KR101037974B1

KR101037974B1 - Method of producing probe guide plate

Info

Publication number: KR101037974B1
Application number: KR1020090043886A
Authority: KR
Inventors: 임성한; 박철규
Original assignee: 주식회사 메디오션
Priority date: 2009-05-20
Filing date: 2009-05-20
Publication date: 2011-05-30
Also published as: KR20100124929A

Abstract

본 발명은 복수의 프로브를 지지하는 프로브 지지체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 세라믹 그린 시트를 성형하는 단계; 상기 세라믹 그린 시트에 다수의 홀을 가공하는 단계; 상기 세라믹 그린 시트에 형성된 각각의 홀들이 인접한 다른 세라믹 그린 시트에 형성된 각각의 홀들과 서로 연결되어, 상기 프로브를 삽입할 수 있는 다수의 삽입공들이 형성되도록, 상기 세라믹 그린 시트들을 적층하여 세라믹 그린 바를 제조하는 단계; 상기 세라믹 그린 바를 압착하는 단계; 및 압착된 상기 세라믹 그린 바를 소결하는 단계;를 포함하며, 상기 적층 단계에서, 상기 세라믹 그린 시트들은, 상기 삽입공들의 중심선이 상기 세라믹 그린 바의 표면과 직교하는 법선에 대해서 경사지도록, 인접하는 상기 세라믹 그린 시트들에 형성된 홀들의 중심이 서로 어긋난 상태로 적층되는 것을 특징으로 하는 프로브 지지체의 제조방법이 제공된다. 본 발명에 의한 프로브 지지체의 제조방법은 홀 가공이 용이하며, 또한, 검사 대상 단자가 길고 가는 모양으로 형성되며, 단자 사이의 간격이 매우 좁은 경우에도, 프로브를 확실하게 검사 대상의 단자에 접촉시킬 수 있다는 장점이 있다. The present invention relates to a probe support for supporting a plurality of probes and a method of manufacturing the same. According to the present invention, forming a ceramic green sheet; Machining a plurality of holes in the ceramic green sheet; The ceramic green bar may be stacked by stacking the ceramic green sheets so that each of the holes formed in the ceramic green sheet is connected to each of the holes formed in another adjacent ceramic green sheet to form a plurality of insertion holes into which the probe can be inserted. Manufacturing; Pressing the ceramic green bar; And sintering the crimped ceramic green bar, wherein in the laminating step, the ceramic green sheets are adjacent to each other such that the center line of the insertion holes is inclined with respect to a normal perpendicular to the surface of the ceramic green bar. Provided is a method of manufacturing a probe support, wherein the centers of the holes formed in the ceramic green sheets are stacked in a state where they are shifted from each other. In the method of manufacturing a probe support according to the present invention, the hole processing is easy, and the terminal to be inspected is formed to have a long and thin shape, and even if the distance between the terminals is very narrow, the probe can be surely brought into contact with the terminal to be inspected. There is an advantage that it can.

세라믹, 적층, 프로브, 지지체 Ceramic, laminated, probe, support

Description

Probe support and method for manufacturing the same {METHOD OF PRODUCING PROBE GUIDE PLATE}

본 발명은 회로 기판 혹은 전자 부품 등의 전기적 검사에 사용되는 검사 지그에 있어서, 검사 대상에 형성된 검사용 단자에 전기적으로 접촉하는 복수의 프로브를 지지하는 프로브 지지체 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 세라믹 시트에 홀을 가공한 후 소결하여 프로브 지지체를 제조하는 방법 및 프로브 지지체에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a probe support for supporting a plurality of probes in electrical contact with an inspection terminal formed on an inspection object in an inspection jig used for electrical inspection of a circuit board or an electronic component, and a method of manufacturing the same. Preferably, the present invention relates to a method for manufacturing a probe support by processing a hole in a ceramic sheet and then sintering the same, and to a probe support.

일반적으로, 회로 기판의 단락, 단선 등의 이상을 발견하기 위한 전기적 검사는, 검사 대상에 형성된 검사용 단자에 전기적으로 접촉하는 복수의 프로브(probe)를 구비한 검사 지그가 사용된다. 이러한 검사 지그는 검사 대상에 형성된 검사용 단자에 전기적으로 접촉하는 복수의 프로브와 프로브를 지지하는 지지체를 구비한다. In general, an inspection jig having a plurality of probes in electrical contact with an inspection terminal formed on an inspection object is used for an electrical inspection for detecting an abnormality such as a short circuit or disconnection of a circuit board. The inspection jig includes a plurality of probes electrically contacting the inspection terminals formed on the inspection object and a support for supporting the probes.

종래의 프로브 지지체는 주로 플라스틱 재질로 제작되었으며, 복수의 프로브를 삽입하기 위한 다수의 삽입공이 형성되어 있다. 이러한 삽입공은 주로 마이크로 드릴을 이용하여 가공하여 왔다. 최근에는 복잡한 신호 패턴의 형성이 요구되고 고 주파 신호를 많이 사용하는 검사 지그를 구성하기 위한 프로브 지지체로서 세라믹으로 이루어진 프로브 지지체가 각광받고 있다. 세라믹 기판이 내구성이 우수하고, 수직 팽창률이 작고, 고주파 특성이 좋기 때문이다. The conventional probe support is mainly made of a plastic material, and a plurality of insertion holes for inserting a plurality of probes are formed. Such insertion holes have been mainly processed using a micro drill. Recently, a probe support made of ceramic has been spotlighted as a probe support for forming an inspection jig which requires formation of a complex signal pattern and uses a high frequency signal a lot. This is because the ceramic substrate has excellent durability, small vertical expansion ratio, and good high frequency characteristics.

도 1을 참조하면 종래의 세라믹 프로브 지지체를 제조하는 방법은 다음과 같다. 우선, 몰드(mold)를 이용하여 성형체를 형성한다. 이어서, 성형체를 재료 특성에 적합한 소결 온도에서 소결하고, 소결체(1)를 요구되는 형상에 따라서 가공한다. 일반적으로 소결체(1)의 표면은 래핑 가공 또는 폴리싱 가공이 수행된다. 이어서, 소결체(1)에 드릴 또는 레이저를 이용하여 복수 개의 삽입공(2)을 형성한다. Referring to FIG. 1, a method of manufacturing a conventional ceramic probe support is as follows. First, a molded body is formed by using a mold. Next, the molded body is sintered at a sintering temperature suitable for the material properties, and the sintered body 1 is processed according to the required shape. In general, the surface of the sintered body 1 is subjected to lapping or polishing. Next, a plurality of insertion holes 2 are formed in the sintered body 1 using a drill or a laser.

종래의 세라믹 지지체의 제조방법은 다음과 같은 문제점이 있다. The conventional method for producing a ceramic support has the following problems.

첫째, 드릴 가공을 통해 세라믹 소결체에 삽입공을 가공하는 것은 다음과 같은 이유로 매우 어렵다. 삽입공을 형성하기 위한 드릴이 래핑 또는 폴리싱 가공된 매끄러운 소결체의 표면으로부터 미끄러져 소결체의 표면에 손상이 발생할 수 있다. 또한, 소결체는 경도가 높기 때문에 드릴이 쉽게 마모된다. 또한, 삽입공을 형성하기 위해 많은 시간이 소요된다. First, it is very difficult to process the insertion hole in the ceramic sintered body through the drill for the following reasons. The drill for forming the insertion hole may slide from the surface of the smooth sintered body which has been wrapped or polished and damage may occur on the surface of the sintered body. In addition, the drill is easily worn because the sintered body has high hardness. In addition, it takes a lot of time to form the insertion hole.

둘째, 약 수백㎛ 정도의 얇은 두께를 갖는 소결체를 이용하는 경우에는 삽입공을 형성하는 과정에서 크랙(crack)이 발생할 수 있다. 또한, 형성된 삽입공에 의해서 크랙이 발생하거나 깨질 수 있다. 이를 방지하기 위해서, 레이저를 이용하여 소결체에 삽입공을 형성할 경우, 초기 투자비, 가공비용 및 가공 시간이 증가한다. Second, in the case of using a sintered compact having a thickness of about several hundred μm, cracks may occur in the process of forming the insertion hole. In addition, cracks may be generated or broken by the insertion holes formed. In order to prevent this, when the insertion hole is formed in the sintered body using a laser, the initial investment cost, processing cost and processing time increases.

셋째, 레이저를 이용하여 두꺼운 소결체에 삽입공을 가공할 경우, 소결체를 관통하여 형성된 삽입공의 형상이 균일하지 않고, 삽입공의 크기 역시 균일하지 않다. 또한, 소결체의 상면에서의 삽입공의 사이즈 및 소결체의 하면에서의 삽입공의 사이즈가 서로 다른 문제점도 함께 갖는다.Third, when the insertion hole is processed into a thick sintered body using a laser, the shape of the insertion hole formed through the sintered body is not uniform, and the size of the insertion hole is also not uniform. Moreover, the size of the insertion hole in the upper surface of a sintered compact and the size of the insertion hole in the lower surface of a sintered compact also have a mutual problem.

넷째, 프로브를 삽입하기 위해 세라믹 지지체에 형성되어 있는 삽입공이, 세라믹 지지체의 표면에 대해서 수직한 방향으로 관통하여 형성되므로, 삽입되어 있는 프로브도 측정대상 단자와 수직으로 접촉한다. 따라서 프로브가 단자의 표면으로부터 불규칙한 방향으로 미끄러지면서 단자와 접촉하게 된다. 특히, 도 2에 도시 된 바와 같이 검사 대상(3)의 단자(4)가 길고 가는 모양으로서 단자 사이의 간격이 좁은 경우에는 더욱 문제가 된다. 경우에 따라서는 인접한 프로브(5)가 서로 가까워지는 방향으로 미끄러지면서 단자(4)와 접촉하는 경우에는 회로가 단락되어 정확한 검사가 이루어지지 않는다(도 3 참조). Fourth, since the insertion hole formed in the ceramic support for inserting the probe penetrates in the direction perpendicular to the surface of the ceramic support, the inserted probe also contacts the measurement target terminal vertically. Thus, the probe comes into contact with the terminal by sliding in an irregular direction from the surface of the terminal. In particular, as shown in FIG. 2, the terminal 4 of the inspection object 3 is long and thin in shape and becomes more problematic when the interval between the terminals is narrow. In some cases, when the adjacent probes 5 come into contact with the terminals 4 while sliding in a direction closer to each other, the circuit is short-circuited, so that accurate inspection is not performed (see FIG. 3).

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 개선하기 위해서 안출된 것으로서, 본 발명은 프로브 지지체의 삽입공을 용이하게 형성할 수 있으며, 검사 대상 단자가 길고 가는 모양으로 형성되며, 단자 사이의 간격이 매우 좁은 경우에도, 프로브를 확실하게 검사 대상의 단자에 접촉시킬 수 있는 프로브 지지체를 생산하는 방법 및 프로브 지지체를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to improve the above-mentioned conventional problems, the present invention can easily form the insertion hole of the probe support, the terminal to be inspected is formed in a long and thin shape, the spacing between the terminals is very narrow Even in this case, it is an object of the present invention to provide a method and a method for producing a probe support capable of reliably bringing a probe into contact with a terminal to be inspected.

본 발명에 의하면, 세라믹 그린 시트를 성형하는 단계; 상기 세라믹 그린 시트에 다수의 홀을 가공하는 단계; 상기 세라믹 그린 시트에 형성된 각각의 홀들이 인접한 다른 세라믹 그린 시트에 형성된 각각의 홀들과 서로 연결되어, 상기 프로브를 삽입할 수 있는 다수의 삽입공들이 형성되도록, 상기 세라믹 그린 시트들을 적층하여 세라믹 그린 바를 제조하는 단계; 상기 세라믹 그린 바를 압착하는 단계; 및 압착된 상기 세라믹 그린 바를 소결하는 단계;를 포함하며, 상기 적층 단계에서, 상기 세라믹 그린 시트들은, 상기 삽입공들의 중심선이 상기 세라믹 그린 바의 표면과 직교하는 법선에 대해서 경사지도록, 인접하는 상기 세라믹 그린 시트들에 형성된 홀들의 중심이 서로 어긋난 상태로 적층되는 것을 특징으로 하는 프로브 지지체의 제조방법이 제공된다. According to the present invention, forming a ceramic green sheet; Machining a plurality of holes in the ceramic green sheet; The ceramic green bar may be stacked by stacking the ceramic green sheets so that each of the holes formed in the ceramic green sheet is connected to each of the holes formed in another adjacent ceramic green sheet to form a plurality of insertion holes into which the probe can be inserted. Manufacturing; Pressing the ceramic green bar; And sintering the crimped ceramic green bar, wherein in the laminating step, the ceramic green sheets are adjacent to each other such that the center line of the insertion holes is inclined with respect to a normal perpendicular to the surface of the ceramic green bar. Provided is a method of manufacturing a probe support, wherein the centers of the holes formed in the ceramic green sheets are stacked in a state where they are shifted from each other.

또한, 다수의 세라믹 그린 시트를 적층 및 소결하여 획득되며, 프로브를 삽입할 수 있는 삽입공을 구비한 프로브 지지체로서, 상기 삽입공은 중심선이 상기 지지체의 표면과 직교하는 법선에 대해서 경사진 것을 특징으로 하는 프로브 지지체가 제공된다.In addition, a probe support having an insertion hole capable of inserting a probe, obtained by stacking and sintering a plurality of ceramic green sheets, wherein the insertion hole is inclined with respect to a normal line whose center line is perpendicular to the surface of the support. A probe support is provided.

본 발명에 의한 프로브 지지체의 제조방법은 세라믹 그린 시트에 홀을 가공하므로 홀 가공이 용이하다는 장점이 있다. 또한, 본 발명에 의해서 제조된 프로브 지지체는 검사 대상과 접촉하는 프로브가 삽입되는 삽입공이 경사져 있기 때문에, 프로브가 단자와 접촉하여 압력이 가해졌을 때 프로브가 휘는 방향을 제어할 수 있다는 장점이 있다. 따라서 검사 대상의 단자가 길고 가는 모양인 경우에는 프로브가 단자의 짧은 방향을 따라서 휘지않고 단자의 긴 쪽 방향에 따라 휘면서 접촉하도록 하여, 프로브를 확실하게 검사 대상의 단자에 접촉시켜, 검사 대상의 적절한 검사를 행할 수 있다.The method of manufacturing a probe support according to the present invention has an advantage in that the hole processing is easy because the hole is processed in the ceramic green sheet. In addition, the probe support manufactured according to the present invention has an advantage that the insertion hole into which the probe in contact with the test object is inserted is inclined, so that the direction in which the probe is bent when the probe is in contact with the terminal and a pressure is applied thereto is provided. Therefore, when the terminal to be inspected is long and thin, the probe is not bent along the short direction of the terminal but bent along the long direction of the terminal. Appropriate inspection can be performed.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 일실시예에 대해서 상세히 설명한다. 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 지지체의 단면도이다. 도 4를 참고하면, 본 실시예에 따른 프로브 지지체(10)는 프로브(5)를 삽입할 수 있는 삽입공(12)을 구비한다. 삽입공(12)은 중심축이 상기 지지체(10)의 표면과 직교하는 법선에 대해서 일정한 각도(θ)로 경사진 상태로 형성된다. 검사 대상(3)과 접촉하는 프로브(5)가 삽입되는 삽입공(12)이 경사져 있기 때문에, 삽입된 프로브(5)는 검사 대상(3)의 단자(4)와 수직으로 접하는 것이 아니라 일정한 각도로 기울어진 상태로 접한다. 따라서 압력이 가해졌을 때 기울어진 상태로 자연스럽게 휘면서 검사 대상(3)의 단자(4)와 접촉한다. 도 5를 참고하여 설명하면, 검사 대상(3)의 단자(4)가 길고 가는 모양인 경우에는 삽입공(12)이 검사 대상 단자(4)의 긴 쪽 방향으로 경사지도록 하면, 프로브(5)가 단자(4)의 짧은 방향을 따라서 휘지않고 단자(4)의 긴 쪽 방향에 따라 휘면서 접촉된다. 따라서 프로브(5)를 확실하게 검사 대상(3)의 단자(4)에 접촉시킬 수 있다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail an embodiment of the present invention. 4 is a cross-sectional view of a probe support according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4, the probe support 10 according to the present embodiment includes an insertion hole 12 into which the probe 5 can be inserted. The insertion hole 12 is formed in a state in which the central axis is inclined at a constant angle θ with respect to a normal line perpendicular to the surface of the support 10. Since the insertion hole 12 into which the probe 5 in contact with the inspection object 3 is inserted is inclined, the inserted probe 5 is not in contact with the terminal 4 of the inspection object 3 perpendicularly, but at a constant angle. Contact with tilted state. Therefore, when pressure is applied, it bends in a naturally inclined state and contacts the terminal 4 of the inspection object 3. Referring to FIG. 5, when the terminal 4 of the inspection target 3 is long and thin, when the insertion hole 12 is inclined in the long direction of the inspection target terminal 4, the probe 5 Does not bend along the short direction of the terminal 4 but contacts along the long direction of the terminal 4. Therefore, the probe 5 can be reliably brought into contact with the terminal 4 of the test object 3.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 지지체를 구비한 검사 지그를 이용하여 검사 대상을 검사할 때의 프로브의 움직임을 설명하기 위한 단면도이다. 도 6에 도시된 프로브 지지체(20)는 도 4에 도시된 프로브 지지체(10)와 달리 삽입공(22)의 경사 방향이 단면의 중앙부분에서 변경된다는 점 이외에는 차이가 없다. 프로브 지지체(20)의 삽입공(22)으로부터 노출되는 프로브(5)의 끝단이 검사 대상(3)의 단자(4) 면과 수직을 이루지 않고, 단자의 긴 쪽 방향으로 경사지도록 할 수 있다면, 이외에도 다양한 형태가 가능하다. FIG. 6 is a cross-sectional view for describing a movement of a probe when inspecting a test object by using a test jig having a probe support according to another exemplary embodiment of the present invention. The probe support 20 shown in FIG. 6 is different from the probe support 10 shown in FIG. 4 except that the inclination direction of the insertion hole 22 is changed at the center portion of the cross section. If the end of the probe 5 exposed from the insertion hole 22 of the probe support 20 is not perpendicular to the surface of the terminal 4 of the test object 3 and can be inclined in the long direction of the terminal, In addition, various forms are possible.

프로브 지지체는 다음과 같은 방법으로 제조된다. 우선, 요구되는 프로브 지지체의 특성에 따라서 세라믹 파우더를 선정하고 바인더 및 용매와 혼합하여 슬러리를 제조한다. 균일한 혼합을 위하여, 세라믹 파우더와 용매를 먼저 혼합하는 1차 교반 단계를 거친 후 바인더를 혼합하여 2차 교반하는 것이 바람직하다. 저온에서 소결하기 위해서는 글래스 프릿(glass frit)과 같은 소결조제를 첨가한다. 필요에 따라서는 분산제나 가소제를 첨가할 수 있다. 또한, 필요한 경우에는 슬러리 내에 존재하는 기포를 제거하기 위한 진공탈포공정을 거칠 수 있다. The probe support is prepared by the following method. First, a ceramic powder is selected according to the characteristics of the probe support required, and mixed with a binder and a solvent to prepare a slurry. For uniform mixing, it is preferable to go through a first stirring step of mixing the ceramic powder and the solvent first, followed by mixing the binder and second stirring. To sinter at low temperatures, a sintering aid, such as glass frit, is added. If necessary, a dispersant or a plasticizer can be added. In addition, if necessary, a vacuum degassing process for removing the air bubbles present in the slurry may be performed.

다음으로, 제조된 슬러리를 이용하여 세라믹 그린 시트를 성형한다. 이형제가 코팅된 PET 필름이나, 금속판에 블레이드를 이용하여 슬러리를 얇게 코팅한 후 건조하여 성형한다. 세라믹 그린 시트의 두께는 수십 내지 수백 마이크로 미터로 정도가 적당하다. 두께가 너무 얇으면 세라믹 그린 시트의 밀도가 떨어지고, 작업성이 나쁘며, 너무 두꺼우면 건조가 어렵기 때문이다. Next, the ceramic green sheet is molded using the prepared slurry. PET film coated with a releasing agent, or a thin plate using a blade on a metal plate and dried to form. The thickness of the ceramic green sheet is suitably about tens to hundreds of micrometers. If the thickness is too thin, the ceramic green sheet is less dense, workability is bad, if too thick, it is difficult to dry.

건조가 완료된 세라믹 그린 시트에 다수의 홀을 가공한다. 홀을 가공하는 방법으로는 펀치를 이용하는 방법과 마이크로 드릴을 이용하는 방법 등이 있다. 상술한 종래의 기술과 달리 두께가 수십 내지 수백 마이크로 미터에 정도인 그린시트에 홀을 가공하므로 짧은 시간 내에 다수의 홀을 가공할 수 있다는 장점이 있다. 또한, 마이크로 드릴을 사용하는 경우 종래의 기술에 비해서 사용횟수를 크게 늘릴 수 있다는 장점이 있다. A plurality of holes are processed in the dried ceramic green sheet. As a method of processing a hole, there is a method using a punch, a method using a micro drill, and the like. Unlike the prior art described above, since holes are processed in green sheets having a thickness of about tens to hundreds of micrometers, there are advantages in that a plurality of holes can be processed in a short time. In addition, the use of the micro drill has the advantage that the number of times can be significantly increased compared to the prior art.

다음으로, 세라믹 그린 시트의 적층방법을 설명한다. 세라믹 그린 시트에 형성된 홀이, 인접한 상층 및 하층 시트의 홀과 연결되어 삽입공을 형성하도록 세라믹 그린 시트를 적층하여 세라믹 그린 바를 제조한다. 이때 연결되는 홀들의 중심이 조금씩 어긋나도록 적층하여, 세라믹 그린 바에 형성된 삽입공의 중심축이 세라믹 그린 바의 표면에 직교하는 법선에 대해서 일정한 각도로 경사지도록 한다. 상기와 같이 세라믹 그린 시트들을 정렬하여 적층하는 방법은 여러 가지가 있을 수 있다. 예를 들어, 세라믹 그린 시트의 에지 부분에 얼라인 마크(align mark)를 인쇄하고 이를 CCD카메라(charged coupled device camera)와 같은 비주얼 유닛으로 감지하여 적층하는 방법이 있다. 다른 방법으로는 도 7에 도시된 바와 같이 세라믹 그린 시트(100)에 얼라인 홀(110)을 형성하고, 세라믹 그린 시트(100)들을 원하는 각도로 기울어져 있는 얼라인 로드(200)에 끼워 정렬하는 방법도 있다. Next, the lamination method of a ceramic green sheet is demonstrated. A ceramic green bar is manufactured by stacking ceramic green sheets such that holes formed in the ceramic green sheet are connected to holes of adjacent upper and lower sheets to form insertion holes. At this time, the centers of the holes to be connected are laminated little by little, so that the central axis of the insertion hole formed in the ceramic green bar is inclined at a predetermined angle with respect to a normal perpendicular to the surface of the ceramic green bar. As described above, the ceramic green sheets may be aligned and stacked in various ways. For example, there is a method of printing an alignment mark on the edge portion of the ceramic green sheet, and detecting and stacking the alignment mark with a visual unit such as a CCD camera. Alternatively, as shown in FIG. 7, the alignment holes 110 are formed in the ceramic green sheet 100, and the ceramic green sheets 100 are aligned to the alignment rod 200 inclined at a desired angle. There is also a way.

다음으로 세라믹 그린 바를 압착한다. 압착 방법으로는 일축 프레스를 이용하는 방법, 열간 정수압 압착 방법 등이 있다. 압착을 통해서 세라믹 그린 바의 밀도를 높이고, 균일하게 함으로써 소결단계에서 변형이 일어나는 것을 방지하고, 밀도를 높일 수 있다. 압착은 바인더의 연화온도에 비해서 높은 온도에서 진행하는 것이 바람직하다. Next, the ceramic green bar is pressed. As a crimping method, there is a method of using a uniaxial press, a hot hydrostatic crimping method, or the like. By pressing and increasing the density of the ceramic green bar and making it uniform, it is possible to prevent deformation from occurring in the sintering step and to increase the density. It is preferable to perform a crimping | compression-bonding at high temperature compared with the softening temperature of a binder.

압착된 세라믹 그린 바를 세라믹 파우더의 성질에 따른 적절한 온도 및 분위기 조건에서 소결하여 프로브 지지체를 제조한다. 필요한 경우에는, 세라믹 그린 바를 소결하기 전에 세라믹 그린 바의 바인더를 제거하기 위한 가소(Burn-out)공정을 추가할 수 있다. The pressed ceramic green bar is sintered at an appropriate temperature and atmosphere conditions according to the properties of the ceramic powder to prepare a probe support. If necessary, a burn-out process may be added to remove the binder of the ceramic green bar before the ceramic green bar is sintered.

이상, 실시예를 들어 본 발명에 따른 프로브 지지체 및 그 제조방법을 설명하였으나, 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.As mentioned above, although the probe support and its manufacturing method which concern on this invention were demonstrated to the Example, the protection scope of this invention is limited only by the matter described in the claim, and those skilled in the art of this invention It is possible to improve and change the technical idea of the invention in various forms. Therefore, such improvements and modifications will fall within the protection scope of the present invention, as will be apparent to those skilled in the art.

도 1은 종래의 프로브 지지체의 삽입공 가공 방법을 설명하기 위한 단면도1 is a cross-sectional view for explaining a conventional method for processing the insertion hole of the probe support

도 2는 검사 대상을 나타내는 평면도 2 is a plan view showing an inspection target

도 3은 종래의 프로브 지지체를 구비한 검사 지그를 이용하여 검사 대상을 검사할 때의 프로브의 움직임을 설명하기 위한 단면도 3 is a cross-sectional view for explaining the movement of a probe when inspecting a test object using a test jig having a conventional probe support.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 프로브 지지체의 단면도Figure 4 is a cross-sectional view of the probe support according to an embodiment of the present invention

도 5는 도 4에 도시된 프로브 지지체를 구비한 검사 지그를 이용하여 검사 대상을 검사할 때의 프로브의 움직임을 설명하기 위한 단면도FIG. 5 is a cross-sectional view for describing a movement of a probe when inspecting a test object by using a test jig having the probe support shown in FIG. 4. FIG.

도 6는 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브 지지체를 구비한 검사 지그를 이용하여 검사 대상을 검사할 때의 프로브의 움직임을 설명하기 위한 단면도6 is a cross-sectional view for explaining a movement of a probe when inspecting a test object using a test jig having a probe support according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 7은 세라믹 그린 시트를 얼라인 홀 및 얼라인 로드를 이용하여 상호 정렬하는 방법을 설명하기 위한 단면도7 is a cross-sectional view illustrating a method of aligning ceramic green sheets with each other using an alignment hole and an alignment rod.

<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명><Explanation of symbols on main parts of the drawings>

10, 20 : 프로브 지지체 12, 22 : 삽입공10, 20: probe support 12, 22: insertion hole

100 : 세라믹 그린시트 110 : 얼라인 홀100: ceramic green sheet 110: alignment hole

Claims

As a method for producing a probe support,

Forming a ceramic green sheet;

Machining a plurality of holes in the ceramic green sheet;

A ceramic green bar is manufactured by stacking the ceramic green sheets so that each of the holes formed in the ceramic green sheet is connected to each of the holes formed in another adjacent ceramic green sheet to form a plurality of insertion holes into which the probe can be inserted. Making;

Pressing the ceramic green bar; And

And sintering the pressed ceramic green bar.

In the manufacturing step of the ceramic green bar, the ceramic green sheets may have a center of holes formed in the adjacent ceramic green sheets such that the central axis of the insertion holes is inclined with respect to a normal perpendicular to the surface of the ceramic green bar. A method of manufacturing a probe support, characterized in that laminated in a state where they are offset from each other.

The method of claim 1,

The step of processing the hole,

Method for producing a probe support, characterized in that any one of punching processing, laser processing and drilling processing.

The method of claim 2,

Forming an alignment mark on an edge of the ceramic green sheet,

The ceramic green bar manufacturing step,

And detecting the alignment mark with a visual unit to align the ceramic green sheets.

The method of claim 2,

Forming an alignment hole in an edge of the ceramic green sheet,

The ceramic green bar manufacturing step,

Method for producing a probe support characterized in that the alignment holes are inserted into the alignment rod inclined.

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