KR100997496B1 - 압력 조절 어셈블리 및 이를 구비하는 플라즈마 처리 장치 - Google Patents
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- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
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- H01J37/32798—Further details of plasma apparatus not provided for in groups H01J37/3244 - H01J37/32788; special provisions for cleaning or maintenance of the apparatus
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Abstract
Description
Claims (6)
- 챔버 내부에 형성된 플라즈마 처리 영역을 둘러싸도록 형성되는 압력 조절 링; 및 상기 압력 조절 링을 승강시키는 구동부; 를 포함하되,상기 압력 조절 링은 중앙부가 상하로 관통되며 상하 방향으로 연장되는 높이가 폭보다 크게 형성되고, 상기 압력 조절 링의 상부 또는 하부에는 상기 플라즈마 처리 영역에서 발생되는 공정 부산물이 배출되는 다수의 개구부가 형성되는 압력 조절 어셈블리.
- 제 1항에 있어서,상기 압력 조절 링은 한 개 또는 한 쌍으로 구비되는 압력 조절 어셈블리.
- 삭제
- 제 1항에 있어서,상기 다수의 개구부는 상기 압력 조절 링의 상부 또는 하부의 테두리를 포함하는 홈 형태로 형성되거나, 상기 압력 조절 링의 상부 또는 하부의 테두리에 인접하여 관통된 홈 형태로 형성되는 압력 조절 어셈블리.
- 제 4항에 있어서,상기 다수의 개구부는 반원형, 원형 또는 다각형으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나의 형태를 갖는 압력 조절 어셈블리.
- 반응 공간을 제공하는 챔버와;상기 챔버의 내측에 마주보도록 배치되는 상부 전극 및 하부 전극과;상기 상부 전극 및 상기 하부 전극 사이에 형성되는 플라즈마 처리 영역을 둘러싸도록 중앙부가 상하로 관통되며 상하 방향으로 연장되는 높이가 폭보다 크게 형성되고, 상기 플라즈마 처리 영역에서 발생되는 공정 부산물이 배출되는 다수의 개구부가 상부 또는 하부에 형성되는 압력 조절 링과;상기 압력 조절 링을 승강시키는 구동부;를 포함하는 플라즈마 처리 장치.
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