KR101021984B1 - System for controlling fluid flow and method for controlling flow alarm thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유량 제어 시스템 및 그의 유량 알람 제어 방법에 관한 것이다. 본 발명의 유량 제어 시스템은 공급 라인에 설치된 유량계를 이용하여 실시간으로 순시 유량을 측정하고, 측정된 순시 유량의 평균값을 산출한다. 또 유량 제어 시스템은 실제로 공급된 약액의 적산 유량을 산출한다. 이러한 시스템은 순시 유량과 적산 유량을 비교하여 알람 발생 조건을 판별한다. 본 발명에 의하면, 순시 유량과 적산 유량을 이용하여 2 중으로 알람 조건을 판별함으로써, 유량 헌팅 등으로 인한 미세 변화를 정확하게 검출할 수 있다.The present invention relates to a flow control system and a flow alarm control method thereof. The flow rate control system of the present invention measures the instantaneous flow rate in real time using a flow meter installed in the supply line, and calculates an average value of the measured instantaneous flow rates. The flow rate control system also calculates the integrated flow rate of the chemical liquid actually supplied. Such a system compares the instantaneous flow rate with the integrated flow rate to determine the alarm occurrence condition. According to the present invention, it is possible to accurately detect the minute change due to the flow rate hunting and the like by determining the alarm condition in duplicate using the instantaneous flow rate and the integrated flow rate.

유량 제어 시스템, 유량 헌팅, 순시 유량, 적산 유량, 유량 알람 Flow Control System, Flow Hunting, Instantaneous Flow, Total Flow, Flow Alarm

Description

유량 제어 시스템 및 그의 유량 알람 제어 방법{SYSTEM FOR CONTROLLING FLUID FLOW AND METHOD FOR CONTROLLING FLOW ALARM THEREOF}Flow control system and its flow alarm control method {SYSTEM FOR CONTROLLING FLUID FLOW AND METHOD FOR CONTROLLING FLOW ALARM THEREOF}

본 발명은 유량 제어 시스템에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 순시 유량 및 적산 유량을 동시에 이용하여 유량 알람을 제어하는 유량 제어 시스템 및 그 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a flow rate control system, and more particularly, to a flow rate control system and method for controlling a flow rate alarm using an instantaneous flow rate and an integrated flow rate at the same time.

일반적으로 반도체 및 평판 표시 패널 등의 제조 공정에는 다양한 종류의 약액들이 사용된다. 이러한 약액들은 약액 공급 장치에 의해 공정시 요구되는 농도, 온도 및, 유량 등의 공정 조건을 만족하면서 기판을 처리하는 기판 처리 장치로 공급된다.Generally, various kinds of chemical liquids are used in manufacturing processes such as semiconductors and flat panel displays. These chemical liquids are supplied to the substrate processing apparatus which processes the substrate while satisfying the process conditions such as concentration, temperature, and flow rate required during the process by the chemical liquid supply device.

예를 들어, 기판을 세정하는 매엽식 세정 장치는 공정을 처리하는 적어도 하나의 챔버와, 각 챔버에 구비되어 기판으로 약액을 공급하는 적어도 하나의 노즐들을 포함한다. 이러한 기판 처리 장치는 팹(fab) 자체에서 약액을 공급하는 유틸리티(utility)나, 약액 중앙 공급 시스템(Chemical Central Supply System : CCSS)과 같은 약액 공급원으로부터 각 노즐들로 약액을 공급하는 약액 공급 장치와 연결된다. 약액 중앙 공급 시스템으로부터 약액을 공급받는 경우, 약액 공급 장치는 펌프 를 통해 약액을 공급받는다.For example, the sheet cleaning apparatus for cleaning a substrate includes at least one chamber for processing a process, and at least one nozzle provided in each chamber to supply a chemical liquid to the substrate. Such substrate processing apparatuses include a chemical liquid supply device that supplies chemical liquids to respective nozzles from a chemical liquid source such as a utility supplying chemical liquid in a fab itself, or a chemical central supply system (CCSS). Connected. When the chemical liquid is supplied from the chemical liquid central supply system, the chemical liquid supply device receives the chemical liquid through a pump.

약액 공급 장치는 약액 공급원으로부터 공급되는 약액의 공급 압력이 불규칙한 현상 즉, 원압 헌팅(hunting)이 발생된다. 또 약액 공급 장치는 기판 처리 장치의 공정에 따라 적어도 하나의 노즐로 약액을 공급하거나, 복수 개의 노즐들로 약액을 동시에 공급하는 경우, 약액이 복수 개의 노즐들로 분기되어 토출 공급 시, 노즐의 사용 개수에 따라 공급 라인의 압력이 변동되는 현상 즉, 유량 헌팅이 발생된다. 이러한 헌팅 현상들은 약액 공급시, 유량에 맥동을 일으키게 되며, 공정 불량을 일으키는 원인이 된다.In the chemical liquid supply device, a phenomenon in which the supply pressure of the chemical liquid supplied from the chemical liquid source is irregular, that is, a pressure hunting, occurs. In addition, when the chemical liquid supply device supplies the chemical liquid to at least one nozzle or simultaneously supplies the chemical liquid to the plurality of nozzles according to the process of the substrate processing apparatus, the chemical liquid is branched into the plurality of nozzles to use the nozzle when ejecting the supply. The phenomenon in which the pressure in the supply line fluctuates depending on the number, that is, the flow rate hunting is generated. These hunting phenomena cause pulsation in the flow rate when supplying the chemical liquid, and cause process defects.

따라서 안정적으로 약액을 공급하기 위하여, 유량을 실시간으로 모니터링하여 알람을 제어하는 유량 제어 시스템이 구비된다. 예를 들어, 유량 제어 시스템은 공급 라인에 설치되어 약액의 유량을 측정하는 유량계(또는 센서)를 통해 실시간으로 약액의 유량을 모니터링한다.Therefore, in order to stably supply the chemical liquid, a flow rate control system for controlling the alarm by monitoring the flow rate in real time is provided. For example, a flow control system monitors the flow rate of the chemical liquid in real time through a flow meter (or sensor) installed in the supply line to measure the flow rate of the chemical liquid.

도 1 및 도 2를 참조하면, 일반적인 약액 공급 장치는 유량을 제어하기 위하여, 공정 시간 동안에 노즐로 약액을 공급 및 차단한다. 약액 공급 장치는 공정 시간 동안에 공급되는 약액의 순시 유량을 실시간으로 측정하고, 측정된 순시 유량과 설정된 알람 기준값을 이용하여 유량 알람을 판별한다. 알람 기준값은 공정 시간이 완료된 시점에서의 설정값으로, 해당 약액의 경험치 등으로 얻을 수 있다. 이 때, 비교된 순시 유량값과 설정값의 오차(±Δ)가 알람 발생 조건에 해당되면, 알람을 발생한다.1 and 2, the general chemical liquid supply device supplies and shuts off the chemical liquid to the nozzle during the process time, in order to control the flow rate. The chemical liquid supply apparatus measures the instantaneous flow rate of the chemical liquid supplied during the process time in real time, and determines the flow rate alarm using the measured instantaneous flow rate and the set alarm reference value. The alarm reference value is a set value when the process time is completed, and can be obtained as an experience value of the chemical liquid. At this time, an alarm (± Δ) between the compared instantaneous flow rate value and the set value corresponds to an alarm occurrence condition, and generates an alarm.

이러한 방식은 순시 유량의 평균값에 의해 알람 기준을 판별하므로, 공정 시 간이 완료된 시점에서, 두 값을 비교하여 알람을 발생하게 된다. 그러므로 어느 한 시점(t1 또는 t2)에서 순시 유량에 유량 헌팅이 발생되어도 유량 헌팅 발생을 정확하게 검출하기가 어렵다.In this method, since the alarm reference is determined by the average value of the instantaneous flow rate, the alarm is generated by comparing the two values when the process time is completed. Therefore, even when the flow rate hunting occurs in the instantaneous flow rate at any one time point t1 or t2, it is difficult to accurately detect the flow rate hunting occurrence.

즉, 공정이 진행되면, 공정 시간 동안 약액이 공급되어(S10), 순시 유량을 실시간으로 측정한다(S12). 예를 들어, 기판 처리 장치는 공정 진행 시, 기판이 회전 가능한 스핀 척에 안착되고, 노즐을 통해 기판 표면으로 약액을 공급받는다. 매 공정이 종료되는 시점에서 측정된 순시 유량들의 평균값을 이용하여 알람 기준값을 산출하고, 순시 유량과 알람 기준값을 비교한다(S14). 비교 결과, 알람 기준값에 허용 오차 범위를 초과하면, 알람을 발생한다(S16).That is, when the process is in progress, the chemical liquid is supplied during the process time (S10), the instantaneous flow rate is measured in real time (S12). For example, the substrate processing apparatus is mounted on a spin chuck in which the substrate is rotatable during the process, and receives the chemical liquid to the substrate surface through the nozzle. The alarm reference value is calculated using the average value of the instantaneous flow rates measured at the end of each process, and the instantaneous flow rate and the alarm reference value are compared (S14). As a result of the comparison, if the alarm reference value exceeds the tolerance range, an alarm is generated (S16).

그러나, 실제로 약액 공급시, 헌팅 현상 등으로 인하여 순시 유량은 맥동이 일어나서 불규칙하게 공급된다. 따라서 순시 유량의 평균값을 이용하여 유량 알람을 판별하므로, 미세한 유량 변화를 판별하기가 어렵고, 또 헌팅 현상으로 두 값의 오차가 크게 발생될 수 있다.However, when supplying the chemical liquid, the instantaneous flow rate pulsates due to hunting phenomenon and the like and is irregularly supplied. Therefore, since the flow rate alarm is determined using the average value of the instantaneous flow rate, it is difficult to determine the minute change in the flow rate, and the hunting may cause a large error between the two values.

본 발명의 목적은 약액 공급 시, 유량을 모니터링하여 알람을 발생하기 위한 유량 제어 시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a flow control system and method for monitoring the flow rate when a chemical solution is supplied to generate an alarm.

본 발명의 다른 목적은 약액 공급시 발생되는 유량 헌팅으로 미세한 유량 변화에 따른 유량 알람을 제어하기 위한 유량 제어 시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a flow rate control system and method for controlling a flow rate alarm according to a minute flow rate change by the flow rate hunting generated during chemical liquid supply.

본 발명의 또 다른 목적은 순시 유량 및 적산 유량을 동시에 이용하여 유량 알람을 제어하는 유량 제어 시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a flow control system and method for controlling a flow rate alarm using an instantaneous flow rate and an integrated flow rate simultaneously.

상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 유량 제어 시스템은 순시 유량과 적산 유량을 동시에 이용하여 유량 알람을 제어하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같이 유량 제어 시스템은 정밀한 유량 제어가 가능하다.In order to achieve the above objects, the flow control system of the present invention is characterized by controlling the flow rate alarm by using the instantaneous flow rate and the integrated flow rate at the same time. As such, the flow control system can precisely control the flow rate.

본 발명의 유량 제어 시스템은, 기판을 처리하는 처리부로 적어도 하나의 약액을 공급하는 공급 라인과; 상기 공급 라인에 설치되어 실시간으로 약액의 순시 유량을 측정하는 유량계 및; 상기 유량계로부터 측정된 순시 유량을 받아서, 공정 진행 동안의 상기 순시 유량의 평균값을 산출하고, 동시에 상기 처리부로 실제 공급된 적산 유량을 산출하고, 상기 순시 유량과 상기 적산 유량을 비교하여 약액 공급시 발생되는 오차를 판별하여 알람을 발생하는 컨트롤러를 포함한다.The flow control system of the present invention includes a supply line for supplying at least one chemical liquid to a processing unit for processing a substrate; A flow meter installed in the supply line to measure an instantaneous flow rate of the chemical liquid in real time; Receives the instantaneous flow rate measured from the flow meter, calculates the average value of the instantaneous flow rate during the process progress, at the same time calculates the integrated flow rate actually supplied to the processing unit, compares the instantaneous flow rate and the integrated flow rate generated when the chemical liquid supply It includes a controller for generating an alarm by determining the error.

한 실시예에 있어서, 상기 공급 라인은 상기 처리부로 약액을 공급하는 적어도 하나의 노즐과 연결되되; 상기 적산 유량은 상기 노즐로부터 상기 처리부로 토출되는 유량이다.In one embodiment, the supply line is connected with at least one nozzle for supplying a chemical to the processing unit; The integrated flow rate is a flow rate discharged from the nozzle to the processing unit.

다른 실시예에 있어서, 상기 공급 라인은 약액의 유량을 조절하는 유량 조절 밸브가 더 구비되되; 상기 컨트롤러는 상기 유량 조절 밸브의 개폐를 제어한다.In another embodiment, the supply line is further provided with a flow control valve for regulating the flow rate of the chemical liquid; The controller controls the opening and closing of the flow control valve.

또 다른 실시예에 있어서, 상기 컨트롤러는; 상기 순시 유량의 평균값을 알람을 발생하는 기준값으로 설정하고, 상기 순시 유량과 상기 적산 유량을 비교하여, 상기 순시 유량과 상기 적산 유량의 오차를 산출하고, 상기 오차가 알람 을 발생하는 조건이면, 외부로 알람을 발생한다.In yet another embodiment, the controller; If the average value of the instantaneous flow rate is set as a reference value for generating an alarm, the instantaneous flow rate and the integrated flow rate are compared to calculate an error between the instantaneous flow rate and the integrated flow rate, and if the error is a condition for generating an alarm, To trigger an alarm.

본 발명의 다른 특징은 유량 제어 시스템의 유량 알람 제어 방법을 제공한다. 이 방법은 약액 공급 시, 유량 헌팅으로 인한 미세한 유량 변화를 검출 가능하다.Another feature of the present invention provides a flow rate alarm control method of a flow control system. This method can detect minute changes in flow rate due to the flow rate hunting during chemical liquid supply.

이 방법은, 공급되는 약액의 순시 유량을 실시간으로 측정한다. 측정된 상기 순시 유량의 평균값을 산출한다. 실제로 공급되는 약액의 적산 유량을 산출한다. 상기 순시 유량과 상기 적산 유량을 동시에 이용하여 알람을 발생한다.This method measures the instantaneous flow rate of the chemical liquid supplied in real time. The average value of the measured instantaneous flow rates is calculated. The integrated flow rate of the chemical liquid actually supplied is calculated. An alarm is generated using the instantaneous flow rate and the integrated flow rate at the same time.

한 실시예에 있어서, 상기 순시 유량과 상기 적산 유량을 동시에 이용하는 것은; 상기 순시 유량의 평균값을 알람 발생을 위한 기준값으로 설정한다.In one embodiment, using the instantaneous flow rate and the integrated flow rate simultaneously; The average value of the instantaneous flow rate is set as a reference value for alarm generation.

다른 실시예에 있어서, 상기 순시 유량과 상기 적산 유량의 오차를 산출하고, 산출된 상기 오차가 알람을 발생하는 조건인지를 더 판별한다.In another embodiment, an error between the instantaneous flow rate and the integrated flow rate is calculated, and further determined whether the calculated error is a condition for generating an alarm.

또 다른 실시예에 있어서, 상기 적산 유량은 공정 시간 동안 약액을 공급하는 시점에서 약액을 차단하는 시점까지의 측정된 유량이다.In another embodiment, the integrated flow rate is a measured flow rate from the time of supplying the chemical liquid to the time of blocking the chemical liquid during the process time.

상술한 바와 같이, 본 발명의 유량 제어 시스템은 순시 유량과 적산 유량을 이용하여 2 중으로 유량 알람 조건을 판별함으로써, 정밀한 유량 제어가 가능하다.As described above, the flow rate control system of the present invention can precisely control the flow rate by determining the flow rate alarm condition in duplicate by using the instantaneous flow rate and the integrated flow rate.

또 본 발명의 유량 제어 시스템은 순시 유량과 적산 유량을 동시에 이용하여 유량 알람을 제어함으로써, 유량 헌팅으로 인한 미세한 유량 변화를 검출할 수 있다.In addition, the flow rate control system of the present invention can detect the minute flow rate change due to the flow rate hunting by controlling the flow rate alarm using the instantaneous flow rate and the integrated flow rate at the same time.

본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be interpreted as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Therefore, the shapes and the like of the components in the drawings are exaggerated in order to emphasize a clearer explanation.

이하 첨부된 도 3 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 3 to 5.

도 3은 본 발명에 따른 유량 제어 시스템의 구성을 도시한 도면이다.3 is a view showing the configuration of a flow control system according to the present invention.

도 3을 참조하면, 유량 제어 시스템(100)은 기판(W)을 처리하는 처리부(102)로 적어도 하나의 약액을 공급하고, 약액 공급에 따른 유량을 실시간으로 모니터링하여 유량 알람을 제어하기 위하여, 순시 유량과 적산 유량을 동시에 이용한다.Referring to FIG. 3, the flow control system 100 supplies at least one chemical liquid to the processor 102 processing the substrate W, and monitors the flow rate according to the chemical liquid supply in real time to control the flow rate alarm. Instantaneous flow and accumulated flow are used simultaneously.

구체적으로 유량 제어 시스템(100)은 적어도 하나의 약액 공급원(또는 약액 공급 장치)(미도시됨)과 연결되는 공급 라인(108)과, 공급 라인(108)에 연결되어 처리부(102)로 약액을 공급하는 적어도 하나의 노즐(106)과, 공급 라인(108)에 설치되어 공급되는 약액의 순시 유량을 실시간으로 측정하는 유량계(112)와, 공급 라인(108)의 유량을 조절하는 유량 조절 밸브(110) 및, 공정 조건에 적합하게 약액을 처리부(102)로 공급하도록 유량 조절 밸브(110)를 제어(CONTROL)하고, 유량계(112)로부터 측정된 유량 정보(즉, 순시 유량)(MEASURE)를 받아서 유량 알람(ALARM)을 제어하는 컨트롤러(114)를 포함한다.Specifically, the flow control system 100 includes a supply line 108 connected to at least one chemical supply source (or a chemical supply device) (not shown), and a supply line 108 connected to the supply line 108 to transfer the chemical solution to the processing unit 102. At least one nozzle 106 for supplying, a flow meter 112 for measuring the instantaneous flow rate of the chemical liquid supplied to the supply line 108 in real time, and a flow control valve for adjusting the flow rate of the supply line 108 ( 110) and the flow control valve 110 is controlled to supply the chemical liquid to the processing unit 102 in accordance with the process conditions, and the flow rate information (i.e., the instantaneous flow rate) measured from the flow meter 112 is measured. Receive and control a flow alarm ALARM.

처리부(102)는 예를 들어, 노즐(106)을 통해 기판(W) 표면으로 약액을 공급 받고, 기판(W)을 회전시켜서 기판 세정 공정을 처리한다. 처리부(102)는 내부에 기판(W)이 안착되는 지지부재(104)를 포함한다. 지지부재(104)는 스핀척 등으로 구비되어 기판(W)을 회전시킨다. 따라서 처리부(102)는 스핀 모드가 오토로 설정되고, 공정이 진행된다. 즉, 처리부(102)는 공정이 진행되면, 지지부재(104)에 기판(W)이 안착되고, 회전 가능한 상태에서 노즐(106)을 통해 기판(W) 표면으로 약액을 공급받는다.The processing unit 102 receives the chemical liquid to the surface of the substrate W through the nozzle 106, and rotates the substrate W to process the substrate cleaning process. The processing unit 102 includes a support member 104 on which a substrate W is mounted. The support member 104 is provided with a spin chuck or the like to rotate the substrate (W). Therefore, the processing unit 102 sets the spin mode to auto, and the process proceeds. That is, when the process is in progress, the processing unit 102 receives the chemical liquid to the surface of the substrate W through the nozzle 106 in a state where the substrate W is seated on the support member 104 and is rotatable.

유량계(112)는 실시간으로 공급 라인(108)에 공급되는 약액의 유량 즉, 순시 유량을 측정하여 컨트롤러(114)로 유량 정보(MEASURE)를 제공한다.The flow meter 112 measures the flow rate of the chemical liquid supplied to the supply line 108 in real time, that is, the instantaneous flow rate and provides the flow rate information MEASURE to the controller 114.

그리고 컨트롤러(114)는 유량 조절 밸브(110)를 제어(CONTROL)하여 노즐(106)로 공급되는 약액의 유량을 공정 조건에 적합하게 조절하고, 유량계(112)로부터 측정된 유량 정보(MEASURE)를 받아서 순시 유량의 평균치(도 4의 AVG)를 산출한다. 또 컨트롤러(114)는 도 4에 도시된 바와 같이, 공정 개시 시간으로부터 공정 완료 시간까지의 즉, 약액 공급 및 차단 구간까지에 대한 약액의 적산 유량을 산출한다. 적산 유량은 실제로 노즐(106)로부터 처리부(102)로 토출된 유량이다. 또 컨트롤러(114)는 공정 진행 시, 유량계(112)로부터 측정된 순시 유량(MEASURE)과 실제로 약액 토출된 적산 유량을 비교하고, 비교 결과에 따른 오차를 이용하여 유량 알람(ALARM)을 발생한다.The controller 114 controls the flow regulating valve 110 to adjust the flow rate of the chemical liquid supplied to the nozzle 106 according to the process conditions, and to measure the flow rate information MEASURE measured from the flow meter 112. The average value of the instantaneous flow rate (AVG in FIG. 4) is calculated. In addition, as shown in FIG. 4, the controller 114 calculates an integrated flow rate of the chemical liquid from the process start time to the process completion time, that is, from the chemical liquid supply to the shutoff section. The accumulated flow rate is actually the flow rate discharged from the nozzle 106 to the processing unit 102. In addition, the controller 114 compares the instantaneous flow rate MEASURE measured from the flow meter 112 with the accumulated flow rate actually discharged from the chemical liquid, and generates a flow rate alarm using an error according to the comparison result.

따라서 본 발명의 유량 제어 시스템(100)은 실제로 공급 라인(108)에 흐르는 순시 유량과 공정 시간 동안에 공급되는 적산 유량을 산출, 비교하여, 알람 기준을 판단한다. 즉, 두 값의 비교에 따른 오차를 최소화하고, 이를 통해 유량 헌팅을 보 다 정확하게 판단하여 알람을 관리한다.Therefore, the flow rate control system 100 of the present invention calculates and compares the instantaneous flow rate actually flowing in the supply line 108 with the integrated flow rate supplied during the process time, and determines an alarm reference. That is, the error caused by the comparison of the two values is minimized, and through this, the flow rate hunting is more accurately determined and the alarm is managed.

도 4는 도 3에 도시된 유량 제어 시스템의 순시 유량과 적산 유량을 이용하여 약액 공급을 제어하는 상태를 나타내는 파형도이다.4 is a waveform diagram illustrating a state in which the chemical liquid supply is controlled using the instantaneous flow rate and the integrated flow rate of the flow control system shown in FIG. 3.

도 4를 참조하면, 공정이 진행되면, 공정 시간 동안에 약액을 공급 및 차단한다. 이 때, 유량 제어 시스템(100)은 순시 유량(MEASURE)을 기준으로 적산 유량을 비교한다. 이는 순시 유량의 평균값(AVG)과 적산 유량의 오차 범위가 도 1에 도시된 기존의 순시 유량의 평균값만을 이용하는 경우보다 알람 발생 범위에 대한 오차가 줄어든다.Referring to FIG. 4, when the process proceeds, the chemical liquid is supplied and blocked during the process time. At this time, the flow rate control system 100 compares the integrated flow rate based on the instantaneous flow rate MEASURE. This is because the error range of the average value of the instantaneous flow rate AVG and the integrated flow rate uses only the average value of the existing instantaneous flow rate shown in FIG.

예를 들어, 순시 유량의 평균값이 100 cc/min 이고, 오차가 ±5 cc/min 인 경우, 기존의 방식에서는 평균값에 의해 알람 기준을 판별하므로 105 cc/min 초과 또는 95 cc/min 미만인 경우에 알람을 발생하게 된다. t1 및 t2 시점에서 유량 헌팅이 발생되어도 순시 유량의 평균값만을 이용하여 알람을 판별하므로 유량 헌팅 발생을 검출하기가 어렵다.For example, if the mean value of the instantaneous flow rate is 100 cc / min and the error is ± 5 cc / min, the conventional method determines the alarm criterion by the mean value, so if the average value is greater than 105 cc / min or less than 95 cc / min. It will generate an alarm. Even when the flow rate hunting occurs at the time points t1 and t2, it is difficult to detect the flow rate hunting occurrence because the alarm is determined using only the average value of the instantaneous flow rate.

그러나 본 발명에서는 동일한 조건인 경우, t1(또는 t2) 시점에서 순시 유량의 평균값(AVG)과, 순시 유량과 적산 유량을 동시에 비교하여, 순시 유량의 평균값이 100 cc/min 이고, 적산 유량이 97 cc/min 이면, 유량 헌팅으로 인해 t1(또는 t2) 시점에서의 순시 유량이 95 cc/min(또는 102 cc/min) 이면, 순시 유량과 적산 유량의 오차가 ±3 cc/min이므로, 도 1의 오차 범위보다 오차 범위가 줄어든다. 따라서 유량 제어 시스템은 기존 대비해서 보다 줄어든 오차를 이용하여 정밀한 알람 제어가 가능하다.However, in the present invention, under the same conditions, the mean value AVG of the instantaneous flow rate and the instantaneous flow rate and the integrated flow rate are simultaneously compared at the time t1 (or t2), and the mean value of the instantaneous flow rate is 100 cc / min, and the integrated flow rate is 97. If cc / min, the instantaneous flow rate at time t1 (or t2) due to flow hunting is 95 cc / min (or 102 cc / min), the error between the instantaneous flow rate and the integrated flow rate is ± 3 cc / min, Figure 1 The margin of error is less than the margin of error. Therefore, the flow control system can precisely control the alarm by using the reduced error compared to the existing one.

계속해서, 도 5는 본 발명에 따른 순시 유량과 적산 유량을 이용하여 약액 공급 및 유량 알람을 제어하는 수순을 도시한 흐름도이다. 이 수순은 컨트롤러(114)가 처리하는 프로그램으로, 이 프로그램은 컨트롤러(114)의 메모리(미도시됨)에 저장된다.5 is a flowchart illustrating a procedure for controlling the chemical liquid supply and the flow rate alarm using the instantaneous flow rate and the integrated flow rate according to the present invention. This procedure is a program processed by the controller 114, which is stored in a memory (not shown) of the controller 114.

도 5를 참조하면, 단계 S150에서 공정이 진행되어 약액이 공급되면, 단계 S152에서 순시 유량 및 순시 유량의 평균값을 산출한다. 이 때, 순시 유량은 유량계를 이용하여 실시간으로 측정(MEASURE)된다. 또 순시 유량의 평균값은 알람 발생을 위한 알람 기준값으로 설정된다. 따라서 컨트롤러(114)는 유량계(112)로부터 측정된 순시 유량(MEASURE)을 받아서 순시 유량의 평균값(AVG)을 산출한다.Referring to FIG. 5, when the process proceeds in step S150 and the chemical liquid is supplied, an average value of the instantaneous flow rate and the instantaneous flow rate is calculated in step S152. At this time, the instantaneous flow rate is measured in real time using a flow meter. The average value of the instantaneous flow rate is set as an alarm reference value for alarm generation. Therefore, the controller 114 receives the instantaneous flow rate MEASURE measured from the flowmeter 112 and calculates an average value AVG of the instantaneous flow rate.

단계 S154에서 실제로 노즐(106)에서 공급 즉, 토출되는 적산 유량을 산출한다. 적산 유량은 공정 시간 동안 약액을 공급하는 시점에서 약액을 차단하는 시점까지의 유량이다.In step S154, the accumulated flow rate actually supplied, that is, discharged from the nozzle 106 is calculated. The integrated flow rate is the flow rate from the time of supplying the chemical liquid to the time of blocking the chemical liquid during the process time.

단계 S156에서 순시 유량과 적산 유량을 비교하여 오차가 발생되는지를 판별한다. 판별 결과, 순시 유량과 적산 유량을 비교하여 오차가 발생되면, 단계 S158로 진행하여 오차가 알람 기준값에 도달하였는지를 판별한다. 즉, 오차가 알람 발생을 위한 범위를 벗어나는 조건이면, 이 수순은 단계 S160으로 진행하여 외부로 알람을 발생한다.In step S156, the instantaneous flow rate and the integrated flow rate are compared to determine whether an error occurs. As a result of the determination, if an error occurs by comparing the instantaneous flow rate and the integrated flow rate, the flow advances to step S158 to determine whether the error has reached the alarm reference value. In other words, if the error is outside the range for alarm generation, the procedure proceeds to step S160 to generate an alarm to the outside.

이상에서, 본 발명에 따른 유량 제어 시스템의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.In the above, the configuration and operation of the flow control system according to the present invention has been shown in accordance with the detailed description and drawings, which are merely described by way of example, and various changes and modifications may be made without departing from the spirit of the present invention. It is possible.

도 1은 종래기술의 일 실시예에 따른 평균 유량을 이용하여 약액 공급을 제어하는 상태를 나타내는 파형도;1 is a waveform diagram showing a state of controlling a chemical liquid supply using an average flow rate according to an embodiment of the prior art;

도 2는 도 1에 도시된 실시예의 평균 유량을 이용하여 약액 공급을 제어하는 수순을 도시한 흐름도;FIG. 2 is a flowchart showing a procedure for controlling chemical liquid supply using the average flow rate of the embodiment shown in FIG. 1; FIG.

도 3은 본 발명에 따른 유량 제어 시스템의 구성을 도시한 도면;3 shows a configuration of a flow control system according to the present invention;

도 4는 도 3에 도시된 유량 제어 시스템의 순시 유량과 적산 유량을 이용하여 약액 공급을 제어하는 상태를 나타내는 파형도; 그리고4 is a waveform diagram showing a state of controlling the chemical liquid supply using the instantaneous flow rate and the integrated flow rate of the flow rate control system shown in FIG. 3; And

도 5는 본 발명에 따른 순시 유량과 적산 유량을 이용하여 약액 공급 및 유량 알람을 제어하는 수순을 도시한 흐름도이다.5 is a flowchart illustrating a procedure for controlling the chemical liquid supply and the flow rate alarm using the instantaneous flow rate and the integrated flow rate according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100 : 유량 제어 시스템 102 : 처리부100: flow control system 102: processing unit

104 : 지지부재 106 : 노즐104: support member 106: nozzle

108 : 공급 라인 110 : 유량 조절 밸브108: supply line 110: flow control valve

112 : 유량계 114 : 컨트롤러112: flow meter 114: controller

Claims (8)

유량 제어 시스템에 있어서:In the flow control system: 기판을 처리하는 처리부로 약액을 토출하는 복수의 노즐들과;A plurality of nozzles for ejecting a chemical liquid to a processing unit for processing a substrate; 상기 노즐과 연결되어 적어도 하나의 약액을 공급하는 공급라인과;A supply line connected to the nozzle to supply at least one chemical liquid; 상기 공급라인 상에 설치되어 상기 공급라인으로 공급되는 약액의 순시유량을 실시간으로 측정하는 유량계와;A flow meter installed on the supply line to measure an instantaneous flow rate of the chemical liquid supplied to the supply line in real time; 상기 유량계로부터 상기 순시유량의 측정값을 받아 공정진행 동안의 상기 순시유량의 평균값 및 상기 노즐로부터 상기 처리부로 토출되는 유량인 적산유량에 대한 측정값을 산출하여 상기 순시유량 및 상기 적산유량의 측정값을 비교하는 컨트롤러를 포함하되;The measured value of the instantaneous flow rate and the accumulated flow rate is calculated by receiving the measured value of the instantaneous flow rate from the flowmeter and calculating the measured value for the integrated flow rate, which is the average value of the instantaneous flow rate during the process and the flow rate discharged from the nozzle to the processing unit. Including a controller to compare; 상기 컨트롤러는,The controller comprising: 상기 순시유량의 평균값 및 상기 적산유량의 측정값의 차이를 오차범위로 설정하고, 상기 순시유량의 측정값 및 상기 적산유량의 측정값의 오차가 상기 오차범위를 벗어나면, 외부로 알람을 발생하는 것을 특징으로 하는 유량 제어 시스템.The difference between the mean value of the instantaneous flow rate and the measured value of the integrated flow rate is set to an error range, and when an error between the measured value of the instantaneous flow rate and the measured value of the integrated flow rate is outside the error range, an alarm is generated to the outside. Flow control system, characterized in that. 삭제delete 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 공급 라인은 약액의 유량을 조절하는 유량 조절 밸브가 더 구비되되;The supply line is further provided with a flow control valve for controlling the flow rate of the chemical liquid; 상기 컨트롤러는 상기 유량 조절 밸브의 개폐를 제어하는 것을 특징으로 하는 유량 제어 시스템.And the controller controls opening and closing of the flow regulating valve. 삭제delete 유량 알람 제어 방법에 있어서:In the flow alarm control method: 공급되는 약액의 순시유량을 실시간으로 측정하고, 측정된 상기 순시유량의 평균값 및 노즐부로부터 처리부로 실제 토출되는 유량인 적산유량의 측정값을 산출하여 상기 순시유량의 평균값 및 상기 적산유량의 측정값의 차이를 오차범위로 설정하고, 상기 순시유량의 측정값 및 상기 적산유량의 측정값의 오차를 산출하여 상기 오차가 상기 오차범위를 벗어나면 알람이 발생하는 것을 특징으로 하는 유량 알람 제어 방법.The instantaneous flow rate of the supplied chemical liquid is measured in real time, and the average value of the measured instantaneous flow rate and the integrated flow rate, which is the flow rate actually discharged from the nozzle unit, are calculated to calculate the average value of the instantaneous flow rate and the measured value of the integrated flow rate. Setting a difference in the error range and calculating an error between the measured value of the instantaneous flow rate and the measured value of the integrated flow rate so that an alarm is generated when the error is out of the error range. 삭제delete 삭제delete 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 적산 유량은 공정 시간 동안 약액을 공급하는 시점에서 약액을 차단하는 시점까지의 측정된 유량인 것을 특징으로 하는 유량 알람 제어 방법.The cumulative flow rate is a flow rate alarm control method, characterized in that the measured flow rate from the time of supplying the chemical liquid during the process time to the time of blocking the chemical liquid.
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