KR100988594B1 - The jig for electroplating - Google Patents

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Abstract

본 발명은 도금용 지그에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피도금물의 두께나 높이에 관계없이 피도금물과 링형 플레이트를 상호 안정적으로 통전시킴으로써 외부로부터 공급되는 전기가 피도금물에 안정적으로 공급될 수 있는 전극 핀을 구비한 도금용 지그에 관한 것이다.The present invention relates to a jig for plating, and more particularly, the electricity supplied from the outside can be stably supplied to the plated object by stably energizing the plated object and the ring-shaped plate regardless of the thickness or height of the plated object. The plating jig provided with the electrode pin which can be used.

또한 본 발명은 상기 도금용 지그에 구비되는 전극 핀에 관한 것이다.The present invention also relates to an electrode pin provided in the plating jig.

도금, 전극 핀, 피도금물, 링형 플레이트, 탄성 변형 Plating, Electrode Pin, Plated Material, Ring Plate, Elastic Deformation

Description

도금용 지그{THE JIG FOR ELECTROPLATING}Plating Jig {THE JIG FOR ELECTROPLATING}

본 발명은 도금용 지그에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피도금물의 두께나 높이에 관계없이 피도금물과 링형 플레이트를 상호 안정적으로 통전시킴으로써 외부로부터 공급되는 전기가 피도금물에 안정적으로 공급될 수 있는 전극 핀을 구비한 도금용 지그에 관한 것이다.The present invention relates to a jig for plating, and more particularly, the electricity supplied from the outside can be stably supplied to the plated object by stably energizing the plated object and the ring-shaped plate regardless of the thickness or height of the plated object. The plating jig provided with the electrode pin which can be used.

또한 본 발명은 상기 도금용 지그에 구비되는 전극 핀에 관한 것이다.The present invention also relates to an electrode pin provided in the plating jig.

일반적으로, 반도체 소자를 제조하기 위한 공정에서 도금공정은 증착 특성이 우수한 기술로서 널리 이용되고 있다.In general, the plating process in the process for manufacturing a semiconductor device is widely used as a technique having excellent deposition characteristics.

도금이라 하면 처리대상물인 피도금물 표면에 금속 또는 합금의 얇은 층을 입히는 조작을 뜻하는 것으로서, 도금은 그 방법이나 목적에 따라 다양하게 구분될 수 있지만, 특히 중심이 되는 방법은 전기도금 방식이 널리 이용되고 있다. Plating refers to an operation of coating a thin layer of a metal or alloy on the surface of a target object to be treated. Plating may be classified in various ways depending on the method and purpose thereof, but in particular, the central method is electroplating. It is widely used.

전기도금의 원리를 간단히 설명하면, 도금하고자 피도금물을 음극으로 하고, 전착(電着)시키고자 하는 금속을 양극으로 하여, 전착시키고자 하는 금속이온을 함유한 전해액 속에 이들을 넣고 두 전극을 통전(通電)하여 전해함으로써 원하는 금 속이온이 피도금물의 표면에 증착되는 현상을 이용하는 것이다. Briefly explaining the principle of electroplating, the electrode to be plated is used as the cathode, the metal to be electrodeposited is used as the anode, and these electrodes are placed in an electrolyte solution containing metal ions to be electrodeposited. This is to utilize the phenomenon that the desired metal ions are deposited on the surface of the plated material by electrolysis.

이러한 전기도금방법은 현재 ULSI(Ultra Large Scale Integration) 등의 고밀도로 집적화된 반도체 소자(semiconductor device)의 제조 및 이의 패키징(packaging) 공정이나, 마이크로시스템(microsystem) 등의 제조에 빠질 수 없는 중요한 공정으로 인식되고 있다.Such an electroplating method is an important process that cannot be indispensable in the manufacture and packaging process of semiconductor devices such as ultra large scale integration (ULSI) and packaging thereof, or the manufacturing of microsystems. It is recognized.

일반적으로 도금 장비는 전해액이 수용되는 도금액조와 이 도금액조에 피도금물을 위치시키기 위한 도금용 지그를 구비한다.In general, the plating equipment includes a plating solution tank in which an electrolyte solution is accommodated, and a plating jig for placing a plated object in the plating solution tank.

도금용 지그에서는 내부로 도금액이 침투하지 못하도록 하는 기술과 외부로부터 공급되는 전기가 피도금물에 안정적으로 공급되도록 하는 기술이 중요한 문제로 대두된다.In the plating jig, a technique of preventing the plating liquid from penetrating into the inside and a technique of stably supplying the electricity supplied from the outside to the plated material become an important problem.

본 발명은 피도금물의 두께나 높이에 관계없이 피도금물과 링형 플레이트를 상호 안정적으로 통전시킴으로써 외부로부터 공급되는 전기가 피도금물에 안정적으로 공급되어 균일한 도금막을 형성시킬 수 있는 전극 핀을 구비한 도금용 지그를 제공하고자 한다.The present invention provides an electrode pin capable of stably supplying the plated object and the ring-shaped plate irrespective of the thickness or height of the plated object to supply electricity from the outside to the plated object to form a uniform plating film. To provide a plating jig provided.

본 발명은 상부 절연부재와 하부 절연부재를 스크류 형식으로 체결함으로써 조립이 용이한 도금용 지그를 제공하고자 한다.The present invention is to provide a plating jig for easy assembly by fastening the upper insulating member and the lower insulating member in a screw form.

본 발명은 피도금물의 두께나 높이에 관계없이 피도금물과 링형 플레이트를 상호 안정적으로 통전시킴으로써 외부로부터 공급되는 전기를 피도금물에 안정적으로 공급시킬 수 있는 전극 핀을 제공하고자 한다.The present invention is to provide an electrode pin capable of stably supplying electricity from the outside to the plated object by stably energizing the plated object and the ring-shaped plate regardless of the thickness or height of the plated object.

본 발명은 하부 절연부재(100); 상기 하부 절연부재(100)에 체결되고, 상기 하부 절연부재(100)와의 사이에 끼워지는 피도금물(600)의 상면이 노출되는 개방구(810)가 형성되는 상부 절연부재(800); 내주면이 상기 피도금물(600)의 외주면을 감싸도록 상기 하부 절연부재(100)와 상기 상부 절연부재(800) 사이에 끼워지는 링형 플레이트(400); 핀 몸체(910)와, 상기 핀 몸체로(910)부터 하방으로 연장되어 상기 피도금물(600)에 탄성적으로 접촉되는 제1 핀 아암(920)과, 상기 핀 몸체(910)로부터 하방으로 연장되어 상기 링형 플레이트(400)에 탄성적으로 접촉되는 제2 핀 아암(930)을 구비하며 상기 상부 절연부재(800)에 연결 설치되는 전극 핀(900); 을 포함하는 것을 특징으로 하는 도금용 지그에 관한 것이다The present invention is a lower insulating member 100; An upper insulating member 800 which is fastened to the lower insulating member 100 and has an opening 810 which exposes an upper surface of the plated object 600 which is inserted between the lower insulating member 100 and exposed; A ring-shaped plate 400 inserted between the lower insulating member 100 and the upper insulating member 800 so that an inner circumferential surface surrounds the outer circumferential surface of the plated object 600; A pin body 910, a first pin arm 920 extending downward from the pin body 910 and elastically contacting the plated object 600, and downward from the pin body 910. An electrode pin 900 having a second pin arm 930 extending to elastically contact the ring-shaped plate 400 and connected to the upper insulating member 800; It relates to a plating jig comprising a

본 발명에 있어서, 상기 제1 핀 아암(920) 및 제2 핀 아암(930)은 상기 피도금물(600) 및 링형 플레이트(400)에 접촉시 각각 상기 핀 몸체(910)의 외측으로 탄성 변형되도록, 하방으로 가면서 상기 핀 몸체(910)의 외측으로 경사지게 형성되는 아암 경사부(921, 931)를 포함할 수 있는데, 상기 각각의 아암 경사부(921, 931) 하단에는 아래로 볼록한 원호 형태의 아암 접촉부(922, 932)가 형성될 수 있다.In the present invention, the first fin arm 920 and the second fin arm 930 are elastically deformed outwardly of the fin body 910 when contacted with the plated material 600 and the ring-shaped plate 400, respectively. If possible, it may include an arm inclined portion 921, 931 which is formed to be inclined outwardly of the pin body 910, the lower end of each arm inclined portion (921, 931) of the arc-shaped convex down Arm contacts 922 and 932 may be formed.

본 발명에 있어서, 상기 제1 핀 아암(920) 및 제2 핀 아암(930)은 상기 피도금물(600) 및 링형 플레이트(400)에 접촉시 각각 상하방향으로 탄성 변형되도록, 상하방향을 따라 지그 재그 형태로 형성되는 주름부(923, 933)를 포함할 수 있는데, 상기 각각의 주름부(923, 933) 하단에는 평평한 평면부(924, 934)가 형성될 수 있다.In the present invention, the first pin arm 920 and the second pin arm 930 are elastically deformed in the up and down direction, respectively, in contact with the plated material 600 and the ring-shaped plate 400, along the vertical direction, A pleated portion 923, 933 formed in a zigzag shape may be included, and flat flat portions 924 and 934 may be formed at the bottom of each of the pleated portions 923 and 933.

본 발명에 있어서, 상기 제1 핀 아암(920) 및 제2 핀 아암(930)은 각각 링 형상일 수 있다.In the present invention, the first fin arm 920 and the second fin arm 930 may each have a ring shape.

본 발명에 있어서, 상기 핀 몸체(910)는 링 형상이고, 상기 제1 핀 아암(920)은 상기 핀 몸체(910)의 내주면에 연결되고, 상기 제2 핀 아암(930)은 상기 핀 몸체(910)의 외주면에 연결될 수 있다.In the present invention, the pin body 910 is a ring shape, the first pin arm 920 is connected to the inner circumferential surface of the pin body 910, the second pin arm 930 is the pin body ( It may be connected to the outer peripheral surface of the 910.

본 발명에 있어서, 상기 핀 몸체(910)는 상기 상부 절연부재(800)에 고정 연결될 수 있다.In the present invention, the pin body 910 may be fixedly connected to the upper insulating member 800.

본 발명은 상기 하부 절연부재(100) 상부에 안착되는 원형의 헤드(200); 상기 헤드(200)의 상부에 안착되며, 상기 링형 플레이트(400)가 끼워지는 홈부가 상 부에 형성되는 원형의 베이스 플레이트(300); 상기 링형 플레이트(400) 상부에 삽입되며 상기 피도금물(600)이 안착되도록 상기 피도금물(600)에 대응되는 형상을 가지는 더미 플레이트(500); 상기 베이스 플레이트(300)의 상면 둘레와 상기 상부 절연부재(800) 사이를 밀봉하는 제1 실링부재(710); 상기 피도금물(600)의 상면 둘레와 상기 상부 절연부재(800) 사이를 밀봉하는 제2 실링부재(720); 를 포함하되, 상기 상부 절연부재(800) 하부에는 내측 방향으로 돌출되며 상부면이 일방향으로 상향 경사진 다수의 돌출턱(820)이 형성되고, 상기 하부 절연부재(100)에는 상기 돌출턱(820)의 경사 방향과 반대 방향으로 상향 경사지고 회전을 통해 상기 돌출턱(820)에 결합되는 다수의 체결턱(120)이 둘레에 형성될 수 있다.The present invention is a circular head 200 seated on the lower insulating member 100; A circular base plate 300 mounted on an upper portion of the head 200 and having a groove portion into which the ring-shaped plate 400 is fitted; A dummy plate 500 inserted into an upper portion of the ring-shaped plate 400 and having a shape corresponding to the plated object 600 so that the plated object 600 is seated thereon; A first sealing member 710 for sealing between an upper circumference of the base plate 300 and the upper insulating member 800; A second sealing member 720 for sealing between an upper circumference of the plated object 600 and the upper insulating member 800; It includes, but a plurality of protruding jaw 820 protruding in the inner direction and the top surface inclined upward in one direction is formed below the upper insulating member 800, the lower insulating member 100 in the protruding jaw 820 A plurality of fastening jaw 120 is inclined upward in the direction opposite to the inclined direction of the coupling and coupled to the protruding jaw 820 through rotation.

한편, 본 발명은 하부 절연부재(120)와 상부 절연부재(800) 사이에 끼워지는 피도금물(600)과 상기 하부 절연부재(800)와 상기 상부 절연부재(800) 사이에 끼워져 내주면이 상기 피도금물(600)의 외주면을 감싸는 링형 플레이트(400)를 상호 통전시키는 전극 핀(900)으로서, 핀 몸체(910)와, 상기 핀 몸체(910)로부터 하방으로 연장되어 상기 피도금물(600)에 탄성적으로 접촉되는 제1 핀 아암(920)과, 상기 핀 몸체(910)로부터 하방으로 연장되어 상기 링형 플레이트(400)에 탄성적으로 접촉되는 제2 핀 아암(930)을 구비하는 것을 특징으로 하는 도금용 지그의 전극 핀에 관한 것이다.On the other hand, the present invention is inserted between the lower insulating member 120 and the upper insulating member 800 and the inner peripheral surface is sandwiched between the lower insulating member 800 and the lower insulating member 800 and the upper insulating member 800. An electrode pin 900 for energizing the ring-shaped plate 400 surrounding the outer circumferential surface of the plated object 600, the pin body 910 and extending downward from the pin body 910 to the plated object 600 A first pin arm 920 elastically contacted with a second pin arm 920 and a second pin arm 930 extending downwardly from the pin body 910 and elastically contacted with the ring-shaped plate 400. The present invention relates to an electrode pin of a plating jig characterized by the above-mentioned.

본 발명은 링형 플레이트의 링형 돌출부 상면과 피도금물의 상면이 동일 평면상에 위치하지 않은 경우에도 전극 핀이 탄성 변형됨으로써 링형 플레이트와 피 도금물을 안정적으로 통전되어 균일한 도금막을 형성시킬 수 있는 장점이 있다.According to the present invention, even when the upper surface of the ring-shaped protrusion of the ring-shaped plate and the upper surface of the plated object are not located on the same plane, the electrode pins are elastically deformed, thereby stably energizing the ring-shaped plate and the plated object to form a uniform plating film. There is an advantage.

본 발명은 스크류 타입으로 회전하는 하부 절연부재를 상부 절연부재에 조립함으로써, 그 조립이 용이한 장점이 있다.The present invention has the advantage that the assembly is easy by assembling the lower insulating member rotating in the screw type to the upper insulating member.

이하, 도면을 참조하며 본 발명의 일실시예에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

실시예1Example 1

실시예1은 본 발명에 따른 도금용 지그에 관한 것으로, 도금액이 저장된 도금조 내에 피도금물을 담지하고 피도금물을 통전시켜 피도금물에 도금을 수행하는 도금용 지그에 관한 것이다.Embodiment 1 relates to a plating jig according to the present invention, and to a plating jig for carrying a plated object by carrying a plated object in a plating bath in which a plating solution is stored and energizing the plated object.

도1은 실시예1의 저면 분해 사시도를, 도2는 실시예1의 주요부분의 종단면도를, 도3은 도2의 A부 확대도를, 도4는 도1의 상부 절연부재의 단면도를, 도5는 도1의 전극 핀의 사시도를, 도6은 도5의 전극 핀의 작동도를, 도7 내지 도10은 실시예1에 장착되는 다른 형태의 전극핀의 사시도를 나타낸다.1 is a bottom exploded perspective view of Embodiment 1, FIG. 2 is a longitudinal sectional view of a main part of Embodiment 1, FIG. 3 is an enlarged view of portion A of FIG. 2, and FIG. 4 is a sectional view of the upper insulating member of FIG. 5 shows a perspective view of the electrode pin of FIG. 1, FIG. 6 shows an operation of the electrode pin of FIG. 5, and FIGS. 7 to 10 show a perspective view of another type of electrode pin mounted in the first embodiment.

도1을 참조하면 실시예1은 하부 절연부재(100), 헤드(200), 베이스 플레이트(300), 링형 플레이트(400), 더미 플레이트(500), 피도금물(600), 제1 실링부재(710), 제2 실링부재(720), 상부 절연부재(800) 및 전극 핀(900)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the first embodiment includes a lower insulating member 100, a head 200, a base plate 300, a ring-shaped plate 400, a dummy plate 500, a plated object 600, and a first sealing member. 710, a second sealing member 720, an upper insulating member 800, and an electrode pin 900.

헤드(200)는 하부에 통전을 위한 통전부(도면 미도시)와 연결되는데, 실시예1에서는 통전 샤프트(도면 미도시)가 관통 삽입되어 상기 통전 샤프트(도면 미도시)의 회전에 의해 피도금물을 회전시키거나 도금조 내에서의 피도금물의 각도 조절이 가능하도록 구성하였다.The head 200 is connected to an electricity supply portion (not shown) for energization in the lower portion, in the first embodiment, an electricity supply shaft (not shown) is inserted through and is driven by rotation of the electricity supply shaft (not shown). It was configured to rotate the forbidden or to adjust the angle of the plated object in the plating bath.

도1 및 도2를 참조하면 헤드(200)는 원판형의 헤드 몸체(210)를 가진다. 헤드 몸체(210)의 중앙에는 몸체 관통홀(도2 참조)이 형성된다. 헤드 몸체(210)의 하부중앙에는 삽입관(220)이 형성된다. 삽입관(220)에는 상기 몸체 관통홀(도2 참조)에 연통하는 삽입관 관통홀(121)이 형성되어 상기 통전 샤프트(도면 미도시)가 삽입된다. 도2를 참조하면 삽입관 관통홀(121)의 상부는 상기 몸체 관통홀(도2 참조)에 대응하는 크기를 갖도록 형성된다.1 and 2, the head 200 has a disc shaped head body 210. A body through hole (see FIG. 2) is formed in the center of the head body 210. Insertion tube 220 is formed in the lower center of the head body 210. The insertion tube 220 is formed with an insertion tube through hole 121 that communicates with the body through hole (see FIG. 2) to insert the energizing shaft (not shown). Referring to FIG. 2, an upper portion of the insertion tube through hole 121 is formed to have a size corresponding to the body through hole (see FIG. 2).

도1 내지 도3을 참조하면 베이스 플레이트(300)는 헤드(200)의 상부에 안착되며 상기 통전 샤프트(도면 미도시)와의 접촉을 통해 통전된다. 베이스 플레이트(300)는 원판체(310), 링형 돌출부(320) 및 삽입 돌출부(330)를 가진다. 링형 돌출부(320)는 원판체(310) 상면 가장자리를 따라 원형상으로 세워진다. 원판체(310) 상면에 링형 돌출부(320)가 형성됨으로써, 베이스 플레이트(300)에 링형 플레이트(400), 더미 플레이트(500) 및 피도금물(600)이 적층되어 순차적으로 안착되는 홈부가 형성된다. 삽입 돌출부(330)는 원판체(310) 하부에 돌출 형성되어 헤드 몸체(110)의 중앙에 형성된 몸체 관통홀(도2 참조) 및 삽입관 관통홀(121)의 상부에 삽입된다. 도2를 참조하면 원판체(310)를 관통하는 볼트(311)가 헤드 몸체(110)에 체결됨으로써 베이스 플레이트(300)와 헤드(200)가 일체화된다.1 to 3, the base plate 300 is mounted on the top of the head 200 and is energized through contact with the energizing shaft (not shown). The base plate 300 has a disc body 310, a ring-shaped protrusion 320, and an insertion protrusion 330. The ring protrusion 320 is erected in a circular shape along the top edge of the disc 310. As the ring-shaped protrusion 320 is formed on the upper surface of the disc 310, the ring-shaped plate 400, the dummy plate 500, and the plated object 600 are stacked on the base plate 300, thereby forming a groove part which is sequentially seated. do. The insertion protrusion 330 is formed to protrude below the disc 310 and is inserted into the body through hole (see FIG. 2) and the insertion tube through hole 121 formed in the center of the head body 110. Referring to FIG. 2, the base plate 300 and the head 200 are integrated by fastening the bolt 311 penetrating the disc body 310 to the head body 110.

도1 내지 도3을 참조하면 링형 플레이트(400)는 상기 베이스 플레이트(300)의 홈부에 안착되어 베이스 플레이트(300)와의 접촉을 통해 통전된다. 링형 플레이트(400)의 중앙에는 관통홀(410)이 형성되고, 상면에는 링형 돌출부(420)가 가장자리를 따라 원형상을 이루며 세워진다.1 to 3, the ring-shaped plate 400 is seated in a groove of the base plate 300 and is energized through contact with the base plate 300. A through hole 410 is formed in the center of the ring-shaped plate 400, and a ring-shaped protrusion 420 is erected in a circular shape along an edge on an upper surface thereof.

도1 내지 도3을 참조하면 더미 플레이트(500)는 링형 플레이트(400)의 상면 중 링형 돌출부 안쪽에 안착되는 더미 플레이트 몸체(510)를 가진다. 더미 플레이트 몸체(510)의 상면은 피도금물(600)이 안착되도록 피도금물(600)의 하면에 대응되는 형상을 가진다. 더미 플레이트 몸체(510) 하면에는 링형 플레이트(400)의 관통홀(410)에 삽입되는 더미 플레이트 돌출부(520)가 형성된다.1 to 3, the dummy plate 500 has a dummy plate body 510 seated inside the ring-shaped protrusion of the upper surface of the ring-shaped plate 400. The upper surface of the dummy plate body 510 has a shape corresponding to the lower surface of the plated object 600 so that the plated object 600 is seated. The dummy plate body 510 has a dummy plate protrusion 520 inserted into the through hole 410 of the ring-shaped plate 400.

도1 내지 도3을 참조하면 더미 플레이트 몸체(510) 상면에는 피도금물(600)이 안착되는데, 피도금물(600)은 반도체 웨이퍼, 유리 기판, 세라믹 기판, 프린트 기판 또는 알루미늄 기판 등일 수 있다.1 to 3, the plated object 600 is seated on an upper surface of the dummy plate body 510. The plated object 600 may be a semiconductor wafer, a glass substrate, a ceramic substrate, a printed substrate, or an aluminum substrate. .

도1 및 도2를 참조하면 상부 절연부재(800)는 피도금물(600), 더미 플레이트(500), 링형 플레이트(400) 및 베이스 플레이트(300)를 내부에 수용하며 헤드(200)와 결합된다. 따라서 상부 절연부재(800)는 이러한 구성 요소들을 수용하기 위한 공간부를 갖는 원형으로 이루어진다. 한편, 상부 절연부재(800)에는 피도금물(600)의 상면이 노출되도록 개방구(810)가 형성된다.1 and 2, the upper insulating member 800 accommodates the plated object 600, the dummy plate 500, the ring-shaped plate 400, and the base plate 300 therein, and is coupled to the head 200. do. Therefore, the upper insulating member 800 is formed in a circular shape having a space for accommodating these components. On the other hand, the opening 810 is formed in the upper insulating member 800 so that the upper surface of the plated object 600 is exposed.

도1을 참조하면 상부 절연부재(800)의 하부에는 내측 방향으로 돌출되며 상부면이 일방향으로 상향 경사진 다수의 돌출턱(820)이 형성된다. Referring to FIG. 1, a plurality of protruding jaws 820 protruding in an inner direction and inclined upward in one direction are formed at a lower portion of the upper insulating member 800.

도1을 참조하면 하부 절연부재(100)는 링형상의 체결판(110)과 체결판(111) 둘레에 형성된 다수의 체결턱(120)을 포함한다. 체결턱(120)은 상부 절연부재(800)의 돌출턱(820) 경사 방향과 반대 방향으로 상향 경사지게 형성되어 회전을 통해 돌출턱(820)과 결합됨으로써 도금용 지그의 조립이 이루어지도록 한다. Referring to FIG. 1, the lower insulating member 100 includes a ring-shaped fastening plate 110 and a plurality of fastening jaw 120 formed around the fastening plate 111. The fastening jaw 120 is formed to be inclined upwardly in the opposite direction to the inclined direction of the protruding jaw 820 of the upper insulating member 800 to be combined with the protruding jaw 820 through rotation to assemble the plating jig.

도1을 참조하면 하부 절연부재(100)에는 체결판(110)을 회전시켜 조립하거나 분해를 할 수 있도록 그 하부에 손잡이(130)가 구비된다. 이때, 손잡이(130)는 하부 절연부재(100)를 상부 절연부재(800)에 조립할 때 균일한 하중을 가하여 조립이 이루어지도록 적어도 둘 이상으로 구비됨이 바람직하다.Referring to Figure 1, the lower insulating member 100 is provided with a handle 130 on the lower portion to be assembled or disassembled by rotating the fastening plate 110. At this time, the handle 130 is preferably provided with at least two so as to be assembled by applying a uniform load when assembling the lower insulating member 100 to the upper insulating member 800.

도4를 참조하면 상부 절연부재(800)의 상부에는 내측에 원주 형상의 제1 실링홈(821)과 제2 실링홈(822)이 형성된다. 제2 실링홈(822)은 개방부(810)에 인접하여 형성되고, 제1 실링홈(821)은 제2 실링홈(822)의 외측 둘레에 형성된다. Referring to FIG. 4, a first sealing groove 821 and a second sealing groove 822 having a circumferential shape are formed on an upper side of the upper insulating member 800. The second sealing groove 822 is formed adjacent to the opening 810, and the first sealing groove 821 is formed around the outer side of the second sealing groove 822.

도1 내지 도3을 참조하면 제1 실링홈(821)에는 제1 실링부재(710)가 삽입되어 베이스 플레이트(300)의 링형 돌출부(320) 상면 둘레와 상부 절연부재(800) 내부 사이를 사이를 밀봉한다.1 to 3, a first sealing member 710 is inserted into the first sealing groove 821, and is disposed between the upper circumference of the upper surface of the ring-shaped protrusion 320 of the base plate 300 and the inside of the upper insulating member 800. Seal it.

도1 내지 도3을 참조하면 제2 실링홈(822)에는 제2 실링부재(720)가 삽입되어 상부 절연부재(800)와 피도금물(600)의 상면 둘레 사이를 밀봉한다. 따라서, 실시예1은 제1 실링부재(710)와 제2 실링부재(720)가 상부 절연부재(800)의 내부에 삽입 장착됨으로써 별도로 외부에서 실링을 하지 않아도 되므로 도금용 지그의 사이즈를 소형화할 수 있고, 나아가 도금용 지그가 담지되는 도금조의 사이즈를 감소시킬 수 있게 된다.1 to 3, a second sealing member 720 is inserted into the second sealing groove 822 to seal between the upper insulating member 800 and the upper circumference of the plated object 600. Therefore, in the first embodiment, since the first sealing member 710 and the second sealing member 720 are inserted into the upper insulating member 800 and do not need to be separately sealed, the size of the plating jig can be reduced. It is possible to further reduce the size of the plating bath on which the plating jig is carried.

또한, 실시예1은 상부 절연부재(800)의 실링홈(821, 822)에 실링부재(710, 720)가 삽입되어 있으므로, 상부 절연부재(800)와 베이스 플레이트(300)의 분해가 쉽다.In addition, in Embodiment 1, since the sealing members 710 and 720 are inserted into the sealing grooves 821 and 822 of the upper insulating member 800, the upper insulating member 800 and the base plate 300 are easily disassembled.

아울러, 상부 절연부재(800)의 돌출턱(820)의 전후에는 하부 절연부재(100)의 체결턱(120)이 삽입되는 홈이 형성되어, 체결턱(120)을 상기 홈에 끼운 후에 회 전시킴으로써, 체결턱(120)과 돌출턱(820)을 스크류 결합하여 도금용 지그의 조립을 완성할 수 있다.In addition, before and after the protruding jaw 820 of the upper insulating member 800, a groove into which the fastening jaw 120 of the lower insulating member 100 is inserted is formed. By doing so, the fastening jaw 120 and the protrusion jaw 820 can be screwed together to complete the assembly of the plating jig.

도3 및 도4를 참조하면 전극 핀(900)은 상부 절연부재(800)의 내측 상부에 보울트(830) 체결됨으로써 상부 절연부재(800)에 고정 설치된다. 전극 핀(900)은 상부 절연부재(800)의 내측 상부 중 제2 실링홈(822)의 바깥쪽에 장착된다.3 and 4, the electrode pin 900 is fixed to the upper insulating member 800 by fastening the bolt 830 to the inner upper portion of the upper insulating member 800. The electrode pin 900 is mounted on the outer side of the second sealing groove 822 of the inner upper portion of the upper insulating member 800.

도3 및 도5를 참조하면 전극 핀(900)은 상부 절연부재(800)에 보울트(830) 체결되도록, 보울트 체결공(도면부호 미부여)이 형성되는 핀 몸체(910)를 가진다.3 and 5, the electrode pin 900 has a pin body 910 in which a bolt fastening hole (not shown) is formed to fasten the bolt 830 to the upper insulating member 800.

도3 및 도5를 참조하면 핀 몸체(910)의 일측단에는 핀 몸체(910)의 하방으로 연장되어 피도금물(600)에 탄성적으로 접촉되는 제1 핀 아암(920)이 형성되고, 핀 몸체(910)의 타측단에는 핀 몸체(910)의 하방으로 연장되어 링형 플레이트(400)에 탄성적으로 접촉되는 제2 핀 아암(930)이 형성된다. 제2 핀 아암(930)은 링형 플레이트(400) 중 링형 돌출부(320)에 접촉한다.Referring to FIGS. 3 and 5, a first pin arm 920 is formed at one end of the pin body 910 to extend downwardly of the pin body 910 to elastically contact the plated object 600. The other end of the pin body 910 is formed with a second pin arm 930 extending downward of the pin body 910 to elastically contact the ring-shaped plate 400. The second pin arm 930 contacts the ring-shaped protrusion 320 of the ring-shaped plate 400.

도5를 참조하면 제1 핀 아암(920) 및 제2 핀 아암(930)은 피도금물(600) 및 링형 플레이트(400)에 접촉시 각각 핀 몸체(910)의 외측으로 탄성 변형되도록, 하방으로 가면서 핀 몸체(910)의 외측으로 경사지게 형성되는 아암 경사부(921, 931)를 포함한다. 각각의 아암 경사부(921, 931) 하단에는 아래로 볼록한 원호 형태의 아암 접촉부(922, 932)가 연장 형성된다.Referring to FIG. 5, the first fin arm 920 and the second fin arm 930 are downwardly elastically deformed to the outside of the fin body 910 upon contact with the plated material 600 and the ring-shaped plate 400, respectively. It includes the arm inclined portion 921, 931 is formed to be inclined to the outside of the pin body 910. At the bottom of each of the arm inclined portions 921 and 931 are formed arc contact portions 922 and 932 which are convex downwardly.

도6에는 링형 플레이트(400)의 링형 돌출부(420) 상면이 피도금물(600)의 상면 보다 약간 아래에 위치한 경우의 전극 핀(900)의 작동도가 도시되어 있다.FIG. 6 shows the operation of the electrode pin 900 when the upper surface of the ring-shaped protrusion 420 of the ring-shaped plate 400 is located slightly below the upper surface of the plated object 600.

도6을 참조하면 제1 핀 아암(920)의 아암 접촉부(922)와 피도금물(600) 상면 사이의 거리가 제2 핀 아암(930)과 링형 돌출부(420) 상면 사이의 거리 보다 가까우므로, 제1 핀 아암(920)의 아암 경사부(921)가 피도금물(600)과 접촉하며 핀 몸체(910) 외측으로 탄성 변형됨으로써 제2 핀 아암(930)의 아암 경사부(931)가 피도금물(600)과 안정적으로 접촉하게 된다. 이때, 제1 핀 아암(920)의 아암 접촉부(922)가 원호 형태이므로 제1 핀 아암(920)의 아암 경사부(921)의 탄성 변형시 제1 핀 아암(920)의 아암 접촉부(922)가 피도금물(600) 상면에서 부드럽게 슬라이딩된다.Referring to FIG. 6, the distance between the arm contact portion 922 of the first fin arm 920 and the upper surface of the plated object 600 is closer than the distance between the upper surface of the second fin arm 930 and the ring-shaped protrusion 420. The arm inclined portion 921 of the first pin arm 920 contacts the plated object 600 and is elastically deformed to the outside of the pin body 910 so that the arm inclined portion 931 of the second pin arm 930 is formed. It is in stable contact with the plated object 600. At this time, since the arm contact portion 922 of the first pin arm 920 has an arc shape, the arm contact portion 922 of the first pin arm 920 when the arm inclination portion 921 of the first pin arm 920 is elastically deformed. Is smoothly slid on the upper surface of the plated object 600.

도7을 참조하면 제1 핀 아암(920)은 피도금물(600)에 접촉시 상하방향으로 탄성 변형되도록 상하방향을 따라 지그 재그 형태로 형성되는 주름부(923)를 포함할 수 있다. 마찬가지로 제2 핀 아암(930)은 링형 플레이트(400)에 접촉시 상하방향으로 탄성 변형되도록 상하방향을 따라 지그 재그 형태로 형성되는 주름부(933)를 포함할 수 있다. 각각의 주름부(923, 933) 하단에는 평평한 평면부(924, 934)가 형성된다. 따라서, 링형 플레이트(400)의 링형 돌출부(420) 상면과 피도금물(600)의 상면이 동일 평면상에 위치하지 않은 경우에도 주름부(923, 933)가 상하방향으로 탄성 변형됨에 따라 전극 핀(900)이 링형 플레이트(400)와 피도금물(600)을 안정적으로 통전시킬 수 있게 된다. 한편, 주름부(923, 933) 하단에 평면부(924, 934)가 형성되어 있으므로, 전극 핀(900)과 링형 플레이트(400) 및 피도금물(600)이 안정적으로 면접촉하게 되어 전기적 접촉성이 좋은 장점이 있다.Referring to FIG. 7, the first pin arm 920 may include a wrinkle part 923 formed in a zigzag shape along the up and down direction so as to be elastically deformed in the up and down direction when contacting the plated object 600. Similarly, the second pin arm 930 may include a wrinkle part 933 formed in a zigzag shape along the up and down direction to elastically deform up and down when contacting the ring-shaped plate 400. Flat bottom portions 924 and 934 are formed at the bottom of each of the corrugations 923 and 933. Therefore, even when the upper surface of the ring-shaped protrusion 420 and the upper surface of the plated object 600 of the ring-shaped plate 400 is not located on the same plane, the electrode pins 933 and 933 are elastically deformed in the vertical direction. 900 can stably energize the ring-shaped plate 400 and the plated object 600. On the other hand, since the planar portions 924 and 934 are formed at the lower ends of the corrugations 923 and 933, the electrode pins 900, the ring-shaped plate 400, and the plated object 600 are stably in surface contact, thereby making electrical contact. Sex has a good advantage.

도8을 참조하면 제1 핀 아암(920) 피도금물(600)에 접촉시 상하방향으로 탄성 변형되도록 링 형태로 형성될 수 있다. 마찬가지로, 제2 핀 아암(930)은 링형 플레이트(400)에 접촉시 상하방향으로 탄성 변형되도록 링 형태로 형성될 수 있다. 도8에는 설명의 편의를 위하여 제1 핀 아암(920) 및 제2 핀 아암(930)을 형성하는 링이 핀 몸체(910)와 동일한 수직 평면상에 위치하는 것으로 도시되어 있으나, 제1 핀 아암(920) 및 제2 핀 아암(930)을 형성하는 링은 각각 핀 몸체(910)와 직교하는 수직 평면상에 위치할 수 있다. 즉, 제1 핀 아암(920) 및 제2 핀 아암(930)을 형성하는 링은 도8에 도시된 형태로부터 90도 회전한 상태로 장착될 수 있다.Referring to FIG. 8, the first pin arm 920 may be formed in a ring shape so as to be elastically deformed in the vertical direction when contacted with the plated object 600. Similarly, the second pin arm 930 may be formed in a ring shape so as to elastically deform in the up and down direction when contacting the ring-shaped plate 400. In FIG. 8, for convenience of description, the ring forming the first fin arm 920 and the second fin arm 930 is shown to be located on the same vertical plane as the fin body 910, but the first fin arm is shown. Rings forming 920 and second pin arm 930 may each be located on a vertical plane orthogonal to the pin body 910. That is, the ring forming the first pin arm 920 and the second pin arm 930 may be mounted in a state rotated 90 degrees from the shape shown in FIG.

도9 및 도10을 참조하면 핀 몸체(910)는 링 형상일 수 있다. 이 경우 제1 핀 아암(920)은 핀 몸체(910)의 내주면에 연결되고, 제2 핀 아암(930)은 핀 몸체(910)의 외주면에 연결된다. 9 and 10, the pin body 910 may have a ring shape. In this case, the first pin arm 920 is connected to the inner circumferential surface of the pin body 910, and the second pin arm 930 is connected to the outer circumferential surface of the pin body 910.

도9 및 도10에는 제1 핀 아암(920) 및 제2 핀 아암(930)이 상기한 도5 및 도7에 도시된 형태인 것으로 도시되어 있으나, 링 형태의 핀 몸체(910)에는 도8에 도시된 형태의 제1 핀 아암(920) 및 제2 핀 아암(930)이 형성될 수 있다.9 and 10 show the first pin arm 920 and the second pin arm 930 as shown in FIGS. 5 and 7 described above, but the ring-shaped pin body 910 is shown in FIG. 8. A first fin arm 920 and a second fin arm 930 of the type shown in FIG. 3 may be formed.

도9 및 도10을 참조하면 제1 핀 아암(920) 및 제2 핀 아암(930)이 핀 몸체(910)를 따라 원주상에 다수개 설치되므로 전극 핀(900)과 링형 플레이트(400) 및 피도금물(600) 간의 접촉으로 인한 압력 분배가 균일하게 되어 전기적 접촉이 안정적으로 되고, 도금 패턴 크기가 작을 때 높은 밀도의 전류를 공급할 수 있는 장점이 있다.9 and 10, since a plurality of first pin arms 920 and second pin arms 930 are circumferentially installed along the pin body 910, the electrode pin 900 and the ring-shaped plate 400 and The pressure distribution due to the contact between the plated material 600 is uniform, the electrical contact is stable, there is an advantage that can supply a high density current when the plating pattern size is small.

실시예1은 링형 플레이트(400)의 링형 돌출부(420) 상면과 피도금물(600)의 상면이 동일 평면상에 위치하지 않은 경우에도 전극 핀(900)이 링형 플레이트(400)와 피도금물(600)을 안정적으로 통전시킬 수 있는 장점이 있다. 즉, 피도금물(600) 이 달라짐에 따라 피도금물(600)의 높이가 달라질 수 있는데, 이 경우 제1 핀 아암(920) 또는 제2 핀 아암(930)이 탄성 변형됨으로써 피도금물(600)의 높이와 무관하게 안정적인 전기 접촉이 이루어진다. According to the first embodiment, even when the upper surface of the ring-shaped protrusion 420 and the upper surface of the plated object 600 of the ring-shaped plate 400 are not located on the same plane, the electrode pin 900 is formed of the ring-shaped plate 400 and the plated object. There is an advantage that can be energized (600) stably. That is, the height of the plated object 600 may vary according to the change of the plated object 600. In this case, the first pin arm 920 or the second pin arm 930 may be elastically deformed so that the plated object ( Regardless of the height of 600), a stable electrical contact is made.

실시예1은 스크류 타입으로 회전하는 하부 절연부재(100)를 상부 절연부재(800)에 조립함으로써, 각각의 실링부재(710, 720)에 가해지는 하중을 동일하게 할 수 있는 장점이 있다.Embodiment 1 has an advantage that the load applied to each of the sealing members 710 and 720 can be equalized by assembling the lower insulating member 100 rotating in the screw type to the upper insulating member 800.

실시예2Example 2

실시예2는 실시예1에서 설명한 도금용 지그의 전극핀(900)에 관한 것이다.Embodiment 2 relates to the electrode pin 900 of the plating jig described in Embodiment 1.

상기 전극핀(900)에 대한 설명은 실시예1에서 설명한 바에 준한다.Description of the electrode pin 900 is as described in the first embodiment.

도1은 실시예1의 저면 분해 사시도.1 is an exploded bottom perspective view of Embodiment 1;

도2는 실시예1의 주요부분의 종단면도.Fig. 2 is a longitudinal sectional view of the main part of the first embodiment;

도3은 도2의 A부 확대도.3 is an enlarged view of a portion A of FIG. 2;

도4는 도1의 상부 절연부재의 단면도.4 is a cross-sectional view of the upper insulating member of FIG.

도5는 도1의 전극 핀의 사시도.5 is a perspective view of the electrode pin of FIG.

도6은 도5의 전극 핀의 작동도.Figure 6 is an operation of the electrode pin of Figure 5;

도7 내지 도10은 실시예1에 장착되는 다른 형태의 전극 핀의 사시도.7 to 10 are perspective views of different types of electrode pins mounted in Embodiment 1;

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

100:하부 절연부재 120:체결턱 100: lower insulation member 120: fastening jaw

200:헤드 300:베이스 플레이트 200: head 300: base plate

400:링형 플레이트 500:더미 플레이트400: ring type plate 500: pile plate

600:피도금물600: plated object

710:제1 실링부재 720:제2 실링부재710: first sealing member 720: second sealing member

800:상부 절연부재 810:개방구800: upper insulation member 810: opening

820:돌출턱820: protrusion

900:전극 핀 910:핀 몸체900: electrode pin 910: pin body

920:제1 핀 아암 921:아암 경사부920: first pin arm 921: arm inclined portion

922:아암 접촉부 923:주름부922: arm contact portion 923: wrinkle portion

924:평면부924: flat part

930:제2 핀 아암 931:아암 경사부930: second pin arm 931: arm inclined portion

932:아암 접촉부 933:주름부932: arm contact 933: wrinkle

934:평면부934: flat part

Claims (10)

삭제delete 하부 절연부재(100);Lower insulating member 100; 상기 하부 절연부재(100)에 체결되고, 상기 하부 절연부재(100)와의 사이에 끼워지는 피도금물(600)의 상면이 노출되는 개방구(810)가 형성되는 상부 절연부재(800);An upper insulating member 800 which is fastened to the lower insulating member 100 and has an opening 810 which exposes an upper surface of the plated object 600 which is inserted between the lower insulating member 100 and exposed; 내주면이 상기 피도금물(600)의 외주면을 감싸도록 상기 하부 절연부재(100)와 상기 상부 절연부재(800) 사이에 끼워지는 링형 플레이트(400);A ring-shaped plate 400 inserted between the lower insulating member 100 and the upper insulating member 800 so that an inner circumferential surface surrounds the outer circumferential surface of the plated object 600; 핀 몸체(910)와, 상기 핀 몸체로(910)부터 하방으로 연장되어 상기 피도금물(600)에 탄성적으로 접촉되는 제1 핀 아암(920)과, 상기 핀 몸체(910)로부터 하방으로 연장되어 상기 링형 플레이트(400)에 탄성적으로 접촉되는 제2 핀 아암(930)을 구비하며 상기 상부 절연부재(800)에 연결 설치되는 전극 핀(900);을 포함하여 구성되고,A pin body 910, a first pin arm 920 extending downward from the pin body 910 and elastically contacting the plated object 600, and downward from the pin body 910. And a second pin arm 930 extending and elastically contacting the ring-shaped plate 400 and connected to the upper insulating member 800. 상기 제1 핀 아암(920) 및 제2 핀 아암(930)은 상기 피도금물(600) 및 링형 플레이트(400)에 접촉시 각각 상기 핀 몸체(910)의 외측으로 탄성 변형되도록, 하방으로 가면서 상기 핀 몸체(910)의 외측으로 경사지게 형성되는 아암 경사부(921, 931)를 포함하는 것을 특징으로 하는 도금용 지그.The first pin arm 920 and the second pin arm 930 are moved downwardly so as to be elastically deformed to the outside of the pin body 910 upon contact with the plated material 600 and the ring-shaped plate 400, respectively. Plating jig comprising an arm inclined portion (921, 931) formed to be inclined to the outside of the pin body (910). 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 각각의 아암 경사부(921, 931) 하단에는 아래로 볼록한 원호 형태의 아암 접촉부(922, 932)가 형성되는 것을 특징으로 하는 도금용 지그.Plating jig, characterized in that the lower end of the arm inclined portion (921, 931) is formed in the lower convex arc contact portion (922, 932). 하부 절연부재(100);Lower insulating member 100; 상기 하부 절연부재(100)에 체결되고, 상기 하부 절연부재(100)와의 사이에 끼워지는 피도금물(600)의 상면이 노출되는 개방구(810)가 형성되는 상부 절연부재(800);An upper insulating member 800 which is fastened to the lower insulating member 100 and has an opening 810 which exposes an upper surface of the plated object 600 which is inserted between the lower insulating member 100 and exposed; 내주면이 상기 피도금물(600)의 외주면을 감싸도록 상기 하부 절연부재(100)와 상기 상부 절연부재(800) 사이에 끼워지는 링형 플레이트(400);A ring-shaped plate 400 inserted between the lower insulating member 100 and the upper insulating member 800 so that an inner circumferential surface surrounds the outer circumferential surface of the plated object 600; 핀 몸체(910)와, 상기 핀 몸체로(910)부터 하방으로 연장되어 상기 피도금물(600)에 탄성적으로 접촉되는 제1 핀 아암(920)과, 상기 핀 몸체(910)로부터 하방으로 연장되어 상기 링형 플레이트(400)에 탄성적으로 접촉되는 제2 핀 아암(930)을 구비하며 상기 상부 절연부재(800)에 연결 설치되는 전극 핀(900);을 포함하여 구성되고,A pin body 910, a first pin arm 920 extending downward from the pin body 910 and elastically contacting the plated object 600, and downward from the pin body 910. And a second pin arm 930 extending and elastically contacting the ring-shaped plate 400 and connected to the upper insulating member 800. 상기 제1 핀 아암(920) 및 제2 핀 아암(930)은 상기 피도금물(600) 및 링형 플레이트(400)에 접촉시 각각 상하방향으로 탄성 변형되도록, 상하방향을 따라 지그 재그 형태로 형성되는 주름부(923, 933)를 포함하는 것을 특징으로 하는 도금용 지그.The first fin arm 920 and the second fin arm 930 are formed in a zigzag shape along the vertical direction so that the first fin arm 920 and the second fin arm 930 are elastically deformed in the vertical direction when the plated object 600 and the ring-shaped plate 400 contact each other. Plating jig characterized in that it comprises wrinkles (923, 933). 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 각각의 주름부(923, 933) 하단에는 평평한 평면부(924, 934)가 형성되는 것을 특징으로 하는 도금용 지그.Plating jig, characterized in that the flat portion (924, 934) is formed at the bottom of each of the corrugations (923, 933). 하부 절연부재(100);Lower insulating member 100; 상기 하부 절연부재(100)에 체결되고, 상기 하부 절연부재(100)와의 사이에 끼워지는 피도금물(600)의 상면이 노출되는 개방구(810)가 형성되는 상부 절연부재(800);An upper insulating member 800 which is fastened to the lower insulating member 100 and has an opening 810 which exposes an upper surface of the plated object 600 which is inserted between the lower insulating member 100 and exposed; 내주면이 상기 피도금물(600)의 외주면을 감싸도록 상기 하부 절연부재(100)와 상기 상부 절연부재(800) 사이에 끼워지는 링형 플레이트(400);A ring-shaped plate 400 inserted between the lower insulating member 100 and the upper insulating member 800 so that an inner circumferential surface surrounds the outer circumferential surface of the plated object 600; 핀 몸체(910)와, 상기 핀 몸체로(910)부터 하방으로 연장되어 상기 피도금물(600)에 탄성적으로 접촉되는 제1 핀 아암(920)과, 상기 핀 몸체(910)로부터 하방으로 연장되어 상기 링형 플레이트(400)에 탄성적으로 접촉되는 제2 핀 아암(930)을 구비하며 상기 상부 절연부재(800)에 연결 설치되는 전극 핀(900);을 포함하여 구성되고, A pin body 910, a first pin arm 920 extending downward from the pin body 910 and elastically contacting the plated object 600, and downward from the pin body 910. And a second pin arm 930 extending and elastically contacting the ring-shaped plate 400 and connected to the upper insulating member 800. 상기 제1 핀 아암(920) 및 제2 핀 아암(930)은 각각 링 형상인 것을 특징으로 하는 도금용 지그.The first pin arm (920) and the second pin arm (930) are jig for plating, characterized in that each of the ring shape. 하부 절연부재(100);Lower insulating member 100; 상기 하부 절연부재(100)에 체결되고, 상기 하부 절연부재(100)와의 사이에 끼워지는 피도금물(600)의 상면이 노출되는 개방구(810)가 형성되는 상부 절연부재(800);An upper insulating member 800 which is fastened to the lower insulating member 100 and has an opening 810 which exposes an upper surface of the plated object 600 which is inserted between the lower insulating member 100 and exposed; 내주면이 상기 피도금물(600)의 외주면을 감싸도록 상기 하부 절연부재(100)와 상기 상부 절연부재(800) 사이에 끼워지는 링형 플레이트(400);A ring-shaped plate 400 inserted between the lower insulating member 100 and the upper insulating member 800 so that an inner circumferential surface surrounds the outer circumferential surface of the plated object 600; 핀 몸체(910)와, 상기 핀 몸체로(910)부터 하방으로 연장되어 상기 피도금물(600)에 탄성적으로 접촉되는 제1 핀 아암(920)과, 상기 핀 몸체(910)로부터 하방으로 연장되어 상기 링형 플레이트(400)에 탄성적으로 접촉되는 제2 핀 아암(930)을 구비하며 상기 상부 절연부재(800)에 연결 설치되는 전극 핀(900);을 포함하여 구성되고, A pin body 910, a first pin arm 920 extending downward from the pin body 910 and elastically contacting the plated object 600, and downward from the pin body 910. And a second pin arm 930 extending and elastically contacting the ring-shaped plate 400 and connected to the upper insulating member 800. 상기 핀 몸체(910)는 링 형상이고,The pin body 910 is a ring shape, 상기 제1 핀 아암(920)은 상기 핀 몸체(910)의 내주면에 연결되고,The first pin arm 920 is connected to the inner peripheral surface of the pin body 910, 상기 제2 핀 아암(930)은 상기 핀 몸체(910)의 외주면에 연결되는 것을 특징으로 하는 도금용 지그.The second pin arm (930) is a plating jig, characterized in that connected to the outer peripheral surface of the pin body (910). 제2항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 to 7, 상기 핀 몸체(910)는 상기 상부 절연부재(800)에 고정 연결되는 것을 특징으로 하는 도금용 지그.The pin body 910 is a plating jig, characterized in that fixed to the upper insulating member (800). 제2항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 to 7, 상기 하부 절연부재(100) 상부에 안착되는 원형의 헤드(200);A circular head 200 seated on an upper portion of the lower insulating member 100; 상기 헤드(200)의 상부에 안착되며, 상기 링형 플레이트(400)가 끼워지는 홈부가 상부에 형성되는 원형의 베이스 플레이트(300);A circular base plate 300 mounted on an upper portion of the head 200 and having a groove portion into which the ring-shaped plate 400 is fitted; 상기 링형 플레이트(400) 상부에 삽입되며 상기 피도금물(600)이 안착되도록 상기 피도금물(600)에 대응되는 형상을 가지는 더미 플레이트(500);A dummy plate 500 inserted into an upper portion of the ring-shaped plate 400 and having a shape corresponding to the plated object 600 so that the plated object 600 is seated thereon; 상기 베이스 플레이트(300)의 상면 둘레와 상기 상부 절연부재(800) 사이를 밀봉하는 제1 실링부재(710);A first sealing member 710 for sealing between an upper circumference of the base plate 300 and the upper insulating member 800; 상기 피도금물(600)의 상면 둘레와 상기 상부 절연부재(800) 사이를 밀봉하는 제2 실링부재(720);A second sealing member 720 for sealing between an upper circumference of the plated object 600 and the upper insulating member 800; 를 포함하되,Including, 상기 상부 절연부재(800) 하부에는 내측 방향으로 돌출되며 상부면이 일방향으로 상향 경사진 다수의 돌출턱(820)이 형성되고,A plurality of protruding jaws 820 protruding in an inner direction and inclined upward in one direction are formed below the upper insulating member 800, 상기 하부 절연부재(100)에는 상기 돌출턱(820)의 경사 방향과 반대 방향으로 상향 경사지고 회전을 통해 상기 돌출턱(820)에 결합되는 다수의 체결턱(120)이 둘레에 형성되는 것을 특징으로 하는 도금용 지그.The lower insulating member 100 has a plurality of fastening jaw 120 that is inclined upward in the direction opposite to the inclined direction of the protruding jaw 820 and coupled to the protruding jaw 820 through rotation is formed around the bottom insulating member 100. Plating jig. 삭제delete
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