KR100996005B1 - 기판 열처리 장치 및 노즐 부재 - Google Patents

Abstract

온도 저하를 방지하여 원하는 온도의 가열 기체를 보다 적절히 하우징 내에 공급한다.

기판 열처리 장치(1A)는, 핫 플레이트(16)를 위요하는 하우징(10)과, 이 하우징 내에 배치되는 분출 노즐(20)을 포함하는 가열 에어의 공급 수단을 구비하고, 하우징(10)의 내부 상면을 따라서 가열 에어를 공급하면서 이 가열 에어를 하우징(10)의 측벽(13)에 설치된 배기구(22)를 통해 배기하도록 구성된다. 가열 에어의 공급 수단은, 히터(32)를 구비하는 에어 공급 배관(30)과, 가열된 가열 에어를 하우징(10)의 측벽(13) 등의 내부를 통해서 상기 분출 노즐(20)에 공급하는 내부 배관(31)을 갖는다.

Description

기판 열처리 장치 및 노즐 부재{THERMAL PROCESSING APPARATUS FOR SUBSTRATE AND NOZZLE MEMBER}

이 발명은 반도체 기판, 액정 표시 장치용 유리 기판, 플라즈마 표시 장치용 유리 기판, 포토마스크용 유리 기판, 광 디스크용 기판 등(이하, 「기판」이라고 한다)에 대해서 가열 처리를 실시하는 기판 열처리 장치 및 이 장치에 이용되는 노즐 부재에 관한 것이다.

이런 종류의 기판 열처리 장치로서, 하우징의 내부 공간에 핫 플레이트 및 해당 핫 플레이트를 관통해 출퇴(出退) 이동하는 기판 지지 핀이 설치되고, 해당 지지 핀으로 기판을 지지하면서, 핫 플레이트로부터 발생하는 열에 의해서 해당 기판에 대해서 가열 처리를 실시하는 것이 있다.

이 기판 열처리 장치에서는, 예를 들면 레지스트액이 도포된 기판에 대해서 가열 처리를 실시하는 경우, 레지스트액의 종류에 따라서는 그 성분이 승화하고, 그 승화물이 하우징의 내벽면, 특히 상면(천정면)에 부착·퇴적하는 일이 있다. 이러한 부착물 등은, 하우징의 내벽면으로부터 박리해 기판에 낙하하면, 제품 불량을 초래하는 원인이 된다.

그래서 최근에는, 이러한 결함을 회피하기 위하여, 특허 문헌 1에 기재된 기판 열처리 장치가 제안되고 있다. 이 장치는, 하우징의 천정면의 하방에 분출 노즐을 배치하고, 이 분출 노즐로부터 천정면을 따라서 가열 에어(클린 에어)를 분출시키면서 배기하도록 구성되어 있다. 즉, 하우징의 천정면을 따라서 가열 에어를 유동시킴으로써 승화물의 결정화를 방지하고, 또한 이 가열 에어와 함께 상기 승화물을 배기함으로써, 상기 천정면에의 승화물의 부착·퇴적을 방지하는 것이다.

또한, 종래의 기판 열처리 장치에서는, 상기 분출 노즐은 기판의 한 변을 따른 길고 중공(中空)인 노즐 형상을 가지며, 길이 방향으로 나열된 복수의 개구로부터 가열 에어를 분출하는 구조로 되어 있고, 노즐 전체가, 단열성을 높이기 위해서 스테인리스 등 열전도성이 낮은 재료로 구성되어 있다.

[특허 문헌 1:일본국 특허공개 2005-183638호 공보]

특허 문헌 1에 기재되어 있는 종래의 기판 열처리 장치에서는, 에어 공급관을 통해서 공급되는 에어는, 에어 공급관의 도중 부분에 개설되는 히터로 가열된 후, 상기 하우징 내에 도입되기 때문에, 히터로부터 분출 노즐까지의 거리가 비교적 멀고, 열손실에 의한 가열 에어의 온도 저하가 염려된다. 그래서, 이러한 결함을 회피하기 위하여, 분출 노즐의 근방, 예를 들면 하우징의 외측벽 중 분출 노즐의 근방에 히터를 설치해 에어를 가열하는 것도 고려되고 있지만, 공간 절약화(풋프린트의 축소화)의 요청으로부터 이러한 구성을 채택하는 것이 어려운 경우가 많다. 따라서, 기판 열처리 장치에 있어서는, 히터의 배치에 관계없이, 원하는 온도의 가열 에어를 적절히 하우징 내에 공급할 수 있도록 하는 것이 요구되고 있다.

또, 기판 열처리 장치에서는, 분출 노즐에 배관을 통해서 가열 에어가 도입되지만, 노즐 내를 유동하는 가열 에어에는, 방열 등에 의해서 온도 저하가 생긴다. 그 때문에, 원하는 온도의 에어를 균일하게 분출시키려면, 노즐 길이 방향이 상당히 접근한 복수의 위치에서 분출 노즐에 대해서 가열 에어를 도입하는 것이 바람직하다. 그러나, 제반의 사정에 의해, 예를 들면, 분출 노즐에 대한 가열 에어의 도입 위치가 노즐 길이 방향의 일단이나, 중앙 한 개소로 한정되는 하우징이 적지 않다. 이 경우에는, 도입 위치로부터 이간 될수록 노즐 내의 가열 에어의 온도가 낮아지고, 분출 에어의 온도에, 에어 도입 위치를 피크로 하는 온도 구배가 생기게 된다. 이 온도 구배에 있어서의 분출 에어의 최대 온도차는, 노즐 길이가 길 어짐에 따라 커진다. 그 때문에, 노즐 길이가 긴 대형 기판을 대상으로 하는 장치에서는, 상기 온도차가, 기판에 균일한 열처리를 실시하는 데에 있어서 무시할 수 없을 정도로 커지는 하우징이 있다. 따라서, 이 점을 개선하는 것이 요구된다.

또한, 기판의 제조 라인에서는, 복수 기판을 동시에 처리하기 위하여 기판 열처리 장치를 복수단 적층하고, 반송 암에 의해 기판을 수평 지지한 상태로, 상기 하우징의 측벽에 설치된 출입구를 통해 각 기판 열처리 장치에 대해서 기판의 반입·반출이 행해지는 경우가 많다. 이런 종류의 제조 라인에서는, 기판 열처리 장치의 적층 부분을 높이 방향으로 콤팩트화할 수 있는 쪽이 제조 라인의 공간 절약화를 도모하는 데에 있어서도, 또한 반송 암의 가동 범위를 축소해 당해 암의 구동계를 간소화하는데 있어서도 편리하다. 그러나, 종래 장치에서는, 하우징에의 기판의 반입·반출시의 분출 노즐과 반송 암 등과의 간섭을 회피하기 위하여, 반송 암이 출입하는 상하 방향의 공간을 충분히 확보한 다음, 그 공간의 상방에 상기 분출 노즐이 배치된다. 그 때문에, 기판 열처리 장치를, 그 높이 방향으로 콤팩트화하는 것이 어렵고, 상기와 같은 요청에 대응하는 것이 곤란했다. 따라서, 이 점을 개선하는 것이 요구된다.

본 발명은, 상기의 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 그 제1 목적은, 하우징 내에 가열 기체를 분출해 레지스트액의 승화물 등의 부착·퇴적을 방지하도록 구성된 기판 가열 처리 장치에 있어서, 원하는 온도의 가열 기체를 보다 적절히 하우징 내에 공급하는 것에 있고, 제2 목적은, 장치를 그 높이 방향으로 콤팩트화하는 것에 있다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은, 기판에 가열 처리를 실시하는 기대 내측 저부에 설치된 하우징과, 당해 하우징의 천정벽을 따라서 가열 기체류를 형성하기 위하여, 상기 하우징 내에 외부로부터 가열 기체를 공급하는 가열 기체 공급 수단을 구비한 기판 열처리 장치에 있어서, 상기 가열 기체 공급 수단은, 기체를 가열해 상기 가열 기체를 생성하는 가열 수단과, 이 가열 수단으로 가열된 상기 가열 기체를 하우징 내부에 공급하는 공급 유로를 포함하고, 상기 공급 유로의 적어도 일부가 상기 하우징의 격벽 내부에 설치되어 있는 것이다(청구항 1).

이와 같이 하우징의 격벽 내부를 통해서 가열 기체를 공급하는 구성에 의하면, 기대를 열원으로서 공급 유로 내의 가열 기체가 간접적으로 가열되고, 이로 인해서, 가열 기체의 온도 저하가 억제된다.

보다 구체적으로, 상기 하우징은, 상기 격벽 내부에 공간을 갖는 다중 벽구조로 되고, 상기 공급 유로는, 상기 격벽 내부의 공간에 의해 구성되어 있다(청구항 2).

즉, 하우징의 격벽 내부에 배관을 통해 당해 배관에 의해 상기 공급 유로를 구성해도 되지만, 상기의 구성에 의하면, 다중 벽구조에 의해 하우징의 보온성을 높일 수 있음과 더불어, 상기 격벽 내부의 공간을 그대로 이용해 가열 기체를 공급할 수 있다. 또, 격벽 내부에 배관을 통하는 경우에 비해 기대로부터 가열 기체에의 열전도성도 향상된다. 그 때문에, 합리적인 구성으로, 효과적으로 가열 기체의 온도 저하를 억제하는 것이 가능해진다.

또한, 기대로부터의 열을 보다 받기 쉽게 하기 위해, 상기 공급 유로는, 상기 기대의 하방 위치를 경유해 하우징 내부에 상기 가열 기체를 공급하도록 설치되어 있는 것이 바람직하다(청구항 3).

또, 상기 하우징의 격벽은, 상기 공급 유로를 형성하는 벽부 중 하우징 내측 쪽의 벽부가 하우징 외측의 벽부보다 열전도성이 높은 재료로 구성되어 있는 것이 적합하다(청구항 4).

이 구성에 의하면 공급 유로를 통과하는 가열 기체가 기대로부터의 열을 받기 쉬워지는 한편, 외부에의 방열이 억제된다. 그 때문에, 효과적으로 가열 기체의 온도 저하가 억제된다.

또, 상기 가열 수단은, 상기 하우징의 하방 또는 상방 중 어느 한쪽에 설치되어 있는 것이 적합하다(청구항 5).

이 구성에 의하면, 장치의 공간 절약화를 도모하는(풋 프린트를 축소화한다) 상에서 유리해 진다.

또, 상기 가열 수단은, 상기 하우징의 격벽 내부에 설치되어 있는 것이어도 된다(청구항 6).

이 구성에 의하면 하우징의 격벽 내부에서 가열된 가열 기체를 그대로 당해 격벽 내부를 통해서 하우징 내에 공급하는 것이 가능해지기 때문에, 방열에 의한 가열 기체의 열손실을 효과적으로 억제할 수 있다.

또한, 상기와 같은 장치에 있어서, 상기 가열 기체 공급 수단은, 또한 상기 하우징의 천정부에 있어서 소정 방향으로 연장되고, 그 길이 방향으로 상기 가열 기체를 분출하는 복수의 분출구가 나열되는 노즐 부재를 포함하고, 상기 공급 유로는, 이 노즐 부재 중 적어도 길이 방향 양단 부분에 상기 가열 기체를 안내하도록 설치되어 있다(청구항 7).

이 구성에 의하면 노즐 길이 방향으로 가열 기체의 온도 구배가 생기는 것을 억제하는 것이 가능해지고, 보다 균일한 온도의 가열 기체를 노즐 부재의 각 분출구로부터 분출시키는 것이 가능해진다.

또한, 상기 공급 유로는, 상기 하우징 내의 공간에 상기 가열 기체를 토출하는, 상기 하우징의 상기 천정벽 또는 측벽에 일체로 장착된 토출 수단을 포함하고, 상기 하우징은 이 토출 수단으로부터 토출되는 가열 기체를 상기 천정벽을 따라서 유동시키는 안내 수단을 구비하고 있는 것이다(청구항 8).

이 구성에서는, 가열 기체는, 하우징의 천정벽 또는 측벽의 내부에 설치되는 토출 수단으로부터 하우징 내에 토출되고, 안내 수단에 의해 안내되면서 천정벽을 따라서 유동하게 된다. 이러한 구성에 의하면, 가열 기체를 분사하기 위한 노즐 부재를 하우징 내의 공간에 배치하는 종래의 처리 장치와 비교해, 하우징 내의 공간, 특히 천정벽의 근방에 있어서, 기판의 반입·반출시에 장해가 되는 것을 줄이는 것이 가능해진다. 그 때문에, 하우징 내의 공간을 그 높이 방향으로 효과적으로 축소하는 것이 가능해진다.

보다 구체적으로, 상기 토출 수단은, 상기 천정벽 또는 측벽의 벽면에 토출구를 갖는 것이다(청구항 9).

이 구성에서는, 천정벽 또는 측벽의 벽면으로부터 직접 가열 기체가 하우징 내의 공간에 토출된다. 그 때문에, 토출 수단 중 하우징 내의 공간으로 돌출하는 부분이 없고, 따라서 하우징 내의 공간을 상기 높이 방향으로 축소하는데 있어서 유리해진다.

또한, 상기의 기판 열처리 장치에 있어서, 상기 토출구는, 상기 하우징의 천정 벽면에 설치되고, 상기 안내 수단은, 상기 토출구에 대향해 상기 천정벽과 대략 평행한 안내면을 갖는 것이다 (청구항 10).

이 구성에 의하면, 천정 벽면으로부터 가열 기체를 토출시키면서 천정벽을 따라서 양호하게 가열 기체를 유동시키는 것이 가능해진다. 또한, 안내 수단은, 천정벽과 대략 평행한 안내면을 따라서 가열 기체를 안내하기 위해, 안내 수단을 천정벽에 접근한 위치에 설치할 수 있고, 하우징 내의 공간으로의 돌출을 억제할 수 있다.

또, 상기의 기판 열처리 장치에 있어서, 상기 토출구가 상기 하우징의 측벽에 설치되는 것에서는, 상기 안내 수단은, 상기 하우징의 내측면에 형성되는 홈부로 이루어지고, 상기 토출구가, 이 홈부의 저면에 형성되어 있다(청구항 11).

이 구성에서는, 측벽에 형성된 홈부의 저면으로부터 가열 기체를 토출시키고, 이 가열 기체를 당해 홈부의 내측면을 따라서 홈 개구 방향으로 안내함으로써 천정벽을 따라서 가열 기체를 유동시킨다. 이 구성에 의하면, 안내 수단은, 측벽에 형성되는 홈부의 내측면으로 이루어지기 때문에, 하우징 내의 공간에 당해 안내 수단이 돌출하는 것을 회피할 수 있다.

또한, 상기와 같은 기판 열처리 장치에 있어서는, 상기 토출구가 소정 방향 으로 복수 나열되어 설치되고, 상기 토출 수단은, 각 토출구에 있어서의 가열 에어의 토출량을 균등화하는 균등화 수단을 포함한 것이 적합하다(청구항 12).

이 구성에 의하면, 가열 기체가 특정의 토출구에 치우쳐 토출되는 것을 회피하여, 천정벽을 따라서 양호하게 가열 기체를 유동시키는 것이 가능해진다.

또, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 노즐 부재는, 열 매체로서의 유체를 내부에 도입하는 도입구와, 둘레면의 일부에서 길이 방향으로 설치된 분출구를 갖는, 길고 중공인 노즐 본체를 구비한 노즐 부재에 있어서, 상기 노즐 본체의 내부에 길이 방향에 걸쳐 배치되고, 상기 길이 방향으로의 열전도를 촉진하기 위하여 상기 노즐 본체보다 고열 전도성 재료로 구성되는 열전도 촉진 부재가 설치되어 있는 것이다(청구항 13).

즉, 본원의 출원인은, 노즐 전체를 열전도성이 높은 재료로 구성하고, 노즐 전체를 유체 온도에 접근시킴으로써, 노즐 내에서의 유체의 온도 변화를 억제하고, 노즐 길이 방향에 있어서의 유체 온도의 균일화를 도모하는 것을 고려했다. 그러나, 이 구성에서는, 유체 온도의 균일화는 가능해지지만, 노즐 외부로의 방열량이 많아지고, 열효율이 나쁘다는 문제가 있다. 그래서, 이 점을 개선함으로써, 상기와 같은 노즐 부재에 상도(想到)했다. 이 구성에 의하면, 유체가 도입되면, 노즐 본체의 내부에 설치되는 열전도 촉진 부재가 그 길이 방향에 걸쳐 용이하게 유체 온도에 가까운 온도가 된다. 그리고, 이러한 유체 온도와 거의 동등한 부재가 노즐 길이 방향에 걸쳐 개재됨으로써, 도입구로부터 떨어진 위치에서의 유체의 온도 변화가 억제되고, 유체 온도의 균일화가 도모된다. 또한, 노즐 본체는, 열전도 촉 진 부재보다 열전도성이 낮은 재료로 구성되기 때문에, 외부에의 방열 등에 의한 열손실을 억제하여 노즐 부재의 전체적인 단열성을 확보하는 것도 가능해진다.

보다 구체적인 구성으로서, 상기 열전도 촉진 부재는, 상기 둘레면의 적소에, 길이 방향으로 개구부가 설치된 통체이며, 상기 유체는, 상기 도입구를 통해 이 통체 내에 도입된 것이다(청구항 14).

이 구성에 의하면, 열전도 촉진 부재를 보다 단시간에 유체 온도에 접근시키는 것이 가능해지고, 그 결과, 유체의 도입 개시 후, 노즐구로부터 분출되는 유체의 온도를 신속하게 균일화하는 것이 가능해진다.

또한, 열전도 촉진 부재는 상기 노즐 본체보다 열전도성이 높은 재료로 이루어지기 때문에, 이들 사이에 열팽창에 의한 왜곡이 생기는 것이 고려된다. 이러한 결함은, 다음의 구성에 의해 해소된다. 즉, 상기 열전도 촉진 부재는, 단면 다각형상을 가지며, 그 둘레면 중 일면에서 상기 노즐 본체의 내측 저면에 재치(載置)되어 있다(청구항 15).

이 구성에 의하면, 상기와 같은 열팽창에 의한 왜곡의 발생을 방지할 수 있다. 단, 이 경우, 열전도 촉진 부재를 완전한 프리로하면, 노즐 본체 내에서의 열전도 촉진 부재의 편차 등에 의해 유체의 분출 불량 등을 초래하는 것이 고려된다.

그 때문에, 상기 노즐 본체는, 상기 열전도 촉진 부재와의 사이에 간극을 가지며, 또한 당해 열전도 촉진 부재의 상기 내측 저면을 따르는 변위를 규제하는 규제부를 갖는 것이 적합하다(청구항 16). 이 구성에 의하면, 열전도 촉진 부재의 편차 등에 의한 분출 불량 등의 트러블을 미연에 방지하는 것이 가능해진다.

또한, 노즐 본체에의 열전도에 의한 열손실을 회피하기 위해서, 상기 열전도 촉진 부재는, 상기 노즐 본체의 내부 상면에 대해서 이간하고 있는 것이 적합하다(청구항 17).

한편, 본 발명에 관한 기판 열처리 장치는, 기판에 가열 처리를 실시하는 기대가 저부측에 설치된 하우징과, 가열 기체를 분출하는 노즐 부재를 구비하고, 이 노즐 부재로부터 분출되는 가열 기체에 의해 상기 하우징의 천정벽을 따르는 가열 기체류를 형성하면서 상기 가열 처리를 행하는 기판 열처리 장치에 있어서, 상기 노즐 부재로서, 상기와 같은 노즐 부재를 구비하고 있는 것이다(청구항 18).

이 기판 열처리 장치에 의하면, 노즐 길이 방향에 걸쳐 균일한 온도의 가열 기체류를 하우징의 내부 상면을 따라서 형성하는 것이 가능해진다.

본 발명의 청구항 1~12에 관한 기판 열처리 장치에 의하면, 기대를 열원으로서 공급 유로 내의 가열 기체를 간접적으로 가열함으로써, 공급 도중의 가열 기체의 온도 저하를 효과적으로 억제할 수 있다. 그 때문에, 가열 수단의 배치 등에 관계없이, 원하는 온도의 가열 기체를 보다 적절히 하우징 내에 공급하는 것이 가능해진다.

특히, 청구항 2에 관한 기판 열처리 장치에 의하면, 당해 장치를 합리적으로 구성하면서 상기와 같은 효과를 얻을 수 있다.

또, 청구항 3, 4에 관한 기판 열처리 장치에 의하면, 기대로부터의 열을 보다 유효하게 활용할 수 있고, 그 결과, 가열 기체의 온도 저하를 보다 효과적으로 억제할 수 있다.

또, 청구항 5에 관한 기판 열처리 장치에 의하면, 공간 절약화(풋 프린트의 축소화)를 도모하는 데에 있어서 유리한 구성이 된다.

또, 청구항 6에 관한 기판 열처리 장치에 의하면, 하우징의 격벽 내부에서 생성한 가열 기체를 그대로 하우징 내의 공간에 공급하는 것이 가능해지기 때문에, 가열 기체의 열손실을 효과적으로 억제할 수 있다.

또, 청구항 7에 관한 기판 열처리 장치에 의하면, 가열 기체의 분출구가 길이 방향으로 늘어서는 가늘고 긴 노즐 부재를 이용해 가열 기체를 하우징 내에 분출하는 것에 있어서, 각 분출구로부터 보다 균일한 온도의 가열 기체를 분출시킬 수 있게 된다.

또, 청구항 8~12에 관한 기판 열처리 장치에 의하면, 하우징 내의 공간을 그 높이 방향으로 효과적으로 축소할 수 있고, 기판 열처리 장치의 콤팩트화에 공헌할 수 있다.

특히, 청구항 9에 관한 기판 열처리 장치에 의하면, 하우징의 천정벽 또는 측벽의 벽면에 형성한 토출구로부터 가열 기체를 토출하기 위해, 하우징 내의 공간을 축소하는데 있어서 유효해진다.

그리고, 청구항 10, 11에 관한 기판 열처리 장치에서는, 상기와 같은 효과를 얻으면서, 천정벽, 측벽으로부터 각각 가열 기체를 토출시켜 천정벽을 따르는 양호한 가열 기체류를 형성할 수 있다.

또한 청구항 12에 관한 기판 열처리 장치에 의하면, 복수의 토출구로부터 가 열의 일부에 토출하는 양이 치우치는 것을 방지해, 천정벽을 따르는 양호한 가열 기체류를 형성할 수 있다.

또, 본 발명의 청구항 13~17에 관한 노즐 부재에 의하면, 노즐 부재의 단열성을 확보하면서, 그 길이 방향에 걸친 보다 균일 온도의 유체를 분출시키는 것이 가능해진다.

그리고, 청구항 18에 관한 기판 열처리 장치에 의하면, 상기와 같은 노즐 부재를 이용해 가열 기체를 하우징 내에 분출하므로, 노즐 길이 방향에 걸친 균일한 온도를 갖는 양호한 가열 기체류를 형성하는 것이 가능해지고, 그 결과, 기판의 가열 처리를 보다 적절히 행할 수 있게 된다.

본 발명의 바람직한 실시 형태에 대해 도면을 이용해 설명한다.

＜제1 실시 형태＞

도 1 및 도 2는, 본 발명에 관한 기판 열처리 장치의 제1 실시 형태를 각각 단면도로 나타내고 있다. 동일한 도면에 나타낸 바와 같이, 기판 열처리 장치(1A)(이하, 처리 장치(1A)라고 약칭한다)는, 격벽으로서 저벽(12), 측벽(13) 및 천정벽(14)을 갖는 직사각형 단면의 하우징(10)을 갖고 있다. 하우징(10) 중 측벽(13)의 일부는 도어(15)로 되고, 기판(S)의 반입·반출 시에는, 이 도어(15)가 개폐되도록 구성되어 있다. 하우징(10)을 구성하는 측벽(13) 등은, 모두 내부에 공간을 갖는 이중벽 구조로 되고, 이로 인해, 단열 효과가 높아졌다. 또한, 측벽(13) 등의 내부에는, 강성 확보를 위해 격자모양의 보강벽이 설치되어 있지만, 도면 중에서는 이것을 생략하고 있다.

상기 하우징(10)의 내측 저부에는, 상기 저벽(12)의 상면에 핫 플레이트(16)가 설치되어 있다. 이 핫 플레이트(16)에는 히터 등의 열원이 내장됨과 더불어, 승강 구동부(18)로부터의 구동력을 받아 진퇴 변위하는 복수의 지지 핀(17)이 설치되어 있다. 당 실시 형태에서는, 이 핫 플레이트(16) 및 지지 핀(17)이 본 발명의 기대에 상당한다.

또, 하우징(10)의 내부에는, 도어(15)의 근방, 또한 상기 천정벽(14)의 바로 아래쪽에, 가열 기체, 예를 들면 가열 에어를 분출하는 분출 노즐(20)(노즐 부재)이 배치되어 있다. 상세히 도시하지 않지만, 분출 노즐(20)은, 도어(15)를 따라서 그 폭 방향으로 연장되고, 또한 길이 방향으로 늘어서는 복수의 분출구를 구비하고 있고, 가열 에어를 천정벽(14)의 하면을 따라서 분출하도록 구성되어 있다. 그리고, 측벽(13) 중 상기 도어(15)에 대향하는 것의 상단 부분에는 슬릿 형상의 배기구(22)가 설치됨과 더불어, 이 배기구(22)를 통해 하우징(10) 내의 분위기를 배기하는 배기 노즐(24)이 측벽(13)의 외측면에 설치되어 있다. 즉, 상기 분출 노즐(20)로부터 가열 에어를 분출하면서 상기 배기 노즐(24)에 의해 하우징(10) 내의 분위기를 배기함으로써, 상기 가열 에어를 천정벽(14)의 하면을 따라서 유동시키면서 배기구(22)를 통해 배기하는 구성으로 되어 있다.

한편, 하우징(10)의 외부 하부에는, 클린 에어 공급원으로부터 공급되는 에어를 하우징(10)에 안내하는 에어 공급 배관(30)과, 이 에어 공급 배관(30)의 도중에 개설되고, 관내를 통과하는 에어를 가열해 소정 온도의 상기 가열 에어를 생성 하는 히터(32)(본 발명에 관한 가열 수단에 상당한다)가 설치되어 있다.

상기 에어 공급 배관(30)은, 상기 저벽(12) 및 측벽(13)의 내부 공간에 배색(配索)되는 내부 배관(31)에 연통, 접속되어 있다. 이 내부 배관(31)은, 도 2에 나타낸 바와 같이 상기 핫 플레이트(16)의 하방을 횡단하도록 분출 노즐(20)을 따라서 연장되고, 또한 그 양단이 각각 측벽(13)을 따라서 천정벽(14)의 근방까지 연장하여 설치되어 상기 분출 노즐(20)의 양단에 각각 연결되어 있다. 그리고, 상기 에어 공급 배관(30)이, 이 내부 배관(31) 중 핫 플레이트(16)의 아래쪽을 횡단하는 부분이며, 또한 그 중간 부분에 접속되어 있다. 즉, 클린 에어 공급원으로부터 공급되는 클린 에어를 상기 히터(32)로 가열하고, 이 가열 에어를 하우징(10)의 상기 저벽(12) 등의 내부 공간을 통해서 상기 분출 노즐(20)에 공급하면서 이 분출 노즐(20)로부터 하우징(10) 내의 공간에 분출시키도록 구성되어 있다. 또한, 이 처리 장치(1A)에서는, 에어 공급 배관(30) 및 내부 배관(31)이 본 발명에 관한 공급 유로에 상당한다.

상기와 같이 구성된 처리 장치(1A)에서는, 다음과 같이 하여 기판(S)의 가열 처리가 진행된다. 우선, 도어(15)가 개방 위치(도 1의 2점 쇄선으로 나타낸 위치)에 세트되고, 반송 암(2) 상에 수평 지지된 기판(S)이 당해 암(2)과 함께 하우징(10) 내에 삽입된다. 이때, 지지 핀(17)은 소정의 퇴피 위치로 후퇴해 있다. 기판(S)이 하우징(10) 내에 삽입되면 지지 핀(17)이 상승하고, 기판(S)이 당해 지지 핀(17)에 의해 지지되어 반송 암(2)으로부터 들어 올려지고, 이 상태로, 반송 암(2)이 하우징(10) 밖으로 퇴피하고, 도어(15)가 폐지된다. 그 후, 지지 핀(17) 이 소정 위치까지 후퇴함으로써, 기판(S)이 핫 플레이트(16) 상에 재치되고, 혹은 핫 플레이트(16)에 대해서 약간의 거리만 이간한 상태로 근접 배치된다. 이렇게 하여 기판(S)이 핫 플레이트(16)로부터의 열을 받고, 당해 기판(S)에 열처리가 실시된다.

또한, 기판(S)이 핫 플레이트(16) 상에 재치, 혹은 근접 배치되면, 분출 노즐(20)에의 가열 에어의 공급이 개시됨과 더불어, 상기 배기 노즐(24)에 의한 하우징(10) 내의 배기가 개시된다. 이로 인해 분출 노즐(20)로부터 가열 에어가 분출되고, 천정벽(14)의 하면을 따라서 당해 가열 에어가 도어(15)측으로부터 그 반대 측으로 유동하면서 배기구(22)를 통해 배기되게 된다. 따라서, 예를 들면 레지스트액이 도포된 기판(S)에 가열 처리를 실시하는 경우에는, 레지스트액의 승화물 등이 당해 가열 에어와 함께 하우징(10) 외부로 배출되고, 그 결과, 천정벽(14)의 하면 등에의 상기 승화물 등의 부착·퇴적이 방지된다. 이때, 가열 에어는, 하우징(10)의 하방에 배치되는 히터(32)로 가열되고, 당해 히터(32)로부터 떨어진 천정벽(14) 근방의 분출 노즐(20)까지 안내되지만, 이 처리 장치(1A)에서는, 상기와 같이, 가열 에어는, 저벽(12) 및 측벽(13)의 내부 공간에 배색된 내부 배관(31)을 통해서 분출 노즐(20)까지 안내되기 때문에, 핫 플레이트(16)를 열원으로 하여 간접적으로 가열되게 된다. 따라서, 온도 저하가 유효하게 방지되게 된다.

이렇게 하여 가열 처리가 완료되면, 기판(S)을 반출하기 위해서 지지 핀(17)이 상승하여 기판(S)이 핫 플레이트(16) 상방으로 들어 올려진 후, 도어(15)가 개방되어 반송 암(2)이 하우징(10) 내에 삽입된다. 그리고, 반입시와 반대의 순서 로, 기판(S)이 반송 암(2) 상에 수수되고, 그 후, 반송 암(2)과 함께 기판(S)이 하우징(10) 밖으로 인출되게 된다. 또한, 분출 노즐(20)에의 가열 에어의 공급은, 가열 처리의 종료 후, 소정 타이밍에 정지된다.

이상과 같이, 이 처리 장치(1A)에 의하면, 가열 에어를 하우징(10)의 저벽(12) 등의 내부 공간에 배색된 내부 배관(31)을 통해서 분출 노즐(20)에 공급하고, 이로 인해 가열 에어의 온도 저하를 방지할 수 있는 구성으로 되어 있으므로, 분출 노즐(20)에 대해서 히터(32)를 이간해 배치하면서도 원하는 온도의 가열 에어를 적절히 분출 노즐(20)에 공급할 수 있다. 특히, 이 실시 형태에서는, 하우징(10)의 아래쪽(저벽(12)의 아래쪽)에 히터(32)를 배치함으로써 처리 장치(1A)의 공간 절약화(풋 프린트의 축소화)를 도모하는 한편으로, 원하는 온도의 가열 에어를 적절히 분출 노즐(20)에 공급할 수 있다는 효과가 있다.

또한, 상기의 실시 형태에 의하면, 저벽(12)의 내부 공간에 있어서, 핫 플레이트(16)의 하방을 횡단하도록 상기 내부 배관(31)을 배색하고 있으므로, 내부 배관(31) 내의 가열 에어가 핫 플레이트(16)의 열을 받기 쉽고, 이로 인해, 가열 에어의 온도 저하를 효과적으로 방지할 수 있다는 이점이 있다.

또, 상기의 실시 형태에서는, 도어(15)를 따라서 그 폭 방향으로 연장되는 가늘고 긴 분출 노즐(20)에 대해서, 그 길이 방향 양단에 가열 에어를 공급하도록 가열 에어의 공급 계통(내부 배관(31) 등)이 설치되어 있으므로, 분출 노즐(20) 내에서, 그 길이 방향을 따라서 가열 에어의 온도 구배가 생기는 것을 억제하는 것이 가능해진다. 그 때문에, 이러한 온도 구배가 생기는 것에 의한 결함, 예를 들면 기판(S)의 가열 처리의 균일성에 영향을 주는 결함을 회피할 수 있는 효과도 있다.

＜제2 실시 형태＞

도 3 및 도 4는, 제2 실시 형태에 관한 처리 장치(1B)를 각각 단면도로 나타내고 있다. 이들 도면에 나타내는 바와 같이, 제2 실시 형태에 관한 처리 장치(1B)는, 분출 노즐(20)에 대한 가열 에어의 공급 계통의 구성이 제1 실시 형태와 상위하다.

즉, 이 실시 형태에서는, 저벽(12) 및 측벽(13)의 내부 공간에는 상기 내부 배관(31)은 설치되어 있지 않고, 저벽(12)의 내부 공간 그 자체가 가열 에어의 공급 유로로서 구성되어 있다. 구체적으로는, 저벽(12) 및 측벽(13)에는, 그 내부 공간이 칸막이 벽(33) 등에 의해 나뉨으로써 저벽(12)으로부터 측벽(13)에 걸쳐 연통하고, 또한 핫 플레이트(16)의 하방을 횡단하는 단면 오목형(도어(15)측에서 볼 때 단면 오목형;도 4 참조)의 에어 유로(34)가 형성되어 있다. 그리고, 이 에어 유로(34)를 통해서 가열 에어가 분출 노즐(20)의 양단부에 안내되는 구성으로 되어 있다.

이러한 제2 실시 형태도, 제1 실시 형태와 같이, 분출 노즐(20)에 공급되는 가열 에어가 핫 플레이트(16)를 열원으로 하여 간접적으로 가열되기 때문에, 그 온도 저하가 유효하게 방지된다. 특히, 이 실시 형태에서는, 저벽(12) 등의 내부 공간이 그대로 에어 유로(34)로서 이용되고 있고, 제1 실시 형태에 비하면, 가열 에어와 핫 플레이트(16) 사이에 개재하는 열 매체가 적고, 가열 에어에 대한 열전도성이 좋다. 따라서, 저벽(12) 등의 내부 공간을 이용한 합리적인 구성으로, 효과 적으로 가열 에어의 온도 저하를 방지할 수 있다는 이점이 있다.

또한, 상기의 처리 장치(1A, 1B)에 대해서는, 이하와 같은 구성을 채용할 수도 있다.

예를 들면, 상기 실시 형태에서는, 하우징(10)의 외측에 히터(32)가 설치되고, 하우징(10)의 외측에서 가열한 가열 에어를 하우징(10) 내에 도입하는 구성으로 하고 있지만, 히터(32)를 저벽(12) 등, 하우징(10)의 격벽 내부에 배치하도록 해도 된다. 구성에 의하면, 생성된 가열 에어를 그대로 격벽 내부를 통해서 분출 노즐(20)에 공급할 수 있기 때문에, 보다 효과적으로 가열 에어의 온도 저하를 억제하는 것이 가능해진다.

또, 히터(32)의 배치는, 하우징(10)의 하방일 필요는 없고 상방이어도 된다. 이 경우도, 풋 프린트의 축소화의 점에서 유리한 구성이 된다. 단, 실시 형태의 구성에 의하면, 하우징(10)의 아래쪽에 배치되는 승강 구동부(18) 주위의 빈 공간을 유효하게 이용해 히터(32)를 콤팩트하게 배치할 수 있다고 하는 이점이 있다. 또한, 풋 프린트의 축소화의 요청이 없는 경우에는, 히터(32)의 배치는, 하우징(10)의 상방이나 하방일 필요는 없고, 하우징(10)의 측방 부분에 히터(32)를 설치하도록 해도 된다.

또, 실시 형태에서는, 클린 에어 공급원으로부터 공급되는 에어를 1대의 히터(32)로 가열하고 있지만, 물론, 복수대의 히터(32)를 이용해도 된다. 이 경우, 각 히터(32)를 분산해 배치하고, 각각의 히터(32)로 가열한 가열 에어를 분출 노즐(20)에 안내하도록 내부 배관(31) 등을 구성하도록 해도 된다.

또, 실시 형태에서는, 내부 배관(31)이나 에어 유로(34)는, 핫 플레이트(16)의 하방을 바로 아래 분출 노즐(20)을 따라서 횡단하도록 설치되어 있지만, 예를 들면, 핫 플레이트(16)의 하방에서 사행하도록 내부 배관(31) 등을 설치해도 된다. 이것에 의하면 내부 배관(31) 등을 통과하는 가열 에어가 핫 플레이트(16)로부터 보다 열을 받기 쉬워지고, 가열 에어의 온도 저하를 억제하는데 있어서 유효해진다.

또, 실시 형태에서는, 하우징(10)의 측벽(13) 등은 이중벽 구조로 되어 있지만, 물론, 삼중벽 이상의 다중벽 구조여도 된다(후술하는 제3, 제4 실시 형태에 대해서도 같다). 이 경우, 가장 처리실측(핫 플레이트(16)측)에 위치하는 내부 공간에 내부 배관(31) 등을 배치하는 구성으로 하면, 내부 배관(31) 등을 통과하는 가열 에어가 핫 플레이트(16)로부터의 열을 받기 쉬워지는 한편, 가열 에어로부터 외부로의 방열이 억제되기 때문에, 가열 에어의 온도 저하를 억제하는데 있어서 유효해진다. 또한, 제2 실시 형태의 경우에는, 이것과는 반대로, 측벽(13) 등을 중실벽 벽구조로 하고, 에어 유로(34)만을 벽 내부에 설치하는 구성으로 해도 된다.

또, 하우징(10)의 측벽(13) 등 중, 내부 배관(31)이나 에어 유로(34)를 사이에 두고 실내측이 되는 부분과 실외측이 되는 부분을 다른 재료로 구성하도록 해도 된다. 구체적으로는, 실내측의 재료를 실외측보다 열전도성이 높은 재료로 구성한다. 이 구성에 의하면, 상기와 같이, 내부 배관(31) 등을 통과하는 가열 에어가 핫 플레이트(16)로부터의 열이 받기 쉬워지는 한편, 가열 에어로부터 외부로의 방열이 억제되기 때문에, 가열 에어의 온도 저하를 방지하는데 있어서 보다 유효해진 다.

또, 실시 형태에서는, 분출 노즐(20)의 양단 부분으로부터 가열 에어를 도입하는 구성으로 되어 있지만, 예를 들면 상기 처리 장치(1B)의 변형예로서, 도 5에 나타낸 바와 같이, 양단 부분을 포함하는 복수 개소에서 가열 에어를 분출 노즐(20)에 공급하는 구성으로 해도 된다. 이와 같이 분출 노즐(20)의 양단 부분을 포함하는 길이 방향의 복수 개소에서 분출 노즐(20) 내에 가열 에어를 공급하는 구성에 의하면, 분출 노즐(20) 내에서, 그 길이 방향을 따르는 가열 에어의 온도 구배가 생기는 것을 억제하는데 있어서 보다 유효해진다. 반대로, 분출 노즐(20)이 비교적 짧고, 열구배가 생길 우려가 없는 경우에는, 분출 노즐(20)의 일단측으로부터만 가열 에어를 도입하는 구성으로 해도 된다.

＜제3 실시 형태＞

도 6 및 도 7은, 제3 실시 형태에 관한 처리 장치(1C)를 각각 단면도로 나타내고 있다.

제3 실시 형태에 관한 처리 장치(1C)는, 상기 분출 노즐(20) 대신에, 하우징(10)의 격벽 내에 가열 에어의 토출 수단이 일체로 장착되는 점에서 주로 제1 실시 형태와 구성이 상위하다.

즉, 상기 하우징(10)의 천정벽(14)의 내부이며, 또한 도어(15)의 근방의 부분에는, 가열 에어를 하우징(10) 내의 공간에 토출하는 토출 노즐(40)(본 발명에 관한 토출 수단에 상당한다)이 일체로 장착되어 있다. 토출 노즐(40)은, 도 8에 나타내는 바와 같이, 칸막이 벽(14a)으로 나뉨으로써 천정벽(14)의 내부에 형성되 는 중공부(41)(본 발명에 관한 도입 유로에 상당한다)와, 천정벽(14)의 하면(천정면)에 형성되어, 상기 중공부(41)와 하우징(10) 내의 공간을 연통하는 토출구(42)를 가지며, 상기 중공부(41)에 대해서 하우징(10)의 외부로부터 도입되는 가열 에어를, 상기 토출구(42)를 통해 하우징 내(10)의 공간에 토출하도록 구성되어 있다.

상기 중공부(41)는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 도어(15)를 따라서 그 폭 방향(도 7의 좌우 방향)으로 연장되는 가늘고 긴 형상으로 되어 있고, 그 길이 방향을 따라서 복수의 상기 토출구(42)가 일정한 간격으로 설치되어 있다. 이로 인해 하우징(10) 내의 공간의 폭 방향 전체에 걸쳐 가열 에어를 토출할 수 있도록 상기 토출 노즐(40)이 구성되어 있다. 또, 천정벽(14)의 측면 부분 중 상기 중공부(41)의 길이 방향 일단에 대응하는 위치에는 가열 에어의 도입구(41a)가 형성되어 있고, 이 도입구(41a)를 통해 가열 에어가 상기 중공부(41) 내에 도입되도록 구성되어 있다.

또한, 토출 노즐(40)의 상기 중공부(41)의 내부에는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 상기 도입구(41a)와 토출구(42)의 사이의 부분에, 중공부(41)의 길이 방향에 걸쳐 연장되는 단면 직사각형의 통형상체(44)가 설치되어 있다. 이 통형상체(44)에는, 각각 상기 도입구(41a)측의 측면 하부 및 당해 측면에 대향하는 상기 토출구(42)측의 측면 상부에 슬릿형상 개구부(44a, 44b)가 형성되어 있고, 도입구(41a)를 통해 중공부(41) 내에 도입되는 가열 에어를, 동일한 도면 내에 파선 화살표로 나타내도록 이 통형상체(44)의 내부를 통해 토출구(42)에 안내하도록 되어 있다. 즉, 통형체(44) 내에 가열 에어를 충전하면서 토출구(42)측에 안내함으로써, 중공 부(41) 내의 유량을 그 길이 방향으로 균일화하면서 토출구(42)측에 안내하고, 각 토출구(42)로부터의 가열 에어의 토출량을 균일화하는 구성으로 되어 있다. 또한,당 실시 형태에서는, 이 통형상체(44)가 본 발명에 관한 균일화 수단에 상당한다.

상기 토출 노즐(40)의 근방으로서 상기 천정면에는, 또한 토출구(42)로부터 토출되는 가열 에어를 천정면을 따라서 안내하는 안내판(46)이 설치되어 있다. 이 안내판(46)은, 상기 토출구(42)와 상기 도어(15)의 사이에 고정되어 있다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 안내판(46)은, 천정면으로부터 수하하고, 또한 상기 토출구(42)에 대향해 천정면과 평행하게 연장되는 안내면을 갖는 단면 역L자형(도 8에서 역L자형)의 형상을 가지며, 각 토출구(42)로부터 토출되는 가열 에어를 상기 안내면을 따라서 도어(15)와는 반대측을 향해 안내하도록 구성되어 있다.

또한, 상기 에어 공급 배관(30)은, 상기 도입구(41a)를 통해 상기 토출 노즐(40)(중공부(41))에 연통 접속되어 있고, 이로 인해 히터(32)로 가열된 상기 가열 에어가 토출 노즐(40)에 공급되도록 되어 있다.

이 제3 실시 형태에 관한 처리 장치(1C)에서는, 기판(S)이 핫 플레이트(16) 상에 재치, 혹은 근접 배치되면, 상기 토출 노즐(40)에의 가열 에어의 공급이 개시됨과 더불어, 상기 배기 노즐(24)에 의한 하우징(10) 내의 배기가 개시된다. 이로 인해 천정면을 따라서 가열 에어가 도어(15)측으로부터 그 반대측을 향해 유동하면서 배기구(22)를 통해 배기된다. 그 결과, 레지스트액의 승화물 등이 당해 과열 에어와 함께 하우징(10) 외부에 배출되고, 이로 의해 천정면 등에의 상기 승화물 등의 부착·퇴적이 방지되게 된다.

이 처리 장치(1C)에서는, 상기와 같이, 가열 에어를 하우징(10) 내에 토출하기 위한 토출 노즐(40)이 천정벽(14)의 내부에 일체로 장착되고, 천정면에는, 가열 에어를 당해 천정면을 따라서 안내하기 위한 안내판(46), 상세히는 천정면과 평행한 안내면을 갖는 상하 방향으로 편평한 역L자형의 안내판(46)이 설치될 뿐인 구성으로 되어 있다. 그 때문에, 가열 에어를 분사하기 위한 분출 노즐(20)(노즐 부재) 그 자체를 하우징 내의 공간에 배치하는 제1 및 제2 실시 형태의 구성에 비하면, 하우징(10) 내의 공간에, 기판(S)의 반입·반출 시의 장애물이 적고, 하우징(10) 내의 공간을 그 높이 방향으로 효과적으로 축소화할 수 있다. 따라서, 그만큼, 처리 장치(1C)를 그 높이 방향으로 콤팩트화할 수 있는 효과가 있다.

특히, 이 처리 장치(1C)에서는, 열처리 중의 단열성을 높이기 위해 하우징(10)의 천정벽(14) 등이 이중벽 구조로 되어 있는 점을 이용해, 천정벽(14)의 내부 공간(중공부(41))에 가열 에어를 도입하면서 이것을 천정면에 형성한 토출구(42)로부터 토출하도록 토출 노즐(40)을 구성하고 있으므로, 토출 노즐(40)을 천정벽(14) 내부에 일체로 설치하면서도 천정벽(14)의 두께를 확대시키는 일이 없다. 따라서, 합리적인 구성으로 처리 장치(1C)를 그 높이 방향으로 콤팩트화할 수 있는 이점이 있다.

또한, 이 처리 장치(1C)에서는, 길이 방향을 따라서 설치된 복수의 토출구(42)로부터 가열 에어를 토출시키지만, 상기와 같이 토출 노즐(40)(중공부(41)) 내에 통형상체(44)를 설치하여 각 토출구(42)로부터의 가열 에어의 토출량을 균일화하고 있기 때문에, 가열 에어의 토출량이 특정의 토출구(42)에 치우치는 것을 방 지할 수 있다. 따라서, 예를 들면 승화물 등의 천정면 등에의 부착·퇴적 방지 효과가 부분적으로 저하하는 결함을 유효하게 회피할 수 있는 이점도 있다.

또한, 이 처리 장치(1C)에 대해서는, 이하와 같은 구성을 채용할 수도 있다.

예를 들면, 상기 실시 형태에서는, 토출 노즐(40)(토출구(42))로부터 토출되는 가열 에어를, 천정벽(14)의 하면(천정면)에 설치한 안내판(46)에 의해 천정면을 따라서 안내하는 구성으로 되어 있지만, 예를 들면 도 9에 나타내는 바와 같이, 도어(15)의 상부에 토출구(42)가 위치하도록 토출 노즐(40)을 설치하는 한편, 도어(15)의 상단부에 천정면과 평행한 안내면(15a)을 갖는 단차부를 형성하고, 동일한 도면 내에 화살표로 나타내는 바와 같이, 토출구(42)로부터 토출되는 가열 기체를 이 안내면(15a)을 따라서 안내함으로써 가열 에어를 천정면을 따라서 유동시키는 구성으로 해도 된다. 즉, 실시 형태의 안내판(46)의 기능을 도어(15)에 갖게 하는 구성으로 해도 된다. 이 구성에 의하면, 전용의 안내판(46)이 불필요해지고, 그 만큼, 하우징(10) 내의 공간을 그 높이 방향에 의해 한층 축소화하는 것이 가능해진다.

또, 상기 실시 형태에서는, 도어(15)측으로부터 그 반대측의 측벽(13)을 향해 가열 에어를 유동시키도록 토출 노즐(40)이나 배기 노즐(24) 등이 설치되어 있지만, 가열 에어를 유동시키는 방향은, 반드시 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 실시 형태와 반대의 방향, 혹은 실시 형태의 방향과 직교하는 방향(도 7의 좌우 방향)으로 가열 에어를 유동시키도록 해도 된다. 이 경우, 예를 들면 측벽(13)의 내부에 토출 노즐(40)을 일체로 장착하는 구성으로 해도 된다. 구체적으 로는, 도 10에 나타내는 바와 같이, 측벽(13)의 내부에 토출 노즐(40)을 설치함과 더불어, 하우징(10)의 내측면에 천정벽(14)을 따라서 연장되고, 또한 하우징(10) 내를 향해 개구하는 홈부(36)를 설치하고, 이 홈부(36)의 내측 저면에 상기 토출구(42)를 설치한다. 즉, 당해 토출구(42)로부터 홈부(36)의 내면을 따라서 가열 에어를 토출시킴으로써 천정면을 따라서 가열 에어를 유동시키도록 한다. 이 구성의 경우도, 실시 형태와 같이 하우징(10) 내의 공간을 그 높이 방향으로 축소화할 수 있고, 또, 도 9의 예와 같이, 전용의 안내판(46)이 불필요해지기 때문에, 하우징(10) 내의 공간을 축소화하는데 있어서 유효해진다. 이러한 구성은 도어(15)에 대해서도 적용 가능하다. 또한, 도 10의 예에서는, 측벽(13)의 상단부에 단차부가 형성되고, 이 단차부와 천정벽(14)의 하면이 협동함으로써 하우징(10)의 내측면에 홈부(36)가 형성되어 있지만, 물론, 측벽(13) 그 자체에 홈부(36)를 설치하는 구성으로 해도 된다. 또, 동일한 도면에서는, 토출 노즐(40)에 토출량을 균일화하기 위한 통형상체(44)를 설치하고 있지 않지만, 물론, 통형상체(44)를 설치하도록 해도 된다.

또, 상기 실시 형태에서는, 토출 노즐(40)(중공부(41))의 내부에 통형상체(44)를 장착하고, 각 토출구(42)로부터 토출되는 가열 에어의 토출량을 균일화함으로써, 천정면의 폭 방향으로 균일한 가열 에어류가 형성되도록 하고 있지만, 통형상체(44)를 설치하는 대신에, 예를 들면 안내판(46)에 있어서의 가열 에어의 안내면에 홈 등을 형성하고, 혹은 토출구(42)의 크기에 차이를 갖게 하는 등 하여 천정면의 폭 방향으로 균일한 가열 에어류가 형성되도록 해도 된다.

또, 상기 실시 형태에서는, 가열 에어의 공급 유로 중 토출 노즐(40)만이 하우징(10)의 천정벽(14) 등의 격벽 내부에 설치된 구성으로 되어 있지만, 토출 노즐(40) 이외의 공급 유로에 대해서도, 제1, 제2 실시 형태와 같이 하여 하우징(10)의 격벽 내부에 설치하도록 해도 된다. 이 구성에 의하면, 가열 에어의 온도 저하를 보다 효과적으로 억제하는 것이 가능해진다. 이 경우, 또한 히터(32)를 저벽(12) 등, 하우징(10)의 격벽 내부에 배치하고, 가열 에어를 그대로 격벽 내부를 통해서 토출 노즐(40)에 공급하는 구성으로 하면, 가열 에어의 온도 저하를 보다 한층 효과적으로 억제하는 것이 가능해지고, 또한 히터(32) 등, 가열 에어의 공급계를 하우징(10) 내에 일체로 장착한 콤팩트한 장치 구성으로 되는 이점이 있다.

＜제4 실시 형태＞

도 11 및 도 12는, 제4 실시 형태에 관한 처리 장치(1D)를 각각 단면도로 나타내고 있고, 도 13은, 이 처리 장치(1D)에 적용되는 분출 노즐(50)의 구체적인 구성을 단면도로 나타내고 있다. 제4 실시 형태에 관한 처리 장치(1D)는, 내부 배관(31)을 경유하는 일 없이 에어 공급 배관(30)이 직접 분출 노즐(50)에 접속되어 있는 점, 분출 노즐(50)이 이하와 같은 구성을 갖고 있는 점에서, 주로 제1 실시 형태의 처리 장치(1A)와 구성이 상위하다.

도 13에 나타내는 바와 같이, 분출 노즐(50)은, 하우징(10)의 폭 방향으로 연장되는 가늘고 긴 형상이며, 또한 중공의 노즐 보디(51)(본 발명에 관한 노즐 본체에 상당한다)를 갖고 있다. 이 노즐 보디(51)는, 동일한 도면에 나타내는 바와 같이, 직사각형 단면을 갖는 높이 방향으로 편평한 형상으로 되고, 에어 도입 구(55)를 통해 그 내부에 도입되는 가열 에어를, 노즐 보디(51)의 선단면(동일한 도면에서 좌단면)에 형성되는 복수의 노즐구(53)(분사구)를 통해 분출시키는 구성으로 되어 있다. 각 노즐구(53)는, 노즐 보디(51)의 길이 방향으로 가늘고 긴 형상이며, 또한 동일한 방향으로 약간의 간격을 두고 일렬로 설치되어 있다. 이로 인해, 분출 노즐(50)은 소위 슬릿 노즐로 분류되는 구성을 갖고 있다.

노즐 보디(51)는, 그 길이 방향 한쪽 측의 단부 하면에 통형상의 포트부(54)를 일체로 구비하고 있다. 이 포트부(54)에는, 상기 에어 공급 배관(30)의 말단 부분이 접속, 고정되어 있고, 이것에 의해서 분출 노즐(50)에 상기 가열 에어가 도입되는 구조로 되어 있다. 또한, 상기 에어 도입구(55)는, 이 포트부(54) 말단의 개구 부분에 의해 구성되어 있다.

노즐 보디(51)는, 예를 들면 스테인리스 등, 열전도성이 낮은 금속재료로 구성되어 있고, 이것에 의해 보디 내부로부터의 방열을 억제하고, 노즐 보디(51) 내의 가열 에어의 온도 저하를 방지할 수 있도록 구성되어 있다.

노즐 보디(51)의 내부에는, 그 길이 방향으로 연장되는, 모두 직사각형 단면을 갖는 2개의 통체가 에어 분출 방향(도 13의 좌우 방향)으로 나열하여 설치되어 있다. 구체적으로는, 포트부(54)에 대응하는 위치에 제1 통형상체(56)가 설치되고, 이 제1 통형상체(56)와 상기 노즐구(53) 사이의 부분에 제2 통형상체(57)가 설치되어 있다.

제1 통형상체(56)(본 발명에 관한 열전도 촉진 부재에 상당한다)는, 노즐구(53)측의 측면 중앙부에, 길이 방향으로 연장되는 슬릿 형상의 개구부(56a)가 설 치된 것이며, 동일한 도면에 나타내는 바와 같이, 그 하면에 상기 포트부(54)의 말단이 끼워 삽입되고, 또한 노즐 보디(51)의 천정면에 대해서 이간한 상태로 노즐 보디(51)의 내측 저면에 재치되어 있다.

제1 통형상체(56)는, 노즐 보디(51)보다 고열 전도성인 재료, 예를 들면 알루미늄 등의 금속재료로 구성되어 있고, 상기 가열 에어에 의해서 용이하게 가열되는 구성으로 되어 있다. 이 제1 통형상체(56)는, 노즐 보디 내측 저면에 재치되어 있고, 이로 인해서 열팽창에 의한 왜곡 등의 발생을 회피하는 구성으로 되어 있다. 또한, 동일한 도면 내, 부호 59는, 제1 통형상체(56)의 열팽창을 허용하면서 그 변위를 규제하기 위한 상기 내측 저면에 설치되는 규제용 돌기(본 발명에 관한 규제부에 상당한다)이다.

한편, 제2 통형상체(57)는, 에어 분출 방향으로 대향하는 측면에 각각, 길이 방향으로 연장되는 슬릿 형상의 개구부(57a, 57b)가 설치된 것이다. 보다 구체적으로는, 노즐구(53)측의 측면의 하단 부분에 개구부(57a)가, 제1 통형상체(56)측의 측면의 상단 부분에 개구부(57b)가 각각 설치된 것이다. 이 제2 통형상체(57)는, 노즐 보디(51)와 동일한 재료(스테인리스 등의 열전도성이 낮은 금속재료)로 구성되어 있고, 노즐 보디(51)에 대해서 볼트 등에 의해 일체로 고정되어 있다.

즉, 이 분출 노즐(50)은, 동일한 도면 내에 파선 화살표로 나타내는 바와 같이, 에어 도입구(55)를 통해 노즐 보디(51) 내에 도입되는 가열 에어를, 우선 제1 통형상체(56) 내에 도입하여 그 내부에 충전하면서 개구부(56a)를 통해 제1 통형상체(56)의 밖으로 도출한다. 그리고, 이 가열 에어를, 또한 개구부(57a)를 통해 제 2 통형상체(57) 내에 도입하고, 이 제2 통형상체(57)의 내부에 충전하면서 개구부(57b)를 통해 당해 제2 통형상체(57)의 밖으로 도출하고, 그 후, 상기 노즐구(53)로부터 상기 하우징(10)의 내부 공간으로 분출시키도록 구성되어 있다.

이 제4 실시 형태에 관한 처리 장치(1D)에 의하면, 분출 노즐(50)이 상기와 같은 구조를 갖기 때문에, 하우징(10)의 폭 방향으로 길이가 긴 분출 노즐(50)을 이용해 가열 에어를 천정면을 따라서 분출시키면서도, 분출되는 가열 에어의 온도나 분출량이 노즐 길이 방향으로 불균일해지는 것이 유효하게 방지된다. 즉, 이 분출 노즐(50)은, 상기와 같이, 그 내부에 알루미늄 등, 고열 전도성의 재료로 이루어지는 제1 통형상체(56)가 설치되기 때문에, 가열 에어가 공급되면, 이 제1 통형상체(56)가 가열 에어에 의해 가열되어, 동일한 에어와 동일한 온도, 또는 그에 가까운 온도가 된다. 그리고, 이와 같이 가열된 제1 통형상체(56)를 따라서 순차적으로 가열 에어가 노즐 길이 방향으로 안내되는 결과, 노즐 길이 방향으로의 유동 중의 방열이나 열전도에 의한 열손실이 완화되고, 노즐 길이 방향에 있어서의 가열 에어의 온도가 균일화되게 된다. 그리고 또한, 슬릿 형상의 출입구(개구부(57a, 57b))를 갖는 제2 통형상체(57)를 가열 에어가 경유함으로써, 즉 가열 에어가 제2 통형상체(57) 내에 일단 충전됨으로써, 노즐 길이 방향에 있어서의 가열 에어의 유량이 균일화된다. 따라서, 분출 노즐(50)로부터는, 그 길이 방향에 있어서 온도 및 유량이 거의 균일한 상태로 가열 에어가 분출되게 되고, 그 결과, 양호한 가열 에어류가 형성되게 된다.

이러한 처리 장치(1D)에 의하면 하우징(10)의 천정면을 따라서, 동일한 폭 방향으로 온도 및 유량이 거의 균일한 양호한 가열 에어류를 형성할 수 있다. 따라서, 당해 가열 에어류의 온도 및 유량이 폭 방향에 있어서 불균일해지는 것에 기인한 결함, 예를 들면 기판(S)의 가열 처리의 균일성에 영향을 주는 결함을 양호하게 회피할 수 있다. 또한, 분출 노즐(50)에 대해서는, 노즐 보디(51) 전체를 스테인리스 등의 저열전도성의 금속 재료로 구성하여 외부로 방열을 방지하는 구조로 하고 있으므로, 분출 에어 온도를 노즐 길이 방향에 있어서 균일화하는 한편으로 열손실도 억제할 수 있다.

또한, 이 실시 형태의 분출 노즐(50)에서는, 본 발명에 관한 열전도 촉진 부재로서, 노즐 보디(51) 내에 제1 통형상체(56)를 설치하고 있지만, 열전도 촉진 부재는 반드시 통형상일 필요는 없다. 단, 통형상이면, 가열 에어와 열전도 촉진 부재의 접촉 면적이 커지고, 또 접촉 시간도 길어지기 때문에, 열전도 촉진 부재의 온도가 단시간에 가열 에어에 가까운 온도가 된다. 그 때문에, 가열 에어의 도입 개시 후, 빠른 시점에서 노즐 길이 방향으로 균일한 온도로 가열 에어를 분출시키는 것이 가능해 진다는 이점이 있다. 다른 열전도 촉진 부재의 구성예로서는, 예를 들면 도 14 및 도 15에 나타내는 구성이 고려된다.

도 14는, 제1 통형상체(56) 대신에, 알루미늄 등의 고열 전도성 재료로 이루어지는 섬유형상 부재(60)를 노즐 길이 방향에 걸쳐 설치한 것이다. 또, 도 15는, 노즐 길이 방향으로 연장되고, 또한 알루미늄 등의 고열 전도성 재료로 이루어지는 방해판(62a~62d)을 설치하고, 이것에 의해 제1 통형상체(56) 대신에, 에어 도입구(55)와 제2 통형상체(57)의 사이의 부분에 미로형상의 유로를 형성한 것이다. 이 러한 구성에 의하면, 가열 에어가 섬유형상 부재(60)나 방해판(62a~62d)의 부분을 통과함으로써 당해 섬유형상 부재(60) 등이 가열 에어에 가까운 온도가 되고, 이와 같이 가열된 섬유형상 부재(60) 등에 접하면서 가열 에어가 노즐 길이 방향으로 유동함으로써, 유동 중의 방열이나 열전도에 의한 열손실이 완화되고, 노즐 길이 방향에 있어서의 가열 에어의 온도가 균일화되게 된다. 따라서, 이러한 구성의 경우도, 상기 실시 형태의 분출 노즐(50)과 같은 효과를 얻을 수 있다. 또한, 도 14의 예에서는, 섬유형상 부재(60)는 노즐 보디(51)의 천정면에 접촉되어 있지만, 노즐 보디(51)에의 열전도를 억제하는데 있어서는, 실시 형태의 제1 통형상체(56)와 같이, 노즐 보디(51)의 천정면에 대해서 열전도 촉진 부재를 이간해 배치하는 것이 바람직하다.

또, 다른 예로서, 도시를 생략하지만, 제1 통형상체(56) 대신에, 노즐 보디(51)의 내부 저면 등에 발열체(히터 등)를 설치하고, 분출 노즐(50)에 공급되는 가열 에어를 적극적으로 가열함으로써, 에어 도입구(55)로부터 떨어진 위치에서의 가열 에어의 온도 저하를 억제하여, 가열 에어의 온도를 균일화하도록 해도 된다. 또, 실시 형태의 통형상체(56, 57) 대신에, 각 노즐구(53)와 에어 도입구(55)를 각각 연통하는 배관을 설치하도록 해도 된다. 이 경우, 각 배관 길이는, 대응하는 노즐구(53)와 에어 도입구(55)의 거리에 따라, 에어 도입구(55)로부터 가까울수록, 배관 길이를 길게 설정한다. 즉, 각 배관을 통해서 가열 에어를 안내하면서 각 노즐구(53)로부터 분출시킴과 더불어, 각 배관을 통해서 안내되는 가열 에어의 방열 등에 의한 열손실량을 균일화함으로써, 결과적으로, 노즐 길이 방향에 있어서의 분 출 에어의 온도를 균일화하도록 해도 된다.

또, 실시 형태의 분출 노즐(50)에서는, 가열 에어의 온도를 균일화하기 위한 제1 통형상체(56)와, 가열 에어의 유량을 균일화하기 위한 제2 통형상체(57)의 쌍방을 노즐 보디(51)에 장착하고 있지만, 예를 들면 노즐 보디(51)의 용적이 작은 등, 노즐 길이 방향으로 유량이 비교적 균일화하기 쉬운 경우에는, 제2 통형상체(57)를 생략해도 된다.

또한, 실시 형태에서는, 노즐 보디(51)의 길이 방향 일단에 설치된 포트부(54)를 통해 내부에 가열 에어를 도입하는 타입의 분출 노즐(50)에 대해 설명했지만, 물론, 노즐 보디의 길이 방향의 복수 개소에 있어서 그 내부에 가열 에어를 도입하는 것에 대해서도 적용 가능하다. 또, 이 처리 장치(1D)에 적용되어 있는 분출 노즐(50)은, 상기와 같은 기판(S)의 열처리 장치 이외에도 적용 가능하고, 또한, 기체용의 노즐 부재로서뿐만 아니라, 액체용의 노즐 부재로서도 적용 가능하다.

또한, 이 처리 장치(1D)에서는, 하우징(10)의 내부 배관 등을 경유하는 일 없이 에어 공급 배관(30)이 직접 분출 노즐(50)에 접속된 구성으로 되어 있지만, 제1, 제2 실시 형태와 같이, 가열 에어의 공급 유로를 하우징(10)의 격벽 내부에 설치하도록 해도 된다. 이 구성에 의하면, 가열 에어의 온도 저하를 보다 효과적으로 억제하는 것이 가능해진다. 이 경우, 또한 히터(32)를 저벽(12) 등, 하우징(10)의 격벽 내부에 배치하고, 가열 에어를 그대로 격벽 내부를 통해서 토출 노즐(40)에 공급하는 구성으로 하면, 가열 에어의 온도 저하를 보다 한층 효과적으로 억제하는 것이 가능해지고, 또한 히터(32) 등, 가열 에어의 공급계를 하우징(10) 내에 일체로 장착한 콤팩트한 장치 구성이 된다는 이점이 있다.

이상, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명했지만, 이것들은 본 발명에 관한 기판 열처리 장치 및 노즐 부재의 바람직한 실시 형태의 예시로서, 그 구체적인 구성은, 본 발명을 일탈하지 않는 범위에서 적당히 변경 가능한 것은 말할 필요도 없다.

도 1은 본 발명에 관한 기판 열처리 장치(제1 실시 형태)를 나타낸 단면 약도.

도 2는 기판 열처리 장치를 나타낸 도 1의 Ⅱ-Ⅱ 단면도.

도 3은 본 발명에 관한 기판 열처리 장치(제2 실시 형태)를 나타낸 단면 약도.

도 4는 기판 열처리 장치를 나타낸 도 1의 Ⅳ－Ⅳ단면도.

도 5는 제2 실시 형태에 관한 기판 열처리 장치의 변형예를 나타낸 단면도.

도 6은 본 발명에 관한 기판 열처리 장치(제3 실시 형태)를 나타낸 단면 약도.

도 7은 기판 열처리 장치를 나타낸 도 6의 Ⅶ-Ⅶ 단면도.

도 8은 하우징을 구성하는 천정벽(토출 노즐의 부분)의 요부 확대 단면도.

도 9는 제3 실시 형태에 관한 기판 열처리 장치의 변형예를 나타낸 하우징의 요부 확대 단면도.

도 10은 제3 실시 형태에 관한 기판 열처리 장치의 변형예를 나타낸 하우징의 요부 확대 단면도.

도 11은 본 발명에 관한 기판 열처리 장치(제4 실시 형태)를 나타낸 단면 약도.

도 12는 기판 열처리 장치를 나타낸 도 11의 XⅡ-XⅡ 단면도.

도 13은 분출 노즐의 구체적인 구성을 나타내는 도 12의 XⅢ-XⅢ 단면 약도.

도 14는 분출 노즐의 변형예를 나타낸 단면 약도.

도 15는 분출 노즐의 변형예를 나타낸 단면 약도.

＜도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명＞

1A, 1B, 1C, 1D 기판 열처리 장치 10 하우징

12 저벽 13 측벽

14 천정벽 15 도어

16 핫 플레이트 20 분출 노즐

24 배기 노즐 30 에어 공급 배관

31 내부 배관 32 히터

34 에어 유로 S 기판

Claims (18)

1. 기판에 가열 처리를 실시하는 기대(基臺)가 내측 저부에 설치된 하우징과, 당해 하우징의 천정벽을 따라서 가열 기체류를 형성하기 위하여, 상기 하우징 내에 외부로부터 가열 기체를 공급하는 가열 기체 공급 수단을 구비한 기판 열처리 장치에 있어서,

   상기 가열 기체 공급 수단은, 기체를 가열해 상기 가열 기체를 생성하는 가열 수단과,

   이 가열 수단으로 가열된 상기 가열 기체를 하우징 내부에 공급하는 공급 유로와,

   상기 가열 기체를 분출시키기 위한 노즐 부재를 포함하고,

   상기 공급 유로는, 적어도 일부가 상기 하우징의 격벽 내부에 설치되어 있고,

   상기 노즐 부재는, 상기 하우징의 천정부에 있어서 상기 가열 기체를 내부에 도입하는 도입구와, 둘레면의 일부에서 길이 방향으로 설치된 분출구를 갖는, 길고 중공(中空)인 노즐 본체와, 상기 노즐 본체의 내부에 그 길이 방향에 걸쳐 배치되고, 또한 상기 길이 방향으로의 열전도를 촉진하기 위하여 상기 노즐 본체보다 고열 전도성 재료로 구성되는 열전도 촉진 부재를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 열처리 장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 하우징은, 상기 격벽 내부에 공간을 갖는 다중벽 구조로 되고, 상기 공급 유로가, 상기 격벽 내부의 공간에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 열처리 장치.
3. 청구항 1 또는 2에 있어서,

   상기 공급 유로는, 상기 기대의 하방 위치를 경유하여 하우징 내부에 상기 가열 기체를 공급하도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 열처리 장치.
4. 청구항 1 또는 2에 있어서,

   상기 하우징의 격벽은, 상기 공급 유로를 형성하는 벽부 중 하우징 내측 쪽의 벽부가 하우징 외측의 벽부보다 열전도성이 높은 재료로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 열처리 장치.
5. 청구항 1 또는 2에 있어서,

   상기 가열 수단은, 상기 하우징의 하방 또는 상방 중 어느 한 쪽에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 열처리 장치.
6. 청구항 1 또는 2에 있어서,

   상기 가열 수단은, 상기 하우징의 격벽 내부에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 열처리 장치.
7. 청구항 1 또는 2에 있어서,

   상기 노즐 본체는, 그 길이 방향으로 상기 가열 기체를 분출하는 복수의 분출구를 구비하고, 상기 공급 유로는, 상기 노즐 본체의 적어도 길이 방향 양단 부분에 상기 가열 기체를 안내하도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 열처리 장치.
8. 기판에 가열 처리를 실시하는 기대(基臺)가 내측 저부에 설치된 하우징과, 당해 하우징의 천정벽을 따라서 가열 기체류를 형성하기 위하여, 상기 하우징 내에 외부로부터 가열 기체를 공급하는 가열 기체 공급 수단을 구비한 기판 열처리 장치에 있어서,

   상기 가열 기체 공급 수단은, 기체를 가열해 상기 가열 기체를 생성하는 가열 수단과,

   이 가열 수단으로 가열된 상기 가열 기체를 하우징 내부에 공급하는 공급 유로를 포함하고,

   상기 공급 유로는, 적어도 일부가 상기 하우징의 격벽 내부에 설치되어 있고, 또한, 상기 하우징 내의 공간에 상기 가열 기체를 토출하는, 상기 하우징의 상기 천정벽 또는 측벽에 일체로 장착되는 토출 수단을 포함하고, 상기 하우징은, 이 토출 수단으로부터 토출되는 가열 기체를 상기 천정벽을 따라서 유동시키는 안내 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 열처리 장치.
9. 청구항 8에 있어서,

   상기 토출 수단은, 상기 천정벽 또는 측벽의 벽면에 토출구를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 열처리 장치.
10. 청구항 9에 있어서,

    상기 토출구는, 상기 하우징의 천정 벽면에 설치되고, 상기 안내 수단은, 상기 토출구에 대향해 상기 천정벽과 평행한 안내면을 갖는 것임을 특징으로 하는 기판 열처리 장치.
11. 청구항 9에 있어서,

    상기 토출구는, 상기 하우징의 측벽에 설치되고, 상기 안내 수단은, 상기 하우징의 내측면에 형성되는 홈부로 이루어지고, 상기 토출구가, 이 홈부의 저면에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 열처리 장치.
12. 청구항 9에 있어서,

    상기 토출구가 소정 방향으로 복수 나열되어 설치되고, 상기 토출 수단은, 각 토출구에 있어서의 가열 에어의 토출량을 균등화하는 균등화 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 열처리 장치.
13. 삭제
14. 청구항 1에 있어서,

    상기 열전도 촉진 부재는, 상기 둘레면의 적소에, 길이 방향으로 개구부가 설치된 통체이며, 상기 가열 기체는, 상기 도입구를 통해 상기 통체 내에 도입되는 것을 특징으로 하는 기판 열처리 장치.
15. 청구항 14에 있어서,

    상기 열전도 촉진 부재는, 단면 다각형상을 가지며, 그 둘레면 중 일면에서 상기 노즐 본체의 내측 저면에 재치(載置)되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 열처리 장치.
16. 청구항 15에 있어서,

    상기 노즐 본체는, 상기 열전도 촉진 부재와의 사이에 간극을 가지며, 또한 당해 열전도 촉진 부재의 내측 저면을 따르는 변위를 규제하는 규제부를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 열처리 장치.
17. 청구항 14에 있어서,

    상기 열전도 촉진 부재는, 상기 노즐 본체의 내부 상면에 대해서 이간해 있는 것을 특징으로 하는 기판 열처리 장치.
18. 삭제

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