KR101025276B1 - 가요성 에어 히터 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 매트 내부에 에어 홀을 일정 간격으로 배열되도록 형성시킨 에어 매트를 단열구조로 사용하여, 에어 히터가 대상물의 형상과는 무관하게 결합될 수 있는 가요성을 유지할 뿐만 아니라 열선에 의해 발열된 열이 외부로 손실되는 것을 최소화한 가요성 에어 히터에 관한 것으로, 일정한 곡률을 가지는 배관이나 저장탱크와 같은 대상물에 결합되어, 상기 대상물에서 필요로 하는 열을 발생시켜 상기 대상물에 가해지도록 하는 가요성 에어 히터에 있어서, 일정한 패턴으로 열선이 배열되어 있는 히팅 매트; 상기 히팅 매트 상부에 위치, 고정되며, 에어 홀이 일정 간격으로 이격된 상태로 형성되어 있는 에어 매트; 상기 에어 매트 상부에 위치, 고정되며, 상기 에어 매트의 형상을 유지하기 위한 형상유지수단; 및 상기 형상유지수단의 상부에 위치되며, 상기 에어 매트의 강도를 유지하기 위한 강도유지수단으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
히터, 에어 매트, 에어 홀, 가요성, 단열, 형상기억합금, 형상스프링

Description

가요성 에어 히터{AIR HEATER}
본 발명은 가요성 에어 히터에 관한 것이다.
보다 상세하게는 매트 내부에 에어 홀을 일정 간격으로 배열되도록 형성시킨 에어 매트를 단열구조로 사용하여, 에어 히터가 대상물의 형상과는 무관하게 결합될 수 있는 가요성을 유지할 뿐만 아니라 열선에 의해 발열된 열이 외부로 손실되는 것을 최소화한 가요성 에어 히터에 관한 것이다.
반도체 장치 제조, 화학 공정, 플라스틱 생산, 상업적인 음식물 가공, 장비 제조, 및 기타 다른 제조 산업, 특히 액체 또는 가스가 제한된 가열 또는 냉각으로 특정온도에서 수송될 필요가 있거나, 증발성 재료의 고화를 막고 이러한 재료가 파이프, 튜브, 밸브 몸체, 및 다른 콘딧의 내부 표면상에 증발성 재료의 고화의 결과로서 침착되는 것을 방지할 필요가 있는 공정 또는 제조에서 파이프, 튜브, 밸브 몸체, 및 2차원 또는 3차원 곡률을 가지는 다른 콘딧을 가열하거나 단열시키기 위해서 히터가 종종 이용된다. 이러한 히터는 필요한 동력의 양을 감소시키고 노출되 는 히터의 외부 온도를 최소화시키기 위해서 주위 대기로부터 단열될 수 있어서 히터를 만지는 사람이 사고로 화상을 입지 않도록 해야 한다.
예를 들어, 저압 화학 증착(LPCVD) 및 알루미늄 에칭과 같은 반도체 제조 공정은, 반응 공정 챔버에서 야기되고 반응공정 챔버로부터 배출되는 방출가스 중에, 염화암모늄 가스(NH4Cl) 또는 염화알루미늄 가스(AlCl3)와 같은 반응 부산물을 발생시킨다. 염화암모늄 가스는 고화, 침착될 수 있으며, 이에 따라 배기 또는 처리 구역, 진공 펌프, 및 다른 장비로 가스를 운반하는 비가열된 파이프의 내부 표면과 같은 차가운 표면상에 고체 빌드업을 야기시킨다.
반응 공정 챔버로부터 하류의 파이프, 펌프, 및 다른 장비내의 이러한 고체 빌드업은 파이프를 부분적으로 또는 심지어 완전히 막을 수 있고, 펌프 및 다른 장비를 손상시키고, 진공 컨덕턴스를 감소시키고, 제조 공정에 이용되는 파이프, 펌프, 및 다른 장비를 기능상 손상되거나 작동되지 않게 한다. 고체 빌드업은 또한 파이프 표면을 얇은 조각으로 벗겨낼 수 있어 제조 공정에서 오염원이 될 수 있다. 예를 들어 반도체 칩을 형성하기 위해서 이용되는 기판 웨이퍼 상에 실리콘 질화물의 코팅을 침착시키는 저압 화학 증착 프로세스는 실리콘 질화물 침착이 야기되는 반응 챔버내에서 부산물로서 대량의 염화암모늄 가스를 발생시킴으로써 이러한 타입의 고체 빌드업을 야기시킨다. 염화암모늄 가스는 전형적으로 300밀리토르에서 100℃ 이하의 온도에서 승화된다. 일단 염화암모늄 가스가 반응 챔버를 떠나 냉각되면, 염화암모늄의 승화는 백결정체를 제조 시스템에서 이용되는 파이프 및 펌프 의 내부에서와 같은 모든 비가열된 표면상에 형성 및 빌드업되도록 야기시킨다. 승화된 염화암모늄은 반응 챔버를 얇은 조각으로 벗겨내어 파손되게 하고, 반응챔 버내로 역류하며, 반응 챔버에서 반도체 기판 웨이퍼를 오염시킬 수 있다. 그러한 오염이 발생된다면, 제조 시스템은 결정체가 시스템으로부터 소제되는 동안 중단되어야만 하고, 막힌 파이프 및 펌프는 소제 또는 교환되어야 한다. 게다가, 기판 웨이퍼 또는 반도체 칩은 오염되어서 사용할 수 없을 정도로 쓸모없게 된다.
염화암모늄 가스가 제조 시스템을 오염시키거나 고화되어 막히지 않도록 하기 위해서, 히터는 염화암모늄 가스가 효과적으로 및 효율적으로 집전될 수 있는 영역에 도달될 때까지 냉각, 승화, 고화, 또는 응축되지 않도록 파이프 주위에 위치될 수 있다.
상기된 예의 세팅에서 파이프를 포함하는, 대상물을 가열 및/또는 단열시키기 위한 히터 및 다른 장치의 사용은 종래 기술에 잘 공지된다. 예를 들어, 마티우(Mathieu)에게 허여된 미국 특허 제 4,429,213호에는 전기 가열되는 유체 콘딧이 개시되는데, 여기에서 히터는 단열된 전기 전도체 및 폼 단열층에 의하여 둘러싸인 얇은 층을 포함한다. 그렇지만, 종래기술에서는 비금속, 비전기 전도성 파이프 상에서만 이용될 수 있고, 비관형 또는 비원통형 형상이나 모양을 가지는 히터를 만들어 내기에 적합하지 않은 압출공정을 이용하며, 제 위치에 몰딩된 후에 제거될 수 없다는 문제점 있다.
그리고 페트론코(Petronko)에게 허여된 미국 특허 제 4,025,605호에는 파이프 장비를 단열시키기 위한 제거가능하고 재 사용가능한 재킷이 개시되어 있으나, 이러한 재킷의 경우에도 별도의 고정부재를 이용하여 파이프 등과 같은 대상물에 히터를 고정시켜야 하기 때문에 외관상으로 그 결합 형상이 지저분해 보일 뿐만 아니라 그 결합부분이 손상되어, 대상물로부터 히터가 떨어져 열전달 효과 및 단열효과를 현저히 떨어뜨리는 문제점이 있다.
또한, 종래의 히터는 단순히 실리콘 스폰지 또는 실리콘 폼으로 형성된 단열층을 가지고 있기 때문에, 단열효과가 떨어진다는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소시키기 위해 안출된 것으로, 본 발명은 반도체, LCD 또는 석유화학 등과 같은 공장 내에 있는 배관이나 탱크부의 형상이나 위치에 무관하게 부분 히팅 또는 전면 히팅에 적합하도록 제작된 가요성 에어 히터를 제공하는데, 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 매트 내부에 에어 홀을 일정 간격으로 배열되도록 형성시킨 에어 매트를 단열구조로 사용하여, 에어 히터가 대상물의 형상과는 무관하게 결합될 수 있는 가요성을 유지할 뿐만 아니라 열선에 의해 발열된 열이 외부로 손실되는 것을 최소화한 가요성 에어 히터를 제공하는데, 그 목적이 있다.
즉, 단열재로 사용되는 실리콘 폼 내부에 에어 홀을 형성시켜 단열효과를 극 대화시킴으로써, 에너지를 절감시킬 수 있도록 하고, 외부 온도의 저하로 발생되는 안정상의 문제점을 미연에 방지할 수 있도록 한다.
또한, 본 발명은 온도에 따라 원하는 일정 형상을 유지하는 형상기억합금이나 복원력이 강한 형상 스프링을 이용하여 일정한 온도를 유지하는 대상물이 원형, 타원형상 또는 다각형의 구조를 갖는 경우에도 대상물의 형상과 동일한 형상을 유지하여 쉽게 결합, 고정시킬 수 있는 가요성 에어 히터를 제공하는데, 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 형상 기억 합금 또는 형상 스프링을 이용하여, 대상물에 그자체의 성질만으로 고정, 부착되도록 함으로써, 대상물에 가요성 에어 히터를 결합, 고정시키기 위한 별도의 고정 부재를 구비시키지 않아도 되도록 하는 가요성 에어 히터를 제공하는데, 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 가요성 에어 히터의 제작 공정을 단순화시켜, 제조 시간 및 제조에 따른 코스트(cost)를 절감시켜 제조단가를 낮춘 가요성 에어 히터를 제공하는데, 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예는, 일정한 곡률을 가지는 배관이나 저장탱크와 같은 대상물에 결합되어, 상기 대상물에서 필요로 하는 열을 발생시켜 상기 대상물에 가해지도록 하는 가요성 에어 히터에 있어서, 일정한 패턴으로 열선이 배열되어 있는 히팅 매트; 상기 히팅 매트 상부에 위치, 고정되며, 에어 홀이 일정 간격으로 이격된 상태로 형성되어 있는 에어 매트; 상기 에어 매트 상부에 위치, 고정되며, 상기 에어 매트의 형상을 유지하기 위한 형상유지수단; 및 상기 형상유지수단의 상부에 위치되며, 상기 에어 매트의 강도를 유지하기 위한 강도유지수단으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
상기 형상유지수단은 형상기억합금 또는 형상 스프링인 것을 특징으로 한다.
상기 강도유지수단은, 세라믹 섬유이며, 상기 세라믹 섬유 상부에 실리콘으로 코팅되어 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 히팅 매트와 상기 에어 매트는, 접착부재에 의해 부착, 고정되는 것을 특징으로 한다.
상기 접착부재는, 실리콘 접착제인 것이 바람직하다.
상기 세라믹 섬유의 두께를 조절하여 상기 가요성 에어 히터의 강도를 조절하는 것이 바람직하다.
본 발명은 매트 내부에 에어 홀을 일정 간격으로 배열되도록 형성시킨 에어 매트를 단열구조로 사용하여, 에어 히터가 대상물의 형상과는 무관하게 결합될 수 있는 가요성을 유지할 뿐만 아니라 열선에 의해 발열된 열이 외부로 손실되는 것을 최소화할 수 있도록 하는 효과가 있다.
즉, 단열재로 사용되는 실리콘 내부에 에어 홀을 형성시켜 단열효과를 극대화하여 에너지 절감 및 외부 온도의 저하로 안정상의 문제점이 발생하는 경우 이를 해소시킬 수 있도록 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 온도에 따라 원하는 일정 형상을 유지하는 형상기억합금이나 복원력이 강한 형상 스프링을 이용하여 일정한 온도를 유지하는 대상물이 원형, 타원형상 또는 다각형의 구조를 갖는 경우에도 대상물의 형상과 동일한 형상을 유지하여 쉽게 결합, 고정시킬 수 있도록 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 형상 기억 합금 또는 형상 스프링을 이용하여, 대상물에 그자체의 성질만으로 고정, 부착되도록 하여, 대상물에 가요성 에어 히터를 결합, 고정시키기 위한 별도의 고정 부재를 구비시키지 않아도 되도록 함으로써, 고정 부재로 인해 발생할 수 있는 문제점을 미연에 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 결합 부위가 깔끔하여 외관상으로도 미려하도록 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 가요성 에어 히터의 제작 공정을 단순화시켜, 제조 시간 및 제조에 따른 코스트(cost)를 절감시켜 제조단가를 낮출 수 있도록 하여 경제력을 높일 수 있도록 하는 효과가 있다.
이하, 본 발명의 구성을 첨부한 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 일정한 곡률 가지는 배관이나 저장탱크와 같은 대상물에 결합되어, 상기 대상물에서 필요로 하는 열을 발생시켜 상기 대상물에 가해지도록 하는 가요성 에어 히터(100)는 히팅 매트(110)와, 상기 히팅 매트(110) 상부에 위치되며, 에어 홀(121)이 일정 간격으로 이격된 상태로 형성되어 있는 에어 매트(120)와, 상기 에어 매트(120) 상부에 위치되며, 상기 에어 매트(120)의 형상을 유지하기 위한 형상유지수단(130)과, 상기 에어 매트(120)의 강도를 유지하기 위한 강도유지수단(140)으로 구성된다.
이때, 상기 히팅 매트(110), 에어 매트(120) 및 형상유지수단(130)은 실리콘 접착제 등과 같은 접착부재에 의해 상호 결합 고정되는 것이고, 강도유지수단(130)은 코팅액으로, 상기 형상유지수단(130)의 상부에 코팅되어 형성된다.
상기 히팅 매트(110)는 널리 알려진 기술이므로, 그 도면은 생략되었으나, 2개의 PL 층 사이에 일정한 패턴으로 배열된 열선이 위치되어 있으며, 상기 열선과 연결된 전극이 상기 PL 층 상부로 노출되도록 한 후 열융착을 통해 상기 2개의 PL층이 부착되어 형성된다.
상기 에어매트(120)는 도 1의 (a)에 도시된 바와 같이 실리콘 폼에 세로로 형성된 에어 홀(121)이 구비되어 있거나, 또는 도 1의 (b)에 도시된 바와 같이 실리콘 폼에 가로로 에어 홀(121)이 구비되어 있어, 에어 매트(120)가 외부로부터 가압되는 힘에 의해 잘 구부러질 수 있는 가요성을 가지게 되며, 에어 홀(121)에 채워져 있는 공기에 의해 그 단열 효과가 극대화된다.
상기 형상유지수단(130)은 형상 기억 합금 또는 형상 스프링으로서, 형상 기억 합금의 경우 일정 온도가 가해지는 경우 본래의 형상으로 복원되어, 복원된 형상을 유지하고자 하는 특성을 가지고 있으며, 본 발명에서는 형상 기억 합금의 이러한 특성을 이용하는 것으로, 대상물에 형상에 알맞게 형상 기억 합금을 재단하여 가요성 에어 히터(100)의 최종 형상을 제작한 후 대상물에 결합을 시키고 가요성 에어 히터(100)에 전원이 공급되도록 하면, 히팅 매트(110)의 발열선에 의해 열이 발생되어 가요성 에어 히터(100)의 온도가 일정 온도로 상승하고, 이에 따라 상기 형상 기억 합금이 원래의 형상으로 복원되어 대상물에 밀착 결합된다.
한편, 형상 스프링을 이용할 경우 스프링이라는 고유에 특성을 이용하고자 하는 것으로, 형상 스프링의 경우 평소에는 형상 스프링의 복원력에 의해 일정한 형태를 유지하고 있으므로, 배관 등과 같은 대상물에 형상 스프링이 구비된 가요성 에어 히터(100)를 결합시키는 경우 일정한 힘을 가하여 개구를 벌린 후 상기 대상물에 결합시키면 형상 스프링의 복원력에 의해 상기 개구가 서로 맞닿게 복원되어 대상물에 결합된다.
상기 형상 기억 합금 또는 형상 스프링으로 이루어진 형상 유지 수단(130)은 도 3의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이 에어 매트(120) 상부에 일정한 간격으로 이격된 상태로 다수개가 결합된다. 즉, 형상 유지 수단(130)은 가요성 에어 히터(100)가 결합되는 대상물의 단면적이 넓은 경우 다수개가 좀 더 넓은 간격으로 이격되고, 대상물의 단면적이 좁을 경우 다수개가 좀 더 좁은 간격으로 이격된 상태로 결합되는데, 이는 가요성 에어 히터(100) 설계시 대상물에 따라 결정된다.
상기 강도유지수단(140)은 세라믹 섬유이며, 상기 세라믹 섬유 상부에 실리콘으로 코팅되어 형성된다.
또한, 상기 가요성 에어 히터(100)의 강도는 상기 강도유지수단(140)의 세라믹 섬유의 두께를 조절함으로써, 조절 가능하다.
상술한 가요성 에어 히터(100)의 형상은 상술한 바와 같이 대상물의 형상에 따라 다양하게 구현 가능하다.
상기와 같이 구성된 가요성 에어 히터(100)는 첨부된 도면에 도시된 바와 같이 에어 매트(120)의 내부에 에어 홀(121)을 일정 간격으로 배열시켜 손실되는 열을 최소화 하여 사용하는 방식으로, 히팅 매트(110) 내부에 일정한 패턴에 따라 배열된 열선을 구비시켜 상기 열선에 의해 발생된 열이 상기 에어 매트(120)의 에어 홀(121)에 갇혀 있는 공기에 의해 외부로 차단되어, 가요성 에어 히터(100)에 단열 특성을 부가시킬 수 있는 구조로 형성된다.
상기 가요성 에어 히터(100)의 히팅 매트(110)는 가열을 목적으로 하는 평면이나 곡면 또는 원형 제품에 적합하도록 만들어 지며, 히팅 매트(110)와 에어 매트(120)를 실리콘 접착제를 이용하여 접착함으로써, 가열될 대상물의 표면에 부착 가능한 가요성 에어 히터(100)의 근간이 이루어지며, 상기 히팅 매트(110)에 구비된 단자(미도시)에 전원선을 연결시킬 수 있는 고정부를 형성시키면 가요성 에어 히터(100)가 완성된다 할 것이다.
이때, 에어 매트(120) 상부에 형상 기억 합금 또는 형상 스프링으로 이루어진 형상유지수단(130)을 구비시킴으로써, 대상물이 원형 또는 타원형인 경우에도 에어 매트(120)가 적합하게 모양이 변형되어 대상물에 용이하게 부착된다. 즉, 형상유지수단(130)을 형상 기억 합금으로 구현할 경우 형상 기억 합금의 특성상 외부로부터 힘을 가하여 일정한 형태로 만들면, 그 형태를 유지하고 있다가 형상 기억 합금에 열이 가해져 형상 기억 합금의 온도가 일정 온도로 상승 또는 하강하면 형상 기억 합금의 본래의 형태로 된다. 따라서 형상 기억 합금으로 형상유지수 단(130)을 구현할 경우 보관할 때는 보관공간을 고려하여 가요성 에어 히터(100)를 넓게 펴서 보관하다가, 대상물에 결합하고자 하는 경우 펴진 상태로 대상물에 결합시킨 후 대상물을 감싸도록 일정한 힘을 가하여 가요성 에어 히터(100)의 개구면이 서로 맞닿도록 한 후 가요성 에어 히터(100)에 전원을 공급시켜 히팅 매트(110)의 발열선이 가열되면, 가요성 에어 히터(100)의 온도가 상승하고, 결국 이는 형상 기억 합금에 영향을 주어, 그 형상이 내측으로 더 오므라들면서, 가요성 에어 히터(100)가 대상물에 밀착되도록 한다.
따라서 형상 기억 합금을 형상유지수단(130)으로 이용할 경우 가요성 에어 히터(100)의 형상을 다양하게 구현할 수 있으며, 타원형뿐만 아니라 다각형 구조를 가지는 대상물에도 용이하게 결합시킬 수 있는 가요성 에어 히터(100)가 구현 가능하며, 특히 넓은 평면으로 이루어진 대상물에 부착, 결합될 때는 형상 기억 합금이 일정 온도에서 대상물에 대해 수평 평면을 이룰 수 있도록 함으로써, 볼트나 실리콘 접착제 등과 같은 접착부재를 이용하여 대상물에 자유롭게 분리 장착시킬 수 있도록 구현가능하다.
한편, 형상 스프링으로 형상유지수단(130)을 구현할 경우 상기 형상 기억 합금과는 달리 스프링의 복원력에 따라 항상 개구면이 맞닿는 형상을 유지하게 된다. 따라서 대상물에 가요성 에어 히터(100)를 대상물에 결합시키고자 하는 경우 개구면이 외측으로 벌어질 수 있도록 힘을 가한 후 벌어진 개구부를 통해 대상물과 결합시키고, 가해졌던 힘을 해제시키면 형상 스프링의 복원력에 의해 개구면이 서로 맞닿고, 이에 따라 대상물에 가요성 에어 히터(100)가 결합, 고정되도록 한다.
전술한 구조로 이루어진 가요성 에어 히터(100)에는 도 3에 도시된 바와 같이 히팅 매트(110)의 내부에 구비된 열선(미도시)과 연결된 단자가 위치되는 고정부(미도시)가 실리콘으로 코팅된 세라믹 섬유로 이루어진 강도유지수단(140)의 상부에 구비되며, 상기 고정부(미도시)에는 전원공급수단(미도시)과 연결되는 전원선(미도시)이 연결되어 있다.
상기와 같이 형상 기억 합금이나 형상 스프링에 의해 가요성 에어 히터(100)가 그 형상을 용이하게 변경시킬 수 있는 것은 에어 매트(120)에 형성되어 있는 에어 홀(121)이 부여하는 가요성 때문이다. 즉 에어 홀(121)이 형성되어 있으므로, 외부로부터 가해지는 작은 힘에 의해서도 에어 매트(120)의 형상이 내측 또는 외측으로 유연하게 변형 가능하게 된다.
본 발명에 따른 가요성 에어 히터(100)의 히팅 매트(110)와 에어 매트(120)의 사이에 형성된 형상유지수단(130)의 상부에는 세라믹 섬유(141)에 실리콘(142)을 코팅시켜 구현한 강도유지수단(140)이 부착, 고정되며, 에어 매트(120)가 어느 정도의 강도를 유지시킬 수 있도록 한다. 따라서 상기 세라믹 섬유(141)의 두께를 조절함으로써 에어 매트(120)의 강도를 조절할 수 있게 된다.
상기에서 언급된 가요성 에어 히터(100)는 사용 용도에 따라 저온 50도 이하로 대상물의 온도를 유지시키거나, 고온 100~150도 이하로 유지시킬 수 있다. 또한, 가요성 에어 히터(100)의 경우 고온 발열시 에어 매트(120)의 단열효과로 인하여 에너지 손실을 최소화시킬 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 설명하였지만, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 가요성 에어 히터가 펼쳐진 상태에서의 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 가요성 에어 히터가 원래의 상태로 복귀된 상태에서의 단면도이다.
도 3은 본 발명에 적용된 에어 매트에 형상 유지 수단이 결합된 상태를 설명하기 위한 실시예들이다.
도 4는 본 발명에 따른 가요성 에어 히터의 다른 실시예들이다.
**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**
100 : 가요성 히터
110 : 히팅 매트
120 : 에어 매트
121 : 에어 홀
130 : 형상 유지 수단
140 : 강도 유지 수단

Claims (6)

  1. 일정한 곡률을 가지는 배관이나 저장탱크와 같은 대상물에 결합되어, 상기 대상물에서 필요로 하는 열을 발생시켜 상기 대상물에 가해지도록 하는 가요성 에어 히터에 있어서,
    일정한 패턴으로 열선이 배열되어 있는 히팅 매트;
    상기 히팅 매트 상부에 위치, 고정되며, 에어 홀이 일정 간격으로 이격된 상태로 형성되어 있는 에어 매트;
    상기 에어 매트 상부에 위치, 고정되며, 상기 에어 매트의 형상을 유지하기 위한 형상유지수단; 및
    상기 형상유지수단의 상부에 위치되며, 상기 에어 매트의 강도를 유지하기 위한 강도유지수단으로,
    이루어진 것을 특징으로 하는 가요성 에어 히터.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 형상유지수단은 형상기억합금 또는 형상 스프링인 것을 특징으로 하는 가요성 에어 히터.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 강도유지수단은, 세라믹 섬유이며, 상기 세라믹 섬유 상부에 실리콘으로 코팅되어 형성되는 것을 특징으로 하는 가요성 에어 히터.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 히팅 매트와 상기 에어 매트는, 접착부재에 의해 부착, 고정되는 것을 특징으로 하는 가요성 에어 히터.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 접착부재는, 실리콘 접착제인 것을 특징으로 하는 가요성 에어 히터.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 세라믹 섬유의 두께를 조절하여 상기 가요성 에어 히터의 강도를 조절하는 것을 특징으로 하는 가요성 에어 히터.
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