KR101037187B1 - Apparatus For Coating Substrate - Google Patents

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    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
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    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
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    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
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Abstract

서로 다른 분사 노즐의 이동 속도 구간으로 이루어지는 동작 명령들이 설정되고, 상기 동작 명령들 중 어느 하나를 선택하여 분사 노즐을 이동시킴으로써 분사 노즐 이동에 대한 재현성을 향상시킬 수 있는 기판 코팅 장치를 제공한다. 상기 기판 코팅 장치는 외부로부터 공급받은 코팅액을 기판 상에 공급하는 분사 노즐과, 상기 분사 노즐을 상기 기판을 따라 이동시키는 구동 모듈 및, 상기 구동 모듈과 전기적으로 연결되며, 서로 다른 분사 노즐의 이동 속도 구간으로 이루어지는 동작 명령들이 설정되고, 상기 동작 명령들 중 어느 하나를 선택하여 상기 구동 모듈을 제어함에 따라 상기 분사 노즐을 이동시키는 제어 모듈을 포함한다.

Figure R1020080119140

기판, 노즐, 코팅

There is provided a substrate coating apparatus capable of improving the reproducibility of injection nozzle movement by setting operation commands consisting of different speed ranges of injection nozzles and selecting one of the operation commands to move the injection nozzle. The substrate coating apparatus includes a spray nozzle for supplying a coating liquid supplied from the outside onto a substrate, a driving module for moving the spray nozzle along the substrate, and a driving module electrically connected to the driving module, And a control module for selecting one of the operation commands and controlling the drive module to move the injection nozzle.

Figure R1020080119140

Substrate, nozzle, coating

Description

기판 코팅 장치{Apparatus For Coating Substrate}[0001] Apparatus For Coating Substrate [0002]

본 발명은 기판 코팅 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 서로 다른 분사 노즐의 이동 속도 구간으로 이루어지는 동작 명령들이 설정되고, 상기 동작 명령들 중 어느 하나를 선택하여 분사 노즐을 이동시킴으로써 분사 노즐 이동에 대한 재현성을 향상시킬 수 있는 기판 코팅 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate coating apparatus, and more particularly, to an apparatus and method for coating a substrate, and more particularly, to an apparatus and a method for coating a substrate by setting operation commands including movement speed intervals of different injection nozzles, To a substrate coating apparatus capable of improving reproducibility.

전형적으로, 최근 평판 디스플레이가 대면적이면서 박형화되는 추세이다. 이와 같이 대면적이면서 박형화된 평판 디스플레이장치에는 액정디스플레이(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 그리고 유기EL(Electro Luminescent)등이 있다.Typically, recent flat panel displays are becoming larger and thinner. Such large-area flat panel display devices include a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), and an organic EL (Electro Luminescent).

종래의 평판 디스플레이에서는 글래스로 된 기판을 사용한다. 종래에는 평판 디스플레이에서 사용되는 글래스에 코팅층을 형성하기 위한 코팅 장치를 갖는다.In a conventional flat panel display, a glass substrate is used. Conventionally, a coating apparatus for forming a coating layer on a glass used in a flat panel display is provided.

이에 따르면, 프레임이 구비된다. 상기 프레임에는 코팅 장치를 구성하는 각종 부품이 설치된다. 상기 프레임상에는 기판이 안착되는 척 테이블이 설치된다. 상기 척테이블은 진공을 이용하여 기판을 그 상면에 고정한다.According to this, a frame is provided. Various components constituting the coating apparatus are installed in the frame. A chuck table on which the substrate is placed is provided on the frame. The chuck table fixes the substrate to its upper surface using a vacuum.

상기 척 테이블의 내부와 상면 상부의 사이에서 승강가능하게 리프트 핀이 설치된다. 상기 리프트핀은 상기 척 테이블의 상면 상부로 돌출되어 로봇이 기판을 척 테이블 상에 안착시키거나 파지하여 이송시킬 수 있도록 한다. 즉, 상기 리프트핀은 척 테이블과 기판의 사이에 간격을 형성하여 로봇이 기판을 취급할 수 있도록 한다.A lift pin is installed between the inside of the chuck table and the upper surface of the chuck table so as to be able to move up and down. The lift pins protrude above the upper surface of the chuck table so that the robot can seat or grip and transport the substrate on the chuck table. That is, the lift pins form a gap between the chuck table and the substrate so that the robot can handle the substrate.

상기 척테이블의 양단에 해당되는 프레임의 상면 양측을 따라서는 노즐 이송스테이지가 구비된다. 상기 노즐 이송스테이지에는 상기 기판의 일측 폭만큼의 폭을 가지는 노즐의 양단이 이동가능하게 지지된다. 상기 노즐은 상기 노즐 이송스테이지을 따라 이동하면서 상기 척 테이블상에 안착된 기판에 코팅층을 형성한다.A nozzle transfer stage is provided along both sides of the upper surface of the frame corresponding to both ends of the chuck table. Both ends of a nozzle having a width corresponding to one side width of the substrate are movably supported in the nozzle transfer stage. The nozzle moves along the nozzle transfer stage to form a coating on a substrate that is seated on the chuck table.

그러나, 종래의 노즐의 기판 상에서 이동되는 노즐은 가속 구간과 등속 구간과 감속 구간으로 나뉘고, 종래의 제어부는 노즐을 이동시키는 경우에, 3개의 동작 명령을 실시한다.However, the nozzle moved on the substrate of the conventional nozzle is divided into the acceleration section, the constant velocity section and the deceleration section, and the conventional control section executes three operation commands when the nozzle is moved.

즉, 제어부는 노즐을 가속 구간에서 이동시키도록 첫 번째 명령을 실시하고, 이어 기판 상의 이물질 유무를 판단하고, 다음 노즐을 등속 구간에서 이동시키도록 두 번째 명령을 실시하고 이어 기판 상의 이물질 유무를 판단하고, 다음 노즐을 감속 구간에서 이동시키도록 세 번째 명령을 실시하고, 이어 기판 상의 이물질 유무를 판단하도록 한다.That is, the controller performs a first command to move the nozzle in the acceleration section, determines whether there is foreign matter on the substrate, performs a second command to move the next nozzle in the constant velocity section, A third command is issued to move the next nozzle in the deceleration section, and then the presence or absence of foreign matter on the substrate is determined.

그러나, 종래에는 노즐을 사용하여 기판에 코팅액을 공급하는 경우에, 제어부는 3개의 동작 명령을 실시함으로써, 노즐의 이동 동작에 대한 재현성을 이루기 어려운 문제점이 있다.However, conventionally, when the coating liquid is supplied to the substrate by using the nozzle, the control unit has three operation commands, which makes it difficult to reproduce the moving operation of the nozzle.

이에 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 서로 다른 분사 노즐의 이동 속도 구간으로 이루어지는 즉 이동 속도 구간을 리스트(list) 화된 동작 명령들이 설정되고, 상기 동작 명령들 중 어느 하나를 선택하여 분사 노즐을 이동시킴으로써 분사 노즐 이동에 대한 재현성을 향상시킬 수 있는 기판 코팅 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide an air-fuel ratio control apparatus and a control method thereof, in which operation commands including a movement speed section of different injection nozzles, that is, a list of movement speed sections are set, Thereby improving the reproducibility of the spray nozzle movement.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 코팅 장치는, 외부로부터 공급받은 코팅액을 기판 상에 공급하는 분사 노즐과, 상기 분사 노즐을 상기 기판을 따라 이동시키는 구동 모듈 및, 상기 구동 모듈과 전기적으로 연결되며, 서로 다른 분사 노즐의 이동 속도 구간으로 이루어지는 동작 명령들이 설정되고, 상기 동작 명령들 중 어느 하나를 선택하여 상기 구동 모듈을 제어함에 따라 상기 분사 노즐을 이동시키는 제어 모듈을 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate coating apparatus including a spray nozzle for supplying a coating liquid supplied from the outside onto a substrate, a drive module for moving the spray nozzle along the substrate, And a control module that is electrically connected to the module and sets operation commands composed of movement speed intervals of different injection nozzles and moves the injection nozzle by controlling any one of the operation commands to control the drive module do.

여기서, 상기 기판이 안착되는 척 테이블이 마련되고, 상기 구동 모듈은 상기 척 테이블의 측부에 설치되며 상기 분사 노즐의 이동을 가이드하는 가이드 레일과, 상기 가이드 레일에 이동 가능하게 설치되어 상기 제어 모듈로부터 상기 동작 명령들 중 어느 하나를 전송 받아 상기 분사 노즐을 상기 전송 받은 동작 명령에 따르는 서로 다른 이동 속도 구간을 이루도록 상기 분사 노즐을 이동시키는 이동 모터를 구비하는 것이 바람직하다.Here, the chuck table on which the substrate is mounted is provided, the driving module includes a guide rail installed on a side of the chuck table and guiding the movement of the injection nozzle, and a guide rail movably installed on the guide rail, And a moving motor that receives one of the operation commands and moves the injection nozzle so that the injection nozzle has different moving speed intervals according to the received operation command.

그리고, 상기 제어 모듈은 상기 서로 다른 상기 분사 노즐의 이동 속도 구간으로 이루어지는 동작 명령들이 설정되는 제어부와, 상기 제어부와 전기적으로 연결되며 상기 동작 명령들 중 어느 하나를 선택하는 선택부와, 상기 서로 다른 이동 속도 구간의 순차를 변경 설정하여 상기 제어부에 입력할 수 있는 입력부를 구비하는 것이 바람직하다.The control module may include a control unit for setting operation commands including movement speed intervals of the different injection nozzles, a selection unit electrically connected to the control unit and selecting any one of the operation commands, And an input unit capable of changing the sequence of the moving speed section and inputting it to the control unit.

또한, 상기 서로 다른 이동 속도 구간은 일정 시간을 갖는 가속 구간과 상기 가속 구간에 이어 일정 시간으로 연장되는 등속 구간과 상기 등속 구간에 이어 일정 시간으로 연장되는 감속 구간으로 이루어지는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the different moving speed sections include an acceleration section having a predetermined time, a constant velocity section extending for a predetermined time following the acceleration section, and a deceleration section extending for a predetermined time following the constant velocity section.

또한, 상기 척 테이블의 양측부에는 상기 제어 모듈과 전기적으로 연결되며 상기 기판의 상부에서의 이물질 발생을 감지하는 이물질 감지 모듈과, 상기 제어 모듈과 전기적으로 연결되는 알람 발생기가 더 설치되되, 상기 이물질 감지 모듈은 상기 척 테이블의 일측에 배치되며 상기 기판의 상면을 따라 광을 조사하는 발광부와, 상기 척 테이블의 타측에 배치되며 상기 조사된 광을 수광하는 수광부를 구비하고, 상기 수광부는 상기 광을 수광하지 못하는 경우에, 상기 제어 모듈로 전기적 신호를 전송하고, 상기 제어 모듈은 상기 구동 모듈의 동작을 중지하고 상기 알람 발생기로 전기적 신호를 전송하여 알람을 발생시키는 것이 바람직하다.Further, on both sides of the chuck table, a foreign matter detection module electrically connected to the control module and sensing the generation of foreign substances on the substrate, and an alarm generator electrically connected to the control module are provided, And a light receiving unit disposed on the other side of the chuck table and configured to receive the irradiated light, wherein the light receiving unit is configured to receive the light The control module transmits an electrical signal to the control module, and the control module stops the operation of the drive module and transmits an electrical signal to the alarm generator to generate an alarm.

본 발명에 따르는 기판 코팅 장치에 의하면, 서로 다른 분사 노즐의 이동 속도 구간으로 이루어지는 동작 명령들이 설정되고, 상기 동작 명령들 중 어느 하나를 선택하여 분사 노즐을 이동시킴으로써 분사 노즐 이동에 대한 재현성을 향상시킬 수 있는 것이다.According to the substrate coating apparatus of the present invention, the operation commands including the movement speed intervals of the different injection nozzles are set, and the reproducibility of the injection nozzle movement is improved by selecting one of the operation commands and moving the injection nozzle You can.

실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.The details of the embodiments are included in the detailed description and the drawings.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention, and the manner of achieving them, will be apparent from and elucidated with reference to the embodiments described hereinafter in conjunction with the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. To fully disclose the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

이하, 첨부되는 도면들을 참조로 하여, 본 발명의 기판 코팅 장치를 설명하도록 한다.Hereinafter, a substrate coating apparatus of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 기판 코팅 장치를 보여주는 평면도이고, 도 2는 도 1의 기판 코팅 장치를 보여주는 측면도이며, 도 3은 도 1의 구동 모듈과 제어 모듈간의 전기적 관계를 보여주는 블록도이고, 도 4는 본 발명에 따르는 서로 다른 이동 속도 구간을 보여주는 그래프이다.1 is a side view showing a substrate coating apparatus of FIG. 1, FIG. 3 is a block diagram showing an electrical relationship between the driving module and the control module of FIG. 1, and FIG. 4 Is a graph showing the different moving speed intervals according to the present invention.

도 1 및 도 2에 있어서, 본 발명의 기판 코팅 장치는 본체를 갖는다.1 and 2, the substrate coating apparatus of the present invention has a body.

상기 본체(100)의 일측에는 기판(10) 상에서 이동되면서 외부로부터 공급받은 코팅액을 기판(10) 상에 공급하는 분사 노즐(300)이 설치된다.A spray nozzle 300 is installed on one side of the main body 100 to supply a coating liquid supplied from the outside on the substrate 10 while being moved on the substrate 10.

상기 분사 노즐(300)은 상기 본체(100)의 일측에서 타측으로 연장되는 길이를 갖는 노즐 본체(310)와, 상기 노즐 본체(310)에 마련되며 외부로부터 공급받는 코팅액을 분사시키는 분사홀들(320)로 구성된다.The injection nozzle 300 includes a nozzle body 310 having a length extending from one side of the body 100 to the other side and spray holes (not shown) provided in the nozzle body 310 for spraying a coating liquid supplied from the outside 320).

상기 본체(100)에는 상기 분사 노즐(300)을 상기 기판(10)의 길이 방향을 따라 이동시키는 구동 모듈(200)이 설치된다.A driving module 200 for moving the injection nozzle 300 along the longitudinal direction of the substrate 10 is installed in the main body 100.

여기서, 본 발명은 상기 구동 모듈(200)과 전기적으로 연결되며, 서로 다른 분사 노즐(300)의 이동 속도 구간으로 이루어지는 동작 명령들이 설정되고, 상기 동작 명령들 중 어느 하나를 선택하여 상기 구동 모듈(200)을 제어함에 따라 상기 분사 노즐(300)을 이동시키는 제어 모듈(400)을 갖는다.Here, the present invention is characterized in that the operation commands, which are electrically connected to the driving module 200 and are composed of movement speed sections of different injection nozzles 300, are set, and one of the operation commands is selected, And a control module 400 for moving the injection nozzle 300 by controlling the injection nozzle 200.

그리고, 상기 본체(100)에는 상기 기판(10)이 안착되는 척 테이블(110)이 마련된다. 상기 척 테이블(110)은 상기 기판(10)을 진공을 사용하여 흡착 또는 안착시킨다.The main body 100 is provided with a chuck table 110 on which the substrate 10 is mounted. The chuck table 110 adsorbs or seats the substrate 10 using a vacuum.

상기 구동 모듈(200)은 상기 척 테이블(110)의 측부에 설치되며 상기 분사 노즐(300)의 이동을 가이드하는 가이드 레일(210)과, 상기 가이드 레일(210)에 이동 가능하게 설치되어 상기 제어 모듈(400)로부터 상기 동작 명령들 중 어느 하나를 전송 받아 상기 분사 노즐(300)을 상기 전송 받은 동작 명령에 따르는 서로 다른 이동 속도 구간을 이루도록 이동시키는 이동 모터(220)로 구성된다. 상기 이동 모터(220)는 리니어 모터일 수 있다.The driving module 200 includes a guide rail 210 installed on a side of the chuck table 110 and guiding the movement of the injection nozzle 300 and a guide rail 210 movably installed on the guide rail 210, And a moving motor 220 that receives any one of the operation commands from the module 400 and moves the injection nozzle 300 so as to have different moving speed intervals according to the received operation command. The moving motor 220 may be a linear motor.

상기 제어 모듈(400)은 상기 서로 다른 상기 분사 노즐의 이동 속도 구간으로 이루어지는 동작 명령들이 설정되는 제어부와, 상기 제어부(410)와 전기적으로 연결되며 상기 동작 명령들 중 어느 하나를 선택하는 선택부(420)와, 상기 서로 다른 이동 속도 구간의 순차를 변경 설정하여 상기 제어부(410)에 입력할 수 있는 입력부(430)로 구성된다.The control module 400 may include a controller for setting operation commands including the movement speed intervals of the different injection nozzles and a selection unit for selecting any one of the operation commands electrically connected to the controller 410 And an input unit 430 for changing the sequence of the different moving speed intervals and inputting the changed sequence to the control unit 410.

여기서, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 서로 다른 이동 속도 구간은 일정 시간을 갖는 가속 구간(①)과 상기 가속 구간(①)에 이어 일정 시간으로 연장되는 등속 구간(②)과 상기 등속 구간(②)에 이어 일정 시간으로 연장되는 감속 구간(③)으로 이루어진다.As shown in FIG. 4, the different moving speed sections are divided into a constant velocity section (2) extending from the acceleration section (1) having a predetermined time and the acceleration section (1) (2), and a deceleration section (3) extended to a predetermined time.

이에 더하여, 상기 척 테이블(110)의 양측부에는 상기 제어 모듈(400)과 전기적으로 연결되며 상기 기판(10)의 상부에서의 이물질 발생을 감지하는 이물질 감지 모듈(500)과, 상기 제어 모듈(400)과 전기적으로 연결되는 알람 발생기(600)가 더 설치된다.In addition, a foreign matter sensing module 500 electrically connected to the control module 400 and sensing the generation of foreign substances in the upper portion of the substrate 10 is installed on both sides of the chuck table 110, 400 are electrically connected to each other.

상기 이물질 감지 모듈(500)은 상기 척 테이블(110)의 일측에 배치되며 상기 기판(10)의 상면을 따라 광을 조사하는 발광부(510)와, 상기 척 테이블(110)의 타측에 배치되며 상기 조사된 광을 수광하는 수광부(520)를 구비한다.The foreign substance sensing module 500 includes a light emitting part 510 disposed at one side of the chuck table 110 and emitting light along the upper surface of the substrate 10 and a light emitting part 510 disposed at the other side of the chuck table 110 And a light receiving unit 520 for receiving the irradiated light.

여기서, 상기 수광부(520)는 상기 광을 수광하지 못하는 경우에, 상기 제어 모듈(400)로 전기적 신호를 전송하고, 상기 제어 모듈(400)은 상기 구동 모듈(200)의 동작을 중지하고 상기 알람 발생기(600)로 전기적 신호를 전송하여 알람을 발생시킬 수 있다.When the light receiving unit 520 fails to receive the light, the control module 400 transmits an electrical signal to the control module 400, and the control module 400 stops the operation of the driving module 200, An electric signal may be transmitted to the generator 600 to generate an alarm.

다음은, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 기판 코팅 장치의 작동을 설명하도록 한다.Next, the operation of the substrate coating apparatus of the present invention configured as described above will be described.

도 1 내지 도 3에 있어서, 척 테이블(110) 상에는 기판(10)이 안착된다.1 to 3, the substrate 10 is seated on the chuck table 110. In Fig.

이어, 선택부(420)는 제어부(410)에 입력부(430)를 통하여 설정되는 동작 명령들 중 어느 하나를 택할 수 있다. 여기서, 상기 동작 명령은 서로 다른 상기 분사 노즐의 이동 속도 구간으로 이루어진다.The selection unit 420 may select one of the operation commands set through the input unit 430 to the control unit 410. Here, the operation command includes a moving speed interval of the different injection nozzles.

특히, 상기 서로 다른 이동 속도 구간은 도 4에 도시된 바와 같이 일정 시간을 갖는 가속 구간(①)과 상기 가속 구간(①)에 이어 일정 시간으로 연장되는 등속 구간(②)과 상기 등속 구간(②)에 이어 일정 시간으로 연장되는 감속 구간(③)으로 이루어진다.Particularly, as shown in FIG. 4, the different moving speed sections are divided into a constant velocity section (2) extending continuously for a predetermined time following the acceleration section (1) and the acceleration section (1) ) And a deceleration section (3) extended to a predetermined time.

이어, 제어부(410)는 상기 선택부(420)에 의하여 선택된 동작 명령을 구동 모듈(200)로 전송한다.Then, the control unit 410 transmits the operation command selected by the selection unit 420 to the drive module 200.

상기 구동 모듈(200)의 이동 모터(220)는 가이드 레일(210)을 따라 분사 노즐(300)을 이동시킨다. 이때, 상기 분사 노즐(300)은 도 4에 도시된 3개의 구간이 연속적으로 이어지도록 이동된다.The moving motor 220 of the driving module 200 moves the spray nozzle 300 along the guide rail 210. At this time, the injection nozzle 300 is moved so that the three sections shown in FIG. 4 are continuously connected.

이때, 상기 분사 노즐(300)은 외부로부터 코팅액을 공급받아 이동되면서 기판 상에 공급하여 기판(10)에 코팅층을 형성한다.At this time, the injection nozzle 300 receives the coating liquid from the outside and is supplied to the substrate while being moved to form a coating layer on the substrate 10.

따라서, 도 4에 도시된 바와 같은 서로 다른 분사 노즐의 이동 속도 구간으로 이루어지는 동작 명령들이 제어부(410)에 설정되고, 선택부(420)를 통하여 상기 동작 명령들 중 어느 하나를 선택하여 분사 노즐(300)을 이동시킴으로써 분사 노 즐(300) 이동에 대한 재현성을 향상시킬 수 있다.4 are set in the control unit 410, and one of the operation commands is selected through the selection unit 420 to select the injection nozzle (s) 300 can be moved to improve reproducibility for movement of the spray nozzle 300.

한편, 분사 노즐(300)이 각각의 이동 구간의 종료 지점에 이르렀을 때, 제어부(410)는 이물질 감지 모듈(500)을 동작시킬 수 있다.On the other hand, when the injection nozzle 300 reaches the end point of each movement section, the controller 410 can operate the foreign matter detection module 500.

즉, 발광부(410)는 기판(10)의 상면을 따라 광을 조사하고 타측에 위치된 수광부(520)는 상기 조사된 광을 수광한다. 이러한 경우는 기판(10)의 상면에 이물질이 없는 것으로 제어부(410)는 판단한다.That is, the light emitting unit 410 irradiates light along the upper surface of the substrate 10, and the light receiving unit 520 located at the other side receives the irradiated light. In this case, the controller 410 determines that there is no foreign substance on the upper surface of the substrate 10.

만일, 상기 수광부(520)가 상기 광을 수광하지 못하는 경우에, 상기 수광부(520)는 제어부(410)로 전기적 신호를 전송하고, 상기 제어부(410)는 기판(10) 상에 이물질이 존재하는 것으로 판단하여 상기 구동 모듈(200)의 동작을 중지하고 상기 알람 발생기(600)로 전기적 신호를 전송하여 알람을 발생시킬 수 있다.If the light receiving unit 520 does not receive the light, the light receiving unit 520 transmits an electrical signal to the control unit 410, and the control unit 410 controls the light emitting unit 520, It stops the operation of the driving module 200 and transmits an electrical signal to the alarm generator 600 to generate an alarm.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the foregoing detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and the equivalents thereof are included in the scope of the present invention Should be interpreted.

도 1은 본 발명의 기판 코팅 장치를 보여주는 평면도.1 is a plan view showing a substrate coating apparatus of the present invention.

도 2는 도 1의 기판 코팅 장치를 보여주는 측면도.2 is a side view showing the substrate coating apparatus of FIG.

도 3은 도 1의 구동 모듈과 제어 모듈간의 전기적 관계를 보여주는 블록도.3 is a block diagram showing the electrical relationship between the drive module and the control module of FIG.

도 4는 본 발명에 따르는 서로 다른 이동 속도 구간을 보여주는 그래프.4 is a graph showing the different moving speed intervals according to the present invention;

<도면의 주요부분에 대한 부호설명>Description of the Related Art [0002]

100 : 본체 200 : 구동 모듈100: main body 200: drive module

210 : 가이드 레일 220 : 이동 모터210: Guide rail 220: Moving motor

300 : 분사 노즐 400 : 제어 모듈300: injection nozzle 400: control module

410 : 제어부 420 : 선택부410: control unit 420:

430 : 입력부 500 : 이물질 감지 모듈430: input unit 500: foreign matter detection module

510 : 발광부 520 : 수광부510: light emitting portion 520:

600 : 알람 발생기600: Alarm generator

Claims (5)

외부로부터 공급받은 코팅액을 기판 상에 공급하는 분사 노즐;An injection nozzle for supplying a coating liquid supplied from the outside onto a substrate; 상기 분사 노즐을 상기 기판을 따라 이동시키는 구동 모듈; 및A drive module for moving the injection nozzle along the substrate; And 상기 구동 모듈과 전기적으로 연결되며, 상기 분사 노즐의 이동 속도가 서로 다르게 설정된 다수의 이동 속도 구간에 대한 동작 명령들이 리스트화되어 설정되고, 상기 리스트화된 동작 명령들 중 어느 하나를 선택하여 상기 구동 모듈을 제어함에 따라 상기 다수의 이동 속도 구간에서 상기 분사 노즐을 연속적으로 이동시키는 제어 모듈을 포함하는 기판 코팅 장치.A plurality of operation commands for a plurality of movement speed sections in which the moving speeds of the injection nozzles are set different from each other are listed and set, And a control module for continuously moving the injection nozzles in the plurality of moving speed sections as the module is controlled. 제 1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 기판이 안착되는 척 테이블이 마련되고,A chuck table on which the substrate is placed, 상기 구동 모듈은 상기 척 테이블의 측부에 설치되며 상기 분사 노즐의 이동을 가이드하는 가이드 레일과, 상기 가이드 레일에 이동 가능하게 설치되어 상기 제어 모듈로부터 상기 동작 명령들 중 어느 하나를 전송 받아 상기 분사 노즐을 상기 전송 받은 동작 명령에 따르는 서로 다른 이동 속도 구간을 이루도록 상기 분사 노즐을 이동시키는 이동 모터를 구비하는 기판 코팅 장치.Wherein the driving module comprises a guide rail installed at a side of the chuck table and guiding movement of the injection nozzle, and a driving module mounted movably on the guide rail to receive one of the operation commands from the control module, And a moving motor for moving the injection nozzle so as to form different moving speed intervals according to the received operation command. 제 2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 제어 모듈은 The control module 상기 다수의 이동 속도 구간에 대한 동작 명령들이 리스트화되어 설정되는 제어부와, A controller for listing and setting operation commands for the plurality of moving speed sections; 상기 제어부와 전기적으로 연결되며 상기 리스트화된 동작 명령들 중 어느 하나를 선택하는 선택부와, A selection unit electrically connected to the control unit and selecting any one of the listed operation commands; 상기 다수의 이동 속도 구간의 순차를 변경 설정하여 상기 제어부에 입력할 수 있는 입력부를 구비하는 기판 코팅 장치.And an input unit capable of changing the sequence of the plurality of moving speed sections and inputting the same to the control unit. 제 1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 서로 다른 이동 속도 구간은 일정 시간을 갖는 가속 구간과 상기 가속 구간에 이어 일정 시간으로 연장되는 등속 구간과 상기 등속 구간에 이어 일정 시간으로 연장되는 감속 구간으로 이루어지는 기판 코팅 장치.Wherein the different moving speed sections comprise an acceleration section having a predetermined time, a constant velocity section extending for a predetermined time following the acceleration section, and a deceleration section extending for a predetermined time following the constant velocity section. 제 2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 척 테이블의 양측부에는 상기 제어 모듈과 전기적으로 연결되며 상기 기판의 상부에서의 이물질 발생을 감지하는 이물질 감지 모듈과, 상기 제어 모듈과 전기적으로 연결되는 알람 발생기가 더 설치되되,A foreign matter detection module electrically connected to the control module on both sides of the chuck table to detect the generation of foreign substances on the substrate and an alarm generator electrically connected to the control module, 상기 이물질 감지 모듈은 상기 척 테이블의 일측에 배치되며 상기 기판의 상면을 따라 광을 조사하는 발광부와, 상기 척 테이블의 타측에 배치되며 상기 조사된 광을 수광하는 수광부를 구비하고,Wherein the foreign substance sensing module includes a light emitting portion disposed on one side of the chuck table and emitting light along an upper surface of the chuck table and a light receiving portion disposed on the other side of the chuck table and receiving the irradiated light, 상기 수광부는 상기 광을 수광하지 못하는 경우에, 상기 제어 모듈로 전기적 신호를 전송하고, 상기 제어 모듈은 상기 구동 모듈의 동작을 중지하고 상기 알람 발생기로 전기적 신호를 전송하여 알람을 발생시키는 기판 코팅 장치.Wherein the light receiving unit transmits an electrical signal to the control module when the light receiving unit fails to receive the light and the control module stops the operation of the driving module and transmits an electrical signal to the alarm generator to generate an alarm, .
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