KR101011778B1 - 경화 모듈 및 기판 접합 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 경화 모듈은 실런트를 경화시키는 경화 모듈로서, 램프를 구비하는 광 조사기와, 광 조사기의 단부에 결합되어 출사되는 광의 단면 형상을 조절하는 마스크를 포함한다.
따라서, 본 발명에 의하면 램프를 구비하는 광 조사기의 하단에 출사되는 광의 단면 형상을 조절할 수 있는 마스크를 결합시킴으로써, 더미 실링 패턴 상에 자외선을 조사할 때 인접한 메인 실링 패턴에 자외선이 조사되는 것을 방지할 수 있다. 이를 통해, 더미 실링 패턴을 경화시키는 단계에서 메인 실링 패턴이 경화됨으로써 발생되는 소자의 불량을 억제할 수 있다.
더미 실링 패턴, 기판 접합 장치, 메인 실링 패턴

Description

경화 모듈 및 기판 접합 장치{Hardening module and substrate bonding apparatus}
본 발명은 경화 모듈 및 기판 접합 장치에 관한 것으로, 더미 실링 패턴을 경화 시키는 단계에서 인접한 메인 실링 패턴에 영향을 주지 않고 더미 실링 패턴만 경화 시킬 수 있는 경화 모듈 및 기판 접합 장치에 관한 것이다.
액정 표시 장치(Liquid Crystal Display Devicd : LCD)는 종래의 표시 장치인 CRT(Cathode Ray Tube)와 비교하여 소형, 경량화 및 대면적화의 장점을 가지고있어, 이의 개발이 활발히 이루어지고 있다.
이와 같은 액정 표시 장치를 구성하는 액정 표시 패널은 액정 영역 내에 화소 전극 및 박막 트랜지스터가 마련된 하부 기판과 액정 영역 내에 공통 전극 및 컬러 필터가 마련된 상부 기판을 포함하고, 두개의 기판의 액정 영역 사이에 액정이 봉입되어 서로 맞물려 결합된다. 또한, 상부 기판 및 하부 기판 중 적어도 어느 하나의 가장자리에는 상기 상부 기판과 하부 기판을 결합시키기 위한 실링 패턴이 형성된다. 실링 패턴은 자외선에 의해 경화되는 광 경화성 실런트를 이용하여 형성한다. 여기서, 실링 패턴은 상부 기판 및 하부 기판의 가장 자리 둘레에 형성된 패 쇄형 메인 실링 패턴과, 상기 메인 실링 패턴의 일부 외각 영역에 형성된 더미 실링 패턴을 포함한다. 더미 실링 패턴은 정렬된 상부 기판과 하부 기판의 틀어짐을 방지하는 접착제 역할을 한다. 즉, 상부 기판과 하부 기판을 정렬 및 합착한 후, 먼저 더미 실링 패턴을 경화시키고 후속 공정을 위해 합착된 상부 기판 및 하부 기판을 이동시킨다. 이와 같이, 합착된 상부 기판 및 하부 기판이 다음 공정을 위해 이동하더라도 경화된 더미 실링 패턴에 의해 정렬된 상태를 유지할 수 있다.
더미 실링 패턴을 경화시키는 종래의 경화 모듈의 경우 자외선이 출사되는 개구부가 원형으로 제작됨으로써, 더미 실링 패턴 상에 조사되는 광 스팟의 형상이 원형이었다. 이때, 원형의 광 스팟의 지름이 더미 실링 패턴의 폭에 비해 작은 경우, 광 스팟이 더미 실링 패턴의 모든 폭에 조사되지 못한다. 즉, 자외선이 더미 실링 패턴의 폭의 일부 영역에만 조사된다. 이에, 더미 실링 패턴을 경화시키는데 어려움이 있었다. 이를 해결하기 위해 원형의 개구부의 크기를 크게 하면, 더미 실링 패턴과 인접한 메인 실링 패턴에 광 스팟이 침범하여 메인 실링 패턴이 함께 경화된다. 즉, 공정상 상하부 기판의 합착이 이루어진 후에 더미 실링 패턴을 가경화하여 상기 상하부 기판 사이에 소정 거리의 셀겝(cell gab)을 형성하여야 하나, 이미 경화된 메인 실링 패턴으로 인하여 셀겝(cell gab)을 형성하는 것이 어려웠다. 이로 인해, 하부 기판 상에 적하된 액정이 셀겝(cell gab) 불량으로 인하여 메인 실링 패턴 내측으로 고르게 퍼지도록 할 수 없게 되므로, 소자의 불량이 발생되었다. 또한, 메인 실링 패턴에 인접한 액정에 까지 광 스팟이 조사되어 액정의 열화가 발생하여 액정 불량의 원인이 되었다.
상기의 문제점을 해결하기 위하여 램프를 구비하는 광 조사기의 단부에 출사되는 광의 단면 형상을 조절할 수 있는 마스크를 결합시킴으로써, 더미 실링 패턴 상에 자외선을 조사할 때 인접한 메인 실링 패턴에 자외선이 조사되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 마스크의 하부에 차단막을 설치하여 마스크를 통해 출사된 자외선이 차단막에 의해 차단됨으로써 더미 실링 패턴이 형성된 영역에만 자외선이 조사되도록 할 수 있다.
본 발명에 따른 경화 모듈은 실런트를 경화시키는 경화 모듈로서, 램프를 구비하는 광 조사기와, 상기 광 조사기의 단부에 결합되어 출사되는 광의 단면 형상을 조절하는 마스크를 포함한다.
상기 마스크는 슬릿 형상의 개구부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 슬릿 형상의 개구부는 자외선이 출사되는 방향으로 간격이 좁아지도록 제작된다.
상기 마스크의 외주면에는 자외선이 투과되지 않는 재료로 제작된 차단막이 결합된다.
상기 차단막은 종이, 천 및 필름 등의 플랙서블(flexible)한 재료를 이용하여 제작된다.
상기 마스크는 별도의 결합부재를 통해 상기 광 조사기와 결합되며, 상기 결합부재에 의해 탈부착이 가능하다.
본 발명에 따른 기판 접합 장치는 상부 기판을 지지하고 적어도 하나의 홈이 마련된 상정반과, 상기 상정반과 대응 위치하여 하부 기판을 지지하는 하정반과, 상기 홈에 삽입되어 출사되는 광의 단면 형상을 조절할 수 있는 경화 모듈을 포함한다.
상기 상정반에 마련된 홈은 상기 상부 기판과 하부 기판의 사이에 형성된 더미 실링 패턴과 대응하여 배치된다.
상기 경화 모듈은 램프를 구비하는 광 조사기와, 상기 광 조사기의 단부에 결합되어 출사되는 광의 단면 형상을 조절하는 마스크를 포함한다.
상술한 바와 같이 본 발명은 램프를 구비하는 광 조사기의 하단에 출사되는 광의 단면 형상을 조절할 수 있는 마스크를 결합시킴으로써, 더미 실링 패턴 상에 자외선을 조사할 때 인접한 메인 실링 패턴에 자외선이 조사되는 것을 방지할 수 있다. 이를 통해, 더미 실링 패턴을 경화시키는 단계에서 메인 실링 패턴이 경화됨으로서 발생되는 소자의 불량을 억제할 수 있다.
또한, 슬릿 형상의 개구부를 통해 자외선을 조사함으로써 종래에 비하여 한번에 넓은 면적의 더미 실링 패턴을 경화시킬 수 있다. 이로 인해, 더미 실링 패턴을 경화시키기 위한 공정 시간을 단축할 수 있다.
그리고, 마스크의 하부에 차단막을 설치하여 마스크를 통해 출사된 자외선이 차단막에 의해 차단됨으로써, 상기 자외선은 더미 실링 패턴 상에만 조사된다. 이로 인해, 메인 실링 패턴 상에 자외선이 조사되는 것을 방지할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 경화 모듈을 포함하는 기판 접합 장치를 설명하기 위한 도면이다. 도 2(a) 및 도 2(b)는 종래의 경화 모듈에 의해 더미 실링 패턴 상에 조사된 광 스팟을 도시한 도면이다. 도 2(c)는 제 1 실시예에 따른 경화 모듈에 의해 더미 실링 패턴 상에 조사된 광 스팟을 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 기판 접합 장치는 상부 기판(500)을 지지하는 상정반(100)과, 상정반(100)과 대응 배치되어 하부 기판(400)을 지지하는 하정반(300)과, 상정반(100)에 마련된 홈(110)과, 홈에 삽입된 경화 모듈(200)을 포함한다.
여기서, 상정반(100) 및 하정반(300) 각각은 상부 기판(500) 및 하부 기판(400)을 지지할 수 있도록 진공척으로 제작된다. 물론 이에 한정되지 않고 진공상태에서 상부 기판(500) 및 하부 기판(400)을 지지할 수 있는 어떠한 수단이 사용되어도 무방하다. 상정반(100)에는 상기 상정반(100)을 승하강 시킬 수 있는 구동부(미도시)가 연결되며, 하정반(300)은 고정되어 있는 것이 바람직하다. 이에, 구 동부(미도시)를 이용하여 상정반(100)을 하강시킴으로써, 상부 기판(500)과 하부 기판(400)을 합착시킬 수 있다. 물론 이에 한정되지 않고, 하정반(300)에 구동부(미도시)가 연결될 수도 있다.
상정반(100)에 마련된 홈(110)은 상부 기판(500)과 하부 기판(400) 사이에 형성된 더미 실링 패턴(700)과 대응 위치하며, 상기 홈(110)에는 경화 모듈(200)이 삽입된다. 또한, 상정반(100)의 홈(110) 및 경화 모듈(200)은 더미 실링 패턴(700)의 개수와 대응하는 개수로 마련되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 메인 실링 패턴(600)의 일부 외각 영역에 4개의 더미 실링 패턴(700)을 형성한다면, 상정반(100)에는 각 더미 실링 패턴(700)과 대응 하도록 4개의 홈(110)이 마련된다. 그리고 상기 4개의 홈(110) 각각에는 경화 모듈(200)이 삽입된다. 도시 되지는 않았지만, 경화 모듈(200)의 상부에는 상기 경화 모듈(200)을 수평이동 및 승하강 시키는 이동수단(미도시)이 연결된다. 이에, 이동수단(미도시)을 이용하여 경화 모듈(200)을 승하강 시킴으로써, 상부 기판(500)과 경화 모듈(200) 사이의 이격 거리를 조절할 수 있다. 또한, 이동수단(미도시)을 통해 경화 모듈(200)을 수평이동 시킴으로써 더미 실링 패턴(700)을 따라 광 예를 들어, 자외선이 조사될 수 있다.
상부 기판(500)에는 도시되지는 않았지만 블랙 매트릭스, 칼라 필터 및 공통 전극이 형성되고, 하부 기판(400)에는 박막 트랜지스터, 게이트 라인, 소스 라인, 화소 전극이 형성된다. 또한, 상부 기판(500) 및 하부 기판(400) 중 적어도 어느 하나의 가장자리 둘레에는 패쇄형 메인 실링 패턴(600)이 형성되고, 상기 메인 실링 패턴(600)의 일부 외각 영역에는 더미 실링 패턴(700)이 형성된다. 이때, 더미 실링 패턴(700)은 일정 거리 이격되어 복수개로 형성되는 것이 바람직하다. 메인 실링 패턴(600) 및 더미 실링 패턴(700)의 제 1 폭은 1.5mm 내지 1.7mm가 되도록 한다. 또한, 메인 실링 패턴(600)과 더미 실링 패턴(700) 사이의 이격 거리는 최소 19mm가 되도록 형성한다. 메인 실링 패턴(600) 및 더미 실링 패턴(700)은 자외선에 의해 경화되는 광 경화성 실런트를 실런트 디스펜싱 장치(미도시)를 이용하여 도포함으로써 형성한다. 이에 한정되지 않고 스크린 인쇄법을 통해 광 경화성 실런트를 도포하여 메인 실링 패턴(600) 및 더미 실링 패턴(700)을 형성할 수도 있다. 그리고 하부 기판(400) 상에는 액정이 적하된다. 이때, 하부 기판(400) 상에 적하되는 액정은 상부 기판(500) 상에 형성된 메인 실링 패턴(600)의 내측에 대응하도록 적하되는 것이 바람직하다.
이와 같이 형성된 상부 기판(500) 및 하부 기판(400) 각각을 도 1에 도시된 바와 같이, 기판 접합 장치의 상정반(100) 및 하정반(300)에 안착시킨 후, 상정반(100)을 하강시켜 상부 기판(500)과 하부 기판(400)을 합착시킨다. 이어서, 경화 모듈(200)을 통해 자외선을 조사하여 더미 실링 패턴(700)을 경화시킨다. 이때, 경화 모듈(200)과 상부 기판(500) 사이의 이격 거리는 5mm 내지 10mm 인 것이 바람직하다. 이로 인해, 더미 실링 패턴(700)이 경화됨으로써, 상부 기판(500)과 하부 기판(400)이 틀어지지 않고 정렬된 상태를 유지할 수 있다.
종래에는 경화 모듈(미도시)의 단부에 형성되어 자외선이 출사되는 개구부(미도시)가 원형의 형상이었다. 이에, 도 2(a) 및 도 2(b)에 도시된 바와 같이 더미 실링 패턴(700) 상에 조사되는 광의 단면 즉, 광 스팟(800) 형상이 원형이었다. 이때, 도 2(a)에 도시된 바와 같이 원형의 광 스팟(800)의 지름이 더미 실링 패턴(700)의 폭에 비해 작은 경우, 광 스팟(800)이 더미 실링 패턴(700)의 모든 폭에 조사되지 못한다. 즉, 자외선이 더미 실링 패턴(700)의 폭의 일부 영역에만 조사된다. 이에, 상기 더미 실링 패턴(700)을 경화시키는데 문제가 있었다. 이를 해결 하기 위해 경화 모듈(미도시)의 개구부(미도시)의 지름을 크게 하는 경우, 도 2(b)에 도시된 바와 같이 더미 실링 패턴(700)과 인접한 메인 실링 패턴(600) 영역에 광 스팟(800)이 침범하게 된다. 따라서, 더미 실링 패턴(700)을 경화시키는 단계에서 메인 실링 패턴(600)이 함께 경화되어 셀겝(cell gab) 형성에 문제가 되었다. 즉, 이미 경화된 메인 실링 패턴(600)에 의해 상부 기판(500)과 하부 기판(400) 사이에 소정 갭(gab)이 형성되도록 밀착시킬 수 없게 된다. 이로 인해, 하부 기판(400) 상에 적하된 액정이 고르게 퍼질 수 없게 됨으로써 소자의 불량의 발생된다. 이에, 본 실시예에서는 도 2(c)에 도시된 바와 같이 출사되는 광 스팟(800)이 원형이 아닌 슬릿 형상이 되도록 한다. 이를 위해, 도 1에 도시된 바와 같이 출사되는 광 스팟(800)의 형상을 조절할 수 있는 마스크(240)를 포함하는 경화 모듈(200)을 제작한다. 이때, 본 실시예에 따른 마스크(240)는 슬릿 형상의 개구부(미도시)를 포함한다.
본 실시예에서는 하부 기판(400) 상에만 액정이 적하 되었지만 이에 한정되지 않고, 상부 기판(500)에 액정이 적하될 수도 있고, 하부 기판(400)과 상부 기판(500) 모두에 액정이 적하될 수도 있다.
도 3(a)는 제 1 실시예에 따른 도 1(a)의 D 영역의 확대도이다. 도 3(b)는 도 3(a)의 A-A'를 따라 절단한 단면도이다.
도 3(b)를 참조하면, 본 실시예에 따른 경화 모듈(200)은 광 예를 들어, 자외선을 조사하는 광 조사기(1000)와, 광 조사기(1000)의 단부에 결합되어 출사되는 자외선의 단면의 형상을 조절하는 마스크(240)를 포함한다. 광 조사기(1000)는 자외선을 발생시키는 램프(210)와, 램프(210)를 커버하는 조사관(220)과, 조사관(220)을 커버하는 하우징(230)과, 하우징(230) 내에 위치하여 자외선을 투과시키는 투명 플레이트(250)를 포함한다. 또한, 광 조사기(1000)의 하우징(230)과 마스크(240)를 결합시키는 결합부재(270)와, 하우징(230)과 투명 플레이트(250)의 사이에 위치하는 오링(260)을 포함한다.
램프(210)는 고압 수은 램프(210), 메탈 할라이드(Metla halide) 램프(210) 및 메탈 램프(210) 중 어느 하나를 사용할 수 있다. 이러한 램프(210)는 조사관(220)의 내부에 설치되어 상기 조사관(220)에 의해 보호된다. 또한, 조사관(220)의 하부 즉, 자외선이 출사되는 방향에 제 1 개방부(221)가 마련된다. 이에, 램프(210)에서 발생된 자외선은 조사관(220)의 안내를 따라 진행하여 상기 조사관(220)의 제 1 개방부(221)를 통해 출사된다. 도시되지는 않았지만, 조사관(220)의 내부에는 램프(210)로부터 발생된 열을 냉각시키는 냉각장치(미도시)가 설치될 수 있다.
하우징(230)은 조사관(220)을 커버하도록 설치되며, 상기 하우징(230)의 내부에는 자외선을 투과시킬 수 있는 투명 플레이트(250)가 배치된다. 이때, 투명 플 레이트(250)는 하우징(230) 내의 제 1 개방부(221)의 하부에 대응 위치하는 것이 바람직하다. 본 실시예에 따른 투명 플레이트(250)는 쿼츠 글래스(quartz glass)를 사용한다. 물론 이에 한정되지 않고 자외선을 투과시킬 수 있는 어떠한 재료를 사용하여도 무방하다. 또한, 하우징(230)의 하부 즉, 자외선이 출사되는 방향에 제 2 개방부(231)가 마련된다. 이때, 제 2 개방부(231)는 하우징(230)의 내부에 설치된 투명 플레이트(250)의 하부에 대응 위치하는 것이 바람직하다. 이에, 램프(210)에서 발생된 자외선은 조사관(220)의 제 1 개방부(221) 및 투명 플레이트(250)를 거쳐 하우징(230)의 제 2 개방부(231)를 통해 출사된다.
마스크(240)는 출사되는 광의 단면의 형상을 조절하여 더미 실링 패턴(700) 상에 조사되는 자외선이 메인 실링 패턴(600) 영역을 침범하지 않도록 하는 역할을 한다. 이를 위해, 마스크(240)에는 도 3(a)에 도시된 바와 같이 슬릿 형상의 개구부(241)가 마련되며, 상기 마스크(240)는 결합 부재(270)에 의해 하우징(230)에 결합된다. 이에, 마스크(240)는 결합부재(270)에 의해 탈부착이 가능하다. 결합부재(270)는 마스크(240)와 하우징(230)을 결합시킬 수 있는 수단이라면 어떠한 수단이 사용되어도 무방하다. 마스크(240)의 개구부(241)는 하우징(230)의 하부에 마련된 제 2 개방부(231)와 대응 배치되는 것이 바람직하다. 이를 통해, 램프(210)에서 발생된 자외선은 조사관(220)의 제 1 개방부(221) 및 하우징(230)의 제 2 개방부(231)를 거쳐 마스크(240)의 개구부(241)를 통해 출사되어 더미 실링 패턴(600) 상에 조사된다. 이때, 도 3(a)에 도시된 바와 같이, 더미 실링 패턴(700) 상에 조사된 광 스팟(800)의 제 2 폭(W2)은 적어도 더미 실링 패턴(700)의 제 1 폭(W2)에 비해 큰 것이 바람직하다. 또한, 더미 실링 패턴(700) 상에 조사된 광 스팟(800)이 메인 실링 패턴(600) 영역을 침범하지 않도록 하는 것이 더욱 바람직하다. 즉, 메인 실링 패턴(600)과 인접한 광 스팟(800)의 끝단이 상기 메인 실링 패턴(600)과 이격 되도록 한다. 이때, 메인 실링 패턴(600)과 더미 실링 패턴(700) 사이의 이격 거리는 전술했던 바와 같이 최소 19mm이다. 이에, 메인 실링 패턴(600)과 인접한 광 스팟(600)의 끝단은 상기 메인 실링 패턴(600)으로부터 최소 4mm 이격되는 것이 효과적이다. 이를 위해, 슬릿 형상으로 제작된 개구부(241)의 제 3 폭(W3)과 더미 실링 패턴(700)의 제 1 폭(W2)의 비율이 1 : 1.5 내지 1 : 1.7이 되도록 형성한다. 따라서, 본 실시예에서는 도 3(a)에 도시된 바와 같이 메인 실링 패턴(600) 영역을 침범하지 않고 더미 실링 패턴(700) 상에 자외선을 조사할 수 있다. 또한, 종래에 비하여 더미 실링 패턴(700)이 연장된 방향으로 확장된 광 스팟(800)을 얻을 수 있다. 이에, 한번에 경화되는 더미 실링 패턴(700)의 면적이 넓어지기 때문에 상기 더미 실링 패턴(700)을 경화시키기 위한 공정 시간을 단축할 수 있다.
도 4(a)는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 경화 모듈을 설명하기 위해 도시한 도면이다. 도 4(b)는 제 2 실시예에 따른 도 4(a)의 B-B'를 따라 절단한 단면도이다. 하기에서는 제 1 실시예와 중복되는 내용은 생략한다.
도 4(a) 및 도 4(b)를 참조하면, 본 실시예에 따른 경화 모듈(200)은 도 3(a) 및 도 3(b)에 도시된 경화 모듈(200)과 동일한 구조로 제작되며, 마스크(240)의 개구부(241)의 형상이 다르다. 즉, 마스크(240)의 개구부(241)는 도 4(a) 및 도 4(b)에 도시된 바와 같이 슬릿 형상으로 제작되며, 이에 더하여 자외선이 출사되는 방향으로 간격이 좁아지도록 제작된다. 이에, 본 실시예에서는 제 1 실시예에 비해 자외선이 조사되는 면적 즉, 광 스팟(800)의 면적이 좁아지게 된다. 이때, 더미 실링 패턴(700) 상에 조사되는 광 스팟(800)의 제 2 폭(W2)이 상기 더미 실링 패턴(700)의 제 1 폭(W1)에 비해 큰 것이 바람직하다. 따라서, 제 1 실시예에 비하여 더미 실링 패턴(700) 상에 조사되는 광 스팟(800)이 메인 실링 패턴(600) 영역을 침범하는 것을 보다 효과적으로 방지할 수 있다.
도 5(a)는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 경화 모듈을 설명하기 위해 도시한 도면이다. 도 5(b)는 제 3 실시예에 따른 도 3(a)의 C-C'를 따라 절단한 단면도이다.
도 5(a) 및 도 5(b)를 참조하면, 본 실시예에 따른 경화 모듈(200)은 도 3(a) 및 도 3(b)에 도시된 경화 모듈(200)의 마스크(240)에 추가적으로 차단막(280)이 결합된 구조로 제작된다. 차단막(280)은 마스크(240)를 통해 출사된 자외선이 더미 실링 패턴(700) 상에만 조사되도록 하는 역할을 한다. 이를 위해, 차단막(280)은 자외선이 투과되지 않는 재료를 이용하여 제작되며, 마스크(240)의 외주면을 둘러싸도록 결합되는 것이 바람직하다. 또한, 마스크(240)에 결합된 차단막(280)의 하단은 상부 기판(500)의 상면에 접촉되도록 한다. 이는 차단막(280)의 외부로 자외선이 빠져나가는 것을 방지하기 위함이다. 이에, 차단막(280)은 상부 기판(500)에 손상을 주지 않는 플랙서블한 재료 예를 들어 종이, 천 및 필름 등을 이용하여 제작한다. 따라서, 더미 실링 패턴(700)을 경화시키기 위해 상기 더미 실링 패턴(700) 상에 조사되는 자외선은 차단막(280)을 통해 차단되어 메인 실링 패 턴(600) 영역을 침범하지 않는다.
본 실시예에서는 액정 표시 장치를 예를 들어 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 광 경화성 실런트로 형성된 더미 실링 패턴 및 메인 실링 패턴을 이용하여 상부 기판과 하부 기판을 접합시키는 다양한 표시 장치에 적용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 경화 모듈을 포함하는 기판 접합 장치를 설명하기 위한 도면.
도 2(a) 및 도 2(b)는 종래의 경화 모듈에 의해 더미 실링 패턴 상에 조사된 광 스팟을 도시한 도면.
도 2(c)는 제 1 실시예에 따른 경화 모듈에 의해 더미 실링 패턴 상에 조사된 광 스팟을 도시한 도면.
도 3(a)는 제 1 실시예에 따른 도 1(a)의 D 영역의 확대도.
도 3(b)는 도 3(a)의 A-A'를 따라 절단한 단면도.
도 4(a)는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 경화 모듈을 설명하기 위해 도시한 도면.
도 4(b)는 제 2 실시예에 따른 도 4(a)의 B-B'를 따라 절단한 단면도.
도 5(a)는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 경화 모듈을 설명하기 위해 도시한 도면.
도 5(b)는 제 3 실시예에 따른 도 3(a)의 C-C'를 따라 절단한 단면도.

Claims (9)

  1. 실런트를 경화시키는 경화 모듈로서,
    램프를 구비하는 광 조사기;
    상기 광 조사기의 단부에 결합되어, 출사되는 광의 단면 형상을 조절하며, 슬릿 형상의 개구부를 구비하는 마스크;
    일단이 상기 마스크 외주면을 둘러싸도록 설치되고, 타단이 기판의 상면에 접촉되도록 설치되며, 자외선이 투과되지 않는 플랙서블(flexible)한 재료를 이용하여 제작된 차단막을 포함하는 경화 모듈.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 마스크는 슬릿 형상의 개구부를 포함하는 것을 특징으로 하는 경화 모듈.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 슬릿 형상의 개구부는 자외선이 출사되는 방향으로 간격이 좁아지도록 제작된 경화 모듈.
  4. 삭제
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 차단막은 종이, 천 및 필름 중 어느 하나의 재료를 이용하여 제작되는 경화 모듈.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 마스크는 별도의 결합부재를 통해 상기 광 조사기와 결합되며, 상기 결합부재에 의해 탈부착이 가능한 경화 모듈.
  7. 상부 기판을 지지하고 적어도 하나의 홈이 마련된 상정반;
    상기 상정반과 대응 위치하여 하부 기판을 지지하는 하정반;
    상기 홈에 삽입되어 출사되는 광의 단면 형상을 조절할 수 있는 슬릿 형상의 개구부가 마련된 마스크 및 일단이 상기 마스크 외주면을 둘러싸도록 설치되고, 타단이 기판의 상면에 접촉되도록 설치되며, 자외선이 투과되지 않는 플랙서블(flexible)한 재료를 이용하여 제작된 차단막이 구비된 경화 모듈을 포함하는 기판 접합 장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 상정반에 마련된 홈은 상기 상부 기판과 하부 기판의 사이에 형성된 더미 실링 패턴과 대응하여 배치되는 기판 접합 장치.
  9. 청구항 7에 있어서,
    상기 경화 모듈은 램프를 구비하는 광 조사기를 포함하는 기판 접합 장치.
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