KR101045996B1

KR101045996B1 - 압전 리니어 모터

Info

Publication number: KR101045996B1
Application number: KR1020090128059A
Authority: KR
Inventors: 윤성일; 이형엽
Original assignee: (주)피에조테크놀리지
Priority date: 2009-12-21
Filing date: 2009-12-21
Publication date: 2011-07-01
Also published as: KR20110071475A

Abstract

본 발명은 탄성체를 채택함이 없이 압전체 자체가 진동자로 기능하도록 함으로써 제조 공정과 구조가 간단하고 저렴한 비용으로 제조할 수 있는 압전 리니어 모터에 관한 것이다.

본 발명의 압전 리니어 모터는 다수의 압전 시트가 적층되어 이루어지되, 내측에 위치하는 상기 압전 시트사이에는 분할 형성되어 위상차를 갖는 교류 전계가 각각 인가되는 A상 전극과 B상 전극 쌍 및 접지와 연결되는 접지 전극이 교호로 배치되어 이루어진 압전체; 상기 압전체의 하부를 고정 지지하는 베이스; 구동 대상물을 지지한 채로 선형 이동하는 이동체 및 상기 압전체의 상면 중앙에 돌출 부착된 채로 상기 이동체와 접촉해서 상기 압전체에서 발생하는 진동을 상기 이동체에 전달하여 마찰력에 의해 상기 이동체를 선형 이동시키는 이동체 접촉팁을 포함하여 이루어진다.

압전, 초음파, 선형, 리니어, 모터, 액추에이터, 탄성체

Description

압전 리니어 모터{Piezoelectric Linear Motor}

본 발명은 압전 리니터 모터에 관한 것으로, 특히 탄성체를 채택함이 없이 압전체 자체가 진동자로 기능하도록 함으로써 제조 공정과 구조가 간단하고 저렴한 비용으로 제조할 수 있는 압전 리니어 모터에 관한 것이다.

잘 알려진 바와 같이, 전자기 구동 모터, 즉 전자계 모터는 큰 전류를 요구하고 구동 과정에서 많은 열을 발생시키는 등의 단점을 가지는바, 최근에는 이를 대체하는 새로운 모터로서 압전 진동자에서 발생하는 초음파 진동을 이용하는 압전 모터가 주목받고 있다. 특히, 카메라 렌즈 구동용 리니어 모터로 채택되기 위해서는 저전력 소모, 초소형화 및 고정밀도 등의 특징이 필요한데, 기존의 스테핑(stepping) 모터나 보이스 코일(voice coil) 모터 등을 포함한 모든 전자계 모터로는 이와 같은 특징을 동시에 만족하기 어렵다.

이러한 압전 모터는 압전체의 압전 현상을 이용하여 구동하는 모터를 말한다. 수정이나 로셀염 등의 결정에 압력을 가하면 전압이 발생하는데 이를 압전 직접 효과라고 하며, 이와 반대로 전압을 인가하면 결정체가 변형을 일으키는 현상을 압전 역효과(전왜 효과)라고 한다. 이러한 압전 직접 효과 및 압전 역효과 모두를 압전 효과(Piezoelectric effect)라 하고, 이러한 압전 효과를 나타내는 소자를 압전 소자라 하는데, 현재에는 압전 세라믹(PZT)이 발견되어 가속도계 등과 같은 센서용으로 널리 사용되고 있다. PZT는 납(Pb), 아연(Zn), 티타늄(Ti)이 소정 비율로 혼합된 화합물이다.

이러한 압전 모터는 전자계 모터와 비교하여 큰 토크, 작은 노이즈, 작은 구동 전력으로 작동시킬 수 있는 장점이 있어서 작은 크기가 요구되는 의학용 카메라 또는 이동통신 단말기의 카메라 모듈의 오토 포커스 및 줌 렌즈 구동 등의 렌즈 구동용으로 사용되고 있다. 압전 모터는 이외에도 전자기기들이 초소형화되고 있는 현재의 추세에 부응하여 3축 스테이지 구동용 액추에이터 등으로 지속적으로 개발되고 있는 분야이다.

종래의 초소형 카메라 모듈의 렌즈 구동용으로는 SIDM(Smooth Impact Drive Mechanism; 충격 완화 드라이브 매커니즘)이 적용된 압전 리니어 모터를 사용하고 있다. 이러한 압전 리니어 모터는 압전체의 물리적 변위 방향 상에 이동축을 부착하고 이동축 상에 구비되어 있는 이동체를 선형 이동시키는 것이다. 그러나 기존의 압전 리니어 모터는 압전체를 포함하는 압전 구동부와 이동체가 따로 분리되어 있기 때문에 기구적으로 복잡하다는 문제점이 있었다.

이를 감안하여 본 출원인은 압전 구동부 자체가 이동체가 되도록 함으로써 기존 것보다 크기가 작고 제작이 용이한 압전 리니어 모터를 2009년 특허출원 제63951호(출원일: 2009년 7월 14일)로 출원하였는바, 이러한 본 출원인의 선행발명에 따른 압전 리니어 모터는 전극이 형성되어 있는 압전체; 일면 또는 양면에 상기 압전체가 부착되어 있는 탄성체; 원형 또는 각형 형상의 막대인 이동축 및 상기 탄성체 및 상기 압전체 중 어느 하나 이상이 부착되어 있고, 상기 이동축을 따라 이동 가능하도록 되어 있는 이동체를 포함하여 이루어진다.

그러나 전술한 바와 같은 본 출원인의 선행발명을 포함한 압전 리니어 모터는 압전체 이외에 별개의 탄성체를 사용함으로써 그 제조공정과 구조가 복잡할 뿐만 아니라 제조비용 또한 상승한다고 하는 문제점이 있었다.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 탄성체를 채택함이 없이 압전체 자체가 진동자로 기능하도록 함으로써 제조 공정과 구조가 간단하고 저렴한 비용으로 제조할 수 있는 압전 리니어 모터를 제공함을 목적으로 한다.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 압전 리니어 모터는 다수의 압전 시트가 적층되어 이루어지되, 내측에 위치하는 상기 압전 시트사이에는 분할 형성되어 위상차를 갖는 교류 전계가 각각 인가되는 A상 전극과 B상 전극 쌍 및 접지와 연결되는 접지 전극이 교호로 배치되어 이루어진 압전체; 상기 압전체의 하부를 고정 지지하는 베이스; 구동 대상물을 지지한 채로 선형 이동하는 이동체 및 상기 압전체의 상면 중앙에 돌출 부착된 채로 상기 이동체와 접촉해서 상기 압전체에서 발생하는 진동을 상기 이동체에 전달하여 마찰력에 의해 상기 이동체를 선형 이동시 키는 이동체 접촉팁을 포함하여 이루어진다.

전술한 구성에서, 상기 이동체 접촉팁은 압전 시트의 접합 단면의 중앙 부위에 설치되는 것이 바람직하다.

한편, 상기 A상 전극과 B상 전극 쌍 및 상기 접지 전극은 각각 사각형상 또는 삼각형상으로 이루어질 수 있다.

상기 A상 전극과 B상 전극 쌍 및 상기 접지 전극은 압전체의 양 측면으로 연장되거나 하면으로 연장될 수 있다.

상기 이동체와 상기 이동체 접촉팁 중 적어도 하나는 알루미나 또는 지르코니아로 되는 세라믹재질이나 텅스텐카바이드로 되는 합금 재질인 마찰재로 이루어지는 것이 바람직하다.

본 발명의 압전 리니어 모터에 따르면, 압전체 자체가 진동자로 기능함으로써 기존의 탄성체를 채택하지 않아도 되고, 이에 따라 제조 공정과 구조를 단순화시킬 수가 있고, 저렴한 비용으로 제조할 수가 있다.

또한, 압전체 상단 중앙 부분에 이동체와 접촉하는 접촉팁을 형성함으로써 힘을 이동체에 균일하게 전달할 수가 있어서 성능을 향상시킬 수가 있다.

이러한 본 발명의 압전 리니어 모터는 응답 속도가 빠르고 위치 정밀도가 높으면서도 측면 또는 밑면에 전극을 형성하는 방식으로 구조가 간단하여 소형화가 용이하기 때문에 초소형 카메라 모듈용 구동 장치 및 OIS(Optical Image Stablizer) 용 구동장치 등에 용이하게 응용할 수가 있다.

이하에는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 압전 리니터 모터의 바람직한 실시예에 대해 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 리니어 모터의 구조를 개략적으로 보인 분해 사시도이다. 도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 압전 리니어 모터는 크게 다수의 압전 시트가 적층되어 이루어진 압전체(100), 압전체(100)의 하부를 고정 지지하는 베이스(200), 각종 구동 대상물을 지지한 채로 선형 이동하는 이동체(400) 및 압전체(100)의 상면 중앙에 돌출 부착된 채로 이동체(400)와 접촉해서 압전체(100)에서 발생하는 진동을 이동체(400)에 전달하여 마찰력에 의해 이동체(400)를 선형 이동시키는 이동체 접촉팁(300)을 포함하여 이루어질 수 있고, 비록 도시하지는 않았지만 이동체(400)의 선형 운동을 안내하는 가이드 부재가 더 구비될 수 있다.

전술한 구성에서, 압전체(100)는 소정 두께, 예를 들어 수십㎛의 두께를 갖는 다수, 예를 수백의 압전 시트가 적층되어 이루어질 수 있는데, 이동체 접촉팁(300)은 이러한 압전체(100)의 접합 단면의 중앙에 설치될 수 있을 것이다. 한편, 이동체 접촉팁(300)은 마모에 강한 재질, 예를 들어 텅스텐 등과 같은 금속 재질 등으로 이루어질 수 있고, 그 형상에는 특별한 제한이 없으나 이동체(400)와의 사이에서 점접촉을 보다 확실하게 유지하기 위해 반구형으로 구현하는 것이 바람직하다. 이동체(400)는 그 단면이 원형 또는 사각형인 봉체로 이루어질 수 있는데, 이동체 접촉팁(300)과의 사이에서 마찰력을 크게 유지하기 위해 알루미나 또는 지 르코니아 등과 같은 세라믹 재질이나 WC(텅스텐카바이드) 같은 합금 재질을 채택하는 것이 바람직하다. 이동체 접촉팁(300) 역시 이와 동일한 재질로 구현할 수 있다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 압전체의 내부 구조 및 그 내부 전극 패턴을 보인 도로서, 사각형상의 전극 패턴을 보인 도이다. 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 압전체(100) 구조는 표면 및 이면을 이루는 외측의 압전 시트(110) 사이에 개재되는 각 압전 시트(110)의 일측면에 내부 접지 전극(120)이 배치되고, 다른 측면에는 내부 A상 전극(122) 및 내부 B상 전극(124) 쌍이 나란히 배치되는 반복적인 구조로 이루어진다. 즉 내부 A상 전극(122)과 내부 B상 전극(124) 쌍과 내부 접지 전극(120)이 압전 시트(110)를 사이에 두고 교대로 배치되는 구조로 이루어진다.

전술한 구성에서, 내부 접지 전극(120)과 내부 A상 전극(122) 및 내부 B상 전극(124)은 모두 박판 프린트 공정에 의해 형성된 후에 압전 시트와 함께 적층되는데, 이는 이미 공지된 기술이기에 상세한 설명을 생략한다. 내부 A상 전극(122)과 내부 B상 전극(124)에는, 예를 들어 후술하는 외부 A상 전극과 외부 B상 전극을 통해 상호 90°의 위상차를 갖는 교류 전압이 공급되고, 내부 접지 전극(120)은 후술하는 외부 접지 전극을 통해 접지된다.

한편, 내부 접지 전극(120)은 압전 시트(110)의 테두리를 부분을 제외한 압전 시트(110)의 전체 면적에 걸치도록 배치되는 것이 바람직한바, 다만 외부 접지 전극과의 접촉을 위해 일부, 즉 외부 접지 전극 접촉부(120a)만이 압전 시트(110) 의 좌우측의 적어도 일측(본 실시예에서는 양측)에 노출되어 있다. 내부 A상 전극(122)과 내부 B상 전극(124)은 상호 접촉되지 않는 범위 내에서 각각 압전 시트(110)의 테두리 부분을 제외한 압전 시트(110)의 전체 면적을 각각 반분하여 배치되는 것이 바람직한바, 다만 외부 A상 전극 및 외부 B상 전극과의 접촉을 위해 일부, 즉 외부 A상 전극 접촉부(122a)와 외부 B상 전극 접촉부(124a)만이 각각 압전 시트(110)의 좌측과 우측에 노출되어 있다.

더욱이 외부 A상 전극 접촉부(122a) 및 외부 B상 접촉부(124a)가 외부 접지 전극 접촉부(120a)와 물리적(전기적)으로 접촉되는 것을 방지하기 위해 이들을 각각 상하로 분리하여 배치하고 있다.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 압전체의 내부 구조 및 그 내부 전극 패턴을 보인 도로서, 삼각형상의 전극 패턴을 보인 도이다. 도 3에 도시한 바와 같이, 본 실시예에서는 내부 A상 전극(132)과 내부 B상 전극(134)을 삼각형상으로 배치하고, 내부 접지 전극(130)을 압전 시트(110)를 사이에 두고 이들과 겹쳐지도록 일체형으로 배치한 것을 제외하고는 도 2의 실시예와 그 구조나 동작 원리 동일하다. 도면에서 참조번호 130a는 외부 접지 전극 접촉부를 나타내고, 참조번호 132a 및 134a는 각각 외부 A상 전극 접촉부와 외부 B상 전극 접촉부를 나타낸다. 본 실시예는 내부 A상 전극(132) 및 내부 B상 전극(134) 패턴을 삼각형상으로 형성하여 좁은 간격의 전극이 마주하는 부분을 최소화시킴으로써 그 만큼 내부 A상 전극(132)과 내부 B상 전극(134) 사이에서 쇼트의 발생할 위험을 사각형상의 전극 구조에 비해 현저하게 줄일 수가 있고, 실제 제작시 사각형상 전극 구조와 동일한 성 능을 유지하면서도 높은 수율을 얻을 수 있었다.

도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 압전체의 내부 구조 및 그 내부 전극 패턴을 보인 도로서, 도 2의 실시예와 마찬가지로 사각형상의 전극 패턴을 보인 도이다. 도 4에 도시한 바와 같이, 본 실시예에서는 외부 접지 전극 접촉부(140a)가 압전 시트(100)의 하측에 노출, 예를 들어 하측의 중앙 부위에 노출되어 있고 외부 A상 전극 접촉부(142a)와 외부 B상 전극 접촉부(144a)가 하측의 양측 부위에 각각 노출되어 있는 것을 제외하고는 그 구조나 동작 원리가 도 2의 실시예와 동일하다.

도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 압전체의 내부 구조 및 그 내부 전극 패턴을 보인 도로서, 도 3의 실시예와 마찬가지로 삼각형상의 전극 패턴을 보인 도이다. 도 5에 도시한 바와 같이, 본 실시예에서는 외부 접지 전극 접촉부(150a)가 압전 시트(110)의 하측에 노출, 예를 들어 하측의 중앙 부위에 노출되어 있고 외부 A상 전극 접촉부(152a)와 외부 B상 전극 접촉부(154a)가 하측의 양측 부위에 각각 노출되어 있는 것을 제외하고는 그 구조나 동작 원리가 도 3의 실시예와 동일하다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 압전체의 외부 전극 구조를 보인 사시도로서, 도 2 및 도 4의 실시예와 대응되는 외부 전극 구조를 보이고 있다. 도 6에 도시한 바와 같이, 본 실시예에서는 압전체(100)의 적소, 예를 들어 양측면의 하부에는 전술한 외부 접지 전극 접촉부와 통전되는 외부 접지 전극(160)이 형성되어 있고, 상부의 각 측면, 즉 좌측면 및 우측면에는 각각 전술한 외부 A상 전극 접촉 부 및 외부 B상 전극 접촉부와 통전되는 외부 A상 전극(162) 및 외부 B상 전극(164)이 형성되어 있다, 그리고 이러한 외부 접지 전극(160), 외부 A상 전극(162) 및 외부 B상 전극(164) 역시 프린트 공정에 의해 형성될 수 있을 것이다. 본 도에서는 이동체 접촉팁(300‘)이 육면체 형상으로 이루어진 예를 도시하고 있다.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 압전체의 외부 전극 구조를 보인 사시도로서, 도 3 및 도 5의 실시예와 대응되는 외부 전극 구조를 보이고 있다. 도 7에 도시한 바와 같이, 본 실시예에서는 압전체(100)의 적소, 예를 들어 하면의 중앙 부위에 전술한 외부 접지 전극 접촉부와 통전되는 외부 접지 전극(170)이 형성되어 있고, 하면의 양 측, 즉 좌측부 및 우측부에는 전술한 외부 A상 전극 접촉부 및 외부 B상 전극 접촉부와 각각 통전되는 외부 A상 전극(172) 및 외부 B상 전극(174)이 형성되어 있다, 그리고 이러한 외부 접지 전극(170), 외부 A상 전극(172) 및 외부 B상 전극(174) 역시 프린트 공정에 의해 형성될 수 있을 것이다.

전술한 구성을 같은 본 발명의 압전 리니어 모터의 외부 A상 전극(162; 172)과 외부 B상 전극(164; 174)에 각각 90°의 위상차를 갖는 고주파 교류 전계, 예를 들어 20㎑ 이상의 정현파 신호를 인가하게 되면 압전체(100)가 수축과 팽창의 기계적인 변형을 반복하여 초음파 진동이 발생된다. 그리고 이러한 초음파 진동이 압전체(100) 상부 중앙 부위에 부착된 이동체 접촉팁(300; 300‘)에 타원 궤적의 변위를 유발시킴으로써 이동체(400)와의 마찰력에 의해 이동체(400)를 선형으로 이동시키게 된다. 더욱이 A상 전극 및 B상 전극에 인가되는 교류 전계의 위상을 바꾸어 줌으로써 양방향 운동이 가능하게 된다.

이하에서는 유한요소 해석 프로그램인 ATILA를 이용하여 본 발명의 압전 리니어 모터의 구동 원리를 설명한다.

도 8은 본 발명의 압전 리니어 모터의 주파수에 대한 어드미턴스 그래프로서, 여러 개의 공진 주파수 중 500㎑에서 나타나는 2개의 공진 주파수를 보이고 있다. 이 중에서 첫 번째 공진 주파수(f₀₁)를 갖도록 설계된 압전 리니어 모터의 동작 특성을 살펴보면, 압전 리니어 모터의 종방향으로 최대 굴곡 변위가 나타나며 A상 전극과 B상 전극에 각각 90^o위상차의 정현파를 인가하였음에도 불구하고 같은 위상으로 그 변형이 나타난다. 이 경우 이동체 접촉팁(300; 300‘)에서의 변위 특성을 살펴보았을 때, 횡방향의 변위는 무시할 수 있을 정도로 작고 단지 종방향의 변위만 갖는 것으로 나타남에 따라, 즉 타원형의 변위 특성을 갖지 못하고 직선형의 변위 특성만 갖는 것으로 나타냄에 따라 선형 리니어 모터로 적용하기 어려움을 알 수 있었다.

반면에 두 번째 공진 주파수(f₀₂)를 갖도록 설계된 압전 리니어 모터의 동작 특성을 살펴보면, 압전체(100)의 A상 전극 및 B상 전극에 90^o위상차를 갖는 정현파를 각각 인가하였음에도 불구하고 180^o 위상차를 갖는 굴곡 변형이 나타난다. 이에 따라 이동체 접촉팁(300; 300‘)의 끝단에서의 변위 특성을 살펴 보면, 횡방향의 변위가 극대화 되는 반면에 종방향의 변위는 무시할 수 있는 직선형의 으로 나타냄 에 따라, 첫 번째 공진 주파수(f₀₁)에서와 마찬가지로 선형 리니어 모터로 적용하기 어려운 특성을 갖는다. 이에 따라 첫 번째 공진 주파수(f₀₁)와 두 번째 공진 주파수의 중간 정도의 공진 주파수를 갖도록 압전체(100)를 설계하는 것이 바람직함을 알 수 있다.

도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 리니어 모터의 변위 모형을 입체적으로 보인 그래프로서, 첫 번째 공진 주파수(f₀₁)와 두 번째 공진 주파수의 중간 정도의 주파수를 갖도록 설계된 압전 리니어 모터의 변위 모형을 보이고 있다. 도 10은 도 9에 도시한 압전 리니어 모터의 종방향 및 횡방향 변위를 나타낸 그래프이다. 도 9에 도시한 그래프에서 알 수 있는 바와 같이, 첫 번째 공진 주파수(f₀₁)와 두 번째 공진 주파수(f₀₁)의 중간 정도의 공진 주파수를 갖도록 설계된 압전 리니어 모터의 경우에 A상 전극 및 B상 전극에 각각 90^o위상차를 갖는 정현파 신호를 인가한 경우에 이와 일치하는 변위 특성이 나타남을 알 수 있으며, 이에 따라 이동체 접촉팁(300; 300‘)의 끝단에서의 변위도 도 10과 같이 타원형의 궤적을 나타내어 선형 리니어 모터로 적용하기에 적합한 특성을 발휘함을 알 수 있었다.

본 발명의 압전 리니어 모터는 전술한 실시예에 국한되지 않고 본 발명의 기술 사상이 허용하는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수가 있다. 예를 들어, 전술한 실시예와는 달리 이동체 접촉팁을 접합 단면이 아닌 표면 또는 이면의 압전 시트면의 중앙 부위에 부착하고, 이동체 역시 이러한 이동체 접촉팁에 접촉하도록 설치할 수도 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 리니어 모터의 구조를 개략적으로 보인 분해 사시도,

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 압전체의 내부 구조 및 그 내부 전극 패턴을 보인 도,

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 압전체의 내부 구조 및 그 내부 전극 패턴을 보인 도,

도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 압전체의 내부 구조 및 그 내부 전극 패턴을 보인 도,

도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 압전체의 내부 구조 및 그 내부 전극 패턴을 보인 도,

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 압전체의 외부 전극 구조를 보인 사시도,

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 압전체의 외부 전극 구조를 보인 사시도,

도 8은 본 발명의 압전 리니어 모터의 주파수에 대한 어드미턴스 그래프,

도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 리니어 모터의 변위 모형을 입체적으로 보인 그래프,

도 10은 도 9에 도시한 압전 리니어 모터의 종방향 및 횡방향 변위를 나타낸 그래프이다.

*** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ***

100: 압전체, 110: 압전 시트,

120, 130, 140, 150: 내부 접지 전극,

122, 132, 142, 152: 내부 A상 전극,

124, 134, 144, 154: 내부 B상 전극, 160, 170: 외부 접지 전극,

162, 172: 외부 A상 전극, 164, 174: 외부 B상 전극,

200: 베이스, 300: 이동체 접촉팁,

400: 이동체

Claims

다수의 압전 시트가 적층되어 이루어지되, 내측에 위치하는 상기 압전 시트사이에는 분할 형성되어 위상차를 갖는 교류 전계가 각각 인가되는 A상 전극과 B상 전극 쌍 및 접지와 연결되는 접지 전극이 교호로 배치되어 이루어진 압전체;

상기 압전체의 하부를 고정 지지하는 베이스;

구동 대상물을 지지한 채로 선형 이동하는 이동체 및

상기 압전체의 상면 중앙에 돌출 부착된 채로 상기 이동체와 접촉해서 상기 압전체에서 발생하는 진동을 상기 이동체에 전달하여 마찰력에 의해 상기 이동체를 선형 이동시키는 이동체 접촉팁을 포함하여 이루어진 선형 리니어 모터.
제 1 항에 있어서,

상기 이동체 접촉팁은 압전 시트의 접합 단면의 중앙 부위에 설치되는 것을 특징으로 하는 선형 리니어 모터.
제 2 항에 있어서,

상기 A상 전극과 B상 전극 쌍 및 상기 접지 전극은 각각 사각형상 또는 삼각형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 선형 리니어 모터.
제 2 항에 있어서,

상기 A상 전극과 B상 전극 쌍 및 상기 접지 전극은 압전체의 양 측면으로 연장되거나 하면으로 연장되는 것을 특징으로 하는 압전 리니어 모터.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 이동체와 상기 이동체 접촉팁 중 적어도 하나는 알루미나 또는 지르코니아로 되는 세라믹재질이나 텅스텐카바이드로 되는 합금 재질인 마찰재로 이루어진 것을 특징으로 하는 압전 리니어 모터.