KR101032418B1 - Tray Transferring Apparatus - Google Patents

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염정택
백종국
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에버테크노 주식회사
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Abstract

본 발명의 트레이 이송장치는 베이스판(100) 및 보조 베이스판(120)과; 보조 베이스판(120)의 일측 상부에 설치되며, 방열부재(142)가 설치되는 이동판(140)과; 보조 베이스판(120)의 상부에 설치된 LM 레일(150)과, 상기 LM 레일(150)과 서로 이동가능하게 연결된 LM 가이드(160)와, 상기 LM 가이드(160)의 상부와 연결된 가이드 판(170)으로 이루어진 가이드 부재(200)와; 그 양측에 간격을 두고 설치된 2단 그립퍼(210)를 갖는 복수개의 홀더(220)와; 보조 베이스판(120)에 설치된 LM 레일(252)과, 상기 LM 레일(252)에 이동 가능하게 삽설된 복수개의 LM 가이드(260)와, 상기 LM 레일(252)의 일측에 설치된 복수개의 제1 및 제2 이동 실린더(270, 272)로 이루어진 구동 부재(300)와; 제1 및 제2 이동 실린더(270, 272)의 위치를 감지하기 위한 실린더 위치 감지센서(400)와; 트레이(T)의 위치를 감지하기 위한 트레이 감지센서(500)로 이루어진다.The tray transfer apparatus of the present invention comprises a base plate 100 and an auxiliary base plate 120; A moving plate 140 installed on one side of the auxiliary base plate 120 and provided with a heat radiating member 142; An LM rail 150 mounted on the auxiliary base plate 120 and an LM guide 160 movably connected to the LM rail 150 and a guide plate 170 connected to the upper portion of the LM guide 160 (200); A plurality of holders 220 having a two-stage gripper 210 installed at intervals on both sides thereof; A plurality of LM rails 252 installed on the auxiliary base plate 120, a plurality of LM guides 260 movably inserted in the LM rails 252, And a second moving cylinder (270, 272); A cylinder position sensing sensor (400) for sensing the position of the first and second moving cylinders (270, 272); And a tray detection sensor 500 for detecting the position of the tray T.

트레이, 이송장치 Tray, feeder

Description

트레이 이송장치{Tray Transferring Apparatus}Tray Transferring Apparatus

본 발명은 트레이 이송장치에 관한 것으로, 특히 그립부를 2단으로 구성하여 사용자의 요구에 따라 트레이를 1장 또는 2장을 안정되게 파지하여 이송할 수 있는 트레이 이송장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a tray transporting apparatus, and more particularly, to a tray transporting apparatus capable of stably holding and transporting one or two trays according to a user's request,

일반적으로, 생산라인에서 생산 완료된 반도체 소자(Device)들은 출하전에 양품인지 혹은 불량품인지의 여부를 판별하기 위한 테스트를 거치게 되고, 핸들러는 이러한 반도체 소자들을 테스트하는데 이용되는 장치이다. 반도체 소자 이송장치를 사용하여 트레이에 담겨진 반도체 소자를 공정간에 자동으로 이송시키면서 테스트 사이트의 테스트 소켓에 이들을 장착하여 원하는 테스트를 실시한 후 테스트 결과에 따라 여러 등급으로 분류하여 다시 트레이에 언로딩하는 과정을 순차적으로 반복 수행하며 테스트를 수행하도록 된 장치이다.In general, semiconductor devices produced on a production line are subjected to a test to determine whether they are good or defective before shipment, and the handler is a device used for testing such semiconductor devices. Semiconductor device transfer device is used to automatically transfer semiconductor devices contained in a tray between the processes while mounting them in a test socket of a test site, performing a desired test, classifying the semiconductor devices into various grades according to a test result, and unloading the tray again. It is a device that is repeatedly executed in sequence to perform a test.

종래의 트레이 이송장치의 구성을 나타낸 것으로, 핸들러의 로딩스택커 및 언로딩스택커(도시되지 않음)의 상측 후방에는 도1에 도시된 바와 같이, 트레이 이송장치(90)를 좌우 및 상하로 이동시키기 위한 구동수단(도시되지 않음)이 설치되며, 이 구동수단에는 트레이 이송장치(90)의 이동판(901)의 후단부가 고정된다.1, the tray transfer device 90 is moved left and right and up and down, as shown in FIG. 1, on the upper rear side of the loading stacker and unloading stacker (not shown) of the handler. (Not shown) for moving the tray 901. The rear end of the moving plate 901 of the tray transfer device 90 is fixed to the driving means.

상기 이동판(901)의 양측부에는 이동판(901)의 하부에서 트레이(T)의 양측 모서리부를 걸어서 홀딩할 수 있도록 한 쌍의 홀더(902, 903)가 좌우로 신축(伸縮)가능하게 설치되며, 상기 홀더(902, 903)는 그 하단부가 내측으로 절곡되어 트레이(T)의 양측 모서리부 하부면을 걸어 지지하도록 되어 있다.A pair of holders 902 and 903 are provided on both sides of the moving plate 901 so as to be able to hold both side edges of the tray T at a lower portion of the moving plate 901, And the lower ends of the holders 902 and 903 are bent inward to support the lower surfaces of both side edges of the tray T. [

그리고, 이동판(901)의 상부면 중앙에는 양측의 홀더(902, 903)와 결합되는 공압실린더(904)가 설치되고, 이 공압실린더(904)의 전후방에는 고정블럭(905, 906)이 설치된다. 그리고, 이들 각 고정블럭(905, 906)에는 양측의 홀더(902, 903)를 각각 관통하도록 결합되어 홀더(902, 903)의 좌우 이동을 안내하는 복수개의 가이드샤프트(907, 908)들의 일단이 고정된다.A pneumatic cylinder 904 is provided at the center of the upper surface of the moving plate 901 so as to be coupled with the holders 902 and 903 on both sides of the moving plate 901. Fixed blocks 905 and 906 are installed on the front and rear sides of the pneumatic cylinder 904 do. One end of a plurality of guide shafts 907 and 908 which are coupled to the holders 902 and 903 on both sides so as to guide the left and right movement of the holders 902 and 903 are fixed to the fixed blocks 905 and 906, .

한편, 상기 이동판(901)의 바로 하부에는 이동판(901)과 홀더(902, 903) 하단부 사이에서 상하로 승강하며 홀더(902, 903) 하단부와의 폭을 조절하는 가변판(910)이 설치되고, 상기 이동판(901)의 양측부에는 고정바아(911)가 고정되게 설치되며, 이 고정바아(911)의 양단부에는 수직하게 공압실린더(912)가 설치되고, 상기 공압실린더(912)의 로드(913)는 상하로 구동하게 된다. 그리고, 상기 공압실린더(912)의 로드(913)에는 연결브라켓(914)의 일단이 결합되는데, 이 연결브라켓(914)의 타단은 가변판(910)의 양측 모서리부분과 결합된다.A variable plate 910 which vertically moves up and down between the moving plate 901 and the lower ends of the holders 902 and 903 and adjusts the width of the lower ends of the holders 902 and 903 is provided directly below the moving plate 901 And a fixed bar 911 is fixedly installed on both sides of the moving plate 901. A pneumatic cylinder 912 is vertically installed at both ends of the fixed bar 911, And the rod 913 of the driving motor 913 is driven up and down. One end of the connection bracket 914 is coupled to the rod 913 of the pneumatic cylinder 912. The other end of the connection bracket 914 is engaged with both side edge portions of the variable plate 910.

따라서, 상기 공압실린더(912)의 로드(913)가 상하로 구동하게 되면 가변판(910)도 연동하여 상하로 승강하면서 홀더(902, 903) 하단부와의 폭을 조절하게 된다. 그러나, 종래의 트레이 이송장치는 홀더(902, 903)의 폭을 조절할 수 있지만, 그리퍼(도시되지 않음)의 개수가 증가하게 되어 전체적으로 구조가 복잡하여 트레이 이송작업이 용이하지 않은 단점이 있다. Therefore, when the rod 913 of the pneumatic cylinder 912 is driven up and down, the variable plate 910 is also vertically moved up and down to adjust the width of the lower end of the holders 902 and 903. However, although the conventional tray transfer apparatus can adjust the width of the holders 902 and 903, the number of grippers (not shown) increases, and the structure is complicated as a whole, so that the tray transfer operation is not easy.

따라서, 본 발명의 목적은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로 트레이 이송장치의 그리퍼의 개수를 줄여 그 구조를 간단하게 구성한 트레이 이송장치를 제공하는 점에 있다.It is therefore an object of the present invention to provide a tray transfer apparatus in which the number of grippers of a tray transfer apparatus is reduced to simplify the structure thereof.

본 발명의 다른 목적은 2단 그리퍼를 제공하여 트레이를 한 장 또는 두장을 용이하게 그립(파지)할 수 있는 트레이 이송장치를 제공하는 점에 있다. Another object of the present invention is to provide a tray transfer apparatus capable of easily gripping (gripping) one or two trays by providing a two-stage gripper.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 트레이 이송장치는 베이스판 및 보조 베이스판과; 보조 베이스판의 일측 상부에 설치되며, 방열부재가 설치되는 이동판과; 보조 베이스판의 상부에 설치된 LM 레일과, 상기 LM 레일과 서로 이동가능하게 연결된 LM 가이드와, 상기 LM 가이드의 상부와 연결된 가이드 판으로 이루어진 가이드 부재와; LM 레일을 따라 이동가능한 LM 가이드에 연결되며, 그 양측에 간격을 두고 설치된 2단 그립퍼를 갖는 복수개의 홀더와; 보조 베이스판에 설치된 LM 레일과, 상기 LM 레일에 이동 가능하게 삽설된 복수개의 LM 가이드와, 상기 LM 레일의 일측에 설치된 복수개의 제1 및 제2 이동 실린더로 이루어진 구동 부재와; 제1 및 제2 이동 실린더의 위치를 감지하기 위한 실린더 위치 감지센서와; 트레이(T)의 위치를 감지하기 위한 트레이 감지센서로 이루어지는 점에 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a tray transfer apparatus including a base plate and an auxiliary base plate; A moving plate installed on one side of the auxiliary base plate and having a heat dissipating member; A guide member formed of an LM rail provided on an upper portion of the auxiliary base plate, an LM guide connected to the LM rail movably connected to the LM rail, and a guide plate connected to the upper portion of the LM guide; A plurality of holders connected to the LM guides movable along the LM rails and having a two-stage gripper installed at intervals on both sides thereof; A drive member formed of a plurality of first and second moving cylinders provided on one side of the LM rail; A cylinder position sensing sensor for sensing a position of the first and second moving cylinders; And a tray detection sensor for detecting the position of the tray T.

또한, 본 발명의 트레이 이송장치는 베이스판과; 베이스판의 상부에 설치되 며, LM 레일에 설치된 LM 가이드를 따라 이동하도록 구성된 가이드판과; LM 레일을 따라 이동가능한 LM 가이드에 연결되고, 그 양측에 각기 2단 그립퍼가 설치된 홀더와; 가이드판에 연결되며, 연결부재의 양측에 각기 설치된 캠 펄로워와; 캠 펄로워가 설치된 연결부재를 이동시키는 제1 및 제2 이동실린더와; 제1 및 제2 이동실린더의 위치를 감지하기 위한 실린더 위치 감지센서와; 트레이(T)의 위치를 감지하기 위한 적어도 한 개 이상의 트레이 감지센서로 이루어지는 점에 있다.Further, the tray transfer apparatus of the present invention comprises: a base plate; A guide plate installed on an upper portion of the base plate and configured to move along the LM guide installed on the LM rail; A holder connected to the LM guide movable along the LM rail and provided with two-stage grippers on both sides thereof; A cam follower connected to the guide plate and provided on both sides of the connecting member; First and second moving cylinders for moving connecting members provided with cam followers; A cylinder position sensing sensor for sensing a position of the first and second moving cylinders; And at least one tray detection sensor for detecting the position of the tray T.

본 발명의 트레이 이송장치는 2단 그리퍼를 이용하여 트레이를 한 장 또는 두 장을 용이하게 그립하여 안정되게 이송할 수 있는 이점이 있다. The tray transfer apparatus of the present invention has an advantage that one or two trays can be easily gripped and transported stably using a two-stage gripper.

또한, 본 발명은 트레이 이송장치의 그리퍼의 수를 줄임에 의해 전체적으로 장치의 구성이 간단해지고, 이로 인해 원가절감의 효과가 있다.In addition, the present invention reduces the number of grippers of the tray transfer apparatus to simplify the overall structure of the apparatus, thereby reducing the cost.

(실시예)(Example)

이하, 본 발명의 트레이 이송장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of a tray transfer apparatus according to an embodiment of the present invention;

본 발명의 트레이 이송장치(1000)는 도2에 도시된 바와 같이, 베이스판(100)과, 보조 베이스판(120)과, 이동판(140)과, 가이드 부재(200)와, 구동부재(300)와, 실린더 위치 감지센서(400)와, 트레이 감지센서(500)로 이루어진다.2, the tray transfer apparatus 1000 of the present invention includes a base plate 100, an auxiliary base plate 120, a moving plate 140, a guide member 200, a driving member 300, a cylinder position sensing sensor 400, and a tray sensing sensor 500.

상기 베이스판(100)은 그 일측에 고정편(102)이 설치되고, 상기 고정편(102)은 복수개의 탄성부재(112,112)를 개재하여 보조 베이스판(120)과 연결된다. 그리 고, 상기 고정편(102)은 고정부재(106)에 의해 베이스판(100)에 고정되게 된다.The base plate 100 is provided with a fixing piece 102 on one side thereof and the fixing piece 102 is connected to the auxiliary base plate 120 via a plurality of elastic members 112 and 112. The fixing member 102 is fixed to the base plate 100 by the fixing member 106.

상기 베이스판(100)의 상부에는 보조 베이스판(120)이 설치되고, 베이스판(100)의 타측 즉, 보조 베이스판(120)의 상부 일측에는 방열부재(142)를 수용하는 이동판(140)이 설치된다. An auxiliary base plate 120 is installed on the upper portion of the base plate 100 and a moving plate 140 for accommodating the heat releasing member 142 is disposed on the other side of the base plate 100, ) Is installed.

한편, 가이드 부재(200)는 LM 레일(150)과, LM 레일(150)과 서로 이동가능하게 연결된 LM 가이드(160)와, 상기 LM 가이드(160)의 상부와 연결된 가이드 판(170)으로 이루어진다. 상기 보조 베이스판(120)의 상부에는 Y방향으로 소정 간격을 두고 복수개의 LM(Linear Motion) 레일(150,152)이 설치된다. 상기 LM 레일(150)은 그 상부에 LM 가이드(160)가 설치되며, LM 가이드(160)는 LM 레일(150)을 따라 좌,우로 이동가능하게 설치된다. 또한, 상기 LM 가이드(160)의 상부에는 가이드 판(170)이 상호 연결되므로 LM 가이드(160)의 이동에 따라 가이드 판(170)도 이동할 수 있게 구성된다. The guide member 200 includes an LM rail 150 and an LM guide 160 movably connected to the LM rail 150 and a guide plate 170 connected to the upper portion of the LM guide 160 . A plurality of LM (Linear Motion) rails 150 and 152 are installed at an upper portion of the auxiliary base plate 120 at predetermined intervals in the Y direction. An LM guide 160 is installed on the LM rail 150 and an LM guide 160 is installed on the LM rail 150 to move left and right along the LM rail 150. Since the guide plate 170 is connected to the upper portion of the LM guide 160, the guide plate 170 can be moved along with the movement of the LM guide 160.

상기 가이드 판(170)에는 장공(172)이 소정 방향으로 경사지게 형성되고, 상기 장공(172)에는 캠 펄로워(Cam follower: 180)가 삽입 설치된다. 상기 캠 펄로워(180)는 상기 장공(172)내에서 이동 가능하므로 후술하는 홀더(220)의 폭을 조정할 수 있게 구성되어 있다. The guide plate 170 is formed with an elongated hole 172 inclined in a predetermined direction and a cam follower 180 is inserted into the elongated hole 172. Since the cam puller 180 is movable in the slot 172, the width of the holder 220 to be described later can be adjusted.

구동부재(300)는 홀더(220)와, LM 레일(252)과, LM 가이드(260)와, 제1 및 제2 이동 실린더(270,272)로 이루어진다.The driving member 300 includes a holder 220, an LM rail 252, an LM guide 260, and first and second moving cylinders 270 and 272.

상기 홀더(220)는 보조 베이스판(120)의 양쪽 측면에 설치되고, LM 레일(152)을 따라 이동가능한 LM 가이드(162)에 연결되며, 그 양측에 간격을 두고 설 치된 2단 그립퍼(210)가 설치된다. 상기 2단 그립퍼(210)는 홀더(220)의 양측에 각기 형성된 오목형태의 수용부(226)에 설치된다. The holder 220 is installed on both sides of the auxiliary base plate 120 and is connected to the LM guide 162 movable along the LM rail 152 and has a two-stage gripper 210 Is installed. The two-stage grippers 210 are installed in recessed receiving portions 226 formed on both sides of the holder 220.

상기 2단 그립퍼(210)는 그 전면 일측에 사각형 형태의 제1 관통부(213)가 형성되고, 상기 제1 관통부(213)의 하부에는 트레이(T)를 그립(파지)할 수 있는 그립부(215)가 형성된다. 상기 2단 그립퍼(210)는 그 후면 일측에 사각형 형태의 제2 관통부(223)가 형성되고, 상기 제2 관통부(223)에는 1단 그립퍼(208)가 핀(205)에 의해 끼워지게 된다. 상기 1단 그립퍼(208)의 후단에 형성된 복수개의 관통공(209)에는 탄성부재(203)가 끼워지게 되어 1단 그립퍼(208)가 트레이(T)를 그립할 때 발생되는 충격을 완화할 수 있게 된다. A second through hole 213 is formed at one side of the front surface of the two-stage gripper 210. A grip portion 210 is formed at a lower portion of the first through hole 213 so as to grip (215) is formed. A second penetration portion 223 having a rectangular shape is formed on one side of the rear surface of the second stage gripper 210 and a first gripper 208 is fitted to the second penetration portion 223 by a pin 205 do. The elastic member 203 is fitted in the plurality of through holes 209 formed at the rear end of the first stage gripper 208 so that the impact generated when the first stage gripper 208 grips the tray T can be reduced .

구동부재(300)는 LM 레일(252)과, 복수개의 LM 가이드(260)와, 복수개의 제1 및 제2 이동 실린더(270, 272)로 이루어진다. The driving member 300 includes an LM rail 252, a plurality of LM guides 260, and a plurality of first and second moving cylinders 270 and 272.

상기 보조 베이스판(120)의 거의 중앙에는 X방향으로 LM 레일(252)이 설치되고, 상기 LM 레일(252)에는 소정 방향으로 이동 가능한 복수개의 LM 가이드(260,260)가 설치된다. 그리고, 상기 LM 레일(252)의 일측에는 복수개의 제1 및 제2 이동 실린더(270, 272)가 설치된다. The LM rail 252 is provided with a plurality of LM guides 260 and 260 which are movable in a predetermined direction. A plurality of first and second moving cylinders 270 and 272 are installed on one side of the LM rail 252.

상기 LM 가이드(260,260)의 위에는 절곡된 형태의 브라켓(276)과 이동부재(275)가 각기 설치된다. 상기 LM 레일(252)의 일측 즉, 브라켓(276)에는 복수개의 제1 및 제2 이동실린더(270, 272)가 설치된다. 상기 제1 및 제2 이동실린더(270,272)는 브라켓(276)의 전방에 설치된 이동부재(275)를 이동시킬 수 있고, 아울러 에어 피팅부(278)와 연결된다. On the LM guides 260 and 260, a bent bracket 276 and a moving member 275 are installed. A plurality of first and second moving cylinders 270 and 272 are installed on one side of the LM rail 252, that is, the bracket 276. The first and second moving cylinders 270 and 272 can move the moving member 275 disposed in front of the bracket 276 and are connected to the air fitting portion 278.

상기 이동부재(275)의 전방에는 연결부재(282)가 설치되고, 그 양단에는 캠 펄로워(180)가 각기 설치된다. 상기 캠 펄로워(180)는 후술하는 보조 연결부재(284)의 이동에 따라 가이드판(170)의 장공(172)을 따라 이동하게 된다. 즉, 이동부재(275)는 LM 레일(252)에 설치된 LM 가이드(260)와 연결되고, 캠 펄로워(180)가 설치된 연결부재(282)의 후방에 설치되므로 이동부재(275)의 이동에 따라 연결부재(282)도 이동하게 되므로 캠 펄로워(180)가 가이드판(170)의 장공(172)내에서 이동 가능하게 되어 있다. 그리고, 상기 연결부재(282)의 중앙에는 보조 연결부재(284)가 설치되고, 보조 연결부재(284)에는 제1 및 제2 이동 실린더(270, 272)의 위치를 감지하기 위한 실린더 위치 감지센서(400)가 설치된다.A connecting member 282 is provided in front of the moving member 275, and cam followers 180 are installed at both ends of the connecting member 282. The cam puller 180 moves along the elongated hole 172 of the guide plate 170 according to the movement of the auxiliary connecting member 284 to be described later. That is, the moving member 275 is connected to the LM guide 260 provided on the LM rail 252 and is disposed behind the connecting member 282 provided with the cam follower 180, The cam follower 180 is movable in the elongated hole 172 of the guide plate 170 because the connecting member 282 is also moved. An auxiliary connecting member 284 is provided at the center of the connecting member 282 and a cylinder position sensing sensor 282 for sensing the position of the first and second moving cylinders 270 and 272 is connected to the auxiliary connecting member 284. [ (400).

상기 가이드판(170)의 하부에는 절곡된 브라켓(512)이 각각 설치되고, 그 내측에는 복수개의 트레이(T)의 위치를 감지하기 위한 트레이 감지센서(500)가 설치된다. 도2에서, 미설명 부호 273은 보조 브라켓이다.A curved bracket 512 is installed on the lower portion of the guide plate 170 and a tray sensor 500 for detecting the position of the plurality of trays T is installed inside the guide plate 170. In Fig. 2, reference numeral 273 denotes an auxiliary bracket.

이제, 상기와 같이 구성된 본 발명의 트레이 이송장치의 동작에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the operation of the tray transfer apparatus of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 본 발명의 트레이 이송장치(1000)는 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 초기에 제1 및 제2 이동실린더(270, 272)가 동작되지 않은 상태에서, 캠 펄로워(180)가 가이드판(170)의 장공(172)의 위쪽에 위치하게 된다. 그리고, 홀더(220)의 우측에 설치된 트레이 감지센서(500)(도2 참조)는 트레이(T)를 감지하게 된다. 3A and 3B, the tray transfer apparatus 1000 of the present invention includes a cam follower 180, which is initially in a state where the first and second moving cylinders 270 and 272 are not operated, Is positioned above the elongated hole 172 of the guide plate 170. The tray sensor 500 (see FIG. 2) installed on the right side of the holder 220 senses the tray T.

상기 트레이 감지센서(500)가 소정위치에 설치된 트레이(T)를 감지하게 되면, 제1 이동실린더(270)가 가동하게 된다. 상기 제1 이동실린더(270)가 가동하게 되면 가이드판(170)의 장공(172)내에 설치된 캠 펄로워(180)가 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 장공(172)의 중간부분 정도까지 이동하게 된다. 즉, 제1 이동실린더(270)가 가동하게 되면, 이동부재(275)가 소정 거리만큼 연결부재(282)를 밀게 된다. 이때, 상기 연결부재(282)의 양측에 설치된 캠 펄로워(180)가 장공(172)내에서 이동하게 된다. 그러면, 2개의 가이드판(170)이 Y방향으로 서로 벌어지게 되고 이에 따라, 홀더(220)들도 Y방향으로 벌어지게 된다. 이때, 2단 그립퍼(210)의 내측에 설치된 1단 그립퍼(208)가 도 4b에 도시된 바와 같이, 트레이(T)를 파지하게 된다. When the tray detecting sensor 500 senses the tray T installed at a predetermined position, the first moving cylinder 270 is operated. When the first moving cylinder 270 is operated, the cam puller 180 installed in the long hole 172 of the guide plate 170 is rotated about the middle portion of the elongated hole 172, as shown in FIGS. 4A and 4B, . That is, when the first moving cylinder 270 is operated, the moving member 275 pushes the connecting member 282 by a predetermined distance. At this time, the cam follower 180 installed on both sides of the connecting member 282 moves within the elongated hole 172. Then, the two guide plates 170 are opened to each other in the Y direction, so that the holders 220 are also opened in the Y direction. At this time, the first-stage gripper 208 installed inside the second-stage gripper 210 grips the tray T as shown in FIG. 4B.

한편, 트레이(T)의 하부에 다른 트레이(T)를 더 파지하고자 하는 경우에는 제1 이동실린더(270) 및 제2 이동실린더(272)를 동시에 가동하게 된다. 홀더(220)의 우측에 설치된 다른 트레이 감지센서(500)가 다른 트레이(T)를 더 감지하게 된다. 상기 다른 트레이(T)는 전술한 바와 같이, 제1 이동실린더(270)가 가동한 상태 즉, 캠 펄로워(180)가 장공의 중간부분으로 이동한 후, 트레이(T)를 파지하는 것이 아니고, 다시 다른 트레이(T)를 더 파지하는 것을 의미한다.On the other hand, when another tray T is to be further gripped under the tray T, the first moving cylinder 270 and the second moving cylinder 272 are simultaneously operated. Another tray detection sensor 500 installed on the right side of the holder 220 detects another tray T. As described above, the other tray T does not grip the tray T after the first moving cylinder 270 is operated, that is, the cam follower 180 moves to the middle portion of the slot, , And further holding another tray T again.

다른 트레이(T)를 더 파지하려면 제2 이동실린더(272)를 가동하여 이동부재(275)를 이동하게 되면 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 캠 펄로워(180)가 장공(172)의 끝부분까지 이동하게 된다. 즉, 제2 이동실린더(272)가 이동부재(275)를 더 밀게 되면서 연결부재(282)의 양측에 설치된 캠 펄로워(180)가 도4a에 도시된 상태에서 도5a에 도시된 상태로 변경되면서 장공(172)의 끝부분까지 이동하게 된다. 이때, 2단 그립퍼(210)의 1단 그립퍼(208)가 트레이(T)를 파지한 상태에서 그립부(215)가 다른 트레이(T)를 파지하게 된다.5A and 5B, when the second moving cylinder 272 is moved to move the moving member 275 in order to further grip the other tray T, the cam puller 180 is inserted into the elongated hole 172, As shown in FIG. That is, as the second moving cylinder 272 further pushes the moving member 275, the cam follower 180 installed on both sides of the connecting member 282 changes from the state shown in Fig. 4A to the state shown in Fig. 5A And moves to the end of the elongated hole 172. At this time, the grip portion 215 grips the other tray T while the first-stage gripper 208 of the second-stage gripper 210 grasps the tray T.

이와 같이, 2단 그립퍼(210)는 1단 그립퍼(208)와 그립부(215)를 이용하여 트레이(T)와 다른 트레이(T)를 파지하게 된다. 즉, 2장의 트레이를 파지하게 된다. The two-stage gripper 210 grips the tray T and the other tray T using the first-stage gripper 208 and the grip portion 215. [ That is, two trays are gripped.

따라서, 본 발명의 트레이 이송장치(1000)는 트레이(T)를 파지한 상태에서 다른 트레이(T)를 더 파지할 수 있는 2단 그립퍼(210)를 적용하여 그립퍼의 수를 줄이고 복수개의 트레이를 간단히 파지하고 안정되게 이송할 수 있다. Therefore, in the tray transfer apparatus 1000 of the present invention, a two-stage gripper 210 capable of gripping another tray T while holding the tray T is applied to reduce the number of grippers, It can be gripped simply and transported stably.

본 발명의 트레이 이송장치는 전자부품을 수용하는 트레이를 한 개 이상 이송하는 반도체 장치의 트레이 이송장치에 널리 적용될 수 있다.The tray transfer apparatus of the present invention can be widely applied to a tray transfer apparatus of a semiconductor device that transfers one or more trays that accommodate electronic components.

도 1은 종래의 트레이 이송장치를 나타낸 사시도,1 is a perspective view of a conventional tray transfer apparatus,

도 2는 본 발명의 트레이 이송장치의 분해 사시도,2 is an exploded perspective view of the tray transfer apparatus of the present invention,

도 3a 및 도3b는 트레이 이송장치의 초기 상태를 나타낸 상면도 및 측면도,FIGS. 3A and 3B are a top view and a side view showing an initial state of the tray transfer apparatus;

도 4a 및 도4b는 트레이 이송장치가 1장의 트레이를 파지한 상태를 나타낸 상면도 및 측면도,FIGS. 4A and 4B are a top view and a side view showing a state in which the tray transport apparatus grasps one tray,

도 5a 및 도5b는 트레이 이송장치가 2장의 트레이를 파지한 상태를 나타낸 상면도 및 측면도. 5A and 5B are a top view and a side view showing a state in which the tray transport apparatus grasps two trays.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Description of the Related Art [0002]

100: 베이스판 120: 보조 베이스판100: base plate 120: auxiliary base plate

140: 이동판 150, 152, 252: LM 레일140: moving plate 150, 152, 252: LM rail

160,260: LM 가이드 200: 가이드 부재160, 260: LM guide 200: guide member

210: 2단 그립퍼 220: 홀더210: second stage gripper 220: holder

270,272: 제1 및 제2 이동실린더 300: 구동부재 270,272: first and second moving cylinders 300: driving member

400: 실린더 위치 감지센서 500: 트레이 감지센서400: Cylinder position detection sensor 500: Tray detection sensor

Claims (12)

베이스판(100)과;A base plate (100); 상기 베이스판(100)의 상부에 설치된 보조 베이스판(120)의 일측 상부에 설치되며, 방열부재(142)가 설치되는 이동판(140)과;A moving plate 140 installed at an upper portion of one side of the auxiliary base plate 120 provided on the upper surface of the base plate 100 and provided with a heat radiating member 142; 보조 베이스판(120)의 상부에 설치된 LM 레일(150,152)과, 상기 LM 레일(150)과 서로 이동가능하게 연결된 LM 가이드(160)와, 상기 LM 가이드(160)의 상부와 연결된 가이드 판(170)으로 이루어진 가이드 부재(200)와;An LM rail 150 installed on the auxiliary base plate 120 and an LM guide 160 movably connected to the LM rail 150. A guide plate 170 connected to the upper portion of the LM guide 160 (200); LM 레일(152)을 따라 이동가능한 LM 가이드(162)에 연결되며, 홀더의 양측에 간격을 두고 설치된 2단 그립퍼(210)를 갖는 복수개의 홀더(220)와; A plurality of holders 220 connected to the LM guide 162 movable along the LM rail 152 and having a two-stage gripper 210 installed on both sides of the holder at intervals; 보조 베이스판(120)에 설치된 LM 레일(252)과, 상기 LM 레일(252)에 이동 가능하게 삽설된 복수개의 LM 가이드(260)와, 상기 LM 레일(252)의 일측에 설치된 복수개의 제1 및 제2 이동 실린더(270, 272)로 이루어진 구동 부재(300)와;A plurality of LM rails 252 installed on the auxiliary base plate 120, a plurality of LM guides 260 movably inserted in the LM rails 252, And a second moving cylinder (270, 272); 연결부재(282)의 일측에 설치된 보조 연결부재(284)에 설치되며, 상기 제1 및 제2 이동 실린더(270, 272)의 위치를 감지하기 위한 실린더 위치 감지센서(400)와;A cylinder position detecting sensor 400 installed on an auxiliary connecting member 284 provided at one side of the connecting member 282 and sensing the position of the first and second moving cylinders 270 and 272; 트레이(T)의 위치를 감지하기 위한 트레이 감지센서(500)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.And a tray detection sensor (500) for detecting the position of the tray (T). 제 1항에 있어서, 상기 베이스판(100)은 베이스판의 일측에 고정편(102)이 설치되고, 상기 고정편(102)은 복수개의 탄성부재(112)를 개재하여 보조 베이스판(120)과 연결되는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치. The base plate according to claim 1, wherein the base plate is provided with a fixing piece on one side of the base plate, and the fixing piece is fixed to the auxiliary base plate through the plurality of elastic members. And the tray transfer device is connected to the tray transfer device. 제1항에 있어서, 상기 가이드 부재(200)의 가이드 판(170)에는 장공(172)이 형성되고, 상기 장공(172)에는 캠 펄로워(Cam follower: 180)가 삽입 설치되는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치. The apparatus according to claim 1, wherein the guide plate (170) of the guide member (200) has a long hole (172) formed therein and a cam follower (180) Tray feed device. 제1항에 있어서, 상기 홀더(220)의 2단 그립퍼(210)는 2단 그립퍼의 내측에 1단 그립퍼(208)가 형성되는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.2. The tray transfer apparatus according to claim 1, wherein the second stage gripper (210) of the holder (220) is formed with a first stage gripper (208) inside the second stage gripper. 제1항에 있어서, 상기 구동부재(300)의 제1 및 제2 이동실린더(270, 272)는 브라켓(276)에 안착되고, 브라켓(276)의 전방에 설치된 이동부재(275)를 이동시킬 수 있게 구성되는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.The apparatus of claim 1, wherein the first and second moving cylinders (270, 272) of the driving member (300) are mounted on a bracket (276) The tray transferring device being configured to transfer the tray to a predetermined position. 제5항에 있어서, 상기 이동부재(275)는 LM 레일(252)에 설치된 LM 가이드(260)와 연결되고, 캠 펄로워(180)가 설치된 연결부재(282)의 후방에 설치되므로 이동부재(275)의 이동에 따라 연결부재(282)도 이동하게 되므로 캠 펄로워(180)가 가이드판(170)의 장공(172)내에서 이동 가능한 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치. The moving member (275) according to claim 5, wherein the moving member (275) is connected to the LM guide (260) provided on the LM rail (252) and is disposed behind the connecting member (282) The cam follower 180 is movable within the elongated hole 172 of the guide plate 170 because the connecting member 282 is moved in accordance with the movement of the guide plate 170. [ 베이스판(100)과;A base plate (100); 상기 베이스판(100)의 상부에 설치되며, LM 레일(150)에 설치된 LM 가이드(160)를 따라 이동하도록 구성된 가이드판(170)과;A guide plate 170 installed on the base plate 100 and configured to move along the LM guide 160 installed on the LM rail 150; LM 레일(152)을 따라 이동가능한 LM 가이드(162)에 연결되고, 홀더의 양측에 각기 2단 그립퍼(210)가 설치된 홀더(220)와;A holder 220 connected to the LM guide 162 movable along the LM rail 152 and provided with two-stage grippers 210 on both sides of the holder; 상기 가이드판(170)에 연결되며, 연결부재의 양측에 각기 설치된 캠 펄로워(180)와;A cam follower 180 connected to the guide plate 170 and provided on both sides of the connecting member; 상기 캠 펄로워(180)가 설치된 연결부재(282)를 이동시키는 제1 및 제2 이동실린더(270,272)와;First and second moving cylinders (270, 272) for moving the connecting member (282) provided with the cam puller (180); 상기 제1 및 제2 이동실린더(270, 272)의 위치를 감지하기 위한 실린더 위치 감지센서(400)와;A cylinder position sensing sensor (400) for sensing a position of the first and second moving cylinders (270, 272); 트레이(T)의 위치를 감지하기 위한 적어도 한 개 이상의 트레이 감지센서(500)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치.And at least one tray detection sensor (500) for detecting the position of the tray (T). 제 7항에 있어서, 상기 홀더(220)의 2단 그립퍼(210)는 2단 그립퍼의 후면 일측에 사각형 형태의 제2 관통부(223)가 형성되고, 상기 제2 관통부(223)에는 1단 그립퍼(208)가 핀(205)에 의해 끼워지도록 구성되는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치. The gripper (210) of claim 7, wherein a second through-hole (223) of a rectangular shape is formed on one side of the rear surface of the second-stage gripper, and the second through- Wherein the gripper (208) is configured to be fitted by the pin (205). 제8항에 있어서, 상기 1단 그립퍼(208)는 1단 그립퍼의 후단에 형성된 복수개의 관통공(209)에 탄성부재(203)가 끼워지게 되어 1단 그립퍼(208)가 트레이(T)를 그립할 때 발생되는 충격을 완화할 수 있게 구성되는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치. The gripper according to claim 8, wherein the first-stage gripper (208) has a plurality of through holes (209) formed at the rear end of the first-stage gripper, Wherein the gripping mechanism is configured to mitigate the impact generated when gripping the tray. 제7항에 있어서, 상기 캠 펄로워(Cam follower: 180)는 각기 가이드판(170)의 장공(172)내에서 이동할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치. The tray transfer apparatus of claim 7, wherein the cam follower (180) is configured to be movable within a slot (172) of the guide plate (170). 제7항에 있어서, 상기 제1 및 제2 이동실린더(270,272)는 브라켓(276)에 설치되고, LM 레일(252)에 설치된 LM 가이드(260)와 연결된 이동부재(275)를 구동시켜 연결부재(282)의 양측에 설치된 캠 펄로워(180)를 가이드판(170)의 장공(172)내에서 이동시킬 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치. The apparatus of claim 7, wherein the first and second moving cylinders (270, 272) are mounted on a bracket (276) and drive a moving member (275) connected to an LM guide (260) provided on the LM rail (252) Is configured to be able to move the cam puller (180) provided on both sides of the guide plate (282) within the elongated hole (172) of the guide plate (170). 제7항에 있어서, 상기 트레이 감지센서(500)는 상기 가이드판(170)의 하부에 설치된 절곡된 브라켓(512)에 설치되는 것을 특징으로 하는 트레이 이송장치. The tray transfer apparatus according to claim 7, wherein the tray detecting sensor (500) is installed on a bent bracket (512) provided below the guide plate (170).
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