KR100982770B1 - target unit with movable target and X-ray generating apparatus having the same - Google Patents

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Abstract

이동가능한 타겟을 갖는 타겟유닛 및 그것을 구비한 엑스-레이 발생장치가 개시된다. 개시된 이동 가능한 타겟유닛은 전자비임과 충돌하여 엑스-레이를 발생하는 타겟물질로 형성된 타겟, 엑스-레이 발생장치의 하우징에 이동할 수 있게 부착되고, 중앙에 형성된 전자비임 투과홀에 대해 타겟을 고정하는 타겟홀더, 및 전자비임이 타겟에 집속되는 집속스폿을 나선 형태 및 지그재그 형태 중 적어도 하나의 패턴으로 변화시키도록 타겟홀더를 하우징에 대해 이동하도록 가이드하는 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 한다.Disclosed are a target unit having a movable target and an x-ray generator having the same. The disclosed movable target unit is a target formed of a target material that generates an X-ray by colliding with an electron beam, and is movably attached to a housing of the X-ray generator, and fixes the target to the electron beam transmission hole formed at the center. And a guide part for guiding the target holder relative to the housing so as to change the focusing spot focused on the target to the target holder in a spiral shape and a zigzag shape.

타겟, 집속스폿, 이동, 나선 형태, 지그재그 형태 Target, Focus Spot, Move, Helix, Zigzag

Description

이동가능한 타겟을 갖는 타겟유닛 및 그것을 구비한 엑스-레이 발생장치{target unit with movable target and X-ray generating apparatus having the same}Target unit with movable target and X-ray generating apparatus having the same

본 발명은 각종 시편의 결함여부 검사하기 위한 엑스-레이(X-ray) 검사시스템에 사용되는 엑스-레이 발생장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전자비임을 엑스-레이로 변환하는 타겟유닛 및 그것을 구비한 엑스-레이 발생장치에 관한 것이다.The present invention relates to an X-ray generating apparatus used in an X-ray inspection system for inspecting defects of various specimens, and more particularly, a target unit for converting an electron beam into an X-ray and It relates to an x-ray generator provided.

일반적으로, 엑스-레이 검사시스템은 엑스-레이 차폐를 위한 공간을 형성하도록 제작된 캐비넷의 내부에서 검사위치에 세팅되는 인쇄회로기판(Printed circuit board: PCB), 반도체소자, 저항칩, 카메라 모듈, 플라스틱 성형품, 농산물 등과 같은 시편에 엑스-레이를 조사하고, 시편을 통해 투영된 영상을 엑스-레이 디텍터로 촬상한 다음, 엑스-레이 디텍터로부터 출력되는 영상정보를 통해 시편의 검사대상 부위의 결함여부를 판정하는 장치로, 엑스-레이를 발생하는 엑스-레이 발생장치를 구비한다. In general, an X-ray inspection system is a printed circuit board (PCB), a semiconductor device, a resistor chip, a camera module, set at an inspection position inside a cabinet manufactured to form a space for X-ray shielding. Irradiate an X-ray onto a specimen such as a plastic molded product or agricultural product, take an image of the projected image through the X-ray detector, and check the defect of the inspection target area through the image information output from the X-ray detector. An apparatus for determining a power supply comprising: an x-ray generator for generating an x-ray.

도 1을 참고하면, 일반적으로, 엑스-레이 발생장치(1)는 전자비임을 발생하 는 전자총(elelctron gun)(도시하지 않음), 전자총에서 발생된 전자비임을 시편으로 유도하는 자기 렌즈계(5), 및 자기 렌즈계(5)에서 시편으로 유도되는 전자비임을 엑스-레이로 변환하는 타겟유닛(10)으로 구성된다. Referring to FIG. 1, in general, an x-ray generator 1 includes an electron gun (not shown) for generating an electron beam, and a magnetic lens system 5 for inducing an electron beam generated from an electron gun to a specimen. And a target unit 10 for converting an electron beam induced by the specimen from the magnetic lens system 5 into an X-ray.

타겟유닛(10)은 전자총에서 자기 렌즈계(5)를 통해 시편으로 방출되는 전자비임과 충돌하여 전자비임을 엑스-레이로 변환하며, 텅스텐(W)와 같은 타겟물질로 형성된 타겟(11), 및 타겟(11)을 고정하는 타겟홀더(13)로 구성된다. 타겟홀더(13)는 고정캡(14)에 의해 하우징(15)에 고정된다. The target unit 10 collides with the electron beam emitted from the electron gun to the specimen through the magnetic lens system 5 to convert the electron beam into an X-ray, a target 11 formed of a target material such as tungsten (W), and It consists of a target holder 13 which fixes the target 11. The target holder 13 is fixed to the housing 15 by a fixing cap 14.

이러한 타겟유닛(10)은 전자비임이 집속되는 집속스폿(S) 부위의 타겟물질이 소멸되어 수명이 다하면 엑스-레이 발생장치로부터 분리되어 새 타겟으로 교체된다. The target unit 10 is separated from the X-ray generating apparatus and replaced with a new target when the target material of the focusing spot (S) portion where the electron beam is focused disappears and reaches its end of life.

즉, 자기 렌즈계(5)에서 방출되는 전자비임은 타겟(11)에 집속스폿(S)을 형성한다. 전자비임은 집속스폿(S)에서 타겟(11)의 타겟물질과 충돌하여 타겟물질을 소멸시키면서 엑스-레이로 변환된다. 집속스폿(S)에서 타겟물질이 소멸되면, 전자비임은 타겟(11)과 충돌하여도 엑스-레이로 변환되지 않으므로, 타겟홀더(13)는 도시하지 않은 회전공구에 의해 한 집속스폿의 간격 만큼 회전된다. 이때, 도 2에 도시한 바와 같이, 자기 렌즈계(5)의 비임축은 전자비임이 타겟(11)의 중심(O)으로 일정거리 떨어진 지점에서 집속스폿(S)을 형성하도록 위치하기 때문에, 타겟홀더(13)가 한 집속스폿의 간격 만큼 회전하면, 전자비임은 타겟(11)에 다음 집속스폿(S1)을 형성하게 된다. 이어서, 전자비임은 다음 집속스폿(S1)에서 타겟(11)의 타겟물질과 충돌하여 엑스-레이로 변환된다. 다시 집속스폿(S1)에서 타겟(11)의 타 겟물질이 소멸되면, 타겟홀더(13)는 한 집속스폿의 간격 만큼 회전하고, 전자비임은 다음 집속스폿(S2)에서 타겟물질과 충돌하여 엑스-레이로 변환된다. 이러한 동작은 타겟홀더(13)가 일 회전하여 도 2에 도시한 바와 같이 하나의 원을 형성하는 집속스폿(S, S1, S2...Sn)들에서 타겟물질이 소멸될 때까지 반복된다. 그후, 사용된 타겟(11)을 보유한 타겟홀더(13)를 교체하기 위해, 고정캡(14)은 하우징(5)으로부터 분리되어 제거되고, 타겟홀더(13)는 새 타겟을 보유한 타겟홀더로 교체된다. That is, the electron beam emitted from the magnetic lens system 5 forms a focusing spot S on the target 11. The electron beam collides with the target material of the target 11 in the focusing spot S and is converted into X-rays while extinguishing the target material. When the target material is extinguished in the focusing spot S, the electron beam is not converted into an X-ray even when colliding with the target 11, so that the target holder 13 is spaced by one focusing spot by a rotating tool (not shown). Is rotated. At this time, as shown in Figure 2, the beam axis of the magnetic lens system 5 is positioned so as to form a focus spot (S) at a point away from the electron beam to the center (O) of the target 11, the target holder When 13 is rotated by the interval of one focusing spot, the electron beam forms the next focusing spot S1 on the target 11. Then, the electron beam collides with the target material of the target 11 at the next focusing spot S1 and is converted into an X-ray. When the target material of the target 11 is extinguished again in the focusing spot S1, the target holder 13 rotates by an interval of one focusing spot, and the electron beam collides with the target material in the next focusing spot S2 to extract X. -Converted to ray. This operation is repeated until the target material is extinguished at the focusing spots S, S1, S2 ... Sn, in which the target holder 13 is rotated to form one circle as shown in FIG. Then, in order to replace the target holder 13 having the target 11 used, the fixing cap 14 is detached from the housing 5 and removed, and the target holder 13 is replaced with the target holder holding the new target. do.

하지만, 위와 같은 구성의 종래의 타겟유닛(10)은 전자비임이 타겟(11)의 중심(O)으로 일정거리 떨어진 지점에서 집속스폿(S, S1, S2...Sn)을 형성하도록 함과 함께 타겟홀더(13)가 하우징(15)의 상단면에서 회전공구에 의해 회전만 하도록 구성된다. 따라서, 종래의 타겟유닛(10)은, 타겟홀더(13)가 일 회전하여 하나의 원을 형성하는 집속스폿(S, S1, S2...Sn)에 대응하는 타겟(11)의 타겟물질이 소멸되면 타겟(11)의 사용수명이 다하므로, 타겟(11)이 전자비임을 엑스-레이로 변환할 수 있는 타겟물질이 많이 남아 있음에도 불구하고 완전히 사용되지 않는 채로 타겟홀더(13)와 함께 교체 및 폐기되는 문제점이 있다. 그 결과, 자원이 낭비될 뿐 아니라, 타겟홀더(13)의 교환 주기가 빨라지게 되어, 타겟유닛(10) 및 그것을 구비한 엑스-레이 발생장치의 유지비용이 증가하게 된다. However, the conventional target unit 10 of the above configuration is to form a focus spot (S, S1, S2 ... Sn) at a point away from the electron beam a certain distance to the center (O) of the target 11 and Together, the target holder 13 is configured to rotate only by the rotary tool on the upper surface of the housing 15. Therefore, in the conventional target unit 10, the target material of the target 11 corresponding to the focusing spots S, S1, S2 ... Sn, in which the target holder 13 rotates to form one circle, When the target 11 expires, the service life of the target 11 is exhausted, so that the target 11 is replaced with the target holder 13 without being completely used, although there are many target materials that can convert the electron beam into the X-ray. And discarded. As a result, not only waste of resources but also the replacement cycle of the target holder 13 becomes faster, thereby increasing the maintenance cost of the target unit 10 and the X-ray generator having the same.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 본 발명의 목적은 비교적 간단한 구조를 가지면서도 사용수명을 연장할 수 있게 한 이 동가능한 타겟을 갖는 타겟유닛 및 그것을 구비한 엑스-레이 발생장치를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a target unit having a movable target and a x-ray having the same, which has a relatively simple structure and can extend the service life. The present invention provides a generator.

위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시양태에 따른 엑스-레이 발생장치의 이동가능한 타겟유닛은 전자비임과 충돌하여 엑스-레이를 발생하는 타겟물질로 형성된 타겟, 엑스-레이 발생장치의 하우징에 이동할 수 있게 부착되고, 타겟을 고정하는 타겟홀더, 및 전자비임이 타겟에 집속되는 집속스폿을 나선 형태 및 지그재그 형태 중 적어도 하나의 패턴으로 변화시키도록 타겟홀더를 하우징에 대해 이동하도록 가이드하는 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 한다. A movable target unit of the X-ray generating apparatus according to an embodiment of the present invention for achieving the above object is a target formed of a target material generating an X-ray by colliding with an electron beam, the housing of the X-ray generating apparatus A target holder movably attached to the target holder, and a guide for guiding the target holder relative to the housing so that the electron beam changes the focusing spot focused on the target in at least one of a spiral shape and a zigzag shape. It is characterized by including a wealth.

여기서, 나선 형태는 원형 소용돌이 형태 또는 사각형 소용돌이 형태이고, 지그재그 형태는 ㄹ자형 지지재그 형태 또는 W자형 지그재그 형태인 것이 바람직하다.Here, the spiral shape is a circular vortex shape or a square vortex shape, and the zigzag shape is preferably a r-shaped support zag shape or a W-shaped zigzag shape.

가이드부는 하우징에 대응하는 타겟홀더의 일면에 형성된 적어도 하나의 가이드홈, 및 타겟홀더를 수용하도록 하우징에 형성된 수용부에 형성되고, 가이드홈에 삽입되는 적어도 하나의 가이드 돌기로 구성된 것이 바람직하다. 이때, 가이드 홈은 타겟홀더의 중앙에 형성된 전자비임 투과홀의 주위에 형성된 하나의 나선형 홈이고, 가이드 돌기는 나선형 홈에 삽입되는 하나의 돌기일 수 있다. 선택적으로, 가이드 홈은 타겟홀더의 전자비임 투과홀의 양측에 각각 형성된 제1 및 제2 지지재그형 홈이고, 및 가이드 돌기는 제1 및 제2 지지재그형 홈에 각각 삽입되는 제1 및 제2돌기일 수 있다. The guide portion is preferably formed of at least one guide groove formed on one surface of the target holder corresponding to the housing, and at least one guide protrusion formed in the accommodation portion formed in the housing to receive the target holder and inserted into the guide groove. In this case, the guide groove is one spiral groove formed around the electron beam transmission hole formed in the center of the target holder, the guide projection may be one projection inserted into the spiral groove. Optionally, the guide grooves are first and second support zag grooves formed on both sides of the electron beam transmission hole of the target holder, respectively, and the guide protrusions are respectively inserted into the first and second support zag grooves. It can be a protrusion.

가이드부는 수용부에서부터 연장 형성되고, 타겟 홀더를 하우징에 대해 이동하도록 할 때 타겟홀더가 이동할 수 있는 공간을 제공하는 이동공간을 더 포함할 수 있다. 이때, 이동공간은 타원형 형태로 형성된 것이 바람직하다. The guide portion may further include a movement space extending from the accommodation portion and providing a space for moving the target holder when moving the target holder with respect to the housing. At this time, the moving space is preferably formed in an elliptical shape.

하우징과 타겟홀더 사이의 밀봉을 위해, 타겟홀더의 일면에서 가이드홈의 외측에는 밀봉링이 배치될 수 있다. For sealing between the housing and the target holder, a sealing ring may be disposed outside the guide groove on one surface of the target holder.

본 발명의 다른 실시양태에 따르면, 엑스-레이 발생장치는 전자비임을 발생하는 전자총, 및 전자총에 연결되고, 전자총에서 발생한 전자비임을 시편을 통해 엑스-레이 디텍터로 유도하는 적어도 하나의 렌즈를 구비한 자기 렌즈계를 내장하는 하우징; 및 하우징에 탈착할 수 있게 설치되고, 자기 렌즈계에 의해 시편으로 유도되는 전자 비임을 엑스-레이로 변환하는 타겟유닛을 포함하며, 타겟유닛은 전자비임과 충돌하여 엑스-레이를 발생하는 타겟물질로 형성된 타겟, 하우징에 이동할 수 있게 부착되고, 중앙에 형성된 전자비임 투과홀에 대해 타겟을 고정하는 타겟 홀더, 및 전자비임이 타겟에 집속되는 집속스폿을 나선 형태 및 지그재그 형태 중 적어도 하나의 패턴으로 변화시키도록 타겟 홀더를 하우징에 대해 이동하도록 가이드하는 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another embodiment of the present invention, an X-ray generating apparatus includes an electron gun for generating an electron beam, and at least one lens connected to the electron gun and directing the electron beam generated from the electron gun to the X-ray detector through a specimen. A housing containing one magnetic lens system; And a target unit detachably mounted to the housing and converting an electron beam into an X-ray guided by the magnetic lens system to the specimen, wherein the target unit is a target material that generates an X-ray by colliding with the electron beam. Changing the formed target, the target holder movably attached to the housing and fixing the target to the electron beam transmission hole formed at the center, and the focusing spot where the electron beam is focused on the target in at least one of a spiral shape and a zigzag pattern. And a guide portion for guiding the target holder to move relative to the housing.

본 발명에 따르면, 이동가능한 타겟을 갖는 타겟유닛 및 그것을 구비한 엑스-레이 발생장치는 타겟홀더를 하우징에 대해 이동하도록 가이드하는 가이드부를 구비하므로, 전자비임이 타겟에 집속되는 집속스폿을 나선 형태 또는 지그재그 형태의 패턴으로 변화시킬 수 있다. 따라서, 종래의 타겟유닛에서와 같이 하나의 원 형 태의 집속스폿을 형성하는 경우 보다 타겟을 더 완전하게 사용할 수 있다. 그 결과, 자원이 절약될 수 있을 뿐 아니라, 타겟홀더의 교환 주기가 연장될 수 있게 되어, 엑스-레이 발생장치 및 그것을 사용하는 엑스-레이 검사시스템의 유지비용이 절감된다. According to the present invention, since the target unit having a movable target and the x-ray generating apparatus having the same have a guide part for guiding the target holder to move with respect to the housing, a spiral spot focusing spot where the electron beam is focused on the target or It can be changed into a zigzag pattern. Therefore, the target can be used more completely than in the case of forming a single focusing spot as in the conventional target unit. As a result, not only resources can be saved, but also the replacement period of the target holder can be extended, thereby reducing the maintenance cost of the X-ray generating apparatus and the X-ray inspection system using the same.

이하 본 발명의 양호한 실시예에 따른 이동가능한 타겟을 갖는 타겟유닛 및 그것을 구비한 엑스-레이 발생장치를 첨부도면에 관하여 상세히 설명한다. Hereinafter, a target unit having a movable target according to a preferred embodiment of the present invention and an x-ray generator having the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3는 본 발명의 일 실시예 따른 이동가능한 타겟을 갖는 타겟유닛(119)이 적용된 엑스-레이 발생장치(100)을 개략적으로 도시하는 단면도이다.3 is a cross-sectional view schematically illustrating an X-ray generator 100 to which a target unit 119 having a movable target is applied according to an embodiment of the present invention.

도 3에 도시한 바와 같이, 엑스-레이 발생장치(100)는 도시하지 않은 검사시스템의 엑스-레이 디텍터에서 시편의 투영 영상을 얻도록 시편에 엑스-레이를 조사하는 것으로, 하우징(120), 전자총(130), 자기 렌즈계(140), 및 타겟유닛(119)으로 구성된다. As shown in FIG. 3, the X-ray generating apparatus 100 irradiates an X-ray to a specimen so as to obtain a projection image of the specimen from an X-ray detector of an inspection system (not shown). The electron gun 130, the magnetic lens system 140, and the target unit 119.

하우징(120)은 제1 및 제2 하우징(121, 123)으로 구성될 수 있다. 제1 하우징(121)은 원통형태로 형성되어 내부에 전자총(130)을 내장하고, 제2 하우징(123)은 절두원추형의 상단부(124)를 갖는 원통형태로 형성되어 내부에 자기 렌즈계(140)를 내장한다. The housing 120 may be composed of first and second housings 121 and 123. The first housing 121 is formed in a cylindrical shape to embed the electron gun 130 therein, and the second housing 123 is formed in a cylindrical shape having an upper end portion 124 of a frusto-conical shape and has a magnetic lens system 140 therein. It is built.

전자총(130)은 전자비임을 발생하는 것으로, 캐소드(cathode) 전극(132), 전자를 방출하는 텅스텐과 같은 금속재질의 필라멘트(131), 필라멘트(131)를 수용하는 그리드(134), 및 필라멘트(131)에서 방출된 전자를 가속하기 위한 애노 드(anode) 전극(135)을 구비한다. 고전압 커넥터(136)는 외부 전압발생장치(도시하지 않음)와 연결되어, 캐소드 전극(132), 필라멘트(131), 그리드(134), 애노드 전극(135) 등에 전원을 공급한다. The electron gun 130 generates an electron beam, and includes a cathode electrode 132, a filament 131 made of metal such as tungsten for emitting electrons, a grid 134 for receiving the filament 131, and a filament An anode electrode 135 for accelerating electrons emitted from 131 is provided. The high voltage connector 136 is connected to an external voltage generator (not shown) to supply power to the cathode electrode 132, the filament 131, the grid 134, the anode electrode 135, and the like.

따라서, 전압발생장치로부터 고전압 커넥터(136)를 통해 필라멘트(131)에 가열전류가 인가되어 필라멘트(131)가 가열되면, 필라멘트(131)는 표면으로부터 전자비임을 방출한다. 필라멘트(131)에서 방출된 전자비임은 고전압 커넥터(136)를 통해 가속전압이 인가된 애노드 전극(135)에 의해 가속되어 자기 렌즈계(140)쪽으로 이동된다. Therefore, when a heating current is applied from the voltage generator to the filament 131 through the high voltage connector 136 and the filament 131 is heated, the filament 131 emits an electron beam from the surface. The electron beam emitted from the filament 131 is accelerated by the anode electrode 135 to which the accelerating voltage is applied through the high voltage connector 136 and is moved toward the magnetic lens system 140.

자기 렌즈계(140)는 엑스-레이 디텍터에서 시편의 투영 영상을 얻도록 전자총(130)에서 발생된 전자비임을 시편을 통해 엑스-레이 디텍터쪽으로 유도하는 것으로, 편향코일(141), 자기 집속렌즈(magnetic condensor lens)(142), 자기 대물렌즈(145), 및 비임 커터(148)로 구성된다. 편향코일(141)은 필라멘트(131)에서 발생되어 애노드 전극(135)에 의해 가속 방출되는 전자비임을 소정 방향과 면적으로 자기 집속렌즈(142)쪽으로 편향시킨다. 자기 집속렌즈(142)는 제2 하우징(123)과 일체로 형성된 제1 코어(143), 및 제1 코어(143)에 감긴 제1 코일(144)로 구성되고, 자기장에 의해 전자비임을 자기 집속렌즈(142)의 중심(O")에서 자기 대물렌즈(145)쪽으로 1차 집속한다. 자기 대물렌즈(145)는 제2 하우징(123)과 일체로 형성된 제2 코어(146), 및 제2 코어(146)에 감긴 제2 코일(147)로 구성되고, 자기장에 의해 전자 비임을 자기 집속렌즈(145)의 중심(O"')에서 후술하는 타겟유닛(119)의 타겟(151)쪽으로 2차 집속한다. 비임 커터(148)는 자기 대물렌즈(145)에 의해 집속되 는 전자비임을 정형화하여 타겟(151)에 도달되도록 한다. The magnetic lens system 140 induces an electron beam generated by the electron gun 130 toward the X-ray detector through the specimen to obtain a projection image of the specimen from the X-ray detector. The deflection coil 141 and the magnetic focusing lens ( magnetic condensor lens 142, magnetic objective lens 145, and beam cutter 148. The deflection coil 141 is generated from the filament 131 and is accelerated and discharged by the anode electrode 135 to deflect toward the magnetic focusing lens 142 in a predetermined direction and area. The magnetic focusing lens 142 includes a first core 143 integrally formed with the second housing 123, and a first coil 144 wound around the first core 143. The primary objective is focused from the center O ″ of the focusing lens 142 toward the magnetic objective lens 145. The magnetic objective lens 145 includes a second core 146 integrally formed with the second housing 123, and It consists of a second coil 147 wound around the two cores 146, and by the magnetic field toward the target 151 of the target unit 119 to be described later from the center (O "') of the magnetic focusing lens 145 Focus on the second. The beam cutter 148 forms an electron beam focused by the magnetic objective lens 145 to reach the target 151.

타겟유닛(119)은 자기 렌즈계(140)의 자기 대물렌즈(145)에 의해 시편으로 유도되는 전자비임과 충돌하여 엑스-레이로 변환하는 것으로, 제2 하우징(123)에 탈착할 수 있게 장착된다. The target unit 119 collides with an electron beam guided by the magnetic objective lens 145 of the magnetic lens system 140 to be converted into an X-ray, and is mounted to be detachably attached to the second housing 123. .

타겟유닛(119)은 타겟(151) 및 타겟홀더(153)를 구비한다. The target unit 119 includes a target 151 and a target holder 153.

타겟(151)은 전자비임을 통과시키면서 전자비임과 충돌하여 엑스-레이로 변환하는 텅스텐(W)과 같은 타겟물질에 의해 2-20㎛의 두께로 형성된 타겟물질막을 갖는 원판으로 형성될 수 있다. 이때, 원판은 베릴륨(Be) 또는 알루미늄(Al)과 같은 엑스-레이 투과손실률이 거의 없는 재료에 의해 형성된 원형기판에 증착법 또는 스퍼터링법에 의해 타겟물질막을 형성하는 것에 의해 형성될 수 있다. The target 151 may be formed of a disc having a target material film formed to a thickness of 2-20 μm by a target material such as tungsten (W) that passes through the electron beam and collides with the electron beam to convert into an X-ray. In this case, the original plate may be formed by forming a target material film by a deposition method or a sputtering method on a circular substrate formed of a material having almost no X-ray transmission loss such as beryllium (Be) or aluminum (Al).

타겟홀더(153)는 타겟(151)을 접합 고정하고, 고정캡(154)에 의해 제2 하우징(123)의 절두원추형의 상단부(124)의 상단면에 형성된 수용부(127)에 탈착할 수 있게 고정된다. 이를 위해, 고정캡(154)은 제2 하우징(123)의 상단부(124)의 수용부(127)를 형성하는 원형 돌출부(128)의 외주면과 나사 결합된다. The target holder 153 bonds and fixes the target 151, and is detachable to the receiving portion 127 formed on the upper surface of the upper end portion 124 of the truncated cone of the second housing 123 by the fixing cap 154. Is fixed. To this end, the fixing cap 154 is screwed with the outer circumferential surface of the circular protrusion 128 forming the receiving portion 127 of the upper end 124 of the second housing 123.

도 4a 내지 도 4c에 도시한 바와 같이, 자기 렌즈계(140)로부터 방출되는 전자비임이 타겟(151)에 집속되는 집속스폿(S1'-Sn')을 나선형 패턴으로 변화시키도록 제2 하우징(123)의 절두원추형의 상단부(124)의 수용부(127)내에서 타겟(151)을 구비한 타겟홀더(153)를 이동할 수 있게 하기 위해, 타겟홀더(153)와 제2 하우징(123)의 상단부(124)의 수용부(127) 사이에는 가이드부(170)가 형성된다. 4A to 4C, the second housing 123 so that the electron beam emitted from the magnetic lens system 140 changes the focusing spots S1'-Sn 'focused on the target 151 in a spiral pattern. The upper end of the target holder 153 and the second housing 123 in order to be able to move the target holder 153 with the target 151 within the receiving portion 127 of the truncated cone-shaped upper end 124 of FIG. A guide part 170 is formed between the receiving parts 127 of the 124.

가이드부(170)는 타겟홀더(153)의 하면에 형성된 가이드홈(171), 상단 부(124)의 수용부(127)에 형성되고, 가이드홈(171)에 삽입되는 가이드 돌기(173), 및 수용부(127)에서부터 연장 형성되고, 가이드홈(171)이 가이드 돌기( 173)에 의해 가이드 및 그것을 따라 이동할 때 타겟홀더(153)가 이동할 수 있는 공간을 제공하는 이동공간(127')으로 구성된 것이 바람직하다. Guide portion 170 is formed in the guide groove 171 formed on the lower surface of the target holder 153, the receiving portion 127 of the upper portion 124, the guide protrusion 173 is inserted into the guide groove 171, And extending from the receiving portion 127 to the moving space 127 ′ which provides a space for the target holder 153 to move when the guide groove 171 moves along the guide and the guide groove 171 by the guide protrusion 173. It is preferred to be configured.

이때, 도 3 및 도 4a 내지 도 4c에 도시한 바와 같이, 가이드홈(171)은 타겟홀더(153)의 중앙에 형성된 전자비임 투과홀(159)의 주위에 형성된 원형 소용돌이 형태의 나선형 홈이고, 가이드 돌기(173)는 나선형 홈에 삽입되는 돌기일 수 있다. 여기서, 가이드홈(171)은 원형 소용돌이 형태외에, 사각형 소용돌이 형태로도 구성될 수 있다. 이 경우, 이동공간(도시하지 않음)은 타겟홀더(153)가 전후방향(도 4a 내지 도 4c의 상하방향)으로도 이동할 수 있도록 전후방향으로 더 확장하여 형성된다.At this time, as shown in Figure 3 and 4a to 4c, the guide groove 171 is a spiral helical groove of the circular vortex formed around the electron beam transmission hole 159 formed in the center of the target holder 153, The guide protrusion 173 may be a protrusion inserted into the spiral groove. Here, the guide groove 171 may be configured in the form of a square vortex, in addition to the circular vortex. In this case, the moving space (not shown) is further extended in the front-rear direction so that the target holder 153 can also move in the front-rear direction (up-down direction in FIGS. 4A to 4C).

도 5에 도시한 바와 같이, 이동공간(127')은, 집속스폿(S1'-Sn')을 나선형 패턴으로 변화시키도록 검사자가 공구(179)를 사용하여 타겟홀더(153)를 회전킴으로서 가이드홈(171)이 가이드 돌기(173)에 의해 가이드되면서 그것을 따라 이동될 때, 타겟홀더(153)가 도 4a 내지 도 4c에 도시한 바와 같이 좌측으로 이동할 수 있도록 수용부(127)에서부터 타원형 형태로 연장 형성된다. 타겟홀더(153)는 공구(179)에 의해 회전될 때 공구(179)의 제1 및 제2 조정돌기(179a, 179b)와 맞물리는 제1 및 제2 조정홈(153a, 153b)이 상면에 형성된다. As shown in Fig. 5, the moving space 127 'is operated by the inspector using the tool 179 to rotate the target holder 153 to change the focus spots S1'-Sn' in a spiral pattern. When the guide groove 171 is guided by the guide protrusion 173 and moved along it, the target holder 153 is elliptical from the receiving portion 127 to move to the left side as shown in FIGS. 4A to 4C. Is formed extending. The target holder 153 has a first and second adjustment grooves 153a and 153b engaged with the first and second adjustment protrusions 179a and 179b of the tool 179 when rotated by the tool 179. Is formed.

수용부(127)와 타겟홀더(153) 사이의 밀봉을 위해, 타겟홀더(153)의 하면과 수용부(127) 사이에는 고무재의 0형 밀봉링(181)이 배치된다. 밀봉링(181)은 타겟 홀더(153)가 이동할 때 타겟홀더(153)와 함께 이동할 수 있도록 가이드홈(171)의 외측에서 타겟홀더(153)에 부착되는 것이 바람직하다. In order to seal between the receiving portion 127 and the target holder 153, a zero-type sealing ring 181 of rubber material is disposed between the lower surface of the target holder 153 and the receiving portion 127. The sealing ring 181 may be attached to the target holder 153 on the outside of the guide groove 171 to move together with the target holder 153 when the target holder 153 moves.

이상과 같이 구성된 타겟유닛(119)을 구비한 엑스-레이 발생장치(100)의 타겟(151)을 이동시켜 사용하는 동작을 도 3 내지 도 5를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. An operation of moving and using the target 151 of the X-ray generator 100 having the target unit 119 configured as described above will be described in detail with reference to FIGS. 3 to 5.

먼저, 도 3에 도시한 바와 같이, 자기 렌즈계(140)에서 방출되는 전자비임은 타겟(151)에 집속스폿(S')을 형성한다. 이때, 자기 렌즈계(140)의 비임축은 전자비임이 타겟(151)의 중심에서 집속스폿(S')을 형성하도록 위치한다. 전자비임은 집속스폿(S')에서 타겟(151)의 타겟물질과 충돌하여 타겟물질을 소멸시키면서 엑스-레이로 변환된다. 접속스폿(S')에서 타겟물질이 소멸되면, 전자비임은 타겟(151)과 충돌하여도 엑스-레이로 변환되지 않으므로, 타겟홀더(153)는 검사자가 도 5에 도시한 바와 같이 공구(179)의 제1 및 제2 조절돌기(179a, 179b)를 제1 및 제2 조정홈(153a, 153b)에 삽입한 다음 공구(179)를 회전하는 것에 의해 일방향, 즉 도 4a의 시계반대방향으로 한 집속스폿의 간격 만큼 회전된다. First, as shown in FIG. 3, the electron beam emitted from the magnetic lens system 140 forms a focus spot S ′ on the target 151. At this time, the beam axis of the magnetic lens system 140 is positioned so that the electron beam forms a focusing spot S 'at the center of the target 151. The electron beam collides with the target material of the target 151 at the focusing spot S 'and is converted into X-rays while extinguishing the target material. When the target material is extinguished in the connection spot S ', the electron beam is not converted into an X-ray even when collided with the target 151, so that the target holder 153 is a tool 179 as shown by FIG. By inserting the first and second adjusting projections 179a and 179b into the first and second adjusting grooves 153a and 153b and then rotating the tool 179 in one direction, ie counterclockwise in FIG. 4A. It is rotated by the interval of one focusing spot.

이때, 도 4a에 도시한 바와 같이, 자기 렌즈계(140)의 비임축이 타겟(151)의 중심에서 집속스폿(S')을 형성하도록 위치하고 타겟홀더(153)의 가이드홈(171)이 그 일단에서부터 가이드 돌기(173)에 의해 나선형태로 가이드되므로, 전자비임은 가이드홀(173)의 형태에 대응하는 원형 소용돌이 형태의 곡선을 따라 한 집속스폿의 간격 만큼 이동하여 다음 집속스폿(S1')을 형성하고, 타겟홀더(153)는 가이드홀(171)의 나선 기울기 만큼 아주 미세하게 좌측으로 이동한다.At this time, as shown in Figure 4a, the beam axis of the magnetic lens system 140 is positioned so as to form a focusing spot (S ') in the center of the target 151, the guide groove 171 of the target holder 153 is one end thereof Since the guide projection 173 is guided in a spiral shape from, the electron beam is moved along the circular swirl-shaped curve corresponding to the shape of the guide hole 173 by one focal spot interval to move the next focal spot S1 '. The target holder 153 moves to the left side very finely as much as the helix slope of the guide hole 171.

이어서, 전자비임은 다음 집속스폿(S1')에서 타겟(151)의 타겟물질과 충돌하여 엑스-레이로 변환된다. 다시 집속스폿(S1')에서 타겟(141)의 타겟물질이 소멸되면, 타겟홀더(153)는 위에서 설명한 바와 같은 방법으로 공구(179)에 의해 시계반대방향으로 한 집속스폿의 간격 만큼 회전하고, 전자비임은 다음 집속스폿(Sn')에서 타겟물질과 충돌하여 엑스-레이로 변환된다. Subsequently, the electron beam collides with the target material of the target 151 at the next focusing spot S1 ′ and is converted into an X-ray. When the target material of the target 141 again disappears in the focus spot S1 ′, the target holder 153 is rotated by the tool 179 in the counterclockwise direction by the interval of the focusing spot in the same manner as described above. The electron beam collides with the target material at the next focusing spot Sn 'and is converted into X-rays.

이러한 동작은 타겟홀더(153)가 수 회전하여 원형 소용돌이 형태의 곡선을 형성하는 집속스폿(S', S1'...Sn')들에서 타겟물질이 소멸될 때까지 반복된다. 이때, 도 4b 및 도 4c에 도시한 바와 같이, 타겟홀더(153)는 가이드홈(171)이 가이드 돌기(173)에 의해 가이드되면서 이동공간(127')내에서 도 4b의 위치를 거쳐 도 4c의 위치로 이동된 다음, 가이드홈(171)의 타단에서 가이드 돌기(173)에 의해 이동이 저지된다.This operation is repeated until the target material disappears at the focusing spots S ', S1' ... Sn 'where the target holder 153 rotates several times to form a circular swirl curve. In this case, as shown in FIGS. 4B and 4C, the target holder 153 is guided by the guide protrusion 173 while the guide groove 171 is moved through the position of FIG. 4B in the moving space 127 ′ through FIG. 4C. After being moved to the position of the guide groove 171, the movement is inhibited by the guide protrusion 173 at the other end.

그후, 타겟홀더(153)를 교체하기 위해, 검사자는 고정캡(154)을 회전하여 고정캡(154)을 제2 하우징(123)의 원형돌출부(128)로부터 제거하고, 타겟홀더(153)를 제2 하우징(123)의 수용부(127)로부터 분리 제거한다. 그 다음, 검사자는 새 타겟(151)을 보유한 타겟홀더(153)를 가이드홈(171)의 일단이 가이드 돌기(173)에 맞물리도록 함과 함께 수용부(127)에 끼워놓은 후, 고정캡(154)을 제2 하우징(123)의 원형돌출부(128)에 결합한다. 그 결과, 새 타겟(151)을 보유한 타겟홀더(153)의 교체작업은 완료된다. Then, in order to replace the target holder 153, the inspector rotates the fixing cap 154 to remove the fixing cap 154 from the circular protrusion 128 of the second housing 123, and removes the target holder 153. Separately remove from the receiving portion 127 of the second housing (123). Next, the inspector inserts the target holder 153 having the new target 151 into the receiving portion 127 while engaging one end of the guide groove 171 with the guide protrusion 173 and then fixing the cap ( 154 is coupled to the circular protrusion 128 of the second housing 123. As a result, the replacement work of the target holder 153 holding the new target 151 is completed.

도 6는 본 발명의 변형예의 가이드부(170')를 예시하는 평면도이다.6 is a plan view illustrating a guide portion 170 'of a modification of the present invention.

도 6에 도시한 바와 같이, 가이드부(170')는 가이드홈(171'), 가이드 돌 기(173'), 및 이동공간(127")으로 구성된다. As shown in FIG. 6, the guide part 170 ′ is configured of a guide groove 171 ′, a guide protrusion 173 ′, and a moving space 127 ″.

가이드홈(171')은 타겟홀더(153)의 전자비임 투과홀의 양측에서 타겟홀더(153)의 하면에 각각 형성된 ㄹ자 형태의 제1 및 제2 지지재그홈(171a, 171b)으로 형성된다. 가이드 돌기(173')는 제1 및 제2 지지재그홈(171a, 171b)에 각각 삽입되는 제1 및 제2돌기(173a, 173b)로 형성된다. 여기서, 제1 및 제2 지지재그홈(171a, 171b)은 ㄹ자형 지지재그 형태외에, W자형 지그재그 형태로도 구성될 수 있다. 이동공간(127")은 집속스폿(S", S1"...Sn")을 지그재그형 패턴으로 변화시키도록 검사자가 공구(179)를 사용하여 타겟홀더(153)를 상하 및 좌우로 이동시켜 가이드홈(171')가 가이드 돌기(173')에 의해 가이드 및 그것을 따라 이동될 때, 타겟홀더(153)가 상부 및 좌로 이동할 수 있도록 수용부(127)에서부터 수용부(127)보다 타겟홀더(153)가 상부 및 좌로 이동하는 거리 만큼 더 확장된 사각 타원형 형태로 형성된다. The guide groove 171 ′ is formed of first and second support zigzag grooves 171a and 171b having a letter L shape formed on the bottom surface of the target holder 153 at both sides of the electron beam transmission hole of the target holder 153. The guide protrusion 173 ′ is formed of the first and second protrusions 173a and 173b inserted into the first and second support zag grooves 171a and 171b, respectively. Here, the first and second support zigzag grooves 171a and 171b may be configured in a W-shaped zigzag form, in addition to the zi-shaped support zig shape. The moving space 127 "allows the inspector to move the target holder 153 up and down and left and right using a tool 179 to change the focus spots S", S1 "... Sn" in a zigzag pattern. When the guide groove 171 'is moved along the guide and the guide by the guide protrusion 173', the target holder (127) than the receiving portion 127 from the receiving portion 127 so that the target holder 153 can move to the upper and left 153 is formed in a rectangular elliptical shape that is further extended by a distance moving up and to the left.

이와 같이 구성된 변형예의 가이드부(170')의 동작은 타겟홀더(153)가 상부 및 좌로 이동하여 가이드홈(171')이 가이드 돌기(173')에 의해 가이드되고, 이에 의해 집속스폿(S", S1"...Sn")들이 ㄹ자형 지지재그 형태로 형성된다는 점을 제외하고는 도 3 내지 5와 관련하여 설명한 가이드부(170)와 거의 동일하다. 따라서, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.The operation of the guide unit 170 'of the modified example configured as described above moves the target holder 153 to the top and left so that the guide groove 171' is guided by the guide protrusion 173 ', whereby the focus spot S " , S1 "... Sn") are almost the same as the guide unit 170 described with reference to Figures 3 to 5, except that they are formed in the form of a r-shaped support jag. .

이상에서, 본 발명의 특정한 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 또한 설명하였다. 그러나, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 특허청구의 범위에서 청구하는 본 발명의 요지와 사상을 벗어남이 없이 당해 발명에 속하는 기술분 야에서 통상의 지식을 가진자라면 누구든지 다양한 수정과 변형실시가 가능할 것이다.In the above, certain preferred embodiments of the present invention have been shown and described. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made by those skilled in the art without departing from the spirit and spirit of the present invention as claimed in the claims. And modifications will be possible.

본 발명은 엑스-레이 검사시스템의 엑스-레이 발생장치에 적용되어, 전자비임이 타겟에 집속되는 집속스폿을 나선 형태 또는 지그재그 형태의 패턴으로 변화시킴으로써, 타겟을 더 완전하게 사용할 수 있고, 그에 따라, 자원을 절약할 수 있을 뿐 아니라, 타겟홀더의 교환 주기를 연장할 수 있게 하는데 유용하게 사용될 수 있다. The present invention is applied to the X-ray generating apparatus of the X-ray inspection system, by changing the focusing spot where the electron beam is focused on the target in a spiral or zigzag pattern, the target can be used more completely, and accordingly In addition, it can be useful to save resources and to extend the exchange period of the target holder.

도 1은 종래의 엑스-레이 발생장치의 타겟유닛을 예시하는 부분 단면도,1 is a partial cross-sectional view illustrating a target unit of a conventional x-ray generating apparatus;

도 2는 도 1에 도시한 타겟유닛의 동작을 예시하는 평면도,2 is a plan view illustrating the operation of the target unit shown in FIG. 1;

도 3은 본 발명에 따른 이동가능한 타겟을 갖는 타겟유닛이 적용된 엑스-레이 발생장치를 예시하는 단면도,3 is a cross-sectional view illustrating an x-ray generating apparatus to which a target unit having a movable target according to the present invention is applied;

도 4a, 도 4b 및 도 4c는 도 3에 도시한 타겟유닛의 가이드부의 동작을 예시하는 평면도.4A, 4B and 4C are plan views illustrating the operation of the guide unit of the target unit shown in FIG.

도 5는 도 3에 도시한 타겟유닛의 타겟홀더를 회전시키는 공구의 동작을 예시하는 부분 단면도, 및5 is a partial cross-sectional view illustrating the operation of a tool for rotating the target holder of the target unit shown in FIG. 3;

도 6은 도 3에 도시한 타겟유닛의 가이드부의 변형예를 예시하는 평면도이다.6 is a plan view illustrating a modification of the guide unit of the target unit shown in FIG. 3.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100: 엑스-레이 발생장치 119: 타겟유닛100: x-ray generator 119: target unit

121, 123: 하우징 127: 수용부121, 123: housing 127: receiving portion

127: 이동공간 151: 타겟127: moving space 151: target

153: 타겟홀더 154: 고정캡153: target holder 154: fixed cap

170, 170': 가이드부 171, 171': 가이드홈170, 170 ': guide section 171, 171': guide groove

1173, 173': 가이드 돌기 179: 공구1173, 173 ': Guide turning 179: Tool

Claims (11)

전자비임과 충돌하여 엑스-레이를 발생하는 타겟물질로 형성된 타겟, A target formed of a target material that collides with the electron beam to generate x-rays, 공구에 의해 회전되거나 상하 및 좌우로 이동될 수 있도록 엑스-레이 발생장치의 하우징에 이동할 수 있게 부착되고, 상기 타겟을 고정하는 타겟홀더, 및A target holder movably attached to the housing of the x-ray generator so as to be rotated or moved up and down and left and right by a tool, and to fix the target; 상기 타겟홀더가 상기 공구에 의해 회전되거나 상하 및 좌우로 이동될 때 전자비임이 상기 타겟에 집속되는 집속스폿을 나선 형태 및 지그재그 형태 중 하나의 패턴으로 변화시키도록 상기 타겟홀더를 하우징에 대해 이동하도록 가이드하는 가이드부를 포함하며,To move the target holder relative to the housing such that when the target holder is rotated by the tool or moved up, down, left and right, the electron beam changes the focusing spot focused on the target in one of spiral or zigzag patterns. It includes a guide for guiding, 상기 타겟홀더는 상기 공구에 의해 회전되거나 상하 및 좌우로 이동될 수 있도록 상면에 상기 공구의 조정돌기와 맞물리는 조정홈이 형성되며,      The target holder is provided with an adjustment groove which is engaged with the adjustment projection of the tool on the upper surface to be rotated or moved up and down and left and right by the tool, 상기 가이드부는 상기 타겟홀더의 하면에서 상기 타겟홀더의 중앙에 형성된 전자비임 투과홀의 주위에 형성된 적어도 하나의 가이드홈, 및 상기 타겟홀더를 수용하도록 상기 하우징에 형성된 수용부에 형성되고 상기 가이드홈에 삽입되는 적어도 하나의 가이드 돌기를 포함하는 엑스-레이 발생장치의 이동가능한 타겟유닛. The guide portion is formed on the lower surface of the target holder at least one guide groove formed around the electron beam transmission hole formed in the center of the target holder, and a receiving portion formed in the housing to receive the target holder and inserted into the guide groove Movable target unit of the x-ray generating device comprising at least one guide projection. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 나선 형태는 원형 소용돌이 형태 및 사각형 소용돌이 형태 중 하나를 포함하며,The spiral form includes one of a circular swirl and a square swirl; 상기 지그재그 형태는 ㄹ자형 지지재그 형태 및 W자형 지그재그 형태 중 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스-레이 발생장치의 이동가능한 타겟유닛. The zigzag shape is a movable target unit of the x-ray generating apparatus, characterized in that it comprises one of the r-shaped support zag shape and W-shaped zigzag shape. 삭제delete 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 가이드홈은 상기 전자비임 투과홀의 주위에 형성된 하나의 나선형 홈을 포함하며, The guide groove includes one spiral groove formed around the electron beam transmission hole, 상기 가이드 돌기는 상기 나선형 홈에 삽입되는 하나의 돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스-레이 발생장치의 이동가능한 타겟유닛. The guide projection is movable target unit of the x-ray generating apparatus, characterized in that it comprises a projection inserted into the spiral groove. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가이드 홈은 상기 전자비임 투과홀의 양측에 각각 형성된 제1 및 제2 지지재그형 홈을 포함하며,The guide groove includes first and second support jag-shaped grooves formed at both sides of the electron beam transmission hole, 상기 가이드 돌기는 상기 제1 및 제2 지지재그형 홈에 각각 삽입되는 제1 및 제2돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스-레이 발생장치의 이동가능한 타겟유닛. And the guide protrusion includes first and second protrusions respectively inserted into the first and second support jag-shaped grooves, respectively. 제1항에 있어서, 상기 가이드부는, 상기 수용부에서부터 연장 형성되고, 상기 타겟홀더를 상기 하우징에 대해 이동하도록 할 때 상기 타겟홀더가 이동할 수 있는 공간을 제공하는 이동공간을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스-레이 발생장치의 이동가능한 타겟유닛. The method of claim 1, wherein the guide portion, extending from the receiving portion, characterized in that it further comprises a moving space for providing a space for the target holder to move when moving the target holder relative to the housing; A movable target unit of the X-ray generating device. 제6항에 있어서, 상기 이동공간은 타원형 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 엑스-레이 발생장치의 이동가능한 타겟유닛. The movable target unit of claim 6, wherein the moving space is formed in an elliptical shape. 제1항에 있어서, 상기 타겟홀더의 하면에서 상기 가이드홈의 외측에는 밀봉링이 배치된 것을 특징으로 하는 엑스-레이 발생장치의 이동가능한 타겟유닛. The movable target unit of claim 1, wherein a sealing ring is disposed at an outer side of the guide groove at a lower surface of the target holder. 전자비임을 발생하는 전자총, 및 상기 전자총에 연결되고, 상기 전자총에서 발생한 전자비임을 시편을 통해 엑스-레이 디텍터로 유도하는 적어도 하나의 렌즈를 구비한 자기 렌즈계를 내장하는 하우징; 및 A housing including an electron gun for generating an electron beam, and a magnetic lens system connected to the electron gun and having at least one lens for inducing an electron beam generated from the electron gun to an X-ray detector through a specimen; And 상기 하우징에 탈착할 수 있게 설치되고, 상기 자기 렌즈계에 의해 상기 시편으로 유도되는 전자비임을 엑스-레이로 변환하는 타겟유닛을 포함하며, It is detachably installed in the housing, and comprises a target unit for converting the electron beam to the X-ray guided by the magnetic lens system, 상기 타겟유닛은,The target unit, 전자비임과 충돌하여 엑스-레이를 발생하는 타겟물질로 형성된 타겟, A target formed of a target material that collides with the electron beam to generate x-rays, 공구에 의해 회전되거나 상하 및 좌우로 이동될 수 있도록 상기 하우징에 이동할 수 있게 부착되고, 중앙에 형성된 전자비임 투과홀에 대해 상기 타겟을 고정하는 타겟 홀더, 및 A target holder movably attached to the housing so as to be rotated or moved up and down and left and right by a tool, the target holder fixing the target to the electron beam transmission hole formed at the center; 상기 타겟홀더가 상기 공구에 의해 회전되거나 상하 및 좌우로 이동될 때 전자비임이 상기 타겟에 집속되는 집속스폿을 나선 형태 및 지그재그 형태 중 적어도 하나의 패턴으로 변화시키도록 상기 타겟홀더를 상기 하우징에 대해 이동하도록 가이드하는 가이드부를 포함하며,When the target holder is rotated by the tool or moved up, down, left and right, the target holder with respect to the housing to change the focusing spot focused on the target in at least one pattern of spiral or zigzag form. It includes a guide for guiding to move, 상기 타겟홀더는 상기 공구에 의해 회전되거나 상하 및 좌우로 이동될 수 있도록 상면에 상기 공구의 조정돌기와 맞물리는 조정홈이 형성되며,       The target holder is provided with an adjustment groove which is engaged with the adjustment projection of the tool on the upper surface to be rotated or moved up and down and left and right by the tool, 상기 가이드부는 상기 타겟홀더의 하면에서 상기 타겟홀더의 중앙에 형성된 상기 전자비임 투과홀의 주위에 형성된 적어도 하나의 가이드홈, 및 상기 타겟홀더를 수용하도록 상기 하우징에 형성된 수용부에 형성되고 상기 가이드홈에 삽입되는 적어도 하나의 가이드 돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스-레이 발생장치.The guide part may include at least one guide groove formed around the electron beam transmission hole formed at the center of the target holder at a lower surface of the target holder, and an accommodation part formed in the housing to receive the target holder and formed in the guide groove. And an at least one guide protrusion inserted therein. 전자비임과 충돌하여 엑스-레이를 발생하는 타겟물질로 형성된 타겟, A target formed of a target material that collides with the electron beam to generate x-rays, 엑스-레이 발생장치의 하우징에 이동할 수 있게 부착되고, 상기 타겟을 고정하는 타겟홀더, 및     A target holder movably attached to the housing of the x-ray generator and fixing the target; 전자비임이 상기 타겟에 집속되는 집속스폿을 나선 형태 및 지그재그 형태 중 하나의 패턴으로 변화시키도록 상기 타겟홀더를 하우징에 대해 이동하도록 가이드하는 가이드부를 포함하며,     And a guide part for guiding the target holder with respect to the housing so that the electron beam changes the focusing spot focused on the target in one of spiral and zigzag patterns. 상기 타겟홀더는 공구에 의해 회전될 수 있도록 상기 공구의 조정돌기와 맞물리는 조정홈을 포함하며,     The target holder includes an adjusting groove which is engaged with the adjusting projection of the tool to be rotated by the tool, 상기 가이드부는 상기 타겟홀더와 상기 하우징에 형성되고, 상기 타겟홀더가 상기 공구에 의해 회전될 때 상기 타겟홀더가 회전동작과 동시에 적어도 일방향으로 직선 이동되도록 상기 하우징에 대한 상기 타겟홀더의 이동을 가이드하는 것을 특징으로 하는 엑스-레이 발생장치의 이동가능한 타겟유닛.     The guide part is formed in the target holder and the housing and guides the movement of the target holder relative to the housing such that the target holder is linearly moved in at least one direction simultaneously with the rotation operation when the target holder is rotated by the tool. A movable target unit of the x-ray generating apparatus, characterized in that. 전자비임을 발생하는 전자총, 및 상기 전자총에 연결되고, 상기 전자총에서 발생한 전자비임을 시편을 통해 엑스-레이 디텍터로 유도하는 적어도 하나의 렌즈를 구비한 자기 렌즈계를 내장하는 하우징; 및 A housing including an electron gun for generating an electron beam, and a magnetic lens system connected to the electron gun and having at least one lens for inducing an electron beam generated from the electron gun to an X-ray detector through a specimen; And 상기 하우징에 탈착할 수 있게 설치되고, 상기 자기 렌즈계에 의해 상기 시편으로 유도되는 전자비임을 엑스-레이로 변환하는 타겟유닛을 포함하며, It is detachably installed in the housing, and comprises a target unit for converting the electron beam to the X-ray guided by the magnetic lens system, 상기 타겟유닛은,The target unit, 전자비임과 충돌하여 엑스-레이를 발생하는 타겟물질로 형성된 타겟, A target formed of a target material that collides with the electron beam to generate x-rays, 상기 하우징에 이동할 수 있게 부착되고, 중앙에 형성된 전자비임 투과홀에 대해 상기 타겟을 고정하는 타겟 홀더, 및 A target holder movably attached to the housing and fixing the target to an electron beam transmission hole formed at a center thereof; 전자비임이 상기 타겟에 집속되는 집속스폿을 나선 형태 및 지그재그 형태 중 적어도 하나의 패턴으로 변화시키도록 상기 타겟홀더를 상기 하우징에 대해 이동하도록 가이드하는 가이드부를 포함하며,     And a guide part for guiding the target holder relative to the housing so that the electron beam changes the focusing spot focused on the target in at least one of a spiral shape and a zigzag shape. 상기 타겟홀더는 공구에 의해 회전될 수 있도록 상기 공구의 조정돌기와 맞물리는 조정홈을 포함하며,      The target holder includes an adjusting groove which is engaged with the adjusting projection of the tool to be rotated by the tool, 상기 가이드부는 상기 타겟홀더와 상기 하우징에 형성되고, 상기 타겟홀더가 상기 공구에 의해 회전될 때 상기 타겟홀더가 회전동작과 동시에 적어도 일방향으로 직선 이동되도록 상기 하우징에 대한 상기 타겟홀더의 이동을 가이드하는 것을 특징으로 하는 엑스-레이 발생장치.     The guide part is formed in the target holder and the housing and guides the movement of the target holder relative to the housing such that the target holder is linearly moved in at least one direction simultaneously with the rotation operation when the target holder is rotated by the tool. X-ray generator, characterized in that.
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