KR101005808B1 - A method for preparing photo-crosslinkable organic gate insulator and organic thin film transistor device using the same - Google Patents

A method for preparing photo-crosslinkable organic gate insulator and organic thin film transistor device using the same Download PDF

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Abstract

본 발명은 차세대 플렉시블디스플레이의 구동 스위칭 소자로 응용이 가능한 유기박막트랜지스터 (OTFT)의 핵심 구성 성분인 유기절연체의 신규 합성 및 이를 이용한 유기박막 트랜지스터의 제조에 관한 것이다. 보다 상세히 기술하면 유기절연체로 많이 이용되는 폴리비닐페놀(PVP)이나 폴리비닐알코올(PVA)의 하이드록시 그룹과 광반응성 특성이 있는 기능기와의 화학반응을 통하여 제조된 새로운 구조의 신규 유기절연체 및 이를 이용한 유기박막 트랜지스터의 제조에 관한 것이다. The present invention relates to a novel synthesis of organic insulators, which is a key component of an organic thin film transistor (OTFT), which can be applied as a driving switching device of a next-generation flexible display, and to manufacturing an organic thin film transistor using the same. In more detail, a novel organic insulator manufactured by chemical reaction between a hydroxyl group of polyvinylphenol (PVP) or polyvinyl alcohol (PVA), which is widely used as an organic insulator, and a functional group having photoreactive properties, and the same It relates to the manufacture of the organic thin film transistor used.

본 발명에 따른 유기절연체는 박막 내에 하이드록시 그룹이 제거되어 히스테리시스의 감소 및 절연특성의 향상을 가져왔으며 UV를 통한 경화를 통해 유기절연체 박막제조공정의 공정온도를 낮추는 효과가 있다.In the organic insulator according to the present invention, the hydroxy group is removed in the thin film, thereby reducing the hysteresis and improving the insulation characteristics. The organic insulator has an effect of lowering the process temperature of the organic insulator thin film manufacturing process through curing through UV.

유기절연체, 폴리비닐페놀, 폴리비닐알코올, 광반응, 경화, 유기박막트랜지스터 Organic Insulator, Polyvinylphenol, Polyvinyl Alcohol, Photoreaction, Curing, Organic Thin Film Transistor

Description

광 경화 가능한 유기절연체 제조 방법 및 이를 적용한 유기 박막 트랜지스터{A method for preparing photo-crosslinkable organic gate insulator and organic thin film transistor device using the same}A method for preparing photo-crosslinkable organic gate insulator and organic thin film transistor device using the same}

본 발명은 차세대 플렉시블디스플레이등에서 구동스위칭 소자로서 응용이 가능한 유기박막트랜지스터(OTFT)에 이용 가능한 저온 공정 및 광중합법에 의해 광경화가 가능한 신규 유기절연체의 제조 방법 및 이로부터 제조된 유기절연체를 포함하는 유기박막트랜지스터에 관한 것이다. The present invention provides a method for preparing a new organic insulator that can be photocured by a low temperature process and a photopolymerization method that can be used as an organic thin film transistor (OTFT) that can be applied as a driving switching device in a next-generation flexible display, and an organic insulator prepared therefrom. It relates to a thin film transistor.

1980년대 이후 유기물을 활성층(active layer)으로 사용하는 유기박막트랜지스터(Organic Thin Film Transistor;OTFT)에 관한 연구가 전세계적으로 활발히 진행되고 있다. 유기박막트랜지스터는 기존의 실리콘-트랜지스터(Si-TFT)와 구조적으로 거의 유사하나 반도체 영역에서 실리콘 대신 유기물을 사용하는 점에서 차이가 있다. 유기박막트랜지스터는 기존의 실리콘 트랜지스터의 무기박막을 이용한 물리적/화학적 증착 방법 대신 상압의 스핀코팅 또는 프린팅 공정법의 종용이 가능해 제조공정을 단순화 시킬 수 있으며 저온 공정이 가능한 장점이 있다.Since the 1980s, research on organic thin film transistors (OTFTs) using organic materials as active layers has been actively conducted worldwide. The organic thin film transistor is almost similar in structure to a conventional silicon transistor (Si-TFT), but there is a difference in using an organic material instead of silicon in the semiconductor region. The organic thin film transistor can simplify the manufacturing process by using spin coating or printing method of atmospheric pressure instead of the physical / chemical deposition method using the inorganic thin film of the conventional silicon transistor, and has the advantage of low temperature process.

일반적으로 유기박막트랜지스터의 절연체로는 무기물인 실리콘 디옥사이드 (SiO2)등이 사용되며 유기물로는 폴리비닐알코올(PVA), 폴리비닐페놀(PVP), 폴리메틸메타아크릴레이트(PMMA) 및 폴리이미드(PI) 등의 물질이 이용되고 있다. 절연체는 유기반도체와 계면을 형성하게 되므로 절연체의 계면특성에 따라 유기반도체의 결정성, 형태 등이 좌우되기 때문에 최종 박막트랜지스터의 소자특성에 핵심적인 부분이다. In general, as an insulator of an organic thin film transistor, inorganic silicon dioxide (SiO 2 ) is used, and as organic materials, polyvinyl alcohol (PVA), polyvinylphenol (PVP), polymethylmethacrylate (PMMA), and polyimide ( Substances such as PI) are used. Since the insulator forms an interface with the organic semiconductor, the crystallinity and shape of the organic semiconductor depend on the interface characteristics of the insulator, which is an essential part of the device characteristics of the final thin film transistor.

종래에 유기물을 이용한 절연체 중에서 폴리비닐알코올(PVA)계 또는 폴리비닐페놀(PVP)계의 유기절연체의 경우 경화제를 도입하여 고온에서 열적으로 고분자의 경화 반응을 보내기 때문에 유연한 기판에 응용이 제한적이었고 경화 후에도 구조 내에 하이드록시 그룹을 포함하고 있어 이러한 물질로 제조된 유기절연막을 유기박막트랜지스터에 적용하는 경우 하이드록시 그룹에 의한 누설전류 및 히스테리시스의 발현 등 문제점이 있었다. In the case of polyvinyl alcohol (PVA) -based or polyvinyl phenol (PVP) -based organic insulators in the prior art, the application of a curing agent is used to thermally cure the polymer at high temperature, thereby limiting its application to flexible substrates. Since the hydroxy group is included in the structure afterwards, when the organic insulating film made of such a material is applied to the organic thin film transistor, there are problems such as leakage current and hysteresis expression by the hydroxy group.

유기박막트랜지스터의 우수한 특성을 얻기 위해서는 절연특성이 우수한 유기절연체의 개발이 필수적이며 유연한 기판에 유기박막트랜지스터를 구현하기 유기절연체 박막의 형성공정 온도 또한 저온 공정이 가능하여야 한다. 또한 유기절연체는 유기박막트랜지스터를 이용한 실제 어레이 소자제작을 위해서 패터닝 되어야 될 필요가 있다. 따라서 프린팅 공정 등을 통하여 용이하게 패터닝된 유기절연막을 형성할 수 있도록 용액 공정에 사용되는 용매에 대한 용해도가 우수하고, 후속 용액 공정에 사용되는 용매에 대한 내화학성이 우수한 유기절연체 개발이 필요하다.In order to obtain the excellent characteristics of the organic thin film transistor, it is necessary to develop an organic insulator having excellent insulating properties. In order to implement the organic thin film transistor on a flexible substrate, the process temperature of forming the organic insulator thin film must be low temperature process. In addition, the organic insulator needs to be patterned in order to manufacture an actual array device using an organic thin film transistor. Therefore, it is necessary to develop an organic insulator having excellent solubility in the solvent used in the solution process and excellent chemical resistance to the solvent used in the subsequent solution process so that the organic insulating film can be easily patterned through a printing process.

본 발명에서는 차세대 플렉시블디스플레이 등에서 구동스위칭 소자로서 응용이 가능한 유기박막트랜지스터(OTFT)의 핵심 구성 성분인 유기절연체로서 널리 이용되고 있는 폴리비닐 알코올이나 폴리비닐페놀을 광경화가 가능한 기능기와 반응시켜 궁극적으로 유기절연체의 경화 온도의 감소 및 절연 특성의 향상을 도모하고자 한다.In the present invention, polyvinyl alcohol or polyvinylphenol, which is widely used as an organic insulator, which is a key component of an organic thin film transistor (OTFT), which can be applied as a driving switching device in a next-generation flexible display, is reacted with a functional group capable of photocuring. It is intended to reduce the curing temperature of the insulator and to improve the insulating properties.

본 발명에서는 하이드록시기를 포함하는 폴리비닐알코올이나 폴리비닐페놀 유기절연체 고분자를 광이성화 반응으로 인해 경화반응이 가능하게 하기 위하여 신나모일(cinnamoyl) 그룹 보다 낮은 에너지 영역에서도 광반응이 가능한 다양한 구조의 아크릴로일(acryloyl) 그룹과 반응시켜 신규 유기절연체를 제조하여 이를 유기박막트랜지스터 소자의 유기절연체로 응용하여 소자에서 누설전류나 히스테리시스를 가져올 수 있는 문제를 해결하였으며 고온의 열적 경화 반응이 아니고 자외선 조사에 의한 광경화 방법을 통해서 유기절연체 박막제조의 공정온도도 낮추는 효과를 얻을 수 있다. In the present invention, in order to enable the curing reaction of polyvinyl alcohol or polyvinyl phenol organic insulator polymer containing a hydroxyl group by photoisomerization reaction, acryl having various structures capable of photoreaction in a lower energy region than cinnamoyl group A novel organic insulator was prepared by reacting with an acrylloyl group and applied as an organic insulator of an organic thin film transistor device to solve the problem of causing leakage current or hysteresis in the device. Through the photocuring method, it is possible to obtain an effect of lowering the process temperature of the organic insulator thin film manufacturing.

기존에 유기절연체로 가장 많이 이용되어지는 폴리비닐페놀의 경우에는 열적경화를 위해서 200 ℃ 이상의 고온 공정이 적용되어야 되기 때문에 유연한 플라스틱 기판 등에 응용하기가 힘들고 경화 후에도 절연체 박막 내에 하이드록시 그룹이 존재하기 때문에 소자특성에 있어서 히스테리시스 발생 등의 심각한 문제가 있었다. In the case of polyvinylphenol, which is most commonly used as an organic insulator, it is difficult to apply it to a flexible plastic substrate because a high temperature process of 200 ° C. or higher must be applied for thermal curing, and since hydroxy groups exist in the insulator thin film even after curing. There was a serious problem such as hysteresis in the device characteristics.

본 발명은 유기박막트랜지스터의 유기절연체 용도로 기존의 폴리비닐 알코올 이나 폴리비닐페놀의 하이드록시 그룹과, 신나모일 (cinnamoyl) 그룹 보다 낮은 에너지 영역에서도 광반응이 가능한 다양한 구조의 아크릴로일 (acryloyl) 그룹과의 반응에 의해 광경화가 가능한 폴리비닐계 유기고분자, 이의 제조방법을 제공하며, 상기 폴리비닐계 유기고분자의 도포 및 경화를 통해 형성되는 유기절연막을 포함하는 유기박막트랜지스터를 제공한다. The present invention is an organic insulator of an organic thin film transistor, and has various structures such as acryloyl, which is capable of photoreaction in a lower energy region than conventional hydroxyl groups of polyvinyl alcohol or polyvinylphenol and cinnamoyl groups. The present invention provides a polyvinyl-based organic polymer capable of photocuring by reaction with a group, and a method of manufacturing the same, and provides an organic thin film transistor including an organic insulating layer formed by applying and curing the polyvinyl-based organic polymer.

이하에서 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail.

본 발명은 하기 화학식 1 또는 화학식 2로 표시되는 유기박막트랜지스터의 게이트 절연막용 폴리비닐계 유기고분자에 관한 것이다.The present invention relates to a polyvinyl organic polymer for a gate insulating film of an organic thin film transistor represented by the following formula (1) or (2).

[화학식 1][Formula 1]

Figure 112008076433421-pat00001
Figure 112008076433421-pat00001

[화학식 2][Formula 2]

Figure 112008076433421-pat00002
Figure 112008076433421-pat00002

상기 화학식 1 내지 화학식 2에서 A1 및 A2는 독립적으로 화학결합이거나 페닐렌이고, a 및 b는 독립적으로 1 내지 10의 정수이며, n 및 m은 독립적으로 10 내지 2000의 자연수이고, R11 내지 R19 및 R21 내지 R27은 독립적으로 수소(H), (C1~C10)알킬, 시아노 또는 할로겐으로부터 선택된다.In Formulas 1 to 2, A 1 and A 2 are independently a chemical bond or phenylene, a and b are independently an integer of 1 to 10, n and m are independently a natural number of 10 to 2000, R 11 To R 19 and R 21 to R 27 are independently selected from hydrogen (H), (C 1 -C 10) alkyl, cyano or halogen.

상기 화학식 1 또는 화학식 2의 폴리비닐계 유기고분자는 질량평균 분자량이 5000 내지 1,000,000 g/mol의 범위인 것이 더욱 바람직한데, 이는 상기 분자량이 5,000 미만인 경우에는 유기절연막 자체의 저분자량에 의한 누설전류 등의 문제점이 발생할 수 있고, 상기 분자량이 1,000,000을 초과하는 경우에는 유기절연막 형성 공정에서 높은 분자량에 의한 가공성이 현저히 떨어지는 점에서 불리할 수 있기 때문이다.More preferably, the polyvinyl organic polymer of Formula 1 or Formula 2 has a mass average molecular weight in the range of 5000 to 1,000,000 g / mol, and when the molecular weight is less than 5,000, leakage current due to low molecular weight of the organic insulating film itself This is because the problem may occur, and when the molecular weight exceeds 1,000,000, it may be disadvantageous in that the workability due to the high molecular weight is considerably inferior in the organic insulating film forming process.

상기 화학식 1 또는 화학식 2에서 폴리비닐계 유기고분자는 구체적으로 하기 구조의 화합물을 포함하며 하기 구조에서 n 및 m은 앞에서 정의한 바와 같다.In Formula 1 or Formula 2, the polyvinyl-based organic polymer specifically includes a compound having the following structure, and n and m in the following structure are as defined above.

Figure 112008076433421-pat00003
Figure 112008076433421-pat00003

본 발명은 상기 화학식 1 또는 화학식 2로 표시되는 폴리비닐계 유기고분자의 제조방법으로서, 하기 화학식 3의 히드록시기를 갖는 고분자로부터 하기 화학식 4 또는 화학식 5의 아크릴로일계 할라이드를 반응시켜 폴리비닐계 유기고분자를 제조하는 방법을 제공한다.The present invention is a method for producing a polyvinyl organic polymer represented by Formula 1 or Formula 2, by reacting acryloyl halide of Formula 4 or Formula 5 from a polymer having a hydroxyl group of Formula 3 It provides a method of manufacturing.

[화학식 3](3)

Figure 112008076433421-pat00004
Figure 112008076433421-pat00004

[화학식 4][Formula 4]

Figure 112008076433421-pat00005
Figure 112008076433421-pat00005

[화학식 5][Chemical Formula 5]

Figure 112008076433421-pat00006
Figure 112008076433421-pat00006

[상기 화학식 3에서 A는 화학결합이거나 페닐렌이고, k는 10 내지 2000의 자연수이고, 화학식 4 내지 화학식 5에서 X는 할로겐원소이고, a 및 b는 독립적으로 1 내지 10의 정수이며, R11 내지 R19 및 R21 내지 R27은 독립적으로 수소(H), (C1~C10)알킬, 시아노 또는 할로겐으로부터 선택된다.][In Formula 3, A is a chemical bond or phenylene, k is a natural number of 10 to 2000, X is a halogen element in Formulas 4 to 5, a and b are independently an integer of 1 to 10, R 11 To R 19 and R 21 to R 27 are independently selected from hydrogen (H), (C 1 -C 10) alkyl, cyano or halogen.]

상기 화학식 3의 화합물과 화학식 4의 화합물과의 반응을 통하여 화학식 1의 폴리비닐계 유기고분자가 제조되고, 상기 화학식 3의 화합물과 화학식 5의 화합물과의 반응을 통하여 상기 화학식 2의 폴리비닐계 유기고분자가 제조된다.Polyvinyl-based organic polymer of Chemical Formula 1 is prepared by reacting the compound of Chemical Formula 3 with the compound of Chemical Formula 4, and the polyvinyl organic compound of Chemical Formula 2 is reacted with the compound of Chemical Formula 3 Polymers are prepared.

상기 화학식 3의 화합물은 기존의 유기절연체로 보고가 많이 되고 있는 폴리비닐페놀 및 폴리비닐알코올과 같은 고분자로서, 수 평균 분자량이 5k ~ 1000k의 고분자를 사용할 수 있다. 상기 화학식 3의 화합물과 반응하는 상기 화학식 4 또는 상기 화학식 5의 화합물은 광경화기 및 상기 광경화기와 공액화된 방향족 그룹을 가지고 있어 광에 의해 분자간 반응이 일어날 수 있고 보다 낮은 에너지를 조사를 통해 용이하게 광경화가 일어날 수 있다. 상기 화학식 4 또는 상기 화학식 5의 화합물에서 광경화기와 공액화된 방향족 그룹이 증가함에 따라 광반응시 필요한 파장 의 에너지를 낮게 할 수 있는 장점이 있다. 이는 광경화에 사용되어지는 UV에 의한 유기절연체 고분자의 파괴 및 특성 저하를 최소화 할 수 있다. 상기 화학식 4의 화합물로는 대표적으로 3-바이페닐-4-일-아크릴로일 클로라이드(3-biphenyl-4-yl-acyloyl chloride)을 들 수 있고, 상기 화학식 5의 화합물로는 대표적으로 3-나프탈렌-1-일-아크릴로일 클로라이드(3-naphthalen-1-yl-acyloyl chloride)를 들 수 있다. 상기 3-바이페닐-4-일-아크릴로일 클로라이드(3-biphenyl-4-yl-acyloyl chloride) 및 3-나프탈렌-1-일-아크릴로일 클로라이드(3-naphthalen-1-yl-acyloyl chloride)는 신나모일 클로라이드 (cinnamoyl chloride)보다 공액결합의 길이가 증가되어 더 낮은 에너지에서 광반응이 가능하다.The compound of Chemical Formula 3 is a polymer such as polyvinylphenol and polyvinyl alcohol, which are frequently reported as existing organic insulators, and a polymer having a number average molecular weight of 5k to 1000k may be used. The compound of Formula 4 or Formula 5, which reacts with the compound of Formula 3, has a photocuring group and an aromatic group conjugated with the photocuring group so that an intermolecular reaction may be caused by light, and a lower energy may be easily irradiated. Photocuring may occur. In the compound of Formula 4 or Formula 5, as the photocuring group and the conjugated aromatic group increase, there is an advantage that the energy of the wavelength required for the photoreaction may be lowered. This can minimize the destruction of the organic insulator polymer and the degradation of properties due to UV used in photocuring. As the compound of Formula 4, 3-biphenyl-4-yl-acryloyl chloride is typically represented, and as the compound of Formula 5, 3- 3-naphthalen-1-yl-acyloyl chloride is mentioned. 3-biphenyl-4-yl-acryloyl chloride and 3-naphthalen-1-yl-acryloyl chloride (3-naphthalen-1-yl-acyloyl chloride ) Increases the length of conjugated bonds than cinnamoyl chloride, allowing photoreaction at lower energy.

또한 본 발명은 상기 화학식 1 또는 화학식 2의 폴리비닐계 유기고분자 사용하여 용액공정을 통해 유기절연막을 제조하는 방법 및 상기 유기절연막을 포함하는 유기 박막트랜지스터를 제공한다.In another aspect, the present invention provides a method for producing an organic insulating film through a solution process using the polyvinyl-based organic polymer of Formula 1 or Formula 2 and an organic thin film transistor comprising the organic insulating film.

본 발명에 따른 유기박막트랜지스터는 상기 화학식 1 또는 화학식 2의 광반응기가 도입된 폴리비닐계 유기고분자를 함유하는 코팅액을 게이트 전극이 형성된 기판 상에 도포한 후 광경화하여 형성된 유기절연막을 포함한다.The organic thin film transistor according to the present invention includes an organic insulating film formed by applying a coating liquid containing a polyvinyl-based organic polymer into which the photoreactor of Formula 1 or Formula 2 is introduced onto a substrate on which a gate electrode is formed and then photocuring the same.

도 3에서는 본 발명의 하나의 구현 예에 따른 하 게이트 (bottom gate) 상 접촉 (top-contact) 유기박막트랜지스터의 구조를 나타낸다. 도 3을 참조하면, 유리 또는 플라스틱 등의 기판(1) 위에 게이트 전극(2), 유기절연막(3), 유기반도체층(4), 소스 전극(5), 드레인 전극(6)이 형성되어 있으며, 도시되지는 않았으나 소 스 전극 및 드레인 전극상에 보호층을 더 형성할 수 있다. 3 illustrates a structure of a bottom gate top-contact organic thin film transistor according to one embodiment of the present invention. Referring to FIG. 3, a gate electrode 2, an organic insulating film 3, an organic semiconductor layer 4, a source electrode 5, and a drain electrode 6 are formed on a substrate 1 made of glass or plastic. Although not shown, a protective layer may be further formed on the source electrode and the drain electrode.

유기절연막을 형성하기 위한 코팅액은 점도 조절을 용이하게 하고 폴리비닐계 유기고분자에 대한 용해성이 우수한 용매를 포함할 수 있으며, 적절한 용매로는 클로로포름, 톨루엔, 씨클로헥산, 디클로로벤젠 등을 예로 들 수 있다. 상기 도포는 스핀코팅, 잉크젯 프린팅, 롤코팅, 스크린 프린팅, 및 딥핑으로부터 선택되는 하나 이상의 방법으로 수행될 수 있다.The coating liquid for forming the organic insulating film may include a solvent that facilitates viscosity control and has excellent solubility in polyvinyl organic polymers. Examples of suitable solvents include chloroform, toluene, cyclohexane, dichlorobenzene, and the like. . The application can be performed by one or more methods selected from spin coating, ink jet printing, roll coating, screen printing, and dipping.

도 1은 본 발명에 따른 폴리비닐계 유기고분자의 광중합에 의한 경화 메카니즘을 도시한 것으로 화학식 1 또는 화학식 2로 표시되는 폴리비닐계 유기고분자의 광경화 작용기인 아크릴로일기 사이의 반응에 의해 경화되는 것을 나타낸다.1 illustrates a curing mechanism by photopolymerization of a polyvinyl organic polymer according to the present invention and is cured by a reaction between acryloyl groups, which are photocuring functional groups of a polyvinyl organic polymer represented by Formula 1 or Formula 2 Indicates.

본 발명에서 광경화는 UV 조사 후 120℃ 내지 150℃의 열처리를 통하여 이루어진다. 광경화 과정이 없는 경우에는 200℃이상의 열처리가 요구되는 것에 비하여 현저히 낮은 온도에서 공정이 가능하다. 상기 UV조사 에너지는 500mJ 내지 2000mJ 범위에서 수행되는 것이 경화성 및 물성 유지 측면에서 더욱 바람직하다.Photocuring in the present invention is carried out through a heat treatment of 120 ℃ to 150 ℃ after UV irradiation. If there is no photocuring process, the process can be performed at a significantly lower temperature than heat treatment of 200 ° C or more is required. The UV irradiation energy is more preferably performed in the range of 500mJ to 2000mJ in terms of curing properties and physical properties.

본 발명에서 유기절연막은 두께가 30 nm 내지 1000 nm 범위로 조절할 수 있으며, 상기 범위 내에서 조절하는 것이 유기절연막의 절연성과 최종 유기박막트랜지스터의 저전압 구동 측면에서 더욱 유리하다.In the present invention, the thickness of the organic insulating film can be adjusted in the range of 30 nm to 1000 nm, it is more advantageous to control within the above range in terms of insulation of the organic insulating film and low voltage driving of the final organic thin film transistor.

본 발명에서 유기 반도체층은 펜타센, 금속 프탈로시아닌, 폴리티오펜 또는 페닐렌비닐렌, C60, 페닐렌테트라카르복실산2무수물(phenylenetetracarboxylic dianydride), 나프탈렌테투라카르복실산2무수물(naphthalenetetracarboxylic dianydride), 플루오르화 프탈로시아닌 (fluorophthalocyanine) 및 이들의 유도체로 부터 선택되는 1종 이상으로 이루어진다.In the present invention, the organic semiconductor layer is pentacene, metal phthalocyanine, polythiophene or phenylenevinylene, C 60 , phenylenetetracarboxylic dianydride, naphthalenetetracarboxylic dianydride, and naphthalenetetracarboxylic dianydride. , At least one selected from fluorinated phthalocyanine and derivatives thereof.

본 발명에 따른 유기박막 트랜지스터는 전계이동도가 0.01 ~ 10cm2/Vs의 범위에 있으며, 상기 범위는 통상적인 유기박막 트랜지스터의 전계이동도 값의 범위로서 유기박막 트랜지스터로서 적합한 성능을 가지는 것을 의미한다.The organic thin film transistor according to the present invention has a field mobility of 0.01 to 10 cm 2 / Vs, which means that the organic thin film transistor has suitable performance as an organic thin film transistor as a range of field mobility values of a conventional organic thin film transistor. .

또한 본 발명은 본 발명에 따른 유기박막 트랜지스터를 이용한 표시소자를 제공하며, 상기 표시소자는 유기발광디스플레이, 전자종이 또는 액정디스플레이 등을 들 수 있다.In addition, the present invention provides a display device using the organic thin film transistor according to the present invention, the display device may be an organic light emitting display, an electronic paper or a liquid crystal display.

본 발명에 따른 광경화기가 도입된 폴리비닐계 유기고분자는 유기절연막으로 이용 시 120~150 ℃ 정도의 저온에서 박막제조 공정이 가능하기 때문에 유연한 플라스틱 기판에 소자를 구현하는 데 전혀 문제가 없다. 또한 광반응기를 도입하여 폴리비닐알코올 또는 폴리비닐페놀에 존재하는 하이드록시 그룹을 제거함으로서 최종적으로 소자에 응용 시 히스테리시스 등의 문제를 해결하고 소자 신뢰성 향상을 기대 할 수 있다. 또한 유기절연막 상에 용액공정을 통한 유기반도체층 및 기타 공정 시 유기용매에 전혀 손상을 받지 않는 우수한 내화학성을 광경화를 통하여 달성함으로써 실제 어레이 소자의 제작에 응용에 있어서 문제점을 해결할 수 있다.The polyvinyl-based organic polymer incorporating the photocuring agent according to the present invention has no problem in implementing a device on a flexible plastic substrate since the thin film manufacturing process is possible at a low temperature of about 120 to 150 ° C. when the organic curing film is used. In addition, by removing the hydroxy group present in the polyvinyl alcohol or polyvinylphenol by introducing a photoreactor, it can be expected to solve the problems such as hysteresis and finally improve the device reliability when applied to the device. In addition, the organic semiconductor layer through the solution process on the organic insulating film and other chemicals that are not damaged by the organic solvent at the time of the other process achieved by photocuring can solve the problem in the application in the actual array device fabrication.

따라서 본 발명의 신규 광경화가 가능한 유기절연체의 경우 실제 차세대 플 렉시블 디스플레이 및 센서 등에 구동스위치로 응용이 가능한 유기박막트랜지스터에 사용이 가능하며 기존의 유기절연체와 비교하여 공정온도, 내화학성, 전기적 특성등에서 우수한 특성을 발현한다.Therefore, the novel photocurable organic insulator of the present invention can be used in organic thin film transistors that can be applied as driving switches to flexible next generation flexible displays and sensors, and can be used in process temperature, chemical resistance, and electrical characteristics compared to conventional organic insulators. And excellent properties.

아래에 실시예를 통하여 본 발명을 더 구체적으로 설명한다. 단, 하기 실시예는 본 발명의 예시에 불과한 것으로서 본 발명의 특허 청구 범위가 이에 따라 한정되는 것은 아니다.The present invention will be described in more detail with reference to the following Examples. However, the following examples are merely examples of the present invention, and the claims of the present invention are not limited thereto.

[제조예 1] 3-나프탈렌-1-일-아크릴로일 클로라이드(3-naphthalen-1-yl-acyloyl chloride)의 제조Preparation Example 1 Preparation of 3-naphthalen-1-yl-acryloyl chloride (3-naphthalen-1-yl-acyloyl chloride)

Figure 112008076433421-pat00007
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500 mL 둥근바닥 플라스크에 3-나프탈렌-1-일-아크릴산 2g 을 넣고 200 mL MC에 용해 시킨 후 옥살릴 디클로라이드(oxalyl dichloride) 2mL를 첨가하여 교한하였다. 다음 DMF(N,N-dimethylformamide)를 촉매량 첨가하고 상온에서 2시간 교반하였다. 최종적으로 반응 혼합물을 감압농축하여 휘발성 물질을 제거하고 최종적으로 노란색의 고체 화합물을 얻었다. 2 g of 3-naphthalen-1-yl-acrylic acid was added to a 500 mL round bottom flask, dissolved in 200 mL MC, and 2 mL of oxalyl dichloride was added thereto. Next, the catalytic amount of DMF (N, N-dimethylformamide) was added, followed by stirring at room temperature for 2 hours. Finally, the reaction mixture was concentrated under reduced pressure to remove volatiles, thereby obtaining a yellow solid compound.

[제조예 2] 3-바이페닐-4-일-아크릴로일 클로라이드(3-biphenyl-4-yl-acyloyl chloride)의 제조Preparation Example 2 Preparation of 3-biphenyl-4-yl-acryloyl chloride

Figure 112008076433421-pat00008
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500 mL의 둥근바닥 플라스크에 3-바이페닐-4-일-아크릴산 2g 을 넣고 200 mL MC에 용해시킨 후 옥살릴 디클로라이드(oxalyl dichloride) 2 mL를 첨가하여 교반하였다. 이어 DMF(N,N-dimethylformamide)를 촉매량 넣고 상온에서 2시간 교반하였다. 반응 혼합물을 감압농축하여 휘발성 물질을 제거하고 최종적으로 노란색의 최종 화합물을 얻었다. 2 g of 3-biphenyl-4-yl-acrylic acid was added to a 500 mL round bottom flask, dissolved in 200 mL MC, and 2 mL of oxalyl dichloride was added and stirred. Subsequently, DMF (N, N-dimethylformamide) was added in a catalytic amount and stirred at room temperature for 2 hours. The reaction mixture was concentrated under reduced pressure to remove volatiles and finally to a yellow final compound.

[실시예 1] 3-나프탈렌-1-일-아크릴로일 클로라이드가 치환된 폴리비닐페놀 (NAP-PVP)의 제조 Example 1 Preparation of Polyvinylphenol (NAP-PVP) Substituted with 3-Naphthalen-1-yl-acryloyl Chloride

Figure 112008076433421-pat00009
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250 mL 둥근바닥 플라스크에 폴리비닐페놀(수평균 분자량 20K) 5.0g (40 mmol)과 제조예 1의 3-나프탈렌-1-일-아크릴로일 클로라이드 10.40g (48 mmol)을 첨가하고 에틸아세테이트 용매 100 mL를 주입하였다. 염기로서 트리에틸아민을 6.56 mL (40 mmol)을 첨가하였으며 광반응 억제 촉매로서 하이드로퀴논을 0.4 mg (0.04 mmol)을 첨가한 후 상온에서 12시간 동안 반응을 진행하였다. 반응이 완결된 후 용매를 감압증류해서 최소화 시키고 반응혼합물을 메탄올에 천천히 적가하여 최종화합물을 흰색의 고체 상태로 침전 시킨 후 건조하였다.To a 250 mL round bottom flask, 5.0 g (40 mmol) of polyvinylphenol (number average molecular weight 20K) and 10.40 g (48 mmol) of 3-naphthalen-1-yl-acryloyl chloride of Preparation Example 1 were added, followed by ethyl acetate solvent. 100 mL was injected. 6.56 mL (40 mmol) of triethylamine was added as a base, and 0.4 mg (0.04 mmol) of hydroquinone was added as a photoreaction inhibiting catalyst, followed by reaction at room temperature for 12 hours. After completion of the reaction, the solvent was distilled under reduced pressure to minimize the reaction mixture. The reaction mixture was slowly added dropwise to methanol to precipitate the final compound as a white solid, followed by drying.

1H-NMR (δ, DMSO-d 6 ) 7.86-6.99 ppm (broad m, Aromatic 11H, vinyl 1H), 6.42 ppm (broad d, vinyl 1H, 3.22 1.39 (broad m, -CH2 and -CH). 1 H-NMR (δ, DMSO- d 6 ) 7.86-6.99 ppm (broad m, Aromatic 11H, vinyl 1H), 6.42 ppm (broad d, vinyl 1H, 3.22 1.39 (broad m, -CH 2 and -CH).

[실시예 2] 3-바이페닐-4-일-아크릴로일 클로라이드가 치환된 폴리비닐페놀 (BIP-PVP)의 제조Example 2 Preparation of Polyvinylphenol (BIP-PVP) Substituted with 3-Biphenyl-4-yl-Acryloyl Chloride

Figure 112008076433421-pat00010
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제조예 1의 3-나프탈렌-1-일-아크릴로일 클로라이드 10.40g (48 mmol) 대신에 제조예 2의 3-바이페닐-4-일-아크릴로일 클로라이드 11.65g (48 mmol)를 사용하는 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 진행하여 3-바이페닐-4-일-아크릴로일 클로라이드가 치환된 폴리비닐페놀(BIP-PVP)을 제조하였다.Instead of 10.40 g (48 mmol) of 3-naphthalen-1-yl-acryloyl chloride of Preparation Example 1, using 11.65 g (48 mmol) of 3-biphenyl-4-yl-acryloyl chloride of Preparation Example 2 A polyvinylphenol (BIP-PVP) substituted with 3-biphenyl-4-yl-acryloyl chloride was prepared in the same manner as in Example 1 except that.

1H-NMR (δ, DMSO-d 6 ) 7.75-6.99 ppm (broad m, Aromatic 13H, vinyl 1H), 6.39 ppm (broad d, vinyl 1H, 3.12 1.29 (broad m, -CH2 and -CH). 1 H-NMR (δ, DMSO- d 6 ) 7.75-6.99 ppm (broad m, Aromatic 13H, vinyl 1H), 6.39 ppm (broad d, vinyl 1H, 3.12 1.29 (broad m, -CH 2 and -CH).

유기절연막의 제조Manufacture of organic insulating film

상기의 실시예 1과 2에서 제조된 광경화기가 도입된 폴리비닐페놀 고분자를 클로로포름과 같은 유기용매에 녹여서 스핀코팅 방법을 통하여 박막을 형성하고 254 nm 이하의 UV를 2.5% 이하로 차단시켜서 광분해 반응을 최소화 할수 있는 Melles Griot 사의 UG11 필터를 이용하여 UV 노광을 실시하여 광중합에 의한 광경화 반응을 진행하였다. 실시예 3 및 4에 각각의 고분자들의 광경화 과정을 나타내 었다.The polyvinylphenol polymer having the photocuring group prepared in Examples 1 and 2 was dissolved in an organic solvent such as chloroform to form a thin film by spin coating, and the photolysis reaction was performed by blocking UV of 254 nm or less to 2.5% or less. UV curing was performed using Melles Griot's UG11 filter to minimize photocuring reaction by photopolymerization. Examples 3 and 4 show the photocuring process of the respective polymers.

[실시예 3] 3-나프탈렌-1-일-아크릴로일 클로라이드가 치환된 폴리비닐페놀(NAP-PVP) 박막의 제조 및 광경화Example 3 Preparation and Photocuring of Polyvinylphenol (NAP-PVP) Thin Film Substituted with 3-Naphthalen-1-yl-acryloyl Chloride

Figure 112008076433421-pat00011
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실시예 1에서 제조한 고분자(NAP-PVP)를 클로로포름 용매에 6wt% 농도로 용해시킨 용액을 이용하여 3000rpm 정도의 속도로 스핀코팅 방법을 통하여 유기절연체 박막을 제조하였다. 제조 박막은 두께를 300 nm로 조절하였으며 제조된 박막은 여분의 용매를 제거하기 위해 소프트 베이킹(90 ℃, 10 분)을 실시하였다. 박막의 광경화를 위하여 500 mJ~ 1000mJ(평균 750mJ)의 UV를 조사하였으며 UV조사 후 최종적으로 120 ℃에서 30분 동안 하드 베이킹을 통해서 최종적로 광경화가 진행된 유기절연체 박막을 제조하였다. The organic insulator thin film was prepared by spin coating at a speed of about 3000 rpm using a solution obtained by dissolving the polymer (NAP-PVP) prepared in Example 1 in a chloroform solvent at a concentration of 6 wt%. The prepared thin film was adjusted to 300 nm in thickness and the prepared thin film was subjected to soft baking (90 ° C., 10 minutes) to remove excess solvent. UV light of 500 mJ ~ 1000mJ (average 750mJ) was irradiated for photocuring the thin film, and finally, the organic insulator thin film was finally prepared by hard baking at 120 ° C. for 30 minutes.

[실시예 4] 3-바이페닐-4-일-아크릴로일 클로라이드가 치환된 폴리비닐페놀 (BIP- PVP) 박막의 제조 및 광경화Example 4 Preparation and Photocuring of Polyvinylphenol (BIP-PVP) Thin Film Substituted with 3-Biphenyl-4-yl-Acryloyl Chloride

Figure 112008076433421-pat00012
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실시예 1에서 제조한 고분자(NAP-PVP) 대신에 실시예 2에서 제조한 고분자(BIP-PVP)를 사용하는 것을 제외하고는 실시예 3과 동일한 방법으로 진행하여 유기절연체 박막을 제조하였다. An organic insulator thin film was manufactured in the same manner as in Example 3, except that the polymer (BIP-PVP) prepared in Example 2 was used instead of the polymer (NAP-PVP) prepared in Example 1.

[비교예 1] 폴리비닐페놀(PVP) 박막의 제조Comparative Example 1 Preparation of Polyvinylphenol (PVP) Thin Film

기존에 유기절연체로 많이 이용된 폴리비닐페놀을 이용하여 유기절연체 박막을 제작하였다. 수평균 분자량 20,000 정도의 폴리비닐페놀을 PGMEA(propylene glycol monomethyl ether acetate) 용매에 10wt%로 용해시키고 가교제(cross-linking agent)인 폴리(멜라민-co-포름알데하이드)메틸레이티드((poly(melamine-co-formaldehyde) methylated)를 폴리비닐페놀 대비 5:1 의 비율(중량비)로 첨가하여 용액을 제조하였다. 준비된 용액을 3000 rpm 속도로 스핀코팅을 통하여 300 nm의 두께로 박막을 제조하였다. 일반적인 공정조건인 200 ℃에서 경화시킨 박막과 본 발명에서 제안된 광경화기가 도입된 고분자 박막과의 비교를 위하여 120 ℃에서 경화시킨 박막을 제조하여 실시예 3 및 실시예 4의 박막과 특성을 비교 분석하였다.An organic insulator thin film was fabricated using polyvinylphenol, which is widely used as an organic insulator. Polyvinylphenol having a number average molecular weight of about 20,000 was dissolved in PGMEA (propylene glycol monomethyl ether acetate) solvent at 10wt% and a cross-linking agent, poly (melamine-co-formaldehyde) methylated ((poly (melamine -co-formaldehyde) methylated) was added in a ratio of 5 to 1 by weight of polyvinylphenol (weight ratio) to prepare a solution A thin film was prepared to a thickness of 300 nm by spin coating at 3000 rpm. In order to compare the thin film cured at 200 ° C. with the polymer thin film to which the photocuring machine proposed in the present invention was introduced, the thin film cured at 120 ° C. was compared and analyzed with the thin films of Examples 3 and 4. It was.

제조된 유기절연체 박막의 특성 평가Characterization of Fabricated Organic Insulator Thin Films

광경화기가 도입된 폴리비닐페놀 고분자 중에서 실시예 3에서 제조된 3-나프탈렌-1-일-아크릴로일 클로라이드(3-Naphthalene-1-yl-acryloyl chloride;NAP)가 치환된 폴리비닐페놀(NAP-PVP) 박막의 광경화 전후의 유기절연체 박막의 표면특성을 조사하였다. 우선 유기박막트랜지스터로 사용되어지는 유기절연체 박막에서 중요한 특성인 표면에너지를 수접촉각 측정방법을 통하여 분석하였다. 도 2에서 보는 바와 마찬가지로 유기절연체 박막을 형성한 후 UV 조사를 통하여 광경화 반응 전 후의 수접촉각은 78.4o 및 75.0o 로서 큰 차이점은 없었다. 수접촉각 및 디아이오도메탄(diiodo methane)의 접촉각과 함께 계산된 박막의 표면에너지는 광경화 전후 각각 48.7 mN/m 및 49.7 mN/m 로서 UV 조사를 통한 유기절연체 박막의 표면에너지는 유사한 값을 나타내었다. 이는 폴리비닐페놀의 하이드록시 그룹이 광경화 반응 전에도 3-나프탈렌-1-일-아크릴로일 클로라이드(NAP)와 반응을 하여 고분자 내에 존재하지 않음을 나타내며 이는 최종 유기박막트랜지스터 특성에서 누설 전류 및 히스테리시스의 개선효과를 기대할 수 있다.Polyvinylphenol (NAP) substituted with 3-naphthalene-1-yl-acryloyl chloride (NAP) prepared in Example 3 among polyvinylphenol polymers having photocuring groups introduced therein The surface characteristics of the organic insulator thin film before and after photocuring were investigated. First, the surface energy, an important characteristic of organic insulator thin film used as organic thin film transistor, was analyzed by the water contact angle measurement method. As shown in FIG. 2, the water contact angles before and after the photocuring reaction through UV irradiation after forming the organic insulator thin film were 78.4 ° and 75.0 ° , and there was no significant difference. The surface energy of the thin film calculated with the water contact angle and the contact angle of diodomethane was 48.7 mN / m and 49.7 mN / m, respectively, before and after photocuring. The surface energy of the organic insulator thin film through UV irradiation showed similar values. It was. This indicates that the hydroxyl group of the polyvinylphenol does not exist in the polymer by reacting with 3-naphthalen-1-yl-acryloyl chloride (NAP) even before the photocuring reaction, which indicates leakage current and hysteresis in the final organic thin film transistor characteristics. The improvement effect can be expected.

용액공정을 통한 유기박막트랜지스터 제조에서 중요한 유기절연체 박막의 내 화학성을 일반적인 유기용매 (cyclohexanone, chloroform 및 N,N-dimethylformamide: NMP)에 박막을 딥핑한 후 박막의 표면 거칠기를 측정하여 평가하였다. 사이클로헥사논(Cyclohexanone), 클로로포름(chloroform) 및 NMP 용매의 경우에는 경화 전의 3-나프탈렌-1-일-아크릴로일 클로라이드(NAP)가 도입된 폴리비닐페놀(NAP-PVP)의 경우 완전히 박막이 용매에 다시 용해가 되었으며 UV 조사를 통하여 광경화 시킨 박막의 경우에는 세 가지 유기용매에 전혀 표면의 손상을 입지 않았다. 원자현미경 (Atomic force microscopy: AFM) 분석 결과 유기용매 처리 후에도 표면거칠기 특성인 RMS 값이 0.5 nm 이하의 우수한 특성을 보였다. 또한 비교예 1에서 제조된 기존의 광경화기가 도입되지 않은 폴리비닐페놀 (PVP) 고분자를 이용한 유기절연체 박막의 경우에는 경화온도가 120 ℃일 경우에는 상기 세 가지 용매에 모두 박막이 손상을 입었으며 200 ℃에서 경화 시킨 폴리비닐알코올 박막의 경우에서 NMP 용매에 처리 후에는 RMS 값이 10 nm 이상으로 박막 표면 손상이 일어나는 것을 확인하였다. 본 발명에서 광경화기가 도입된 폴리비닐페 (NAP-PVP)의 경우에는 낮은 공정온도 120 ℃에서 광중합을 통한 경화 반응을 통하여 기존에 유기절연체로 많이 이용되어졌던 폴리비닐페놀 보다 일반적인 유기용매에 더 우수한 내화학성을 가지는 장점을 보였다.Chemical resistance of the organic insulator thin film, which is important in the manufacture of organic thin film transistor through solution process, was evaluated by dipping the thin film in general organic solvents (cyclohexanone, chloroform and N, N-dimethylformamide: NMP) and measuring the surface roughness of the thin film. In the case of cyclohexanone, chloroform and NMP solvent, polyvinylphenol (NAP-PVP) in which 3-naphthalen-1-yl-acryloyl chloride (NAP) was introduced before curing was completely removed. In the case of the thin film which was dissolved in the solvent again and photocured by UV irradiation, the three organic solvents were not damaged at all. Atomic force microscopy (AFM) analysis showed that the RMS value, which is the surface roughness, was excellent even after treatment with organic solvent. In addition, in the case of the organic insulator thin film using the polyvinylphenol (PVP) polymer which does not have the conventional photocuring group prepared in Comparative Example 1, when the curing temperature is 120 ℃, all three solvents were damaged. In the case of the polyvinyl alcohol thin film cured at 200 ℃, after the treatment in the NMP solvent it was confirmed that the surface damage of the thin film occurs with an RMS value of 10 nm or more. In the present invention, the polyvinyl phenylene (NAP-PVP) in which the photocuring group is introduced is used in a general organic solvent than polyvinyl phenol, which has been widely used as an organic insulator, through a curing reaction through photopolymerization at a low process temperature of 120 ° C. It showed the advantage of having excellent chemical resistance.

유기박막 트랜지스터의 제작 및 특성평가Fabrication and Characterization of Organic Thin Film Transistors

본 발명의 광경화기가 도입된 폴리비닐알코올 유기절연체 박막을 이용하여 유기 박막 트랜지스터를 제작하고 그 특성을 측정하였다. 유기반도체로는 유기 박 막 트랜지스터에서 가장 널리 사용되고 상대적으로 좋은 성능을 가지는 펜타센을 사용하였다. 기판은 본 발명에서 개발된 유기절연체의 경우 공정온도가 120 ℃ 이므로 유리와 폴리에테르설폰과 같은 플라스틱 기판을 사용하였다. 유기박막트랜지스터의 소자 구조는 상접촉(top-contact) 형식으로 소자 제작방법은 다음과 같다. 기판 청결도는 전자 소자를 제작할 때 가장 중요한 요소 중의 하나이므로 세제, 증류수, 아세톤 그리고 아이소프로필알코올를 이용하여 초음파 세척을 한 후 오븐에서 충분히 건조시킨 것을 사용하였고, 플라스틱 기판은 시판되는 것을 별도의 세척공정 없이 보호막만 탈리시킨 후 그대로 사용하였다. The organic thin film transistor was fabricated using the polyvinyl alcohol organic insulator thin film into which the photocuring machine of the present invention was introduced and its characteristics were measured. As an organic semiconductor, pentacene, which is widely used in organic thin film transistors and has a relatively good performance, was used. Since the substrate has a process temperature of 120 ° C. in the case of the organic insulator developed in the present invention, plastic substrates such as glass and polyether sulfone were used. The device structure of the organic thin film transistor is a top-contact type (device) manufacturing method is as follows. Substrate cleanliness is one of the most important factors in the manufacture of electronic devices, so ultrasonic cleaning with detergent, distilled water, acetone, and isopropyl alcohol was used, followed by drying sufficiently in an oven. Only the protective film was detached and used as it is.

잘 세척된 기판 위에 먼저 금을 새도우마스크를 이용하여 1x10-6 torr의 진공에서 열 진공 증착하여 2 mm 너비의 게이트 전극을 40 nm 두께로 형성하였다. 그 위에 본 발명의 광경화 가능한 폴리비닐페놀(NAP-PVP) 유기절연체를 300 nm 두께로 스핀코팅하고, 90 ℃에서 10분 간 건조한 후, UV 조사(1000 mJ)를 통하여 광경화를 진행하고 마지막으로 120 ℃의 온도에서 30분 동안 최종 건조를 하여 광경화된 폴리비닐알코올 유기절연체 박막을 얻었다. On the well cleaned substrate, gold was first thermally vacuum-deposited in a vacuum of 1 × 10 −6 torr using a shadow mask to form a 2 mm wide gate electrode having a thickness of 40 nm. The photocurable polyvinylphenol (NAP-PVP) organic insulator of the present invention is spin coated to a thickness of 300 nm, dried at 90 ° C. for 10 minutes, and then photocured through UV irradiation (1000 mJ). The final drying for 30 minutes at a temperature of 120 ℃ to obtain a photo-cured polyvinyl alcohol organic insulator thin film.

비교예로 광경화기가 도입되지 않은 기존의 폴리비닐페놀(PVP)을 본 발명에서 광경화기가 도입된 폴리비닐페놀(NAP-PVP) 공정온도와 동일하게 스핀코팅 후 박막을 90 ℃에서 10분, 120 ℃의 온도에서 30분 동안 처리하여 유기절연체 박막을 생성하였다. As a comparative example, the thin film was spin-coated at 90 ° C. for 10 minutes after the conventional polyvinylphenol (PVP) having no photocuring group was introduced in the present invention in the same manner as the polyvinylphenol (NAP-PVP) process temperature at which the photocuring group was introduced. 30 minutes of treatment at a temperature of 120 ℃ to produce an organic insulator thin film.

상기와 같이 제조된 유기절연체 박막들 위에 유기반도체인 펜타센을 1×10-6 torr의 진공에서 열진공 증착을 이용하여 50 nm 두께로 증착하였다. 이때 펜타센의 결정화에 큰 영향을 미치는 기판의 온도는 90 ℃로 일정하게 유지하였다. 마지막으로 금을 게이트 증착과 같은 방법으로 50 nm의 두께로 증착하여 소오스와 드레인 전극을 형성하였다. 하접촉(bottom-contact) 소자는 펜타센과 소오스, 드레인 전극의 형성 순서를 서로 바꿈으로써 제작하였다. 위와 같이 제작된 소자의 특성은 에질런트 테크날리지사의 E5272장비를 이용하여 게이트 전압에 따른 드레인 전압-드레인 전류 및 드레인 전압에 따른 게이트 전압-드레인 전류 곡선들을 측정하여 포화영역(saturation) 영역에서 다음의 전류, 전압식을 이용하여 제반 특성들을 평가하였다.Pentacene, an organic semiconductor, was deposited to a thickness of 50 nm on the organic insulator thin films prepared as described above using thermal vacuum deposition in a vacuum of 1 × 10 −6 torr. At this time, the temperature of the substrate having a great influence on the crystallization of pentacene was kept constant at 90 ℃. Finally, gold was deposited to a thickness of 50 nm in the same manner as gate deposition to form a source and a drain electrode. Bottom-contact devices were fabricated by changing the order of formation of pentacene, source, and drain electrodes. The characteristics of the device fabricated as described above were measured in the saturation region by measuring the drain voltage-drain current according to the gate voltage and the gate voltage-drain current curve according to the drain voltage by using the E5272 device of Agilent Technology. Various characteristics were evaluated using the current and voltage equations.

Figure 112008076433421-pat00013
Figure 112008076433421-pat00013

상기 식에서 V T 는 문턱전압, Vgs 는 인가된 게이트 전압, μ는 전계효과 전하이동도, W와 L은 채널의 너비와 길이, C는 절연막의 커패시턴스이다. 문턱전압은

Figure 112008076433421-pat00014
와 Vgs 의 그래프로부터 Ids 가 0인 게이트 전압으로 결정되고 전계효과 전하이동도는
Figure 112008076433421-pat00015
와 Vgs의 그래프의 기울기로부터 산출하였다.Where V T is the threshold voltage, V gs is the applied gate voltage, μ is the field effect charge mobility, W and L are the width and length of the channel, and C is the capacitance of the insulating film. Threshold voltage
Figure 112008076433421-pat00014
From the graphs of V gs and V gs , we determine the gate voltage with I ds 0 and the field effect charge mobility
Figure 112008076433421-pat00015
It was computed from the slope of the graph of and V gs .

도 4에서 기존의 폴리비닐페놀(PVP) 유기절연체를 120 ℃에서 경화시켜서 제작된 유기박막트랜지스터의 전류-전압 특성과 광경화기가 도입된 폴리비닐알코올을 광경화후 120 ℃로 처리된 유기절연체를 이용한 유기박막트랜지스터의 전류-전압 특성 치를 나타내었으며 도 5에서 본 발명에서 제안한 광경화기가 도입된 폴리비닐 페놀(NAP-PVP) 유기절연체 박막을 이용한 유기박막트랜지스터의 전류-전압 특성을 보여주고 있다. 기존 폴리비닐알코올의 경우 도 4에서와 같이 높은 누설전류 (10-7~10-8 A)를 보였으며 박막트랜지스터로의 동작을 거의 하지 못함을 확인하였다. 본 발명에서 제안된 광경화기가 도입된 폴리비닐페놀 (NAP-PVP)이 적용된 유기박막트랜지스터의 경우 누설전류치가 도 5에서 보는 바와 마찬가지로 4.8X10-12A으로 아주 낮은 값을 보였으며 스위칭 소자로서 중요한 특성은 점등전류비(Ion/Ioff)의 경우에도 2X10-5으로 기존 폴리비닐페놀 유기절연체가 적용된 소자에 비하여 우수한 특성을 보였다. 기타 구동전압의 경우 -14V, subthreshold slope (SS) 값의 경우에는 1.37 V/dec 로서 각각 기존의 폴리비닐페놀 유기절연체 박막을 적용한 소자의 -27V 와 7.87 V/dec의 값보다 우수한 특성을 발현하였다. 표 1에서 기존의 폴리비닐페놀 (PVP) 및 본 발명의 광경화기가 도입된 폴리비닐페놀 (NAP-PVP) 유기절연체 박막을 적용한 유기박막트랜지스터의 중요 특성을 정리하였다.In FIG. 4, polyvinyl alcohol having a current-voltage characteristic and a photocuring group introduced with an organic thin film transistor prepared by curing an existing polyvinylphenol (PVP) organic insulator at 120 ° C. was treated using an organic insulator treated at 120 ° C. after photocuring. The current-voltage characteristics of the organic thin film transistor are shown and FIG. 5 shows the current-voltage characteristics of the organic thin film transistor using the polyvinyl phenol (NAP-PVP) organic insulator thin film in which the photocuring group proposed in the present invention is introduced. The existing polyvinyl alcohol showed a high leakage current (10 -7 ~ 10 -8 A) as shown in Figure 4 and confirmed that almost no operation with a thin film transistor. In the case of the organic thin film transistor using polyvinylphenol (NAP-PVP) to which the photocuring group introduced in the present invention is applied, the leakage current value was very low as 4.8X10 -12 A as shown in FIG. In case of the lighting current ratio (I on / I off ), the characteristics were 2X10 -5 , which is superior to the device using the polyvinylphenol organic insulator. For other driving voltages, -14V and subthreshold slope (SS) values were 1.37 V / dec, which was better than -27V and 7.87 V / dec of the device using the polyvinylphenol organic insulator thin film. . Table 1 summarizes the important characteristics of the organic thin film transistor using the conventional polyvinylphenol (PVP) and the polyvinylphenol (NAP-PVP) organic insulator thin film in which the photocuring group of the present invention is introduced.

[표 1]TABLE 1

Figure 112008076433421-pat00016
Figure 112008076433421-pat00016

도 1은 본 발명에 따른 폴리비닐계 유기고분자의 광중합에 의한 경화 메카니즘을 나타낸 것이고,1 shows a curing mechanism by photopolymerization of a polyvinyl organic polymer according to the present invention,

도 2는 본 발명에 따른 폴리비닐계 유기고분자의 광경화 전후의 수접촉각 측정 그림이며,2 is a water contact angle measurement before and after photocuring of the polyvinyl-based organic polymer according to the present invention,

도 3은 본 발명의 하나의 구현 예에 따른 하 게이트 (bottom gate) 상 접촉 (top-contact) 유기박막트랜지스터의 구조를 나타낸 단면도이고,3 is a cross-sectional view illustrating a structure of a bottom-gate top-contact organic thin film transistor according to one embodiment of the present invention;

도 4는 기존 폴리비닐알코올 유기절연체의 120 ℃ 공정 후 유기박막트랜지스터 소자의 전류-전압 (I-V) 곡선이며,4 is a current-voltage (I-V) curve of an organic thin film transistor element after a 120 ° C. process of a conventional polyvinyl alcohol organic insulator.

도 5는 본 발명에 따른 신규 유기절연체의 광경화 및 120 ℃ 공정 후 유기박막트랜지스터 소자의 전류-전압 (I-V) 곡선이다.5 is a current-voltage (I-V) curve of the organic thin film transistor device after the photocuring and 120 ℃ process of the novel organic insulator according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1: 기판 2: 게이트 전극 3: 유기절연막1: substrate 2: gate electrode 3: organic insulating film

4: 유기반도체층 5: 소스 전극 6: 드레인 전극4: organic semiconductor layer 5: source electrode 6: drain electrode

Claims (12)

하기 화학식 1 또는 화학식 2로 표시되는 유기박막트랜지스터의 유기절연막용 폴리비닐계 유기고분자.Polyvinyl organic polymer for organic insulating film of the organic thin film transistor represented by the following formula (1) or (2). [화학식 1][Formula 1]
Figure 112008076433421-pat00017
Figure 112008076433421-pat00017
[화학식 2][Formula 2]
Figure 112008076433421-pat00018
Figure 112008076433421-pat00018
[상기 화학식 1 내지 화학식 2에서 A1 및 A2는 독립적으로 화학결합이거나 페닐렌이고, a 및 b는 독립적으로 1 내지 10의 정수이며, n 및 m은 독립적으로 10 내지 2000의 자연수이고, R11 내지 R19 및 R21 내지 R27은 독립적으로 수소(H), (C1~C10)알킬, 시아노 또는 할로겐으로부터 선택된다.][In Formula 1 to Formula 2, A 1 and A 2 are independently a chemical bond or phenylene, a and b are independently an integer of 1 to 10, n and m are independently a natural number of 10 to 2000, R 11 to R 19 and R 21 to R 27 are independently selected from hydrogen (H), (C 1 -C 10) alkyl, cyano or halogen.]
제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 폴리비닐계 유기고분자는 질량평균 분자량이 5000 내지 1,000,000 g/mol의 범위인 폴리비닐계 유기고분자.The polyvinyl-based organic polymer represented by Formula 1 and Formula 2 has a polyvinyl-based organic polymer having a mass average molecular weight in the range of 5000 to 1,000,000 g / mol. 하기 화학식 3의 히드록시기를 갖는 고분자로부터 하기 화학식 4 또는 화학식 5의 아크릴로일계 할라이드를 반응시켜 제 1항에 따른 화학식 1 또는 화학식 2의 폴리비닐계 유기고분자를 제조하는 방법.A method of preparing a polyvinyl-based organic polymer of Formula 1 or 2 according to claim 1 by reacting acryloyl halide of Formula 4 or Formula 5 from a polymer having a hydroxyl group of Formula 3 below. [화학식 3](3)
Figure 112008076433421-pat00019
Figure 112008076433421-pat00019
[화학식 4][Formula 4]
Figure 112008076433421-pat00020
Figure 112008076433421-pat00020
[화학식 5][Chemical Formula 5]
Figure 112008076433421-pat00021
Figure 112008076433421-pat00021
[상기 화학식 3에서 A는 화학결합이거나 페닐렌이고, k는 10 내지 2000의 자연수이고, 화학식 4 내지 화학식 5에서 X는 할로겐원소이고, a 및 b는 독립적으로 1 내지 10의 정수이며, R11 내지 R19 및 R21 내지 R27은 독립적으로 수소(H), (C1~C10)알킬, 시아노 또는 할로겐으로부터 선택된다.][In Formula 3, A is a chemical bond or phenylene, k is a natural number of 10 to 2000, X is a halogen element in Formulas 4 to 5, a and b are independently an integer of 1 to 10, R 11 To R 19 and R 21 to R 27 are independently selected from hydrogen (H), (C 1 -C 10) alkyl, cyano or halogen.]
유리 및 플라스틱 기판위에 게이트 전극, 유기절연막, 유기반도체층, 소스 전극, 드레인 전극을 포함하는 유기박막트랜지스터로서, 상기 유기절연막이 제 1 항에 따른 폴리비닐계 유기고분자를 함유하는 코팅액을 게이트 전극이 형성된 기판 상에 도포한 후 광경화하여 형성된 유기박막트랜지스터.An organic thin film transistor comprising a gate electrode, an organic insulating film, an organic semiconductor layer, a source electrode, and a drain electrode on a glass and plastic substrate, wherein the organic insulating film contains a coating liquid containing the polyvinyl organic polymer according to claim 1. An organic thin film transistor formed by coating on the formed substrate and photocuring. 제 4 항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 광경화는 UV 조사 후 120℃ 내지 150℃의 열처리를 통하여 이루어지는 유기박막트랜지스터.The photocuring is an organic thin film transistor made through a heat treatment of 120 ℃ to 150 ℃ after UV irradiation. 제 5 항에 있어서, The method of claim 5, 상기 UV 조사는 500mJ 내지 2000mJ 범위에서 수행되는 유기박막트랜지스터.The UV irradiation is an organic thin film transistor is performed in the range of 500mJ to 2000mJ. 제 4 항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 도포는 스핀코팅, 잉크젯 프린팅, 롤코팅, 스크린 프린팅, 및 딥핑으로부터 선택되는 하나 이상의 방법으로 수행되는 유기박막트랜지스터.Wherein said coating is performed by one or more methods selected from spin coating, ink jet printing, roll coating, screen printing, and dipping. 제 4 항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 유기절연막은 두께가 30 nm 내지 1000 nm 범위인 유기박막트랜지스터.The organic insulating film is an organic thin film transistor having a thickness of 30 nm to 1000 nm range. 제 4항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 유기 반도체층은 펜타센, 금속 프탈로시아닌, 폴리티오펜 또는 페닐렌비닐렌, C60, 페닐렌테트라카르복실산2무수물(phenylenetetracarboxylic dianydride), 나프탈렌테투라카르복실산2무수물(naphthalenetetracarboxylic dianydride), 플루오르화 프탈로시아닌 (fluorophthalocyanine) 및 이들의 유도체로 부터 선택되는 1종 이상으로 이루어지는 유기박막트랜지스터.The organic semiconductor layer is pentacene, metal phthalocyanine, polythiophene or phenylenevinylene, C 60 , phenylenetetracarboxylic dianydride, naphthalenetetracarboxylic dianydride, fluorine An organic thin film transistor comprising at least one member selected from fluorophthalocyanine and derivatives thereof. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 유기박막 트랜지스터는 전계이동도가 0.01 ~ 10cm2/Vs의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 유기박막 트랜지스터.The organic thin film transistor is an organic thin film transistor, characterized in that the field mobility is in the range of 0.01 ~ 10cm 2 / Vs. 제 4 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항의 유기박막트랜지스터를 구비하는 표시소자.A display device comprising the organic thin film transistor of any one of claims 4 to 10. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 표시소자는 유기발광디스플레이, 전자종이 또는 액정디스플레이로부터 선택되는 표시소자.The display device is selected from an organic light emitting display, an electronic paper or a liquid crystal display.
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