KR101054910B1 - 2차원 이동이 가능한 광학 벤치 및 이를 이용한 광 주사 장치 - Google Patents

2차원 이동이 가능한 광학 벤치 및 이를 이용한 광 주사 장치 Download PDF

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Abstract

광을 수신하여 광 주사 대상으로 송신하기 위한 광 주사 소자를 장착하기 위한 광학 벤치가 개시된다. 본 발명에 따른 광학 벤치는, 광섬유 콜리메이터(collimator)를 장착하기 위한 광섬유 콜리메이터 장착부, 제1 렌즈를 장착하기 위한 제1 렌즈 장착 영역을 포함하며 제1 렌즈 장착 영역을 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동부, 제2 렌즈를 장착하기 위한 제2 렌즈 장착 영역을 포함하며 제2 렌즈 장착 영역을 수직 방향으로 이동시키는 수직 이동부, 수평 이동부 및 수직 이동부의 구동에 필요한 전압을 공급하는 전압부 및 광섬유 콜리메이터 장착부, 수평 이동부, 수직 이동부 및 전압부를 장착하는 인쇄 회로 기판을 포함한다.
광학 벤치, 렌즈, 수평 방향, 수직 방향, 광 주사 각도

Description

2차원 이동이 가능한 광학 벤치 및 이를 이용한 광 주사 장치{Optical bench for moving 2-dimension and light scanning apparatus using the same}
본 발명은 2차원 이동이 가능한 광학 벤치 및 이를 이용한 광 주사 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 수평 방향 및 수직 방향으로 이동하는 이동부를 포함하는 광학 벤치 및 이를 이용한 광 주사 장치에 관한 것이다.
최근 미세 영역에서의 정교한 MEMS(MicroElectroMechanicalSystem) 공정을 이용하여 제조된 초소형 광학 장치가 개발되고 있다. 이 같이, 개발되고 있는 초소형 광학 장치 중에서도, 광 주사 장치는 질병을 진단하기 위한 차세대 생체 영상 기술의 핵심 장치로 주목받고 있다. 따라서, 광 주사 장치를 소형화하여 소비 전력 및 제조 비용을 감소시키고, 정확한 측정 기능을 구현하기 위해 그와 관련된 연구가 활발히 진행되고 있다.
한편, 종래 광 주사 장치는 광원에서 출력된 광을 반사시켜 광 주사 대상에 주사하기 위한 미세 거울을 포함한다. 이 경우, 미세 거울은 2차원 이동이 가능한 것으로, 2차원 이동을 통해 광을 반사시켜 광 주사 대상에 주사하였다. 이에 따라, 미세 거울을 통해 반사된 광은 그 진행 방향이 직진 방향에서 측 방향으로 변화되는 것으로, 광 주사 장치는 측면을 통해서 광을 주사한다. 이로 인해, 광 주사 장치와 일직선 상, 즉 전면에 위치한 광 조사 대상에 광을 주사하기 위해서는 추가적인 미세 거울이 필요되나, 이는 광 주사 장치의 소형화에 한계를 가져다주는 문제점이 있다.
또한, 광 주사 장치에 이용되는 미세 거울은, 그 크기가 비교적 크고, 높은 전류에 의해 구동된다. 따라서, 소형화 및 낮은 구동 전류를 요하는 생체 영상 기술에 적용하기에 어려움이 있으며, 이로 인해 광 주사 장치를 적용할 수 있는 기술 분야가 제한되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 수평 방향 및 수직 방향으로 이동하는 이동부를 포함함으로써, 각 이동부 상에 장착되는 렌즈를 통과하는 광선의 방향을 변화시켜 광 주사 각도를 변경시킬 수 있으며 소형화가 가능한 광학 벤치 및 이를 이용한 광 주사 장치를 제공하기 위한 것이다.
이상과 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 광학 벤치는, 광을 수신하여 광 주사 대상으로 송신하기 위한 광 주사 소자를 장착하기 위한 것으로, 광섬유 콜리메이터(collimator)를 장착하기 위한 광섬유 콜리메이터 장착부, 제1 렌즈를 장착하기 위한 제1 렌즈 장착 영역을 포함하며, 상기 제1 렌즈 장착 영역을 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동부, 제2 렌즈를 장착하기 위한 제2 렌즈 장착 영역을 포함하며, 상기 제2 렌즈 장착 영역을 수직 방향으로 이동시키는 수직 이동부, 상기 수평 이동부 및 상기 수직 이동부의 구동에 필요한 전압을 공급하는 전압부 및, 상기 광섬유 콜리메이터 장착부, 상기 수평 이동부, 상기 수직 이동부 및 상기 전압부를 장착하는 인쇄 회로 기판을 포함한다.
본 광학 벤치에서, 상기 수평 이동부는 상기 제1 렌즈 장착 영역의 양 측에 고정되는 제1 콤(comb) 구조부 및, 상기 제1 콤 구조부와 분리되어 서로 맞물리는 형태를 갖는 제2 콤 구조부를 포함한다. 이 경우, 상기 제1 콤 구조부는 상기 전압 부를 통해 상기 제2 콤 구조부와 상이한 전압이 공급되면, 상기 제2 콤 구조부와의 사이에 발생하는 커패시턴스 변화에 의해 수평 방향으로 이동할 수 있게 된다.
또한, 본 광학 벤치에서, 상기 수직 이동부는 상기 제2 렌즈 장착 영역의 양 측에 고정되는 제1 콤 구조부 및, 상기 제1 콤 구조부와 분리되어 서로 맞물리는 형태를 갖는 제2 콤 구조부를 포함한다. 이 경우, 상기 제1 콤 구조부는 상기 전압부를 통해 상기 제2 콤 구조부와 상이한 전압이 공급되면, 상기 제2 콤 구조부와의 사이에 발생하는 커패시턴스 변화에 의해 수직 방향으로 이동할 수 있게 된다.
또한, 본 광학 벤치는, 대물 렌즈를 장착하기 위한 대물 렌즈 장착 영역을 포함하는 대물 렌즈 장착부를 더 포함할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시 예에 따른 광학 벤치를 이용한 광 주사 장치는, 광섬유 콜리메이터 장착부, 제1 렌즈 장착 영역을 포함하며 상기 제1 렌즈 장착 영역을 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동부, 제2 렌즈 장착 영역을 포함하며 상기 제2 렌즈 장착 영역을 수직 방향으로 이동시키는 수직 이동부 및 대물렌즈 장착 영역을 포함하는 대물 렌즈 장착부를 포함하는 광학 벤치, 상기 광섬유 콜리메이터 장착부 상에 장착되며, 외부 광원으로부터 전달된 광을 평행한 형태의 광선으로 변환시키는 광섬유 콜리메이터, 상기 수평 이동부의 제1 렌즈 장착 영역 상에 장착되어 수평 방향으로 이동 가능하며, 상기 수평 방향 이동에 따라 상기 광섬유 콜리메이터를 통해 변환된 광선의 집속 방향을 변화시키는 제1 렌즈, 상기 수직 이동부의 제2 렌즈 장착 영역 상에 장착되어 수직 방향으로 이동 가능하며, 상기 수직 방향 이동에 따라 상기 제1 렌즈를 통해 집속된 광선의 집속 방향을 변화시키는 제2 렌즈 및, 상기 대물 렌즈 장착부 상에 장착되며, 상기 제2 렌즈를 통해 전달된 광을 집속하여 광 주사 대상에 주사하는 대물 렌즈를 포함한다.
상기 수평 이동부는 상기 제1 렌즈 장착 영역의 양 측에 고정되는 제1 콤(comb) 구조부 및, 상기 제1 콤 구조부와 분리되어 서로 맞물리는 형태를 갖는 제2 콤 구조부를 포함한다. 이 경우, 상기 제1 콤 구조부는 상기 전압부를 통해 상기 제2 콤 구조부와 상이한 전압이 공급되면, 상기 제2 콤 구조부와의 사이에서 발생하는 커패시턴스 변화에 의해 수평 방향으로 이동할 수 있게 된다.
또한, 상기 수직 이동부는 상기 제2 렌즈 장착 영역의 양 측에 고정되는 제1 콤 구조부 및, 상기 제1 콤 구조부와 분리되어 서로 맞물리는 형태를 갖는 제2 콤 구조부를 포함한다. 이 경우, 상기 제1 콤 구조부는 상기 전압부를 통해 상기 제2 콤 구조부와 상이한 전압이 공급되면, 상기 제2 콤 구조부와의 사이에서 발생하는 커패시턴스 변화에 의해 수직 방향으로 이동할 수 있게 된다.
본 발명에 따르면, 광학 벤치에 수평 방향 및 수직 방향으로 이동하는 이동부를 포함함으로써, 각 이동부 상에 장착되는 렌즈를 통과하는 광선의 방향을 변화시킬 수 있게 된다. 이를 통해 광학 벤치를 이용한 광 주사 장치에서 주사되는 광 주사 각도를 변경시켜 광 주사 대상의 전면부 및 측면부 상에 광을 주사할 수 있게 된다. 따라서, 광 주사 대상의 전면부 및 측면부 상에 광을 주사하기 위해 별도의 미세 거울을 채용할 필요가 없게 되어, 광학 벤치 및 광 주사 장치의 소형화 및 저전력화를 달성할 수 있게 된다.
또한, 광학 벤치 및 광 주사 장치가 소형화 및 저전력화됨에 따라, 질병을 진단하기 위한 차세대 생체 영상 기술 등과 같이 상기 장치의 적용이 가능한 기술 분야를 확장시킬 수 있게 된다.
이하에서는, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 보다 자세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 광학 벤치를 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하면, 본 광학 벤치(100)는 인쇄 회로 기판(110), 광섬유 장착부(110), 수평 이동부(130), 수직 이동부(140), 대물 렌즈 장착부(150) 및 전압부(160)를 포함한다.
인쇄 회로 기판(110)은 광섬유 콜리메이터 장착부(120), 수평 이동부(130) , 수직 이동부(140) 및 대물 렌즈(150)를 장착하기 위한 것으로, 상기 각 구성 요소(120, 130, 140, 150)에 대한 지지 기판이 될 수 있다. 또한, 인쇄 회로 기판(110)은 전압부(150)와 연결되어 그 상부에 장착된 각 구성 요소, 특히, 수평 이동부(130) 및 수직 이동부(140)를 구동하기 위한 전압을 제공받는다.
광섬유 콜리메이터 장착부(120)는 광섬유 콜리메이터(미도시)를 장착하기 위한 광섬유 콜리메이터 장착 영역(111)을 포함한다. 이 경우, 광섬유 콜리메이터 장착 영역(110)에 장착되는 광섬유 콜리메이터는 광섬유와 콜리메이터 렌즈가 일체형으로 제조된 구조를 갖거나, 광섬유에 별도의 콜리메이터 렌즈를 연결한 구조를 가질 수 있다. 또한, 광섬유 콜리메이터는 외부 광원에서 출력된 광이 광섬유를 통해 전송되면, 이 광을 평행한 형태의 광선으로 출력하는 기능을 한다.
수평 이동부(130)는 광섬유 콜리메이터 장착부(120)의 일 측에 이격되어 위치한다. 이 수평 이동부(130)는 제1 렌즈(미도시)를 장착하기 위한 제1 렌즈 장착 영역(131)을 포함하며, 제1 렌즈 장착 영역(131)을 수평 방향으로 이동시키기 위한 구조를 갖는다. 즉, 수평 이동부(130)는 수평 방향 이동을 통해 제1 렌즈 장착 영역(131) 상에 장착된 제1 렌즈를 수평 방향으로 이동시킬 수 있게 된다.
수직 이동부(140)는 수평 이동부(130)의 일 측에 이격되어 위치한다. 이 수직 이동부(140)는 제2 렌즈(미도시)를 장착하기 위한 제2 렌즈 장착 영역(141)을 포함하며, 수직 방향으로 이동할 수 있다. 즉, 수직 이동부(140)는 수직 방향 이동을 통해 제2 렌즈 장착 영역(141) 상에 장착된 제2 렌즈를 수직 방향으로 이동시킬 수 있게 된다.
대물 렌즈 장착부(150)는 수직 이동부(140)의 일 측에 이격되어 위치하며, 대물 렌즈(미도시)를 장착하기 위한 대물 렌즈 장착 영역(161)을 포함한다.
전압부(160)는 광학 벤치(100)의 구동에 필요한 전압을 공급한다. 구체적으로, 광섬유 콜리메이터 장착부(120), 수평 이동부(130) 및 수직 이동부(140) 사이에 위치한 인쇄 회로 기판(110)에 전압을 공급함으로써, 인쇄 회로 기판(110)을 통해 수평 이동부(130) 및 수직 이동부(140)에 전압을 공급할 수 있게 된다. 이에 따라, 광학 벤치(100)는 수평 이동부(130)를 수평 방향으로 이동시키고, 수직 이동부(140)를 수직 방향으로 이동시킴으로써, 그 상부에 장착될 제1 렌즈 및 제2 렌즈의 2차원 이동을 가능하게 한다.
한편, 도 1에 도시된 광학 벤치(100)는 MEMS(Micro Electro Mechanical System)를 이용한 웨이퍼 레벨 공정을 통해 제조될 수 있다. 구체적으로, 실리콘(Silicon)-온(On)-인슐레이터(Insulator) 기판(이하, 'SIO 기판'이라 함)을 마련하여 세척한 후, 양 표면 상에 열 산화 처리하여 산화막(예를 들어, SiO2)을 형성한다. 그리고, 광학 벤치(100) 제조를 위해 미리 제조된 마스크를 이용하여 산화막이 형성된 SIO 기판을 노광시킨 후, 식각 과정을 거쳐 SIO 기판 상에 패턴을 형성하게 된다. 이 같은 공정을 통해 SIO 기판 상에 광섬유 콜리메이터 장착부(120), 수평 이동부(130), 수평 이동부(140) 및 대물 렌즈 장착부(150) 각각에 대한 패턴을 형성하여 광학 벤치(100)를 제조할 수 있게 된다.
또한, 도 1에서는 광학 벤치(100)가 대물 렌즈 장착부(150)를 포함하는 것으로 도시 및 설명하였으나, 대물 렌즈 장착부(150)의 구성은 광학 벤치(100)에 포함되어 있지 않을 수도 있다. 즉, 대물 렌즈가 광학 벤치(100)에 장착되지 않고 외부에 설치될 수 있으므로, 대물 렌즈 장착부(150)의 구성은 선택적으로 적용할 수 있다.
도 2a 및 도 2b는 도 1에 도시된 광학 벤치의 수평 이동부를 나타내는 도면이다. 도 2a를 참조하면, 수평 이동부(130)는 제1 렌즈 장착 영역(131), 제1 콤 구조부(132a, 132b) 및 제2 콤 구조부(133a, 133b)를 포함한다.
구체적으로, 제1 렌즈 장착 영역(131)은 절연 물질로 이루어져 있으며, 그 상부 영역에 제1 렌즈(미도시)가 장착될 수 있다.
제1 콤 구조부(132a, 132b)는 제1 렌즈 장착 영역(131)의 양 측에 고정된 형태로 연결되는 것으로, 제1 렌즈 장착 영역(131)과 일체형이 될 수 있다. 이 경우, 제1 렌즈 장착 영역(131)과 제1 콤 구조부(132a, 132b)는 이동 가능한 구조를 갖는다.
또한, 제2 콤 구조부(133a, 133b)는 인쇄 회로 기판(110) 상에 고정되어 이동 불가능한 구조를 가지며, 두 개의 제1 콤 구조부(132a, 132b) 각각과 서로 맞물리는 형태를 갖는다. 구체적으로, 제1 콤 구조부(132a) 및 제1 콤 구조부(132b)의 빗살 사이에 제2 콤 구조부(133a) 및 제2 콤 구조부(133b) 각각의 빗살이 위치하도록 서로 맞물리는 형태를 갖는다.
한편, 두 개의 제1 콤 구조부(132a, 132b)와 두 개의 제2 콤 구조부(133a, 133b)는 각각 인쇄 회로 기판(110)에 전기적으로 연결되어, 인쇄 회로 기판(110)을 통해 전압을 제공받는다. 이 경우, 제1 렌즈가 위치하는 제1 렌즈 장착 영역(131)을 수평 방향으로 이동하고자 할 경우, 인쇄 회로 기판(110)을 통해 제1 콤 구조부(132a, 132b)와 제2 콤 구조부(133a, 133b)에 상이한 전압을 제공할 수 있다.
구체적으로, 제1 콤 구조부(132a)와 제2 콤 구조부(133a) 세트와, 그리고 제1 콤 구조부(132b)와 제2 콤 구조부(133b) 세트에 전압차를 두어 전압을 공급하게 되면, 각각의 제1 콤 구조부와 제2 콤 구조부 사이에 커패시턴스가 변화하게 된다.
예를 들어, 제1 콤 구조부(132a)와 제2 콤 구조부(133a) 세트에 전압차를 크게 하고, 제1 콤 구조부(132b)와 제2 콤 구조부(133b) 세트에 전압차를 작게 하면, 제1 콤 구조부(132a)가 제2 콤 구조부(133a) 방향으로 수평 이동하게 된다.
반대로, 제1 콤 구조부(132b)와 제2 콤 구조부(133b) 세트에 전압차를 크게 하고, 제1 콤 구조부(132a)와 제2 콤 구조부(133a) 세트에 전압차를 작게 하면, 제1 콤 구조부(132b)가 제2 콤 구조부(133b) 방향으로 수평 이동하게 된다. 이 같은 동작은 전압차에 의해 각 제1 콤 구조부와 제2 콤 구조부 세트의 커패시턴스가 변화하는 것에 의해 이루어진다.
또한, 이 같은 동작에 의해 제1 콤 구조부(132a, 132b)가 좌측 또는 우측의 수평 방향으로 이동함에 따라, 제1 콤 구조부(132a, 132b)와 일체로 형성된 제1 렌즈 장착 영역(131)이 수평 방향으로 이동하게 된다.
한편, 제1 콤 구조부(132a, 132b)의 이동을 구현하기 위해서는, 전압차에 따른 이동 거리를 미리 표준화할 수 있다. 따라서, 원하는 이동 거리가 외부에서 설정되면, 그 이동 거리에 대응되는 전압차를 각 제1 콤 구조부와 제2 콤 구조부 세트에 공급함으로써 제1 렌즈 장착 영역(131)의 이동 거리를 정확히 제어할 수 있게 된다.
도 2b는 도 2a에 도시된 수평 이동부(130)의 일 부분을 주사전자현미경을 이용하여 촬영한 사진이다. 도 2b를 참조하면, 수평 이동부(130)의 일 영역에 제1 렌즈 장착 영역(131)이 위치하며, 제1 렌즈 장착 영역(131)에 고정된 제1 콤 구조부(132b)를 확인할 수 있다. 그리고, 제1 콤 구조부(132b)의 빗살 사이에 맞물리는 형태의 제2 콤 구조부(133b)를 확인할 수 있다.
도 3a 및 도 3b는 도 1에 도시된 광학 벤치의 수직 이동부를 나타내는 도면이다. 도 3a를 참조하면, 수직 이동부(140)는 제2 렌즈 장착 영역(141), 제1 콤 구조부(142a, 142b, 142c, 142d) 및 제2 콤 구조부(144a, 144b, 144c, 144d)를 포함한다.
구체적으로, 제2 렌즈 장착 영역(141)은 절연 물질로 이루어져 있으며, 그 상부 영역에 제2 렌즈(미도시)가 장착될 수 있다.
네 개의 제1 콤 구조부(142a, 142b, 142c, 142d)는 제2 렌즈 장착 영역(141)에 고정되는 형태로 연결되며, 제1 렌즈 장착 영역(131)과 제1 콤 구조부(142a, 142b, 142c, 142d)는 이동 가능한 구조를 갖는다. 이 경우, 제2 렌즈 장착 영역(141)의 양 측에는 제2 렌즈 장착 영역(141)과 제1 콤 구조부(142a, 142b, 142c, 142d)가 이동 가능하도록 하는 플렉시블 연결대(145a, 145b)가 연결되어 있다. 이 플렉시블 연결대(145a, 145b)는 휘어짐 특성을 갖는 것으로, 상하 방향으로 휘어지는 것에 의해 제2 렌즈 장착 영역(141)과 제1 콤 구조부(142a, 142b, 142c, 142d)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있게 된다.
또한, 네 개의 제2 콤 구조부(144a, 144b, 144c, 144d)는 수직 이동부(140)의 지지 테두리(143)에 고정되어 이동 불가능한 구조를 갖는다. 도 3a에서와 같이, 네 개의 제2 콤 구조부(144a, 144b, 144c, 144d)는 네 개의 제1 콤 구조부(142a, 142b, 142c, 142d) 각각과 서로 맞물리는 형태를 갖는다.
한편, 네 개의 제1 콤 구조부(142a, 142b, 142c, 142d)와 네 개의 제2 콤 구조부(144a, 144b, 144c, 144d)는 각각 인쇄 회로 기판(110)에 전기적으로 연결되어, 인쇄 회로 기판(110)을 통해 전압을 제공받는다. 이 경우, 제2 렌즈가 위치하는 제2 렌즈 장착 영역(121)을 수평 방향으로 이동하고자 할 경우 인쇄 회로 기판(110)을 통해 제1 콤 구조부(142a, 142b, 142c, 142d)와 제2 콤 구조부(144a, 144b, 144c, 144d)에 상이한 전압을 제공할 수 있다.
구체적으로, 제1 콤 구조부(142a, 142b, 142c, 142d)와 제2 콤 구조부(144a, 144b, 144c, 144d)에 전압차를 두어 전압을 공급하게 되면, 제1 콤 구조부(142a, 142b, 142c, 142d)가 수직 방향으로 이동하게 된다.
예를 들어, 제1 콤 구조부(142a, 142b, 142c, 142d)와 제2 콤 구조부(144a, 144b, 144c, 144d) 사이의 전압차를 기준 전압차보다 크게 하면, 제1 콤 구조부(142a, 142b, 142c, 142d)가 상부 방향으로 이동하게 된다.
반대로, 제1 콤 구조부(142a, 142b, 142c, 142d)와 제2 콤 구조부(144a, 144b, 144c, 144d) 사이의 전압차를 기준 전압보다 작게 하면, 제1 콤 구조부(142a, 142b, 142c, 142d)가 하부 방향으로 수직 이동하게 된다. 이 같은 동작은 전압차에 의해 제1 콤 구조부(142a, 142b, 142c, 142d)와 제2 콤 구조부(144a, 144b, 144c, 144d) 사이의 커패시턴스가 변화하는 것에 의해 이루어진다.
상기와 같은 동작에 의해 제1 콤 구조부(142a, 142b, 142c, 142d)가 상부 또는 하부의 수직 방향으로 이동함에 따라, 제1 콤 구조부(142a, 142b, 142c, 142d)와 연결된 제2 렌즈 장착 영역(141) 역시 수직 방향으로 이동하게 된다.
한편, 제1 콤 구조부(142a, 142b, 142c, 142d)의 이동을 구현하기 위해서는, 전압차에 따른 이동 거리를 미리 표준화할 수 있다. 따라서, 원하는 이동 거리가 외부에서 설정되면, 그 이동 거리에 대응되는 전압차를 제1 콤 구조부(142a, 142b, 142c, 142d)와 제2 콤 구조부(144a, 144b, 144c, 144d) 각각에 공급함으로써 제1 렌즈 장착 영역(131)의 이동을 정확히 제어할 수 있게 된다.
도 3b는 도 3a에 도시된 수직 이동부의 일 부분을 주사전자현미경을 이용하여 촬영한 사진이다. 도 3b를 참조하면, 수직 이동부(140)의 일 영역에 제2 렌즈 장착 영역(141)이 위치하며, 제2 렌즈 장착 영역(141)에 고정된 제1 콤 구조부(142c, 142d)를 확인할 수 있다. 그리고, 제1 콤 구조부(142c, 142d)의 빗살 사이에 맞물리며, 지지 테두리(143)에 연결된 제2 콤 구조부(144c, 144d)를 확인할 수 있다.
또한, 도 3b는 제2 렌즈 장착 영역(141) 및 제1 콤 구조부(142c, 142d)가 하부 방향으로 이동된 상태에서 촬영된 것으로, 제2 렌즈 장착 영역(141)의 일 측에 연결된 플렉시블 연결대(145b)가 휘어져 제2 렌즈 장착 영역(141) 및 제1 콤 구조부(142c, 142d)가 하부 방향으로 이동된 것을 확인할 수 있다.
도 4는 도 1에 도시된 광학 벤치를 이용한 광 주사 장치를 나타내는 도면이다. 도 4를 참조하면, 광 주사 장치(200)는 광학 벤치(100) 상에 장착된 광섬유 콜리메이터(210), 제1 렌즈(220), 제2 렌즈(230) 및 대물 렌즈(240)를 포함한다.
광섬유 콜리메이터(210)는 광학 벤치(100)의 광섬유 콜리메이터 장착부(120) 상에 장착되며, 외부 광원으로부터 전달된 광을 평행한 형태의 광선으로 변환한다.
제1 렌즈(220)는 수평 이동부(130)의 제1 렌즈 장착 영역(131) 상에 장착되며, 광섬유 콜리메이터(210)를 통해 평행한 형태로 변환된 광선을 집속하는 기능을 한다. 이 경우, 제1 렌즈(220)는 제1 렌즈 장착 영역(131)의 수평 방향 이동에 따라 그 위치가 변경되며, 이로 인해 제1 렌즈(220)를 통과하는 광선의 집속 방향 역시 변경될 수 있다. 구체적으로, 제1 렌즈 장착 영역(131)이 좌측 방향으로 이동하게 되면, 그 상부에 장착된 제1 렌즈(220) 역시 좌측 방향으로 이동할 수 있게 된다. 이에 따라, 제1 렌즈(220)를 통과하는 광선의 집속 방향이 좌측 방향으로 변경될 수 있게 된다.
제2 렌즈(230)는 수직 이동부(140)의 제2 렌즈 장착 영역(141) 상에 장착되며, 제1 렌즈(240)를 통해 전달된 광선을 평행한 형태로 집속하는 기능을 한다. 이 경우, 제2 렌즈(220)는 제2 렌즈 장착 영역(141)의 수직 방향 이동에 따라 그 위치가 변경되며, 이로 인해 제2 렌즈(230)를 통과하는 광선의 집속 방향 역시 변경될 수 있다. 구체적으로, 제2 렌즈 장착 영역(141)이 상부 방향으로 이동하게 되면, 그 상부에 장착된 제2 렌즈(230)를 통과하는 광선의 집속 방향이 상부 방향으로 변경될 수 있게 된다. 이에 따라, 제1 렌즈(220) 및 제2 렌즈(230)를 통과하여 평행하게 집속되는 광선의 각도가 변경될 수 있게 된다.
제1 렌즈(220) 및 제2 렌즈(230)로는 적어도 일 면이 볼록한 렌즈가 이용될 수 있으며, 제1 렌즈(220) 및 제2 렌즈(230)의 볼록한 부분이 서로 마주하도록 배치될 수 있다.
한편, 수평 이동부(130)의 제1 렌즈 장착 영역(131)과 수직 이동부(140)의 제2 렌즈 장착 영역(141)은 수 ㎟ 내의 넓이를 가지며, 각각의 영역에 장착된 제1 렌즈(220) 및 제2 렌즈(230)는 정밀하게 배치된다. 따라서, 제1 렌즈(220 및 제2 렌즈(230)는 수 ㎟ 내의 공간 내에서 광축을 크게 변형시키지 않으며, 고속의 광 주사가 가능하게 된다.
대물 렌즈(240)는 대물 렌즈 장착 영역(151) 상에 장착되며, 제2 렌즈(230)를 통해 전달된 광선을 집속하여 외부로 주사하는 기능을 한다. 결과적으로, 대물 렌즈(240)는 제1 렌즈(220) 및 제2 렌즈(230)를 통해 각도가 변경된 광선을 집속시켜 주사하게 된다.
상술한 바와 같은 광 주사 장치(200)는, 소형 정밀화된 광학 벤치(100) 상에 광섬유 콜리메이터(210), 제1 렌즈(220), 제2 렌즈(230) 및 대물 렌즈(240)가 장착된 것으로, 3㎜(가로)×7㎜(세로) 이하의 크기를 가질 수 있다. 또한, 소형화에 따라 광 주사 장치(200)는 저전력을 소모할 수 있게 된다.
그리고, 광 주사 장치(200)는 제1 렌즈(220)를 수평 방향으로 이동시키고 및 제2 렌즈(230)를 수직 방향으로 이동시킴으로써, 제1 렌즈(220) 및 제2 렌즈(230)를 통과하는 광선의 각도를 변경시킬 수 있게 된다. 이에 따라, 광 주사 장치(200)를 통해 최종 주사되는 광선의 위치를 조절할 수 있게 된다.
한편, 도 4의 광 주사 장치(200)에서 광섬유 콜리메이터(210), 제1 렌즈(220), 제2 렌즈(230) 및 대물 렌즈(240)는 광학 벤치(100)에서 각각의 장착 영역에 접착제 또는 나사와 같은 도구를 이용하여 장착될 수 있다.
도 5는 도 4에 도시된 광 주사 장치가 장착된 내시경용 카테터를 나타내는 도면이다. 도 5에 도시된 내시경용 카테터(300)는 도 4에 도시된 광 주사 장치(200)를, 광 주사 장치(200)를 보호하기 위한 카테터 튜브(310)에 삽입시킨 구조를 갖는다. 이렇게 제조된 내시경용 카테터(300)를 신체 기관에 삽입하여 촬영함으로써 신체 질병 검사 및 치료에 이용할 수 있게 된다. 이 경우, 광 주사 장치(200)가 3㎜(가로)×7㎜(세로) 이하의 크기를 갖는 것으로, 혈관이나 척추 등과 같이 좁은 신체 기관에 삽입할 수 있게 된다. 따라서, 광 주사 장치(200)를 다양한 기술 분야에 적용할 수 있게 된다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 광 주사 장치의 광 주사 형태를 나타내는 도면이다. 도 6을 참조하면, 광 주사 장치에 입사되는 광은 광섬유 콜리메이터(210), 제1 렌즈(220), 제2 렌즈(230) 및 대물 렌즈(240)를 거쳐 광 조사 대상에 조사된다.
광섬유 콜리메이터(210)에 입사되는 광은 소정의 광폭(w)으로 입사된다. 그리고, 광은 광섬유 콜리메이터(210)를 통해 전송되며, 평행한 형태의 광선으로 변환된다.
제1 렌즈(220)는 광섬유 콜리메이터(210)를 통해 광선을 전달받으며, 이 광선을 집속하여 제2 렌즈(230)에 전달한다. 이 경우, 제1 렌즈(220)와 제2 렌 즈(230) 간의 거리(S1)는 제1 렌즈(220) 및 제2 렌즈(230)의 초점 거리(f)의 2배이다(S1=2f). 그리고, 제2 렌즈(230)와 대물 렌즈(240) 간의 거리(S2)는 제2 렌즈(230)와 대물 렌즈(240)의 초점 거리를 합산한 것이다(S2=f+f0).
이 후, 제2 렌즈(230)는 제1 렌즈(220)를 통해 광선을 전달받으며, 이 광선을 집속하여 대물 렌즈(240)에 전달한다. 이 경우, 제2 렌즈(230)는 수직 방향, 즉, 하부 방향으로 제1 변위(d)만큼 이동하여 위치한다. 이에 따라, 제2 렌즈(230)를 통과하는 광선이 일정 각도(θs) 굴절되어 대물 렌즈(240)에 전달되게 된다.
제2 렌즈(230)의 이동은, 제2 렌즈(230)가 장착되어 있는 제2 렌즈 장착 영역(230)(도 1 및 도 4 참조)을 수직 방향으로 이동시키는 방법을 통해 이루어질 수 있다. 이는, 광 주사 대상에 주사되는 광의 각도를 변경하여 광 주사 영역을 변경시키기 위함이다.
한편, 도 6에 도시된 광 주사 형태에서 제1 렌즈(220), 제2 렌즈(230) 및 대물렌즈(240) 각 면에 있어서 광선의 굴절 각도(θx) 및 광선의 위치(yx)는 다음과 같은 광선 전파 행렬(ray-transfer matrix)을 이용하여 산출할 수 있다.
Figure 112009039035261-pat00001
수학식 1에서, y0는 제1 렌즈(220)의 앞면(0)에서 입사되는 광선의 y방향 위치, θ0는 제1 렌즈(220)의 앞면(0)에서 입사되는 광선의 굴절 각도, f는 제1 렌즈(220)의 초점 거리, y1은 제1 렌즈(220)의 뒷면(1)에서 출사되는 광선의 y방향 위치, θ1은 제1 렌즈(220)의 뒷면(1)에서 출사되는 광선의 굴절 각도이다. 수학식 1을 통해, 제1 렌즈(220)의 뒷면(1)에서 출사되는 광선의 y방향 위치(y1)와 광선의 굴절 각도(θ1)를 산출할 수 있다.
Figure 112009039035261-pat00002
수학식 2에서, s1은 제1 렌즈(220)와 제2 렌즈(230) 간의 거리, y2는 제2 렌즈(230)의 앞면(2)에 입사되는 광선의 y방향 위치, θ2는 제2 렌즈(230)의 앞면(2)에 입사되는 광선의 굴절 각도이다. 수학식 2를 통해, 제2 렌즈(230)의 앞면(2)에입사되는 광선의 y방향 위치(y2)와 광선의 굴절 각도(θ2)를 산출할 수 있다.
Figure 112009039035261-pat00003
수학식 3에서, y3는 제2 렌즈(230)의 뒷면(3)에서 출사되는 광선의 y방향 위치, θ3는 제2 렌즈(230)의 뒷면(2)에서 출사되는 광선의 굴절 각도, 그리고 d는 제2 렌즈(230)의 변위이다. 수학식 3을 통해, 제2 렌즈(230)의 뒷면(3)에서 출사되는 광선의 y방향 위치(y3)와 광선의 굴절 각도(θ3)를 산출할 수 있다.
Figure 112009039035261-pat00004
수학식 4에서, ys는 대물렌즈(240)의 앞면(s)에 입사되는 광선의 y방향 위치, θs는 대물렌즈(240)의 앞면(s)에 입사되는 광선의 굴절 각도이다. 수학식 1 내지 4를 이용하여 정리된 수학식은 다음과 같다.
Figure 112009039035261-pat00005
Figure 112009039035261-pat00006
수학식 5 및 6을 이용할 경우, 도 6에 도시된 광 주사 형태에서의 광선의 굴절 각도(θs)는 제1 렌즈(220)에 입사되는 광선의 y방향 위치(y0) 및 제1 렌즈(220)에 입사되는 광선의 굴절 각도(θ0)가 0이므로, -d/f가 될 수 있다. 또한, 광선의 y 방향 위치(ys) 역시 제1 렌즈(220)에 입사되는 광선의 y방향 위치(y0) 및 제1 렌즈(220)에 입사되는 광선의 굴절 각도(θ0)가 0이므로, d가 될 수 있다.
Figure 112009039035261-pat00007
수학식 7에서, yi는 대물렌즈(240)의 뒷면(i)에서 출사되어 광 조사 대상에 입사되는 광선의 y 방향 위치, θi는 대물렌즈(240)의 뒷면(s)에서 출사되어 광 조사 대상에 입사되는 광선의 굴절 각도, s2는 제2 렌즈(230)와 대물 렌즈(240) 간의 거리, s3는 대물 렌즈(240)와 광 조사 대상 간의 거리이다. 수학식 5 및 6에서 산출된 ys 및 θs를 수학식 7에 대입하여 다음과 같이 정리된 수학식을 도출할 수 있다.
Figure 112009039035261-pat00008
Figure 112009039035261-pat00009
수학식 8 및 9를 이용할 경우, 도 6에 도시된 광 주사 형태에서의 광선의 y 방향 위치(yi)는 -f0d/f가 될 수 있다.
대물 렌즈(240)는 수학식 8 및 9를 통해 산출된 굴절 각도(θi) 및 위치(yi)로 광선을 광 조사 대상에 조사할 수 있게 된다.
상술한 설명에서는 제2 렌즈(230)의 수직 이동에 따라 광 주사 각도가 변경되는 것만을 설명하였으나, 제1 렌즈(220)를 수평 이동시켜 제1 렌즈(220)를 통과하는 광선을 소정 각도 변경시키고, 제2 렌즈(230)를 수직 이동시킴으로써, 광 주사 각도를 2차원으로 이동할 수도 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 광 주사 장치의 광 주사 각도를 측정한 그래프이다. 구체적으로, 도 7은 도 6에 도시된 것과 같은 광 주사 형태에서 렌즈 주사 변위(㎛)에 따른 광 주사 각도(°)를 측정한 그래프이다.
제1 그래프(―)는 렌즈 주사 변위에 따른 대물 렌즈(240)의 광 주사 각도에 대한 이상적인 이론값을 나타내며, 제4 그래프(▲)는 렌즈 주사 변위에 따른 대물 렌즈(240)의 광 주사 각도에 대한 측정값을 나타낸다. 제1 그래프(―)와 제4 그래프(▲)를 비교해보면, 이론값과 측정값 사이에 10% 정도의 오차를 보이는 것으로, 렌즈 주사 변위에 따른 광 주사 각도의 정확성이 우수한 것을 알 수 있다.
그리고, 제2 그래프(◆)는 수평 방향으로 이동하는 제1 렌즈(220)의 렌즈 주사 변위에 따른 광 주사 각도의 측정값이며, 제3 그래프(●)는 수직 방향으로 이동하는 제2 렌즈(230)의 렌즈 주사 변위에 따른 광 주사 각도의 측정값이다. 이 경우, 도 6에는 제1 렌즈(220)의 수평 방향 이동에 대한 예가 도시 및 설명되어 있지 않으나, 제1 렌즈(220)는 제2 렌즈(230)와 동일한 렌즈로 구성되므로, 실질적인 측정 그래프를 90° 회전시키는 경우, 도 7에 도시된 것과 같이 제3 그래프(●)와 유사한 그래프 패턴을 가질 것이다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 광학 벤치를 나타내는 도면,
도 2a 및 도 2b는 도 1에 도시된 광학 벤치의 수평 이동부를 나타내는 도면,
도 3a 및 도 3b는 도 1에 도시된 광학 벤치의 수직 이동부를 나타내는 도면,
도 4는 도 1에 도시된 광학 벤치를 이용한 광 주사 장치를 나타내는 도면,
도 5는 도 4에 도시된 광 주사 장치가 장착된 내시경용 카테터를 나타내는 도면,
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 광 주사 장치의 광 주사 형태를 나타내는 도면, 그리고,
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 광 주사 장치의 광 주사 각도를 측정한 그래프이다.
* <도면의 주요 부분에 대한 부호 설명> *
100: 광학 벤치 110 : 인쇄 회로 기판
120: 광섬유 콜리메이터 장착부 130 : 수평 이동부
140 : 수직 이동부 150 : 대물 렌즈 장착부
160 : 전압부 210 : 광섬유 콜리메이터
220 : 제1 렌즈 230 : 제2 렌즈
240 : 대물 렌즈

Claims (11)

  1. 광을 수신하여 광 주사 대상으로 송신하기 위한 광 주사 소자를 장착하기 위한 광학 벤치에 있어서,
    광섬유 콜리메이터(collimator)를 장착하기 위한 광섬유 콜리메이터 장착부;
    제1 렌즈를 장착하기 위한 제1 렌즈 장착 영역을 포함하며, 상기 제1 렌즈 장착 영역을 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동부;
    제2 렌즈를 장착하기 위한 제2 렌즈 장착 영역을 포함하며, 상기 제2 렌즈 장착 영역을 수직 방향으로 이동시키는 수직 이동부;
    상기 수평 이동부 및 상기 수직 이동부의 구동에 필요한 전압을 공급하는 전압부; 및,
    상기 광섬유 콜리메이터 장착부, 상기 수평 이동부, 상기 수직 이동부 및 상기 전압부를 장착하는 인쇄 회로 기판;을 포함하는 광학 벤치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 수평 이동부는,
    상기 제1 렌즈 장착 영역의 양 측에 고정되는 제1 콤(comb) 구조부; 및,
    상기 제1 콤 구조부와 분리되어 서로 맞물리는 형태를 갖는 제2 콤 구조부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 벤치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 콤 구조부는,
    상기 전압부를 통해 상기 제2 콤 구조부와 상이한 전압이 공급되면, 상기 제2 콤 구조부와의 사이에 발생하는 커패시턴스 변화에 의해 수평 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 광학 벤치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 수직 이동부는,
    상기 제2 렌즈 장착 영역의 양 측에 고정되는 제1 콤 구조부;
    상기 제1 콤 구조부와 분리되어 서로 맞물리는 형태를 갖는 제2 콤 구조부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 벤치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 콤 구조부는,
    상기 전압부를 통해 상기 제2 콤 구조부와 상이한 전압이 공급되면, 상기 제2 콤 구조부와의 사이에 발생하는 커패시턴스 변화에 의해 수직 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 광학 벤치.
  6. 제1항에 있어서,
    대물 렌즈를 장착하기 위한 대물 렌즈 장착 영역을 포함하는 대물 렌즈 장착 부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 벤치.
  7. 광섬유 콜리메이터 장착부, 제1 렌즈 장착 영역을 포함하며 상기 제1 렌즈 장착 영역을 수평 방향으로 이동시키는 수평 이동부, 제2 렌즈 장착 영역을 포함하며 상기 제2 렌즈 장착 영역을 수직 방향으로 이동시키는 수직 이동부 및 대물렌즈 장착 영역을 포함하는 대물 렌즈 장착부를 포함하는 광학 벤치;
    상기 광섬유 콜리메이터 장착부 상에 장착되며, 외부 광원으로부터 전달된 광을 평행한 형태의 광선으로 변환시키는 광섬유 콜리메이터;
    상기 수평 이동부의 제1 렌즈 장착 영역 상에 장착되어 수평 방향으로 이동 가능하며, 상기 수평 방향 이동에 따라 상기 광섬유 콜리메이터를 통해 변환된 광선의 집속 방향을 변화시키는 제1 렌즈;
    상기 수직 이동부의 제2 렌즈 장착 영역 상에 장착되어 수직 방향으로 이동 가능하며, 상기 수직 방향 이동에 따라 상기 제1 렌즈를 통해 집속된 광선의 집속 방향을 변화시키는 제2 렌즈; 및,
    상기 대물 렌즈 장착부 상에 장착되며, 상기 제2 렌즈를 통해 전달된 광을 집속하여 광 주사 대상에 주사하는 대물렌즈;를 포함하는 광 주사 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 수평 이동부는,
    상기 제1 렌즈 장착 영역의 양 측에 고정되는 제1 콤(comb) 구조부; 및,
    상기 제1 콤 구조부와 분리되어 서로 맞물리는 형태를 갖는 제2 콤 구조부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 주사 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1 콤 구조부는,
    전압부를 통해 상기 제2 콤 구조부와 상이한 전압이 공급되면, 상기 제2 콤 구조부와의 사이에서 발생하는 커패시턴스 변화에 의해 수평 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 광 주사 장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 수직 이동부는,
    상기 제2 렌즈 장착 영역의 양 측에 고정되는 제1 콤 구조부; 및
    상기 제1 콤 구조부와 분리되어 서로 맞물리는 형태를 갖는 제2 콤 구조부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 주사 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제1 콤 구조부는,
    전압부를 통해 상기 제2 콤 구조부와 상이한 전압이 공급되면, 상기 제2 콤 구조부와의 사이에서 발생하는 커패시턴스 변화에 의해 수직 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 광 주사 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004101828A (ja) 2002-09-09 2004-04-02 Nissan Motor Co Ltd 光走査装置
KR20080010752A (ko) * 2006-07-28 2008-01-31 권성훈 마이크로-전자기계 시스템 기반의 광 프로젝션 엔진과 그제조 방법
KR20080084660A (ko) * 2007-03-16 2008-09-19 한국전자통신연구원 광전버스 모듈 및 그 제작방법
KR20080110864A (ko) * 2006-04-25 2008-12-19 인텔 코오퍼레이션 광 송신기로부터 발사된 빔을 조절하기 위한 메커니즘

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004101828A (ja) 2002-09-09 2004-04-02 Nissan Motor Co Ltd 光走査装置
KR20080110864A (ko) * 2006-04-25 2008-12-19 인텔 코오퍼레이션 광 송신기로부터 발사된 빔을 조절하기 위한 메커니즘
KR20080010752A (ko) * 2006-07-28 2008-01-31 권성훈 마이크로-전자기계 시스템 기반의 광 프로젝션 엔진과 그제조 방법
KR20080084660A (ko) * 2007-03-16 2008-09-19 한국전자통신연구원 광전버스 모듈 및 그 제작방법

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