KR100973108B1 - Discharge lamp - Google Patents

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츠네오 오카누마
요시오 가게바야시
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우시오덴키 가부시키가이샤
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Abstract

전극을 구성하고 있는 기체부와 덮개부의 용접부에 크랙(금)이 발생하지 않고, 점등 시에 전극이 파손되는 일이 없으며, 또한, 전극 내의 전열체가 산화 변질되지 않고, 확실하게 전열 효과를 발휘할 수 있으며, 양극의 선단부의 온도 상승을 확실하게 억제할 수 있는 방전 램프를 제공하는 것에 있다.Cracks do not occur in the welded portion of the base and the cover of the electrode, and the electrode is not damaged when it is turned on, and the heat transfer body in the electrode is not oxidatively altered, and the heat transfer effect can be reliably exhibited. The present invention provides a discharge lamp capable of reliably suppressing a rise in temperature at the tip of an anode.

본 발명의 방전 램프는, 발광관(11) 내에 한 쌍의 전극(13, 15)이 대향 배치되어 이루어지고, 전극(13)은, 기체부(130)와 덮개부(131)로 이루어지며, 기체부(130)와 덮개부(131)가 맞닿은 상태로 둘레방향의 전체에 걸쳐 용접된 환상의 용접부(P)를 갖고, 전극(13) 내의 밀폐 공간에 전열체(M)가 봉입되고, 덮개부(131)에 가스 도입용 관통구멍(133)이 형성되며, 가스 도입용 관통구멍(133)의 선단 개구에 용융 실링부(Q)를 갖고, 용접부(P)와 용융 실링부(Q)의 전극 내 최단 이간 거리가 8mm 이상이다.In the discharge lamp of the present invention, a pair of electrodes 13 and 15 are disposed to face each other in the light emitting tube 11, and the electrode 13 includes a base 130 and a lid 131. It has the annular welding part P welded over the whole circumferential direction in the state which the base part 130 and the cover part 131 contacted, The heat-transfer body M is enclosed in the sealed space in the electrode 13, and a cover The gas introduction through hole 133 is formed in the portion 131, and has a melt sealing portion Q in the tip opening of the gas introduction through hole 133, and the weld portion P and the melt sealing portion Q of the welding portion P are formed. The shortest separation distance in an electrode is 8 mm or more.

Description

방전 램프{DISCHARGE LAMP}Discharge Lamps {DISCHARGE LAMP}

본 발명은, 방전 램프에 관한 것이다.The present invention relates to a discharge lamp.

종래로부터 방전 램프로서는 여러 가지의 것이 알려져 있지만, 발광관 내에 수은이 봉입된 고압 수은 램프 중, 특히 쇼트 아크형의 고압 수은 램프는, 파장 365nm의 i선이나, 파장 436nm의 g선을 방출하는 발광 특성을 가지므로, 예를 들면 반도체 웨이퍼, 액정 기판 등의 노광 처리에 이용되는 노광 장치용의 광원으로서 사용되고 있다. 이러한 쇼트 아크형의 고압 수은 램프에 있어서는, 소기의 노광 처리를 높은 처리 효율로 실행할 수 있도록, 고출력화가 강하게 요구되고 있다.Conventionally, various discharge lamps are known, but among the high-pressure mercury lamps in which mercury is enclosed in the light emitting tube, in particular, short arc-type high-pressure mercury lamps emit light emitting i-rays having a wavelength of 365 nm and g rays having a wavelength of 436 nm. Since it has a characteristic, it is used as a light source for exposure apparatuses used for exposure processing, such as a semiconductor wafer and a liquid crystal substrate, for example. In such a short arc high-pressure mercury lamp, high output is strongly demanded so that a desired exposure treatment can be performed at a high processing efficiency.

고압 수은 램프를 고출력의 것으로 하기 위해서는, 통상, 정격 전력을 크게 하는 것이 행해지지만, 이 경우에는, 통상, 정격 전류도 커지는 결과, 특히 직류 점등되는 고압 수은 램프에 있어서의 양극은, 이것에 충돌하는 전자의 양이 많아지므로 용이하게 높은 온도가 되어 용해되어 버린다는 문제가 생긴다.In order to make a high-pressure mercury lamp a high output, it is usual to increase the rated power, but in this case, as a result of the increase in the rated current, the anode in the high-pressure mercury lamp, which is turned on in particular, collides with this. Since the amount of electrons increases, there arises a problem that the temperature becomes easily high and melts.

또, 한 쌍의 전극이 수직 방향으로 대향하는 자세로 점등되는 고압 수은 램프에 있어서는, 발광관 내의 열대류 등의 영향을 받는 것도 더해져, 위쪽에 위치하는 전극이, 아크로부터의 열에 의해 고온이 되어 용해에 이르는 경우도 있다.In addition, in a high-pressure mercury lamp in which a pair of electrodes are turned on in a position facing in the vertical direction, it is also affected by tropical flow or the like in the light emitting tube, and the electrode located above becomes high temperature by heat from the arc. It may lead to dissolution.

그리고, 전극의 선단 부분이 용해된 경우에는, 아크가 불안정해질 뿐만 아니라, 증발한 전극을 구성하는 물질이 발광관의 내벽에 부착됨으로써, 고압 수은 램프로부터 방사되는 광량이 저하한다는 문제가 생긴다.When the tip portion of the electrode is dissolved, not only the arc becomes unstable, but also a problem that the amount of light emitted from the high-pressure mercury lamp decreases because the material constituting the evaporated electrode adheres to the inner wall of the light emitting tube.

이상과 같은 문제를 해결하기 위해, 고압 수은 램프의 전극의 내부에 형성된 내부 공간 내에, 당해 전극을 구성하는 금속보다 융점이 낮은 금속으로 이루어지는 전열체를 봉입한 구조를 갖는 전극이 제안되어 있다.In order to solve the above problem, the electrode which has the structure which enclosed the heat-transfer body which consists of metal whose melting | fusing point is lower than the metal which comprises this electrode in the internal space formed inside the electrode of a high pressure mercury lamp is proposed.

도 8을 참조하여 설명하면, 이 방전 램프(10)는, 대략 구형상의 발광관(11)과, 발광관(11)의 양단에 연속하여 형성된 실링관(12)을 구비하고 있고, 발광관(11) 내에는, 모두 텅스텐 금속제의 양극(14) 및 음극(15)으로 이루어지는 한 쌍의 전극이 서로 대향하여 배치되어 있다.Referring to FIG. 8, the discharge lamp 10 includes a substantially spherical light emitting tube 11 and a sealing tube 12 continuously formed at both ends of the light emitting tube 11. In 11), a pair of electrodes made of a tungsten metal anode 14 and a cathode 15 are arranged to face each other.

그리고, 양극(14)은, 도 9에 도시되어 있는 바와 같이, 개구를 갖는 바닥이 있는 원통형의 기체부(140)의 개구를 막도록 덮개부(141)가 배치되어 있고, 구체적으로는 기체부(140)의 내부 공간 내에, 덮개부(141)에 있어서의 원기둥형상의 끼움부(142)가 끼워진 상태로, 기체부(140)와 덮개부(141)가 맞닿은 상태로 되어 있으며, 이 맞닿은 부분에 있어서, 기체부(140)와 덮개부(141)가 둘레방향의 전체에 걸쳐 용접되어 환상의 용접부(P)가 형성되고, 이에 의해 당해 양극(14)에 형성된 밀폐 공간 C 내에, 당해 양극을 구성하는 텅스텐 금속보다 융점이 낮은 금속으로 이루어지는 전열체(M)가 봉입되어 있다. 전열체(M)는, 예를 들면, 금, 은, 구리 등이다.And as shown in FIG. 9, the anode part 14 has the cover part 141 arrange | positioned so that the opening of the bottomed cylindrical base part 140 which has an opening may be specifically, and the base part is specifically, The base portion 140 and the lid portion 141 are in contact with each other in a state where the cylindrical fitting portion 142 of the lid portion 141 is fitted into the inner space of the 140. WHEREIN: The base part 140 and the cover part 141 are welded over the whole circumferential direction, and the annular welding part P is formed, and this anode is made into the sealed space C formed in the said anode 14 by this. The heat-transfer body M which consists of a metal with a melting point lower than the tungsten metal which comprises is enclosed. The heat transfer body M is gold, silver, copper, etc., for example.

또, 덮개부(141)에는, 양극(14) 내의 밀폐 공간 C와 양극(14) 외의 외부 공 간으로 이어지는 가스 도입용 관통구멍(143)이 형성되고, 이 가스 도입용 관통구멍(143)의 양극(14) 외면의 선단 개구가 용융된 용융 실링부(Q)가 형성되어 있다.In addition, the cover portion 141 is provided with a gas introduction through hole 143 leading to the sealed space C in the anode 14 and an external space outside the anode 14, and the gas introduction through hole 143 is formed. The melt sealing part Q in which the front end opening of the outer surface of the anode 14 was melted is formed.

도 10을 이용하여, 이러한 전극을 만드는 방법을 설명한다.10, a method of making such an electrode will be described.

미리, 기체부(140)의 내부 공간에 전열체(M)를 넣어 두고, 전열체(M)가 들어간 기체부(140)에 덮개부(141)의 끼움부(142)를 끼워, 이 상태로, 희가스 분위기의 처리실 내에 반입한다.In advance, the heat-transfer body M is put in the internal space of the base part 140, and the fitting part 142 of the cover part 141 is fitted to the base part 140 into which the heat-transfer body M entered. Bring into the process chamber of rare gas atmosphere.

그리고, 처리실 내에서, 기체부(140)와 덮개부(141)로 이루어지는 물체를 양극측으로 하고, 방전 전극이 되는 물체측을 음극측으로 하여, 기체부(140)와 덮개부(141)로 이루어지는 물체와 방전 전극의 사이에서 방전을 발생시키고, 기체부(140)와 덮개부(141)가 맞닿은 부분을 방전에 의해 용접한다.In the process chamber, an object composed of the base portion 140 and the cover portion 141 is made into the anode side, and an object side serving as the discharge electrode is made into the cathode side, and the object composed of the base portion 140 and the lid portion 141 is formed. The discharge is generated between the discharge electrode and the discharge electrode, and the portion where the base portion 140 and the lid portion 141 abut is welded by the discharge.

이 용접 시에, 기체부(140)와 덮개부(141)의 간극과 가스 도입용 관통구멍(143)을 통해 처리실 내의 희가스가 양극(14)의 내부로 흘러들어, 밀폐 공간 C의 가스가 치환되어, 용접 시에 발생하는 용융부(P)로부터 증발한 불순물이 밀폐 공간 C에 체류하는 것을 방지하는 것이다.At the time of welding, a rare gas in the processing chamber flows into the anode 14 through the gap between the gas unit 140 and the lid 141 and the gas introduction through hole 143, and the gas in the sealed space C is replaced. This prevents the impurities evaporated from the molten portion P generated during welding from remaining in the sealed space C.

그리고, 환상의 용접부(P)가 형성된 후에, 또한, 기체부(140)와 덮개부(141)로 이루어지는 물체를 양극측으로 하고, 방전 전극이 되는 물체측을 음극측으로 하여, 기체부(140)와 덮개부(141)로 이루어지는 물체와 방전 전극의 사이에서 방전을 발생시키고, 가스 도입용 관통구멍(143)의 양극(14) 외면의 선단 개구를 용융시켜, 용융 실링부(Q)를 형성함으로써, 양극(14) 내에 밀폐 공간 C를 형성하는 것이다.Then, after the annular welding portion P is formed, the object formed of the base portion 140 and the lid portion 141 is the anode side, and the object side serving as the discharge electrode is the cathode side, and the base portion 140 By generating a discharge between the object which consists of the cover part 141, and a discharge electrode, melting the tip opening of the outer surface of the anode 14 of the gas introduction through-hole 143, and forming a fusion sealing part Q, The sealing space C is formed in the anode 14.

상기와 같은 구성의 양극(14)에 의하면, 당해 방전 램프의 점등 시에 있어 서, 양극(14)의 선단부(도 9에 있어서의 아래쪽의 단부)의 근방에 축적된 열이, 전열체(M)에 의해, 당해 선단부보다 저온인 당해 양극(14)의 기단부측에 향해 높은 효율로 수송되고, 이에 의해, 양극(14)의 선단부가 과열 상태가 되는 것이 방지된다. 또, 전열체(M)가 텅스텐 금속보다 융점이 낮은 금속인 경우에는, 양극(14)의 밀폐 공간 C 내에 있어서 대류가 발생하여 양극(14)의 선단부의 열이 기단부측을 향해 수송됨으로써, 양극의 선단부가 과열 상태가 되는 것이 방지된다.According to the anode 14 having the above-described configuration, the heat accumulated in the vicinity of the distal end portion (the lower end portion in FIG. 9) of the anode 14 at the time of lighting the discharge lamp is transferred to the heat transfer body M. FIG. ), It is transported with high efficiency toward the proximal end side of the positive electrode 14 which is lower than the distal end part, whereby the distal end of the positive electrode 14 is prevented from becoming overheated. In the case where the heat-transfer body M is a metal having a lower melting point than the tungsten metal, convection occurs in the sealed space C of the anode 14, and the heat of the tip end portion of the anode 14 is transported toward the proximal end side. The tip portion of is prevented from becoming overheated.

[특허 문헌 1] 일본국 특허공개 2006-179461호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Laid-Open No. 2006-179461

그러나, 상기와 같은 구성의 양극을 구비하는 방전 램프에 있어서는, 용융 실링부(Q)를 형성할 때에, 먼저 형성된 용접부(P)에 열이 전해져, 용접부(P)에 크랙(금)이 발생하는 경우가 있어, 방전 램프의 점등 중에 전열체가 밀폐 공간으로부터 누출되는 문제가 있었다.However, in the discharge lamp provided with the anode of the above structure, when forming the molten sealing part Q, heat is transmitted to the welding part P formed earlier, and a crack (gold) arises in the welding part P. In some cases, there was a problem that the heat transfer body leaked from the sealed space during the lighting of the discharge lamp.

또, 기체부(140)와 덮개부(141)의 간극과 가스 도입용 관통구멍(143)을 통해 처리실 내의 희가스가 양극(14)의 내부로 흘러들어, 밀폐 공간 C가 되는 공간의 가스가 치환되어, 용접 시에 발생하는 용접부(P)로부터 증발한 산소 등의 불순물이 밀폐 공간 C에 체류하는 것을 방지하는 것이지만, 가스 치환을 양호하게 행할 수 없는 경우, 전열체(M)와 기체부(140)의 내측이나 덮개부(141)의 끼움부(142)가 산화 변질되어, 전열 효과가 저하하고, 양극의 선단부가 과열 상태가 되는 문제가 있었다.In addition, the rare gas in the processing chamber flows into the anode 14 through the gap between the gas part 140 and the cover part 141 and the gas introduction through hole 143 to replace the gas in the space that becomes the sealed space C. In order to prevent impurities such as oxygen evaporated from the welding portion P generated at the time of welding from remaining in the sealed space C, but the gas replacement cannot be performed satisfactorily, the heat transfer body M and the gas portion 140 ) And the fitting portion 142 of the lid 141 is oxidatively deteriorated, so that the heat transfer effect is lowered, and the tip portion of the positive electrode is in an overheated state.

본 발명은, 이러한 문제를 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 그 목적은, 전극을 구성하고 있는 기체부와 덮개부의 용접부에 크랙(금)이 발생하지 않고, 점등 시에 전극이 파손되는 일이 없으며, 또한, 전극 내의 전열체가 산화 변질되지 않고, 확실하게 전열 효과를 발휘할 수 있으며, 양극의 선단부의 온도 상승을 확실하게 억제할 수 있는 방전 램프를 제공하는 것에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and its object is that cracks do not occur in the weld portions of the base portion and the lid portion constituting the electrodes, and the electrodes are not broken during lighting. It is an object of the present invention to provide a discharge lamp capable of reliably exerting a heat transfer effect without oxidatively deteriorating a heat transfer member in an electrode, and capable of reliably suppressing a rise in temperature at the tip of an anode.

청구항 1에 기재된 본 발명의 방전 램프는, 발광관 내에 한 쌍의 전극이 대 향 배치되어 이루어지고, 상기 전극의 한쪽은, 기단측으로 개구하는 바닥이 있는 원통형 금속제의 기체부와, 이 기체부의 개구를 막는 금속제의 덮개부로 이루어지고, 상기 기체부와 상기 덮개부가 맞닿은 상태로 둘레방향의 전체에 걸쳐 용접된 환상의 용접부를 가지며, 상기 기체부와 상기 덮개부로 형성된 밀폐 공간에, 상기 기체부를 구성하는 금속보다 융점이 낮은 금속으로 이루어지는 전열체가 봉입되고, 상기 기체부 또는 상기 덮개부의 한쪽에, 전극 내의 밀폐 공간과 전극 외의 외부 공간으로 이어지는 가스 도입용 관통구멍이 형성되고, 이 가스 도입용 관통구멍의 전극 외면의 선단 개구가 용융된 용융 실링부를 갖는 방전 램프에 있어서, 상기 용접부와 상기 용융 실링부의 전극 내 최단 이간 거리가 8mm 이상인 것을 특징으로 한다.In the discharge lamp of the present invention according to claim 1, a pair of electrodes are disposed to face each other in the light emitting tube, and one of the electrodes has a bottomed cylindrical metal part that opens to the proximal end, and an opening of the gas part. The cover part is made of a metal to prevent the gas, and has the annular welding part welded over the entire circumferential direction in contact with the base part and the cover part, and constitutes the base part in a sealed space formed by the base part and the cover part. A heat-transfer body made of a metal having a lower melting point than that of the metal is enclosed, and a gas introduction through hole is formed in one of the gas part or the cover part to lead to a sealed space in the electrode and an external space outside the electrode. A discharge lamp having a molten sealing portion in which a tip opening of an electrode outer surface is molten, wherein the welding portion and the melting chamber Characterized in that at least the electrode portion within the shortest spacing distance 8mm.

청구항 2에 기재된 본 발명의 방전 램프는, 청구항 1에 기재된 방전 램프로서, 특히, 상기 가스 도입용 관통구멍의 길이가 25mm 이하인 것을 특징으로 한다.The discharge lamp of this invention of Claim 2 is a discharge lamp of Claim 1, The length of the said gas introduction through-hole is 25 mm or less especially, It is characterized by the above-mentioned.

본 발명의 방전 램프는, 기체부와 덮개부가 끼워 맞춰져 용접되어 환상의 용접부가 형성되고, 기체부 또는 덮개부의 한쪽에 설치된 가스 도입용 관통구멍의 선단 개구가 용융되어 용융 실링부가 형성되며, 기체부와 덮개부에 의해 형성된 밀폐 공간 내에 전열체가 봉입된 구성을 갖는 전극에 있어서, 용접부와 용융 실링부의 전극 내 최단 이간 거리를 8mm 이상으로 함으로써, 용융 실링부를 형성할 때에 발생하는 열이 전극 내부를 통해 용접부에 전해지기 어렵게 할 수 있어, 용접부의 온도 상승을 억제할 수 있고, 용접부에 크랙(금)이 발생하는 것을 방지할 수 있어, 방전 램프의 점등 중에 전열체가 밀폐 공간으로부터 누출되지 않으며, 안정하게 작동하는 방전 램프가 얻어진다.In the discharge lamp of the present invention, the base portion and the lid portion are fitted and welded to form an annular weld portion, the tip opening of the gas introduction through hole provided in one of the base portion or the lid portion is melted to form a molten sealing portion. In an electrode having a constitution in which a heat-transfer body is enclosed in a sealed space formed by a cover portion and a lid portion, heat generated when forming a melt sealing portion is formed through the inside of the electrode by setting the shortest separation distance in the electrode between the weld portion and the melt sealing portion to 8 mm or more. It can make it hard to be transmitted to a welded part, the temperature rise of a welded part can be suppressed, and a crack (gold) can be prevented from generate | occur | producing in a welded part, and a heat exchanger does not leak out of a sealed space during lighting of a discharge lamp, and it is stable A working discharge lamp is obtained.

또한, 가스 도입용 관통구멍의 길이가 25mm 이내로 함으로써, 전극 제조 시에, 기체부와 덮개부의 간극과 가스 도입용 관통구멍을 통해 전극 내의 밀폐 공간이 되는 공간의 가스가 확실하게 치환되어, 밀폐 공간 내의 전열체와 기체부의 내측이나 덮개부의 내측이 산화 변질되지 않고, 전열체에 의해 전극 선단부의 온도 상승을 확실하게 억제할 수 있는 것이다.In addition, when the length of the gas introduction through hole is 25 mm or less, the gas in the space that becomes the sealed space in the electrode is reliably replaced by the gap between the gas part and the cover part and the gas introduction through hole at the time of electrode production. It is possible to reliably suppress the temperature rise of the electrode tip portion by the heat transfer body without oxidatively altering the inner heat transfer body and the inside of the gas portion or the inside of the cover portion.

이하, 본원 발명의 방전 램프를 도면을 이용하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the discharge lamp of this invention is demonstrated using drawing.

도 1은, 본 발명에 따른 방전 램프의 구성을 도시한 도면, 도 2는 도 1에 도시한 양극의 확대 단면도이다.1 is a diagram showing the configuration of a discharge lamp according to the present invention, and FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of the anode shown in FIG.

이 방전 램프(10)는, 석영 유리로 이루어지는 대략 구형상의 발광관(11)과, 발광관(11)의 양단에 연속하여 형성된 석영 유리로 이루어지는 실링관(12)을 구비하고 있고, 발광관(11) 내에는, 모두 텅스텐 금속제의 양극(13) 및 음극(15)이 대향하여 배치되어 있으며, 각각의 전극은 내부 리드봉(16)에 지지되어 있다.The discharge lamp 10 includes a substantially spherical light emitting tube 11 made of quartz glass and a sealing tube 12 made of quartz glass formed continuously at both ends of the light emitting tube 11. In 11), both the tungsten metal anode 13 and the cathode 15 are arranged to face each other, and each electrode is supported by the internal lead rod 16.

이 내부 리드봉(16)은 실링부(12)에 있어서 유지됨과 더불어, 당해 실링부(12) 내에 있어서 기밀하게 설치된 금속박(도시 생략)을 통해 외부 리드봉 또는 외부 단자에 접속되고, 이것에 외부 전원이 접속된다. 그리고, 발광관(11) 내에는, 수은, 크세논, 아르곤 등의 발광 물질이나 시동용 가스가 소정량 봉입되어 있다.The inner lead rod 16 is held in the sealing portion 12 and is connected to an outer lead rod or an external terminal via a metal foil (not shown) that is hermetically installed in the sealing portion 12, and is external to this. The power supply is connected. The light emitting tube 11 is filled with a predetermined amount of a light emitting substance such as mercury, xenon, argon, and a gas for starting.

이러한 방전 램프에 있어서는, 외부 전원으로부터 전력이 공급됨으로써, 양극(13)과 음극(15)의 사이에서 아크 방전이 발생하여, 이에 의해 발광한다.In such a discharge lamp, when electric power is supplied from an external power supply, an arc discharge is generated between the anode 13 and the cathode 15, thereby emitting light.

또한, 이 예의 방전 램프는, 양극(13)이 위, 음극(15)이 아래가 되는 상태, 즉 발광관(11)의 관축이 지면에 대해 수직 방향으로 지지되어 점등되는, 이른바 수직 점등형의 것이다.In addition, the discharge lamp of this example is of the so-called vertical lighting type in which the anode 13 is on the top and the cathode 15 is on the bottom, that is, the tube axis of the light emitting tube 11 is supported in the vertical direction with respect to the ground and is turned on. will be.

도 2는, 상기의 방전 램프의 양극(13)의 설명용 단면도이고, 도 3은, 도 2의 양극에 있어서의 용접부와 용융 실링부를 포함하는 부분의 확대 투영도이다.FIG. 2: is sectional drawing for description of the anode 13 of said discharge lamp, and FIG. 3 is an enlarged projection view of the part containing the welding part and the fusion sealing part in the anode of FIG.

양극(13)은, 도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 텅스텐으로 이루어지는 기단측에 개구를 갖는 바닥이 있는 원통형의 기체부(130)와, 이 기체부(130)의 개구를 막는 텅스텐으로 이루어지는 덮개부(131)로 이루어지고, 구체적으로는, 기체부(130)의 내부 공간 내에, 덮개부(131)에 있어서의 원기둥형상의 끼움부(132)가 끼워진 상태로, 기체부(130)의 직경방향 바깥쪽으로 돌출하는 기체부측 플랜지부(130a)와 덮개부(131)의 직경방향 바깥쪽으로 돌출하는 덮개부측 플랜지부(131a)가 맞닿은 상태로 되어 있으며, 이 맞닿은 기체부측 플랜지부(130a)와 덮개부측 플랜지부(131a)의 직경방향의 단부에 있어서, 기체부(130)와 덮개부(131)가 둘레방향의 전체에 걸쳐 용접된 환상의 용접부(P)가 형성되고, 이에 의해 당해 양극(13)에 형성된 밀폐 공간 C 내에, 당해 양극을 구성하는 텅스텐 금속보다 융점이 낮은 금속으로 이루어지는 전열체(M)가 봉입되어 있다. 전열체(M)는, 예를 들면, 금, 은, 구리 등이다.As shown in FIG. 2, the anode 13 is made of a bottomed cylindrical gas part 130 having an opening at a proximal end made of tungsten, and a lid made of tungsten blocking the opening of the gas part 130. The diameter of the base part 130 which consists of a part 131, and the state in which the cylindrical fitting part 132 in the cover part 131 was fitted in the internal space of the base part 130 specifically, is included. The gas part side flange part 130a which protrudes outward direction and the cover part side flange part 131a which protrudes outward in the radial direction of the cover part 131 are in contact with the gas part side flange part 130a and the cover. In the radial direction of the side flange part 131a, the annular welding part P by which the base part 130 and the cover part 131 were welded over the whole circumferential direction is formed, and this anode 13 In the sealed space C formed in It is filled a heat conductive material (M) consisting of a low-melting metal than the metal. The heat transfer body M is gold, silver, copper, etc., for example.

또, 덮개부(131)에는, 양극(13) 내의 밀폐 공간 C와 양극(13) 외의 외부 공 간으로 이어지는 가스 도입용 관통구멍(133)이 형성되고, 이 가스 도입용 관통구멍(133)의 양극(13) 외면의 선단 개구가 용융된 용융 실링부(Q)가 형성되어 있다.In addition, the cover portion 131 is formed with a gas introduction through hole 133 leading to the sealed space C in the anode 13 and an external space outside of the anode 13, and thus the gas introduction through hole 133 is formed. The melt sealing part Q in which the front end opening of the anode 13 melt | dissolved is formed.

또, 덮개부(131)의 중심에 오목부(134)가 형성되어 있고, 이 오목부(134)에 내부 리드봉이 끼워넣어져, 양극(13)을 지지하는 것이다.Moreover, the recessed part 134 is formed in the center of the cover part 131, The internal lead rod is inserted in this recessed part 134, and the anode 13 is supported.

또한, 용접부(P)와 용융 실링부(Q)의 제조 방법은, 도 10에서 나타낸 제조 방법과 동일하게 아크 용접에 의해 형성되는 것이다.In addition, the manufacturing method of the welding part P and the fusion sealing part Q is formed by arc welding similarly to the manufacturing method shown in FIG.

다음에, 도 3을 이용하여, 용접부(P)와 용융 실링부(Q)의 위치 관계에 대해 설명한다.Next, the positional relationship of the welding part P and the fusion sealing part Q is demonstrated using FIG.

도 3은, 도 2의 양극에 있어서의 용접부와 용융 실링부를 포함하는 부분의 확대 투영도이고, 양극의 앞쪽에 광원을 배치하고, 그 광원으로부터의 광을 양극에 조사하여, 양극 뒤쪽에 비추어지는 투영도를 나타낸 것이다.FIG. 3 is an enlarged projection view of a portion including a welded part and a melt sealing part in the anode of FIG. 2, and a projection view in which a light source is disposed in front of the anode, and the light from the light source is irradiated to the anode to be reflected behind the anode. It is shown.

그리고, 실제 양극의 치수와 투영도의 치수로 투영 배율을 계산하여, 투영도에 있어서의 실측 치수와 투영 배율에 의해, 용접부(P)와 용융 실링부(Q)의 전극 내 최단 이간 거리 d를 계산하는 것이다.Then, the projection magnification is calculated from the dimensions of the actual anode and the projection degree, and the shortest separation distance d in the electrodes of the welded part P and the molten sealing part Q is calculated from the measured dimension and the projection magnification in the projection degree. will be.

용접부(P)와 용융 실링부(Q)의 전극 내 최단 이간 거리 d란, 투영도에 있어서의 용접부(P)의 정점을 P0으로 하고, 투영도에 있어서의 용융 실링부(Q)의 정점을 Q0으로 하여, 각각의 정점 P0, Q0을 전극 내에 있어서 직선으로 연결하여, 그 직선의 P0, Q0 사이의 거리를 전극 내 최단 이간 거리 d로 한다.The shortest distance d in the electrode between the welded part P and the melted sealing part Q is the vertex of the welded part P in the projection diagram as P0, and the vertex of the melted sealing portion Q in the projection diagram as Q0. Each vertex P0, Q0 is connected in a straight line in the electrode, and the distance between P0 and Q0 of the straight line is the shortest separation distance d in the electrode.

도 4의 (a)는, 본원 발명의 방전 램프에 있어서, 다른 실시예를 나타내는 양극의 설명용 단면도이고, 도 4의 (b)는, 도 4의 (a)의 양극에 있어서의 용접부와 용융 실링부를 포함하는 부분의 확대 투영도이다.FIG. 4A is a cross-sectional view illustrating an anode showing another embodiment in the discharge lamp of the present invention, and FIG. 4B is a welded part and a melt in the anode of FIG. 4A. It is an enlarged projection view of the part containing a sealing part.

이 실시예의 양극(13)은, 덮개부(131)의 구조가 도 2에서 나타낸 덮개부와 달리, 덮개부측 플랜지부(131a)의 위쪽에 돌기부(131b)가 형성되어 있다. 그 밖에, 도 2와 동일 부호는 동일 부분이므로 설명은 생략한다.In the anode 13 of this embodiment, the structure of the lid portion 131 is different from the lid portion shown in Fig. 2, and the projection portion 131b is formed above the flange portion 131a on the lid portion side. In addition, since the same code | symbol as FIG. 2 is the same part, description is abbreviate | omitted.

이 돌기부(131b)를 가짐으로써, 양극의 확대 투영도에 있어서, 돌기부(131b)의 각부 R1과 R2가 비추어지게 된다.By having this projection part 131b, in the enlarged projection view of an anode, each part R1 and R2 of the projection part 131b are reflected.

이러한 형상의 덮개부(131)의 경우, 전극 내 최단 이간 거리 d는, 투영도에 있어서의 용접부(P)의 정점 P0과 R1을 전극 내에 있어서 직선으로 연결하여, 그 이간 거리를 d1로 하고, 또한, R1과 R2를 전극 내에 있어서 직선으로 연결하여, 그 이간 거리를 d2로 하며, 또한, 용융 실링부(Q)의 정점 Q0과 R2를 전극 내에 있어서 직선으로 연결하여, 그 이간 거리를 d3으로 하여, d1, d2, d3의 합계의 이간 거리를 말하는 것이다.In the case of the cover part 131 of such a shape, the shortest separation distance d in an electrode connects vertices P0 and R1 of the welding part P in a projection diagram linearly in an electrode, and makes the separation distance d1, , R1 and R2 are connected in a straight line in the electrode, the separation distance is d2, and the vertices Q0 and R2 of the melt sealing part Q are connected in a straight line in the electrode, and the separation distance is d3. is the separation distance of the sum of d1, d2, and d3.

도 5의 (a)는, 본원 발명의 방전 램프에 있어서, 다른 실시예를 나타내는 양극의 설명용 단면도이고, 도 5의 (b)는, 도 5의 (a)의 양극에 있어서의 용접부와 용융 실링부를 포함하는 부분의 확대 투영도이다.(A) is sectional drawing for description of the anode which shows another Example in the discharge lamp of this invention, and FIG. 5 (b) is the welding part and melting in the anode of FIG. It is an enlarged projection view of the part containing a sealing part.

이 실시예의 양극(13)은, 덮개부(131)의 구조가 도 2에서 나타낸 덮개부와 달리, 덮개부(131)의 중심에 전극축을 따라 원기둥부(131c)가 형성되어 있고, 이 원기둥부(131c)의 중심에 전극축 방향으로 신장되도록 가스 도입용 관통구멍(133)이 형성되어 있으며, 원기둥부(131c)의 선단에서 가스 도입용 관통구멍(133)의 선단 개구가 용융된 용융 실링부(Q)가 형성되어 있다.In the anode 13 of this embodiment, the structure of the lid portion 131 is different from the lid portion shown in FIG. 2, and a cylindrical portion 131c is formed along the electrode axis in the center of the lid portion 131. A gas introduction through hole 133 is formed in the center of the electrode 131c so as to extend in the direction of the electrode axis, and a molten sealing part in which a tip opening of the gas introduction through hole 133 is melted at the tip of the cylinder 131c. (Q) is formed.

이 원기둥부(131c)에, 적절한 조인트 기구를 이용하여 전극을 지지하는 내부 리드가 부착되는 것이다. 그 밖에, 도 2와 동일 부호는 동일 부분이므로 설명은 생략한다.An internal lead for supporting the electrode is attached to the cylindrical portion 131c using an appropriate joint mechanism. In addition, since the same code | symbol as FIG. 2 is the same part, description is abbreviate | omitted.

이 원기둥부(131c)를 가짐으로써, 양극의 확대 투영도에 있어서, 원기둥부(131c)의 각부 R1이 비추어지게 된다.By having this cylindrical part 131c, each part R1 of the cylindrical part 131c is lighted in the enlarged projection view of an anode.

이러한 형상의 덮개부(131)의 경우, 전극 내 최단 이간 거리 d는, 투영도에 있어서의 용접부(P)의 정점 P0과 R1을 전극 내에 있어서 직선으로 연결하여, 그 이간 거리를 d1로 하고, 또한, 용융 실링부(Q)의 정점 Q0과 R1을 전극 내에 있어서 직선으로 연결하여, 그 이간 거리를 d2로 하여, d1, d2의 합계의 이간 거리를 말하는 것이다.In the case of the cover part 131 of such a shape, the shortest separation distance d in an electrode connects vertices P0 and R1 of the welding part P in a projection diagram linearly in an electrode, and makes the separation distance d1, The vertex Q0 and R1 of the fusion sealing part Q are connected in a straight line in an electrode, and the spacing distance is made d2, and the spacing distance of the sum of d1 and d2 is said.

도 6의 (a)는, 본원 발명의 방전 램프에 있어서, 다른 실시예를 나타내는 양극의 설명용 단면도이고, 도 6의 (b)는, 도 6의 (a)의 양극에 있어서의 용접부와 용융 실링부를 포함하는 부분의 확대 투영도이다.FIG. 6A is a cross-sectional view for explaining an anode showing another embodiment in the discharge lamp of the present invention, and FIG. 6B is a welded part and a melt in the anode of FIG. 6A. It is an enlarged projection view of the part containing a sealing part.

이 실시예의 양극(13)은, 기체부(130)와 덮개부(131)의 구조가 도 2에서 나타낸 기체부 및 덮개부와 달리, 기체부(130)의 측벽의 외면측에 링형상의 절삭홈(136)이 형성되어 있고, 이 절삭홈(136)의 내측에는 기체부(130)의 잔부(137)가 있으며, 이 잔부(137)를 통해 전극축과 교차하는 방향으로 신장되도록 가스 도입용 관통구멍(133)이 형성되어 있고, 측벽의 외면에서 가스 도입용 관통구멍(133)의 선단 개구가 용융된 용융 실링부(Q)가 형성되어 있다.The anode 13 of this embodiment has a ring-shaped cut on the outer surface side of the side wall of the base portion 130, unlike the base portion and the lid portion whose structures of the base portion 130 and the lid portion 131 are shown in FIG. A groove 136 is formed, and inside the cutting groove 136, there is a remainder 137 of the gas unit 130, and through this remainder 137, the gas is introduced so as to extend in a direction crossing the electrode shaft. The through hole 133 is formed, and the molten sealing part Q which melt | dissolved the front end opening of the gas introduction through hole 133 is formed in the outer surface of the side wall.

또, 기체부(130)에는, 덮개부(131)의 끼움부(132)의 선단이 맞닿는 단부(段 部)(135)가 형성되어 있고, 덮개부(131)의 끼움부(132)가 단부(135)에 맞닿은 상태에 있어서, 기체부(130)의 상면 바깥 가장자리와 덮개부(131)의 상면 바깥 가장자리가 둘레방향의 전체에 걸쳐 용접되어 환상의 용접부(P)가 형성되어 있다. 그 밖에, 도 2와 동일 부호는 동일 부분이므로 설명은 생략한다.Moreover, the end part 135 in which the front-end | tip of the fitting part 132 of the cover part 131 abuts is formed in the base part 130, and the fitting part 132 of the cover part 131 is an edge part. In the state which abuts 135, the outer outer edge of the upper surface of the base part 130, and the outer outer edge of the upper surface of the cover part 131 are welded over the whole circumferential direction, and the annular welding part P is formed. In addition, since the same code | symbol as FIG. 2 is the same part, description is abbreviate | omitted.

도 6의 (b)에 나타낸 용접부와 용융 실링부를 포함하는 부분의 확대 투영도에서는, 실제로는, 기체부(130)의 절삭홈(136)은 비추어지지 않는 것이지만, 양극의 절삭홈(136)을 실측하여, 투영도에 절삭홈(136)의 형상을 묘사하여, 절삭홈(136)의 잔부(137)측의 각부를 R1로 하고 있다.In the enlarged projection view of the part including the welded part and the molten sealing part shown in FIG. 6B, the cutting groove 136 of the base part 130 is not actually illuminated, but the cutting groove 136 of the anode is actually measured. Thus, the shape of the cutting groove 136 is depicted in the projection diagram, and each portion on the remaining portion 137 side of the cutting groove 136 is defined as R1.

이러한 형상의 전극의 경우, 전극 내 최단 이간 거리 d는, 투영도에 있어서의 용접부(P)의 정점 P0과 R1을 전극 내에 있어서 직선으로 연결하여, 그 이간 거리를 d1로 하고, 또한, 용융 실링부(Q)의 정점 Q0과 R1을 전극 내에 있어서 직선으로 연결하여, 그 이간 거리를 d2로 하여, d1, d2의 합계의 이간 거리를 말하는 것이다.In the case of an electrode of such a shape, the shortest separation distance d in the electrode connects vertices P0 and R1 of the welding portion P in the projection diagram in a straight line in the electrode, and sets the separation distance to d1, and furthermore, the molten sealing portion. The vertex Q0 of (Q) and R1 are connected in a straight line in an electrode, and the spacing distance is made into d2, and the spacing distance of the sum of d1 and d2 is said.

또한, 양극의 형상이 도 2∼도 6에 나타낸 것 이외의 경우여도, 전극 내 최단 이간 거리 d란, 전극 내부를 통해, 용접부(P)의 정점 P0과 용융 실링부(Q)의 정점 Q0의 최단의 이간 거리를 말한다.In addition, even when the shape of the anode is other than those shown in Figs. 2 to 6, the shortest separation distance d in the electrode is the vertex P0 of the welding portion P and the vertex Q0 of the melt sealing portion Q through the inside of the electrode. It is the shortest separation distance.

또한, 도 2로부터 도 6에 나타낸 양극(14)에서는, 덮개부(131)에 끼움부(132)가 형성되어 있는 예를 나타내고 있지만, 끼움부(132)는 필수 구조가 아니라, 기체부(130)의 기단측의 개구가 덮개부(131)로 막혀 있으면, 덮개부(131)는 어떠한 형상이어도 된다.In addition, although the fitting part 132 is formed in the cover part 131 in the anode 14 shown to FIG. 2 to FIG. 6, the fitting part 132 is not an essential structure, but the base part 130 is shown. The cover part 131 may have any shape as long as the opening at the proximal end of the c) is closed by the cover part 131.

다음에, 가스 도입용 관통구멍에 대해 설명한다.Next, the gas introduction through hole will be described.

도 7은, 가스 도입용 관통구멍의 길이를 설명하기 위한 양극의 일부 단면도이다.7 is a partial cross-sectional view of the anode for explaining the length of the gas introduction through hole.

도 7의 (a)에 나타낸 바와 같이, 가스 도입용 관통구멍(133)은, 전극축과 병행하고 직선형상으로 덮개부(131)에 형성되어 있으며, 가스 도입용 관통구멍(133)의 개구직경은 일단측으로부터 타단측까지 일정한 개구직경이고, 가스 도입용 관통구멍(133)의 길이 L이란, 용융 실링부(Q)의 정점 Q0으로부터, 양극(13)의 밀폐 공간 C와의 경계 부분까지의 길이를 말한다.As shown in FIG. 7A, the gas introduction through hole 133 is formed in the cover portion 131 in a straight line in parallel with the electrode shaft, and has an opening diameter of the gas introduction through hole 133. Is the opening diameter constant from one end side to the other end side, and the length L of the gas introduction through hole 133 is the length from the vertex Q0 of the melt sealing part Q to the boundary part with the sealed space C of the anode 13. Say.

도 7의 (b)는, 덮개부(131)에 전극축과 교차하는 방향으로 가스 도입용 관통구멍(133)이 형성되어 있고, 가스 도입용 관통구멍(133)의 개구직경은 일단측으로부터 타단측까지 일정한 개구직경이며, 가스 도입용 관통구멍(133)의 길이 L이란, 용융 실링부(Q)의 정점 Q0으로부터, 가스 도입용 관통구멍을 따라 밀폐 공간 C와의 경계 부분까지의 길이를 말한다.In FIG. 7B, a gas introduction through hole 133 is formed in the cover portion 131 in a direction crossing the electrode shaft, and the opening diameter of the gas introduction through hole 133 is different from one end side. The opening diameter is constant to the short side, and the length L of the gas introduction through hole 133 refers to the length from the vertex Q0 of the molten sealing portion Q to the boundary portion with the sealed space C along the gas introduction through hole.

도 7의 (c)는, 덮개부(131)의 끼움부(132)에 오목부(132a)를 갖는 것이고, 이 오목부(132a)에 이어지도록, 일정한 개구직경을 갖는 가스 도입용 관통구멍(133)이 형성되어 있다.FIG. 7C has a recessed portion 132a in the fitting portion 132 of the lid portion 131, and a gas introduction through hole having a constant opening diameter so as to follow the recessed portion 132a. 133 is formed.

그리고, 이 오목부(132a)는, 밀폐 공간 C의 일부로 간주하는 것이고, 가스 도입용 관통구멍(133)의 길이 L은, 용융 실링부(Q)의 정점 Q0으로부터, 일정한 개구직경을 유지하면서 오목부(132a)와의 경계 부분까지의 길이를 말한다.The concave portion 132a is regarded as a part of the sealed space C, and the length L of the gas introduction through hole 133 is concave while maintaining a constant opening diameter from the vertex Q0 of the melt sealing portion Q. The length to the boundary with the part 132a is said.

또한, 용융 실링부(Q)의 정점 Q0이란, 양극(13)을 용융 실링부(Q)와 가스 도 입용 관통구멍(133)을 포함하는 평면에서 전극축을 따라 절단하고, 그 절단면에 있어서, 용융 실링부(Q)의 정점을 Q0으로 정의한 것이다.In addition, with the vertex Q0 of the fusion | melting sealing part Q, the anode 13 is cut | disconnected along the electrode axis in the plane containing the fusion | melting sealing part Q and the gas introduction through-hole 133, and it melt | dissolves in the cut surface. The vertex of the sealing part Q is defined as Q0.

본 발명의 효과를 확인하기 위해 이하의 실험을 행하였다.In order to confirm the effect of this invention, the following experiment was done.

[실험예][Experimental Example]

이 실험에서 이용한 양극은 도 2에 나타낸 구조의 양극으로서, 하기 구조의 양극을 이용한 방전 램프를 사용하였다.The anode used in this experiment was a discharge lamp using the anode having the following structure as the anode having the structure shown in FIG. 2.

기체부(130)의 원통의 외경이 29mm, 기체부(130)의 높이가 60mm, 기체부측 플랜지부(130a)의 외경이 27mm.The outer diameter of the cylinder of the base part 130 is 29 mm, the height of the base part 130 is 60 mm, and the outer diameter of the base part flange part 130a is 27 mm.

덮개부(131)의 끼움부(132)의 외경이 20mm, 덮개부측 플랜지부(131a)의 외경이 27mm.The outer diameter of the fitting part 132 of the cover part 131 is 20 mm, and the outer diameter of the cover part side flange part 131a is 27 mm.

기체부(130)와 덮개부(131)는, 각각, 텅스텐(1기압 하에서의 융점이 3660K)으로 이루어지는 금속체를 절삭 가공에 의해 제작하고, 이 기체부와 덮개부를 용접하여, 밀폐 공간 내에 전열체(M)로서 은(1기압 하에서의 융점이 1235K)을 봉입하였다.The base part 130 and the cover part 131 respectively produce a metal body made of tungsten (melting point 3660 K under 1 atm) by cutting, welding the base part and the lid part, and heating the body in a sealed space. As (M), silver (melting point 1235K under 1 atmosphere) was enclosed.

그리고, 도 2 중, 덮개부(131)의 덮개부측 플랜지부(131a)보다 위쪽에 위치하는 부분의 높이를 변경하여, 용접부(P)와 용융 실링부(Q)의 전극 내 최단 이간 거리를 변화시킨 복수의 양극을 제작하고, 전극 제작 후의 기체부(130)와 덮개부(131)의 용접부(P)에 있어서의 크랙 발생의 유무를 조사하였다. 그 결과를 표 1에 나타낸다.And in FIG. 2, the height of the part located above the cover part side flange part 131a of the cover part 131 is changed, and the shortest separation distance in the electrode of the welding part P and the fusion sealing part Q is changed. A plurality of anodes were fabricated, and the presence or absence of crack generation in the weld portion P of the base portion 130 and the lid portion 131 after the electrode preparation was examined. The results are shown in Table 1.

또한, 이 실험에서는, 용접부(P)와 용융 실링부(Q)의 전극 내 최단 이간 거 리가 동일한 양극을 각각 5개 제작하여, 이 5개의 양극을 시료 전체 개수로 하고, 시료 전체 개수 중 크랙이 발생한 양극의 개수를 파괴 개수로 하였다.In this experiment, five anodes having the same shortest separation distance between the electrodes of the welded portion P and the melt-sealed portion Q were made, respectively, and the five anodes were used as the total number of samples. The number of positive electrodes generated was the number of fractures.

[표 1]TABLE 1

Figure 112008083647044-pat00001
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또한, 도 6 중, 기체부(130)에 설치된 링형상의 절삭홈(136)의 위치를 변화시킴으로써 가스 도입용 관통구멍(133)의 위치를 변경시켜, 용접부(P)와 용융 실링부(Q)의 전극 내 최단 이간 거리를 변화시킨 복수의 양극을 제작하고, 전극 제작 후의 기체부(130)와 덮개부(131)의 용접부(P)에 있어서의 크랙 발생의 유무를 조사하였다. 그 결과를 표 2에 나타낸다.In addition, in FIG. 6, the position of the gas introduction through-hole 133 is changed by changing the position of the ring-shaped cutting groove 136 provided in the base part 130, and the welding part P and the fusion sealing part Q are made. A plurality of anodes in which the shortest separation distance in the electrode was changed was fabricated, and the presence or absence of crack generation in the weld portion P of the base portion 130 and the lid portion 131 after the electrode preparation was examined. The results are shown in Table 2.

또한, 이 실험에서도, 용접부(P)와 용융 실링부(Q)의 전극 내 최단 이간 거리가 동일한 양극을 각각 5개 제작하여, 이 5개의 양극을 시료 전체 개수로 하고, 시료 전체 개수 중 크랙이 발생한 양극의 개수를 파괴 개수로 하였다.Also in this experiment, five anodes having the same shortest separation distance in the electrodes of the welded portion P and the melt-sealed portion Q were produced, respectively, and the five anodes were used as the total number of samples, and cracks among the total number of samples were obtained. The number of positive electrodes generated was the number of fractures.

[표 2]TABLE 2

Figure 112008083647044-pat00002
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표 1과 표 2에 나타낸 실험 결과로부터, 용접부와 용융 실링부의 전극 내 최단 이간 거리 d가 8mm 이상이면, 덮개부에 형성된 가스 도입용 관통구멍을 용융하여 용융 실링부를 형성할 때에 발생하는 열이 전극 내부를 통해, 먼저 형성된 용접부에 전해지기 어렵게 할 수 있어, 용접부의 온도 상승을 억제할 수 있고, 용접부에 크랙(금)이 발생하지 않는 것이 확인되었다.From the experimental results shown in Tables 1 and 2, if the shortest separation distance d in the electrodes of the welded part and the melted sealing part is 8 mm or more, the heat generated when melting the gas introduction through-hole formed in the lid part to form the melted seal part is obtained. Through the inside, it was possible to make it difficult to be transmitted to the welded portion formed earlier, and it was confirmed that the temperature rise of the welded portion could be suppressed and cracks did not occur in the welded portion.

한편, 용접부와 용융 실링부의 전극 내 최단 이간 거리 d가 7mm 이하에서는, 덮개부에 형성된 가스 도입용 관통구멍을 용융하여 용융 실링부를 형성할 때에 발생하는 열이 전극 내부를 통해, 먼저 형성된 용접부에 전해지기 쉬워져, 용접부의 온도가 상승하고, 용접부에 크랙(금)이 발생하는 양극이 있었다.On the other hand, when the shortest distance d in the electrode between the welded part and the molten sealing part is 7 mm or less, heat generated when the gas sealing through-hole formed in the lid part is melted to form the molten sealing part is transferred to the first formed weld part through the inside of the electrode. There existed the anode in which it became easy to stand, the temperature of a weld part rose, and a crack (gold) generate | occur | produced in the weld part.

또한, 도 2 중, 덮개부(131)의 끼움부(132)의 전극축 방향의 길이를 변경하면, 가스 도입용 관통구멍의 길이 L이 변화하므로, 가스 도입용 관통구멍의 길이 L을 변경시킨 복수의 양극을 제작하고, 제작 후의 양극의 기체부를 전극축과 직교하는 방향에서 절단하여, 기체부의 밀폐 공간을 형성하는 내부 표면의 산화물의 유무를 눈으로 확인함으로써 관찰하였다. 그 결과를 표 3에 나타낸다.In addition, in FIG. 2, when the length of the fitting part 132 of the cover part 131 is changed in the electrode axial direction, since the length L of the gas introduction | transmission hole changes, the length L of the gas introduction | transmission hole is changed. A plurality of anodes were produced, and the gas portions of the produced anodes were cut in a direction orthogonal to the electrode axis, and observed by visually confirming the presence or absence of an oxide on the inner surface forming a sealed space of the gas portion. The results are shown in Table 3.

또한, 이 실험에서는, 가스 도입용 관통구멍(133)의 개구직경은, 0.5mm의 일 정한 개구직경인 경우와, 1.0mm의 일정한 개구직경인 경우의 2종류의 가스 도입용 관통구멍을 이용하여 실험을 행하였다.In addition, in this experiment, the opening diameter of the gas introduction through-hole 133 uses the two types of gas introduction through-holes in the case of the constant opening diameter of 0.5 mm and the constant opening diameter of 1.0 mm. The experiment was performed.

[표 3][Table 3]

Figure 112008083647044-pat00003
Figure 112008083647044-pat00003

표 3에 나타낸 실험 결과로부터, 가스 도입용 관통구멍의 길이 L이 25mm 이하이면, 양극 제작 시에, 기체부와 덮개부의 간극과 가스 도입용 관통구멍을 통해 전극 내의 밀폐 공간이 되는 공간의 가스가 확실하게 치환되어, 기체부의 내표면이 산화되지 않고, 따라서, 밀폐 공간 내의 전열체도 산화되지 않는 것이 확인되었다.According to the experimental results shown in Table 3, if the length L of the gas introduction through hole is 25 mm or less, the gas in the space that becomes a sealed space in the electrode through the gap between the gas part and the cover part and the gas introduction through hole is produced during the production of the anode. It was confirmed that the replacement was assured and the inner surface of the gas portion was not oxidized, and therefore, the heat transfer body in the sealed space was not oxidized.

한편, 가스 도입용 관통구멍의 길이 L이 25mm보다 긴 경우, 양극 제작 시에, 기체부와 덮개부의 간극과 가스 도입용 관통구멍을 통해 전극 내의 밀폐 공간이 되는 공간의 가스가 치환되기 어려워, 기체부의 내표면이 산화되고, 밀폐 공간 내의 전열체도 산화되는 것이다. 이 결과, 이러한 양극을 이용한 방전 램프에서는, 전열체가 산화 변질되어, 전열 효과가 저하하고, 양극의 선단부가 과열 상태가 된다.On the other hand, when the length L of the gas introduction through-hole is longer than 25 mm, at the time of manufacturing the anode, it is difficult to replace the gas in the space that becomes the sealed space in the electrode through the gap between the gas section and the lid and the gas introduction through-hole. The negative inner surface is oxidized, and the heat transfer body in the sealed space is also oxidized. As a result, in the discharge lamp using this anode, the heat transfer body is oxidatively deteriorated, the heat transfer effect is lowered, and the tip portion of the anode is in an overheated state.

도 1은 본원 발명의 방전 램프의 구성을 도시한 설명도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is explanatory drawing which shows the structure of the discharge lamp of this invention.

도 2는 도 1에 도시한 방전 램프의 양극의 설명용 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating the anode of the discharge lamp shown in FIG. 1. FIG.

도 3은 도 2의 양극에 있어서의 용접부와 용융 실링부를 포함하는 부분의 확대 투영도이다.FIG. 3 is an enlarged projection view of a portion including a welded part and a melt sealing part in the anode of FIG. 2.

도 4는 본원 발명의 방전 램프에 있어서, 다른 실시예를 나타내는 양극의 설명용 단면도와, 그 양극에 있어서의 용접부와 용융 실링부를 포함하는 부분의 확대 투영도이다.4 is an explanatory cross-sectional view of an anode showing another embodiment in the discharge lamp of the present invention, and an enlarged projection view of a portion including a welded part and a melt sealing part in the anode.

도 5는 본원 발명의 방전 램프에 있어서, 다른 실시예를 나타내는 양극의 설명용 단면도와, 그 양극에 있어서의 용접부와 용융 실링부를 포함하는 부분의 확대 투영도이다.It is explanatory sectional drawing of the anode which shows another Example in the discharge lamp of this invention, and the enlarged projection view of the part containing the welding part and the fusion sealing part in this anode.

도 6은 본원 발명의 방전 램프에 있어서, 다른 실시예를 나타내는 양극의 설명용 단면도와, 그 양극에 있어서의 용접부와 용융 실링부를 포함하는 부분의 확대 투영도이다.6 is an explanatory cross-sectional view of an anode showing another embodiment in the discharge lamp of the present invention, and an enlarged projection view of a portion including a welded part and a melt sealing part in the anode.

도 7은 본원 발명의 방전 램프에 있어서의 전극에 형성된 가스 도입용 관통구멍을 도시한 단면 설명도이다.7 is a cross-sectional explanatory diagram showing a gas introduction through hole formed in an electrode in the discharge lamp of the present invention.

도 8은 종래의 방전 램프의 구성을 도시한 설명도이다.8 is an explanatory diagram showing a configuration of a conventional discharge lamp.

도 9는 도 8에 도시한 방전 램프의 양극의 설명용 단면도이다.9 is a cross-sectional view illustrating an anode of the discharge lamp illustrated in FIG. 8.

도 10은 전극을 제작하는 설명도이다.10 is an explanatory diagram for producing an electrode.

[부호의 설명][Description of the code]

10 : 방전 램프 11 : 발광관10 discharge lamp 11 light emitting tube

12 : 실링관 13 : 양극12 sealing tube 13 anode

15 : 음극 16 : 내부 리드봉15: negative electrode 16: internal lead rod

130 : 기체부 130a : 기체부측 플랜지부130: base portion 130a: base portion flange portion

131 : 덮개부 131a : 덮개부측 플랜지부131: cover portion 131a: cover portion side flange portion

132 : 끼움부 133 : 가스 도입용 관통구멍132: fitting portion 133: through hole for gas introduction

134 : 오목부 P : 용접부134: recess P: weld

Q : 용융 실링부 M : 전열체Q: Melt sealing part M: Heating element

Claims (2)

발광관 내에 한 쌍의 전극이 대향 배치되어 이루어지고, 상기 전극의 한쪽은, 기단측(基端側)으로 개구하는 바닥이 있는 원통형 금속제의 기체부(基體部)와, 이 기체부의 개구를 막는 금속제의 덮개부로 이루어지고, 상기 기체부와 상기 덮개부가 맞닿은 상태로 둘레방향의 전체에 걸쳐 용접된 환상(環狀)의 용접부를 가지며, 상기 기체부와 상기 덮개부로 형성된 밀폐 공간에, 상기 기체부를 구성하는 금속보다 융점이 낮은 금속으로 이루어지는 전열체가 봉입되고, 상기 기체부 또는 상기 덮개부의 한쪽에, 전극 내의 밀폐 공간과 전극 외의 외부 공간으로 이어지는 가스 도입용 관통구멍이 형성되고, 이 가스 도입용 관통구멍의 전극 외면의 선단 개구가 용융된 용융 실링부를 갖는 방전 램프에 있어서,A pair of electrodes are disposed to face each other in the light emitting tube, and one of the electrodes blocks a base having a cylindrical metal base having a bottom opening at a proximal end, and blocking the opening of the base. The base portion is formed of a metal lid portion, has an annular weld portion welded over the entire circumferential direction in contact with the base portion and the lid portion, and the base portion is in a sealed space formed by the base portion and the lid portion. A heat-transfer body made of a metal having a melting point lower than that of the metal to be formed is enclosed, and a gas introduction through hole is formed in one of the gas portion or the lid portion to lead to a sealed space in the electrode and an external space outside the electrode. A discharge lamp having a molten sealing portion in which a tip opening of an electrode outer surface of a hole is molten, 상기 기체부와 상기 덮개부는 텅스텐으로 이루어지고,The base portion and the cover portion is made of tungsten, 상기 용접부와 상기 용융 실링부의 전극 내 최단 이간 거리가 8mm 이상인 것을 특징으로 하는 방전 램프.And a shortest separation distance between the welding portion and the electrode of the fusion sealing portion is 8 mm or more. 삭제delete
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