KR101053391B1 - 플라즈마 튜브를 이용한 스트립 온도 측정장치 및 측정방법 - Google Patents
플라즈마 튜브를 이용한 스트립 온도 측정장치 및 측정방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (10)
- 소둔로의 외벽면(109)에 설치되어 스트립(107)의 온도를 상기 스트립(107)과의 접촉없이 측정하는 비접촉식 온도측정부(101);상기 비접촉식 온도측정부(101)가 설치된 부위에서 상기 소둔로 벽(109, 110)을 관통하는 개구부; 및전원이 가해지면 상기 비접촉식 온도측정부(101)와 상기 스트립(107) 사이에 플라즈마 튜브(201)를 형성하는 플라즈마 전극(203, 303)을 포함하는 것을 특징으로 하는 스트립의 온도 측정장치.
- 제1항에 있어서, 상기 플라즈마 전극(203)은,상기 개구부와 연통하도록 상기 소둔로 내벽면(110)에 설치된 것을 특징으로 하는 스트립의 온도 측정장치.
- 제2항에 있어서, 상기 플라즈마 튜브(201)는 상기 플라즈마 전극(203) 및 상기 소둔로 내의 스트립(107)을 각각 다른 전극으로 사용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 스트립의 온도 측정장치.
- 제3항에 있어서, 상기 플라즈마 튜브(201)는 원통형인 것을 특징으로 하는 스트립의 온도 측정장치.
- 제1항에 있어서, 상기 플라즈마 전극(303)은 중심이 같고 직경이 작은 내측 원통형 메쉬 전극(303a)과 직경이 큰 외측 원통형 메쉬 전극(303b)으로 구성된 원통형 메쉬 전극이며,상기 내측 원통형 메쉬 전극(303a)과 상기 외측 원통형 메쉬 전극(303b)이 각각 다른 전극으로 사용되는 것을 특징으로 하는 스트립의 온도 측정장치.
- 비접촉식 온도측정부(101)를 이용하여 소둔로 내부의 스트립(107)의 온도를 측정하는 방법에 있어서,상기 소둔로 내부에 설치된 플라즈마 전극(203)에 전원을 가하여 상기 비접촉식 온도측정부(101)로부터 상기 스트립(107)까지 플라즈마 튜브(201)를 발생시키는 단계; 및상기 소둔로 벽을 관통하는 개구부 및 상기 개구부와 연통하는 상기 플라즈마 튜브(201)를 통해 상기 스트립(107)의 온도를 측정하는 온도측정 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 스트립의 온도 측정방법.
- 제6항에 있어서, 상기 온도측정 단계는 온도 측정시 플라즈마 주파수를 측정 주파수 대역의 최대값 이상이 되도록 설정하는 것을 특징으로 하는 스트립의 온도 측정방법.
- 제6항에 있어서, 상기 전원은 AC 전원, DC 전원, RF 전원 또는 마이크로웨이브 전원 중 하나인 것을 특징으로 하는 스트립의 온도 측정방법.
- 제8항에 있어서, 상기 전원이 AC 전원 또는 DC 전원인 경우에는 상기 전원의 전압 또는 주파수 중 1 이상을 제어하여 플라즈마 전자밀도를 조절하는 것을 특징으로 하는 스트립의 온도 측정방법.
- 제8항에 있어서, 상기 전원이 RF 전원인 경우에는 상기 전원의 입력 파워(Input Power)를 제어하여 플라즈마 전자밀도를 조절하는 것을 특징으로 하는 스트립의 온도 측정방법.
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