JP2004265663A

JP2004265663A - Discharge lamp

Info

Publication number: JP2004265663A
Application number: JP2003052941A
Authority: JP
Inventors: Tsuneo Okanuma; 恒夫岡沼; Yoichi Kono; 洋一河野
Original assignee: Ushio Denki KK; Ushio Inc
Current assignee: Ushio Denki KK; Ushio Inc
Priority date: 2003-02-28
Filing date: 2003-02-28
Publication date: 2004-09-24
Anticipated expiration: 2023-02-28
Also published as: JP4026513B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a high output discharge lamp increasing input current to a discharge lamp without enlarging the discharge lamp or the peripheral facilities. <P>SOLUTION: In the discharge lamp in which a pair of electrodes is faced on the inside of an arc tube, the electrode comprises an electrode body made of a high melting point metal and having a sealed space on the inside, and a heat conducting body made of metal having higher heat conductivity or a lower melting point than the high melting point metal and arranged inside the sealed space of the electrode body, the electrode body comprises almost an cylindrical main member with bottom and almost a round column cover member fit into a cylindrical opening of the main member, and a welded part of the rear end of the maximum outer diameter part of the cover member and an opening peripheral part of the main member is formed in the vicinity of an electrode rear end part. Preferably, a contact part of the main member with the cover member is present inside the electrode body. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は放電ランプに関する。特に、投影装置、光化学反応装置、検査装置の光源として用いられるショートアーク型放電ランプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
放電ランプは、発光物質、電極間距離、発光管内圧力という観点から幾つかのランプに分類でき、このうち発光物質ではキセノンガスを発光物質とするキセノンランプ、水銀を発光物質とする水銀ランプ、水銀以外の希土類金属などを発光物質とするメタルハライドランプなどがある。また、電極間距離というの観点では、ショートアーク型放電ランプやロングアーク型放電ランプがあり、さらに発光管内の蒸気圧という観点では、低圧放電ランプ、高圧放電ランプ、超高圧放電ランプなどが存在する。
このうち、ショートアーク型高圧水銀ランプについて言えば、耐熱温度の高い石英ガラスを発光管として、その内部にタングステン製の電極が２〜１２ｍｍ程度の間隙をもって配置しており、さらに、発光管内部には発光物質として点灯時蒸気圧が１０^５Ｐａ〜１０^７Ｐａになる水銀と共に、キセノンやアルゴンなどの始動用ガスが封入されている。
このショートアーク型高圧水銀ランプは、電極間距離が短くて高輝度が得られるという利点を有することから、従来からリソグラフィーの露光用光源に広く使用されてきた。
その一方で、近年は、半導体ウエハーのみならず、液晶基板、特に、大面積の液晶ディスプレイに使う液晶基板の露光用光源として注目されており、製造工程におけるスループットを高める観点から、光源であるランプとしても大出力化が強く求められている。
【０００３】
放電ランプの大出力化により定格消費電力が大きくなると、放電ランプに流れる電流値は、電流、電圧の設計値にもよるが、大体の場合において大きくなる。
このため、電極（特に、直流点灯における陽極）は、電子衝突を受ける量が多くなり、容易に昇温して溶融されるという問題を導いてしまう。また、陽極に限らず、垂直方向に配置する放電ランプにおいては、上側に位置される電極が、発光管内の熱対流などの影響を受けて、アークからの熱を受け易くなり、同様に高温化されて溶融されてしまう。
また、電極、特に、その先端部分が溶融すると、アークが不安定になるばかりでなく、電極を構成する物質が蒸発して発光管の内表面に付着して放射出力が低下するという問題も生じる。
このような現象は、ショートアーク型高圧水銀ランプに限るものではなく、放電ランプを大出力化する場合に、一般的に生ずる問題であって、従来は、放電ランプの外部に空冷機構を設けて強制的に空冷する構造や方法が提案されており、また、さらに大出力の放電ランプにおいては、電極の内部に冷却水の流路を設けて電極内部に冷却水を流す、いわゆる水冷型放電ランプ（例えば、特許第３０７５０９４号）が提案されていた。
【０００４】
【特許文献１】
特許第３０７５０９４号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、放電ランプを大出力化する対策として、放電ランプの外部に空冷機構を設けて強制的に冷却する方法では、空冷機構を併用させたとしても放電ランプに投入できる電流値に限界があり、大出力化が困難であった。この限界値は、放電ランプの種類や放電ランプが配置される環境によっても多少相違するが、放電ランプへの投入電流値で概ね２００Ａ程度であり、それ以上の高電流化は実用的には不可能とされていた。
【０００６】
また、水冷型放電ランプの場合は、電極の内部に水を導入、排出するものであるから、放電ランプの大型化はもとより、放電ランプの周囲に循環ポンプや冷却水の供給、排出設備を設けなければならず、放電ランプに対して何倍もの大きさを有する冷却機構が必要となる。従って、水冷という方法は特定の用途においては有用かもしれないが、放電ランプとしての汎用性は乏しく、特に、クリーンルーム内で使用するリソグラフィー用露光装置の光源には適しているとはいえなかった。
【０００７】
また、強制的な冷却機構にのみ依存する方法では、発光管の内部に最冷点部分が形成されやすくなり、この部分に水銀などの封入物質が未蒸発の状態で溜まってしまうことがある。この場合、放電ランプとして所定の動作圧力が得られないばかりか、所望の放射光量や輝度を得ることができなくなる。さらに、発光管の内部において、温度が過剰に低下した場合は、電極間に形成されるアークが不安定になり、放電ランプがちらついて発光する。
そこで、この発明が解決しようとする課題は、上記問題点に鑑み、放電ランプやその周辺設備の大型化を伴うことなく、放電ランプへの投入電流の増大を可能にできる大出力型放電ランプを提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
そこで本発明の放電ランプは、発光管の内部に一対の電極が対向配置された放電ランプにおいて、前記電極は、高融点金属よりなり内部に密閉空間が形成された電極本体と、前記高融点金属に比較して熱伝導率が高い金属若しくは融点が低い金属よりなる該電極本体の前記密閉空間内に配置された伝熱体と、により構成されてなり、前記電極本体は、略有底円筒状の主要部材と、当該主要部材の筒部開口内に嵌入された略円柱状の蓋用部材と、よりなり、前記電極には後端部の近傍に、該蓋用部材の最大外径部の後端と前記主要部材の開口周縁部とが溶接された溶接部が形成されていることを特徴とする。
また、上記放電ランプにおいて更に、前記電極本体の内部に前記主要部材と前記蓋用部材の当接箇所があることを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
図１は本願発明に係る放電ランプの全体構造を示す概略図である。
発光管１０は石英ガラスからなり、略球状の発光部１１の両端には封止部１２が一体に連設されている。この発光部１１には陽極２および陰極３が対向配置しており、各電極（２，３）はそれぞれ封止部１２で保持されて、その中で図示略の金属箔を介して外部リード棒４につながり、図示略の外部電源が接続される。
また、発光部１１には、水銀、キセノン、アルゴンなどの発光物質や始動用ガスが所定量封入されている。そして、放電ランプは、外部電源より電力が供給されると、陽極２と陰極３でアーク放電することにより発光する。なお、この放電ランプは、陽極２を上、陰極３を下にして、発光部１１の管軸が、大地に対して略垂直方向に支持されて点灯される、いわゆる垂直点灯型の放電ランプである。
【００１０】
図２（ａ）は図１中の陽極２（「電極」とも称す。）の説明用側断面図であり、図２（ｂ）は同図（ａ）に記載の矢印Ｘの方向からみた平面図である。
図２（ａ）に示すように、電極２は、内部に密閉空間Ｓが形成されてなる電極本体２０と、この電極本体２０の内部に気密に封入された伝熱体Ｍとにより構成されている。電極２の後端部２０Ｂには、嵌入穴２２０が形成され、この穴２２０にタングステンの棒が嵌入されることにより、軸部分５が構成される。
【００１１】
電極本体２０は、高融点金属、若しくは、高融点金属を主成分とする合金からなり、内部に密閉空間Ｓ（以後、「内部空間」ともいう）が形成された略円柱状の容器形状をしたものである。この電極本体２０は、軸部分５と接合する後端部２０Ｂ、胴部２０Ｃ、先端部２０Ａからなり、後端部２０Ｂにおいては軸部分５の挿入穴２２０が形成されている。なお本発明においてはこの軸部分５を含めて電極と称する場合もある。
伝熱体Ｍは、電極本体２０の内部に気密に封入された金属であり、該電極本体２０よりも高い効率で熱を輸送することが可能であって、その具体的な構成及び作用については後段において詳述する。
【００１２】
上記電極本体２０は、高融点金属からなり、具体的には、タングステン、レニウム、タンタルなど、融点が約３０００℃以上の金属が挙げられる。中でもタングステンが好ましい。
一方、伝熱体Ｍは、電極本体２０を構成する金属に比較して、ランプ点灯時における熱伝導率が高い金属である。具体的構成例としては、仮に電極本体２０をタングステンにより構成した場合、銀、銅、金、インジウム、錫、亜鉛、鉛などであり、中でも銀、銅、金が好適であり、特に好ましくは銀である。
【００１３】
ここで、上記伝熱体Ｍの熱輸送作用について説明する。
タングステンの熱伝導率は、２０００Ｋ程度の高温域においては、約１００Ｗ／ｍＫである。これに対し、銀及び銅は、何れも、タングステンよりも熱伝導率が高く（２０００Ｋにおける熱伝導率は、銀；約２００Ｗ／ｍＫ、銅：約１８０Ｗ／ｍＫである。）、電極先端部近傍に蓄積された熱を、該先端部よりも低温の部分にむけて効率よく輸送する。その結果、電極先端部においては、熱が該電極後方に向けて高い効率で輸送されるので、該電極先端部の過熱が防止される。なお、銀、銅、金は何れも、タングステンと合金を作らないので、安定的に熱輸送体として働く。
【００１４】
また、上記とは別の構成例としては、電極本体２０を構成する高融点金属としてレニウム（２０００Ｋにおける熱伝導率：約５２Ｗ／ｍＫ）を用いた場合、伝熱体Ｍとしてタングステンを用いても良い。レニウムを電極本体２０に用いると、ハロゲン封入の水銀ランプやメタルハライドランプのような放電ランプ用に使用した場合、電極２が腐食されず、放電ランプの長寿命化を図ることができる。
【００１５】
以上のように、電極本体２０と、これと比較して高い熱伝導率を有するような伝熱体Ｍとを組み合わせることにより、電極先端部２０Ａの過熱を防止することができ、結果、放電ランプの電流流量の増大を図ることができるようになる。
【００１６】
伝熱体Ｍとしては、上述したような高い熱伝導特性を有する金属を用いる代わりに、電極本体２０を構成する金属に比較して低い融点を有する金属を用いて構成することも可能である。例えば、電極本体２０をタングステンにより構成した場合、伝熱体Ｍとして、銀、銅、金、インジウム、錫、亜鉛、鉛などを使用することが可能である。電極本体２０よりも低融点の金属を選択して伝熱体Ｍとしたときには、ランプ点灯時に、伝熱体Ｍが溶融して該電極本体２０内部において対流が発生し、電極先端部２０Ａの熱を電極後方に向けて輸送する。その結果、電極先端部２０Ａが過剰に熱せられたときでも該電極先端部２０Ａ以外の箇所に熱を高効率に輸送できて、電極が溶融するといった問題を回避することが可能となる。そして更には、放電ランプに大きな電流を流すことが可能となる。
【００１７】
続いて、本発明の実施形態に係る電極について詳細に説明する。
【００１８】
電極本体２０における後端部２０Ｂには、当該電極本体２０の外周と略同心に形成された円状の溶接部Ｗが露出形成されている。係る溶接部Ｗは、電極本体２０内に密閉空間Ｓを形成すると共に伝熱体Ｍを封入するためのものであり、溶接して密閉するために不可避に形成されるものである。
【００１９】
図３は、上記電極本体２０を密閉状態とする前段階における構成用部材を示す軸方向断面図である。同図において、上記電極本体２０は、主要部材２１及び蓋用部材２２により構成され、同図（ａ）主要部材、（ｂ）蓋用部材、（ｃ）電極本体の構造体の要部、について説明するものである。なお、同図（ａ）〜（ｃ）では、各部材を電極の先端側を紙面下方に位置したときの様子を示している。図３（ａ）に示すように、主要部材２１は有底の略円筒形状に成形されている。その開口縁近傍においては被溶接部２１ａが設けられており、外径が縮径されることにより、当該部材の内周面に対する直交方向の肉厚Ｔが端部に向かって小さくなるよう形成されている。また、この主要部材２１の筒部内面には、開口側において内径が拡径されて段部が形成されており、これにより被当接部２１ｂが形成されている。
【００２０】
蓋用部材２２は、図３（ｂ）に示すように略柱状に成形されている。その最大外径部２２２における電極後方側の端部（紙面において上方）には、該蓋用部材２２の後端面上にクサビ状の環状溝Ｋが設けられている。そして、蓋用部材２２の最大外径部２２２の側面と溝Ｋの斜面によって、電極軸から半径方向外方に向かって肉厚Ｔ’が薄くなるように被溶接部２２ａが形成されている。また蓋用部材２２には、その前端側部分に段部が形成されて当接部２２ｂが設けられ、一方、後端側端面には軸部分用の棒材（図示省略）が嵌入される有底の嵌入穴２２０が設けられている。
【００２１】
図３（ｃ）に示すように、上記主要部材２１の筒部内に所定の伝熱体（図示省略）を装填し、主要部材２１に蓋用部材２２を嵌入する。主要部材２１に形成した被当接部２１ｂに蓋用部材２２の当接部２２ｂを当接すると、主要部材の被溶接部２１ａに、蓋用部材２２の被溶接部２２ａが内接して被溶接部２１ａと被溶接部２２ａとが略全周方向に接触した電極の組立体ができる。このような組立体の蓋用部材２２の電極後方側の端部を、主要部材２１の開口縁に溶接して接合すると、先に図２で説明した溶接部（Ｗ）がその後端部に形成された電極が出来上がる。なおこの溶接はアークメルト法によるのが好ましく、これによると溶接作業を短時間にでき、更に高品位に仕上げることができる。
【００２２】
本発明では、被溶接部２１ａ，２２ａが電極の後端部に位置されるので、溶接に先駆けて主要部材２１内に伝熱体Ｍを装填したときも、溶接作業中に伝熱体Ｍが過熱して沸騰、蒸発するといった不具合を生じることなく、簡単に行うことができる。このため、電極本体２０の溶接、密閉、及び、伝熱体Ｍの封入を、同一の工程で完遂することができる。なお、溶接後、軸部分用の棒材を穴２２０に挿入するがその際、主要部材２１に対して蓋用部材２２を押圧するため、電極本体２０の軸方向に圧縮される方向に応力が掛かる。ここで、溶接部にも同様に応力が掛かるが、主要部材２１と蓋用部材２２とが当接していることにより当該溶接部が受ける応力は小さくてすみ、構造上弱い部分である溶接部の破損を未然に防止することができるようになる。
【００２３】
仮に、主要部材の開口内に略円柱状の蓋用部材を嵌入しない場合、例えば、図５のように主要部材（７１）と蓋用部材（７２）を各部材の端面同士を付き合せて溶接部Ｗを形成することになるが、この場合、溶接作業中に位置ずれが生じ易い。しかも、溶接作業中は電極本体７０の胴部外周を加熱することになるが、当該箇所は構造上熱容量を小さくすることが難しい部位であって（即ち熱容量が大きいので）溶接性が低く、良好な接合状態を得ることが極めて困難である。また、この電極形状によると、組立中に伝熱体Ｍを装填すると溶接時の高温で伝熱体Ｍが沸騰、蒸発することがあり、主要部材（７１）と蓋用部材（７２）を付き合わせた隙間から洩出したり、またこれにより変質したりする可能性がある。よって電極本体７０の溶接作業と同時に伝熱体Ｍを封入することは不可能に等しい。
更には、電極７の最終形成品を製作できても、電極７には胴部に半径方向に大きなフランジ状の溶接部Ｗが形成されるようになる。このようになると、例えば図６に示すように、放電ランプの製作工程において、発光管構成用のガラス管１０ａに該電極７を溶接部Ｗが大径化したため通すことができない場合が生じる。その結果、ランプ設計変更を行わねばならず、いくら高輝度化、高出力化を実現できたとしても汎用性において十分満足できるものとならない。
【００２４】
本発明によれば、該蓋用部材の最大外径部の後端と前記主要部材の開口周縁部とを溶接することにより、電極の後端部の近傍に溶接部を形成しているので、溶接の作業性が良好であると共に電極本体の溶接工程において伝熱体を封入することも可能で、電極生産性が格段に向上する。なおかつ、電極の側面上に局所的に大径化する溶接部が形成されることがないので従来と同寸法の発光管を用いて放電ランプを組み立てることが可能である。その結果、高品位でありかつ量産性に富んだ大出力型放電ランプを提供することができるようになる。
【００２５】
以上説明したように、本発明によれば、電極本体内部に該本体部分よりも高い熱伝導性を有する伝熱体が気密に封入されているので、当該電極先端部の熱を高効率に後方に向けて輸送することができ、当該電極を具備した本発明に係る放電ランプは、電極先端部の過熱を防止できて高輝度かつ高出力を実現することが可能になる。しかも、係る電極は略有底円筒状の主要部材の開口内に略円柱状の蓋用部材を嵌入し、電極本体の開口周縁部と蓋用部材の最大外径部における最後端とを溶接してなるものであるので、その溶接作業中に位置ずれが生じ難くて溶接工程における作業性が良好であって、生産性の良好な高品位な放電ランプを提供することができるようになる。
【００２６】
続いて、図４（ａ）〜（ｃ）は、本発明に係る放電ランプの電極製作工程を説明する要部の説明用断面図である。何れの例も蓋用部材の最大外径部の後端と主要部材の開口周縁部に溶接部を形成するためのものである。なお、同図において先に図１〜図３で説明した構成と同じ構成については同符号で示し、その説明を省略する。
【００２７】
図４（ａ）において、主要部材２１は有底の略円筒形状に成形されており内部電熱体Ｍ’が装填されている。また、その開口部近傍Ｃにおいては、最後端に向かって側部外径が縮径されることにより電極の軸方向（長さ方向）に斜面状となって被溶接部２１ａが形成されている。即ち被溶接部２１ａは当該部材の内周面に対する直交方向の肉厚が徐々に小さくなるよう形成されている。またこの主要部材２１には開口部側の筒部内面上に段部が形成されることにより被当接部２１ｂが設けられている。
【００２８】
蓋用部材２２には、その後端面上にリード棒を兼ねる細長い軸部２２３が連設されて電極軸方向に延在している。このように、蓋用部材２２の一部をリード棒としたときには、蓋用部材２２にリード棒を嵌入する必要がないので、先の実施形態のようにリード棒の嵌入時、電極本体に掛かる応力がなく、よって溶接部に余計な負荷が掛からず、破損の発生を抑えることができる。
蓋用部材２２は、前端面の周縁部が当接部２２ｂを兼ており、蓋用部材２２が主要部材２１に嵌入されると、当該当接部２２ｂが被当接部２１ｂに当接して位置決めされ、同時に、蓋用部材２２における最大外径部２２２の外周面と、主要部材２１における被溶接部２１ａの内側周面とが周接する。
このように、蓋用部材２２底面を主要部材２１の一部に当接箇所を設けておくと、蓋用部材２２の位置決めを容易にできると共に被溶接部２１ａ，２２ａの相対的な移動を防止でき、溶接作業性を向上させることができる。なお、ここでの説明を省略するが、被溶接部２１ａ，２２ａ同士を全周に亘って溶接することにより、内部の気密空間に伝熱体Ｍ’が封入された電極が出来上がる。
【００２９】
上記実施形態においても、主要部材の開口内に略円柱状の蓋用部材を嵌入すると共に、各部材における被溶接部を、該蓋用部材の最大外径部の後端と主要部材の開口周縁部に形成しているので、主要部材の内周面と蓋用部材の外周面とが全周方向に接した状態とされ、各両部材の相対的な移動が軸方向のみに規制されることになるので位置ずれを生じることがなく、溶接の作業を簡単に行うことができるようになる。また、蓋用部材の最大外径部の後端と主要部材の開口周縁部とを溶接するので、当該箇所においては、熱容量の小さな易溶接部を簡単に形成することが可能であって、このようにすると短時間かつ低熱量で溶接を確実に完了させることができるようになる。そして、電極に形成される溶接部は、電極の後端部、詳しくは、後端面上若しくは電極後端の外周縁上に形成される、つまり、電極側面上に局所的に大径となる箇所となって形成されないので、発光管構成用のガラス管材料も従来品と同寸のものを使用できて、放電ランプの製作が困難であったり、該ランプや周辺設備が大型になったりする問題を生じることなく、電極の過熱、溶融を防止できて、電流流量の増大化を図ることが可能な放電ランプを提供することができる。
【００３０】
続いて図４（ｂ）に示す実施形態においては、主要部材２１の開口部近傍Ｃにすり鉢状のテーパが形成されており、被溶接部２１ａが半径方向外方に向かって肉厚が小さくなるよう形成されている。一方、蓋用部材２２には、被溶接部２２ａが最大外径部２２２近傍に形成されている。なお、蓋用部材２２における被溶接部２２ａもまた外方に向かうに従って肉厚が小さくなるよう形成されている。主要部材２１の筒部に蓋用部材２２を嵌入すると、蓋用部材２２の最大外径部２２２の後端と主要部材２１の開口周縁部とが周方向に接触し、嵌合する。なお、この実施形態においても、主要部材２１の筒部内に段部が形成されて被当接部２１ｂが形成されて、蓋用部材２２底面の当接部２２ｂに当接することにより、被溶接部２１ａ，２２ａを溶接した後の溶接部に、大きな負荷が掛からないようにしている。
【００３１】
この実施形態によっても、主要部材と蓋用部材の位置関係がこわれにくくて溶接作業を簡便に完遂することができる。無論、溶接部は電極後端部に位置されるので先に本発明者らが提案した電極のように側面上に大径の溶接部が形成されることもない。この実施形態においても、最終形状とした電極には胴部に大径となるような部分が形成されないため、発光管の材料等を新たに製作する必要もなく、即ち大幅な設計変更が生じるような問題も生じることなく、高輝度、高出力の放電ランプを提供することができる。
【００３２】
続いて図４（ｃ）に示す実施形態では、主要部材２１の端面近傍の側面上には凹状の溝Ｇが周方向に設けられていると共に、主要部材２１の開口側端面に当接するように蓋用部材２２にフランジＦが形成されている。被溶接部２１ａ，２２ａは電極軸方向に略直交する面で周接しており、半径方向外方に向かって肉厚が小さくなるよう形成されている。なお、主要部材２１の筒部内の被当接部２１ｂと、蓋用部材２２底面の当接部２２ｂとが接することによる効果は先に述べた実施形態のものと同様の効果を得ることができる。
【００３３】
上記実施形態においても先に説明したものと同様の効果を得ることができる。即ち、主要部材と蓋用部材の相対的な移動が規制されるので、位置ずれを生じることなく溶接作業を簡単に遂行することができ、形成された溶接部は電極後端部に位置されて側面上に大径の溶接部が形成されることがない。よって、係る電極を用いた放電ランプにおいては、製作が容易で汎用性に富むものとなる。
【００３４】
以上説明したように、本願発明によれば、電極本体内部に該本体部分よりも高い熱伝導性を有する伝熱体が気密に封入されているので、当該電極先端部の熱を高効率に後方に向けて輸送することができ、当該電極を具備した本発明に係る放電ランプは、電極先端部の過熱を防止できて高輝度かつ高出力を実現することが可能になる。
しかも、係る電極本体は、略有底円筒状の主要部材と、当該主要部材の筒部開口内に嵌入された略円柱状の蓋用部材とにより構成され、前記主要部材の開口内に蓋用部材が嵌入され、該蓋用部材の最大外径部の後端が前記主要部材の開口周縁部に溶接されることにより、当該電極本体の後端部に溶接部が形成されているので、その溶接工程においては主要部材と蓋用部材の相対的な移動が規制されて位置ずれを生じにくく、溶接工程における作業性が極めて良好なものとなる。生産性の良好な高品位な放電ランプを提供することができるようになる。
更に、本発明に係る放電ランプによれば、溶接部が電極に後端部に規則的に形成されることで、例えば溶接部が電極の胴部の中腹に不規則に形成されたものと異なり、ランプ点灯時にアークがちらつくことなく安定的に点灯させることが可能である。
【００３５】
なお、本願発明は上記構成に限定されず適宜変更が可能であることはいうまでもない。例えば、電極本体を構成する高融点金属については上述した物質に限定されず適宜変更可能である。また、伝熱体も上述した物質に限定されず適宜変更可能であり、何れも、単原子からなる金属であってもよいし二種以上の金属の合金であってもよい。無論、上記実施形態に限定されるものではない。
【００３６】
以下、本願発明の実施例について説明する。
〔実施例〕
図２に示した電極と同様の形態の放電ランプ用の陽極を下記条件で製作した。〔陽極側電極〕
・電極本体材質：タングステン、軸方向長さ：５５ｍｍ、胴部外径：２５ｍｍ、内容積：６７００ｍｍ^３
・伝熱体材質：銀、封入量６０００ｍｍ^３
・軸部分材質：タングステン、外径：６ｍｍ
その結果、溶接も簡単に行うことができ溶接部の接合状態も良好であることが確認された。
【００３７】
上記本実施例に係る電極を、図１に示す形態の放電ランプの陽極側電極に組込み実施例とした。
放電ランプの各部構成は下記の通りである。
発光管内容積：１８３０ｃｍ^３
発光長（電極間距離、ランプ動作中）：１２ｍｍ
キセノンの封入圧力：１００ｋＰａ
水銀量：２８．２ｍｇ／ｃｍ^３
〔陰極側電極〕
・本体材質：トリエーティッドタングステン（トリア：２ｗｔ．％）
・軸部分材質タングステン、外径：６ｍｍ
【００３８】
〔実験例〕
上記実施例に係る放電ランプを、ランプ電流２００Ａで、前記陽極側電極を上にして、当該ランプを垂直方向に支持した状態で点灯した。そして、ランプ点灯して６００ｓ後に、陽極側電極の先端部における表面温度をマイクロパイロメーターにより測定した。
また、陽極側電極として単一の材質（タングステン）のみで構成された上記実施例と同仕様の従来の放電ランプを上記と同条件で点灯し、ランプ点灯して６００ｓ後に、陽極側電極の先端部における表面温度をマイクロパイロメーターにより測定した。
その結果、実施例に係る放電ランプによれば、電極の先端部温度は、従来の放電ランプが２０００℃であったのに対し、実施例に係るものは１８５０℃であって、本願発明に係る放電ランプのほうが低くなっていると確認された。なお、温度が低下する勾配は、従来製品に係るランプは比較的急峻であるが、本実施例に係る放電ランプでは従来製品よりも緩慢であり、電極先端部の熱をより多く後端に輸送していることが確認された。
このように、本発明に係る放電ランプによれば、電極先端部の温度を低下させることが可能であり、従来の放電ランプと寸法等を変更することなく電流流量の増大を図ることが可能である。
【００３９】
【発明の効果】
以上説明した本願発明によれば、電極本体内部に該本体部分よりも高い熱伝導性を有する伝熱体が気密に封入されているので、当該電極先端部の熱を高効率に後方に向けて輸送することができ、当該電極を具備した本発明に係る放電ランプは、電極先端部の過熱を防止できて高輝度かつ高出力を実現することが可能になる。しかも、係る電極は略有底円筒状の主要部材の開口内に略円柱状の蓋用部材を嵌入し、電極本体の開口周縁部と蓋用部材の最大外径部における最後端とを溶接してなるものであるので、主要部材の内周面と蓋用部材の外周面とが全周方向に接した状態とされて各両部材の相対的な移動が軸方向のみに規制されて溶接作業中に位置ずれを生じ難く、溶接工程における作業性が極めて良好なものとなるため、生産性良好でかつ高品位な放電ランプを提供することができるようになる。
また、電極本体において蓋用部材の最大外径部の後端と主要部材の開口周縁部とを溶接するので熱容量の小さな易溶接部を簡単に形成することができ、係る場合は溶接を短時間で確実に完遂することができるようになる。
また、最終形状とした電極においては、後端部、詳しくは、後端面上若しくは電極後端の外周縁上に溶接部が形成されているので、当該電極側面上に局所的に大径となる箇所となって形成されるようなことがなく、放電ランプの組立時において、従来の発光管構成用のガラス管材料を用いることができ、ランプの製作を困難にするような弊害を生じることがない。更に、電極の側面に溶接部が形成されていないので放電ランプの点灯特性を損なわせるといった問題も生じることなくちらつきのない安定した点灯状態を維持できるようになる。
【００４０】
更に、上記本願発明に係る放電ランプにおいて、電極本体の内部に主要部材と蓋用部材とが当接部を有した状態で溶接されることにより、電極製作時の位置合せ作業が簡単になる。なお、溶接後は、電極本体に当該電極の軸方向に圧縮応力が掛かったとしても主要部材と蓋用部材との当接部によって緩和されるようになるため、溶接部に掛かる応力を小さくすることができて、当該溶接部の破損防止効果をも得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明に係る放電ランプの全体を示す図である。
【図２】本願発明に係る陽極の説明用側断面図を示す。
【図３】本願発明に係る主要部材と蓋用部材を説明する断面図である。
【図４】本願発明に係る電極の他の実施形態を説明する図である。
【図５】本発明者らが先に発明した電極構造を説明する断面図である。
【図６】図５に示す電極の製造工程を説明する図である。
【符号の説明】
１０発光管
１１発光部
１２封止部
２陽極（電極）
３陰極（電極）
４外部リード棒
５軸部分
２０電極本体
２１主要部材
２２蓋用部材
２１ａ、２２ａ被溶接部
２１ｂ被当接部
２２ｂ当接部
２２０嵌入穴
Ｍ、Ｍ’ 伝熱体
Ｓ密閉空間
Ｆフランジ
Ｇ溝[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a discharge lamp. In particular, the present invention relates to a short arc discharge lamp used as a light source for a projection device, a photochemical reaction device, and an inspection device.
[0002]
[Prior art]
Discharge lamps can be classified into several lamps in terms of luminous substance, distance between electrodes, and pressure inside the luminous tube. Among them, xenon lamps using xenon gas as a luminous substance, mercury lamps using mercury as a luminous substance, mercury lamps Metal halide lamps using a rare earth metal other than the above as a luminescent material. In terms of the distance between electrodes, there are short-arc discharge lamps and long-arc discharge lamps, and in terms of vapor pressure in the arc tube, there are low-pressure discharge lamps, high-pressure discharge lamps, ultra-high-pressure discharge lamps, and the like. .
Of these, regarding the short arc type high-pressure mercury lamp, a quartz glass having a high heat-resistant temperature is used as an arc tube, and tungsten electrodes are arranged inside the arc tube with a gap of about 2 to 12 mm. Means that the vapor pressure at the time of lighting is 10⁵Pa-10⁷A starting gas such as xenon or argon is sealed together with mercury that becomes Pa.
This short arc type high pressure mercury lamp has been widely used as a light source for exposure in lithography since it has an advantage that a distance between electrodes is short and high luminance can be obtained.
On the other hand, in recent years, lamps have been attracting attention as exposure light sources for not only semiconductor wafers but also for liquid crystal substrates, particularly liquid crystal substrates used for large-area liquid crystal displays. Even so, large output is strongly demanded.
[0003]
When the rated power consumption increases due to an increase in the output of the discharge lamp, the value of the current flowing through the discharge lamp increases in most cases, depending on the current and voltage design values.
For this reason, the electrode (especially, the anode in direct current lighting) receives a large amount of electron collisions, which leads to a problem that the temperature is easily raised and melted. In addition, not only the anode, but also the discharge lamp arranged vertically, the upper electrode is easily affected by the heat from the arc due to the influence of heat convection in the arc tube and the like. Is melted.
In addition, when the electrode, particularly its tip, melts, not only the arc becomes unstable, but also a problem arises in that the material constituting the electrode evaporates and adheres to the inner surface of the arc tube to reduce the radiation output. .
Such a phenomenon is not limited to the short arc type high pressure mercury lamp, but is a problem that generally occurs when increasing the output of the discharge lamp, and conventionally, an air cooling mechanism is provided outside the discharge lamp. A so-called water-cooled discharge lamp has been proposed in which a structure and a method of forcibly air-cooling a discharge lamp having a larger output are provided with a flow path of cooling water inside the electrode to flow cooling water inside the electrode. (For example, Japanese Patent No. 3075094) has been proposed.
[0004]
[Patent Document 1]
Japanese Patent No. 3075094
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, as a measure to increase the output of the discharge lamp, in a method of forcibly cooling by providing an air cooling mechanism outside the discharge lamp, there is a limit to a current value that can be supplied to the discharge lamp even if the air cooling mechanism is used together, It was difficult to increase the output. Although this limit value varies somewhat depending on the type of discharge lamp and the environment in which the discharge lamp is arranged, the current applied to the discharge lamp is approximately 200 A, and it is not practically possible to increase the current further. It was possible.
[0006]
In addition, in the case of a water-cooled discharge lamp, water is introduced and discharged inside the electrode.Therefore, a circulation pump and cooling water supply and discharge equipment are installed around the discharge lamp, as well as the size of the discharge lamp. A cooling mechanism that is many times larger than the discharge lamp is required. Therefore, although the method of water cooling may be useful in a specific application, it is not generally suitable as a light source of a lithography exposure apparatus used in a clean room, because of its poor versatility as a discharge lamp.
[0007]
Further, in a method relying solely on a forced cooling mechanism, a coldest spot tends to be formed inside the arc tube, and a sealed substance such as mercury may accumulate in this portion in an unevaporated state. In this case, not only a predetermined operating pressure cannot be obtained for the discharge lamp, but also a desired amount of radiation and luminance cannot be obtained. Further, when the temperature is excessively lowered inside the arc tube, the arc formed between the electrodes becomes unstable, and the discharge lamp flickers and emits light.
In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a large-power discharge lamp capable of increasing the current supplied to the discharge lamp without increasing the size of the discharge lamp and its peripheral equipment. To provide.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
Accordingly, a discharge lamp according to the present invention is a discharge lamp in which a pair of electrodes are arranged inside an arc tube, wherein the electrodes are made of a high melting point metal and have an enclosed space formed therein; And a heat transfer body disposed in the closed space of the electrode body, which is made of a metal having a high thermal conductivity or a metal having a low melting point as compared with the above, and the electrode body has a substantially bottomed cylindrical shape. A main member, and a substantially cylindrical lid member fitted into the cylindrical opening of the main member. The electrode has a maximum outer diameter portion of the lid member near the rear end. A welded portion formed by welding a rear end and an opening peripheral portion of the main member is formed.
Further, the discharge lamp is characterized in that there is a contact point between the main member and the lid member inside the electrode body.
[0009]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
FIG. 1 is a schematic diagram showing the overall structure of a discharge lamp according to the present invention.
The arc tube 10 is made of quartz glass, and a sealing portion 12 is integrally connected to both ends of a substantially spherical light emitting portion 11. The light emitting part 11 has an anode 2 and a cathode 3 opposed to each other. Each of the electrodes (2, 3) is held by a sealing part 12, and an external lead rod is inserted therein through a metal foil (not shown). 4 and an external power supply (not shown) is connected.
The light emitting section 11 is filled with a predetermined amount of a light emitting substance such as mercury, xenon, or argon, or a starting gas. When electric power is supplied from an external power supply, the discharge lamp emits light by arc discharge between the anode 2 and the cathode 3. Note that this discharge lamp is a so-called vertical lighting type discharge lamp that is lit with the tube axis of the light emitting section 11 supported in a direction substantially perpendicular to the ground with the anode 2 up and the cathode 3 down. is there.
[0010]
FIG. 2A is a side sectional view for explaining the anode 2 (also referred to as an “electrode”) in FIG. 1, and FIG. 2B is a plane viewed from the direction of the arrow X shown in FIG. FIG.
As shown in FIG. 2A, the electrode 2 includes an electrode body 20 having a sealed space S formed therein, and a heat transfer member M hermetically sealed inside the electrode body 20. I have. A fitting hole 220 is formed in the rear end portion 20 </ b> B of the electrode 2, and the shaft portion 5 is configured by fitting a tungsten rod into the hole 220.
[0011]
The electrode body 20 is made of a refractory metal or an alloy containing a refractory metal as a main component, and has a substantially cylindrical container shape in which a closed space S (hereinafter, also referred to as “internal space”) is formed. Things. The electrode body 20 includes a rear end portion 20B, a body portion 20C, and a front end portion 20A which are joined to the shaft portion 5, and an insertion hole 220 for the shaft portion 5 is formed in the rear end portion 20B. In the present invention, the electrode including the shaft portion 5 may be referred to as an electrode.
The heat transfer body M is a metal hermetically sealed in the inside of the electrode main body 20, can transfer heat with higher efficiency than the electrode main body 20, and has a specific configuration and operation. Details will be described later.
[0012]
The electrode body 20 is made of a high melting point metal, specifically, a metal having a melting point of about 3000 ° C. or more, such as tungsten, rhenium, and tantalum. Among them, tungsten is preferable.
On the other hand, the heat conductor M is a metal having a higher thermal conductivity when the lamp is turned on than the metal constituting the electrode body 20. As a specific configuration example, if the electrode main body 20 is made of tungsten, it is silver, copper, gold, indium, tin, zinc, lead, or the like. Among them, silver, copper, or gold is preferable, and silver is particularly preferable. It is.
[0013]
Here, the heat transport action of the heat transfer body M will be described.
The thermal conductivity of tungsten is about 100 W / mK in a high temperature range of about 2000K. On the other hand, silver and copper both have higher thermal conductivity than tungsten (the thermal conductivity at 2000 K is about 200 W / mK for silver and about 180 W / mK for copper), and near the electrode tip. Heat efficiently transported to a portion having a lower temperature than the tip portion. As a result, at the electrode tip, heat is transported to the rear of the electrode with high efficiency, so that overheating of the electrode tip is prevented. Note that none of silver, copper, and gold forms an alloy with tungsten, and thus stably functions as a heat transporter.
[0014]
Further, as another configuration example different from the above, when rhenium (thermal conductivity at 2000 K: about 52 W / mK) is used as the high melting point metal constituting the electrode main body 20, tungsten may be used as the heat conductor M. good. When rhenium is used for the electrode body 20, when used for a discharge lamp such as a halogen-filled mercury lamp or a metal halide lamp, the electrode 2 is not corroded, and the life of the discharge lamp can be extended.
[0015]
As described above, by combining the electrode body 20 and the heat conductor M having a higher thermal conductivity as compared with the electrode body 20, overheating of the electrode tip 20A can be prevented, and as a result, the discharge lamp Can be increased.
[0016]
Instead of using a metal having high thermal conductivity as described above, it is also possible to use a metal having a lower melting point than the metal forming the electrode body 20 as the heat transfer body M. For example, when the electrode body 20 is made of tungsten, silver, copper, gold, indium, tin, zinc, lead, or the like can be used as the heat conductor M. When a metal having a lower melting point than that of the electrode body 20 is selected as the heat transfer body M, the heat transfer body M is melted and convection occurs inside the electrode body 20 when the lamp is turned on, and the heat of the electrode tip 20A is reduced. Is transported toward the back of the electrode. As a result, even when the electrode tip 20A is excessively heated, heat can be efficiently transported to a portion other than the electrode tip 20A, and the problem that the electrode is melted can be avoided. Further, a large current can flow through the discharge lamp.
[0017]
Subsequently, the electrode according to the embodiment of the present invention will be described in detail.
[0018]
At a rear end portion 20B of the electrode body 20, a circular welded portion W formed substantially concentrically with the outer periphery of the electrode body 20 is exposed. Such a welded portion W is for forming a sealed space S in the electrode main body 20 and enclosing the heat transfer body M, and is inevitably formed for sealing by welding.
[0019]
FIG. 3 is an axial cross-sectional view showing the constituent member before the electrode main body 20 is sealed. In the figure, the electrode main body 20 is composed of a main member 21 and a lid member 22. In FIG. 1, (a) a main member, (b) a lid member, and (c) a main part of a structure of the electrode main body. It is for explanation. FIGS. 7A to 7C show the state in which each member is positioned with the tip end side of the electrode below the paper surface. As shown in FIG. 3A, the main member 21 is formed in a substantially cylindrical shape with a bottom. A welded portion 21a is provided near the opening edge, and the outer diameter is reduced so that the thickness T in the direction perpendicular to the inner peripheral surface of the member decreases toward the end. ing. In addition, a step portion is formed on the inner surface of the cylindrical portion of the main member 21 on the opening side so that the inner diameter is increased, thereby forming a contacted portion 21b.
[0020]
The lid member 22 is formed in a substantially columnar shape as shown in FIG. A wedge-shaped annular groove K is provided on the rear end surface of the lid member 22 at the end (upper side in the paper) of the electrode at the rear end of the maximum outer diameter portion 222. The welded portion 22a is formed by the side surface of the maximum outer diameter portion 222 of the lid member 22 and the slope of the groove K so that the thickness T 'is reduced radially outward from the electrode axis. The lid member 22 has a contact portion 22b formed with a step at the front end portion thereof, while a rod (not shown) for a shaft portion is fitted into the rear end surface. A bottom fitting hole 220 is provided.
[0021]
As shown in FIG. 3 (c), a predetermined heat transfer member (not shown) is loaded in the cylindrical portion of the main member 21, and the lid member 22 is fitted into the main member 21. When the contact portion 22b of the lid member 22 is brought into contact with the contact portion 21b formed on the main member 21, the welded portion 22a of the lid member 22 is inscribed in the welded portion 21a of the main member and welded. An electrode assembly in which the portion 21a and the welded portion 22a are in contact in substantially the entire circumferential direction is obtained. When the end on the electrode rear side of the lid member 22 of such an assembly is welded and joined to the opening edge of the main member 21, the welded portion (W) described earlier with reference to FIG. The finished electrode is completed. This welding is preferably performed by the arc melt method, which can shorten the welding work and achieve high quality.
[0022]
According to the present invention, since the welded portions 21a and 22a are located at the rear end of the electrode, even when the heat transfer body M is loaded into the main member 21 prior to welding, the heat transfer body M is maintained during the welding operation. It can be easily performed without causing a problem such as boiling and evaporation due to overheating. For this reason, welding of the electrode main body 20, sealing, and encapsulation of the heat transfer body M can be completed in the same process. After welding, a rod for the shaft portion is inserted into the hole 220. At this time, since the lid member 22 is pressed against the main member 21, stress is applied in a direction in which the electrode body 20 is compressed in the axial direction. Hang on. Here, stress is similarly applied to the welded portion, but since the main member 21 and the lid member 22 are in contact with each other, the stress applied to the welded portion can be small, and the welded portion, which is a structurally weak portion, can be used. Damage can be prevented beforehand.
[0023]
If the substantially cylindrical lid member is not fitted into the opening of the main member, for example, as shown in FIG. 5, the main member (71) and the lid member (72) are welded by joining the end faces of the members together. A portion W is formed, but in this case, misalignment is likely to occur during the welding operation. In addition, during the welding operation, the outer periphery of the body of the electrode body 70 is heated, but this portion is a portion where it is difficult to reduce the heat capacity due to the structure (that is, the heat capacity is large), so that the weldability is low and good. It is extremely difficult to obtain a proper bonding state. Further, according to this electrode shape, when the heat transfer body M is loaded during assembly, the heat transfer body M may boil and evaporate at a high temperature during welding, and the main member (71) and the lid member (72) are attached. There is a possibility of leakage from the combined gap and alteration due to this. Therefore, it is almost impossible to enclose the heat transfer body M at the same time as the welding work of the electrode body 70.
Furthermore, even if a final product of the electrode 7 can be manufactured, a large flange-shaped welded portion W is formed on the body of the electrode 7 in the radial direction. In this case, for example, as shown in FIG. 6, in the process of manufacturing the discharge lamp, the electrode 7 may not be able to be passed through the glass tube 10a for forming the arc tube because the welded portion W has a large diameter. As a result, the lamp design must be changed, and no matter how high the brightness and the output can be realized, the versatility cannot be sufficiently satisfied.
[0024]
According to the present invention, by welding the rear end of the maximum outer diameter portion of the lid member and the opening peripheral portion of the main member, a welded portion is formed near the rear end of the electrode. The workability of welding is good and a heat transfer body can be sealed in the welding process of the electrode body, so that the productivity of the electrode is remarkably improved. In addition, since a weld having a locally large diameter is not formed on the side surface of the electrode, it is possible to assemble the discharge lamp using an arc tube having the same size as that of the related art. As a result, it is possible to provide a high-output discharge lamp of high quality and high productivity.
[0025]
As described above, according to the present invention, since the heat conductor having higher thermal conductivity than the main body portion is hermetically sealed inside the electrode main body, the heat of the electrode tip portion can be efficiently rearwardly transferred. The discharge lamp according to the present invention, which is provided with the electrode, can prevent overheating of the electrode tip portion, and can achieve high luminance and high output. Moreover, the electrode has a substantially cylindrical lid member fitted into the opening of the substantially bottomed cylindrical main member, and welds the peripheral edge of the opening of the electrode body to the rearmost end of the maximum outer diameter portion of the lid member. As a result, it is possible to provide a high-quality discharge lamp that is less likely to be displaced during the welding operation, has good workability in the welding process, and has good productivity.
[0026]
4 (a) to 4 (c) are cross-sectional views for explaining main parts of the discharge lamp according to the present invention, which illustrate the steps of manufacturing electrodes. In each case, a weld is formed at the rear end of the maximum outer diameter portion of the lid member and at the periphery of the opening of the main member. In the figure, the same components as those described above with reference to FIGS.
[0027]
In FIG. 4A, the main member 21 is formed in a substantially cylindrical shape with a bottom, and is loaded with an internal electric heating element M '. Further, in the vicinity C of the opening, a portion to be welded 21a is formed in a shape of a slope in the axial direction (length direction) of the electrode by reducing the outer diameter of the side portion toward the rearmost end. . That is, the welded portion 21a is formed so that the thickness in the direction perpendicular to the inner peripheral surface of the member is gradually reduced. The main member 21 is provided with a contacted portion 21b by forming a step on the inner surface of the cylindrical portion on the opening side.
[0028]
An elongated shaft portion 223 also serving as a lead rod is continuously provided on the rear end surface of the lid member 22, and extends in the electrode axis direction. As described above, when a part of the lid member 22 is formed as a lead rod, it is not necessary to fit the lead rod into the lid member 22. Therefore, when the lead rod is fitted as in the previous embodiment, the electrode rod is hung. Since there is no stress, no extra load is applied to the welded portion, and the occurrence of breakage can be suppressed.
The peripheral portion of the front end face of the lid member 22 also serves as the contact portion 22b, and when the lid member 22 is fitted into the main member 21, the contact portion 22b contacts the contacted portion 21b. At the same time, the outer peripheral surface of the maximum outer diameter portion 222 of the lid member 22 and the inner peripheral surface of the welded portion 21 a of the main member 21 are in contact with each other.
When the bottom surface of the lid member 22 is provided with a contact portion with a part of the main member 21 in this manner, the positioning of the lid member 22 can be facilitated and the relative movement of the welded portions 21a, 22a can be prevented. It is possible to improve welding workability. Although the description is omitted here, by welding the welded portions 21a and 22a over the entire circumference, an electrode in which the heat transfer body M 'is sealed in the internal hermetic space is completed.
[0029]
Also in the above embodiment, the substantially cylindrical lid member is fitted into the opening of the main member, and the welded portion of each member is formed by the rear end of the maximum outer diameter portion of the lid member and the peripheral edge of the opening of the main member. Since the inner peripheral surface of the main member and the outer peripheral surface of the lid member are in contact with each other in the entire circumferential direction, the relative movement of each member is restricted only in the axial direction. Therefore, no misalignment occurs and the welding operation can be performed easily. Further, since the rear end of the maximum outer diameter portion of the lid member is welded to the peripheral edge of the opening of the main member, it is possible to easily form an easily welded portion having a small heat capacity at the location. By doing so, the welding can be reliably completed in a short time and with a low calorific value. The welded portion formed on the electrode is formed on the rear end of the electrode, more specifically, on the rear end surface or on the outer peripheral edge of the electrode rear end, that is, a portion having a locally large diameter on the electrode side surface. Since the glass tube material for forming the arc tube can be the same size as the conventional product, it is difficult to manufacture a discharge lamp and the lamp and its peripheral equipment become large. Thus, it is possible to provide a discharge lamp which can prevent overheating and melting of the electrode without increasing the current, and can increase the current flow rate.
[0030]
Subsequently, in the embodiment shown in FIG. 4B, a mortar-shaped taper is formed in the vicinity C of the opening of the main member 21, and the thickness of the welded portion 21a decreases radially outward. It is formed as follows. On the other hand, the lid member 22 has a welded portion 22 a formed near the maximum outer diameter portion 222. In addition, the welded portion 22a of the lid member 22 is also formed so as to become thinner toward the outside. When the lid member 22 is fitted into the cylindrical portion of the main member 21, the rear end of the largest outer diameter portion 222 of the lid member 22 and the peripheral edge of the opening of the main member 21 contact each other in the circumferential direction and fit. Also in this embodiment, the stepped portion is formed in the tubular portion of the main member 21 to form the contacted portion 21b, and the contacted portion 22b on the bottom surface of the lid member 22 is contacted to form the welded portion. A large load is not applied to the welded portions after the welding of 21a and 22a.
[0031]
Also in this embodiment, the positional relationship between the main member and the lid member is less likely to be broken, and the welding operation can be easily completed. Of course, since the welded portion is located at the rear end of the electrode, a large-diameter welded portion is not formed on the side surface unlike the electrode proposed by the present inventors. Also in this embodiment, since the electrode having the final shape does not have a portion having a large diameter in the body, it is not necessary to newly manufacture a material or the like of the arc tube, that is, a significant design change is required. A high-intensity, high-output discharge lamp can be provided without causing any serious problems.
[0032]
Subsequently, in the embodiment shown in FIG. 4C, a concave groove G is provided in the circumferential direction on the side surface near the end surface of the main member 21, and the concave groove G is brought into contact with the opening-side end surface of the main member 21. A flange F is formed on the lid member 22. The to-be-welded portions 21a and 22a are in circumferential contact with a surface substantially perpendicular to the electrode axis direction, and are formed so that the thickness decreases radially outward. The effect of contact between the contacted portion 21b in the cylindrical portion of the main member 21 and the contact portion 22b on the bottom surface of the lid member 22 can obtain the same effect as that of the above-described embodiment. .
[0033]
In the above embodiment, the same effects as those described above can be obtained. That is, since the relative movement of the main member and the lid member is regulated, the welding operation can be easily performed without any positional deviation, and the formed welded portion is located at the rear end of the electrode. No large diameter welds are formed on the side surfaces. Therefore, a discharge lamp using such an electrode can be easily manufactured and has high versatility.
[0034]
As described above, according to the present invention, since the heat transfer body having higher thermal conductivity than the main body portion is hermetically sealed inside the electrode main body, the heat of the electrode tip portion can be efficiently rearwardly transferred. The discharge lamp according to the present invention, which is provided with the electrode, can prevent overheating of the electrode tip portion, and can achieve high luminance and high output.
Moreover, the electrode body is constituted by a substantially bottomed cylindrical main member, and a substantially cylindrical lid member fitted into the cylindrical opening of the main member. Since the member is fitted and the rear end of the maximum outer diameter portion of the lid member is welded to the opening peripheral portion of the main member, a welded portion is formed at the rear end of the electrode main body. In the welding process, the relative movement of the main member and the lid member is restricted, so that the displacement is unlikely to occur, and the workability in the welding process is extremely good. A high-quality discharge lamp with good productivity can be provided.
Furthermore, according to the discharge lamp according to the present invention, the welding portion is formed regularly at the rear end portion of the electrode, for example, unlike the case where the welding portion is formed irregularly on the middle of the body of the electrode. It is possible to stably light the lamp without flickering when the lamp is turned on.
[0035]
It is needless to say that the present invention is not limited to the above configuration, and can be appropriately changed. For example, the high melting point metal constituting the electrode body is not limited to the above-mentioned substances, and can be appropriately changed. Further, the heat transfer body is not limited to the above-mentioned substances, and can be changed as appropriate. Any of them may be a metal composed of a single atom or an alloy of two or more metals. Of course, it is not limited to the above embodiment.
[0036]
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.
〔Example〕
An anode for a discharge lamp having the same form as the electrode shown in FIG. 2 was manufactured under the following conditions. (Anode side electrode)
-Electrode body material: Tungsten, axial length: 55 mm, trunk outer diameter: 25 mm, inner volume: 6700 mm³
・ Heat transfer material: Silver, 6000mm filling amount³
・ Shaft material: Tungsten, outer diameter: 6mm
As a result, it was confirmed that welding was easily performed, and the joining state of the welded portions was good.
[0037]
The electrode according to the present embodiment was incorporated into the anode electrode of the discharge lamp shown in FIG.
The configuration of each part of the discharge lamp is as follows.
Arc tube inner volume: 1830cm³
Emission length (distance between electrodes, during lamp operation): 12 mm
Xenon sealing pressure: 100 kPa
Mercury amount: 28.2 mg / cm³
(Cathode side electrode)
・ Body material: Triated tungsten (Thorium: 2wt.%)
・ Shaft material: Tungsten, outer diameter: 6mm
[0038]
[Experimental example]
The discharge lamp according to the above example was lit at a lamp current of 200 A with the anode side electrode facing upward and the lamp supported vertically. Then, 600 seconds after the lamp was turned on, the surface temperature at the tip of the anode electrode was measured by a micro pyrometer.
Further, a conventional discharge lamp having the same specifications as the above embodiment, which is made of only a single material (tungsten) as the anode electrode, is turned on under the same conditions as above, and after 600 seconds from the lamp lighting, the tip of the anode electrode is turned off. The surface temperature in the part was measured with a micro pyrometer.
As a result, according to the discharge lamp according to the example, the temperature at the tip of the electrode was 2000 ° C. for the conventional discharge lamp, and 1850 ° C. for the example according to the present invention. It was confirmed that the discharge lamp was lower. The temperature drop gradient is relatively steep in the lamp according to the conventional product, but is slower in the discharge lamp according to the present embodiment than in the conventional product, so that more heat is transferred from the electrode tip to the rear end. It was confirmed that.
As described above, according to the discharge lamp of the present invention, it is possible to lower the temperature of the electrode tip portion, and it is possible to increase the current flow without changing the dimensions and the like of the conventional discharge lamp. is there.
[0039]
【The invention's effect】
According to the present invention described above, since the heat conductor having higher thermal conductivity than the main body portion is hermetically sealed inside the electrode main body, the heat at the electrode tip portion is efficiently rearwardly directed. The discharge lamp according to the present invention, which can be transported and provided with the electrode, can prevent overheating of the tip of the electrode and realize high luminance and high output. Moreover, the electrode has a substantially cylindrical lid member fitted into the opening of the substantially bottomed cylindrical main member, and welds the peripheral edge of the opening of the electrode body to the rearmost end of the maximum outer diameter portion of the lid member. Therefore, the inner peripheral surface of the main member and the outer peripheral surface of the lid member are in contact with each other in the entire circumferential direction, and the relative movement of each of the two members is restricted only in the axial direction. Since a displacement is hard to occur in the inside and the workability in the welding process is extremely good, a high-quality discharge lamp with good productivity can be provided.
Further, since the rear end of the maximum outer diameter portion of the lid member and the peripheral edge of the opening of the main member are welded in the electrode body, an easily welded portion having a small heat capacity can be easily formed. Will be able to complete it.
Further, in the electrode having the final shape, since the welded portion is formed on the rear end portion, specifically, on the rear end face or on the outer peripheral edge of the electrode rear end, the diameter becomes locally large on the side surface of the electrode. It is possible to use a conventional glass tube material for forming an arc tube when assembling a discharge lamp without forming such a portion, which may cause an adverse effect that makes manufacture of the lamp difficult. Absent. Further, since no welding portion is formed on the side surface of the electrode, a stable lighting state without flickering can be maintained without causing a problem of impairing the lighting characteristics of the discharge lamp.
[0040]
Further, in the discharge lamp according to the present invention, since the main member and the lid member are welded to each other in the state where the main member and the lid member have the abutting portions, the positioning operation at the time of manufacturing the electrode is simplified. After the welding, even if compressive stress is applied to the electrode body in the axial direction of the electrode, the stress is reduced by the abutting portion between the main member and the lid member, so that the stress applied to the welded portion is reduced. Therefore, the effect of preventing the welded portion from being broken can be obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a view showing an entire discharge lamp according to the present invention.
FIG. 2 shows an explanatory side sectional view of an anode according to the present invention.
FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a main member and a lid member according to the present invention.
FIG. 4 is a diagram illustrating another embodiment of the electrode according to the present invention.
FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating an electrode structure invented by the present inventors first.
FIG. 6 is a diagram illustrating a manufacturing process of the electrode shown in FIG.
[Explanation of symbols]
10 arc tube
11 Light emitting unit
12 Sealing part
2 Anode (electrode)
3 Cathode (electrode)
4 External lead rod
5 axis part
20 electrode body
21 Main components
22 Lid members
21a, 22a welded parts
21b Contact part
22b contact part
220 insertion hole
M, M 'heat transfer body
S Closed space
F flange
G groove

Claims

In a discharge lamp in which a pair of electrodes are arranged inside an arc tube,
The electrode is made of a high-melting-point metal and has an enclosed space formed therein and an electrode body made of a metal having a high thermal conductivity or a metal having a low melting point compared to the high-melting-point metal. And an arranged heat transfer body,
The electrode body includes a substantially bottomed cylindrical main member, and a substantially columnar lid member fitted into a cylindrical opening of the main member,
A discharge lamp, wherein a welded portion is formed near the rear end of the electrode, in which a rear end of a maximum outer diameter portion of the lid member and a peripheral edge of an opening of the main member are welded. .

The discharge lamp according to claim 1, wherein there is a contact point between the main member and the lid member inside the electrode body.