KR101000523B1 - a vision inspection apparatus with a intercept member - Google Patents

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Abstract

본 발명은 IR 조명을 측정대상물에 최대한 근접시켜 보다 선명한 영상을 획득할 수 있으며, 또한 가림막을 통해 IR 조명과 같은 투과 광학계에서 자주 발생되는 영상의 광 번짐 현상(획득되는 영상에서 측정대상물의 주변 경계(Edge)가 광의 침범으로 인해 허물어 지는 현상)을 방지할 수 있는 구조의 가림막이 구비된 비전검사 장치에 관한 것이다.The present invention can obtain a clearer image by bringing the IR illumination as close as possible to the measurement object, and also the light blurring phenomenon of the image frequently generated in the transmission optical system such as IR illumination through the screen (a peripheral boundary of the measurement object in the acquired image) (Edge) relates to a vision inspection device equipped with a shielding film of the structure that can prevent the phenomenon that collapses due to the invasion of light.

듀얼, 영상, 비전, 반도체, 웨이퍼, 적외선, IR, RGB, 조명 Dual, visual, vision, semiconductor, wafer, infrared, IR, RGB, lighting

Description

가림막을 구비한 비전검사 장치{a vision inspection apparatus with a intercept member}A vision inspection apparatus with a intercept member}

본 발명은 다수의 컨베이어밸트를 통해 연속 이동되는 측정대상물(반도체의 모듈IC 및 반도체 웨이퍼)의 외관불량을 검사하기 위해 컨베이어밸트에 의해 이송되는 측정대상물의 표면에 반사된 광을 통해 영상을 획득하는 제 1검사부와, 컨베이어밸트와 켄베이어밸트의 사이 공간에서 측정대상물을 투과한 광을 통해 영상을 획득하는 제 2검사부로 구성되는 비전검사 장치에 있어서, 상기 제 1검사부는 컨베이어밸트의 상부에 배치되는 RGB(Red, Green, Blue)조명과, 상기 RGB 조명의 상부에 배치되어 측정대상물에서 반사되는 광을 수광하여 영상을 획득하는 제 1영상획득부로 구성되고, 상기 제 2검사부는 컨베이어밸트와 컨베이어밸트의 사이 구간 상부에 배치되는 IR(Infrared Ray:적외선) 조명과, 컨베이어밸트와 컨베이어밸트 사이 구간 하부에 배치되는 제 2영상획득부를 포함하여 구성되되, 상기 제 2검사부는 컨베이어밸트와 컨베이어밸트의 사이로 측정대상물의 가장자리에 발생되는 광 번짐 현상를 방지하기 위해 가림막이 설치되는 것을 특징으로 하는 가림막이 구비된 비전검사 장치에 관한 것이다.The present invention is to obtain an image through the light reflected on the surface of the measurement object transported by the conveyor belt to inspect the appearance defects of the measurement object (module IC and semiconductor wafer of the semiconductor) continuously moving through a plurality of conveyor belt In the vision inspection device comprising a first inspection unit and a second inspection unit for obtaining an image through the light transmitted through the measurement object in the space between the conveyor belt and the Kenvey belt, the first inspection unit is disposed on the conveyor belt And a first image acquisition unit arranged on top of the RGB illumination and receiving light reflected from a measurement object to acquire an image, wherein the second inspection unit is a conveyor belt and a conveyor. IR (Infrared Ray) illumination disposed above the section between the belts, and a second beam disposed below the section between the conveyor belt and the conveyor belt. It is configured to include an acquisition unit, the second inspection unit relates to a vision inspection device equipped with a shielding film is installed between the conveyor belt and the conveyor belt to prevent the light bleeding phenomenon occurring on the edge of the measurement object. .

일반적으로, 반도체웨이퍼, PCB 및 반도체의 모듈IC 등과 같은 부품은 중요 부품으로서 그 제품의 신뢰도가 매우 중요하여 엄격한 품질 검사를 통해 제품으로 출하하게 된다.In general, components such as semiconductor wafers, PCBs, and module ICs of semiconductors are important parts, and the reliability of the products is very important, and thus they are shipped to the product through strict quality inspection.

이러한 반도체웨이퍼, PCB 및 및 카세트 상의 반도체 모듈IC는 비전검사 장치에 의해 검사하고, 검사 완료된 측정대상물은 검사 결과에 따라 양품과 불량으로 분류하는 과정을 거치게 된다.The semiconductor module ICs on the semiconductor wafers, PCBs, and cassettes are inspected by a vision inspection apparatus, and the inspected measurement objects are classified into good and defective according to the inspection results.

여기서 비전검사 장치는 측정대상물의 표면 영상을 카메라로 촬영하고 그 영상을 정상 상태의 영상과 비교하여 검사 대상의 불량 유무를 판별하는 장치이다.Here, the vision inspection device is a device for photographing a surface image of a measurement object with a camera and comparing the image with an image of a normal state to determine whether the inspection object is defective.

즉, 비전검사 장치의 제조공정을 거쳐 조립 생산된 측정대상물은 가격이 비싸므로 인해 제품의 신뢰도 또한 매우 중요하여 엄격한 품질검사를 통해 양품으로 판정된 제품만을 출하하고, 불량으로 판정된 측정대상물은 수정 또는 전량 폐기 처분하는 것이다.In other words, the measurement object produced through the manufacturing process of the vision inspection device is expensive, so the reliability of the product is also very important, so only the product determined to be good is shipped through strict quality inspection, and the measurement object determined to be defective is corrected. Or discard the whole thing.

이 때 비전검사 장치는 측정대상물의 외관(표면)불량을 판독하기 위해서 측정대상물의 표면을 반사시켜 영상을 획득하는 공정과, 측정대상물을 투과시켜 영상을 획득하는 공정을 거치게 된다.In this case, the vision inspection apparatus undergoes a process of acquiring an image by reflecting the surface of the object to be measured and a process of obtaining an image by transmitting the object to be measured in order to read the appearance (surface) defect of the object.

이는 측정대상물에 표면에 반사시켜 획득되는 비쥬얼(Visual) 영상과, 측정대상물을 투과시켜 획득되는 IR(Infrared Ray:적외선) 영상을 비교 분석하여 정밀한 판독을 하게 되는 것이다. This is to perform a precise reading by comparing and analyzing a visual image obtained by reflecting a surface to a measurement object and an IR (Infrared Ray) image obtained by transmitting the measurement object.

이하에서는 측정대상물의 표면 영상을 획득하여 불량 유무를 판별하는 종래의 비전검사 장치에 대해서 간단히 설명하기로 한다.Hereinafter, a conventional vision inspection apparatus for acquiring a surface image of a measurement object and determining whether there is a defect will be briefly described.

도 2a는 종래의 비전검사 장치의 구성도이고, 도 2b는 도 2a의 작동도이고, 도 2c는 도 2a에서 발췌되는 제 2검사부의 측면확대에 따른 적외선의 진직도를 나타낸 개념도, 도 2d는 도 2a에 따른 제 2영상획득부에서 획득된 영상을 나타내는 사진이다.Figure 2a is a schematic diagram of a conventional vision inspection apparatus, Figure 2b is a view of the operation of Figure 2a, Figure 2c is a conceptual diagram showing the straightness of the infrared ray according to the side enlargement of the second inspection section extracted in Figure 2a, Figure 2d A picture showing an image acquired by the second image acquisition unit according to FIG. 2A.

도 2a에 도시된 바와 같이, 종래의 비전검사 장치(9)는 크게 부분으로 구성되는데, 이는 컨베이어밸트(5)에 의해 이송되는 측정대상물(7)의 표면에 반사된 광을 통해 영상을 획득하는 제 1검사부(1)와, 컨베이어밸트(5)와 켄베이어밸트(5)의 사이 공간에서 측정대상물(7)을 투과한 광을 통해 영상을 획득하는 제 2검사부(3)로 구성된다.As shown in FIG. 2A, the conventional vision inspection apparatus 9 is largely composed of parts, which acquire an image through light reflected on the surface of the measurement object 7 transported by the conveyor belt 5. The first inspection unit 1 and the second inspection unit 3 which acquires an image through the light transmitted through the measurement object 7 in the space between the conveyor belt 5 and the Kenvey belt 5.

여기서 제 1검사부(1)는 컨베이어밸트(5)의 상부에 배치되는 RGB(Red, Green, Blue)조명(1a)과, 상기 RGB 조명(1a)의 상부에 배치되어 측정대상물(7)에서 반사되는 광을 수광하여 영상을 획득하는 제 1영상획득부(1b)로 구성된다.Here, the first inspection unit 1 is disposed on the RGB (Red, Green, Blue) light 1a disposed on the conveyor belt 5 and reflected on the measurement object 7 by being disposed on the RGB illumination 1a. And a first image acquisition unit 1b for receiving the light to obtain an image.

그리고 제 2검사부(3)는 측정대상물(7)에 광을 투과시키기 위해 광 간섭이 없는 컨베이어밸트(5)와 컨베이어밸트(5)의 사이에 배치되는 구조이다.In addition, the second inspection unit 3 is a structure disposed between the conveyor belt 5 and the conveyor belt 5 having no optical interference in order to transmit light to the measurement object 7.

이러한 제 2검사부(3)는 컨베이어밸트(5)의 하부에 배치되는 IR(Infrared Ray:적외선) 조명(3a)과, 컨베이어밸트(5)의 상부에 배치되는 제 2영상획득부(3b)로 구성된다.The second inspection unit 3 includes IR (Infrared Ray) illumination 3a disposed under the conveyor belt 5 and a second image acquisition unit 3b disposed above the conveyor belt 5. It is composed.

즉 종래의 비전검사 장치(9)는 도 2b와 같이 컨베이어밸트(5)로 이송하는 측정대상물을 제 1검사부(1)를 통해 레드영상 또는 블루영상 또는 그린영상 또는 3색 RGB영상을 획득하고, 제 2검사부(3) 구간에서 적외선 영상을 획득하여 측정대상물(7)을 정밀하게 판독하여 불량유무를 분류하였다.That is, the conventional vision inspection apparatus 9 obtains a red image or a blue image or a green image or a three-color RGB image through the first inspection unit 1 to measure the object to be transferred to the conveyor belt 5 as shown in FIG. Infrared image was acquired in the section of the second inspection unit 3 to accurately read the measurement object 7 to classify the defect.

한편 IR 조명(3a)은 투과광학계로써 측정대상물(7)과 가까우면 가까울수록 제 2영상획득부(3b)를 통해 보다 선명한 영상을 획득할 수 있다.Meanwhile, the closer the IR illumination 3a is to the measurement object 7 as the transmission optical system, the clearer the image can be obtained through the second image acquisition unit 3b.

하지만 제 2검사부(3)의 IR 조명(3a)은 컨베이어밸트(5)의 하부에 배치되는 바, 컨베이어밸트(5)의 간섭으로 IR 조명(3a)을 측정대상부(7)에 가까이 할 수 없는 문제점이 있었다.However, the IR illumination 3a of the second inspection unit 3 is disposed under the conveyor belt 5, and the IR illumination 3a can be brought closer to the measurement target part 7 by the interference of the conveyor belt 5. There was no problem.

또한 제 2검사부(3)에서는 컨베이어밸트(5)와 컨베이어밸트(5) 사이의 간격이 너무 넓어서 측정대상물(7)이 반대쪽 컨베이어밸트(5)로 넘어갈때 균형이 맞는 않는 문제점이 발생된다.In addition, the second inspection unit 3 has a problem that the balance between the conveyor belt 5 and the conveyor belt 5 is too wide so that the measurement object 7 is unbalanced when it is transferred to the opposite conveyor belt 5.

또한 컨베이어밸트(5)와 컨베이어밸트(5) 사이의 간격이 넓어서 IR 조명(3a)을 통해 하부에서 조사되는 적외선이 도 2c와 같이, 측정대상물(7)의 엣지(Edge: 가장자리, 경계)를 타고 넘어가 제 2영상획득부(3b)로 영상을 획득하면 도 2d의 사진과 같이, 광 번짐 현상(획득되는 영상에서 측정대상물의 주변 경계(Edge)가 광의 침범으로 인해 허물어 지는 현상)이 나타나는 문제점이 있었다.In addition, since the distance between the conveyor belt 5 and the conveyor belt 5 is wide, the infrared rays irradiated from the bottom through the IR illumination 3a are used to adjust the edge of the measurement object 7 as shown in FIG. 2C. When the image is acquired by the second image acquisition unit 3b, the optical blurring phenomenon (a phenomenon in which the edge of the measurement object is collapsed due to the invasion of light in the acquired image) appears as shown in the photograph of FIG. 2D. There was this.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적 은, IR 조명이 측정대상물에 최대한 근접되도록 IR 조명을 컨베이어밸트 상부에 배치한 구조의 가림막이 구비된 비전검사 장치를 제공하는데 있다.The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a vision inspection device having a shielding film having a structure in which the IR illumination is arranged on the conveyor belt so that the IR illumination is as close as possible to the measurement object. have.

또한 본 발명의 목적은, IR 조명과 같은 투과 광학계에서 자주 발생되는 영상의 광 번짐 현상(획득되는 영상에서 측정대상물의 주변 경계(Edge)가 광의 침범으로 인해 허물어 지는 현상)을 방지할 수 있도록 컨베이어밸트와 컨베이어밸트 사이 구간에 가림막을 설치한 구조의 가림막이 구비된 비전검사 장치를 제공하는데 있다.In addition, an object of the present invention, the conveyor to prevent the light bleeding phenomenon of the image frequently generated in the transmission optical system such as IR illumination (the phenomenon that the peripheral edge of the measurement object in the acquired image is collapsed due to the invasion of light) It is to provide a vision inspection device provided with a screen of the structure installed a screen in the section between the belt and the conveyor belt.

더 나아가 본 발명의 목적은, 다수의 컨베이어밸트를 통해 연속 이동되는 측정대상물(반도체의 모듈IC 및 반도체 웨이퍼)의 외관불량을 검사하기 위해 컨베이어밸트에 의해 이송되는 측정대상물의 표면에 반사된 광을 통해 영상을 획득하는 제 1검사부와, 컨베이어밸트와 켄베이어밸트의 사이 공간에서 측정대상물을 투과한 광을 통해 영상을 획득하는 제 2검사부로 구성되는 비전검사 장치에 있어서,Furthermore, an object of the present invention is to reflect the light reflected on the surface of the measurement object transported by the conveyor belt to inspect the appearance defects of the measurement object (module IC and semiconductor wafer of the semiconductor) continuously moved through a plurality of conveyor belts. In the vision inspection device comprising a first inspection unit for obtaining an image through a second inspection unit for obtaining an image through the light transmitted through the measurement object in the space between the conveyor belt and the Kenvey belt,

상기 제 1검사부는 컨베이어밸트의 상부에 배치되는 RGB(Red, Green, Blue)조명과, 상기 RGB 조명의 상부에 배치되어 측정대상물에서 반사되는 광을 수광하여 영상을 획득하는 제 1영상획득부로 구성되고, 상기 제 2검사부는 컨베이어밸트와 컨베이어밸트의 사이 구간 상부에 배치되는 IR(Infrared Ray:적외선) 조명과, 컨베이어밸트와 컨베이어밸트 사이 구간 하부에 배치되는 제 2영상획득부를 포함하여 구성되되, 상기 제 2검사부는 컨베이어밸트와 컨베이어밸트의 사이로 측정대상물의 가장자리에 발생되는 광 번짐 현상를 방지하기 위해 가림막이 설치되는 것을 특징으로 하는 가림막이 구비된 비전검사 장치를 제공하는데 있다.The first inspection unit is composed of RGB (Red, Green, Blue) light disposed on the conveyor belt, and a first image acquisition unit that receives the light reflected from the measurement object disposed on the RGB light to acquire an image. The second inspection unit includes an IR (Infrared Ray (IR) illumination) disposed in the upper portion of the interval between the conveyor belt and the conveyor belt, and a second image acquisition unit disposed in the lower portion of the interval between the conveyor belt and the conveyor belt, The second inspection unit is to provide a vision inspection device equipped with a shielding film is installed between the conveyor belt and the conveyor belt to prevent the light bleeding phenomenon generated on the edge of the measurement object.

본 발명에 따른 가림막이 구비된 비전검사 장치에 따르면, 컨베이어밸트의 간섭이 없도록 IR 조명을 컨베이어밸트 상부에 배치하여 IR 조명을 측정대상물에 최대한 근접시켜 보다 선명한 영상을 획득할 수 있는 장점이 있다.According to the vision inspection device equipped with a screen according to the present invention, there is an advantage that can be obtained by placing the IR light on the conveyor belt so as to close the IR light as close as possible to the object to be measured so that there is no interference of the conveyor belt.

또한 컨베이어밸트와 컨베이어밸트 사이 구간에 가림막을 설치하여 IR 조명과 같은 투과 광학계에서 자주 발생되는 영상의 광 번짐 현상(획득되는 영상에서 측정대상물의 주변 경계(Edge)가 광의 침범으로 인해 허물어 지는 현상)을 방지할 수 있는 장점이 있다.In addition, by installing a screen in the section between the conveyor belt and the conveyor belt, the light blurring phenomenon of the image frequently generated by the transmission optical system such as IR illumination (in the acquired image, the edge of the measurement object is collapsed due to the light invasion) There is an advantage that can be prevented.

이하에서는 본 발명에 따른 가림막이 구비된 비전검사 장치에 관하여 첨부되어진 도면과 함께 더불어 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter will be described in detail with the accompanying drawings with respect to the vision inspection device equipped with a screen according to the present invention.

도 1a는 본 발명에 따른 가림막이 구비된 비전검사 장치의 구성도이다.Figure 1a is a block diagram of a vision inspection device equipped with a shielding film according to the present invention.

도 1a에 도시된 바와 같이, 본 발명은 다수의 컨베이어밸트를 통해 연속 이동되는 측정대상물(반도체의 모듈IC 및 반도체 웨이퍼)의 외관불량을 검사하기 위해 컨베이어밸트에 의해 이송되는 측정대상물의 표면에 반사된 광을 통해 영상을 획득하는 제 1검사부와, 컨베이어밸트와 켄베이어밸트의 사이 공간에서 측정대상물을 투과한 광을 통해 영상을 획득하는 제 2검사부로 구성되는 비전검사 장치에 관한 것으로, 보다 상세하는게 제 2검사부(20)의 IR 조명(21)을 측정대상물(50)에 최대한 근접시켜 보다 선명한 영상을 획득할 수 있으며, 또한 제 2검사부(20)의 가림막(30)을 통해 IR 조명(21)과 같은 투과 광학계에서 자주 발생되는 영상의 광 번짐 현상(획득되는 영상에서 측정대상물의 주변 경계(Edge)가 광의 침범으로 인해 허물어 지는 현상)을 방지할 수 있는 구조의 가림막이 구비된 비전검사 장치(100)에 관한 것이다.As shown in Figure 1a, the present invention is reflected on the surface of the measurement object transported by the conveyor belt to inspect the appearance defects of the measurement object (module IC and semiconductor wafer of the semiconductor) that is continuously moved through a plurality of conveyor belt And a second inspection unit configured to acquire an image through the light transmitted through the measurement object in a space between the conveyor belt and the Kenvey belt. By making the IR illumination 21 of the second inspection unit 20 as close to the measurement object 50 as possible, a clearer image can be obtained, and the IR illumination 21 through the screen 30 of the second inspection unit 20. It is possible to prevent the light blurring phenomenon (the edge of the measurement object collapsed due to the light invasion) of the image that is frequently generated in the transmission optical system such as). It relates to a vision inspection device 100 is provided in their screening structure.

이러한 가림막이 구비된 비전검사 장치(100)는 크게 2부분으로 구성되는데, 이는 RGB 조명(11)을 측정대상물(50)에 반사시켜 영상을 획득하는 제 1검사부(10)와, IR 조명(21)을 측정대상물(50)에 투과시켜 영상을 획득하는 제 2검사부(20)로 구성된다.The vision inspection apparatus 100 equipped with the screen is largely composed of two parts, which reflects the RGB illumination 11 to the measurement object 50 and acquires an image by the first inspection unit 10 and the IR illumination 21. ) And a second inspection unit 20 for transmitting an image through the measurement object 50 to obtain an image.

여기서 상기 제 1검사부(10)는 컨베이어밸트(40)의 상부에 배치되는 RGB(Red, Green, Blue)조명(11)과, 상기 RGB 조명(11)의 상부에 배치되어 측정대상물(50)에서 반사되는 광을 수광하여 영상을 획득하는 제 1영상획득부(12)로 구성된다.Here, the first inspection unit 10 is disposed on the conveyor belt 40, the RGB (Red, Green, Blue) light 11, and the RGB illumination 11 is disposed above the object to measure 50 The first image acquisition unit 12 receives the reflected light to acquire an image.

그리고 제 2검사부(20)는 컨베이어밸트(40)와 컨베이어밸트(40)의 사이 구간 상부에 배치되는 IR(Infrared Ray:적외선) 조명(21)과, 컨베이어밸트(40)와 컨베이어밸트(40) 사이 구간 하부에 배치되는 제 2영상획득부(22)로 구성된다.In addition, the second inspection unit 20 includes IR (infrared ray) illumination 21 disposed at an upper portion of the section between the conveyor belt 40 and the conveyor belt 40, and the conveyor belt 40 and the conveyor belt 40. The second image acquisition unit 22 is disposed below the interval.

이 때 IR 조명(21)과, 제 2영상획득부(22)는 동일 수직선상에 배치되어 IR 조명(21)에서 조사되는 적외선이 이송되는 측정대상물(50)을 투과하여 제 2영상획득부(22)로 영상이 획득될 수 있도록 구성된다.At this time, the IR illumination 21 and the second image acquisition unit 22 are disposed on the same vertical line, and pass through the measurement object 50 to which infrared rays emitted from the IR illumination 21 are transferred to the second image acquisition unit ( 22) so that an image can be obtained.

이러한 제 2검사부(20)는 IR 조명(21)이 측정대상물(50)과 가까우면 가까울수록 보다 선명한 영상을 획득하는 바, 컨베이어밸트(40)의 상부에 IR 조명(21)을 배치시켜 IR 조명(21)을 측정대상물(50)에 최대한 근접시킬 수 있는 구조이다. The second inspection unit 20 obtains a clearer image as the IR illumination 21 gets closer to the measurement object 50, and arranges the IR illumination 21 on the conveyor belt 40 so that the IR illumination 21 is disposed. The structure 21 can be as close as possible to the measurement object 50.

한편 제 2검사부(20)는 컨베이어밸트(40)와 컨베이어밸트(40)의 사이로 측정대상물(50)의 가장자리에 발생되는 광 번짐 현상를 방지하기 위해 가림막(30)이 설치되는데, 이러한 가림막(30)에 대해서는 이하에서 설명하기로 한다.On the other hand, the second inspection unit 20 is installed between the conveyor belt 40 and the conveyor belt 40 in order to prevent the light bleeding occurs at the edge of the measurement object 50 is installed, the screening film 30 This will be described below.

도 1c는 도 1b에서 발췌되는 제 2검사부의 측면확대에 따른 적외선의 진직도를 나타낸 개념도, 도 1d는 1c의 가림막의 상면을 도시한 작동도, 도 1e는 1d의 설치 사시도이다.FIG. 1C is a conceptual view showing the straightness of infrared rays according to the side enlargement of the second inspection unit taken from FIG. 1B, FIG. 1D is an operation view showing the top surface of the screen of FIG. 1C, and FIG. 1E is a perspective view of FIG. 1D.

먼저 도 1c에 도시된 같이, 제 2검사부(20)는 컨베이어밸트(40)와 컨베이어밸트(40) 사이 구간에 가림막(30)이 설치된 구조이다.First, as shown in FIG. 1C, the second inspection unit 20 has a structure in which a screen 30 is installed in a section between the conveyor belt 40 and the conveyor belt 40.

이러한 가림막(30)은 적외선이 통과하는 개방홈(311)이 형성되어 있으며, 개방홈(311) 이외 영역에는 적외선이 투과 되지 못하도록 스틸로 구성된다. 이러한 개방홈(311)이 형성된 가림막(30)을 통해 적외선을 제 2영상획득부(22)의 수광 영역으로 유도하여 측정대상물의 주변 경계(Edge)가 광의 침범으로 인해 허물어 지는 현상을 방지할 수 있다.The shielding film 30 is formed with an open groove 311 through which infrared light passes, and is made of steel so that infrared light cannot be transmitted to a region other than the open groove 311. The infrared film is guided to the light-receiving area of the second image acquisition unit 22 through the shielding film 30 having the open grooves 311 to prevent the edges of the measurement object from being collapsed due to the invasion of light. have.

이는 측정대상물(50)의 상부에서 조사되는 적외선이 가림막(30)으로 인해 측 정대상물(50)의 주변 경계로 넘어가는 것을 방지하고, 개방홈(311)으로만 적외선을 진직시켜 가능하다.This prevents the infrared rays irradiated from the upper portion of the measurement object 50 to pass over the peripheral boundary of the measurement object 50 due to the shielding film 30, and is capable of straightening the infrared rays only to the open grooves 311.

또한 상기 가림막(30)은 컨베이어밸트(40)와 컨베이어밸트(40) 사이의 간격이 넓어서 측정대상물(50)이 반대쪽 컨베이어밸트(40)로 넘어갈때 균형이 맞는 않는 문제점을 해소할 수 있다.In addition, the screening film 30 can solve the problem that the balance between the conveyor belt 40 and the conveyor belt 40 is not balanced when the measurement object 50 is crossed to the opposite conveyor belt 40.

즉, 가림막(30)을 설치하지 않으면 측정대상물(50)이 공중에 뜨는 부분이 절반을 넘어서게 되어 반대쪽 컨베이어밸트(40)로 넘어갈때 균형이 맞지 않아 중심이 틀어지는 문제점이 있는데, 상기 가림막(30)을 통해 측정대상물(50)이 공중에 뜨는 부분을 최소화하여 이를 방지할 수 있느 것이다.That is, if the shielding film 30 is not installed, the measurement object 50 floats in the air more than half, and there is a problem in that the center is shifted due to misalignment when crossing the opposite conveyor belt 40. The shielding film 30 Through this will minimize the measurement object 50 is floating in the air to prevent this.

아울러 도 1c 및 도 1d와 같이, 가림막(30)은 측정대상물(50)의 크기에 따라 폭 간격을 조절하여 측정대상물(50)의 중심이 틀어지지 않게 할 수 있다.In addition, as shown in FIGS. 1C and 1D, the shielding film 30 may adjust the width interval according to the size of the measurement object 50 so that the center of the measurement object 50 is not twisted.

이러한 가림막(30)은 적외선이 통과되는 개방홈(311)이 형성된 고정플레이트(31)와, 측정대상물(50)의 크기에 따라 폭 간격이 조절될 수 있도록 상기 고정플레이트(31)의 개방홈(311) 양측 하부에 밀착 배치되는 2개의 간격조절플레이트(32)와, 상기 각 간격조절플레이트(32)의 단부에 결합되는 이동블럭(33)과, 상기 각 이동블럭(33)을 이송시킬 수 있도록 상기 각 이동블럭(33)을 가로질러 축결합되는 이송스크류(34)와, 상기 이송스크류(34)를 회전시키는 구동수단(35)으로 구성된다.The shielding film 30 has a fixed plate 31 having an open groove 311 through which infrared rays pass, and an open groove of the fixed plate 31 so that the width interval can be adjusted according to the size of the measurement object 50. 311) two gap adjusting plates 32 disposed in close contact with both lower sides, a moving block 33 coupled to an end of each of the gap adjusting plates 32, and each moving block 33 so as to be transported. Conveying screw 34 is axially coupled across each of the moving blocks 33, and the drive means 35 for rotating the conveying screw 34.

이 때 상기 이송스크류(34)는 이동블럭(33)이 상호 반대방향으로 이송될 수 있도록 중앙을 기점으로 하여 서로 다른 방향으로 스크류가 형성된 구조이다.In this case, the transfer screw 34 has a structure in which screws are formed in different directions from the center of the transfer block 33 so as to be transferred in opposite directions.

이러한 구성은 측정대상물(50)의 크기에 따라 구동수단(35)을 통해 이송스크 류(34)를 회전시키면 이송스크류(34)에 축 결합된 2개의 이동블럭(33)이 이송스크류(34)의 축선 방향을 따라 상호 반대방향으로 이동되고, 상기 이동블럭(33)에 결합된 간격조절플레이트(32)가 동반 이송되어 고정플레이트(31)의 폭 간격을 조절하는 구조이다. In this configuration, when the transfer screw 34 is rotated through the driving means 35 according to the size of the measurement object 50, two moving blocks 33 axially coupled to the transfer screw 34 are transferred to the transfer screw 34. Move in opposite directions along the axial direction of the, and the space adjusting plate 32 coupled to the moving block 33 is conveyed together to adjust the width interval of the fixed plate (31).

비록 본 발명이 상기에서 언급한 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 본 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다른 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 첨부된 청구의 범위는 본 발명의 진정한 범위 내에 속하는 그러한 수정 및 변형을 포함할 것이라고 여겨진다. Although the present invention has been described in connection with the above-mentioned preferred embodiments, various other modifications and variations may be made without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, it is intended that the appended claims cover such modifications and variations as fall within the true scope of the invention.

도 1a는 본 발명에 따른 듀얼 카메라 비전검사 장치의 구성도,1A is a configuration diagram of a dual camera vision inspection apparatus according to the present invention;

도 1b는 도 1의 작동도,1B is an operation diagram of FIG. 1,

도 1c는 도 1b에서 발췌되는 제 2검사부의 측면확대에 따른 적외선의 진직도를 나타낸 개념도,Figure 1c is a conceptual diagram showing the straightness of the infrared ray according to the side enlargement of the second inspection unit extracted in Figure 1b,

도 1d는 1c의 가림막의 상면을 도시한 작동도,1D is an operation view showing the upper surface of the shielding film of 1c,

도 1e는 1d의 설치 사시도,1e is an installation perspective view of 1d,

도 2a는 종래의 비전검사 장치의 구성도,Figure 2a is a block diagram of a conventional vision inspection device,

도 2b는 도 2a의 작동도이고,2B is an operation of FIG. 2A,

도 2c는 도 2a에서 발췌되는 제 2검사부의 측면확대에 따른 적외선의 진직도를 나타낸 개념도,Figure 2c is a conceptual diagram showing the straightness of the infrared rays according to the side enlargement of the second inspection unit extracted from Figure 2a,

도 2d는 도 2a에 따른 제 2영상획득부에서 획득된 영상을 나타내는 사진.FIG. 2D is a photograph showing an image acquired by the second image acquisition unit according to FIG. 2A. FIG.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1: 제 1검사부 1a: RGB 조명1: first inspection unit 1a: RGB illumination

1b: 제 1영상획득부1b: first image acquisition unit

3: 제 2검사부 3a: IR 조명3: 2nd inspection part 3a: IR illumination

3b: 제 2영상획득부3b: second image acquisition unit

5: 컨베이어5: conveyor

7: 측정대상물7: measuring object

9: 종래의 비전검사 장치9: conventional vision inspection device

10: 제 1검사부 11: RGB 조명10: first inspection section 11: RGB lighting

12: 제 1영상획득부12: first image acquisition unit

20: 제 2검사부 21: IR 조명20: second inspection unit 21: IR illumination

22: 제 2영상획득부22: second image acquisition unit

30: 가림막 31: 고정플레이트30: screen 31: fixed plate

311: 개방홈311: open groove

32: 간격조절플레이트32: Spacing plate

33: 이동블럭33: moving block

34: 이송스크류34: transfer screw

35: 구동수단 35: drive means

40: 컨베이어밸트40: conveyor belt

50: 측정대상물50: measuring object

100: 본 발명의 가림막이 구비된 비전검사 장치100: vision inspection device equipped with a screen of the present invention

Claims (4)

다수의 컨베이어밸트를 통해 연속 이동되는 측정대상물(반도체의 모듈IC 및 반도체 웨이퍼)의 외관불량을 검사하기 위해 컨베이어밸트에 의해 이송되는 측정대상물의 표면에 반사된 광을 통해 영상을 획득하는 제 1검사부와, 컨베이어밸트와 켄베이어밸트의 사이 공간에서 측정대상물을 투과한 광을 통해 영상을 획득하는 제 2검사부로 구성되는 비전검사 장치에 있어서,First inspection unit for obtaining an image through the light reflected on the surface of the measurement object transported by the conveyor belt to inspect the appearance defects of the measurement object (module IC and semiconductor wafer of the semiconductor) that is continuously moved through a plurality of conveyor belt And a second inspection unit configured to acquire an image through the light transmitted through the measurement object in the space between the conveyor belt and the Kenvey belt. 상기 제 1검사부(10)는 컨베이어밸트(40)의 상부에 배치되는 RGB(Red, Green, Blue)조명(11)과, 상기 RGB 조명(11)의 상부에 배치되어 측정대상물(50)에서 반사되는 광을 수광하여 영상을 획득하는 제 1영상획득부(12)로 구성되고,The first inspection unit 10 is RGB (Red, Green, Blue) light 11 disposed on the conveyor belt 40 and the RGB illumination 11 is disposed on the reflection of the measurement object 50 It comprises a first image acquisition unit 12 for receiving the light to obtain an image, 상기 제 2검사부(20)는 컨베이어밸트(40)와 컨베이어밸트(40)의 사이 구간 상부에 배치되는 IR(Infrared Ray:적외선) 조명(21)과, 컨베이어밸트(40)와 컨베이어밸트(40) 사이 구간 하부에 배치되는 제 2영상획득부(22)를 포함하여 구성되되,The second inspection unit 20 is an IR (Infrared Ray) illumination 21 disposed in the upper portion of the section between the conveyor belt 40 and the conveyor belt 40, the conveyor belt 40 and the conveyor belt 40 It is configured to include a second image acquisition unit 22 disposed in the lower section between, 상기 제 2검사부(20)는 컨베이어밸트(40)와 컨베이어밸트(40)의 사이로 측정대상물(50)의 가장자리에 발생되는 광 번짐 현상를 방지하기 위해 가림막(30)이 설치되는 것을 특징으로 하는 가림막이 구비된 비전검사 장치.The second inspection unit 20 has a screening film, characterized in that the screening film 30 is installed between the conveyor belt 40 and the conveyor belt 40 to prevent light bleeding occurring at the edge of the measurement object 50. Equipped vision inspection device. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 2검사부(20)의 IR 조명(21)과, 제 2영상획득부(22)는 동일 수직선상 에 배치되는 것을 특징으로 하는 가림막이 구비된 비전검사 장치.IR inspection 21 and the second image acquisition unit 22 of the second inspection unit 20 is a vision inspection device equipped with a mask, characterized in that arranged on the same vertical line. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가림막(30)은 적외선이 통과되는 개방홈(311)이 형성된 고정플레이트(31)와, 측정대상물(50)의 크기에 따라 폭 간격이 조절될 수 있도록 상기 고정플레이트(31)의 개방홈(311) 양측에 하부에 배치되는 2개의 간격조절플레이트(32)와, 상기 각 간격조절플레이트(32)의 단부에 결합되는 이동블럭(33)과, 상기 각 이동블럭(33)을 이송시킬 수 있도록 상기 각 이동블럭(33)을 가로질러 축결합되는 이송스크류(34)와, 상기 이송스크류(34)를 회전시키는 구동수단(35)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 가림막이 구비된 비전검사 장치.The shielding film 30 has a fixed plate 31 having an open groove 311 through which infrared rays pass, and an open groove of the fixed plate 31 so that a width interval can be adjusted according to the size of the measurement object 50. 311) two gap adjusting plates 32 disposed at both sides of the lower side, a moving block 33 coupled to an end of each of the gap adjusting plates 32, and each moving block 33 so as to be transported. Vision inspection apparatus equipped with a shielding film, characterized in that consisting of a transfer screw (34) axially coupled across each of the moving blocks (33), and a drive means (35) for rotating the transfer screw (34). 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 이송스크류(34)는 이동블럭(33)이 상호 반대방향으로 이송될 수 있도록 중앙을 기점으로 하여 서로 다른 방향으로 스크류가 형성된 것을 특징으로 하는 가림막이 구비된 비전검사 장치. The transfer screw (34) is a vision inspection device equipped with a shielding film, characterized in that the screw is formed in a different direction from the center as a starting point so that the movable block 33 can be transferred in opposite directions.
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