KR101041615B1 - Apparatus for LCD manufacturing - Google Patents

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Abstract

본 발명은 제조 장비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상면에 다수개의 기판안착핀이 형성되고, 내부에 다수개의 관통홀이 형성된 스테이지와; 상기 스테이지 하면에 구성되는 다수개의 스테이지 지지핀과; 상기 관통홀을 관통하여 위치하고 일단이 상기 기판의 하면을 지지하는 다수개의 기판 지지핀과; 상기 기판 지지핀의 타단이 고정되는 지지핀 고정바디와; 상기 스테이지 지지핀의 상하 기동의 동력을 제공하는 구동 모터를 포함하는 액정표시장치 제조용 세정장비로서, 세정을 위해 스테이지에 안착된 기판과 스테이지 간의 박리대전에 의한 정전기 방전 현상을 제거하여 정전기에 의한 제품의 손상 요인을 줄여 생산성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
The present invention relates to manufacturing equipment, and more particularly, a plurality of substrate seating pins are formed on an upper surface, and a plurality of through holes are formed therein; A plurality of stage support pins formed on the bottom surface of the stage; A plurality of substrate support pins penetrating through the through holes and having one end supporting a lower surface of the substrate; A support pin fixing body to which the other end of the substrate support pin is fixed; A cleaning device for manufacturing a liquid crystal display device including a driving motor that provides power for vertically starting the stage support pins, wherein the product is removed by static electricity by removing an electrostatic discharge phenomenon caused by peeling charging between the substrate and the stage seated on the stage. There is an advantage to improve the productivity by reducing the damage factor.

Description

액정표시장치 제조용 세정장비{Apparatus for LCD manufacturing} Cleaning equipment for liquid crystal display manufacturing {Apparatus for LCD manufacturing}             

도 1은 종래의 기판 세정장비 중 TFT가 형성된 기판의 자외선 세정 장비를 간략하게 도시한 도면1 is a view showing briefly the ultraviolet cleaning equipment of a substrate on which a TFT of the conventional substrate cleaning equipment is formed;

도 2는 종래의 기판 세정장비의 구동에서 발생하는 박리 대전 현상의 문제점을 설명하는 도면2 is a view for explaining a problem of the peeling charging phenomenon occurring in the driving of the conventional substrate cleaning equipment

도 3은 본 발명에 따른 액정표시장치 제조용 세정장비의 구성을 도시한 도면3 is a view showing the configuration of a cleaning apparatus for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 액정표시장치 제조용 세정장비의 스테이지에 안착되는 기판을 도시한 사시도면4 is a perspective view illustrating a substrate seated on a stage of a cleaning apparatus for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 액정표시장치 제조용 세정장비의 동작을 설명하기 위한 도면
5 is a view for explaining the operation of the cleaning equipment for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 간단한 설명><Brief description of the main parts of the drawing>

50 : 기판 60 : 스테이지50: substrate 60: stage

61 : 관통홀 62 : 기판안착핀61 through hole 62 substrate mounting pin

64 : 스테이지 지지핀 66 : 기판 지지핀64: stage support pin 66: substrate support pin

70 : 구동 모터 80 : 지지핀 고정바디70: drive motor 80: support pin fixed body

본 발명은 제조 장비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 정전기에 의한 제품의 불량 발생률을 낮추고 또한 장비의 구성을 간단하게 하여 생산성을 증대시킬 수 있는 액정표시장치 제조용 기판 세정장비에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to manufacturing equipment, and more particularly, to a substrate cleaning equipment for manufacturing a liquid crystal display device, which can increase productivity by lowering a defect rate of a product caused by static electricity and simplifying the construction of the equipment.

최근 들어 급속한 발전을 거듭하고 있는 반도체 산업의 기술 개발에 의하여 소형, 경량화 되면서 성능은 더욱 강력해진 제품들이 생산되고 있다. 지금까지 정보 디스플레이 장치에 널리 사용되고 있는 CRT(cathode ray tube)가 성능이나 가격적인 측면에서 많은 장점을 갖고 있지만, 소형화 또는 휴대성의 측면에서는 단점을 갖고 있다. 이에 반하여, 액정 디스플레이 장치는 소형, 경량, 저전력소비 등의 장점을 갖고 있어 CRT의 단점을 극복할 수 있는 대체 수단으로 점차 주목받아 왔고, 현재는 디스플레이 장치를 필요로 하는 거의 모든 정보 처리 기기에 장착되고 있는 실정이다.Recently, due to the technological development of the semiconductor industry, which is rapidly developing, products are being produced that are more compact and lighter in performance. Cathode ray tubes (CRTs), which are widely used in information display devices, have many advantages in terms of performance and price, but have disadvantages in terms of miniaturization or portability. In contrast, liquid crystal display devices have been attracting attention as an alternative means of overcoming the disadvantages of CRT due to their advantages such as small size, light weight, and low power consumption, and are now installed in almost all information processing devices that require display devices. It's happening.

액정 디스플레이 장치는 액정의 특정한 분자배열에 전압을 인가하여 다른 분자배열로 변환시키고 이러한 분자 배열에 의해 발광하는 액정셀의 복굴절성, 선광성, 2색성 및 광산란특성 등의 광학적 성질의 변화를 시각 변화로 변환하는 것으로, 액정셀에 의한 빛의 변조를 이용한 디스플레이 장치이다.The liquid crystal display device converts optical properties such as birefringence, photoreactivity, dichroism, and light scattering characteristics of a liquid crystal cell that are applied to a specific molecular array of liquid crystals to convert them into other molecular arrays, and emit light by the molecular array. By converting, it is the display apparatus which used the modulation of the light by a liquid crystal cell.

이러한 액정표시장치는 브라운관에 비하여 소형화가 가능하여 퍼스널 컴퓨터(Personal Computer)와 노트북 컴퓨터(Note Book Computer)의 모니터는 물 론, 복사기 등의 사무자동화기기, 휴대전화기나 호출기 등의 휴대기기까지 광범위하게 이용되고 있다.Such liquid crystal display devices can be miniaturized compared to CRTs, so that monitors of personal computers and notebook computers, as well as office automation devices such as photocopiers and mobile devices such as cell phones and pagers, can be used. It is used.

이중에서 가장 널리 사용되는 액티브 매트릭스 구동방식의 액정표시장치의 제조공정은 기판 세정과, 기판 패터닝, 배향막형성, 기판합착/액정주입, 실장 공정으로 나누어진다. The manufacturing process of the liquid crystal display device of the active matrix driving method, which is most widely used, is divided into substrate cleaning, substrate patterning, alignment film formation, substrate bonding / liquid crystal injection, and mounting processes.

기판세정 공정에서는 상/하부기판의 패터닝 전후에 기판들의 이물질을 세정제를 이용하여 제거하게 된다. In the substrate cleaning process, foreign substances on the substrates before and after the upper and lower substrates are patterned are removed using a cleaning agent.

기판 패터닝 공정에서는 상부기판의 패터닝과 하부기판의 패터닝으로 나누어진다. 상부기판에는 칼라필터, 공통전극, 블랙 매트릭스 등이 형성된다. 하부기판에는 데이터라인과 게이트라인 등의 신호배선이 형성되고, 데이터라인과 게이트라인의 교차부에 TFT가 형성되며, TFT의 소스전극에 접속되도록 데이터라인과 게이트라인 사이의 화소영역에 화소전극이 형성된다.In the substrate patterning process, the upper substrate is patterned and the lower substrate is patterned. A color filter, a common electrode, a black matrix, and the like are formed on the upper substrate. Signal lines such as data lines and gate lines are formed on the lower substrate, and TFTs are formed at intersections of the data lines and gate lines. Is formed.

기판합착/액정주입 공정에서는 하부기판 상에 배향막을 도포하고 러빙하는 공정에 이어서, 실(Seal)재를 이용한 상/하부기판 합착공정, 액정주입, 주입구 봉지, 세정, 연마(grinding) 공정이 순차적으로 이루어져 액정패널이 완성된다.In the substrate bonding / liquid crystal injection process, the alignment film is applied and rubbed on the lower substrate, followed by the upper / lower substrate bonding process using a seal material, liquid crystal injection, injection hole encapsulation, cleaning, and grinding process. The liquid crystal panel is completed.

이러한 액정표시장치를 제조함에 있어서, 상기 기판합착/액정주입 공정 전에 기판 상의 유기 오염물질에 대한 세정을 수행하게 되는데, 도 1은 이러한 종래의 기판 세정 장비 중 TFT가 형성된 기판의 자외선(UV) 세정 장비를 간략하게 도시한 도면이다.In manufacturing such a liquid crystal display, cleaning of organic contaminants on a substrate is performed prior to the substrate bonding / liquid crystal injection process. FIG. 1 shows ultraviolet (UV) cleaning of a substrate on which a TFT is formed among such conventional substrate cleaning equipment. Briefly showing the equipment.

구성을 보면, 기판(10)이 안착되는 상,하부스테이지(12)(14)와, 상기 상,하 부 스테이지(12)(14) 내부에 다수개 형성된 관통홀(15)을 관통하여 상기 기판(10)을 지지하는 다수의 기판 지지핀(16)과, 상기 상,하부 스테이지(12)(14)를 지지하는 다수의 스테이지 지지핀(18)과, 상기 스테이지 지지핀(18)을 이동시켜 상기 상,하부 스테이지(12)(14)를 상하로 기동시키기 위한 동력을 제공하는 스테이지 구동모터(20)로 구성된다.In the configuration, the substrate 10 passes through the upper and lower stages 12 and 14 on which the substrate 10 is seated, and through holes 15 formed in the upper and lower stages 12 and 14. A plurality of substrate support pins 16 for supporting 10, a plurality of stage support pins 18 for supporting the upper and lower stages 12 and 14, and the stage support pins 18 are moved. It consists of a stage drive motor 20 that provides power for starting the upper and lower stages 12, 14 up and down.

여기에, 상기 상부 스테이지(12)는 미도시된 다수의 흡착홀이 형성되어 있는데, 이는 에어호스(air hose)(22)를 통해 기판의 스테이지 흡착과 분리를 수행하기 위한 공기를 제공하게 된다. 상기 다수의 기판 지지핀(16)의 일단은 고정을 위해 별도의 바디(30)에 연결된다. Here, the upper stage 12 is formed with a plurality of adsorption holes not shown, which provides air for performing stage adsorption and separation of the substrate through an air hose (22). One end of the plurality of substrate support pins 16 is connected to a separate body 30 for fixing.

상기한 구성의 자외선 세정장비의 동작을 보면, 먼저 상기 상부 스테이지(12) 상으로 이동되어 안착된 기판(10)은 자외선 세정을 안정적으로 수행하기 위해 기판의 스테이지 고정을 위한 에어 흡착을 수행하게 된다. 이때는 상기 상부 스테이지(12)의 흡착홀과 연결된 에어호스(22)를 통해 에어를 흡입함으로써 기판(10)이 상부 스테이지(12)에 완전 흡착되어 세정작업 동안 이동되지 않도록 고정하게 된다.Referring to the operation of the ultraviolet cleaning device of the above configuration, the first substrate 10 moved and seated on the upper stage 12 is to perform the air adsorption for fixing the stage of the substrate to perform the ultraviolet cleaning stably. . At this time, the air is sucked through the air hose 22 connected to the suction hole of the upper stage 12 so that the substrate 10 is completely absorbed by the upper stage 12 and fixed so as not to be moved during the cleaning operation.

이후 자외선광 조사를 통한 세정이 완료되면, 기판(10)의 이동을 위해 상기 스테이지(12)(14)와의 분리를 수행하게 된다. 이는 상기 스테이지 구동모터(20)로부터 전달된 동력에 의해 상기 다수의 스테이지 지지핀(18)이 일시에 하강하게 되고 이때 상기 기판(10)은 도 2와 같이, 다수의 기판 지지핀(16) 상에 안착된 상태로 남아 있게 된다. After the cleaning through the ultraviolet light irradiation is completed, separation with the stage 12, 14 to move the substrate 10. This is because the plurality of stage support pins 18 are temporarily lowered by the power transmitted from the stage driving motor 20. At this time, the substrate 10 is on the plurality of substrate support pins 16, as shown in FIG. It remains seated on.                         

이후 상기 기판(10)은 별도의 이송수단을 통해 이송된다.The substrate 10 is then transferred through a separate transfer means.

그런데, 상기와 같이 기판(10)의 하면을 상부 스테이지(12) 상에 완전히 접촉시켜 자외선 세정을 수행한 후, 도 2와 같이 상,하부 스테이지(12)(14)를 하강시켜 기판(10)으로부터 분리하는 순간에 기판(10)과 스테이지(12)(14) 사이에 박리(剝離)에 의한 대전(帶電), 즉 강한 정전기 방전(ESD) 현상이 발생하게 된다. However, after performing the UV cleaning by completely contacting the lower surface of the substrate 10 on the upper stage 12 as described above, the upper and lower stages 12, 14 as shown in FIG. At the instant of separation from the substrate 10, the electrostatic discharge, that is, a strong electrostatic discharge (ESD) phenomenon due to peeling, occurs between the substrate 10 and the stages 12 and 14.

이러한 기판(10)과 스테이지(12)(14) 간의 박리에 의해 발생되는 정전기량은 약 4KV에 이르기 때문에 상기 기판(10)에 형성된 박막 트랜지스터(TFT) 소자와 같은 정밀 소자의 손상을 유발시키게 된다.
Since the amount of static electricity generated by peeling between the substrate 10 and the stage 12 and 14 reaches about 4 KV, damage to precision devices such as thin film transistor (TFT) devices formed on the substrate 10 is caused. .

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해, 자외선을 이용한 기판의 세정 작업에서 정전기에 의한 기판 손상 문제를 해결할 수 있는 액정표시장치 제조용 세정장비를 제안하는데 목적이 있다.In order to solve the above problems, an object of the present invention is to propose a cleaning apparatus for manufacturing a liquid crystal display device that can solve the problem of damage to the substrate caused by static electricity in the cleaning operation of the substrate using ultraviolet rays.

또한 본 발명은 자외선 세정에 있어서, 기판과 스테이지간의 박리에 의한 정전기발생 문제를 해결하고 아울러 장비의 구성을 간소화하여 장비 제조비용의 절감 및 유지 보수에 효율적인 액정표시장치 제조용 세정장비를 제안하는데 또다른 목적이 있다.
In addition, the present invention is to solve the problem of static electricity generated by peeling between the substrate and the stage in the ultraviolet cleaning, and to simplify the configuration of the equipment to propose a cleaning equipment for manufacturing a liquid crystal display device that is effective in reducing the equipment manufacturing cost and maintenance. There is a purpose.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 상면에 다수개의 기판안착핀 이 형성되고, 내부에 다수개의 관통홀이 형성된 스테이지와; 상기 스테이지 하면에 구성되는 다수개의 스테이지 지지핀과; 상기 관통홀을 관통하여 위치하고 일단이 상기 기판의 하면을 지지하는 다수개의 기판 지지핀과; 상기 기판 지지핀의 타단이 고정되는 지지핀 고정바디와; 상기 스테이지 지지핀과 연결되어 상기 스테이지의 상하 기동의 동력을 제공하는 구동 모터를 포함하는 액정표시장치 제조용 세정장비를 제안한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a plurality of substrate seating pins are formed on the upper surface, a plurality of through-holes formed therein; A plurality of stage support pins formed on the bottom surface of the stage; A plurality of substrate support pins penetrating through the through holes and having one end supporting a lower surface of the substrate; A support pin fixing body to which the other end of the substrate support pin is fixed; A cleaning apparatus for manufacturing a liquid crystal display device including a driving motor connected to the stage support pin to provide power for vertically starting the stage is proposed.

여기서 상기 기판안착핀의 상단부는 곡면의 형태를 가지는 것을 특징으로 한다.Here, the upper end of the substrate seating pin is characterized in that it has a curved shape.

상기 기판안착핀은 합성수지로 형성되는 것을 특징으로 한다.The substrate seating pin is characterized in that formed of a synthetic resin.

상기 다수개의 관통홀은 스테이지의 너비 방향과 수직되는 방향으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The plurality of through holes may be formed in a direction perpendicular to the width direction of the stage.

상기 세정장비는 스테이지 상부에 구성되는 자외선 발광소자를 더욱 포함하는 것을 특징으로 한다.The cleaning equipment is characterized in that it further comprises an ultraviolet light emitting element configured on the stage.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 액정표시장치 제조용 세정장비에 대해 설명하기로 한다.Hereinafter, a cleaning apparatus for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명에 따른 액정표시장치 제조용 세정장비의 구성을 도시한 도면이다.3 is a view showing the configuration of the cleaning equipment for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention.

구성을 보면, 기판(50)의 안착을 위한 스테이지(60)는 다수개의 관통홀(61)이 형성된 단층 일체형으로써, 상면에 기판(50)의 배면과 접촉하여 기판(50)을 안착하는 다수개의 기판안착핀(62)이 구성된다. 상기 기판안착핀(62)은 상기 기판(50)과 스테이지(60)간 박리에 의해 발생하는 정전기 발생을 방지하기 위해 형성된 구성요소이며, 재질은 정전기의 발생 또는 차단에 용이한 비금속 재질, 예를 들면 합성수지 계열의 소재가 적당하다.In view of the configuration, the stage 60 for mounting the substrate 50 is a single-layered unit in which a plurality of through-holes 61 are formed, and contacts the rear surface of the substrate 50 to the upper surface to mount the substrate 50. The substrate seating pin 62 is configured. The substrate seating pin 62 is a component formed to prevent the generation of static electricity generated by peeling between the substrate 50 and the stage 60, the material is a non-metallic material, such as easy to generate or block the static electricity For example, synthetic resin-based materials are suitable.

상기 기판안착핀(62)의 상단부는 안착되는 기판(50)과의 접촉면적을 더욱 최소화할 수 있는 형상을 가지는 것이 바람직하며, 본 발명의 실시예에서는 반원형의 곡면으로 구성하고 있다.The upper end of the substrate seating pin 62 preferably has a shape capable of further minimizing a contact area with the substrate 50 to be seated. In the embodiment of the present invention, the semicircular curved surface is formed.

기판 지지핀(66)은 상기 스테이지(60)에 다수 형성된 관통홀(61)에 각각 내치되어 유동되며, 일단은 상기 기판(50)의 배면을 지지하고 타단은 지지핀 고정바디(80)에 연결된다. 이때 상기 지지핀 고정바디(80)는 지면 또는 본 세정장비의 일부일 수 있다. 이때 상기 스테이지(60)에 형성된 다수의 관통홀(61)은 내치된 상기 기판 지지핀(66)의 내부 유동이 용이하도록 상기 스테이지(60) 너비 방향과 수직되게 형성되어 있음은 당연하다.Substrate support pins 66 are internally flowed through a plurality of through holes 61 formed in the stage 60, one end of which supports the rear surface of the substrate 50 and the other end of which is connected to the support pin fixing body 80. do. At this time, the support pin fixing body 80 may be part of the ground or the present cleaning equipment. At this time, the plurality of through-holes 61 formed in the stage 60 is naturally formed to be perpendicular to the width direction of the stage 60 to facilitate the internal flow of the substrate support pin 66 is placed.

상기 스테이지(60)는 하면에는 다수개의 스테이지 지지핀(64)이 형성되어 있으며, 상기 스테이지 지지핀(64)은 상기 스테이지(60)의 수평 유지와 상하 기동을 수행한다.The stage 60 has a plurality of stage support pins 64 formed on the bottom thereof, and the stage support pins 64 perform horizontal maintenance and vertical movement of the stage 60.

구동 모터(70)는 상기 스테이지 지지핀(64)의 상하 기동을 수행하기 위한 동력을 제공하며 아울러 상기 스테이지 지지핀(64)의 기동을 위한 동력 전달장치를 포괄하여 칭한다.The drive motor 70 provides power to perform the vertical movement of the stage support pin 64, and encompasses a power transmission device for the activation of the stage support pin 64.

또한 도시되지는 않았지만 상기 스테이지(60)의 상부 또는 인접된 위치에 자외선 세정을 위한 자외선 발광장치가 구성되고, 아울러 상기 자외선 발광장치의 구 동을 위한 구동장치가 더욱 구성됨은 당연하다.In addition, although not shown, it is obvious that an ultraviolet light emitting device for cleaning ultraviolet rays is formed at a position above or adjacent to the stage 60, and a driving device for driving the ultraviolet light emitting device is further configured.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 액정표시장치용 자외선 세정장비의 동작을 설명하면, 먼저 상기 스테이지(60)로 이송되어진 기판(50)은 도 4와 같이, 상기 다수의 기판안착핀(62) 상부에 안착된다.Referring to the operation of the ultraviolet cleaning device for a liquid crystal display device according to the present invention configured as described above, the substrate 50 is first transferred to the stage 60, as shown in Figure 4, the plurality of substrate seating pins 62 It sits on top.

이때 상기 기판(50)과 접촉되는 기판안착핀(62)의 끝단은 곡면 형태이므로 기판(50)과의 접촉면적은 최소화된다.At this time, since the end of the substrate mounting pin 62 in contact with the substrate 50 is curved, the contact area with the substrate 50 is minimized.

이후 상기 안착된 기판(50)에 대한 자외선 등을 이용한 세정작업이 완료되면, 상기 스테이지(60)는 구동 모터(70)에 의해 기동되는 스테이지 지지핀(64)의 이동으로 도 5와 같이 하강하게 된다. 이때 상기 기판(50)은 기판 지지핀(66)에 안착되어 최초 위치를 유지하게 된다. Thereafter, when the cleaning operation using ultraviolet rays or the like for the seated substrate 50 is completed, the stage 60 is lowered as shown in FIG. 5 by the movement of the stage support pin 64 that is activated by the driving motor 70. do. At this time, the substrate 50 is seated on the substrate support pin 66 to maintain the initial position.

상기와 같이 동작될 때 상기 기판(50)과 접촉되는 기판안착핀(62)의 상부 끝단의 전체 면적은 상기 기판(50)의 면적에 비해 매우 작기 때문에 제조 장비와의 박리에 의한 정전기 방전 현상은 발생하지 않는다.
Since the total area of the upper end of the substrate seating pin 62 in contact with the substrate 50 when operating as described above is very small compared to the area of the substrate 50, the electrostatic discharge phenomenon due to peeling with the manufacturing equipment is Does not occur.

상기와 같이 설명한 본 발명에 따른 액정표시장치 제조용 세정장비는, 세정을 위해 스테이지에 안착된 기판과 스테이지 간의 박리대전에 의한 정전기 방전 현상을 제거할 수 있는 구조를 제시하여 제품의 손상 요인 제거에 의한 생산성 향상에 효과가 있다.The cleaning apparatus for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention as described above, by presenting a structure that can remove the electrostatic discharge phenomenon due to the peeling charge between the substrate and the stage seated on the stage for cleaning to remove the damage factor of the product It is effective for improving productivity.

또한 본 발명에 따른 액정표시장치 제조용 세정장비는 기판이 다수의 안착핀 에 안착되기 때문에 기존의 스테이지와 기판의 흡착을 위한 에어호스 등의 구성이 불필요하여 제조 원가 절감 및 유지, 보수비용의 절감 등에 장점이 있다.In addition, the cleaning equipment for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention does not require the configuration of an air hose for adsorption of the stage and the substrate because the substrate is seated on a plurality of mounting pins, thereby reducing manufacturing cost, maintenance, and maintenance cost. There is an advantage.

Claims (5)

상면에 다수개의 기판안착핀이 형성되고, 내부에 다수개의 관통홀이 형성된 스테이지와;A stage having a plurality of substrate seating pins formed on an upper surface thereof and having a plurality of through holes formed therein; 상기 스테이지 하면에 구성되는 다수개의 스테이지 지지핀과;A plurality of stage support pins formed on the bottom surface of the stage; 상기 관통홀을 관통하여 위치하고 일단이 상기 기판의 하면을 지지하는 다수개의 기판 지지핀과;A plurality of substrate support pins penetrating through the through holes and having one end supporting a lower surface of the substrate; 상기 기판 지지핀의 타단이 고정되는 지지핀 고정바디와;A support pin fixing body to which the other end of the substrate support pin is fixed; 상기 스테이지 지지핀과 연결되어 상기 스테이지의 상하 기동의 동력을 제공하는 구동 모터A drive motor connected to the stage support pin to provide power for vertical starting of the stage. 를 포함하며, 상기 기판안착핀은 합성수지로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 세정장비The cleaning apparatus for manufacturing a liquid crystal display device, characterized in that, the substrate seating pin is formed of a synthetic resin 청구 항 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판안착핀의 상단부는 곡면의 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 세정장비Cleaning device for manufacturing a liquid crystal display device, characterized in that the upper end of the substrate seating pin has a curved shape 삭제delete 청구항 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 다수개의 관통홀은 스테이지의 너비 방향과 수직되는 방향으로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 세정장비The plurality of through-holes are cleaning equipment for manufacturing a liquid crystal display device, characterized in that formed in a direction perpendicular to the width direction of the stage 청구항 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 세정장비는, The cleaning equipment, 상기 스테이지 상부에 구성되는 자외선 발광소자를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 세정장비Cleaning equipment for manufacturing a liquid crystal display device further comprising an ultraviolet light emitting element configured on the stage
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