KR100992029B1 - 3차원 형상 측정 장치 - Google Patents

3차원 형상 측정 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100992029B1
KR100992029B1 KR1020060125260A KR20060125260A KR100992029B1 KR 100992029 B1 KR100992029 B1 KR 100992029B1 KR 1020060125260 A KR1020060125260 A KR 1020060125260A KR 20060125260 A KR20060125260 A KR 20060125260A KR 100992029 B1 KR100992029 B1 KR 100992029B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light
specimen
lens
microscope system
dimensional shape
Prior art date
Application number
KR1020060125260A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20080053558A (ko
Inventor
권대갑
이승우
강동균
유홍기
최영만
전병선
Original Assignee
나노스코프시스템즈 (주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 나노스코프시스템즈 (주) filed Critical 나노스코프시스템즈 (주)
Priority to KR1020060125260A priority Critical patent/KR100992029B1/ko
Publication of KR20080053558A publication Critical patent/KR20080053558A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100992029B1 publication Critical patent/KR100992029B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/2441—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
    • G01B9/02029—Combination with non-interferometric systems, i.e. for measuring the object
    • G01B9/0203—With imaging systems
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/0209—Low-coherence interferometers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002—Scanning microscopes
    • G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/18—Arrangements with more than one light path, e.g. for comparing two specimens

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

본 발명은 광학 장치들을 사용하여 미세한 시편의 형상을 3차원적으로 측정하는 3차원 형상 측정 장치에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 다양한 방법으로의 형상 측정이 가능하여 측정 작업의 정확성 및 효율을 극대화시킬 수 있는 3차원 형상 측정 장치를 제공함에 있다. 본 발명의 3차원 형상 측정 장치는, 레이저 광원(110), 상기 레이저 광원(110)으로부터의 광선을 평행 광선으로 형성시키는 시준 렌즈(120), 상기 시준 렌즈(120)를 통과하여 나온 평행 레이저 광선을 시편(1000) 방향으로 입사시키며 더불어 시편(1000)에 반사되어 나온 광선을 검출 측으로 보내는 광분할장치, 필터링수단, 집광수단 및 광검출수단을 포함하여 이루어지는 공초점 현미경 시스템(100); 광원(210), 시준 렌즈(220), 상기 시준 렌즈(220)를 통과하여 나온 평행 광선을 반사하여 시편(1000) 방향으로 입사시키며 더불어 시편(1000)에 반사되어 나온 광선을 검출 측으로 통과하여 보내는 광 분배기(230) 및 CCD(Charge Coupled Device, 280)를 포함하여 이루어지는 백색광 간섭 현미경 시스템(200); 상기 공초점 현미경 시스템(100)과 백색광 간섭 현미경 시스템(200)을 결합하는 결합수단; 및 시편(1000)과의 수직 거리를 조절하는 Z스테이지(301), 상기 공초점 현미경 시스템(100) 또는 상기 백색광 간섭 현미경 시스템(200)을 통과하여 나온 광선을 시편(1000)을 향해 집광하여 보내는 기능을 담당하는 대물렌즈(303)를 포함하여 이루어지는 제1 및 제2 렌즈 모드(310, 320)를 포함하여 이루어지는 공유 시스템(300); 을 포함하여 이루어진다. 이 때, 상기 결합수단은 이색성 거울(240) 인 것이 바람직하다.
공초점 현미경, 백색광 간섭 현미경, 반도체, 디스플레이, LCD, 측정, 검사, 3차원 형상 측정 장치

Description

3차원 형상 측정 장치 {A 3-Dimensional Shape Measuring System}
도 1은 공초점 현미경의 기본 원리도.
도 2는 백색광 간섭 현미경의 기본 원리도.
도 3은 본 발명에 의한 3차원 형상 측정 장치의 일 실시예.
도 4는 본 발명에 의한 3차원 형상 측정 장치의 다른 실시예.
**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**
1000: 시편
100: 공초점 현미경 시스템
110: 레이저 광원 111: 핀홀
120: 시준 렌즈 130: PBS(Polarizing Beam Splitter)
140: 스캐닝 시스템 150: 사분파판(Quarter-wave Plate)
160: 편광판 170: 집광 렌즈
180: 광검출기 181: 핀홀
200: 백색광 간섭 현미경 시스템
210: 광원 220: 시준 렌즈
230: 광분배기 240: 이색성 거울
250: 거울 260: 광분할기
270: 이미징 렌즈 280: CCD
300: 공유 시스템
301: Z스테이지 302: 대물렌즈 회전교환기
303: 대물렌즈 310, 320: 제1, 제2 렌즈 모드
본 발명은 3차원 형상 측정 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 광학 장치들을 사용하여 미세한 시편의 형상을 3차원적으로 측정하는 3차원 형상 측정 장치에 관한 것이다.
반도체 및 LCD(Liquid Crystal Display) 등과 같은 디스플레이 산업 현장에서는 여러 공정을 거치며 제품에 대한 다양한 측정과 검사 과정을 필요로 한다. 이러한 반도체, LCD 등은 육안으로는 관찰할 수 없는 미세한 형상으로 되어 있는 반면 매우 미세한 형상적 결함조차도 전체 제품의 질을 불량하게 만들 수 있다. 예를 들어 LCD와 같은 경우, 단 한 개의 셀만이 결함이 있어 제대로 발광하지 못한다 하여도 해당 제품 자체가 불량품이 된다. 이와 같은 문제 때문에 반도체, 디스플레이 등의 산업 현장에서 형상의 측정 및 검사 작업은 매우 정밀하면서도 효율적으로 이루어져야 하며, 또한 이러한 측정 및 검사 작업이 매우 높은 중요도를 가지고 있음은 자명한 사실이다.
이러한 측정 및 검사 작업을 위한 장치들 중 최근 주목받고 있는 장비는 크게 두 가지로, 공초점 현미경과 백색광 간섭 현미경이다. 도 1은 공초점 현미경의 기본 원리도이며, 도 2는 백색광 간섭 현미경의 기본 원리도이다. 도시된 바와 같이 공초점 현미경과 백색광 간섭 현미경의 구조에는 많은 차이가 있으며, 얻을 수 있는 기능적 효과도 서로 상이하다. 공초점 현미경은 빠른 측정 속도와 높은 수평분해능을 가지고 있는 반면 수직분해능(즉 광축 방향의 분해능)이 상대적으로 낮은 문제점을 가지고 있다. 반면 백색광 간섭 현미경의 경우, 높은 수직분해능을 가지고 있는 대신 측정 속도가 느리다는 단점이 있다. 따라서 실제 산업 현장에서는 측정 속도와 분해능에 따라서 사용되는 측정 장비가 달라지게 된다.
그런데, 반도체, LCD 등의 제조 현장에 있어서 상술한 바와 같이 측정 및 검사 작업의 중요성이 대두되면서, 이러한 측정 작업은 여러 공정을 거칠 때마다 필요하게 되며, 따라서 이러한 측정이 필요할 때마다 서로 다른 장비들을 사용하여 측정하게 됨으로써 제조 속도에 있어서 크게 손해가 발생한다는 문제점이 있을 수 있다. 뿐만 아니라, 매우 미세한 시편의 경우 한 가지 장비로 측정하고 다른 장비로 측정하게 되면 측정 위치 자체가 달라져 일관성이 없는 데이터를 얻게 되며 따 라서 측정의 신뢰성 역시 떨어지게 된다는 커다란 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 두 가지 측정 기술을 융합함으로써 종래 수준의 측정을 각각 수행할 수 있음은 물론, 두 개의 다른 측정원리를 이용한 동시 측정이 가능한 3차원 형상 측정 장치를 제공함에 있다. 또한 본 발명의 다른 목적은, 다양한 방법으로의 형상 측정이 가능하여 측정 작업의 정확성 및 효율을 극대화시킬 수 있는 3차원 형상 측정 장치를 제공함에 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 3차원 형상 측정 장치는, 레이저 광원(110), 상기 레이저 광원(110)으로부터의 광선을 평행 광선으로 형성시키는 시준 렌즈(120), 상기 시준 렌즈(120)를 통과하여 나온 평행 레이저 광선을 시편(1000) 방향으로 입사시키며 더불어 시편(1000)에 반사되어 나온 광선을 검출 측으로 보내는 광분할장치, 필터링수단, 집광수단 및 광검출수단을 포함하여 이루어지는 공초점 현미경 시스템(100); 광원(210), 시준 렌즈(220), 상기 시준 렌즈(220)를 통과하여 나온 평행 광선을 반사하여 시편(1000) 방향으로 입사시키며 더불어 시편(1000)에 반사되어 나온 광선을 검출 측으로 통과하여 보내는 광 분배기(230) 및 CCD(Charge Coupled Device, 280)를 포함하여 이루어지는 백색광 간섭 현미경 시스템(200); 상기 공초점 현미경 시스템(100)과 백색광 간섭 현미경 시스템(200)을 결합하는 결합수단; 및 시편(1000)과의 수직 거리를 조절하는 Z스테이지 (301), 상기 공초점 현미경 시스템(100) 또는 상기 백색광 간섭 현미경 시스템(200)을 통과하여 나온 광선을 시편(1000)을 향해 집광하여 보내는 기능을 담당하는 대물렌즈(303)를 포함하여 이루어지는 제1 및 제2 렌즈 모드(310, 320)를 포함하여 이루어지는 공유 시스템(300); 을 포함하여 이루어진다. 이 때, 상기 결합수단은 이색성 거울(240)인 것이 바람직하다.
또한, 상기 제1 렌즈 모드(310)는 상기 대물렌즈(303)로만 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또는, 상기 제2 렌즈 모드(320)는 상기 대물렌즈(303), 상기 대물렌즈(303)의 시편(1000) 방향 전면에 위치하는 거울(250), 상기 거울(250)의 시편(1000) 방향 전면에 위치하며 광선을 분배하는 광분할기(260)로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
더불어, 상기 공유 시스템(300)은 상기 Z스테이지(301)와 연결되어 구비되며 렌즈 모드를 전환하는 대물렌즈 회전교환기(302)를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 이 때, 상기 대물렌즈 회전교환기(302)는 회전식으로 상기 제1 렌즈 모드(310)과 상기 제2 렌즈 모드(320)를 전환하는 것이 바람직하다.
이하, 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 3차원 형상 측정 장치를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.
본 발명에 의한 3차원 형상 측정 장치는, 공초점 현미경 시스템 백색광 간섭 현미경 시스템에서 공통적으로 사용되는 시스템을 공유함으로써 하나의 시스템에서 두 가지의 측정이 동시에 이루어지도록 한다. 이와 같이 공통적인 광학계를 이용함으로써, 시편을 재정렬할 필요 없이 동일한 위치에 대한 관찰 및 측정이 가능하기 때문에, 상술한 바와 같이 동일한 위치로의 재정렬이 어렵다는 문제에 의해 발생되는 일관성 없는 데이터 및 데이터의 신뢰성 하락과 같은 치명적인 문제점들이 일시에 해소되게 된다.
도 3은 본 발명에 의한 3차원 형상 측정 장치의 일 실시예이며, 도 4는 본 발명에 의한 3차원 형상 측정 장치의 다른 실시예이다. 도시된 바와 같이 본 발명에 의한 3차원 형상 측정 장치는, 도 1에 도시된 공초점 현미경 시스템과 도 2에 도시된 백색광 간섭 시스템에서 공통적으로 사용되는 부분을 공유하도록 되어 있다.
먼저, 공초점 현미경 시스템(100) 부분은, 핀홀(111)을 통해 시편(1000)을 향하여 레이저 광선을 입사시키는 레이저 광원(110), 상기 핀홀(111)을 통해 나온 레이저 광선을 평행 광선으로 형성시키는 시준 렌즈(120), 광분할장치, 필터링수단, 집광수단 및 광검출수단을 포함하여 이루어진다. 이 때 상기 광분할장치는 상기 시준 렌즈(120)를 통과하여 나온 평행 레이저 광선을 시편(1000) 방향으로 입사시키며 더불어 시편(1000)에 반사되어 나온 광선을 검출 측으로 반사하여 보내는 PBS(Polarizing Beam Splitter, 130)인 것이 바람직하다. 또한, 상기 필터링수단은, 상기 PBS(130)를 통과하여 나온 평행 레이저 광선을 스캔하는 스캐닝 시스템 (140), 상기 스캐닝 시스템(140)을 통과하여 나온 평행 레이저 광선의 선편광을 원편광으로 전환하는 사분파판(quarter-wave plate, 150), 시편(1000)에 반사된 후 상기 PBS(130)에서 반사되어 검출 측을 향하여 나오는 광선의 특정 위상만을 통과시키는 편광판(160)을 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 상기 집광수단은 상기 편광판(160)을 통과하여 나온 광선을 한 곳으로 집중시키는 집광 렌즈(170)인 것이 바람직하다. 또한, 상기 광검출수단은 상기 집광 렌즈(170)에 의해 집중된 광선을 핀홀(181)을 통해 받아들여 검출하는 광 검출기(180)인 것이 바람직하다.
또한, 백색광 간섭 현미경 시스템(200)은, 광원(210), 상기 광원(210)으로부터 나온 광선을 평행 광선으로 형성시키는 시준 렌즈(220), 상기 시준 렌즈(220)를 통과하여 나온 평행 광선을 반사하여 시편(1000) 방향으로 입사시키며 더불어 시편(1000)에 반사되어 나온 광선을 검출 측으로 통과하여 보내는 광 분배기(230) 및 시편(1000)에 반사된 후 상기 광 분배기(230)를 통과하여 검출 측을 향하여 나오는 광선을 집중시켜 상(image)을 형성하는 이미징 렌즈(270), 상기 이미징 렌즈(270)에 의해 집중된 광선을 받아들여 전기적 신호로 전환하는 CCD(Charge Coupled Device, 280)를 포함하여 이루어진다.
또한, 결합수단에 의해 상기 공초점 현미경 시스템(100)과 상기 백색광 간섭 현미경 시스템(200)을 서로 결합된다. 이 때 상기 결합수단으로는 선택적으로 광선을 통과시키거나 반사시키는 성질을 가진 이색성 거울(240)이 사용되는 것이 바람직하며, 본 실시예에서는 결합수단으로서 이색성 거울(240)이 사용되는 것으로 도 3 및 도 4를 도시하였다. 공초점 현미경 또는 백색광 간섭 현미경 단독의 시스템에서라면 상기 이색성 거울(240)을 필요로 하지 않으나, 본 발명에서는 두 가지 시스템을 하나로 결합하여야 하며 또한 동시에 시편(1000)에 양쪽 시스템의 광원으로부터의 광선을 집중시켜야 할 수 있어야 하기 때문에, 방향에 따라 선택적으로 광선을 통과시키거나 또는 반사시키는 이색성 거울(240)을 결합수단으로 사용함으로써 이러한 목적을 달성할 수 있게 된다.
이 때, 상기 공초점 현미경 시스템(100)과 백색광 간섭 현미경 시스템(200) 모두에서 시편(1000) 쪽, 즉 대물부에서는 초점을 맞추기 위하여 시편(1000)과의 수직 거리를 조절하는 Z스테이지(301), 상기 Z스테이지(301)와 연결되어 구비되며 렌즈 모드를 전환하는 대물렌즈 회전교환기(302), 상기 공초점 현미경 시스템(100)의 사분파판(150) 또는 상기 백색광 간섭 현미경 시스템(200)의 이색성 거울(240)을 통과하여 나온 광선을 시편(1000)을 향해 집광하여 보내는 대물렌즈(303)를 필요로 하기 때문에, 상기 Z스테이지(301), 대물렌즈 회전교환기(302), 대물렌즈(303)를 공유한다.
물론 이 경우 대물렌즈 회전교환기(302)는 반드시 필요하지는 않으나, 하기에 서술될 제1 렌즈 모드(310) 및 제2 렌즈 모드(320)를 신속하게 전환하기 위해서는 대물렌즈 회전교환기(302)를 더 구비하는 것이 바람직하다.
도 3에 도시되어 있는 일 실시예에서는, 공초점 현미경 시스템(100)에서와 마찬가지로 대물렌즈(303)만이 구비되어 있는 경우를 도시하고 있다. 이와 같이 될 경우, 공초점 영상과 일반 CCD 영상을 동시에 얻거나 또는 각각 따로 얻을 수 있게 된다. 본 발명에서, 이와 같이 대물렌즈(303)만 구비시키는 경우를 제1 렌즈 모드(310)로 칭한다.
도 4에 도시되어 있는 다른 실시예에서는, 대물렌즈(303)와 더불어 백색광 간섭 현미경 시스템(200)에서 필요로 하는 거울(250) 및 광분할기(260)를 더 포함한다. 본 발명에서 이러한 경우를 제2 렌즈 모드(320)라고 칭하며, 보다 상세히 제2 렌즈 모드(320)를 설명하자면, 제2 렌즈 모드(320)는 상기 대물렌즈(303), 상기 대물렌즈(303)의 시편(1000) 방향 전면에 위치하는 거울(250), 상기 거울(250)의 시편(1000) 방향 전면에 위치하며 광선을 분배하는 광분할기(260)로 이루어진다. 제2 렌즈 모드(320)에서는, 공초점 간섭 현미경 영상과 백색광 간섭 현미경 영상을 동시에 얻거나 또는 역시 각각 따로 얻을 수 있게 된다.
또한 본 발명에서, 도 3에 도시되어 있는 바와 같은 제1 렌즈 모드(310)와 도 4에 도시되어 있는 바와 같은 제2 렌즈 모드(320)는, 각각의 구성이 독립적으로 형성되며 대물렌즈 회전교환기(302)를 사용하여 회전식으로 전환할 수 있도록 구성된다.
본 발명에서, 이와 같이 제1 및 제2 렌즈 모드(310, 320)와, 공통적으로 사용되는 Z스테이지(301), 대물렌즈 회전교환기(302), 대물렌즈(303)을 통틀어 공유 시스템(300)이라고 칭한다. 이와 같이 공유 시스템(300)을 구성함으로써, 공초점 현미경 시스템(100)에서 얻을 수 있는 높은 수평분해능을 가진 영상과, 백색광 간 섭 시스템(200)에서 얻을 수 있는 높은 수직분해능을 가진 영상을 동시에 얻을 수 있다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.
이상에서와 같이 본 발명에 의하면, 본 발명에 의한 측정 장치만 있으면 다양한 방법으로의 형상 측정이 모두 가능하기 때문에, 시편의 재정렬을 필요로 하지 않아 측정 작업의 효율을 극대화시킬 수 있는 커다란 효과가 있다. 또한, 본 발명에 의한 측정 장치는 다양한 측정 방법을 사용 가능하기 때문에, 사용자 관점에서 볼 때 다양한 측정 장치를 구비할 필요 없이 본 발명에 의한 측정 장치 단일 개만 구비하면 되므로, 사용자에게 있어 커다란 경제적 이득을 제공하는 효과가 있다. 더불어, 본 발명에 의한 측정 장치는 다양한 시스템에서 사용되는 여러 가지 광학 장치들 중 공통되는 부분을 공유하도록 설계되어 있어 측정 장치의 컴팩트화 및 공간 절약에 큰 이득을 얻을 수 있는 효과가 있다.

Claims (6)

  1. 레이저 광원(110), 상기 레이저 광원(110)으로부터의 광선을 평행 광선으로 형성시키는 시준 렌즈(120), 상기 시준 렌즈(120)를 통과하여 나온 평행 레이저 광선을 시편(1000) 방향으로 입사시키며 더불어 시편(1000)에 반사되어 나온 광선을 검출 측으로 보내는 광분할장치, 필터링수단, 집광수단 및 광검출수단을 포함하여 이루어지는 공초점 현미경 시스템(100);
    광원(210), 시준 렌즈(220), 상기 시준 렌즈(220)를 통과하여 나온 평행 광선을 반사하여 시편(1000) 방향으로 입사시키며 더불어 시편(1000)에 반사되어 나온 광선을 검출 측으로 통과하여 보내는 광 분배기(230) 및 CCD(Charge Coupled Device, 280)를 포함하여 이루어지는 백색광 간섭 현미경 시스템(200);
    상기 공초점 현미경 시스템(100)과 백색광 간섭 현미경 시스템(200)을 결합하는 결합수단; 및
    시편(1000)과의 수직 거리를 조절하는 Z스테이지(301), 상기 공초점 현미경 시스템(100) 또는 상기 백색광 간섭 현미경 시스템(200)을 통과하여 나온 광선을 시편(1000)을 향해 집광하여 보내는 기능을 담당하는 대물렌즈(303)를 포함하여 이루어지는 제1 및 제2 렌즈 모드(310, 320)를 포함하여 이루어지는 공유 시스템(300);
    을 포함하여 이루어지되,
    상기 제2 렌즈 모드(320)는 상기 대물렌즈(303), 상기 대물렌즈(303)의 시편(1000) 방향 전면에 위치하는 거울(250), 상기 거울(250)의 시편(1000) 방향 전면에 위치하며 광선을 분배하는 광분할기(260)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 결합수단은
    이색성 거울(240)인 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정 장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 제1 렌즈 모드(310)는
    상기 대물렌즈(303)로만 이루어지는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정 장치.
  4. 삭제
  5. 제 1항 내지 제 3항 중 선택되는 어느 한 항에 있어서, 상기 공유 시스템(300)은
    상기 Z스테이지(301)와 연결되어 구비되며 렌즈 모드를 전환하는 대물렌즈 회전교환기(302)를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정 장치.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 대물렌즈 회전교환기(302)는
    회전식으로 상기 제1 렌즈 모드(310)과 상기 제2 렌즈 모드(320)를 전환하는 것을 특징으로 하는 3차원 형상 측정 장치.
KR1020060125260A 2006-12-11 2006-12-11 3차원 형상 측정 장치 KR100992029B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060125260A KR100992029B1 (ko) 2006-12-11 2006-12-11 3차원 형상 측정 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060125260A KR100992029B1 (ko) 2006-12-11 2006-12-11 3차원 형상 측정 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080053558A KR20080053558A (ko) 2008-06-16
KR100992029B1 true KR100992029B1 (ko) 2010-11-04

Family

ID=39800773

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060125260A KR100992029B1 (ko) 2006-12-11 2006-12-11 3차원 형상 측정 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100992029B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101108554B1 (ko) * 2009-04-30 2012-01-30 하나기술(주) 진주 감별 장치 및 방법
KR101911352B1 (ko) * 2017-06-09 2018-10-24 재단법인 오송첨단의료산업진흥재단 다중 형광 검출 장치

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100939538B1 (ko) * 2007-12-14 2010-02-03 (주) 인텍플러스 입체 형상 측정 장치
KR101112596B1 (ko) * 2009-03-17 2012-02-16 선문대학교 산학협력단 광원 증폭 모듈
KR101132642B1 (ko) * 2010-02-12 2012-04-02 연세대학교 산학협력단 광학식 복합진단 측정 장치 및 방법
KR101032434B1 (ko) * 2011-03-18 2011-05-03 나노스코프시스템즈 (주) 리니어 터렛 스캐너
WO2012161362A1 (ko) * 2011-05-26 2012-11-29 한국전기안전공사 레이저를 이용한 중전기기의 3차원 진동 측정 장치 및 방법
KR101458890B1 (ko) * 2013-02-21 2014-11-07 (주)에이앤아이 3차원 형상 측정장치
KR102361669B1 (ko) * 2019-10-23 2022-02-11 세종대학교 산학협력단 플라잉 오버 빔 패턴 스캐닝 홀로그램 현미경 장치
KR102566501B1 (ko) * 2020-06-05 2023-08-11 고려대학교 산학협력단 간섭-산란 현미경

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000305021A (ja) 1999-04-21 2000-11-02 Keyence Corp 共焦点顕微鏡
JP2001059712A (ja) * 1999-08-24 2001-03-06 Hitachi Ltd 立体形状検出方法及びその装置並びに共焦点検出装置
JP2004021004A (ja) 2002-06-18 2004-01-22 Keyence Corp カラー顕微鏡

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000305021A (ja) 1999-04-21 2000-11-02 Keyence Corp 共焦点顕微鏡
JP2001059712A (ja) * 1999-08-24 2001-03-06 Hitachi Ltd 立体形状検出方法及びその装置並びに共焦点検出装置
JP2004021004A (ja) 2002-06-18 2004-01-22 Keyence Corp カラー顕微鏡

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101108554B1 (ko) * 2009-04-30 2012-01-30 하나기술(주) 진주 감별 장치 및 방법
KR101911352B1 (ko) * 2017-06-09 2018-10-24 재단법인 오송첨단의료산업진흥재단 다중 형광 검출 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20080053558A (ko) 2008-06-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100992029B1 (ko) 3차원 형상 측정 장치
JP2752003B2 (ja) 走査機能を備えた検査干渉計
US7821647B2 (en) Apparatus and method for measuring surface topography of an object
TW579436B (en) Interferometer, beam-combining unit and manipulator system
US7355719B2 (en) Interferometer for measuring perpendicular translations
TWI545309B (zh) 光學異向性參數測量裝置、測量方法及測量用程式
US7133139B2 (en) Longitudinal differential interferometric confocal microscopy
KR20050119672A (ko) 간섭계 내에서 물체에 의해 산란/반사 또는 투과된 직교편광 빔의 필드의 결합 측정을 위한 장치 및 방법
US20040201853A1 (en) Transverse differential interferometric confocal microscopy
US7561279B2 (en) Scanning simultaneous phase-shifting interferometer
JP2000275027A (ja) スリット共焦点顕微鏡とそれを用いた表面形状計測装置
KR20050114611A (ko) 간섭계에서 대상에 의해 반사/산란되고 투과되는 빔의 공액직교 필드의 공동 측정 장치 및 방법
US8547557B2 (en) Apparatus for determining a height map of a surface through both interferometric and non-interferometric measurements
CN110095085A (zh) 一种实时相移共光路干涉显微装置和方法
KR101424665B1 (ko) 거리 측정 장치
CN103307969A (zh) 白色光干涉测量装置
CN110235044B (zh) 用于提高激光扫描显微镜的分辨率的设备
KR20140085325A (ko) 결함 검사 장치 및 결함 검사 방법
US20100085637A1 (en) Differential interference contrast microscope
US11156715B1 (en) System and method for coherent LIDAR with high collection efficiency
RU2649045C2 (ru) Многоканальный конфокальный микроскоп
CN102426406B (zh) 一种同时测量调整光学镜片两面中心偏差的光学系统
KR101458890B1 (ko) 3차원 형상 측정장치
JP4884764B2 (ja) レーザ顕微鏡
JP2950004B2 (ja) 共焦点レーザ顕微鏡

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131029

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141016

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151030

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171024

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181015

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191029

Year of fee payment: 10