KR101050075B1 - Tray diverter in test handler - Google Patents

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Abstract

본 발명은 피시험용 부품의 로딩이 완료된 빈 고객트레이에 부품이 남아 있으면 이를 털어버리기 위한 테스트 핸들러의 트레이 디버터에 관한 것으로, 본 발명의 테스트 핸들러의 트레이 디버터는 터언부재(20)와; 터언부재(20)의 양면 중 어느 한 면에 설치되어 복수개의 트레이(T)를 적재하는 스택커(30)와; 터언부재(20)의 양면 중 다른 한 면에 설치되어 트레이(T)를 그립하거나 해제하는 그립퍼(40)와; 터언부재(20)와 연결되어 스택커(30)와 그립퍼(40)가 연동되어 회전되도록 터언부재(20)를 회전시키는 터언기구(50)로 구성됨을 특징으로 한다. The present invention relates to a tray diverter of a test handler for shaking off a part left in an empty customer tray in which a part to be tested has been loaded. The tray diverter of the test handler of the present invention includes a turn member (20); A stacker 30 installed on one surface of both sides of the turn member 20 and stacking the plurality of trays T; A gripper 40 installed on the other side of both sides of the turn member 20 to grip or release the tray T; It is characterized by consisting of a turn mechanism 50 is connected to the turn member 20 to rotate the turn member 20 so that the stacker 30 and the gripper 40 is rotated in conjunction.

테스트, 핸들러, 트레이, 디버터, 회전, 그립 Test, Handler, Tray, Diverter, Rotate, Grip

Description

테스트 핸들러의 트레이 디버터{Tray diverter of test handler}Tray diverter of test handler

본 발명은 테스트 핸들러의 트레이 디버터에 관한 것으로, 더욱 상게하게는 피시험용 부품의 로딩이 완료된 빈 고객트레이에 부품이 남아 있으면 이를 털어버리기 위한 테스트 핸들러의 트레이 디버터에 관한 것이다.The present invention relates to a tray diverter of a test handler, and more particularly, to a tray diverter of a test handler to shake off a part left in an empty customer tray in which a part to be tested has been loaded.

테스트 핸들러는 제조가 완료된 많은 양의 부품들을 동시에 테스트하여 테스트 작업의 속도를 개선시키기 위한 것이다. 많은 량이 부품들을 동시에 테스트하기 위해 고객트레이(이하, '트레이'로 약칭함)가 사용되며, 트레이는 테스트할 부품들이나 테스트가 완료된 부품을 수납하기 위해 사용된다. 테스트되거나 테스트될 부품이 수납된 트레이나 빈 트레이 등을 이송시키기 위해 테스트 핸들러에 트레이 로딩 및 언로딩장치가 구비된다. Test handlers are designed to improve the speed of testing by simultaneously testing large quantities of finished parts. A large number of customer trays (hereinafter abbreviated as 'trays') are used to test many parts simultaneously, and trays are used to store the parts to be tested or the parts that have been tested. A tray loading and unloading device is provided in a test handler to transfer a tray or an empty tray in which a component to be tested or tested is stored.

트레이를 이송시키기 위한 종래의 트레이 로딩 및 언로딩장치를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Referring to the accompanying drawings, a conventional tray loading and unloading apparatus for transferring a tray is as follows.

도 1은 종래의 트레이 로딩 및 언로딩장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도이다. 1 is a view schematically showing the configuration of a conventional tray loading and unloading apparatus.

도 1에서와 같이 종래의 트레이 로딩 및 언로딩장치는 복수개의 스택 커(stacker)(1,2,3), 로딩 플레이트(loading plate)(4), 언로딩 플레이트(unloading plate)(5) 및 복수개의 트레이 트랜스퍼(tray transfer)(6,7)로 구성된다. As shown in FIG. 1, a conventional tray loading and unloading apparatus includes a plurality of stackers 1, 2, 3, a loading plate 4, an unloading plate 5, and It consists of a plurality of tray transfers 6, 7.

복수개의 스택커(stacker)(1,2,3)는 테스트될 부품이 수납된 트레이(T)를 적재하는 복수개의 스택커(1), 빈 트레이(T)를 적재하는 복수개의 스택커(2) 및 테스트된 부품을 수납하는 트레이(T)를 적재하는 스택커(3)로 이루어진다. 로딩 플레이트(4)는 테스트될 부품이 수납된 트레이(T)가 위치되며, 언로딩 플레이트(5)는 테스트된 부품이 테스트 결과에 따라 분류되어 수납될 트레이(T)가 위치하게 된다. The plurality of stackers 1, 2 and 3 may include a plurality of stackers 1 for loading a tray T in which parts to be tested are stored, and a plurality of stackers 2 for loading an empty tray T. ) And a stacker (3) for loading a tray (T) for storing the tested parts. The loading plate 4 has a tray T in which the part to be tested is stored, and the unloading plate 5 has a tray T in which the tested part is classified according to the test result.

복수개의 트레이 트랜스퍼(6,7) 중 하나의 트레이 트랜스퍼(6)는 수직이나 수평방향(화살표 방향)으로 이동되어 복수개의 스택커(1)에 적재된 트레이(T)를 로딩 플레이트(4)로 이송한다. 로딩 플레이트(4)로 이송된 트레이(T)에 수납된 부품들이 테스트 핸들러의 테스트 위치로 모두 이송되면 트레이 트랜스퍼(6)는 빈 트레이(T)를 적재하는 복수개의 스택커(2)로 이송한다. 복수개의 트레이 트랜스퍼(6,7) 중 다른 하나의 트레이 트랜스퍼(7)는 수직이나 수평방향(화살표 방향)으로 이동되어 스택커(2)에 적재된 빈 트레이(T)를 언로딩 플레이트(5)로 이송한다. 언로딩 플레이트(T)로 이송된 빈 트레이(T)에 테스트된 부품들이 수납되어 채워지면 트레이 트랜스퍼(7)는 트레이(T)를 복수개의 스택커(3) 중 하나로 이송하여 적재한다. 이러한 복수개의 트레이 트랜스퍼(6,7)의 연속적인 동작을 통해 트레이(T)는 복수개의 스택커(1,2,3), 로딩 플레이트(4)와 언로딩 플레이트(5)로 이송된다. One tray transfer 6 of the plurality of tray transfers 6 and 7 is moved in the vertical or horizontal direction (arrow direction) to transfer the tray T loaded on the plurality of stackers 1 to the loading plate 4. Transfer. When all of the parts stored in the tray T transferred to the loading plate 4 are transferred to the test position of the test handler, the tray transfer 6 transfers them to the plurality of stackers 2 that load the empty tray T. . The other tray transfer 7 of the plurality of tray transfers 6 and 7 is moved in the vertical or horizontal direction (arrow direction) to unload the empty tray T loaded on the stacker 2. Transfer to. When the tested parts are received and filled in the empty tray T transferred to the unloading plate T, the tray transfer 7 transfers the tray T to one of the plurality of stackers 3 and loads it. Through the continuous operation of the plurality of tray transfers 6, 7, the tray T is transferred to the plurality of stackers 1, 2, 3, the loading plate 4 and the unloading plate 5.

이와 같은 종래의 트레이 로딩 및 언로딩장치는 로딩 플레이트(4)에 빈 트레이(T)가 발생되는 경우에 트레이 트랜스퍼(6)가 복수개의 스택커(2)로 이송하여 적재하게 된다. 트레이 트랜스퍼(6)가 빈 트레이(T)를 로딩 플레이트(4)에서 스택커(2)로 이송 시 빈 트레이(T)에 테스트될 부품이 잔류하는 경우가 발생될 수 있다. In the conventional tray loading and unloading apparatus as described above, when the empty tray T is generated in the loading plate 4, the tray transfer 6 is transferred to the plurality of stackers 2 and loaded. When the tray transfer 6 transfers the empty tray T from the loading plate 4 to the stacker 2, there may be a case in which parts to be tested remain in the empty tray T.

종래와 같이 트레이 로딩 및 언로딩장치에서 트레이에 테스트될 부품이 잔류되는 경우에 빈 트레이에 테스트된 부품을 수납하지 못하는 문제점이 발생하게 된다.In the tray loading and unloading apparatus as in the prior art, when the parts to be tested remain in the tray, there is a problem in that the tested parts cannot be stored in the empty tray.

따라서 본 발명의 목적은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로, 테스트될 부품이 모두 로딩된 트레이를 회전시켜 트레이에 테스트될 부품이 남아 있는 경우에 이를 털어 버려 빈 트레이를 안정적으로 공급할 수 있는 테스트 핸들러의 트레이 디버터를 제공함에 있다.Therefore, an object of the present invention is to solve the above problems, the tray of the test handler that can stably supply the empty tray by shaking the tray when the parts to be tested are left in the tray by rotating the tray loaded with all the parts to be tested To provide a diverter.

본 발명의 다른 목적은 부품이 털어지지 않은 오류가 발생된 트레이를 적재하여 보관함으로써 빈 트레이를 안정적으로 공급할 수 있는 테스트 핸들러의 트레이 디버터를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a tray diverter of a test handler capable of stably supplying an empty tray by loading and storing a tray in which an error occurs in which parts are not shaken.

본 발명의 테스트 핸들러의 트레이 디버터(diverter)는 터언(turn)부재와; 터언부재의 양면 중 어느 한 면에 설치되어 복수개의 트레이를 적재하는 스택커와; 터언부재의 양면 중 다른 한 면에 설치되어 트레이를 그립하거나 해제하는 그립퍼와; 터언부재와 연결되어 스택커와 그립퍼가 연동되어 회전되도록 터언부재를 회전시키는 터언기구로 구성됨을 특징으로 한다.The tray diverter of the test handler of the present invention includes a turn member; A stacker installed on either side of the turn member and stacking a plurality of trays; A gripper installed on one side of both sides of the turn member to grip or release the tray; It is characterized in that it is composed of a turn mechanism is connected to the turn member to rotate the turn member so that the stacker and the gripper is rotated in conjunction.

본 발명의 테스트 핸들러의 트레이 디버터의 다른 실시예는 베이스부재와; 베이스부재에 설치되는 터언부재와; 터언부재의 양면 중 어느 한 면에 설치되어 복수개의 트레이를 적재하는 스택커와; 터언부재의 양면 중 다른 한 면에 설치되어 트레이를 그립하거나 해제하는 그립퍼와; 터언부재와 연결되어 스택커와 그립퍼가 연동되어 회전되도록 터언부재를 회전시키는 터언기구로 구성됨을 특징으로 한다.Another embodiment of the tray diverter of the test handler of the present invention is a base member; A turn member installed on the base member; A stacker installed on either side of the turn member and stacking a plurality of trays; A gripper installed on one side of both sides of the turn member to grip or release the tray; It is characterized in that it is composed of a turn mechanism is connected to the turn member to rotate the turn member so that the stacker and the gripper is rotated in conjunction.

본 발명의 테스트 핸들러의 트레이 디버터는 트레이를 회전시켜 트레이에 테스트될 부품이 남아 있는 경우에 이를 털어 버리거나 부품이 털어지지 않은 오류가 발생된 트레이를 적재하여 보관함으로써 빈 트레이를 안정적으로 공급할 수 있는 이점을 제공한다.The tray diverter of the test handler of the present invention can stably feed an empty tray by rotating the tray and removing the part to be tested in the tray, or stacking and storing the tray in which the error is not broken. Provide an advantage.

(실시예)(Example)

이하, 본 발명의 테스트 핸들러의 트레이 디버터의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of a tray diverter of a test handler of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 테스트 핸들러의 트레이 디버터의 조립 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 트레이 디버터의 분리 조립 사시도이며, 도 4는 도 3에 도시된 트레이 디버터의 요부 분리 조립 사시도이다.FIG. 2 is an assembled perspective view of the tray diverter of the test handler of the present invention, FIG. 3 is an exploded perspective view of the tray diverter of FIG. 2, and FIG. 4 is an exploded perspective view of the main portion of the tray diverter of FIG. 3. to be.

도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이 본 발명의 테스트 핸들러의 트레이 디버터는 터언부재(turn member)(20), 스택커(30), 그립퍼(40) 및 터언기구(50)로 구성된다. As shown in FIGS. 2 to 4, the tray diverter of the test handler of the present invention includes a turn member 20, a stacker 30, a gripper 40, and a turn mechanism 50.

터언부재(20)는 터언기구(50)에 의해 회전되도록 연결되며, 스택커(30)는 터언부재(20)의 양면 중 어느 한 면에 설치되어 복수개의 트레이(T)를 적재한다. 그립퍼(40)는 터언부재(20)의 양면 중 다른 한 면에 설치되어 하나의 트레이(T)를 그립하거나 해제한다. 터언기구(50)는 터언부재(20)와 연결되어 스택커(30)와 그립퍼(40)가 연동되어 회전되도록 터언부재(20)를 회전시킨다. 즉, 스택커(30)와 그립퍼(40)는 터언부재(20)의 양면에 각각 설치되어 터언기구(50)에 의해 터언부재(20)가 회전되면 터언부재(20)와 연동되어 회전된다. The turn member 20 is connected to rotate by the turn mechanism 50, the stacker 30 is installed on either side of the both sides of the turn member 20 to load a plurality of trays (T). The gripper 40 is installed on the other side of both sides of the turn member 20 to grip or release one tray T. The turn mechanism 50 is connected to the turn member 20 to rotate the turn member 20 so that the stacker 30 and the gripper 40 rotate in conjunction with each other. That is, the stacker 30 and the gripper 40 are respectively installed on both sides of the turn member 20, and when the turn member 20 is rotated by the turn mechanism 50, the stacker 30 and the gripper 40 rotate together with the turn member 20.

상기 구성을 갖는 본 발명의 테스트 핸들러의 트레이 디버터의 각 구성을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Each configuration of the tray diverter of the test handler of the present invention having the above configuration will be described in detail as follows.

터언부재(20)는 도 4 및 도 5에서와 같이 터언 플레이트(21), 보조 연결플레이트(22) 및 쇽업저버(23)로 구성된다.The turn member 20 is composed of a turn plate 21, the auxiliary connecting plate 22 and the shock absorber 23 as shown in Figs.

터언 플레이트(21)는 일측에 설치홈(21a)이 형성되며, 타측에 터언기구(50)와 연결되는 연결플레이트(21b)가 형성된다. 보조 연결플레이트(22)는 터언 플레이트(21)의 연결플레이트(21b)에 설치되며, 쇽업저버(23)는 보조 연결플레이트(22)에 설치되어 복수개의 그립부재(42)가 좁아지는 방향으로 이동 시 충격을 완화시킨다. 즉, 쇽업저버(23)는 복수개의 그립부재(42)가 탄성부재(44)의 탄성력에 의해 서로 좁아지는 방향으로 이동하여 트레이(T)를 그립 시 트레이(T)와의 충격을 완화시켜 준다.The turn plate 21 has an installation groove 21a formed at one side thereof, and a connection plate 21b connected to the turn mechanism 50 is formed at the other side thereof. The auxiliary connecting plate 22 is installed on the connecting plate 21b of the turn plate 21, and the shock absorber 23 is installed on the auxiliary connecting plate 22 to move in the direction in which the plurality of grip members 42 are narrowed. Relieve shock when That is, the shock absorber 23 moves in a direction in which the plurality of grip members 42 are narrowed with each other by the elastic force of the elastic member 44 to relieve the impact of the tray T when the tray T is gripped.

스택커(30)는 도 3 및 도 5에서와 같이 트레이 적재 플레이트(31)와 복수개의 트레이 가이드부재(32)로 구성된다.The stacker 30 includes a tray stacking plate 31 and a plurality of tray guide members 32 as shown in FIGS. 3 and 5.

트레이 적재 플레이트(31)는 터언부재(20)의 양면 중 어느 한 면에 설치되며, 복수개의 트레이 가이드부재(32)는 각각 트레이 적재 플레이트(31)에 각각 설치되어 트레이(T)를 가이드한다. 즉, 복수개의 트레이 가이드부재(32)는 트레이(T)를 가이드하여 트레이 적재 플레이트(31)에 복수개의 트레이(T)가 적재되도록 한다.The tray loading plate 31 is installed on one side of both sides of the turbine member 20, and the plurality of tray guide members 32 are respectively installed on the tray loading plate 31 to guide the tray T. That is, the plurality of tray guide members 32 guide the tray T so that the plurality of trays T are loaded on the tray loading plate 31.

그립퍼(40)는 도 4 및 도 5에서와 같이 복수개의 LM 가이드(Linear Motion guide)(41), 복수개의 그립부재(42), 그립이동기구(43) 및 복수개의 탄성부재(44)로 구성된다.The gripper 40 includes a plurality of linear motion guides 41, a plurality of grip members 42, a grip moving mechanism 43, and a plurality of elastic members 44, as shown in FIGS. 4 and 5. do.

복수개의 LM 가이드(41)는 터언부재(20)의 양면 중 다른 한 면에 각각 설치된다. 이러한 복수개의 LM 가이드(41)는 각각 가이드레일(41a)과 복수개의 이동블록(41b)으로 구성된다. 가이드레일(41a)은 터언부재(20)의 양면 중 다른 한 면에 각각 설치되며, 복수개의 이동블록(41b)은 가이드 레일(41a)에 설치되어 가이드 레일(41a)을 따라 이동된다. A plurality of LM guides 41 are respectively provided on the other side of both sides of the turbine member 20. Each of the plurality of LM guides 41 includes a guide rail 41a and a plurality of moving blocks 41b. The guide rails 41a are respectively installed on the other side of both sides of the turn member 20, and the plurality of moving blocks 41b are installed on the guide rails 41a and move along the guide rails 41a.

복수개의 그립부재(42)는 복수개의 LM 가이드(41)에 각각 설치되어 트레이(T)를 그립하거나 해제한다. 이러한 복수개의 그립부재(42)는 각각 연결플레이트(42a), 캠플레이트(42b) 및 그립프레임(42c)으로 구성된다. 연결플레이트(42a)는 LM 가이드(41)에 설치되며, 캠플레이트(42b)는 연결플레이트(42a)와 이격되도록 LM 가이드(41)에 설치된다. 이러한 캠플레이트(42b)는 단면에 캠가공면(42d)이 형성된다. 캠가공면(42d)은 그립이동기구(43)의 캠팔로워(43a)가 접한 상태에서 회전하면서 이동된다. 그립프레임(42c)은 연결레이트(42a)와 캠플레이트(42b)에 설치되어 트레이(T)를 그립(grip)하거나 해제한다. The plurality of grip members 42 are respectively installed in the plurality of LM guides 41 to grip or release the tray T. The plurality of grip members 42 are each composed of a connecting plate 42a, a cam plate 42b and a grip frame 42c. The connecting plate 42a is installed in the LM guide 41, and the cam plate 42b is installed in the LM guide 41 so as to be spaced apart from the connecting plate 42a. The cam plate 42b is formed with a cam working surface 42d at its cross section. The cam working surface 42d is moved while rotating while the cam follower 43a of the grip movement mechanism 43 is in contact. The grip frame 42c is installed at the connection rate 42a and the cam plate 42b to grip or release the tray T.

그립이동기구(43)는 베이스부재(10)에 설치되어 복수개의 그립부재(42)가 트레이(T)를 그립하거나 해제하도록 LM 가이드(41)를 따라 서로 멀어지거나 좁아지는 방향으로 이동시킨다. 이러한 그립이동기구(43)는 복수개의 캠팔로워(43a), 캠이동부재(43b), 실린더 이동블록(43c) 및 실린더(43d)로 구성된다.The grip movement mechanism 43 is installed in the base member 10 to move the plurality of grip members 42 in a direction away from each other or narrow along the LM guide 41 so as to grip or release the tray T. The grip moving mechanism 43 is composed of a plurality of cam followers 43a, a cam moving member 43b, a cylinder moving block 43c and a cylinder 43d.

복수개의 캠팔로워(43a)는 복수개의 그립부재(42)가 서로 멀어지는 방향으로 이동하여 트레이(T: 도 3에 도시됨)의 그립을 해제 시 캠플레이트(42b)의 단면에 형성된 캠가공면(42d)을 따라 이동된다. 캠이동부재(43b)는 복수개의 캠팔로워(43a)가 설치되며, 실린더 이동블록(43c)은 캠이동부재(43b)가 설치된다. 실린더(43d)는 베이스부재(10)에 설치되며, 복수개의 캠팔로워(43a)가 각각 캠플레이트(42b)를 따라 이동되어 복수개의 그립프레임(42c)이 트레이(T)를 그립하거나 해제하도록 실린더 이동블럭(43c)을 이동시킨다. The plurality of cam followers 43a are cam working surfaces formed on the end surface of the cam plate 42b when the plurality of grip members 42 move in a direction away from each other to release the grip of the tray T (shown in FIG. 3). Is moved along 42d). The cam moving member 43b is provided with a plurality of cam followers 43a, and the cylinder moving block 43c is provided with a cam moving member 43b. The cylinder 43d is installed in the base member 10, and the plurality of cam followers 43a are respectively moved along the cam plate 42b so that the plurality of grip frames 42c grip or release the tray T. The moving block 43c is moved.

복수개의 탄성부재(44)는 복수개의 그립부재(42)에 각각 연결되어 복수개의 그립부재(42)가 LM 가이드(41)를 따라 서로 좁아지는 방향으로 이동되도록 탄성력을 제공한다. 이와 같이 복수개의 탄성부재(44)는 탄성력을 제공하여 복수개의 그립부재(42)가 서로 좁아지는 방향으로 이동되도록 하기 위해 스프링이 적용된다.The plurality of elastic members 44 are connected to the plurality of grip members 42, respectively, to provide elastic forces such that the plurality of grip members 42 move in the narrowing direction along the LM guide 41. As such, the plurality of elastic members 44 are provided with springs to provide elastic force so that the plurality of grip members 42 move in the narrowing direction.

터언기구(50)는 도 4 및 도 5에서와 같이 캠팔로워(cam follower)(51), 회전 실린더블록(52) 및 터언 실린더(53)로 구성된다.The turn mechanism 50 is composed of a cam follower 51, a rotating cylinder block 52, and a turn cylinder 53 as in FIGS. 4 and 5.

캠팔로워(51)는 베이스부재(10)의 지지프레임(11)에 형성된 설치홀(11a)과 터언부재(20)의 터언 플레이트(21)에 형성된 설치홈(21a)에 연결되며, 회전 실린더블록(52)은 터언부재(20)에 연결되며, 터언부재(20)의 터언 플레이트(21)에 형성된 연결플레이트(21b)에 결합되는 결합홈(52a)이 형성된다. 터언 실린더(53)는 회전 실린더블럭(52)에 연결되며, 터언부재(20)가 회전도록 회전 실린더블럭(52)을 회전시킨다. 이러한 터언 실린더(53)는 공지된 기술을 적용함으로 상세한 설명을 생략하였다.The cam follower 51 is connected to the installation hole 11a formed in the support frame 11 of the base member 10 and the installation groove 21a formed in the turn plate 21 of the turn member 20, and the rotating cylinder block. 52 is connected to the turn member 20, a coupling groove 52a is formed to be coupled to the connecting plate 21b formed on the turn plate 21 of the turn member 20. The turning cylinder 53 is connected to the rotating cylinder block 52 and rotates the rotating cylinder block 52 so that the turning member 20 rotates. This turn cylinder 53 has been omitted by applying a known technique.

본 발명의 테스트 핸들러의 트레이 디버터의 다른 실시예의 구성은 도 2 내지 도 6에서와 같이 베이스부재(10), 터언부재(20), 스택커(30), 그립퍼(40) 및 터언기구(50)로 구성된다.The configuration of another embodiment of the tray diverter of the test handler of the present invention is the base member 10, the turn member 20, the stacker 30, the gripper 40 and the turn mechanism 50 as shown in Figs. It is composed of

베이스부재(10)는 본 발명의 테스트 핸들러의 트레이 디버터를 전반적으로 지지하며, 터언부재(20)는 베이스부재(10)에 설치된다. 즉, 터언기구(50)의 캠팔로워(51)를 매개로 하여 지지프레임(12)에 형성된 설치홀(12a)에 설치된다. 스택커(30)는 터언부재(20)의 양면 중 어느 한 면에 설치되어 복수개의 트레이(T)를 적재하며, 그립퍼(40)는 터언부재(20)의 양면 중 다른 한 면에 설치되어 트레이(T)를 그립하거나 해제한다. 터언기구(50)는 터언부재(20)와 연결되어 스택커(30)와 그립퍼(40)가 연동되어 회전되도록 터언부재(20)를 회전시킨다.The base member 10 generally supports the tray diverter of the test handler of the present invention, and the turn member 20 is installed in the base member 10. That is, it is installed in the mounting hole 12a formed in the support frame 12 via the cam follower 51 of the turning mechanism 50. As shown in FIG. The stacker 30 is installed on one side of both sides of the turn member 20 to load a plurality of trays T, and the gripper 40 is installed on the other side of both sides of the turn member 20 and disposed on the tray. Grip or release (T). The turn mechanism 50 is connected to the turn member 20 to rotate the turn member 20 so that the stacker 30 and the gripper 40 rotate in conjunction with each other.

상기 구성 중 터언부재(20), 스택커(30) 및 터언기구(50)의 상세한 구성은 전술한 것과 동일하므로 생략하고, 베이스부재(10) 및 그립퍼(40)의 상세한 구성을 설명하면 다음과 같다. The detailed configuration of the turbine member 20, the stacker 30 and the turbine mechanism 50 of the above configuration is the same as described above, and will be omitted, and the detailed configuration of the base member 10 and the gripper 40 will be described as follows. same.

베이스부재(10)는 도 3에서와 같이 베이스 플레이트(11), 지지프레임(12), 지지 플레이트(13) 및 커버프레임(14)으로 구성된다.The base member 10 is composed of a base plate 11, a support frame 12, a support plate 13 and a cover frame 14 as shown in FIG.

베이스 플레이트(11)는 내측에 윈도우(window)(11a)가 형성되며, 윈도우(11a)는 터언부재(20)가 베이스 플레이트(11)의 간섭 없이 회전되도록 하기 위해 형성된다. 지지프레임(12)은 베이스 플레이트(11)의 일측에 설치되며, 캠팔로워(51)가 설치되는 설치홀(12a)이 형성된다. 지지 플레이트(13)는 베이스 플레이트(11)의 타측에 설치되며, 커버프레임(14)은 지지 플레이트(13)에 힌지(14a)로 결합되어 힌지(14a)를 축으로 하여 개폐된다. 즉, 커버프레임(14)은 힌지(14a)를 축으로 도 7a에서와 같이 개방되거나 도 2에서와 같이 닫히게 된다.Base plate 11 has a window (11a) is formed on the inside, the window (11a) is formed so that the turning member 20 is rotated without interference of the base plate (11). The support frame 12 is installed on one side of the base plate 11, and the installation hole 12a in which the cam follower 51 is installed is formed. Support plate 13 is installed on the other side of the base plate 11, the cover frame 14 is coupled to the support plate 13 by a hinge 14a is opened and closed with the hinge 14a as an axis. That is, the cover frame 14 is opened as shown in FIG. 7A or closed as shown in FIG. 2 about the hinge 14a.

그립퍼(40)는 복수개의 LM 가이드(41), 복수개의 그립부재(42), 그립이동기구(43) 및 복수개의 탄성부재(44)로 구성된다. The gripper 40 includes a plurality of LM guides 41, a plurality of grip members 42, a grip moving mechanism 43, and a plurality of elastic members 44.

복수개의 LM 가이드(41)는 터언부재(20)의 양면 중 다른 한 면에 각각 설치되며, 복수개의 그립부재(42)는 복수개의 LM 가이드(41)에 각각 설치되어 트레이(T)를 그립하거나 해제한다. 그립이동기구(43)는 베이스부재(10)에 설치되어 복수개의 그립부재(42)가 트레이(T)를 그립하거나 해제하도록 LM 가이드(41)를 따라 서로 멀어지거나 좁아지는 방향으로 이동시키며, 복수개의 탄성부재(44)는 복수개의 그립부재(42)에 각각 연결되어 복수개의 그립부재(42)가 LM 가이드(41)를 따라 서로 좁아지는 방향으로 이동되도록 탄성력을 제공한다.The plurality of LM guides 41 are respectively installed on the other side of the both sides of the turn member 20, the plurality of grip members 42 are respectively installed on the plurality of LM guides 41 to grip the tray (T) or Release it. The grip moving mechanism 43 is installed on the base member 10 to move the plurality of grip members 42 in a direction away from each other or narrow along the LM guide 41 so as to grip or release the tray T. Four elastic members 44 are respectively connected to the plurality of grip members 42 to provide elastic force such that the plurality of grip members 42 move in a narrowing direction along the LM guide 41.

상기 구성을 갖는 본 발명의 테스트 핸들러의 트레이 디버터의 동작을 설명 하면 다음과 같다.Referring to the operation of the tray converter of the test handler of the present invention having the above configuration is as follows.

트레이 디버터는 부품(P: 도 2에 도시됨)이 잔류된 트레이(T)가 발생된 경우에 트레이(T)를 그립퍼(40)에서 그립한 상태에서 회전시켜 트레이(T)에 잔류된 부품(P)을 털어버리는 작용과 스택커(30)에 픽킹 오류가 발생된 복수개의 트레이(T)를 적재하는 작용을 가진다.The tray diverter rotates the tray T in a state where the tray T is gripped by the gripper 40 when the tray T in which the component (P: shown in FIG. 2) remains is generated. It shakes (P) and has a function which loads the some tray T which picking error generate | occur | produced in the stacker 30. FIG.

부품(P)을 털어버리는 작용을 노말(normal) 작용이라 하면 노말 작용의 초기 상태는 그립퍼(40)가 트레이(T)를 그립(grip)하지 않으며, 터언기구(50)가 0˚(도)로 회전되지 않은 상태를 나타낸다. 이 상태에서 부품(P)이 잔류된 트레이(T)가 발생되면 이를 그립퍼(40)가 그립하게 된다. 그립퍼(40)는 복수개의 탄성부재(44)의 탄성력에 의해 복수개의 그립프레임(42c)이 서로 좁아지는 방향으로 이동하여 도 7c에서와 같이 트레이(T)를 그립하게 된다. 즉, 그립퍼(40)는 그립이동기구(43)가 복수개의 그립부재(42)로부터 이탈되어 위치하게 된다.When the action of brushing off the parts P is called a normal action, the initial state of normal operation is that the gripper 40 does not grip the tray T, and the turn mechanism 50 is 0 degrees (degrees). Indicates that it is not rotated. When the tray T in which the parts P remain in this state is generated, the gripper 40 grips it. The gripper 40 moves in a direction in which the plurality of grip frames 42c are narrowed by the elastic force of the plurality of elastic members 44 to grip the tray T as shown in FIG. 7C. That is, the gripper 40 is positioned so that the grip moving mechanism 43 is separated from the plurality of grip members 42.

그립퍼(40)에 트레이(T)가 그립되면 터언기구(50)는 그립이동기구(43)의 간섭 없이 터언부재(20)를 회전시켜 터언부재(20)의 양면에 각각 설치된 스택커(30)와 그립퍼(40)가 도 7b에서와 같이 화살표 방향으로 180˚(도) 회전한다. 즉, 터언기구(50)는 그립퍼(40)가 하측으로 위치되도록 회전시켜 그립퍼(40)에 그립된 트레이(T)에 잔류된 부품(P)을 털어버리게 된다. When the tray T is gripped by the gripper 40, the turn mechanism 50 rotates the turn member 20 without interfering with the grip movement mechanism 43 so that the stacker 30 is installed on both sides of the turn member 20, respectively. And the gripper 40 rotates 180 degrees (degrees) in the direction of the arrow as shown in FIG. 7b. That is, the turn mechanism 50 rotates the gripper 40 so that the gripper 40 is positioned downward to shake off the parts P remaining in the tray T gripped by the gripper 40.

트레이(T)에 잔류된 부품(P)일 털어지면 터언기구(50)는 다시 터언부재(20)를 180˚ 회전시켜 트레이(T)를 트레이 트랜스퍼(7: 도 1에 도시됨)가 그립할 수 있도록 한다. 트레이 트랜스퍼(7)가 트레이(T)를 그립하기 위해 그립퍼(40)는 트레 이(T)의 그립을 해제하게 된다. 이를 위해 그립퍼(40)의 그립이동기구(43)는 실린더(43d)가 작동하여 실린더 이동블록(43c)을 전진시킨다. 실린더 이동블록(43c)을 전진시키면 캠이동부재(43b)에 설치된 복수개의 캠팔로워(43a)가 캠플레이트(42b)에 형성된 캠가공면(42d)을 따라 이동하여 복수개의 그립프레임(42c)을 도 7d에서와 같이 서로 멀어지는 방향으로 이동시킨다. When the part P remaining in the tray T is shaken off, the turning mechanism 50 rotates the turning member 20 by 180 degrees so that the tray T can be gripped by the tray transfer 7 (shown in FIG. 1). To help. In order for the tray transfer 7 to grip the tray T, the gripper 40 releases the grip of the tray T. To this end, the grip moving mechanism 43 of the gripper 40 moves the cylinder 43d to advance the cylinder moving block 43c. When the cylinder moving block 43c is advanced, the plurality of cam followers 43a provided on the cam moving member 43b move along the cam working surface 42d formed on the cam plate 42b to move the plurality of grip frames 42c. In the direction away from each other as shown in Figure 7d.

실린더 이동블록(43c)이 전진되어 복수개의 그립프레임(42c)이 트레이(T)의 그립을 해제하게 되면 트레이 트랜스퍼(7)는 스택커(30)에 적재하거나 도 1에 도시된 스택커(2)에 적재한다. 스택커(30)에 트레이(T)를 적재하기 위해 터언기구(50)는 터언부재(20)를 회전시켜 스택커(30)가 상측으로 위치되도록 회전시킨다. 스택커(30)가 상측으로 회전되면 스택커(30)에 픽킹 오류가 발생된 복수개의 트레이(T)를 적재하는 작용을 하게 된다.When the cylinder moving block 43c is advanced and the plurality of grip frames 42c release the grip of the tray T, the tray transfer 7 is loaded on the stacker 30 or the stacker 2 shown in FIG. )). In order to load the tray T on the stacker 30, the turn mechanism 50 rotates the turn member 20 so that the stacker 30 is positioned upward. When the stacker 30 is rotated upward, the stacker 30 has a function of stacking a plurality of trays T having a picking error.

이와 같이 본 발명의 테스트 핸들러의 트레이 디버터는 터언부재(20)의 양면에 스택커(30)와 그립퍼(40)를 각각 설치하고, 터언부재(20)를 회전시킬 수 있도록 구성됨으로써 부품(P)을 털어버리는 작용과 복수개의 트레이(T)를 적재하는 작용을 하게 된다. As described above, the tray diverter of the test handler of the present invention is configured to install the stacker 30 and the gripper 40 on both sides of the turn member 20, and to rotate the turn member 20. ) To shake off and to load a plurality of trays (T).

본 발명의 테스트 핸들러의 트레이 디버터는 전자부품을 테스트하는 테스트 핸들러 분야에 적용될 수 있다.The tray diverter of the test handler of the present invention can be applied to the field of test handlers for testing electronic components.

도 1은 종래의 트레이 로딩 및 언로딩장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도,1 is a view schematically showing the configuration of a conventional tray loading and unloading apparatus;

도 2는 본 발명의 테스트 핸들러의 트레이 디버터의 조립 사시도,2 is an assembled perspective view of the tray diverter of the test handler of the present invention;

도 3은 도 2에 도시된 트레이 디버터의 분리 조립 사시도,3 is an exploded perspective view of the tray diverter shown in FIG. 2;

도 4는 도 3에 도시된 트레이 디버터의 요부 분리 조립 사시도,4 is an exploded perspective view illustrating main parts of the tray diverter illustrated in FIG. 3;

도 5는 도 4에 도시된 트레이 디버터를 다른 방향에서 바라본 분리 조립 사시도,5 is an exploded perspective view of the tray diverter shown in FIG. 4 as viewed from another direction;

도 6은 도 3에 도시된 스택커의 사시도,6 is a perspective view of the stacker shown in FIG.

도 7a 내지 도 7d는 각각 본 발명의 트레이 디버터의 동작 상태를 나타낸 도.7A to 7D are diagrams each showing an operating state of the tray diverter of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Description of the Related Art [0002]

10: 베이스부재 11: 베이스 플레이트 10: base member 11: base plate

12: 지지프레임 13: 지지 플레이트12: support frame 13: support plate

14: 커버프레임 20: 터언부재 14: cover frame 20: turn member

21: 터언 플레이트 22: 보조 연결플레이트 21: Turn plate 22: Auxiliary connection plate

23: 쇽업저버 30: 스택커 23: Shock absorber 30: Stacker

31: 트레이 적재 플레이트 32: 트레이 가이드부재31: tray loading plate 32: tray guide member

40: 그립퍼 41: LM 가이드 40: Gripper 41: LM Guide

42: 그립부재 43: 그립이동기구 42: grip member 43: grip moving mechanism

44: 탄성부재 50: 터언기구 44: elastic member 50: turn mechanism

51: 캠팔로워 52: 회전 실린더블록 51: cam follower 52: rotating cylinder block

53: 터언 실린더53: turn cylinder

Claims (13)

터언부재와;A turn member; 상기 터언부재의 양면 중 어느 한 면에 설치되어 복수개의 트레이를 적재하는 스택커와;A stacker installed on one side of both sides of the turn member and stacking a plurality of trays; 상기 터언부재의 양면 중 다른 한 면에 설치되어 트레이를 그립하거나 해제하는 그립퍼와;A gripper installed on one side of both sides of the turbine member to grip or release the tray; 상기 터언부재와 연결되어 상기 스택커와 상기 그립퍼가 연동되어 회전되도록 터언부재를 회전시키는 터언기구로 구성되며,A turn mechanism connected to the turn member so as to rotate the turn member so that the stacker and the gripper rotate in linkage with each other, 상기 터언부재는 일측에 설치홈이 형성되며 타측에 터언기구와 연결되는 연결플레이트가 형성되는 터언 플레이트와, 상기 터언 플레이트의 연결플레이트에 설치되는 보조 연결플레이트와, 상기 보조 연결플레이트에 설치되어 복수개의 그립부재가 좁아지는 방향으로 이동 시 충격을 완화시키기 위한 쇽업저버로 구성됨을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 트레이 디버터.The turn member has an installation groove formed on one side and a turn plate having a connection plate connected to the turn mechanism on the other side, an auxiliary connection plate installed on the connection plate of the turn plate, and installed on the auxiliary connection plate. Tray diverter of the test handler, characterized in that the shock absorber configured to mitigate the impact when the grip member moves in the narrowing direction. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 스택커는 상기 터언부재의 양면 중 어느 한 면에 설치되는 트레이 적재 플레이트와;The stacker of claim 1, wherein the stacker comprises: a tray stacking plate installed on one surface of both sides of the turbine member; 상기 트레이 적재 플레이트에 각각 설치되어 트레이를 가이드하는 복수개의 트레이 가이드부재로 구성됨을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 트레이 디버터.The tray diverter of the test handler, characterized in that composed of a plurality of tray guide members which are respectively installed on the tray loading plate to guide the tray. 제1항에 있어서, 상기 그립퍼는 상기 터언부재의 양면 중 다른 한 면에 각각 설치되는 복수개의 LM 가이드(Linear Motion guide)와;The gripper according to claim 1, further comprising: a plurality of linear motion guides (LM guides) respectively installed on the other surface of both sides of the turn member; 상기 복수개의 LM 가이드에 각각 설치되어 트레이를 그립하거나 해제하는 복수개의 그립부재와;A plurality of grip members respectively installed on the plurality of LM guides to grip or release the tray; 베이스부재에 설치되어 복수개의 그립부재가 트레이를 그립하거나 해제하도록 LM 가이드를 따라 서로 멀어지거나 좁아지는 방향으로 이동시키는 그립이동기구와;A grip moving mechanism installed on the base member and configured to move in a direction away from or narrowed along the LM guide so that the plurality of grip members grip or release the tray; 상기 복수개의 그립부재에 각각 연결되어 복수개의 그립부재가 LM 가이드를 따라 서로 좁아지는 방향으로 이동되도록 탄성력을 제공하는 복수개의 탄성부재로 구성됨을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 트레이 디버터. And a plurality of elastic members connected to the plurality of grip members, respectively, to provide elastic force to move the plurality of grip members in a narrowing direction along the LM guide. 제4항에 있어서, 상기 복수개의 LM 가이드는 각각 상기 터언부재의 양면 중 다른 한 면에 각각 설치되는 가이드레일과;The guide rail of claim 4, wherein each of the plurality of LM guides includes: guide rails respectively installed on the other surface of both surfaces of the turn member; 상기 가이드 레일에 설치되어 가이드 레일을 따라 이동되는 복수개의 이동블록으로 구성됨을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 트레이 디버터.Tray diverter of the test handler, characterized in that composed of a plurality of moving blocks which are installed on the guide rail to move along the guide rail. 제4항에 있어서, 상기 복수개의 그립부재는 각각 LM 가이드에 설치되는 연결 플레이트와;The method of claim 4, wherein the plurality of grip members, and each connecting plate is installed in the LM guide; 상기 연결 플레이트와 이격되도록 LM 가이드에 설치되는 캠플레이트와;A cam plate installed on the LM guide so as to be spaced apart from the connecting plate; 상기 연결 플레이트와 캠플레이트에 설치되어 트레이를 그립하거나 해제하는 그립프레임으로 구성되며,The grip plate is installed on the connecting plate and the cam plate to grip or release the tray. 상기 캠플레이트는 캠가공면이 형성됨을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 트레이 디버터.The cam plate is a tray diverter of the test handler, characterized in that the cam working surface is formed. 제4항에 있어서, 상기 그립이동기구는 복수개의 캠팔로워와;The grip movement mechanism of claim 4, further comprising: a plurality of cam followers; 상기 복수개의 캠팔로워가 설치되는 캠이동부재와;A cam moving member provided with the plurality of cam followers; 상기 캠이동부재가 설치되는 실린더 이동블록과;A cylinder moving block in which the cam moving member is installed; 베이스부재에 설치되며, 복수개의 캠팔로워가 각각 캠플레이트를 따라 이동되어 복수개의 그립프레임이 트레이를 그립하거나 해제하도록 실린더 이동블럭을 이동시키는 실린더로 구성됨을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 트레이 디버터. A tray diverter of the test handler, wherein the plurality of cam followers are respectively moved along the cam plate to move the cylinder moving block to grip or release the tray. 제4항에 있어서, 상기 복수개의 탄성부재는 각각 스프링이 적용됨을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 트레이 디버터.The tray diverter of claim 4, wherein each of the plurality of elastic members is spring-applied. 제1항에 있어서, 상기 터언기구는 베이스부재의 지지프레임에 형성된 설치홀과 터언부재의 터언 플레이트에 형성된 설치홈에 연결되는 캠팔로워(cam follower)와;According to claim 1, The turn mechanism comprises a cam follower (cam follower) connected to the installation hole formed in the support plate of the base member and the turn plate of the turn member; 상기 터언부재에 연결되는 회전 실린더블록과;A rotating cylinder block connected to the turbine member; 상기 회전 실린더블럭에 연결되며, 터언부재가 회전도록 회전 실린더블럭을 회전시키는 터언 실린더로 구성됨을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 트레이 디버터.The tray diverter of the test handler is connected to the rotating cylinder block, and configured to rotate the rotating cylinder block so that the rotating member rotates. 제9항에 있어서, 상기 회전 실린더블록은 터언부재의 터언 플레이트에 형성된 연결플레이트에 결합되는 결합홈이 형성됨을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 트레이 디버터.10. The tray diverter of the test handler of claim 9, wherein the rotating cylinder block is formed with a coupling groove coupled to a connection plate formed on the turn plate of the turn member. 베이스부재와;A base member; 상기 베이스부재에 설치되는 터언부재와;A turn member installed on the base member; 상기 터언부재의 양면 중 어느 한 면에 설치되어 복수개의 트레이를 적재하는 스택커와;A stacker installed on one side of both sides of the turn member and stacking a plurality of trays; 상기 터언부재의 양면 중 다른 한 면에 설치되어 트레이를 그립하거나 해제하는 그립퍼와;A gripper installed on one side of both sides of the turbine member to grip or release the tray; 상기 터언부재와 연결되어 상기 스택커와 상기 그립퍼가 연동되어 회전되도록 터언부재를 회전시키는 터언기구로 구성되며,A turn mechanism connected to the turn member so as to rotate the turn member so that the stacker and the gripper rotate in linkage with each other, 상기 베이스부재는 내측에 윈도우(window)가 형성되는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 일측에 설치되며 설치홀이 형성되는 지지프레임과, 상기 베이스 플레이트의 타측에 설치되는 지지 플레이트와, 상기 지지 플레이트에 힌지로 결합되어 힌지를 축으로 하여 개폐되는 커버프레임으로 구성됨을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 트레이 디버터.The base member includes a base plate having a window formed therein, a support frame installed at one side of the base plate and having an installation hole, a support plate installed at the other side of the base plate, and the support plate. Tray diverter of the test handler, characterized in that composed of a cover frame coupled to the hinge opening and closing the hinge as an axis. 삭제delete 제11항에 있어서, 상기 그립퍼는 상기 터언부재의 양면 중 다른 한 면에 각각 설치되는 복수개의 LM 가이드와;12. The gripper according to claim 11, wherein the gripper comprises: a plurality of LM guides respectively provided on the other side of both sides of the turn member; 상기 복수개의 LM 가이드에 각각 설치되어 트레이를 그립하거나 해제하는 복수개의 그립부재와;A plurality of grip members respectively installed on the plurality of LM guides to grip or release the tray; 베이스부재에 설치되어 복수개의 그립부재가 트레이를 그립하거나 해제하도록 LM 가이드를 따라 서로 멀어지거나 좁아지는 방향으로 이동시키는 그립이동기구와;A grip moving mechanism installed on the base member and configured to move in a direction away from or narrowed along the LM guide so that the plurality of grip members grip or release the tray; 상기 복수개의 그립부재에 각각 연결되어 복수개의 그립부재가 LM 가이드를 따라 서로 좁아지는 방향으로 이동되도록 탄성력을 제공하는 복수개의 탄성부재로 구성됨을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 트레이 디버터. And a plurality of elastic members connected to the plurality of grip members, respectively, to provide elastic force to move the plurality of grip members in a narrowing direction along the LM guide.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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