d에 도시된 바와 같이 청색 컬러필터(B)가 형성됨으로써 적, 녹, 청색 컬러필터(106)가 형성된다. After the green resin is deposited on the upper substrate 102 on which the red color filter R is formed, the green resin is patterned by a photolithography process and an etching process using a third mask, so that the green color filter as shown in FIG. 4C. (G) is formed. After the blue resin is deposited on the upper substrate 102 on which the green color filter G is formed, the blue resin is patterned by a photolithography process and an etching process using a fourth mask, as shown in FIG. 4D. By forming (B), the red, green, and blue color filters 106 are formed.

적, 녹, 청색 컬러필터(106)가 형성된 상부기판(102)상에 유기물이 형성된 후 스페이서 형성의 홈을 갖는 소프트 몰드로 가압성형함으로써 도 4e에 도시된 바와 같이 평탄화층(107)과 스페이서(113)가 동시에 형성된다. 여기서, 소프트 몰드과 유기물의 컨택시 별도의 압력을 가하지 않고 소프트 몰드의 자중에 의해 유기물이 성형될 수 도 있다. After the organic material is formed on the upper substrate 102 on which the red, green, and blue color filters 106 are formed, the flattening layer 107 and the spacer (as shown in FIG. 113 is formed at the same time. Here, the organic material may be molded by the weight of the soft mold without applying a separate pressure when the soft mold and the organic contact.

이를 도 5a 내지 도 5c를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. This will be described in detail with reference to FIGS. 5A to 5C as follows.                     

컬러필터(106)가 형서된 상부기판(102) 상에 도 5a에 도시된 바와 같이 노즐 또는 스핀 코팅 등의 도포방법에 의해 유기물이 도포된다. As illustrated in FIG. 5A, the organic material is coated on the upper substrate 102 having the color filter 106 formed thereon by a coating method such as a nozzle or spin coating.

여기서, 유기물은 평탄화층 및 스페이서의 높이를 고려하여 소정두께를 갖도록 도포된다. 예를 들어, 4㎛ 정도의 높이를 갖는 스페이서와 2㎛ 정도의 평탄화층을 설계하는 경우 약 6㎛ 정도의 두께를 갖도록 유기물(107a)을 도포한다. Here, the organic material is applied to have a predetermined thickness in consideration of the height of the planarization layer and the spacer. For example, when designing a spacer having a height of about 4 μm and a planarization layer of about 2 μm, the organic material 107a is coated to have a thickness of about 6 μm.

유기물(107a)에 도 5b에 도시된 바와 같이 홈(134a)과 돌출부(134b)를 가지는 소프트 몰드(134)가 정렬된다. 소프트 몰드(134)의 홈(134a)은 스페이서가 형성될 영역과 대응된다. 이러한 소프트 몰드(134)는 탄성이 큰 고무 재료, 예를 들어 폴리디메틸실록세인(Poly dimethyl siloxane ; PDMS), 폴리 우레탄(Polyurethane), 크로스 링크드 노볼락 수지(Cross-linked Novolac Resin) 등이 이용된다. The soft mold 134 having the groove 134a and the protrusion 134b is aligned with the organic material 107a as shown in FIG. 5B. The groove 134a of the soft mold 134 corresponds to the region where the spacer is to be formed. The soft mold 134 may be made of a highly elastic rubber material such as poly dimethyl siloxane (PDMS), polyurethane, cross-linked Novolac Resin, or the like. .

이 소프트 몰드(134)는 자신의 자중 정도의 무게로 소프트 몰드(134)의 돌출부(134b) 표면과 컬러필터(106) 및 블랙 매트릭스(104)에 접촉되도록 유기물(107a)에 소정시간동안, 예를 들어 약 10분~2시간 동안 가압된다. 이 때, 상부기판(102)은 약 130℃이하의 온도로 베이킹된다. 그러면, 소프트 몰드(134)와 기판(102) 사이의 압력 및 표면 장력으로 발생하는 모세관 힘(Capillary force)과 소프트 몰드(134)와 유기물(107a) 사이의 반발력에 의해 유기물(107a)의 일부가 소프트 몰드(134)의 홈(134a) 내로 이동한다. 이에 따라, 도 5c에 도시된 바와 같이 평탄화층(107)과 소프트 몰드(134)의 홈(134a)과 반전 전사된 패턴 형태의 스페이서(113)가 동시에 형성된다. The soft mold 134 is in contact with the surface of the protrusion 134b of the soft mold 134 and the color filter 106 and the black matrix 104 at a weight of its own weight for a predetermined time, for example, For example, pressurized for about 10 minutes to 2 hours. At this time, the upper substrate 102 is baked at a temperature of about 130 ℃ or less. Then, a part of the organic material 107a is caused by capillary force generated by the pressure and surface tension between the soft mold 134 and the substrate 102 and the repulsive force between the soft mold 134 and the organic material 107a. Move into groove 134a of soft mold 134. As a result, as shown in FIG. 5C, the planarization layer 107 and the groove 134a of the soft mold 134 and the spacer 113 in the form of reverse transfer are simultaneously formed.

즉, 충분한 두께로 유기물질이 도포됨으로써 소프트 몰드(134)의 홈(134a)내 로 이동한 유기물(107a)은 스페이서(113)로 형성되고, 소프트 몰드(134)의 홈(134a)내로 이동되지 않은 유기물(107a)은 평탄화층(107)으로 형성된다. That is, the organic material 107a moved into the groove 134a of the soft mold 134 by applying the organic material to a sufficient thickness is formed by the spacer 113, and is not moved into the groove 134a of the soft mold 134. The organic material 107a is formed of the planarization layer 107.

이후, 평탄화층(107) 및 스페이서(113) 상에 배향막이 형성된다. After that, an alignment layer is formed on the planarization layer 107 and the spacer 113.

한편, 하부 어레이 기판에 위치하는 화소전극과 수직전계를 이루기 위한 공통전극이 평탄화층(107) 및 스페이서(113) 상에 형성될 수 도 있다. Meanwhile, a common electrode for forming a vertical electric field with the pixel electrode positioned on the lower array substrate may be formed on the planarization layer 107 and the spacer 113.

이와 같이, 본 발명에 따른 액정표시패널의 제조방법은 유기물을 소프트 몰드로 가압성형하여 스페이서 및 평탄화층을 동시에 형성함으로써 노광 및 현상공정이 생략되고, 노광장비 등의 고가장비가 필요없게 된다. 이에 따라, 제조공정이 단순화되고 비용이 절감된다. As described above, the manufacturing method of the liquid crystal display panel according to the present invention eliminates exposure and development by eliminating the formation of a spacer and a planarization layer by pressing an organic material with a soft mold, thereby eliminating the need for expensive equipment such as exposure equipment. This simplifies the manufacturing process and reduces costs.

이와 같이, 포토공정을 사용하지 않고 소프트 몰드로 스페이서 및 평탄화층을 동시에 형성하는 방식은 IPS 모드의 액정표시패널 및 TN 모드의 액정표시패널 뿐만아니라, ECB(Electrical Controlled Birefringence), 나아가 VA(Vertical Alignment) 모드의 액정표시패널에도 용이하게 적용될 수 있다.
As such, the method of simultaneously forming the spacer and the planarization layer using a soft mold without using a photo process is not only an IPS mode liquid crystal display panel and a TN mode liquid crystal display panel, but also ECB (Electric Controlled Birefringence), and VA (Vertical Alignment). It can also be easily applied to the liquid crystal display panel of the mode.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액정표시패널의 제조방법은 스페이서 및 평탄화층이 동시에 형성됨과 아울러 포토공정을 사용하지 않고 소프트 몰드를 이용하여 스페이서 및 평탄화층을 형성한다. 이에 따라, 제조공정이 단순화되고 비용이 절감된다. As described above, in the method of manufacturing the liquid crystal display panel according to the embodiment of the present invention, the spacer and the planarization layer are simultaneously formed, and the spacer and the planarization layer are formed using the soft mold without using a photo process. This simplifies the manufacturing process and reduces costs.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하 는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (5)

기판 상에 블랙 매트릭스를 형성하는 단계와; Forming a black matrix on the substrate; 상기 블랙 매트릭스에 의해 구획된 영역에 컬러필터를 형성하는 단계와; Forming a color filter in a region partitioned by the black matrix; 상기 컬러필터 상에 유기물을 도포한 후 상기 유기물을 소프트 몰드로 성형하여 평탄화층 및 스페이서를 동시에 형성하는 단계를 포함하며,Coating the organic material on the color filter and then molding the organic material into a soft mold to simultaneously form a planarization layer and a spacer; 상기 유기물은 상기 평탄화층 및 스페이서의 높이를 합한 두께로 도포되며,The organic material is applied to the thickness of the sum of the height of the planarization layer and the spacer, 상기 소프트 몰드는 폴리디메틸실록세인(Poly dimethyl siloxane), 폴리 우레탄(Polyurethane)을 이용하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법. The soft mold is a method of manufacturing a liquid crystal display panel, characterized in that the use of poly dimethyl siloxane (Poly dimethyl siloxane), polyurethane (Polyurethane). 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 평탄화층 및 스페이서를 동시에 형성하는 단계는 Simultaneously forming the planarization layer and the spacer 상기 컬러필터 상에 상기 유기물을 도포하는 단계와; Applying the organic material on the color filter; 상기 유기물을 홈을 가지는 소프트 몰드로 가압함으로써 상기 홈과 대응되는 스페이서와 상기 홈 이외의 영역과 대응되는 평탄화층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법. And pressing the organic material into a soft mold having grooves to form a spacer corresponding to the grooves and a planarization layer corresponding to a region other than the grooves. 제 2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 소프트 몰드에 의해 가압된 유기물을 베이킹하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법. And baking the organic substance pressed by the soft mold. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 유기물은 열 및 광 중 적어도 어느 하나에 의해 경화되는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법. And the organic material is cured by at least one of heat and light. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 스페이서 및 평탄화층 상에 공통전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시패널의 제조방법. And forming a common electrode on the spacer and the planarization layer.
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