KR100983889B1 - 반도체 제조설비의 유틸리티 유량제어장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 및 비반도체 제조설비에서 액체보관탱크, 산화방지 보관함에 공급되는 유틸리티 가스의 제어 및, 각종 공정장비의 쿨링 및 공정을 위해 공급 및 순환 또는 방출되는 유틸리티 이온순수의 제어를 각각 도모하기 위한 유틸리티 유량제어장치에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명은, 반도체 제조장치의 시스템을 제어하기 위한 시스템제어부에서의 콘트롤러는 스위치의 2 개 접점 신호를 1 쌍으로 묶어 접점 신호의 동일 여부를 비교하는 비교기, 이 비교기에서 입력되는 1 채널의 입력 신호를 받아 출력제어부를 제어하는 중앙처리장치부, 원래 유량의 유틸리티 가스 공급을 유저가 0 ~ 99 분만큼 연장하는 타이머, 외부에 연결되는 피시 혹은 서버와 RS-232 혹은 RS-485 통신 가능한 통신제어부 및, 상기 중앙처리장치부의 명령을 받아 출력모듈에 공급되는 DC 전압을 제어하는 출력제어부로 구성되고; 상기 스위치는 산화방지보관함에서 유틸리티 가스의 유량을 조절하기 위해 도어에 장착되는 마이크로 스위치이고, 상기 출력모듈은 3 웨이 노멀오픈형 솔레노이드 밸브, 유량조절기 및 케이블로 구성되며 상기 콘트롤러에서 DC 0V 혹은 DC 24V를 공급받아 상기 솔레노이드 밸브를 구동시키도록 된 것을 그 특징으로 한다.
Figure R1020080034094
반도체 제조설비, 유틸리티 가스, 유틸리티 순수, 유량제어장치, 액체보관탱크, 산화방지 보관함, 유량콘트롤러

Description

반도체 제조설비의 유틸리티 유량제어장치{UTILITY FLOW CONTROLLER OF SEMICONDUCTOR EQUIPMENT}
본 발명은 반도체 및 비반도체 제조설비에서의 유틸리티 유량제어장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액체보관탱크, 산화방지 보관함에 공급되는 유틸리티 가스의 제어 및, 각종 공정장비의 쿨링 및 공정을 위해 공급 및 순환 또는 방출되는 유틸리티 이온순수의 제어를 각기 도모하기 위한 유틸리티 유량제어장치에 관한 것이다.
보통 반도체 및 비반도체 제조설비는 대부분 고진공 분위기에서 소정의 공정, 즉 확산공정 내지 식각공정을 진행할 수 있도록 밀폐된 챔버 설비를 구비하고 있다. 고진공 상태에서 챔버 설비는 소정의 공정을 진행하기 위한 공정 챔버와, 이 공정 챔버 내의 공간을 고진공 상태로 만들기 위해 공정 챔버와 연결되는 다양한 펌프 시스템이 사용되고 있다.
이를 테면 공정들이 시작될 때 공정 챔버에 공정 가스들이 투입되면, 상기 공정 챔버의 내부는 일시적으로 압력이 상승된다. 따라서, 상승된 압력을 공정 조건으로 유지하기 위해 공정이 진행되는 동안 계속해서 펌프 시스템이 가동되어야 하고, 공정이 진행되는 동안 발생하는 미반응 가스 및 반응부산물의 배출도 펌프 시스템에 의해 이루어진다. 상기 펌프 시스템은 공정 장치들에 따라 다양한 방식이 있으며, 진공 라인 등에는 다양한 밸브들이 장착되어 공정 조건을 제어할 수 있다.
이상과 같이 구성되는 반도체 및 비반도체 제조설비에서는 제조특성상 고진공 상태를 유지하기 위한 챔버가 구비되는 한편, 이러한 챔버에 반도체 제조공정을 위한 다양한 가스들이 주입된 다음 공정이 진행되고 있다. 그러나, 제조공정에서 사용되는 가스들은 폭발 등 위험성이 존재하는 관계로 별도로 제어할 수 있도록 구성되고 있다.
종래에는 공정 장비에서 배출되는 유독성 가스는 진공펌프나 드라이펌프를 사용하여 배기가스 정화장치를 통과시키고 난 다음 정화하여 공기 중으로 배출하게 되는 데, 이때 유독가스를 정화하기 위해 다량의 불활성 가스, 중화제 및 냉각수 등을 투입하여 배출되는 유독가스를 정제하여 환경기준에 적합하도록 만들어준 다음 대기중으로 배출하게 된다.
상기 드라이펌프나 진공펌프는 일정한 량의 질소(N2)가스를 사용하고 있고, 질소 공급을 자동으로 제어하지 않거나 항상 공급 상태로 두고 사용하고 있다. 이로 인해 장비를 사용하지 않는 시간대에는 질소(N2)가스의 불필요한 소비가 발생됨으로 시설운영에 불필요한 소비가 발생된다.
상기 드라이펌프나 진공펌프로부터 배출된 가스를 정화하여 대기중으로 여과하여 배출하게 되는 배기가스정화장치(Gas Scrubber) 또한 대부분의 장비 사용에 있어, 주 공정장비의 사용 유무를 사용자가 판단하여 배기가스정화장치의 작동을 수동으로 개폐 조작을 함으로 부적절한 장비가동에 따른 소모성 원재료의 낭비를 유발하거나, 장비의 오작동 유발에 따른 배출가스의 대기 노출로 인하여 대기오염의 문제가 야기될 수 있다.
한편, 가스제어의 적용 대상으로 산화방지보관함이나 액체보관탱크와, 이온순수 제어의 적용 대상으로 각종 공정장비로의 공급유량을 각기 조절하게 됨으로, 상기 산화방지보관함, 액체보관탱크 및 각종 공정장비 등의 사용 효율성을 증대시킬 수 있다. 본 출원인은 각기 별도의 수단을 이용하여 보다 간편하고 정확하게 유량조절을 강구할 수 있도록 되어 있다.
본 발명은 상기와 같은 제반 사정을 감안하여 산화방지보관함이나 액체보관탱크의 가스제어 및 각종 공정장비의 이온순수제어를 위한 콘트롤러를 발명한 것으로, 제품제조 공정시 공급되는 유틸리티 가스나 순수의 유량을 조절할 수 있도록 산화방지보관함이나 액체보관탱크에서의 스위치접점이나 각종 공정장비에서 특정신호 전류의 포토커플러를 이용하여 각기 감지하게 됨으로써 산화방지보관함이나 액체보관탱크, 각종 공정장비의 작동여부를 파악하고 출력모듈의 유틸리티가스 및 유량조절기의 이온 순수제어를 각각 도모할 수 있는 유틸리티 유량제어장치를 제공하고자 함에 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 반도체 제조장치의 시스템을 제어하기 위한 시스템제어부에서의 콘트롤러는 스위치의 2 개 접점 신호를 1 쌍으로 묶어 접점 신호의 동일 여부를 비교하는 비교기, 이 비교기에서 입력되는 1 채널의 입력 신호를 받아 출력제어부를 제어하는 중앙처리장치부, 원래 유량의 유틸리티 가스 공급을 유저가 0 ~ 99 분만큼 연장하는 타이머, 외부에 연결되는 피시 혹은 서버와 RS-232 혹은 RS-485 통신 가능한 통신제어부 및, 상기 중앙처리장치부의 명령을 받아 출력모듈에 공급되는 DC 전압을 제어하는 출력제어부로 구성되고; 상기 스위치는 산화방지보관함에서 유틸리티 가스의 유량을 조절하기 위해 도어에 장착되는 마이크로 스위치이고, 상기 출력모듈은 3 웨이 노멀오픈형 솔레노이드 밸브, 유량조 절기 및 케이블로 구성되며 상기 콘트롤러에서 DC 0V 혹은 DC 24V를 공급받아 상기 솔레노이드 밸브를 구동시키도록 된 것을 그 특징으로 한다.
본 발명의 다른 구체적인 특징은, 반도체 제조장치의 시스템을 제어하기 위한 시스템제어부에서의 콘트롤러는 입력모듈을 통해 입력되는 2 개의 신호의 전류를 감지하여 2 개의 접점 신호로 변경하는 2 개의 포토커플러, 2 개 접점 신호를 1 쌍으로 묶어 접점 신호의 동일 여부를 비교하는 비교기, 이 비교기에서 입력되는 1 채널의 입력 신호를 받아 출력제어부를 제어하는 중앙처리장치부, 쿨링을 위해 원래 유량의 유틸리티 이온순수 공급을 유저가 0 ~ 99 분만큼 연장하는 타이머, 외부에 연결되는 피시 혹은 서버와 RS-232 혹은 RS-485 통신 가능한 통신제어부 및, 상기 중앙처리장치부의 명령을 받아 출력모듈에 공급되는 DC 전압을 제어하는 출력제어부로 구성되고; 상기 입력모듈은 케이블의 신호를 공유할 수 있는 멀티룩, 2 핀 커넥터 및 케이블로 이루어지고, 상기 출력모듈은 유량조절기와 케이블로 구성되며 상기 콘트롤러에서 DC 0V 혹은 DC 24V를 공급받아 유량조절기를 구동시킴을 포함한 것이다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 제품제조 공정시 공급되는 유틸리티 가스나 순수의 유량을 조절할 수 있도록 산화방지보관함이나 액체보관탱크에서의 스위치접점이나 각종 공정장비에서 특정신호 전류의 포토커플러를 이용하여 각기 감지하게 됨으로써 산화방지보관함이나 액체보관탱크, 각종 공정장비의 작동여부를 파악하고 출력모듈의 유틸리티가스 및 유량조절기의 이온 순수제어를 각각 도 모할 수 있는 효과가 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.
도 1 은 본 발명의 실시예에 관한 반도체 제조설비의 유틸리티 유량제어장치를 도시해 놓은 산화방지보관함의 작동구성도이고, 도 2 는 도 1 에 도시된 반도체 제조설비의 유틸리티 유량제어장치를 설명하기 위한 흐름도이다. 반도체 제조장치의 시스템을 제어하기 위한 시스템제어부에서는 콘트롤러를 통해 유틸리스 유량의 출력모듈을 조절할 수 있다.
산화방지보관함(1)에 공급되는 유틸리티 가스 유량 조절은, 반도체 및 비반도체 공장에서 사용하는 산화방지보관함(1)에 공급되어 방출하는 유틸리티가스인 바, 이는 지속적으로 공급되는 유틸리티 가스의 유량을 조절하기 위해 도어에 장착되는 마이크로 스위치(2)에서 나오는 최대 2개의 접점 신호를 감지함으로, 이에 산화방지보관함 도어의 개폐 여부를 파악하여 유틸리티 유량제어기로써 콘트롤러 (10a)의 동작을 제어함으로 출력모듈(20a)의 유틸리티 가스의 공급 유량을 조절할 수 있다.
상기 산화방지보관함(1)에서 입력모듈은 산화방지보관함의 도어 개폐 여부를 감지할 수 있는 마이크로 스위치(2), 2 핀커넥터 및 케이블로 구성한다. 상기 콘트롤러(10a)에 있어 입력부는 입력모듈의 마이크로스위치(2)를 입력되는 2 개의 신호의 접점을 비교기(11)에 전달한다. 이 비교기(11)는 2 개의 접점 신호를 1 쌍으로 묶어 접점 신호의 동일 여부를 비교하여 1 채널의 입력 신호를 중앙처리장치부 (12 : CPU)에 전달한다. 이때 1 쌍 입력 신호 중 하나라도 서로 동일하지 않을 경우 중앙처리장치부(12)에 오류를 보고한다.
상기 중앙처리장치부(12)는 비교기(11)에서 입력되는 1 채널의 입력 신호를 받아 출력제어부(13)를 제어한다. 이는 1 개의 채널 중 하나라도 쇼트이면 출력제어부(13)를 제어하여 출력모듈(20a)에 DC 0V를 공급 (도어 오픈모드, 유틸리티 유량 증가 상태 유지)하고, 1 개의 채널이 오픈이면 출력제어부(13)를 제어하여 출력모듈(20a)에 DC 24V를 공급(도어 크로스모드, 유틸리티 유량 감소)한다.
상기 콘트롤러(10a)의 중앙처리장치부(12)로부터 에러발생은 비교기(11)에 입력되는 1쌍 입력 신호 중 하나라도 서로 동일하지 않아 오류를 보고받을 경우 에러발생부(17)를 통해 에러를 발생시켜 유저(22a)의 입출력부에 알리고, 자동으로 출력모듈(20a)에 DC 0V를 공급 (에러 모드, 유틸리티 유량 증가 상태 유지)한다.
한편, 타이머(14)는 상기 콘트롤러(10a)의 모드가 도어 오픈에서 도어 크로스로 변환시 가스의 유량을 즉시 낮추지 않고 산화방지보관함(1) 내부에 존재하는 산소의 양을 줄이고, 보관된 제품의 산화를 방지하기 위해 원래 유량의 유틸리티 가스 공급을 유저가 원하는 시간 (0 ~ 99분)만큼 연장한다. 통신제어부(15)는 외부에 연결되는 피시(PC : 24a) 혹은 서버(Server)와 RS-232 혹은 RS-485 통신 가능하다.
상기 콘트롤러(10a)의 타이머(14)에 연결되는 타이머제어부(16)는 중앙처리장치부(12)의 명령을 받아 타이머(14)의 시간 설정 및 타이머(14)의 기능을 제어할 수 있다. 상기 출력제어부(13)는 중앙처리장치부(12)의 명령을 받아 출력모듈(20a) 에 공급되는 DC 전압을 제어할 수 있다. 상기 통신제어부(15)는 중앙처리장치부 (12)의 명령을 받아 외부에 연결되는 피시(24a) 혹은 서버와 RS-232 혹은 RS-485 통신 기능을 처리할 수 있다.
한편, 전원부(18)는 콘트롤러(10a) 내부의 모든 소자를 구동하기 위해 전원을 공급할 수 있다. 상태표시부(19)는 유저에게 콘트롤러(10a)의 모드 및 설정된 타이머(14)의 시간을 LCD 판넬 및 LED를 통해 표시할 수 있다.
이렇게 구성되는 콘트롤러(10a)의 출력제어부(13)에 연결되는 출력모듈은 3 웨이 노멀오픈형(Normal Open Type) 솔레노이드 밸브(Solenoid Valve : 21a), 유량조절기(26a) 및 케이블로 구성되며, 상기 콘트롤러(10a)에서 DC 0V 혹은 DC 24V를 공급받아 상기 솔레노이드 밸브(21a)를 구동시킨다. 이때 N.O 는 노멀 오픈이고 N.C 는 노멀크로스를 나타낸다.
상기 출력모듈(20a)의 솔레노이드밸브(21a)가 DC 0V 경우에는 도어 오픈상태 및 에러 상태 혹은 타이머 동작 상태, 오픈모드(공급되는 유틸리티 가스의 원래 유량을 유지하여 산화방지보관함에 공급)인 것이고, DC 24V 경우에는 아이들 상태, 크로스 모드(공급되는 유틸리티 가스의 유량을 원하는 만큼 감소하여 산화방지보관함에 공급)인 것이다.
상기 출력모듈(20a)에서 노멀오픈형 3 웨이 솔레노이드 밸브(21a)를 사용함으로 고장 혹은 정전시 원래 유량의 유틸리티 가스를 자동으로 공급할 수 있어, 산화방지보관함(1)에 보관되어 있는 제품의 산화 문제를 사전에 방지할 수 있다.
도 3 은 본 발명의 실시예에 관한 반도체 제조설비의 유틸리티 유량제어장치 를 도시해 놓은 액체보관탱크의 작동구성도이고, 도 4 는 도 3 에 도시된 반도체 제조설비의 유틸리티 유량제어장치를 설명하기 위한 흐름도이다.
상기 액체보관탱크(3)에 공급되는 유틸리티 가스 유량 조절은, 반도체 및 비반도체 공장에서 사용하는 액체보관탱크(3)에 공급되어 방출하는 유틸리티 가스인 것이다. 즉, 지속적으로 공급되는 유틸리티 가스의 유량을 조절하기 위해, 액체보관탱크(3)에 장착되는 부압 감지스위치(4)에서 나오는 2 개의 접점 신호를 감지함으로, 이에 액체보관탱크(3) 내부의 압력 상태를 파악하여 유티릴티 유량제어기로써 콘트롤러(30a)의 동작을 제어함으로 출력모듈(40a)의 유틸리티 가스의 공급 유량을 조절할 수 있다.
상기 액체보관탱크(3)로부터 입력모듈은 액체보관탱크(3) 내부의 압력 상태를 확인할 수 있는 부압감지스위치(4)인 진공스위치 (Vacuum Switch), 2 핀 커넥터 및 케이블로 구성한다. 상기 콘트롤러(30a)에 있어, 입력부는 입력모듈의 부압감지스위치(4)를 통해 입력되는 2 개의 신호의 접점을 비교기(31a)에 전달한다.
상기 비교기(31a)는 2 개의 접점 신호를 1 쌍으로 묶어 접점 신호의 동일 여부를 비교하여 1 채널(1 쌍)의 입력 신호를 중앙처리장치부(32a)에 전달한다. 이때 1 쌍 입력 신호 중 하나라도 서로 동일하지 않을 경우 중앙처리장치부(32a)에 오류를 보고한다.
상기 중앙처리장치부(32a)는 비교기(31a)에서 입력되는 1 개 채널의 입력 신호를 받아 출력제어부(34a)를 제어한다. 이는 1 개의 채널이 쇼트(Short)이면 출력제어부 (34a)를 제어하여 출력모듈(40a)에 DC 0V를 공급(부압 모드, 유틸리티 유량 증가 상태 유지)하고, 1 개의 채널이 모두 오픈이면 출력제어부(34a)를 제어하여 출력모듈(40a)에 DC 24V를 공급(정압 모드, 유틸리티 유량 감소)한다.
상기 콘트롤러(30a)로부터 에러발생은 비교기(31a)에 입력되는 1 쌍 각각 입력 신호 중 하나라도 서로 동일하지 않아 오류를 보고받을 경우 에러발생부(37a)를 통해 에러를 발생시켜 유저(42)의 입출력부에 알리고 자동으로 출력모듈(40a)에 DC 0V를 공급(에러 모드, 유틸리티 유량 증가 상태 유지)한다.
타이머(33a)는 콘트롤러(30a)의 모드가 프로세스에서 아이들로 변환시 가스의 유량을 즉시 낮추지 않고, 액체보관탱크(3) 내부의 부압으로 인한 액체보관탱크(3)의 파손을 방지하기 위해 원래 유량의 유틸리티 가스 공급을 유저가 원하는 시간 (0 ~ 99분)만큼 연장한다.
통신제어부(35a)는 외부에 연결되는 피시(PC :44) 혹은 서버(Server)와 RS-232 혹은 RS-485 통신 가능하다. 타이머제어부(36a)는 중앙처리장치부(32a)의 명령을 받아 타이머(33a)의 시간 설정 및 타이머(33a)의 기능을 제어한다. 상기 출력제어부(34a)는 중앙처리장치부(32a)의 명령을 받아 출력모듈(40a)에 공급되는 DC 전압을 제어한다.
상기 통신제어부(35a)는 중앙처리장치부(32a)의 명령을 받아 외부에 연결되는 피시(44) 혹은 서버와 RS-232 혹은 RS-485 통신 기능을 처리한다. 전원부(38a)는 콘트롤러(30a) 내부의 모든 소자를 구동하기 위해 전원을 공급한다. 상태표시부(39a)는 유저에게 콘트롤러(30a)의 모드 및 설정된 타이머(33a)의 시간을 LCD 판넬 및 LED를 통해 표시한다.
이상과 같이 구성되는 콘트롤러(30a)의 출력제어부(34a)에 연결되는 출력모듈 (40a)은 3웨이 노멀오픈형(Normal Open Type) 솔레노이드 밸브(Solenoid Valve : 41), 유량조절기(46) 및 케이블로 구성되며, 콘트롤러(30a)에서 DC 0V 혹은 DC 24V를 공급받아 솔레노이드 밸브(41)를 구동시킨다.
상기 솔레노이드 밸브(41)가 DC 0V 경우에는 부압 상태 및 에러 상태 혹은 타이머 동작 상태, 오픈모드 (공급되는 유틸리티 가스의 원래 유량을 유지하여 액체보관탱크(3) 내부에 공급)이고, DC 24V 경우에는 아이들 상태, 크로스 모드 (공급되는 유틸리티 가스의 유량을 원하는 만큼 감소하여 액체보관탱크(3) 내부에 공급)인 것이다.
상기출력모듈(40a)에서 노멀 오픈형의 3웨이 솔레노이드 밸브(41)를 사용함으로 고장 혹은 정전시 원래 유량의 유틸리티 가스를 자동으로 공급할 수 있어 액체보관탱크(3) 내부의 부압으로 인한 액체보관탱크(3)의 파손을 사전에 방지할 수 있다.
도 5 은 본 발명의 실시예에 관한 반도체 제조설비의 유틸리티 유량제어장치를 도시해 놓은 각종 공정장비의 작동구성도이고, 도 6 는 도 5 에 도시된 반도체 제조설비의 유틸리티 유량제어장치를 설명하기 위한 흐름도이다.
각종 공정 장비(5)에 공급되는 유틸리티 순수 유량 조절은, 반도체 및 비반도체 공장에서 사용하는 각종 공정 장비(5)의 쿨링(Cooling) 및 공정을 위해 공급 및 순환 또는 방출되는 유틸리티 이온 순수인 것이다. 즉, 제품 제조 공정 시 공급되는 유틸리티 이온 순수의 유량을 조절하기 위해, 각종 공정 장비(5)의 입력모듈 에서 나오는 2 개의 특정 신호 전류를 포토커플러 #1, #2(PT1, PT2)를 사용하여 콘트롤러(60a)에서 감지함으로, 이에 각종 공정 장비(5)의 동작 여부를 파악하여 유틸리티 유량제어기의 콘트롤러(60a) 동작을 제어함으로 유틸리티 이온순수의 공급 유량을 조절할 수 있다.
상기 반도체 및 비반도체용 각종 공정장비(5)에서 입력모듈은 케이블의 신호를 공유할 수 있는 멀티룩(Multi-Lock), 2 핀 커넥터 및 케이블로 구성된다. 상기 콘트롤러(60a)에 있어, 입력전류감지부는 입력모듈을 통해 입력되는 2 개의 신호의 전류를 감지하여 2 개의 접점 신호로 변경하는 포토커플러 #1, #2(PT1, PT2)를 사용한다.
비교기(61)는 2 개의 접점 신호를 1 쌍으로 묶어 접점 신호의 동일 여부를 비교하여 1 채널(1 쌍)의 입력 신호를 중앙처리장치부(62)에 전달한다. 이때 1 쌍 입력 신호 중 하나라도 서로 동일하지 않을 경우 중앙처리장치부(62)에 오류를 보고한다.
상기 중앙처리장치부(62)는 비교기(61)에서 입력되는 1 채널의 입력 신호를 받아 출력제어부(64)를 제어한다. 이는 1 개 채널에서 쇼트(Short)이면 출력제어부 (64)를 제어하여 출력모듈 (Output Module)의 유량조절기(6)에 DC 0V를 공급(프로세스 모드(Process Mode), 유틸리티 유량 증가 상태 유지)하고, 1 개의 채널이 오픈이면 출력제어부(64)를 제어하여 유량조절기(6)에 DC 24V를 공급(아이들 모드(Idle Mode), 유틸리티 유량 감소)한다.
상기 중앙처리장치부(62)로부터 에러발생은, 비교기(61)에 입력되는 1 쌍 입 력 신호 중 하나라도 서로 동일하지 않아 오류를 보고받을 경우 에러발생부(67)를 통해 에러를 발생시켜 유저(User : 7)의 입출력부에 알리고 자동으로 출력모듈의 유량조절기(6)에 DC 0V를 공급(에러모드(Error Mode), 유틸리티 유량 증가 상태 유지)한다.
타이머(63)는 콘트롤러(60a)의 모드가 프로세스에서 아이들로 변환시 순수의 유량을 즉시 낮추지 않고, 반도체 및 비반도체 공장에서 사용하는 각종 공정 장비(5)의 쿨링(Cooling)을 위해 원래 유량의 유틸리티 이온순수 공급을 유저가 원하는 시간 (0 ~ 99분)만큼 연장한다. 통신제어부(65)는 외부에 연결되는 피시(PC) 혹은 서버(Server)와 RS-232 혹은 RS-485 통신 가능하다.
타이머제어부(66)는 중앙처리장치부(62)의 명령을 받아 타이머(63)의 시간 설정 및 타이머(63)의 기능을 제어할 수 있다. 출력제어부(64)는 중앙처리장치부 (62)의 명령을 출력모듈의 유량조절기(6)에 공급되는 DC 전압을 제어할 수 있다. 상기 통신제어부(65)는 중앙처리장치부(62)의 명령을 받아 외부에 연결되는 피시 (8) 혹은 서버와 RS-232 혹은 RS-485 통신 기능을 처리한다.
전원부(68)는 콘트롤러(60a) 내부의 모든 소자를 구동하기 위해 전원을 공급한다. 상태표시부(69)는 유저에게 콘트롤러(60a)의 모드 및 설정된 타이머(63)의 시간을 LCD 판넬 및 LED를 통해 표시한다.
상기 출력모듈은 유량조절기(6)와 케이블로 구성되며, 콘트롤러(60a)에서 DC 0V 혹은 DC 24V를 공급받아 유량조절기(6)를 구동시킨다. 상기 유량조절기(6)에서 DC 0V 경우에는 프로세스(Process) 상태 및 에러(Error) 상태 혹은 타이머 동작 상 태, 오픈모드 (공급되는 유틸리티 순수의 원래 유량을 유지하여 반도체 및 비 반도체 공장에서 사용하는 각종 공정 장비에 공급)이고, DC 24V 경우에는 아이들 상태, 크로스모드(공급되는 유틸리티 가스의 원래 유량을 원하는 만큼 감소하여 반도체 및 비반도체 공장에서 사용하는 각종 공정 장비에 공급)인 것이다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명은 반도체 및 비반도체 제조설비에서 액체보관탱크, 산화방지 보관함에 공급되는 유틸리티 가스의 제어 및, 각종 공정장비의 쿨링 및 공정을 위해 공급 및 순환 또는 방출되는 유틸리티 이온순수의 제어를 각각 도모하기 위한 유틸리티 유량제어장치 것이다.
또한, 콘트롤러의 고장 및 정지시에도 출력모듈로부터의 유틸리스가스를 공급할 수 있어 제품 제조상의 문제 및 각종 공정의 문제를 사전에 방지할 수 있다.
도 7 는 본 발명의 반도체 제조설비의 유틸리티 유량제어장치를 설명하기 위한 네트워크 구성도로서, 다수 개의 콘트롤러 (10a, 30a, 60a, 60a')를 RS-485 통신으로 구성하여 대규모 네트워크로써 PCI 카드(75)를 통해 서버(77)에 연결할 수 있다. 본 발명은 상기 콘트롤러를 여러 개로 네트워크 구성하여 RS - 485 통신함으로 서버 또는 개인용 컴퓨터로 콘트롤러들의 작동여부를 모니터링하여 장비를 안정적으로 운영할 수 있다. 상기 개인용 컴퓨터에서는 MS SQL 데이터베이스 프로그램을 이용한다.
따라서, 본 발명은 제품제조 공정시 공급되는 유틸리티 가스나 순수의 유량을 조절할 수 있도록 산화방지보관함이나 액체보관탱크에서의 스위치접점이나 각종 공정장비에서 특정신호 전류의 포토커플러를 이용하여 각기 감지하게 됨으로써 산 화방지보관함이나 액체보관탱크, 각종 공정장비의 작동여부를 파악하고 출력모듈의 유틸리티가스 및 유량조절기의 이온 순수제어를 각각 도모할 수 있다.
본 발명의 반도체 제조설비의 유틸리티 유량제어장치에 대한 기술사상을 예시도면에 의거하여 설명했지만, 이는 본 발명의 가장 양호한 실시 예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명의 특허청구범위를 한정하는 것은 아니다. 본 발명은 이 기술분야의 통상 지식을 가진 자라면 누구나 본 발명의 기술사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.
도 1 은 본 발명의 실시예에 관한 반도체 제조설비의 유틸리티 유량제어장치를 도시해 놓은 산화방지보관함의 작동구성도,
도 2 는 도 1 에 도시된 반도체 제조설비의 유틸리티 유량제어장치를 설명하기 위한 흐름도,
도 3 은 본 발명의 실시예에 관한 반도체 제조설비의 유틸리티 유량제어장치를 도시해 놓은 액체보관탱크의 작동구성도,
도 4 는 도 3 에 도시된 반도체 제조설비의 유틸리티 유량제어장치를 설명하기 위한 흐름도,
도 5 은 본 발명의 실시예에 관한 반도체 제조설비의 유틸리티 유량제어장치를 도시해 놓은 각종 공정장비의 작동구성도,
도 6 는 도 5 에 도시된 반도체 제조설비의 유틸리티 유량제어장치를 설명하기 위한 흐름도,
도 7 는 본 발명의 반도체 제조설비의 유틸리티 유량제어장치를 설명하기 위한 네트워크 구성도이다.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ※
1 : 산화방지 보관함 2 : 마이크로 스위치
3 : 액체보관탱크 4 : 부압감지스위치
5 : 각종 공정장비 6 : 유량조절기

Claims (5)

  1. 반도체 제조장치의 시스템을 제어하기 위한 시스템제어부에서의 콘트롤러는 스위치의 2 개 접점 신호를 1 쌍으로 묶어 접점 신호의 동일 여부를 비교하는 비교기, 이 비교기에서 입력되는 1 채널의 입력 신호를 받아 출력제어부를 제어하는 중앙처리장치부, 원래 유량의 유틸리티 가스 공급을 유저가 0 ~ 99 분만큼 연장하는 타이머, 외부에 연결되는 피시 혹은 서버와 RS-232 혹은 RS-485 통신 가능한 통신제어부 및, 상기 중앙처리장치부의 명령을 받아 출력모듈에 공급되는 DC 전압을 제어하는 출력제어부로 구성되는 유틸리티 유량제어장치에 있어서,
    상기 스위치는 산화방지보관함에서 유틸리티 가스의 유량을 조절하기 위해 도어에 장착되는 마이크로 스위치이고, 상기 출력모듈은 3 웨이 노멀오픈형 솔레노이드 밸브, 유량조절기 및 케이블로 구성되며 상기 콘트롤러에서 DC 0V 혹은 DC 24V를 공급받아 상기 솔레노이드 밸브를 구동시킴을 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 유틸리티 유량제어장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 스위치는 액체보관탱크에서 유틸리티 가스의 유량을 조절하기 위해 액체보관탱크에 장착되는 부압 감지스위치이고, 상기 출력모듈은 3 웨이 노멀오픈형 솔레노이드 밸브, 유량조절기 및 케이블로 구성되며 상기 콘트롤러에서 DC 0V 혹은 DC 24V를 공급받아 상기 솔레노이드 밸브를 구동시킴을 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 유틸리티 유량제어장치.
  3. 삭제
  4. 반도체 제조장치의 시스템을 제어하기 위한 시스템제어부에서의 콘트롤러는 입력모듈을 통해 입력되는 2 개의 신호의 전류를 감지하여 2 개의 접점 신호로 변경하는 2 개의 포토커플러, 2 개 접점 신호를 1 쌍으로 묶어 접점 신호의 동일 여부를 비교하는 비교기, 이 비교기에서 입력되는 1 채널의 입력 신호를 받아 출력제어부를 제어하는 중앙처리장치부, 쿨링을 위해 원래 유량의 유틸리티 이온순수 공급을 유저가 0 ~ 99 분만큼 연장하는 타이머, 외부에 연결되는 피시 혹은 서버와 RS-232 혹은 RS-485 통신 가능한 통신제어부 및, 상기 중앙처리장치부의 명령을 받아 출력모듈에 공급되는 DC 전압을 제어하는 출력제어부로 구성되고;
    상기 입력모듈은 케이블의 신호를 공유할 수 있는 멀티룩, 2 핀 커넥터 및 케이블로 이루어지고, 상기 출력모듈은 유량조절기와 케이블로 구성되며 상기 콘트 롤러에서 DC 0V 혹은 DC 24V를 공급받아 유량조절기를 구동시킴을 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 유틸리티 유량제어장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 유량조절기에서 DC 0V 경우에는 프로세스 상태 및 에러 상태 혹은 타이머 동작 상태, 오픈모드로써 공급되는 유틸리티 순수의 원래 유량을 유지하여 반도체 및 비 반도체 공장에서 사용하는 각종 공정 장비에 공급하고, DC 24V 경우에는 아이들 상태, 크로스모드로써 공급되는 유틸리티 가스의 원래 유량을 원하는 만큼 감소하여 반도체 및 비반도체 공장에서 사용하는 각종 공정 장비에 공급한 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 유틸리티 유량제어장치.
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