KR101044216B1 - 압전 액츄에이터 모듈 - Google Patents

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정수영
장지연
박동선
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Abstract

본 발명은 압전 액츄에이터 모듈에 관한 것으로, 본 발명에 따른 압전 액츄에이터 모듈(100)은 판상으로 형성된 플레이트(110), 플레이트(110)의 길이방향 양단에 각각 2개 이상 구비되고 플레이트(110)에 대해 수직으로 돌출되어 일측이 전자기기에 결합되는 탄성부재(120) 및 플레이트(110)의 일면에 구비되어 전자기기에 진동력을 전달하는 압전소자(130)를 포함하는 구성이며, 양단에 2개 이상의 탄성부재를 구비한 플레이트를 채용하여 길이의 변화 또는 탄성부재의 개수 변화에 따라 진동력을 조절할 수 있고, 플레이트에 구비된 압전소자를 안정적으로 지지할 수 있는 장점이 있다.

Description

압전 액츄에이터 모듈{Piezoelectric actuator module}
본 발명은 압전 액츄에이터 모듈에 관한 것이다.
사용자가 컴퓨터나 프로그램과 의사소통을 더욱 쉽고 편리하게 할 수 있도록 하기 위해 여러가지 방법이 사용되는데, 최근에는 사용자가 터치하여 입력하는 개념 이외에도 인터페이스에 사용자의 직관적인 경험을 반영하고 피드백을 다양화하는 개념을 포함하는 햅틱 디바이스(haptic device)가 많이 채용되고 있다.
햅틱 디바이스는 공간절약이 가능하고 조작성 향상과 간편성 동시에 구현할 수 있고, 사양변경이 간편하며 사용자 인식률이 높다는 점 이외에도 IT 기기와의 연동의 용이성 등 많은 장점이 있다. 이와 같은 장점으로 인하여 산업, 교통, 서비스, 의료, 모바일 등 다양한 분야에서 폭넓게 이용되고 있다.
일반적으로, 햅틱 디바이스는 투명성을 갖는 터치패널이 화상을 표시하는 LCD 등의 화상표시장치에 밀착되게 배치되고, 사용자가 터치패널을 통하여 화상을 보면서 터치패널을 압박 조작하는 경우 진동모터(vibration motor) 또는 압전 액츄에이터(piezoelectric actuator)와 같은 진동발생수단이 터치패널에 진동감을 인가하여 사용자가 진동을 느낄 수 있는 구조를 채용하고 있다.
그러나, 진동발생수단 중 진동모터는 휴대폰 전체가 진동하는 방식으로 사용자에게 촉각 피드백을 인가하도록 작동하기 때문에 터치패널을 통해 사용자에게 전달되는 진동이 감속되는 문제점이 있다. 따라서, 최근에는 특정부분을 진동시킴으로써 사용자의 진동감을 향상시킬 수 있는 압전 액츄에이터에 대한 연구가 활발한 실정이지만, 부피를 줄이면서도 진동력을 증가시킬 수 있는 압전 액츄에이터 모듈(piezoelectric actuator module)을 실용화하기 어려운 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 진동력을 강화시킬 수 있는 최적의 구조로 형성된 압전 액츄에이터 모듈을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 압전 액츄에이터 모듈은 판상으로 형성된 플레이트, 상기 플레이트의 길이방향 양단에 각각 2개 이상 구비되고 상기 플레이트에 대해 수직으로 돌출되어 일측이 전자기기에 결합되는 탄성부재 및 상기 플레이트의 일면에 구비되어 진동력을 발생시키하는 압전소자를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 탄성부재는 코일스프링인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 탄성부재는 상기 플레이트와 일체로 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 탄성부재는 상기 플레이트의 타면으로부터 수직으로 돌출된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 탄성부재는 상기 플레이트의 일면으로부터 수직으로 돌출된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 플레이트의 길이방향에 수직한 상기 플레이트의 중심축을 기준으로 상기 플레이트의 양단에 구비된 상기 2개 이상의 탄성부재는 서로 대칭되는 위치에 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 탄성부재는 상기 플레이트에 대해 수직으로 돌출되어 상기 전자기기에 결합되는 원판 및 상기 원판으로부터 상기 플레이트까지 선회곡선을 이루며 연장된 탄성지지체를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 탄성지지체는 4개가 구비되어 상기 원판을 사등분하는 위치로부터 연장되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 탄성지지체는 3개가 구비되어 상기 원판을 삼등분하는 위치로부터 연장되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다.
이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
본 발명에 따르면, 양단에 2개 이상의 탄성부재를 구비한 플레이트를 채용하여 길이의 변화 또는 탄성부재의 개수 변화에 따라 진동력을 조절할 수 있고, 플레이트에 구비된 압전소자를 안정적으로 지지할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 플레이트에 일체로 형성된 탄성부재를 구비하여 별도의 탄성부재를 제작을 생략할 수 있어 제조비용을 절약할 수 있고, 탄성부재를 플레이트에 결합하는 공정을 생략할 수 있어 압전 액츄에이터 모듈의 제조공정을 단순화할 수 있는 효과가 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 압전 액츄에이터 모듈의 분해사시도;
도 3 및 도 4는 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 압전 액츄에이터 모듈의 측면도;
도 5는 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 압전 액츄에이터 모듈의 길이변화에 따른 구동주파수의 변화를 나타낸 그래프;
도 6 및 도 7은 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 압전 액츄에이터 모듈의 사시도;
도 8 및 도 9는 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 압전 액츄에이터 모듈의 측면도; 및
도 10 및 도 11은 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 압전 액츄에이터 모듈의 평면도이다.
본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, "일면", "타면" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 기준으로 사용되는 것으로, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다. 그리고, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 압전 액츄에이터 모듈의 분해사시도이고, 도 3 및 도 4는 본 발명의 바람직한 제1 실시예에 따른 압전 액츄에이터 모듈의 측면도이다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 압전 액츄에이터 모듈(100)은 판상으로 형성된 플레이트(110), 플레이트(110)의 길이방향 양단에 각각 2개 이상 구비되고 플레이트(110)에 대해 수직으로 돌출되어 일측이 전자기기에 결합되는 탄성부재(120) 및 플레이트(110)의 일면에 구비되어 전자기기에 진동력을 전달하는 압전소자(130)를 포함하는 구성이다.
상기 플레이트(110)는 압전소자(130)를 지지하여 구동 중 압전소자(130)에 가해질 수 있는 충격을 방지하는 동시에 압전소자(130)의 진동력을 강화시키는 역할을 수행하는 것으로, 판상으로 형성된다. 여기서, 플레이트(110)의 재질은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 압전소자(130)를 안정적으로 지지하는 동시에 압전소자(130)의 진동력을 전자기기에 효과적으로 전달하기 위해서 소정강도 이상의 강성소재로 형성하는 것이 바람직하다.
또한, 플레이트(110)의 길이를 조절하여 주파수를 제어함으로써 최종적으로는 압전 액츄에이터 모듈(100)의 진동력을 제어할 수 있다. 진동력(G)에 관한식이 G=-(m×X×w2)/M (m=변위를 갖는 부분의 질량, X=압전소자(130)의 변위, w=구동주파수, M=전체질량)이므로 압전소자(130)의 구동주파수(w)가 변경되면 진동력(G)도 변경됨을 알 수 있다. 예르 들어, 도 5에 도시된 바와 같이, 플레이트(110)의 길이를 15mm, 30mm, 45mm로 변경하면 구동주파수(w)가 약 240Hz, 약 200Hz, 약 140Hz로 변경되므르 전술한 식에 따라 최종적으로는 압전 액츄에이터 모듈(100)의 구동력(G)을 변경할 수 있는 것이다.
또한, 전술한 식에 있어서, 플레이트(110)도 압전소자(130)와 함께 진동하므로 m(변위를 갖는 부분의 질량)값에 플레이트(110)의 질량도 포함되어 m값이 증가하게 된다. 따라서, 압전소자(130)의 사이즈를 감소시켜도 진동력을 유지할 수 있어 고가의 압전소자(130) 제조비용을 절약할 수 있는 장점이 있다.
상기 탄성부재(120)는 전자기기에 압전소자(130)가 구비된 플레이트(110)를 고정시키고 압전 액츄에이터 모듈(100)의 탄성을 조절하는 역할을 수행한다. 본 실시예에서는 탄성부재(120)로 통상적인 코일스프링을 사용한다. 또한, 탄성부재(120)는 플레이트(110)로부터 수직으로 돌출되고, 플레이트(110)의 길이방향 양단에 각각 2개 이상이 구비된다. 따라서, 플레이트(110)의 길이방향 양단에 각각 1개의 탄성부재(120)만 사용할 때 플레이트(110)의 길이방향 중심축을 기준으로 발생할 수 있는 틸팅(tilting)현상을 방지할 수 있는 장점이 있다. 또한, 틸팅현상을 방지하고 더욱 안정적인 구조를 확보하기 위해서 프레이트의 양단에 구비된 2개 이상의 탄성부재(120)는 플레이트(110)의 길이방향에 수직한 플레이트(110)의 중심축을 기준으로 서로 대칭으로 형성된 것이 바람직하다.
또한, 도면상 탄성부재(120)는 총 4개를 도시하였지만 이는 예시적인 것이고, 플레이트(110)의 길이방향 양단에 각각 3개씩 총 6개의 탄성부재(120)나 플레이트(110)의 길이방향 양단에 각각 4개씩 총 8개의 탄성부재(120) 등 다수개의 탄성부재(120)를 채용하여 더욱 안정적인 지지력을 구현할 수 있고, 압전 액츄에이터 모듈(100)의 탄성을 조절할 수 있다.
한편, 탄성부재(120)는 압전소자(130)가 형성된 플레이트(110)의 일면과 반대면인 플레이트(110)의 타면에 형성될 수 있고(도 1 및 도 3 참조), 필요에 따라서 압전소자(130)와 동일면에 형성될 수 있다(도 2 및 도 4 참조).
상기 압전소자(130)는 진동력을 발생시키는 수단으로서, 플레이트(110)의 일면에 구비된다. 따라서, 압전소자(130)가 진동력을 발생시키면 플레이트(110)가 압전소자(130)와 함께 진동하고, 플레이트(110)에 결합된 탄성부재(120)를 통해서 전자기기에 진동력이 전달되는 것이다. 압전소자(130)에 대해 더욱 상세히 살펴보면, 압전소자(130)는 전원인가시 신축 및 굴곡변형하여 진동력을 생성하고, 전극패턴이 형성된 압전시트(세라믹 압전시트)가 단일 또는 적층된 구조를 갖는다. 이때, 압전시트의 표면에 인쇄되는 전극패턴을 적절히 설정함으로써 압전소자(130)는 제1 진동모드, 제2 진동모드, 예를 들어 압전소자(130)의 길이방향으로 발생하는 신축 진동모드와 압전소자(130)의 두께방향으로 발생하는 굴곡 진동모드를 발생시키게 된다. 한편, 압전소자(130)의 압전시트 적층구조와 전극패턴 구조는 다양한 방식으로 공지되어 있으므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하도록 한다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 압전 액츄에이터 모듈의 사시도이고, 도 8 및 도 9는 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 압전 액츄에이터 모듈의 측면도이며, 도 10 및 도 11은 본 발명의 바람직한 제2 실시예에 따른 압전 액츄에이터 모듈의 평면도이다.
도 6 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 본 실시예와 제1 실시예와의 가장 큰 차이점은 탄성부재(120)의 구조이다. 따라서, 본 실시예에서는 제1 실시예와 중복되는 내용은 생략하고 탄성부재(120)를 중심으로 기술하도록 한다.
본 실시예에 따른 탄성부재(120)는 제1 실시예에 따른 탄성부재(120)와 비교해볼 때 제1 실시예에서는 플레이트(110)에 일반적인 코일스프링을 결합한 반면, 본 실시예에서는 플레이트(110)와 일체로 형성된 탄성부재(120)를 구비한다. 예를 들어, 탄성부재(120)는 플레이트(110)의 양단을 절단한 후 절곡하여 일체로 형성할 수 있다. 따라서 별도의 탄성부재(120)를 제작하는 공정과 탄성부재(120)를 플레이트(110)에 부착하는 공정을 생략할 수 있는 장점이 있다.
또한, 탄성부재(120)의 구조를 더욱 상세히 살펴보면, 탄성부재(120)는 플레이트(110)에 대해 수직으로 돌출되어 전자기기에 결합되는 원판(123) 및 원판(123)으로부터 플레이트(110)까지 선회곡선을 이루며 연장되고 실질적으로 탄성력을 제공하는 탄성지지체(127)로 구성된다. 따라서, 압전소자(130)가 진동하면 탄성지지체(127)의 탄성력에 의해서 원판(123)과 플레이트(110)의 간격이 변동하면서 전자기기에 진동력이 전달된다. 여기서, 탄성지지체(127)는 예를 들어 3개 또는 4개가 구비될 수 있는데, 탄성지지체(127)가 3개 구비된 경우 탄성지지체(127)는 원판(123)을 삼등분하는 위치로부터 연장되고(도 10 참조), 탄성지지체(127)가 4개 구비된 경우 탄성지지체(127)는 원판(123)을 사등분하는 위치로부터 연장되는 것(도 11 참조)이 안정적인 구조를 위해서 바람직하다.
한편, 탄성부재(120)는 압전소자(130)가 형성된 플레이트(110)의 일면과 반대면인 플레이트(110)의 타면에 형성될 수 있고(도 6 및 도 8 참조), 필요에 따라서 압전소자(130)와 동일면에 형성될 수 있음(도 7 및 도 9 참조)은 제1 실시예와 동일하다.
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 압전 액츄에이터 모듈은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
100: 압전 액츄에이터 모듈 110: 플레이트
120: 탄성부재 123: 원판
127: 탄성지지체 130: 압전소자

Claims (9)

  1. 판상으로 형성된 플레이트;
    상기 플레이트의 길이방향 양단에 각각 2개 이상 구비되고 상기 플레이트에 대해 수직으로 돌출되어 일측이 전자기기에 결합되는 탄성부재; 및
    상기 플레이트의 일면에 구비되어 진동력을 발생시키하는 압전소자;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터 모듈.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 탄성부재는 코일스프링인 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터 모듈.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 탄성부재는 상기 플레이트와 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터 모듈.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 탄성부재는 상기 플레이트의 타면으로부터 수직으로 돌출된 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터 모듈.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 탄성부재는 상기 플레이트의 일면으로부터 수직으로 돌출된 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터 모듈.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 플레이트의 길이방향에 수직한 상기 플레이트의 중심축을 기준으로 상기 플레이트의 양단에 구비된 상기 2개 이상의 탄성부재는 서로 대칭되는 위치에 형성된 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터 모듈.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 탄성부재는,
    상기 플레이트에 대해 수직으로 돌출되어 상기 전자기기에 결합되는 원판; 및
    상기 원판으로부터 상기 플레이트까지 선회곡선을 이루며 연장된 탄성지지체;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터 모듈.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 탄성지지체는 4개가 구비되어 상기 원판을 사등분하는 위치로부터 연장되는 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터 모듈.
  9. 청구항 7에 있어서,
    상기 탄성지지체는 3개가 구비되어 상기 원판을 삼등분하는 위치로부터 연장되는 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터 모듈.
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101320176B1 (ko) * 2011-12-26 2013-10-23 삼성전기주식회사 햅틱 피드백 디바이스
WO2013165942A1 (en) 2012-05-01 2013-11-07 Brigham And Women's Hospital, Inc. Suturing device for laparoscopic procedures
USD784306S1 (en) * 2014-03-17 2017-04-18 Smk Corporation Actuator
JP6445372B2 (ja) 2015-03-31 2018-12-26 日本碍子株式会社 圧電／電歪材料、圧電／電歪体及び共振駆動デバイス
CN112968627A (zh) * 2021-03-29 2021-06-15 维沃移动通信有限公司 振动装置、振动控制方法和电子设备

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080049248A (ko) * 2006-11-30 2008-06-04 엘지디스플레이 주식회사 표시 장치
KR20080096265A (ko) * 2007-04-27 2008-10-30 서강대학교산학협력단 압전 소자 및 상기 압전 소자를 이용한 압전 액추에이터
JP2009245056A (ja) 2008-03-31 2009-10-22 Taiheiyo Cement Corp 圧電アクチュエータユニット

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT384912B (de) * 1982-04-16 1988-01-25 Ki Polt I Piezoelektrischer motor
US5039899A (en) * 1989-02-28 1991-08-13 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Piezoelectric transducer
US5416375A (en) * 1992-06-15 1995-05-16 Olympus Optical Co., Ltd. Ultrasonic motor
JPH07170768A (ja) * 1993-12-14 1995-07-04 Nikon Corp 超音波モータ
JPH07177767A (ja) * 1993-12-21 1995-07-14 Nikon Corp リニア型超音波モータ
JP3748637B2 (ja) 1996-10-14 2006-02-22 松下電器産業株式会社 携帯機器用振動発生装置
JPH09327185A (ja) * 1996-04-02 1997-12-16 Nikon Corp 振動アクチュエータ
JPH10243668A (ja) * 1997-02-24 1998-09-11 Nikon Corp 振動アクチュエータ
JPH11155290A (ja) * 1997-09-22 1999-06-08 Nikon Corp 振動アクチュエータ
JP2000060163A (ja) * 1998-02-10 2000-02-25 Nikon Corp 振動アクチュエ―タ
JP2000140759A (ja) 1998-11-09 2000-05-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電アクチュエータ及び圧電バイブレータ
JP4612798B2 (ja) * 2003-04-18 2011-01-12 キヤノン株式会社 動力伝達機構
JP2007222794A (ja) 2006-02-23 2007-09-06 Citizen Electronics Co Ltd 振動体
JP2007229680A (ja) 2006-03-03 2007-09-13 Sanyo Electric Co Ltd 往復振動発生器

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080049248A (ko) * 2006-11-30 2008-06-04 엘지디스플레이 주식회사 표시 장치
KR20080096265A (ko) * 2007-04-27 2008-10-30 서강대학교산학협력단 압전 소자 및 상기 압전 소자를 이용한 압전 액추에이터
JP2009245056A (ja) 2008-03-31 2009-10-22 Taiheiyo Cement Corp 圧電アクチュエータユニット

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