KR101045552B1

KR101045552B1 - 전극부의 전선체결장치

Info

Publication number: KR101045552B1
Application number: KR1020080051541A
Authority: KR
Inventors: 최봉환
Original assignee: 엘아이지에이디피 주식회사
Priority date: 2008-06-02
Filing date: 2008-06-02
Publication date: 2011-06-30
Anticipated expiration: 2028-06-02
Also published as: KR20090125431A

Abstract

본 발명에 따른 전극부의 전선체결장치는 전극부 몸체; 상기 전극부 몸체 내부에 설치되는 도체연결부; 상기 도체연결부에 형성되는 관통공; 상기 관통공에 삽입 설치되는 세트 스크류; 상기 도체연결부에 상하 방향으로 형성되어 도체가 삽입되는 구멍을 포함하되, 상기 세트 스크류의 외측면과와 상기 관통공의 내측면에는 각각 나사산이 형성되고, 상기 관통공와 상기 도체 삽입부는 서로 연통되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 전극부의 전선 체결장치에 의하면 세트 스크류에 의해 상기 도체 삽입부에 삽입된 도체는 상기 도체연결부에 보다 견고하게 설치될 수 있다.

이와 같이, 세트 스크류에 의해 도체를 상기 도체연결부에 완전히 체결되게 하여어 전극에 전압의 공급을 확실하게 할 수 있다.

전극부. 전선

Description

전극부의 전선체결장치 {Electric wire fixing device for Electro Static Chuck}

본 발명은 전극부의 전선체결장치에 관한 것으로 전선의 도체 연결을 보다 확실하게 하여 전압을 원할하게 공급할 수 있는 전극부의 전선체결장치에 관한 것이다.

본 발명은 전극부의 전선체결장치에 관한 것으로, 보다 상세히는 전선의 도체 연결을 보다 확실하게 하여 전압을 원할하게 공급할 수 있는 전극부의 전선체결장치에 관한 것이다.

종래의 두장의 glass를 합착하는 장치에 있어서 glass를 흡착하는 수단으로 정전척을 사용하고 있다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 정전척에 전압을 공급해주는 전극부가 있으며, 전극부(10)는 전압을 공급하는 전압공급장치와 전선(60), 그리고 전극(70)으로 연결되어 있다.

전극부(10)는 진공 내부에 설치되므로 전선과 연결된 부분은 leak가 발생하 지 않도록 O-ring(80)으로 sealing되어 있다.

전선(60)의 구성은 절연체인 전선 피복과 도체(65)(동과 알루미늄의 단선 또는 연선)로 구성된다.

상기 전극부(10)에 전압을 공급하기 위해서 도체(65)를 도체연결부(65)와 연결한다.

이때, 도체연결부(20)에는 도체(65)가 삽입될 수 있는 정도의 구멍이 형성되며, 상기 구멍에 도체(65)를 손으로 직접 밀어 넣어서 약간의 억지끼움 상태로 체결한다.

도체연결부(20)에는 도체가 꽉 물려지게 하기 위해 틈(21)이 만들어져 있다.

즉, 도체(65)를 도체연결부(20)에 억지끼움으로 체결하고, 체결부(50)를 전극부(10)에 체결하면 조임부(30)가 눌러지고 조임부(30)는 도체연결부(20)의 틈(21)을 강제로 좁혀줌으로써, 도체(65) 부분이 도체연결부(20)에서 빠지지 않도록 한다.

그러나 도체(65)가 체결되는 도체연결부(20)의 틈(21)은 정밀하게 가공하기 어렵기 때문에 항상 동일한 크기의 구멍이 나오지 않는다.

따라서 도체(21)의 체결은 가공상태에 따라 늘 변화되고 동일한 품질을 얻기 어렵다.

또한 조임부(30)가 도체연결부(20)의 틈을 좁혀 주어야 하지만 실제로는 강도가 큰 금속재질의 도체연결부(20)의 틈을 강제로 좁혀서 도체(65)가 빠지지 않도록 하는 것은 매우 어렵다.

또 조임부(30)가 눌려지기 위해서 체결부(50)을 너무 무리하게 체결하다 보면 체결부 또는 leak 방지용 O-ring(40)이 파손되는 일이 자주발생한다.

이러한 문제로 인하여 각각의 제품마다 도체의 체결이 항상 동일하지 않아서 정전척에 전압을 공급하는 것이 원활하지 못한 문제점이 있다.

또한 도체가 단선이 아닌 연선일 경우에는 도체를 도체연결부(20)에 체결하는 것이 불가능하며 전선을 선택함에 있어 단선만을 선택하여야 하므로 매우 제한적인 문제점이 있었다.

전선의 도체 연결을 보다 정확하고 쉽게하여 전압의 공급을 원활하게 하는 체결방법을 가지는 전극부의 전선체결 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명에 따른 전극부의 전선체결장치는 상기 세트 스크류의 후면에는 육각 형상의 홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 전극부의 전선체결장치의 전선체결 과정은 다음과 같다.

상기 도체삽입부에, 도체를 삽입시킨 후, 상기 공구 삽입부에 공구를 삽입하여 상기 세트 스크류를 회전시킨다.

이때, 상기 세트 스크류는 상기 관통공의 내부로 삽입되고 이에 따라, 상기 세트 스크류는 상기 도체삽입부에 삽입된 도체를 도체연결부에 밀착시키게 된다.

이렇게 세트 스크류에 의해 상기 도체 삽입부에 삽입된 도체는 상기 도체연 결부에 보다 견고하게 설치될 수 있다.

본 발명에 따른 전극부의 전선 체결장치에 의하면 다음과 같은 이점이 있다.

세트 스크류에 의해 상기 도체 삽입부에 삽입된 도체는 상기 도체연결부에 보다 견고하게 설치될 수 있다.

또한, 체결부를 전극부 몸체에 체결하면 leak 방지용 O-ring이 다시 한번 더 상기 도체연결부를 눌러주는 구조이기 때문에 스프링은 상기 전극과 상기 도체연결부 사이에서 밀착되게 하는 이점이 있다.

이와 같이 상기 스프링이 상기 전극과 상기 도체연결부 사이에서 느슨해지지 않게 함으로써, 상기 전극에 전원 공급이 중단되는 것을 방지할 수 있다.

상기 도체삽입부의 단면적 크기에 관계없이 상기 도체삽입부에 삽입되는 도체는 세트 스크류에 의해 상기 도체연결부에 밀착 가능하다.

따라서, 상기 도체삽입부의 단면적의 크기를 연선의 도체이든 단선의 도체이든 모두 체결이 가능하게 형성시키더라도 도체와 상기 도체연결부를 견고하게 압착시킬 수 있다.

또한, 전극부 몸체에 도체를 연결하기 위한 부품의 수 및 구조를 단순화시킬 수 있기 때문에 가공불량에 대한 원인도 확실하게 제거되고 부품수량도 줄어드므로 원가절감이 가능하다.

이하, 본 발명의 바람직한 일실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

참고적으로, 이하에서 설명될 본 발명의 구성들 중 종래기술과 동일한 구성에 대해서는 전술한 종래기술을 참조하기로 하고 별도의 상세한 설명은 생략한다.

도 1은 종래의 전극부의 단면도

도 2는 종래의 전극부에 설치되는 도체연결부의 사시도

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 도체연결부의 사시도

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 전극부 몸체의 단면도

본 발명에 따른 전극부의 전선체결장치는 전극부 몸체(100); 상기 전극부 몸체(100) 내부에 설치되는 도체연결부(110); 상기 도체연결부(110)에 형성되는 관통공; 상기 관통공에 삽입 설치되는 세트 스크류(멈춤나사)(120); 상기 도체연결부(110)에 상하 방향으로 형성되어 도체가 삽입되는 구멍을 포함하되, 상기 세트 스크류(120)의 외측면과와 상기 관통공의 내측면에는 각각 나사산이 형성되고, 상기 관통공와 상기 도체 삽입부는 서로 연통되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 전극부의 전선체결장치는 상기 세트 스크류(120)의 후면에는 육각 형상의 홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명은 두장의 glass를 합착하는 합착장치에 사용되는 전극부의 전선체결장치에 관한 것이다.

합착 장치에서 정전척(300)에 전압을 공급하는 전극(103)은 정전척(300)의 밑면과 전극부 몸체(100)의 접촉을 통하여 전압을 공급하게 된다..

이때, 전극부 몸체(100)는 정전척 베이스(400)에 설치되어 있으며, 전극부 몸체(100)는 진공내에 설치되므로 정전척(300)과 접촉하는 전극부 몸체(100)의 접촉부는 sealing(실링)이 되어야 한다.

본 발명에 따른 전극부 몸체(100)는 원기둥 형상으로 이루어지며, 전극부 몸체(100) 내부에는 중공부가 형성된다.

상기 전극부 몸체(100)의 상면에는 안착홈(101)이 형성되며, 상기 안착홈(101)에는 leak 방지용 O-ring(105)이 설치된다.

상기 전극부 몸체(100) 내부에 형성된 중공부에는 전극(103), 도체연결부(110), leak 방지용 O-ring(140) 그리고 체결부(150) 등이 설치된다.

상기 전극(103)은 상기 중공부의 상부에 위치하며, 원기둥 형상으로 이루어진다.

상기 전극(103)의 하부에는 돌기 형상의 걸림부가 형성되며, 상기 걸림부는 후술할 스프링(107)을 지지하는 역할을 한다.

상기 도체연결부(110)는 전원공급부에서 전달되는 전원을 도체(203)를 통해 상기 전극(103)에 전달하는 역할을 한다.

상기 도체연결부(110)는 상면(117), 측면(119), 하면으로 이루어지는 원기둥 형상으로 이루어진다.

상기 도체연결부(110)의 내부 중앙에는 세로방향의 중공부가 형성되며, 상기 중공부에 의해 도체삽입부가 형성된다.

상기 도체삽입부에는 전선(60)의 도체(203)가 삽입설치된다.

상기 도체연결부(110)의 측면(110)에는 관통공이 형성되며, 상기 관통공은 상기 도체삽입부와 연통되도록 이루어진다.

상기 관통공에는 세트 스크류(120)가 삽입설치되며, 상기 세트 스크류(120)는 원기둥 형상으로 단면이 원형으로 이루어진다.

상기 세트 스크류(120)의 일단(후면)에는 후술할 육각 홈 형상의 공구 삽입부(121)가 형성된다.

상기 세트 스크류(120)의 타단(즉, 도체(203)를 도체연결부(110)의 내부에 밀착시키는 부분)의 형상은 곡면형상으로 이루어진다.

상기 세트 스크류(120)의 후면에는 육각 홈 형상의 공구 삽입부(121)가 형성된다.

상기 세트 스크류(120)의 외측면과와 상기 관통공의 내측면에는 각각 나사산이 형성된다.

상기 공구 삽입부(121)에 공구를 삽입하여 상기 세트 스크류를 회전시켜는 경우, 상기 세트 스크류(120)는 상기 관통공의 내부로 삽입 또는 배출되게 된다.

상기 도체연결부(110)의 상면에는 걸림부가 형성된다.

상기 걸림부는 상판(111)과 측판(113)으로 이루어진 작은 원기둥 형상으로 이루어지며, 상기 측판(113)과 상면(111) 사이(즉, 상기 걸림부의 하부 테두리부)에는 홈 형상의 걸림홈(115)이 형성된다.

상기 걸림홈(115)에는 상기 스프링(107)의 끝단부가 고정되어 스프링(107)과 도체연결부(110)를 체결하는 역할을 한다.

이에 따라, 상기 전극(103)이 정전척(300)에 맞닿을 경우, 상기 스프링(107)에 의해 전극(103)은 탄성력을 받게 된다.

상기 정전척이 정전척 베이스에 조립되면서 정전척은 전극(103)을 먼저 눌러주고 상기 전극(103)은 스프링력에 의해 눌러진다.

그 다음 leak 방지용 O-ring(105)이 정전척에 의해 눌러짐으로서 정전척이 전극부 몸체(100)에 완전히 밀착되게 된다.

상기 도체연결부(110)의 하부에는 leak 방지용 O-ring(140)이 설치된다.

상기 leak 방지용 O-ring(140)의 하부에는 체결부(150)가 설치되며, 상기 체결부(150)와 상기 체결부(150)가 삽입되는 전극부 몸체(100)의 하부 중공부에는 나사산이 각각 형성된다.

따라서, 상기 체결부(150)는 상기 전극부 몸체(100)에 나사체결을 함으로써 삽입설치가 가능하게 된다.

상기 체결부(150)의 하부와 상기 전극부 몸체(100)의 하면 사이에는 홈 형상의 체결홈(151)이 형성된다.

상기 전전척 베이스(400)의 내부에는 상기 전극부 몸체(100)가 삽입될 수 있 는 관통공 형상의 삽입부가 형성되어 있다.

상기 전극부 몸체(100)가 상기 정전척 베이스(400)에 삽입설치되는 경우, 상기 체결홈(151)에 스냅링과 같은 체결부재를 설치하여 상기 전극부 몸체(100)가 상기 정전척 베이스(400)에 삽입된 상태에서 고정되게 한다.

상기 도체연결부(110)의 도체삽입부에, 도체를 삽입시킨 후, 상기 공구 삽입부(121)에 공구를 삽입하여 상기 세트 스크류를 회전시킨다.

이때, 상기 세트 스크류(120)는 상기 관통공의 내부로 삽입되고 이에 따라, 상기 세트 스크류는 상기 도체삽입부에 삽입된 도체(203)를 도체연결부(110)의 내부에 밀착시키게 된다.

이렇게 세트 스크류(120)에 의해 상기 도체 삽입부에 삽입된 도체(203)는 상기 도체연결부(110)에 보다 견고하게 설치될 수 있다.

그 다음 체결부(150)를 상기 전극부 몸체(100)에 체결하게 되면, 체결부(150)의 상승에 의해 leak 방지용 O-ring(140)이 상승하게 된다.

이때, 상기 leak 방지용 O-ring(140)이 상승하면서 상기 도체연결부(110)를 위로 밀게 되고, 이에 따라 상기 도체연결부(110)는 상기 스프링(107)을 위로 밀게 된다.

이에 따라, 전원을 공급하는 역할을 하는 스프링(107)은 상기 전극(103)과 상기 도체연결부(110) 사이에서 밀착되게 되어 전원을 원활히 공급하게 된다.

상기 세트 스크류의 후면에 육각 홈 형상의 공구 삽입부(121)를 형성시킴으로써,

이와 같이, 세트 스크류(120)에 의해 도체(203)를 상기 도체연결부(110)에 완전히 체결되게 하여어 전극(103)에 전압의 공급을 확실하게 할 수 있다.

또한, 체결부(150)를 전극부 몸체(100)에 체결하면 leak 방지용 O-ring(140)이 다시 한번 더 상기 도체연결부(110)를 눌러주는 구조이기 때문에 스프링(107)은 상기 전극(103)과 상기 도체연결부(110) 사이에서 밀착되게 하는 이점이 있다.

이와 같이 상기 스프링(107)이 상기 전극(103)과 상기 도체연결부(110) 사이에서 느슨해지지 않게 함으로써, 상기 전극(103)에 전원 공급이 중단되는 것을 방지할 수 있다.

도 1에 도시된 종래의 전선연결장치는 체결부(50)의 조임이 느슨해지면 조임부(30)가 풀리고 이에 따라 도체(65) 부분이 도체연결부(20)에서 빠지는 문제점이 있었다.

하지만 본 발명에 따른 세트 스크류(120)는 상기 전극부 몸체(100)의 중공부에 삽입되어 있으며, 상기 세트 스크류(120)를 조이는 공구 삽입부(121)는 육각 홈 형상으로 이루어진다.

상기 세트 스크류(120)의 타단을 곡면형상으로 형성되기 때문에, 상기 세트 스크류(120)를 회전에 의해 조이더라도 상기 세트 스크류(120) 동일한 작용면적 및 힘에 의해 상기 도체(203)를 도체연결부(110)의 내측면에 밀착시킬 수 있다.

상기 공구 삽입부(121)는 홈 형상으로 되어 있기 때문에 상기 도체연결부(110)는 보다 튀어나오지 않게 된다.

따라서 상기 공구 삽입부(121)와 도체연결부(110)의 외주면은 연속되게 상기 전극부 몸체(100) 내부에 삽입된다.

따라서, 세트 스크류(120)가 풀리더라도 상기 전극부 몸체(100)의 내측면에 의해 상기 세트 스크류(120)가 일정범위 이상 풀리지 않게 된다.

따라서, 상기 도체(203)가 도체연결부(110)에서 풀리게 되어 단락현상이 일어나는 것이 방지된다.

본 발명에 따른 전극부의 전선 체결장치는, 전선의 도체 연결을 보다 정확하고 쉽게하여 전압의 공급을 원할하게 하는 하는데 적합한다.

도 1은 종래의 전극부의 단면도

도 2는 종래의 전극부에 설치되는 도체연결부의 사시도

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100: 전극부 몸체 110: 도체연결부

120: 세트 스크류 140: leak 방지용 O-ring

151: 체결홈 203: 도체

Claims

전극부 몸체;

상기 전극부 몸체 내부에 설치되는 도체연결부;

상기 도체연결부에 형성되는 관통공;

상기 관통공에 삽입 설치되는 세트스크류;

상기 도체연결부에 상하 방향으로 형성되어 도체가 삽입되는 구멍;

상기 세트스크류의 외측면과 상기 관통공의 내측면에 각각 형성된 나사산을 포함하되,

상기 세트스크류의 후단부는 상기 관통공의 후단부로부터 돌출되지 않는 것을 특징으로 하는 전극부의 전선체결장치.
제 1항에 있어서,

상기 세트 스크류의 후면에는 육각 형상의 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 전극부의 전선체결장치.