KR100978487B1 - A flood light apparatus for appearance inspection of surface - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판검사용 조명장치에 관한 것으로, 검사 대상물의 영상을 획득하여 불량품을 검출하기 위한 검사장치에서 상기 검사 대상물을 영상으로 획득하기 위해 구비되는 촬영장치와, 상기 촬영장치가 영상을 획득하도록 조명을 제공하는 기판검사용 조명장치에 있어서, 상기 대상물을 향한 입사각도가 각각 다르게 배치되는 것으로, 광원으로부터 광을 공급받아 조사하는 복수개의 제 1조명부, 광을 조사하는 상기 제 1조명부의 선단에 구비되어 광을 입사받는 투명판 및 상기 대상물을 임의의 각도에서 바라보도록 배치되는 제 2조명부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 집광력을 향상시켜 검사 대상물의 조명광을 제공함에 따라 대상물 측정의 보다 높다 효율성을 제공한다.The present invention relates to a lighting apparatus for inspecting a substrate, an imaging apparatus provided to obtain the inspection object as an image in an inspection apparatus for acquiring an image of the inspection object and detecting a defective product, and the imaging device to acquire an image. In the illumination device for inspection of the substrate providing illumination, the angle of incidence toward the object is arranged differently, a plurality of first lighting unit for irradiating the light supplied from the light source, the front end of the first lighting unit for irradiating light It is characterized in that it comprises a transparent plate that is provided to receive the light and the second illumination portion disposed to look at the object from any angle. The present invention thus constructed provides a higher efficiency of object measurement as it improves condensing power to provide illumination light of the inspection object.

조명, 광파이버, 검사, 면조명, 투명판  Lighting, fiber optic, inspection, surface lighting, transparent plate

Description

기판검사용 조명장치{A FLOOD LIGHT APPARATUS FOR APPEARANCE INSPECTION OF SURFACE}Substrate inspection lighting device {A FLOOD LIGHT APPARATUS FOR APPEARANCE INSPECTION OF SURFACE}

본 발명은 기판검사용 조명장치에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 광파이버를 이용한 조명광을 제공하고, 집광력을 향상시켜 검사 대상물에 보다 효율적인 광을 조사하여 검출성을 향상시키고자 하는 기판검사용 조명장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate inspection lighting apparatus, and more particularly, to provide illumination light using an optical fiber, and to improve the focusing power to illuminate the inspection object more efficient light to improve the detectability It is about.

일반적으로 반도체 웨이퍼나 PCB, LCD, PDP, 유기 EL 등의 평판표시소자인 기판(이하 "기판"이라 총칭함) 생산할 때 기판에 남아 있는 이물이나 얼룩 등의 결함을 발견하기 위하여 제조라인에서는, 임의의 공정 종료 후에 검사공정을 두고, 기판에 조명을 조사하고, 그 반사광을 육안관찰 하거나, 또는 그 상을 촬상해서 화상처리 함으로써 제품검사를 행하고 있다.In the manufacturing line, in order to detect defects such as foreign substances or stains remaining on the substrate when producing a substrate (hereinafter referred to collectively as a "substrate"), which is a semiconductor wafer or a flat panel display device such as a PCB, an LCD, a PDP, or an organic EL, After the completion of the process, the inspection process is performed, and the product is inspected by illuminating the substrate, visually observing the reflected light, or imaging and image processing the image.

이때, 결함의 발견을 용이하게 하기 위하여 기판 전체를 균일하게 조명하는 조명 장치가 사용된다.At this time, an illumination device that uniformly illuminates the entire substrate is used to facilitate the detection of defects.

종래 기판 결함 검사의 일 실시예로 도 1에 도시된 바와 같은 조명 장치(10) 가 이용되고 있었으며, 상기 조명 장치(10)는 램프(12)와 필터부(20)와 로드 렌즈(32)와 제1, 2 렌즈부(34, 36)로 이루어진다. 여기서, 상기 로드 렌즈(32)와 제1, 2 렌즈부(34, 36)는 여러 단차가 형성되는 경통(30) 내부에 위치 고정되며 램프(12)와 필터부(20)는 경통(30)의 외부인 후방에 구비된다. 그리고 상기 경통(30)의 후단과, 타원 반사경(14)이 구비된 램프(12)와, 필터부(20)는 램프 하우징(H) 내부에 위치된다. 상기 램프(12)는 광원으로 인가 전원에 의해 광을 제공하는 기능을 하며, 후방에 상기 램프(12)에서 제공하는 광을 전방을 향해 집광할 수 있도록 타원 반사경(14)이 더 포함된다.Conventionally, an illumination device 10 as shown in FIG. 1 is used as an example of substrate defect inspection, and the illumination device 10 includes a lamp 12, a filter unit 20, a rod lens 32, It consists of the 1st, 2nd lens part 34 and 36. Here, the rod lens 32 and the first and second lens units 34 and 36 are fixed to the inside of the barrel 30 in which various steps are formed, and the lamp 12 and the filter unit 20 are the barrel 30. It is provided at the rear of the outside. The rear end of the barrel 30, the lamp 12 provided with the ellipsoidal reflector 14, and the filter unit 20 are positioned inside the lamp housing H. The lamp 12 has a function of providing light by an applied power source as a light source, and further includes an elliptical reflector 14 at the rear to focus the light provided by the lamp 12 toward the front.

상기 필터부(20)는 상기 램프(12)의 전방에 구비되어 구동부(도면에 미도시)에 의해 회전하게 되며, 특정 색광(Red, Green, Blue : R, G, B)으로 분리하기 위해 구비된다. 더욱이, 상기 필터부(20)는 R, G, B 필터가 일정한 비율로 분할 형성된 원반 형태로 구비되고 회전됨에 따라 순차적으로 색이 필터링(Filtering)되어 조사되도록 하는 기능을 한다.The filter unit 20 is provided at the front of the lamp 12 to be rotated by a driving unit (not shown in the figure), and provided to separate the specific color light (Red, Green, Blue: R, G, B). do. Furthermore, the filter unit 20 functions to filter and irradiate colors sequentially as the R, G, and B filters are provided in a disk form formed at a predetermined ratio and rotated.

상기 로드 렌즈(32)는 상기 필터부(20)의 전방인 경통(30)의 후단 내부에 구비되며 그 단면 형상이 정사각형 또는 직사각형으로 형성되되 수평 상태의 길이 방향으로 연장되는 직사각 형상으로 형성되어 상기 램프(12)의 광이 이 내부에서 여러번 반사되면서 통과되어 통과된 광이 기판(도면에 미도시)에 조사되도록 출사하는 기능을 한다.The rod lens 32 is provided inside the rear end of the barrel 30, which is the front of the filter unit 20, and has a rectangular or rectangular cross-sectional shape and is formed in a rectangular shape extending in a horizontal direction in the horizontal state. The light of the lamp 12 is reflected many times therein and serves to emit the light passing through the substrate (not shown).

다시 말해 상기 램프(12) 나온 광이 로드 렌즈(32)의 입사면에서 출사면으로 진행되어 출사면이 마치 제 2의 균일한 휘도 분포를 갖는 면 광원이 된다. 상기 제 1 렌즈부(34)는 여러 개로 조합되어 이루어지되 상기 로드 렌즈(32)의 전방인 경통(30) 내부에 구비되며 이 로드렌즈(32)에 투과된 광을 조명하는 기능을 한다.In other words, the light emitted from the lamp 12 proceeds from the entrance face of the rod lens 32 to the exit face, so that the exit face becomes a surface light source having a second uniform luminance distribution. The first lens unit 34 is composed of a plurality of combinations are provided in the barrel 30 in front of the rod lens 32 and serves to illuminate the light transmitted through the rod lens 32.

상기 제2 렌즈부(36)는 상기 제1 렌즈부(34)의 전방인 경통(30) 내부 선단에 구비되며, 이 제1 렌즈부(34)에서 조명된 광을 확대시켜 기판에 출사시키는 기능을 한다.The second lens unit 36 is provided at the inner end of the barrel 30 that is in front of the first lens unit 34, and expands the light illuminated by the first lens unit 34 to the substrate. Do it.

하지만, 절연층으로 덮인 기판의 부위를 검사하기 위한 조명은 약 45도 이하로 낮게 입사하게 되는데, 이러한 조명에 대해서는 일반적으로 반사되어 카메라로 입사하는 빛이 줄어들게 된다. 따라서 절연층인 에폭시만 있는 경우는 반사가 적게 일어나서 이미지의 밝기가 어두워지고, 절연층 아래에 금속이 있어서 반사가 잘 일어나는 경우에는 상대적으로 밝은 이미지를 얻어 대비(contrast)가 높아지는 것으로 보인다.However, the illumination for inspecting the portion of the substrate covered with the insulating layer is incident low to about 45 degrees or less, which is generally reflected light is reduced to enter the camera. Therefore, when only epoxy is an insulating layer, the reflection is less generated, and the brightness of the image is darker. When the metal is under the insulating layer, the reflection is well obtained, and the contrast is obtained by obtaining a relatively bright image.

그에 비해 상대적으로 입사 각도가 높은 단자 검사 조명은 조명이 입사하는 바로 그 면에서 반사가 크게 일어나서 절연층 아래에 금속이 있는 경우와 없는 경우의 대비 차이가 적어지는 것으로 문제점이 있다. On the other hand, the terminal inspection lighting having a relatively high incident angle has a problem in that the reflection is greatly generated at the very surface where the illumination is incident, so that the difference in contrast between the case of the metal under the insulating layer and the case of the absence of the metal is small.

또한, 종래의 조명장치는 방향성을 가지는 조명을 사용하기 때문에 대상물 표면의 불량에 따른 형상적 차이로 인하여 광의 조사가 원활하지 못하기 때문에 이미지 획득이 저하되는 단점이 있다.In addition, the conventional lighting apparatus has a disadvantage in that the image acquisition is reduced because the irradiation of light is not smooth due to the shape difference according to the defect of the surface of the object because it uses the directional illumination.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 검사 대상물에 조사되는 조 명(광)의 집광력을 향상시켜 조사시킴으로써, 대상물의 영상을 획득하는 카메라로 대상물의 상태에 따른 효과적인 조명을 공급하여 보다 정확한 영상을 획득하고자 하는데 그 목적이 있다.The present invention for solving the above problems by improving the light condensing power of the illumination (light) irradiated to the inspection object, by supplying an effective illumination according to the state of the object to the camera to obtain the image of the object to more accurate image The purpose is to obtain.

또한, 적절하게 가공된 집광수단인 투명판을 이용하여 보다 효율적으로 검사 대상물에 광을 조사하고, 컬러필터를 적용하여 대상 방법에 따른 효율적인 조명을 제공하고자 하는데 그 목적이 있다.In addition, an object of the present invention is to provide an efficient illumination according to a target method by irradiating light to an inspection object more efficiently by using a transparent plate which is a light collecting means properly processed, and applying a color filter.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 검사 대상물의 영상을 획득하여 불량품을 검사하기 위한 검사장치에서 상기 검사 대상물을 영상으로 획득하기 위해 구비되는 촬영장치와 상기 촬영장치가 영상을 획득하도록 조명을 제공하는 기판검사용 조명장치에 있어서, 상기 대상물을 향한 입사각도가 각각 다르게 배치되는 것으로, 광원으로부터 광을 공급받아 조사하는 복수개의 제 1조명부, 광을 조사하는 상기 제 1조명부의 선단에 구비되어 광을 입사받는 투명판 및 상기 대상물을 임의의 각도에서 바라보도록 배치되는 제 2조명부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the present invention provides a photographing apparatus and an apparatus for acquiring an image in an inspection apparatus for acquiring an image of an inspection object and obtaining the inspection object as an image in an inspection apparatus for inspecting defective products. In the illumination device for inspecting a substrate provided with a light, the angle of incidence toward the object is arranged differently, the plurality of first lighting unit for irradiating the light supplied from the light source, provided at the tip of the first lighting unit for irradiating light And a second lighting unit disposed to look at the object at an angle from the transparent plate to which light is incident.

또한, 상기 제 1조명부와 제 2조명부는, 검사 대상물의 검사방법에 따라 적어도 2개 이상 교번적으로 동작하여 조명을 제공하는 것을 특징으로 한다.The first lighting unit and the second lighting unit may alternately operate at least two or more according to the inspection method of the inspection object to provide illumination.

또한, 상기 투명판은, 상기 제 1조명부로부터 공급되는 광을 확산시켜주기 위한 디퓨저를 더 구비한 것을 특징으로 한다.The transparent plate may further include a diffuser for diffusing light supplied from the first lighting unit.

또한, 상기 제 1조명부는, 적어도 하나의 제 1조명부에 별도의 컬러필터를 구비하여 대상물에 광을 제공하는 것을 특징으로 한다.The first lighting unit may include a separate color filter on at least one first lighting unit to provide light to an object.

또한, 상기 대상물을 바라보는 어느 하나의 제 1조명부 중 입사각이 가장 낮게 배치되는 제 1조명부에 구비되는 상기 투명판은 소정각도를 갖도록 그 끝단이 비스듬히 가공 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the transparent plate provided in the first lighting unit having the lowest incident angle of any one of the first lighting units facing the object is characterized in that the end is formed obliquely processed to have a predetermined angle.

또한, 상기 제 1조명부는, 상기 광파이버를 이용하여 광을 선형형으로 상기 투명판에 공급하는 것을 특징으로 한다.In addition, the first lighting unit is characterized in that for supplying light to the transparent plate in a linear form using the optical fiber.

또한, 상기 제 1조명부는, LED를 이용하여 광을 상기 투명판에 공급하는 것을 특징으로 한다.In addition, the first lighting unit is characterized in that for supplying light to the transparent plate using an LED.

상기와 같이 구성되고 작용되는 본 발명은 집광력이 높은 면조명을 구현하여 미세 불량까지 검사할 수 있는 이점이 있다.The present invention configured and acted as described above has an advantage of inspecting fine defects by implementing a high surface light.

또한, 제 1조명부에 구비되는 투명판을 통하여 굴절율 차이에 의한 전반사 효과로 인해 빛의 손실 없이 조명을 제공할 수 있는 이점이 있다.In addition, through the transparent plate provided in the first lighting unit there is an advantage that can provide illumination without loss of light due to the total reflection effect by the refractive index difference.

또한, 대상물의 측정 대상에 따라 다수의 제 1조명부와 제 2조명부를 선택적으로 동작시켜 측정 대상에 따라 적합한 영상을 획득할 수 있는 효과가 있다.In addition, the first and second lighting units may be selectively operated according to the object to be measured to obtain a suitable image according to the object to be measured.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기판검사용 조명장치의 바람 직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a preferred embodiment of the lighting apparatus for inspection the substrate according to the present invention in detail.

도 2는 본 발명에 따른 기판검사용 조명장치의 개략도, 도 3은 본 발명에 따른 기판검사용 조명장치의 투명판이 설치된 제 1조명부를 나타낸 측면도, 도 4는 본 발명에 따른 기판검사용 조명장치의 컬러필터가 설치된 제 1조명부를 나타낸 측면도, 도 5는 본 발명에 따른 기판검사용 조명장치의 디퓨저가 설치된 제 1조명부를 나타낸 측면도, 도 6은 본 발명에 따른 다른 실시예로 제 1조명부의 광원을 LED를 적용한 개략도이다.Figure 2 is a schematic view of a substrate inspection lighting apparatus according to the present invention, Figure 3 is a side view showing a first lighting unit is provided with a transparent plate of the substrate inspection lighting apparatus according to the present invention, Figure 4 is a substrate inspection lighting apparatus according to the present invention 5 is a side view showing a first lighting unit provided with a color filter of FIG. 5 is a side view showing a first lighting unit provided with a diffuser of a lighting apparatus for inspecting a substrate according to the present invention, and FIG. 6 is a first embodiment of the first lighting unit according to another embodiment of the present invention. It is a schematic diagram which applied LED to the light source.

본 발명에 따른 기판검사용 조명장치는 검사 대상물의 이미지 영상을 카메라로 획득하기 위해 광을 제공하는 조명장치에 있어서, 상기 대상물에 대하여 입사각도가 서로 다르게 배치되며, 광원으로부터 광을 공급받아 조사하는 복수개의 제 1조명부와, 광을 조사하는 상기 제 1조명부의 선단에 구비되어 광을 입사받아 상기 대상물에 조사하는 투명판과, 상기 대상물을 임의의 각도에서 바라보도록 배치되는 제 2조명부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The lighting apparatus for inspecting a substrate according to the present invention is a lighting apparatus that provides light to obtain an image image of an object to be inspected by a camera, the incidence angle of which is different from that of the object to be irradiated with light from a light source. A plurality of first lighting units, a transparent plate provided at the front end of the first lighting unit for irradiating light and irradiating the object upon receiving light, and a second lighting unit arranged to look at the object from an arbitrary angle; It is characterized in that the configuration.

제 1조명부(100)는 측정하고자 하는 대상물을 바라보고 각각 서로 다른 각도로 가지고 배치되는 것으로, 즉 입사각도가 각각 다르다. 본 발명에 따른 바람직한 일 실시예로 상기 제 1조명부(100)는 도 2에 도시된 바와 같이 세 개(100a, 100b, 100c)의 조명부로 구성된다.The first lighting unit 100 is disposed to look at the object to be measured at different angles, that is, the angle of incidence is different. In a preferred embodiment according to the present invention, the first lighting unit 100 is composed of three lighting units (100a, 100b, 100c) as shown in FIG.

상기 제 1조명부(100)는 광파이버(optical fiber)를 통해 광을 조사하는 장치로써, 다수의 광다발이 위치되는 본체(미부호)와 여기에 연결되어 광을 선형형으 로 조사하는 헤드부(미부호)를 포함하여 구성되는 형태를 가진다. 또한, 다른 실시예로 광파이버 외에도 LED를 이용하여 광을 공급할 수 있다.The first lighting unit 100 is a device for irradiating light through an optical fiber, a main body (unsign) in which a plurality of optical bundles are located and a head unit connected to the head unit for irradiating light linearly. Sign). In addition, in another embodiment, the light may be supplied using the LED in addition to the optical fiber.

이러한 상기 제 1조명부(100)가 서로 다른 각도를 가지고 측정하고자 하는 대상물을 바라보고 배치되게 되어 돔(dome) 조명을 구현하여 검사 대상물의 표면을 조사하여 준다.The first lighting unit 100 is arranged to look at the object to be measured at different angles to implement the dome lighting to examine the surface of the inspection object.

또한, 상기 제 1조명부(100)는 광이 출력되는 선단(앞부분)으로 투명판(110)이 고정 구비된다.In addition, the first lighting unit 100 is provided with a transparent plate 110 is fixed to the front end (front) of the light output.

상기 투명판(110)은 투명성을 가지는 아크릴수지와 같은 합성수지계열 또는 유리로 형성되는 판넬로써, 상기 제 1조명부(100)가 출사하는 광이 상기 투명판(110)을 통과하면서 굴절율 차이에 의한 전반사 효과로 인해 외부로 손실되지 않고 투명판 내부에서 반사를 일으키면서 대상물에 조사되게 된다.The transparent plate 110 is a panel formed of a synthetic resin series or glass such as acrylic resin having transparency, and the total light reflection due to the difference in refractive index as the light emitted from the first lighting unit 100 passes through the transparent plate 110. The effect is irradiated to the object while causing reflection inside the transparent plate without being lost to the outside.

이와 같이 상기 투명판(110)을 구비한 제 1조명부가 100a, 100b, 100c로 구성된다.Thus, the first lighting unit having the transparent plate 110 is composed of 100a, 100b, 100c.

또한, 다른 실시예로 도 3에 도시된 바와 같이 입사각도가 가장 낮은 제 1조명부(100a)의 투명판(110)은 소정각도를 가지고 그 끝단이 비스듬히 가공되어 있다. 이것은 동축 조명의 경우 대상물과 수직을 이루어야 하지만, 본 발명에서 동축 조명의 역할을 하는 제 1조명부(100a)가 조명부의 위치적 특성상 기울어진 상태이기 때문에 도 3에 도시된 바와 같이 대상물에 대해 45도 각도를 가지고 구비되는 half mirror에 대해 수평방향으로 광을 조사하여 주어야 합니다.In another embodiment, as shown in FIG. 3, the transparent plate 110 of the first lighting unit 100a having the lowest incident angle has a predetermined angle and is processed at an end thereof obliquely. This should be perpendicular to the object in the case of coaxial illumination, but 45 degrees with respect to the object as shown in Figure 3 because the first lighting unit (100a) that acts as a coaxial illumination in the present invention is inclined due to the positional characteristics of the lighting unit Light should be irradiated horizontally to the half mirror provided at an angle.

따라서, 동축 조명에 해당하는 제 1조명부(100a)의 위치적 배치에 따른 광의 조사방향을 조정하기 위해 상기 제 1조명부(100a)에 구비되는 투명판의 끝단을 제 1조명부의 배치 각도에 따라 소정각도로 비스듬히 가공시키는 것입니다.Therefore, in order to adjust the irradiation direction of the light according to the positional arrangement of the first lighting unit 100a corresponding to the coaxial illumination, the end of the transparent plate provided in the first lighting unit 100a is predetermined according to the arrangement angle of the first lighting unit. It is to process at an angle at an angle.

또한, 본 발명의 다른 실시예로 상기 투명판의 선단으로 디퓨저(diffuser ; 120)를 추가로 구비하여 조사되는 광을 확산시켜줌으로써 카메라를 통해 획득되는 대상물의 이미지를 부드럽게 연출하여 검출의 효과를 높일 수 있다. 따라서 디퓨저를 통해 과검(정상제품을 불량으로 판정되는 검사)을 줄일 수 있다.In addition, according to another embodiment of the present invention, a diffuser 120 is further provided at the tip of the transparent plate to diffuse the irradiated light to smoothly produce an image of an object obtained through the camera, thereby increasing the effect of detection. Can be. Therefore, it is possible to reduce overtesting (inspection of normal products as defective) through the diffuser.

상기 디퓨저(120)는 빛을 잘 확산시킬 수 있으면서도 투과율이 높아야 한다. 그 재질로는 광을 균일하게 확산시킬 수 있는 확산 물질이 들어 있어야 하며, 얇아서 투과율이 높고, 투명판에 부착이 용이한 필름 테이프를 사용하는 것이 바람직하다. The diffuser 120 should be able to diffuse light well while having a high transmittance. The material should contain a diffusing material capable of uniformly diffusing light, and it is preferable to use a film tape that is thin and has high transmittance and is easy to attach to a transparent plate.

한편, 상기 제 1조명부(100b, 100c)에는 조상 대상에 따라 투명판과 조명부 사이로 컬러필터(130)를 더 적용하여 광을 조사한다. 상기 컬러필터(130)를 이용한 것은 기판의 불량을 검출할 때 변색이나 미도금과 같은 정상적인 단자에 비해 색깔이 다른 불량 유형을 검출하기 위한 것이다. 정상 단자가 금도금에 의해 노란색을 내는데 비해 변색이나 미도금은 붉은색을 띠게 된다. 일반적으로 검사에 사용되는 할로겐 조명은 백색광으로서 넓은 파장 대역의 빛을 포함하고 있으며, 특히 적색쪽의 장파장의 광량이 높다. 따라서 백색광을 그대로 사용할 경우 변색이나 미도금 부분이 정상적인 부분과 밝기의 차이를 크게 보이지 않는다.On the other hand, the first lighting unit (100b, 100c) is further irradiated with light by applying a color filter 130 between the transparent plate and the lighting unit according to the ancestor object. The color filter 130 is used to detect types of defects different in color compared to normal terminals such as discoloration or unplating when detecting defects of a substrate. The normal terminal is yellow by gold plating, but discoloration and unplating are red. In general, halogen light used for inspection includes light of a wide wavelength band as white light, and particularly, the amount of light having a long wavelength on the red side is high. Therefore, when white light is used as it is, discoloration or unplated parts do not show a large difference in brightness from normal parts.

따라서 이러한 경우 상기 컬러필터(130)를 적용하여 밝기의 차이를 좀 더 구 분하고 하는 것으로, 앞서 설명한 경우 녹색필터를 사용함으로써 붉은 색 빛을 차단하여 변색이나 미도금 불량인 부분이 상대적으로 어두워진 이미지를 얻을 수 있다.Therefore, in this case, the color filter 130 is applied to further distinguish the difference in brightness. In the case described above, red color is blocked by using the green filter so that a part that is discolored or unplated is relatively dark. You can get an image.

제 2조명부(200)는 임의의 각도에서 대상물을 바라보도록 배치되어 대상물에 광을 조사하는 것으로, 대상물의 내부를 검사하기 위한 측면 조명이다. The second lighting unit 200 is disposed to look at the object from an arbitrary angle and irradiates light on the object, and is a side light for inspecting the inside of the object.

상기 제 2조명부(200)도 상기 제 1조명부(100)와 마찬가지로 광파이버를 통해 광을 공급받으며, 선단으로는 실린더리컬(cylinderical) 렌즈를 구비하여 이를 통해 광을 조사한다.Like the first lighting unit 100, the second lighting unit 200 receives light through an optical fiber, and is provided with a cylindrical lens at its tip to irradiate light therethrough.

이러한 상기 제 1조명부와 제 2조명부를 검사 대상에 따라 선택적으로 동작시켜 대상물의 원하는 검사를 수행할 수 있다. 기판의 단자를 검사할 경우 상기 제 1조명부(100b, 100c)와 제 2조명부(200)를 동작시키고, 기판의 절연층이나 하층을 검사하고자 할 때에는 제 1조명부(100a)와 제 2조명부를 동작시켜 검사한다. The first lighting unit and the second lighting unit may be selectively operated according to an inspection object to perform a desired inspection of the object. The first lighting unit 100b and 100c and the second lighting unit 200 are operated when inspecting the terminals of the board, and the first lighting unit 100a and the second lighting unit are operated to inspect the insulating layer or the lower layer of the substrate. Test it.

또한, 변색이나 미도금 상태를 확인하고자 할 경우에는 제 1조명부(100b, 100c)에 녹색의 컬러필터(130)를 장착하여 대상물에 조사함으로써 불량의 판단여부를 검출하기 위해 보다 구분되는 영상을 획득할 수 있어 결과적으로 좀 더 정확한 선별이 가능하다.In addition, in order to check a discoloration or unplated state, a green color filter 130 is mounted on the first lighting units 100b and 100c and irradiated to an object to obtain a more distinct image to detect whether a defect is determined. As a result, more accurate screening is possible.

이와 같이 구성되고 작용되는 본 발명은 대상물을 바라보고 다각도로 설치되는 제 1조명부와 이에 구비되는 투명판을 통하여 높은 집광력을 가지는 돔조명을 구현할 수 있으며, 제 1조명부와 제 2조명부를 선택적으로 동작시켜 검사 대상의 목적에 따라 적합한 조명을 구현할 수 있는 장점이 있다.The present invention constructed and operated as described above may implement a dome light having a high condensing power through the first lighting unit and the transparent plate provided thereon, which are installed at various angles, and selectively operate the first lighting unit and the second lighting unit. There is an advantage that can implement a suitable lighting according to the purpose of the inspection object.

이상, 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 설명하고 도시하였지만, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다.While the invention has been described and illustrated in connection with a preferred embodiment for illustrating the principles of the invention, the invention is not limited to the construction and operation as shown and described.

오히려, 첨부된 청구범위의 사상 및 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.Rather, it will be apparent to those skilled in the art that many changes and modifications to the present invention are possible without departing from the spirit and scope of the appended claims. And all such modifications and changes as fall within the scope of the present invention are therefore to be regarded as being within the scope of the present invention.

도 1은 종래의 일반적인 조명장치의 구성도,1 is a block diagram of a conventional general lighting device,

도 2는 본 발명에 따른 기판검사용 조명장치의 개략도,2 is a schematic view of a substrate inspection lighting apparatus according to the present invention,

도 3은 본 발명에 따른 기판검사용 조명장치의 투명판이 설치된 제 1조명부를 나타낸 측면도,3 is a side view showing a first lighting unit provided with a transparent plate of the lighting apparatus for inspecting a substrate according to the present invention;

도 4는 본 발명에 따른 기판검사용 조명장치의 컬러필터가 설치된 제 1조명부를 나타낸 측면도,4 is a side view showing a first lighting unit in which the color filter of the lighting apparatus for inspecting a substrate according to the present invention;

도 5는 본 발명에 따른 기판검사용 조명장치의 디퓨저가 설치된 제 1조명부를 나타낸 측면도,5 is a side view showing a first lighting unit in which a diffuser of the lighting apparatus for inspecting a substrate according to the present invention is installed;

도 6은 본 발명에 따른 다른 실시예로 제 1조명부의 광원을 LED를 적용한 개략도.Figure 6 is a schematic view of applying the LED to the light source of the first lighting unit in another embodiment according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

100 : 제 1조명부100: Article 1 lighting

110 : 투명판110: transparent plate

120 : 디퓨저120: diffuser

130 : 컬러필터130: color filter

200 : 제 2조명부200: Article 2 lighting

Claims (7)

검사 대상물의 영상을 획득하여 불량품을 검출하기 위한 검사장치에서 상기 검사 대상물을 영상으로 획득하기 위해 구비되는 촬영장치와, 상기 촬영장치가 영상을 획득하도록 조명을 제공하는 기판검사용 조명장치에 있어서, In the inspection apparatus for acquiring the image of the inspection object to detect the defective product, the photographing device provided to obtain the inspection object as an image, and the illumination device for a substrate inspection for providing illumination to the image pickup device, 상기 대상물을 향한 입사각도가 각각 다르게 배치되는 것으로, 광원으로부터 광을 공급받아 조사하는 복수개의 제 1조명부;A plurality of first lighting units configured to have different angles of incidence toward the object, and to receive light from a light source; 광을 조사하는 상기 제 1조명부의 선단에 구비되어 광을 입사받는 투명판; 및A transparent plate provided at the tip of the first lighting unit for irradiating light and receiving light therein; And 상기 대상물을 임의의 각도에서 바라보도록 배치되며, 선단으로 실린더리컬(cylinderical) 렌즈가 구비된 제 2조명부;를 포함하고,And a second lighting unit disposed to face the object at an angle, and having a cylindrical lens at its tip. 상기 제 1조명부와 제 2조명부는, 검사 대상물의 검사방법에 따라 적어도 2개 이상 교번적으로 동작하여 조명을 제공하며,The first lighting unit and the second lighting unit alternately operates at least two or more according to the inspection method of the inspection object to provide illumination, 상기 투명판은, 상기 제 1조명부로부터 공급되는 광을 확산시켜주기 위한 디퓨저를 구비하고,The transparent plate has a diffuser for diffusing light supplied from the first lighting unit, 상기 대상물을 바라보는 어느 하나의 제 1조명부 중 입사각이 가장 낮게 배치되는 제 1조명부에 구비되는 상기 투명판은 소정각도를 갖도록 그 끝단이 비스듬히 가공 형성된 것을 특징으로 하는 기판검사용 조명장치.And the transparent plate provided at the first lighting unit having the lowest incident angle among the first lighting units facing the object is formed to have a predetermined angle at an end thereof so as to have a predetermined angle. 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서, 상기 제 1조명부는,The method of claim 1, wherein the first lighting unit, 적어도 하나의 제 1조명부에 별도의 컬러필터를 구비하여 대상물에 광을 제공하는 것을 특징으로 하는 기판검사용 조명장치.The lighting device for a substrate inspection, characterized by providing a light to the object by providing a separate color filter to the at least one first lighting unit. 삭제delete 제 1항에 있어서, 상기 제 1조명부는,The method of claim 1, wherein the first lighting unit, 광파이버를 이용하여 광을 선형형으로 상기 투명판에 공급하는 것을 특징으로 하는 기판검사용 조명장치.And an optical fiber for supplying light to the transparent plate in a linear form. 제 1항에 있어서, 상기 제 1조명부는,The method of claim 1, wherein the first lighting unit, LED를 이용하여 광을 상기 투명판에 공급하는 것을 특징으로 하는 기판검사용 조명장치.Substrate inspection illumination device, characterized in that for supplying light to the transparent plate using an LED.
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