KR101054918B1 - Slit Coater - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판의 처리과정에서 기판 윗면에 있을 수 있는 깨진 기판 조각 등의 이물질을 감지하여 슬릿노즐이 이동될 때 상술한 이물질에 부딪쳐 슬릿노즐이 손상되는 것을 방지할 수 있는 슬릿코터를 개시한다.The present invention discloses a slit coater that can detect foreign substances such as broken substrate fragments that may be on the upper surface of the substrate during the processing of the substrate and prevent the slit nozzle from being damaged by hitting the above-mentioned foreign substances when the slit nozzle is moved.

본 발명의 슬릿코터는, 베이스, 베이스에 설치되는 구동부, 구동부의 구동에 의하여 선형적으로 이동하는 겐트리, 겐트리에 설치되어 기판에 약액을 도포하는 노즐, 겐트리 또는 노즐 측에 결합되어 장력을 이용하여 기판 상의 이물질을 감지하는 이물질 감지수단을 포함한다.The slit coater of the present invention is coupled to a nozzle, a gantry or a nozzle side installed in the gantry and the gantry linearly moved by the driving of the drive unit, the drive unit to apply the chemical to the substrate, the tension is applied It includes a foreign matter detection means for detecting the foreign matter on the substrate by using.

슬릿, 코터, 노즐, 기판, 감광, 이물질, 검출, 감지와이어 Slit, Coater, Nozzle, Substrate, Photosensitive, Foreign Material, Detection, Detection Wire

Description

슬릿코터{Slit coater}Slit coater

본 발명은 슬릿코터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 처리과정에서 기판 위에 있을 수 있는 이물질을 감지하여 슬릿노즐이 손상되는 것을 방지할 수 있으며 제작비용과 유지보수 비용을 줄일 수 있는 슬릿코터에 관한 것이다.The present invention relates to a slit coater, and more particularly, to a slit coater that can detect foreign substances that may be on the substrate during the processing of the substrate to prevent the slit nozzle from being damaged and to reduce the manufacturing cost and maintenance cost. It is about.

일반적으로 평판표시소자용 기판에는 포토리소그라피(Photolithography) 작업을 거치면서 회로 패턴이 형성된다. 포토리소그라피 작업은 기판 위에 일정한 두께로 감광액(포토레지스트)을 도포한 다음 감광층을 노광, 현상하고 에칭하는 공정들을 진행하면서 기판에 회로 패턴이 형성되도록 하는 것이다.In general, a circuit pattern is formed on a substrate for a flat panel display by performing photolithography. Photolithography is a process of applying a photoresist (photoresist) to a predetermined thickness on a substrate and then exposing, developing and etching the photosensitive layer to form a circuit pattern on the substrate.

이러한 포토리소그라피 작업은 특히 감광액을 도포하는 공정에서 기판의 박막 위에 일정한 두께로 균일하게 감광층을 형성하는 것이 중요하다. 감광층은 기준치보다 두께가 두껍거나 얇게 이루어지면 식각이 불균일하게 형성될 수 있다.In such a photolithography operation, it is particularly important to form a photosensitive layer uniformly to a certain thickness on a thin film of a substrate in a process of applying a photosensitive liquid. If the photosensitive layer is thicker or thinner than the reference value, the etching may be uneven.

이와 같이 기판에 감광액을 도포하는 작업은 슬릿노즐을 구비한 슬릿코터(Slit coater)가 주로 사용된다.As described above, the slit coater having a slit nozzle is mainly used to apply the photosensitive liquid to the substrate.

슬릿코터는 베이스에 구동부가 제공되고 이 구동부에 의하여 선형적으로 이동하는 겐트리를 포함한다. 그리고 겐트리에는 기판에 감광액 등의 약액을 도포하 는 노즐이 결합된다. The slit coater includes a gantry that is provided with a drive in the base and moves linearly by the drive. And the gantry is coupled to a nozzle for applying a chemical solution, such as photosensitive liquid to the substrate.

노즐은 기판 위면에 근접된 상태로 배치되어 이동되면서 감광액 등의 약액을 기판에 도포할 수 있다. The nozzle may be disposed in proximity to the upper surface of the substrate and moved to apply a chemical liquid such as a photosensitive liquid to the substrate.

이러한 과정에서 깨진 기판 조작 등의 이물질이 기판 위에 존재하게 되면 기판의 처리 불량은 물론이고 노즐과 이 이물질이 부딪쳐 고가 핵심 부품인 노즐이 손상될 수 있다.If foreign matter such as broken substrate manipulation is present on the substrate in this process, not only the processing failure of the substrate but also the nozzle and the foreign matter may hit the nozzle, which is an expensive core component.

따라서 노즐을 보호하기 위하여 노즐 길이와 같은 크기의 비교적 얇은 플레이트를 노즐 앞에 부착하여 이물질을 제거함과 동시에 상술한 플레이트와 이물질이 접촉하여 발생하는 진동을 감지하도록 하여 슬릿코터의 구동을 멈추게 함으로써 노즐을 보호할 수 있다.Therefore, in order to protect the nozzle, a relatively thin plate of the same size as the nozzle length is attached to the front of the nozzle to remove foreign substances, and at the same time, the above-mentioned plate and foreign substances are detected to detect the vibration generated by stopping the operation of the slit coater. can do.

이러한 종래의 기술은 박막의 플레이트를 제작하는데 있어 기술적인 어려움과 비용이 증대되는 문제점이 있다. 또한, 이물질을 감지하는 플레이트는 그 자체의 두께로 인하여 감도가 떨어질 수 있어 노즐을 안전하게 보호하지 못하는 문제점이 여전히 남게 된다.This conventional technology has a problem in that technical difficulty and cost increase in manufacturing a thin plate. In addition, the plate that detects the foreign matter may be degraded due to the thickness of the itself remains a problem that does not protect the nozzle safely.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로써, 본 발명의 목적은 기판에 감광액 등의 약액을 도포하는 노즐이 깨진 기판 조각 등의 이물질에 의하여 파손되는 것을 방지하는 슬릿코터를 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been proposed to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a slit coater which prevents a nozzle for applying a chemical liquid such as a photosensitive liquid to a substrate from being damaged by a foreign substance such as a broken substrate. It is.

또한, 본 발명은 노즐을 보호하기 위하여 이물질을 감지하는 이물질 감지장치를 저렴한 가격으로 제작하여 제조 비용을 낮춤과 동시에 간단하게 제작할 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있는 슬릿코터를 제공하는데 있다. In addition, the present invention is to provide a slit coater that can be produced at a low cost at the same time by manufacturing a foreign matter detection device for detecting a foreign material to protect the nozzle at a low price at the same time to improve the productivity.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 베이스, 상기 베이스에 설치되는 구동부, 상기 구동부의 구동에 의하여 선형적으로 이동하는 겐트리, 상기 겐트리에 설치되어 기판에 약액을 도포하는 노즐, 상기 겐트리 또는 노즐 측에 결합되어 장력을 이용하여 상기 기판 상의 이물질을 감지하는 이물질 감지수단을 포함하는 슬릿코터를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention, the base, a drive unit installed in the base, a gantry moving linearly by the drive of the drive unit, a nozzle installed in the gantry to apply a chemical to the substrate, It is coupled to the gantry or the nozzle side provides a slit coater comprising a foreign matter detection means for detecting the foreign matter on the substrate using a tension.

상기 이물질 감지수단은 상기 겐트리 또는 노즐 측에 결합되며 진동을 감지하는 진동감지부, 상기 진동감지부 양단에 연결되며 장력을 제공하는 감지와이어, 상기 진동감지부에 상기 감지와이어를 고정시키기 위한 고정부를 포함하는 것이 바람직하다.The foreign matter detection means is coupled to the gantry or the nozzle side, a vibration sensing unit for detecting vibration, a sensing wire connected to both ends of the vibration sensing unit to provide a tension, the high for fixing the sensing wire to the vibration sensing unit It is desirable to include government.

상기 감지와이어는 낚시줄 또는 합성수지재로 이루어지는 섬유 또는 와이어 중의 어느 하나인 것이 바람직하다.The sensing wire is preferably any one of a fiber or a wire made of a fishing line or synthetic resin material.

상기 슬릿코터는 상, 하 방향으로 상기 진동감지부의 거리를 조절할 수 있는 거리 조정부재를 더 포함하는 것이 바람직하다.The slit coater may further include a distance adjusting member capable of adjusting the distance of the vibration sensing unit in the up and down directions.

상기 거리 조정부재는 상기 겐트리 측에 결합되는 제1 부재, 상기 제1 부재에 결합되어 상대 이동하며 상기 진동감지부가 결합되는 제2 부재, 상기 제1 부재에 결합되는 거리 조절부, 상기 제2 부재에 결합되며 상기 거리 조절부의 이동을 제한하는 스톱퍼를 포함하는 것이 바람직하다.The distance adjusting member is a first member coupled to the gantry side, a second member coupled to the first member and relatively moved and coupled to the vibration sensing unit, a distance adjusting unit coupled to the first member, and the second member. It is preferable to include a stopper coupled to the member and limiting the movement of the distance adjuster.

상기 고정부는 상기 감지와이어가 감겨질 수 있는 볼트들,The fixing part bolts to which the sensing wire is wound,

상기 볼트들이 고정되는 고정홈들이 제공되고 상기 진동감지부들에 결합되는 볼트 지지부재들을 포함하는 것이 바람직하다.It is preferable that the fixing grooves to which the bolts are fixed are provided and include bolt support members coupled to the vibration sensing units.

이와 같은 본 발명은 감지와이어가 진동감지부에 장력을 가진 상태로 고정되고 기판에 약액을 도포하는 슬릿노즐에 앞서서 기판의 윗면을 따라 이동하면서 기판 위에 있는 이물질을 감지함으로써 고가의 핵심 부품인 노즐을 보호할 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention provides a nozzle, which is an expensive core part, by detecting foreign matter on the substrate while the sensing wire is fixed with the vibration sensing unit and moved along the upper surface of the substrate prior to the slit nozzle applying the chemical to the substrate. There is a protective effect.

또한, 본 발명은 기판의 이물질을 감지하는 감지와이어는 낮은 가격으로 제조할 수 있어 제조비용을 줄이고 용이하게 제작할 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention can detect the foreign matter on the substrate can be manufactured at a low price can reduce the manufacturing cost and can be easily produced has the effect of improving the productivity.

또한, 본 발명은 감지와이어를 사용하므로 기존의 감지용 플레이트를 사용한 기술에 비하여 이물질을 감지하는 감도가 우수하여 감지 효과를 증대시킬 수 있다.In addition, since the present invention uses a sensing wire, it is possible to increase the sensing effect because the sensitivity of sensing foreign matter is superior to that of the conventional sensing plate.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위한 도면으로, 슬릿 코터를 도시하고 있다. 1 is a view for explaining an embodiment of the present invention, it shows a slit coater.

슬릿코터는 베이스(1), 베이스(1)의 양측에 배치되는 구동부(3), 구동부(3)에 의하여 선형적으로 이동하는 겐트리(5)를 포함한다. 그리고 겐트리(5)에는 감광액 등의 약액을 기판(G)에 도포할 수 있는 슬릿노즐(7)이 결합된다. The slit coater includes a base 1, a driver 3 disposed on both sides of the base 1, and a gantry 5 linearly moved by the driver 3. And the slit nozzle 7 which can apply chemical | medical solution, such as a photosensitive liquid, to the board | substrate G is couple | bonded with the gantry 5.

슬릿노즐(7)은 기판(G)을 가로지르는 방향으로 배치되어 기판(G)의 위면 측을 지나면서 기판(G)의 전체 영역에 약액을 도포할 수 있다.The slit nozzle 7 may be disposed in a direction crossing the substrate G to pass the upper surface side of the substrate G to apply the chemical liquid to the entire area of the substrate G.

구동부(3)는 일반적인 리니어모터가 사용될 수 있다. 구동부(3)는 기판(G)의 측면을 따라 겐트리(5)를 선형적으로 이동시키는 역할을 한다. The driving unit 3 may be a general linear motor. The driving unit 3 serves to linearly move the gantry 5 along the side of the substrate G.

겐트리(5)는 구동부(3)에 의하여 베이스(1)에서 선형적으로 이동됨에 따라 슬릿노즐(7)도 함께 이동할 수 있다. As the gantry 5 is linearly moved from the base 1 by the driving unit 3, the slit nozzle 7 may also move together.

이러한 겐트리(5)에는, 도 2에 도시하고 있는 바와 같이, 기판(G) 위에 존재할 수 있는 깨진 기판 조각 등의 이물질을 감지하기 위한 이물질 감지수단(6, 8)이 설치된다. As shown in FIG. 2, the gantry 5 is provided with foreign matter sensing means 6 and 8 for sensing foreign matter such as a broken substrate fragment that may exist on the substrate G.

이물질 감지수단(6, 8)은 겐트리(5)의 양쪽에 결합되는 거리 조정부재(11), 거리 조정부재(11)들에 결합되는 진동감지부 등으로 이루어지는 진동감지부(13)들, 진동감지부(13)들에 결합되는 감지와이어(15)를 포함한다.The foreign matter sensing means 6 and 8 are vibration sensing units 13 including a distance adjusting member 11 coupled to both sides of the gantry 5, a vibration sensing unit coupled to the distance adjusting members 11, and the like. And a sensing wire 15 coupled to the vibration sensing units 13.

거리 조정부재(11)는 별도의 브라켓(B, 도 2에 도시하고 있음)들에 의하여 겐트리(5) 또는 슬릿 노즐(7)에 고정될 수 있으며, 일면이 직접 겐트리(5)에 고정될 수 도 있다. The distance adjusting member 11 may be fixed to the gantry 5 or the slit nozzle 7 by separate brackets B (shown in FIG. 2), and one surface thereof is directly fixed to the gantry 5. It can also be.

거리 조정부재(11)는 감지와이어(15)의 높이 또는 거리 등을 조정하기 위한 것이다. The distance adjusting member 11 is for adjusting the height or distance of the sensing wire 15.

이러한 거리 조정부재(11)는, 도 3에 도시하고 있는 바와 같이, 겐트리(5) 측에 결합되는 제1 부재(21), 제1 부재(21)에 마주하여 상대 이동할 수 있도록 배치되는 제2 부재(23), 제1 부재(21)에 결합되는 조절부(25), 그리고 제2 부재(23)에 결합되어 조절부(25)에 접촉되어 제1 부재(21)와 제2 부재(23)의 상대 이동을 제한하는 스토퍼(27)를 포함한다.As shown in FIG. 3, the distance adjusting member 11 is formed of a first member 21 coupled to the gantry 5 side and an agent arranged to be relatively movable facing the first member 21. 2 member 23, the control unit 25 is coupled to the first member 21, and the second member 23 is coupled to the control unit 25 in contact with the first member 21 and the second member ( And a stopper 27 for limiting the relative movement of 23.

제1 부재(21)와 제2 부재(23)는 서로 결합된 상태로 상대 이동할 수 있는 통상의 구조로 이루어질 수 있다. The first member 21 and the second member 23 may be of a conventional structure that can move relative to each other in a coupled state.

한편, 제1 부재(21)의 측면에는 조절부(25)가 결합되는 고정브라켓(29)이 결합된다. 이 고정 브라켓(29)은 제1 부재(21)와 제2부재(23)가 상대 이동할 수 있는 방향으로 관통되는 일종의 볼트공(또는 나사홈)을 구비한다.On the other hand, the fixing bracket 29 to which the adjusting portion 25 is coupled to the side of the first member 21 is coupled. The fixing bracket 29 has a kind of bolt hole (or screw groove) penetrating in a direction in which the first member 21 and the second member 23 can move relative to each other.

그리고 이 볼트공에는 외주면이 나사산으로 이루어진 조절부(25)가 결합된다. 따라서 조절부(25)는 회전됨에 따라 그 위치가 가변될 수 있는 것이다.And this bolt hole is coupled to the adjusting portion 25 made of a threaded outer peripheral surface. Therefore, the adjustment unit 25 is to be changed in position as it is rotated.

스토퍼(27)는 조절부(25)의 선단 부분이 접촉할 수 있는 위치에 배치된다. 따라서 조절부(25)의 회전에 따라 스토퍼(27)를 밀어 제1 부재(21)와 제2 부재(23)가 서로 상대 이동을 할 수 있다(도 3에서 가상으로 표시하고 있음). The stopper 27 is disposed at a position where the tip portion of the adjuster 25 can contact. Therefore, the first member 21 and the second member 23 can move relative to each other by pushing the stopper 27 in accordance with the rotation of the adjusting unit 25 (shown in FIG. 3 virtually).

거리 조정부재(11)는 본 발명의 실시 예에서 설명한 예에 한정되는 것이 아 니며 감지와이어(15)의 높이나 거리를 조절할 수 있는 구조면 어느 것이나 적용이 가능하다.The distance adjusting member 11 is not limited to the example described in the embodiment of the present invention and may be applied to any structure that can adjust the height or distance of the sensing wire 15.

진동감지부(13)는 상술한 거리 조정부재(11)의 제2 부재(23)에 나사 등의 체결부재들로 결합될 수 있다. 로드셀로 이루어지는 진동감지부(13)는 일종의 압력 센서이다. 진동감지부(13)는 컨트롤러(도시생략)와 연결되어 센싱된 값을 컨트롤러에 전송할 수 있다.The vibration detecting unit 13 may be coupled to fastening members such as screws to the second member 23 of the distance adjusting member 11 described above. The vibration sensing unit 13 made of a load cell is a kind of pressure sensor. The vibration detector 13 may be connected to a controller (not shown) to transmit a sensed value to the controller.

이 진동감지부(13)에는 감지와이어(15)가 고정되는 고정부가 결합된다. 고정부는 볼트(31)와 이 볼트(31)들을 고정할 수 있는 볼트 지지부재(33)를 포함한다.The vibration sensing unit 13 is coupled to a fixed portion to which the sensing wire 15 is fixed. The fixing portion includes a bolt 31 and a bolt support member 33 capable of fixing the bolts 31.

볼트 지지부재(33)는 볼트(31)가 결합될 수 있는 고정홈(33a)을 구비한다.The bolt support member 33 has a fixing groove 33a to which the bolt 31 can be coupled.

고정홈(33a)은 볼트(31)가 체결될 수 있도록 그 내주면이 나사산으로 이루어지는 것이 바람직하다.The fixing groove 33a is preferably made of a screw thread so that the inner circumferential surface thereof can be fastened to the bolt 31.

그리고 볼트 지지부재(33)는 서로 대향하는 방향으로 끝 부분에 홈부(33b)가 제공된다. 이러한 홈부(33b)는 감지와이어(15)가 결합되는 부분을 보호할 수 있다.And the bolt support member 33 is provided with a groove portion 33b at the end portion in a direction facing each other. The groove 33b may protect a portion to which the sensing wire 15 is coupled.

상술한 볼트(31)는 나사산으로 이루어진 외주면에 감지와이어(15)가 감기어 고정될 수 있다.The above-described bolt 31 may be fixed by winding the sensing wire 15 on the outer circumferential surface of the thread.

감지와이어(15)는 낚시줄 또는 합성수지재로 이루어지는 섬유 또는 와이어 중에서 선택된 어느 하나로 이루어질 수 있다. 물론, 본 발명의 실시 예에서 감지와이어(15)의 재질 등에 대하여 언급을 하지 않았어도 적정한 장력을 유지할 수 있는 것으로 어느 것이나 적용이 가능하다.The sensing wire 15 may be made of any one selected from fibers or wires made of fishing line or synthetic resin material. Of course, in the embodiment of the present invention can be applied to any one that can maintain the appropriate tension even if not mentioned about the material of the sensing wire (15).

이와 같이 이루어지는 본 발명의 실시 예에서 감지와이어(15)를 세팅하는 과 정과 감지와이어에 의하여 이물질이 검출되는 과정을 설명하면 다음과 같다.When the foreign matter is detected by the process of setting the sensing wire 15 and the sensing wire in the embodiment of the present invention made as described above are as follows.

우선, 작업자는 볼트(31)들을 고정홈(33a)에 삽입한 후 회전시켜 볼트 지지부재(33)에 결합시킨다(도 4에 도시하고 있음). 그리고 작업자는 감지와이어(15)를 볼트(31)의 외주면에 감는다. 이때 볼트(31)를 느슨하게 조인 상태에서 회전시키면 감지와이어(15)가 쉽게 볼트(31)의 외주면에 감겨지게 된다.First, the operator inserts the bolts 31 into the fixing grooves 33a and rotates them to couple to the bolt supporting members 33 (shown in FIG. 4). The worker winds the sensing wire 15 on the outer circumferential surface of the bolt 31. At this time, when the bolt 31 is rotated in a loosely tightened state, the sensing wire 15 is easily wound on the outer circumferential surface of the bolt 31.

그리고 볼트(31)들을 회전시키는 정도에 따라 감지와이어(15)의 장력을 조절할 수 있다. 이렇게 감지와이어(15)가 고정되면 슬릿노즐(7)의 위치를 조절하여 감지와이어(15)에 슬릿노즐(7)이 근접되도록 배치한다. 이때 감지와이어(15)는 슬릿노즐(7)의 이동 방향 앞쪽에 배치되는 것이 바람직하다. 또한, 감지와이어(15)는 슬릿노즐(7)의 립(약액이 토출되는 부분)에서 거리가 약 20 ~ 30㎛ 사이에 위치하는 것이 바람직하다.The tension of the sensing wire 15 may be adjusted according to the degree of rotating the bolts 31. When the sensing wire 15 is fixed in this way, the slit nozzle 7 is disposed close to the sensing wire 15 by adjusting the position of the slit nozzle 7. At this time, the sensing wire 15 is preferably disposed in front of the moving direction of the slit nozzle (7). In addition, the sensing wire 15 is preferably located between about 20 to 30 μm from the lip of the slit nozzle 7 (the part where the chemical liquid is discharged).

감지와이어(15)가 배치되는 위치(거리)를 더욱 정밀하게 조정할 필요가 있으면, 즉, 높이를 높이거나 낮출 필요가 있으면, 거리 조정부재(11)의 조절부(25)를 회전시킨다. 그러면 조절부(25)는 그 선단부가 스토퍼(27)에 밀착되어 있으므로 스토퍼(27)를 가압한다. 따라서 스토퍼(27)가 결합되어 있는 제2 부재(23)가 스토퍼(27)와 함께 이동한다. If it is necessary to adjust the position (distance) in which the sensing wire 15 is disposed more precisely, that is, if it is necessary to raise or lower the height, the adjusting section 25 of the distance adjusting member 11 is rotated. Then, the adjuster 25 presses the stopper 27 because the tip thereof is in close contact with the stopper 27. Therefore, the second member 23 to which the stopper 27 is coupled moves together with the stopper 27.

그러므로 제2 부재(23)에 결합되어 있는 진동감지부(13)의 위치가 이동된다. 진동감지부(13)의 위치가 변함에 따라 감지와이어(15)의 위치도 이동될 수 있는 것이다.Therefore, the position of the vibration sensing unit 13 coupled to the second member 23 is moved. As the position of the vibration sensing unit 13 changes, the position of the sensing wire 15 may also be moved.

계속해서 구동부(3)의 작동으로 인하여 겐트리(5)가 이동하고, 이에 따라 슬 릿노즐(7)이 기판(G)의 상부면을 따라 이동한다. 그리고 슬릿노즐(7)은 기판(G)에 감광액 등의 약액을 균일하게 도포한다. Subsequently, the gantry 5 moves due to the operation of the driving unit 3, and the slit nozzle 7 moves along the upper surface of the substrate G. And the slit nozzle 7 apply | coats chemical | medical solution, such as a photosensitive liquid, on the board | substrate G uniformly.

이때 감지와이어(15)도 슬릿노즐(7)과 함께 기판(G)의 위쪽면을 따라 이동한다. 감지와이어(15)가 기판(G)의 상부면을 따라 이동하는 과정에서 이물질과 접촉하게 되면 진동이 발생한다. At this time, the sensing wire 15 also moves along the upper surface of the substrate G together with the slit nozzle 7. When the sensing wire 15 comes into contact with foreign matter in the process of moving along the upper surface of the substrate G, vibration occurs.

감지와이어(15)에 의하여 발생된 진동은, 진동감지부(13)에 의하여 센싱되고 컨트롤러에 센싱된 신호가 전달된다. 그러면 컨트롤러는 기판의 처리 작업을 중단시키는 등의 적절한 제어를 수행한다. 따라서 슬릿노즐(7)이 깨진 기판 조각 등의 이물질과 부딪히는 것을 막을 수 있다. 그러므로 슬릿노즐(7)이 파손되거나 손상되지 않게 된다.The vibration generated by the sensing wire 15 is sensed by the vibration sensing unit 13 and a signal sensed by the controller is transmitted. The controller then performs appropriate control, such as interrupting processing of the substrate. Therefore, the slit nozzle 7 can be prevented from colliding with foreign substances such as broken substrate pieces. Therefore, the slit nozzle 7 is not broken or damaged.

이러한 본 발명의 실시 예의 구조는 감지와이어(15)를 이용하기 때문에 기존에 비하여 아주 미세한 진동까지 감지할 수 있으며, 이러한 미세한 진동을 감지함으로써 슬릿노즐(7)이 파손되는 것을 매우 효과적으로 방지할 수 있다. Since the structure of the embodiment of the present invention uses the sensing wire 15, it is possible to detect even minute vibrations as compared to the conventional one, and by detecting such minute vibrations, the slit nozzle 7 can be effectively prevented from being damaged. .

또한, 감지와이어(15)는 제작과 설치가 용이하여 작업성이 우수하므로 생산성을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 제조 비용을 줄일 수 있는 것이다.In addition, since the sensing wire 15 is easy to manufacture and install, the workability is excellent, thereby improving productivity as well as reducing manufacturing costs.

도 1은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 슬릿코터를 도시한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic diagram illustrating a slit coater for explaining an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 주요부를 도시한 도면이다.2 is a view showing the main portion to explain an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 이물질을 감지하는 감지와이어의 거리를 조절할 수 있는 거리 조정부재를 설명하기 위한 도면이다. 3 is a view for explaining a distance adjusting member that can adjust the distance of the sensing wire for detecting the foreign matter in order to explain an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 이물질을 감지하는 줄을 결합관계를 상세하게 나타낸 도면이다.Figure 4 is a view showing in detail the coupling relationship of the line for detecting the foreign matter in order to explain the embodiment of the present invention.

Claims (6)

베이스;Base; 상기 베이스에 설치되는 구동부;A driving unit installed in the base; 상기 구동부의 구동에 의하여 선형적으로 이동하는 겐트리;A gantry linearly moved by driving of the driving unit; 상기 겐트리에 설치되어 기판에 약액을 도포하는 노즐;A nozzle installed in the gantry to apply a chemical to the substrate; 상기 겐트리 또는 노즐 측에 결합되어 장력을 이용하여 상기 기판 상의 이물질을 감지하는 이물질 감지수단을 포함하며,It is coupled to the gantry or the nozzle side includes a foreign matter detection means for detecting the foreign matter on the substrate using a tension, 상기 이물질 감지수단은The foreign matter detection means 상기 겐트리 또는 노즐 측에 결합되며 진동을 감지하는 진동감지부,A vibration sensing unit coupled to the gantry or nozzle side to detect vibration; 상기 진동감지부 양단에 연결되며 장력을 제공하는 감지와이어,A sensing wire connected to both ends of the vibration sensing unit and providing tension; 상기 진동감지부에 상기 감지와이어를 고정시키기 위한 고정부,A fixing part for fixing the sensing wire to the vibration detecting part; 을 포함하는 슬릿코터.Slit coater comprising a. 삭제delete 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 감지와이어는The sensing wire 낚시줄 또는 합성수지재로 이루어지는 섬유 또는 와이어 중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 슬릿코터.Slit coater, characterized in that any one of a fiber or a wire made of a fishing line or synthetic resin material. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 슬릿코터는 The slit coater 상, 하 방향으로 상기 진동감지부의 거리를 조절할 수 있는 거리 조정부재를 더 포함하는 슬릿코터.Slit coater further comprises a distance adjusting member that can adjust the distance of the vibration detecting unit in the up and down directions. 청구항 4에 있어서,The method according to claim 4, 상기 거리 조정부재는The distance adjusting member 상기 겐트리 측에 결합되는 제1 부재;A first member coupled to the gantry side; 상기 제1 부재에 결합되어 상대 이동하며 상기 진동감지부가 결합되는 제2 부재;A second member coupled to the first member to move relative to the first member; 상기 제1 부재에 결합되는 거리 조절부;A distance adjuster coupled to the first member; 상기 제2 부재에 결합되며 상기 거리 조절부의 이동을 제한하는 스톱퍼;A stopper coupled to the second member to limit movement of the distance adjuster; 를 포함하는 슬릿코터. Slit coater comprising a. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 고정부는The fixing part 상기 감지와이어가 감겨질 수 있는 볼트들,Bolts on which the sensing wire can be wound, 상기 볼트들이 고정되는 고정홈들이 제공되고 상기 진동감지부들에 결합되는 볼트 지지부재들,Bolt support members provided with fixing grooves to which the bolts are fixed and coupled to the vibration sensing units, 을 더 포함하는 슬릿코터.Slit coater comprising more.
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