KR100959061B1 - Air bearing, non-contact type conveying device using the same - Google Patents

Air bearing, non-contact type conveying device using the same Download PDF

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KR100959061B1
KR100959061B1 KR1020100016412A KR20100016412A KR100959061B1 KR 100959061 B1 KR100959061 B1 KR 100959061B1 KR 1020100016412 A KR1020100016412 A KR 1020100016412A KR 20100016412 A KR20100016412 A KR 20100016412A KR 100959061 B1 KR100959061 B1 KR 100959061B1
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김광열
고창덕
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부광에이엠티(주)
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Abstract

PURPOSE: An air bearing and a contactless transfer system using the same is provided to reduce processing costs by processing and shape of porous material which are similarly facilitating to woodworking. CONSTITUTION: An air bearing comprises: a porous member(100) wherein a plenty of micro pores is formed in a body and which is formed at a temperature of 80~270°C for 1~24 hours so that the micro pores are created; and a housing(200) wherein the fixed part of the porous member is inserted and fixed and a breather(210) interconnects the porous member and the outside. The diameter of the micro pore is formed into 6 ~ 25μm. The porosity which the precision-machining per unit volume of the porous member occupies is formed in 15 ~ 40%.

Description

에어베어링 및 이를 이용한 비접촉식 반송장치 {AIR BEARING, NON-CONTACT TYPE CONVEYING DEVICE USING THE SAME}Air bearing and non-contact conveying device using same {AIR BEARING, NON-CONTACT TYPE CONVEYING DEVICE USING THE SAME}

본 발명은 에어베어링 및 이를 이용한 비접촉식 반송장치에 관한 것으로, 평판 디스플레이용 유리기판 등의 가공 공정에서 중대형 액정 디스플레이(LCD;Liquid Crystal Display) 또는 플라즈마 디스플레이 패널(PDP;Plasma Display Panel)용 유리기판이나 태양전지용 유리기판의 이송시에 각 유리기판의 파손 또는 미세한 휨이나 스크래치의 발생을 방지하기 위한 에어베어링 및 이를 이용한 비접촉식 반송장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an air bearing and a non-contact conveying apparatus using the same. The present invention relates to a glass substrate for a medium to large liquid crystal display (LCD) or a plasma display panel (PDP) in a processing process such as a glass substrate for a flat panel display. The present invention relates to an air bearing and a non-contact conveying apparatus using the same to prevent breakage of each glass substrate, generation of minute warpage or scratches during the transfer of the solar cell glass substrate.

일반적으로 베어링은 하중을 전달하면서 마찰저항을 줄여주는 역할을 하는 기계요소의 하나로써 통상적인 구조는 볼이나 롤러와 같은 전동체의 구름운동을 이용하고 있다.In general, the bearing is one of the mechanical elements that serves to reduce the frictional resistance while transmitting the load, the conventional structure uses the rolling motion of the rolling elements such as balls and rollers.

이와 같은 경우에는 내부의 볼이나 롤러 때문에 회전운동시 소음이 크며 충격에 약하고, 외경이 커지며 회전속도의 한계가 낮은 단점이 있으며, 이러한 단점을 극복하기 위하여 베어링과 축 사이에 얇은 유막을 형성하는 미끄럼 베어링을 주로 사용하는데, 이러한 미끄럼 베어링은 사용하는 유체의 종류에 따라 오일베어링과 공기베어링으로 구분되는데, 오일베어링은 작동 유체로 광유와 같은 기름이나 물을 사용하는데 이러한 오일베어링은 기름을 사용하기 때문에 청정이 요구되는 식품기계나 반도체 장비 등에는 사용하기 적합치 않다는 문제점이 있었다.In this case, due to the ball or roller inside, there are disadvantages of high noise during rotational movement, weak impact, large outer diameter, and low limit of rotational speed. In order to overcome these disadvantages, a sliding film is formed between the bearing and the shaft. Bearings are mainly used. These sliding bearings are classified into oil bearings and air bearings according to the type of fluid used. The oil bearings use oil or water such as mineral oil as the working fluid, and these oil bearings use oil. There was a problem that it is not suitable for use in food machinery or semiconductor equipment that requires clean.

한편, 이와같은 베어링을 구비하는 반송장치에 있어서 현재 주로 사용되고 있는 것은 알루미늄 금속판재나 스테인레스 스틸 금속판재에 일정한 간격으로 0.1∼0.5mm 크기로 노즐 형태로 배치된 구멍(홀)을 뚫어 가압공기를 배출함으로써 유리기판을 부상시켜 반송하고 있다.On the other hand, the conveying device having such a bearing is mainly used to discharge the pressurized air by drilling holes (holes) arranged in a nozzle shape with a size of 0.1 to 0.5mm at regular intervals on the aluminum metal sheet or stainless steel sheet. As a result, the glass substrate is floated and conveyed.

그러나, 이러한 방식은 사용기간이 경과됨에 따라 유리기판을 이송하는 작업중에 홀막힘 현상 등이 빈번하게 발생되어 제품의 불량률을 높이는 원인이 되고, 베어링이 금속제인 경우에는 장비가 무거울 뿐만 아니라, 장비의 소재원가 및 가공비가 매우 고가라는 문제점이 있으며, 이러한 문제점을 극복하고자 장비의 재질을 플라스틱 수지를 이용하는 경우도 있지만, 이러한 경우에는 다공질체의 경도가 상대적으로 약하여 쉽게 변형이 일어나 내구성이 저하된다는 문제점이 야기된다.
However, this method causes a hole blocking phenomenon frequently during the operation of transporting the glass substrate as the use period of the product increases, which leads to an increase in the defective rate of the product. There is a problem that the material cost and processing cost is very expensive, and in order to overcome this problem, the material of the equipment may be made of plastic resin. Is caused.

상기의 문제점을 해결하기 위하여 평판 디스플레이용 유리기판 등의 가공 공정에서 중대형 액정 디스플레이(LCD;Liquid Crystal Display) 또는 플라즈마 디스플레이 패널(PDP;Plasma Display Panel)용 유리기판이나 태양전지용 유리기판의 이송시에 유리기판의 파손 또는 미세한 휨이나 스크래치의 발생을 방지함은 물론 유리기판의 이송을 효율적으로 수행할 수 있는 에어베어링 및 이를 이용한 비접촉식 반송장치의 구현이 요구되고 있다.
In order to solve the above problems, the glass substrate for medium and large liquid crystal display (LCD) or plasma display panel (PDP) or the solar cell glass substrate are transported in a processing process such as a glass substrate for a flat panel display. There is a need to implement an air bearing and a non-contact conveying device using the same, which can prevent the breakage of glass substrates or the occurrence of minute warpage or scratches, as well as the glass substrates.

본 발명은 상기한 점을 감안하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 평판 디스플레이용 유리기판 등의 가공 공정에서 중대형 액정 디스플레이(LCD;Liquid Crystal Display) 또는 플라즈마 디스플레이 패널(PDP;Plasma Display Panel)용 유리기판이나 태양전지용 유리기판의 이송시에 유리기판의 파손 또는 미세한 휨이나 스크래치의 발생을 방지함은 물론 유리기판의 이송을 효율적으로 수행할 수 있는 에어베어링 및 이를 이용한 비접촉식 반송장치를 제공하는 데 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is for a medium to large liquid crystal display (LCD) or a plasma display panel (PDP) in a processing process such as a glass substrate for a flat panel display. To provide an air bearing and a non-contact conveying device using the same, which can prevent the glass substrate from being broken or cause minor warpage or scratches during the transfer of the glass substrate or the solar cell glass substrate, as well as the glass substrate. have.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 에어베어링은 알루미늄 파우더 30~97중량%와; 에폭시수지 3∼70중량%와; 알루미늄 파우더 및 에폭시수지의 총중량 100중량%에 대해 1~15중량% 비율의 경화제;가 상호 혼합된 상태로 일정한 형상의 프레스 금형에서 60∼250kgf/cm2의 압력으로 성형된 후, 몸체부에 무수한 미세기공이 구현되도록 80∼270℃의 온도에서 1~24시간 동안 소결되어 형성된 다공질체; 및 다공질체의 일정한 부분이 외부와 차단되어 기밀유지되도록 다공질체의 일정한 부분이 삽입고정되는 하우징;을 포함하여 구성되며, 미세기공은 직경이 6 ~ 25μm 범위로 형성되되 다공질체의 단위체적당 미세기공이 차지하는 공극률은 15 ~ 40%로 형성되고, 다공질체의 일정한 부분이 삽입고정되는 하우징에는 외부와 다공질체를 연통하는 통기공이 형성된다.Air bearing according to the present invention to achieve the above object is 30 to 97% by weight of aluminum powder; 3 to 70% by weight of epoxy resin; 1 to 15% by weight of the curing agent with respect to 100% by weight of the total weight of the aluminum powder and epoxy resin; after molding at a pressure of 60 to 250kgf / cm 2 in a press mold of a constant shape in a mixed state, A porous body formed by sintering at a temperature of 80 to 270 ° C. for 1 to 24 hours to realize micropores; And a housing in which a certain portion of the porous body is inserted and fixed so that a certain portion of the porous body is blocked from being sealed to the outside. The micropores are formed in a diameter of 6 to 25 μm, but the micropores per unit volume of the porous body. The porosity occupies this range is 15 to 40%, and a ventilation hole communicating with the outside and the porous body is formed in the housing in which a certain portion of the porous body is inserted and fixed.

하우징으로부터 개방된 다공질체의 외표면은 하우징의 상단부와 동일한 높이로 편평하게 형성되고, 다공질체가 삽입되는 하우징의 내주벽에는 다공질체의 저면 테두리부가 맞닿아 고정되는 내향단턱부가 형성되어 다공질체의 저면과 하우징의 바닥면 사이에 일정한 공간부가 구비되며, 이 공간부의 일측으로 통기공이 외부와 연통되도록 구성된다.The outer surface of the porous body opened from the housing is formed flat with the same height as the upper end of the housing, and the inner circumferential wall of the housing into which the porous body is inserted is formed with an inward end step portion where the bottom edge of the porous body abuts and is fixed to the inner surface of the porous body. A constant space portion is provided between the bottom surface and the bottom surface of the housing, and the vent hole is configured to communicate with the outside to one side of the space portion.

하우징의 바닥면에는 통기공으로부터 연장되는 중앙부분에 통기공으로부터 유입된 공기를 유도하는 일직선상의 가이드홈이 형성되고, 하우징과 다공질체가 맞닿는 하우징의 외주벽과 다공질체의 내주벽 사이에는 기밀유지를 위한 접착부재가 배치되도록 구성된다.
At the bottom of the housing, a linear guide groove is formed in a central portion extending from the vent to guide the air introduced from the vent, and the airtightness is maintained between the outer circumferential wall of the housing where the housing and the porous body abut and the inner circumferential wall of the porous body. The adhesive member is configured to be disposed.

본 발명에 따른 에어베어링을 이용한 비접촉식 반송장치는 평판 디스플레이용 유리기판이 상면에 비접촉 상태로 배치되도록 외부의 컴프레샤에 연결되어 이 컴프레샤로부터 주입되는 고압공기를 분출하는 복수 개의 배기 에어베어링; 컴프레샤에 연결되어 컴프레샤의 흡입력에 의해 주변공기를 흡입함으로써 유리기판을 하면으로부터 비접촉 상태로 홀딩하여 유리기판을 일정한 방향으로 평행이동시키는 복수 개의 흡기 에어베어링; 배기 에어베어링과 흡기 에어베어링이 동일한 높이로 유지되도록 하면으로부터 지지하는 고정프레임; 고정프레임이 바닥면으로부터 일정한 높이를 유지하도록 지지하는 장방형의 베이스프레임;을 포함하여 구성되며, 배기 에어베어링 및 흡기 에어베어링은, 각각 알루미늄 파우더 30~97중량%와; 에폭시수지 3∼70중량%와; 알루미늄 파우더 및 에폭시수지의 총중량 100중량%에 대해 1~15중량% 비율의 경화제;가 상호 혼합된 상태로 일정한 형상의 프레스 금형에서 60∼250kgf/cm2의 압력으로 성형된 후, 몸체부에 무수한 미세기공이 구현되도록 80∼270℃의 온도에서 1~24시간 동안 소결되어 형성된 다공질체; 및 다공질체의 일정한 부분이 외부와 차단되어 기밀유지되도록 다공질체의 일정한 부분이 삽입고정되는 하우징;을 포함하여 구성되고, 미세기공은 직경이 6 ~ 25μm 범위로 형성되되 다공질체의 단위체적당 미세기공이 차지하는 공극률은 15 ~ 40%로 형성되며, 다공질체의 일정한 부분이 삽입고정되는 하우징에는 외부와 다공질체를 연통하는 통기공이 형성된다.The non-contact conveying apparatus using an air bearing according to the present invention comprises a plurality of exhaust air bearings connected to an external compressor such that the glass substrate for a flat panel display is disposed in a non-contact state on the upper surface to eject high-pressure air injected from the compressor; A plurality of intake air bearings connected to the compressor to suck the ambient air by the suction force of the compressor to hold the glass substrate in a non-contact state from the lower surface to move the glass substrate in parallel in a predetermined direction; A fixed frame supporting from the lower surface such that the exhaust air bearing and the intake air bearing are maintained at the same height; A rectangular base frame supporting the fixed frame so as to maintain a constant height from the bottom surface, wherein the exhaust air bearing and the intake air bearing are each composed of 30 to 97% by weight of aluminum powder; 3 to 70% by weight of epoxy resin; 1 to 15% by weight of the curing agent with respect to 100% by weight of the total weight of the aluminum powder and epoxy resin; after molding at a pressure of 60 to 250kgf / cm 2 in a press mold of a constant shape in a mixed state, A porous body formed by sintering at a temperature of 80 to 270 ° C. for 1 to 24 hours to realize micropores; And a housing in which a predetermined portion of the porous body is inserted and fixed so that a certain portion of the porous body is blocked from the outside and kept airtight. The micropores are formed in a diameter of 6 to 25 μm, and the micropores per unit volume of the porous body. The porosity occupies this range is 15 to 40%, and a ventilation hole communicating with the outside and the porous body is formed in the housing in which a certain portion of the porous body is inserted and fixed.

각각의 흡기 에어베어링은 베이스프레임의 상단부에 안착결합된 한 쌍의 가이드레일 상면을 따라 슬라이드되면서 유리기판을 이송하도록 일렬로 배치되고, 각각의 배기 에어베어링은 가이드레일의 양측부에 대칭되게 유리기판이 이송되는 방향을 따라 바둑판식 배열로 배치되어 구성된다.
Each intake air bearing slides along the upper surface of the pair of guide rails seated at the upper end of the base frame and is arranged in a row to convey the glass substrates. Each exhaust air bearing is symmetrically disposed on both sides of the guide rail. It is arranged and arranged in a tiled arrangement along the conveying direction.

본 발명에 따른 에어베어링 및 이를 이용한 비접촉식 반송장치는,An air bearing and a non-contact conveying apparatus using the same according to the present invention,

첫째, 반송장치의 작동유체로 공기가 사용되고 에어베어링에 사용되는 다공질체가 알루미늄 파우더를 주요 성분으로 하여 제조되므로 청정이 요구되는 식품기계나 반도체 장비나 디스플레이 장비 또는 태양전지 장비 등에 효율적으로 적용할 수 있다는 장점이 있다.First, since air is used as the working fluid of the conveying device and the porous material used in the air bearing is manufactured with aluminum powder as its main component, it can be efficiently applied to food machinery, semiconductor equipment, display equipment, or solar cell equipment that requires cleanness. There is an advantage.

둘째, 에어베어링의 재질이 강도, 내마모성, 내부식성, 내마찰성 등에서 우수한 성질을 갖는 장점이 있다.Second, there is an advantage that the material of the air bearing has excellent properties in strength, wear resistance, corrosion resistance, friction resistance.

셋째, 에어베어링의 소재인 다공질체 자체에 무수한 미세기공을 가지고 있으므로 기존과 같이 따로이 공기통로를 가공하는 종래의 번거로움을 극복하였다는 효과가 있다.Third, since the porous body itself, which is a material of the air bearing, has numerous micropores, it has an effect of overcoming the conventional hassle of processing the air passage separately as before.

넷째, 에어베어링의 소재인 다공질체의 제조 및 형상의 성형이 목재와 가공과 흡사하게 용이하여 가공비가 절감되고 경량화가 가능하다는 효과가 있다.Fourth, it is easy to manufacture and shape the porous body, which is a material of the air bearing, similar to wood and processing, thereby reducing the processing cost and reducing the weight.

다섯째, 에어베어링의 소재인 다공질체는 바람직하게 알루미늄 파우더를 주요 성분으로 하여 금속보다는 가볍고 플라스틱보다는 경도가 강하여 금속대체용으로 매우 유용한 효과가 있다.Fifth, the porous material, which is a material of the air bearing, is preferably made of aluminum powder, which is lighter than metal and stronger than plastic, and has a very useful effect for metal replacement.

여섯째, 반송장치의 구성요소인 배기 에어베어링과 흡기 에어베어링의 배치구조를 최적화하여 이송되는 유리기판에 미세한 스크래치나 휨의 발생을 억제하여 기존에 비해 평판 디스플레이용 유리기판 등의 가공 공정에서 중대형 액정 디스플레이(LCD;Liquid Crystal Display) 또는 플라즈마 디스플레이 패널(PDP;Plasma Display Panel)용 유리기판의 불량률을 현저히 낮추었다는 유용한 효과가 있다.
Sixth, by optimizing the arrangement of exhaust air bearings and intake air bearings as components of the conveying device, it is possible to suppress the occurrence of minute scratches and warpage on the glass substrates to be transported. There is a useful effect that the defect rate of a glass substrate for a display (LCD) or a plasma display panel (PDP) is significantly lowered.

[도 1]은 본 발명의 다공질체를 도시한 평면도 및 다공질체의 일부를 발췌한 요부확대도,
[도 2]은 본 발명에 따른 에어베어링을 도시한 분리사시도,
[도 3]는 본 발명에 따른 에어베어링을 도시한 사시도,
[도 4]은 [도 3]의 A-A선 단면도,
[도 5]는 본 발명에 따른 에어베어링을 이용한 비접촉식 반송장치를 도시한 사시도,
[도 6]는 본 발명에 따른 에어베어링을 이용한 비접촉식 반송장치의 사용상태도,
[도 7]은 본 발명에 따른 에어베어링을 이용한 비접촉식 반송장치의 측면도 및 요부확대도,
[도 8]은 본 발명에 따른 에어베어링을 이용한 비접촉식 반송장치의 사용상태를 도시한 평면도이다.1 is a plan view showing a porous body of the present invention and an enlarged view of a main portion taken from a portion of the porous body;
2 is an exploded perspective view showing an air bearing according to the present invention;
3 is a perspective view showing an air bearing according to the present invention;
4 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.
5 is a perspective view showing a non-contact conveying apparatus using an air bearing according to the present invention;
6 is a state of use of the non-contact conveying apparatus using an air bearing according to the present invention,
7 is an enlarged side view and main portion of a non-contact conveying apparatus using an air bearing according to the present invention,
8 is a plan view showing a state of use of the non-contact conveying apparatus using the air bearing according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 한정하지 않는 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

[도 1]은 본 발명의 다공질체를 도시한 평면도 및 다공질체의 일부를 발췌한 요부확대도이고, [도 2]은 본 발명에 따른 에어베어링을 도시한 분리사시도이며, [도 3]는 본 발명에 따른 에어베어링을 도시한 사시도이고, [도 4]은 [도 3]의 A-A선 단면도를 나타낸다.
1 is a plan view showing a porous body of the present invention and an enlarged part of a portion of the porous body, [2] is an exploded perspective view showing an air bearing according to the present invention, [FIG. 3] It is a perspective view which shows the air bearing which concerns on this invention, [FIG. 4] shows the AA line cross section of [FIG. 3].

[도 1] 내지 [도 4]에서 보는 바와 같이, 본 발명에 따른 에어베어링은 알루미늄 파우더 30~97중량%와; 에폭시수지 3∼70중량%와; 알루미늄 파우더 및 에폭시수지의 총중량 100중량%에 대해 1~15중량% 비율의 경화제;가 상호 혼합된 상태로 일정한 형상의 프레스 금형에서 60∼250kgf/cm2의 압력으로 성형된 후, 몸체부에 무수한 미세기공(H)이 구현되도록 80∼270℃의 온도에서 1~24시간 동안 소결되어 형성된 다공질체(100); 및 다공질체(100)의 일정한 부분이 외부와 차단되어 기밀유지되도록 다공질체(100)의 일정한 부분이 삽입고정되는 하우징(200);을 포함하여 구성되며, 미세기공(H)은 직경이 6 ~ 25μm 범위로 형성되되 다공질체(100)의 단위체적당 미세기공(H)이 차지하는 공극률은 15 ~ 40%로 형성되고, 다공질체(100)의 일정한 부분이 삽입고정되는 하우징(200)에는 외부와 다공질체(100)를 연통하는 통기공(210)이 형성된다.
As shown in Figure 1 to Figure 4, the air bearing according to the present invention is 30 to 97% by weight of aluminum powder; 3 to 70% by weight of epoxy resin; 1 to 15% by weight of the curing agent with respect to 100% by weight of the total weight of the aluminum powder and epoxy resin; after molding at a pressure of 60 to 250kgf / cm 2 in a press mold of a constant shape in a mixed state, A porous body 100 formed by sintering at a temperature of 80 to 270 ° C. for 1 to 24 hours to realize micropores (H); And a housing 200 into which a certain portion of the porous body 100 is fixed so that a certain portion of the porous body 100 is blocked from the outside and kept airtight. It is formed in a range of 25μm, the porosity occupied by the micropores (H) per unit volume of the porous body 100 is formed to 15 to 40%, the outer portion and the porous in the housing 200 in which a certain portion of the porous body 100 is inserted and fixed Aeration hole 210 communicating with the sieve 100 is formed.

[도 2] 및 [도 4]에서 보는 바와 같이, 하우징(200)으로부터 개방된 다공질체(100)의 외표면은 하우징(200)의 상단부와 동일한 높이로 편평하게 형성되고, 다공질체(100)가 삽입되는 하우징(200)의 내주벽에는 다공질체(100)의 저면 테두리부가 맞닿아 고정되는 내향단턱부(220)가 형성되어 다공질체(100)의 저면과 하우징(200)의 바닥면 사이에 일정한 공간부(230)가 구비되며, 이 공간부(230)의 일측으로 통기공(210)이 외부와 연통되도록 구성된다.
As shown in FIG. 2 and FIG. 4, the outer surface of the porous body 100 opened from the housing 200 is formed flat with the same height as the upper end of the housing 200, and the porous body 100. Is formed on the inner circumferential wall of the housing 200 into which the bottom edge portion of the porous body 100 is abutted and fixed to the bottom surface of the porous body 100 and the bottom surface of the housing 200. A constant space portion 230 is provided, and the vent hole 210 is configured to communicate with the outside to one side of the space portion 230.

[도 2]에서 보는 바와 같이, 하우징(200)의 바닥면에는 통기공(210)으로부터 연장되는 중앙부분에 통기공(210)으로부터 유입된 공기를 유도하는 일직선상의 가이드홈(211)이 형성된다. 공간부(230)로 유입된 공기는 가이드홈(211)을 따라 순식간에 공간부(230)에 균일하게 산포됨과 동시에 다공질체(100) 하면의 무수한 미세기공(H)에 균일하게 흡입될 수 있게 된다. 이로 인해 다공질체(100) 상면의 미세기공(H)으로부터 배출되는 공기압이 균일성을 유지할 수 있게 된다.
As shown in FIG. 2, a straight guide groove 211 is formed at the bottom surface of the housing 200 to guide air introduced from the vent 210 to a central portion extending from the vent 210. . The air introduced into the space 230 may be uniformly scattered in the space 230 along the guide groove 211, and at the same time, may be uniformly sucked into the myriad micropores H of the lower surface of the porous body 100. do. As a result, the air pressure discharged from the micropores H on the upper surface of the porous body 100 may maintain uniformity.

[도 2] 내지 [도 4]에서 보는 바와 같이, 하우징(200)과 다공질체(100)가 맞닿는 하우징(200)의 외주벽과 다공질체(100)의 내주벽 사이에는 기밀유지를 위한 접착부재(300)가 배치되도록 구성된다.As shown in FIGS. 2 to 4, an adhesive member for airtightness is maintained between the outer circumferential wall of the housing 200 where the housing 200 and the porous body 100 abut and the inner circumferential wall of the porous body 100. 300 is configured to be disposed.

통기공(210)을 통해 공기가 유입/배출되도록 컴프레샤(C)와 연장연결된 고압호스(R)에 연장연결되는 착탈잭(250)이 통기공(210)의 외측부로부터 회동가능하게 끼움결합된다.
The detachable jack 250, which is connected to the high pressure hose R extended with the compressor C, is rotatably fitted from the outside of the vent 210 so that air is introduced / exhausted through the vent 210.

[도 5]는 본 발명에 따른 에어베어링을 이용한 비접촉식 반송장치를 도시한 사시도이고, [도 6]는 본 발명에 따른 에어베어링을 이용한 비접촉식 반송장치의 사용상태도이며, [도 7]은 본 발명에 따른 에어베어링을 이용한 비접촉식 반송장치의 측면도 및 요부확대도이고, [도 8]은 본 발명에 따른 에어베어링을 이용한 비접촉식 반송장치의 사용상태를 도시한 평면도를 나타낸다.FIG. 5 is a perspective view illustrating a non-contact conveying apparatus using an air bearing according to the present invention, and FIG. 6 is a state diagram of a non-contact conveying apparatus using an air bearing according to the present invention, and FIG. It is a side view and an enlarged view of the main portion of the non-contact conveying apparatus using the air bearing according to, Fig. 8 is a plan view showing the state of use of the non-contact conveying apparatus using the air bearing according to the present invention.

[도 5] 및 [도 6]의 도면부호 B는 컴프레샤로부터 고압호스를 통해 유입되는 공기를 개폐하기 위한 개폐밸브를 나타내며, 도면부호 31은 배기에어베어링을 고정프레임에 고정하기 위한 고정브라켓을 나타낸다.
5 and 6 show an on / off valve for opening and closing the air flowing through the high pressure hose from the compressor, and 31 indicates a fixing bracket for fixing the exhaust air bearing to the fixed frame. .

[도 5] 내지 [도 8]에서 보는 바와 같이, 본 발명에 따른 에어베어링을 이용한 비접촉식 반송장치는 평판 디스플레이용 유리기판(G)이 상면에 비접촉 상태로 배치되도록 외부의 컴프레샤(C)에 연결되어 이 컴프레샤(C)로부터 주입되는 고압공기를 분출하는 복수 개의 배기 에어베어링(10); 컴프레샤(C)에 연결되어 컴프레샤(C)의 흡입력에 의해 주변공기를 흡입함으로써 유리기판(G)을 하면으로부터 비접촉 상태로 홀딩하여 유리기판(G)을 일정한 방향으로 평행이동시키는 복수 개의 흡기 에어베어링(20); 배기 에어베어링(10)과 흡기 에어베어링(20)가 동일한 높이로 유지되도록 하면으로부터 지지하는 고정프레임(30); 고정프레임(30)이 바닥면으로부터 일정한 높이를 유지하도록 지지하는 장방형의 베이스프레임(40);을 포함하여 구성되며, 배기 에어베어링(10) 및 흡기 에어베어링(20)은, 각각 알루미늄 파우더 30~97중량%와; 에폭시수지 3∼70중량%와; 알루미늄 파우더 및 에폭시수지의 총중량 100중량%에 대해 1~15중량% 비율의 경화제;가 상호 혼합된 상태로 일정한 형상의 프레스 금형에서 60∼250kgf/cm2의 압력으로 성형된 후, 몸체부에 무수한 미세기공(H)이 구현되도록 80∼270℃의 온도에서 1~24시간 동안 소결되어 형성된 다공질체(100); 및 다공질체(100)의 일정한 부분이 외부와 차단되어 기밀유지되도록 다공질체(100)의 일정한 부분이 삽입고정되는 하우징(200);을 포함하여 구성되고, 미세기공(H)은 직경이 6 ~ 25μm 범위로 형성되되 다공질체(100)의 단위체적당 미세기공(H)이 차지하는 공극률은 15 ~ 40%로 형성되며, 다공질체(100)의 일정한 부분이 삽입고정되는 하우징(200)에는 외부와 다공질체(100)를 연통하는 통기공(210)이 형성된다.
As shown in FIGS. 5 to 8, the non-contact conveying apparatus using the air bearing according to the present invention is connected to an external compressor C such that the glass substrate G for the flat panel display is disposed in a non-contact state on an upper surface thereof. A plurality of exhaust air bearings 10 for ejecting the high pressure air injected from the compressor C; A plurality of intake air bearings connected to the compressor (C) to suck the ambient air by the suction force of the compressor (C) to hold the glass substrate (G) in a non-contact state from the lower surface to move the glass substrate (G) in parallel in a predetermined direction. 20; A fixed frame 30 supporting from the lower surface such that the exhaust air bearing 10 and the intake air bearing 20 are maintained at the same height; A rectangular base frame 40 for supporting the fixed frame 30 to maintain a constant height from the bottom surface; is configured to include, exhaust air bearing 10 and the intake air bearing 20, respectively, aluminum powder 30 ~ 97 wt%; 3 to 70% by weight of epoxy resin; 1 to 15% by weight of the curing agent with respect to 100% by weight of the total weight of the aluminum powder and epoxy resin; after molding at a pressure of 60 to 250kgf / cm 2 in a press mold of a constant shape in a mixed state, A porous body 100 formed by sintering at a temperature of 80 to 270 ° C. for 1 to 24 hours to realize micropores (H); And a housing 200 into which a certain portion of the porous body 100 is inserted and fixed so that a certain portion of the porous body 100 is blocked from the outside and kept airtight. It is formed in a range of 25μm, the porosity occupied by the micropores (H) per unit volume of the porous body 100 is formed to 15 to 40%, the outer portion and the porous in the housing 200 in which a fixed portion of the porous body 100 is inserted and fixed Aeration hole 210 communicating with the sieve 100 is formed.

[도 5] 및 [도 6]에서 보는 바와 같이, 흡기에어베어링(20)은 한 쌍의 가이드레일(50)을 따라 이동하면서 유리기판(G)의 움직임을 제어하며, 이 흡기에어베어링(20)은 흡기에어베어링(20)의 연직하방에 배치된 가이드아암(60)을 따라 직선왕복운동을 하게되며, 흡기에어베어링(20)의 연직하방에는 가이드아암(60)을 따라 슬라이드 가능하게 연결되는 링크부재(미도시)가 구비된다.
5 and 6, the intake air bearing 20 controls the movement of the glass substrate G while moving along the pair of guide rails 50, and the intake air bearing 20 ) Is a linear reciprocating motion along the guide arm 60 disposed vertically downward of the intake air bearing 20, and is slidably connected along the guide arm 60 in the vertical downward direction of the intake air bearing 20. Link members (not shown) are provided.

[도 8]에서 보는 바와 같이, 각각의 흡기 에어베어링(20)은 베이스프레임(40)의 상단부에 안착결합된 한 쌍의 가이드레일(50) 상면을 따라 슬라이드되면서 유리기판(G)을 이송하도록 일렬로 배치되고, 각각의 배기 에어베어링(10)은 가이드레일(50)의 양측부에 대칭되게 유리기판(G)이 이송되는 방향을 따라 바둑판식 배열로 배치되어 구성된다(도 5참조).
As shown in FIG. 8, each intake air bearing 20 slides along the upper surface of the pair of guide rails 50 seated and coupled to the upper end of the base frame 40 to transfer the glass substrate G. Arranged in a row, each exhaust air bearing 10 is arranged in a tiled arrangement along the direction in which the glass substrate G is symmetrically disposed at both sides of the guide rail 50 (see FIG. 5).

[도 1] 및 하기의 [표 1]에서 보는 바와 같이, 미세기공(H)의 직경은 6 ~ 25μm 범위로 형성되고, 단위체적당 상기 미세기공(H)이 차지하는 공극률은 15 ~ 40%로 구성되며, 소결체는 1.7 ~ 1.9 g/cm2의 밀도와 45 ~ 60 N/mm2의 휨강도로 형성되고, 표면거칠기는 1~25μm의 범위로 형성된다.As shown in FIG. 1 and Table 1 below, the diameter of the micropores (H) is formed in a range of 6 to 25 μm, and the porosity of the micropores (H) per unit volume is 15 to 40%. The sintered body is formed with a density of 1.7 ~ 1.9 g / cm 2 and a bending strength of 45 ~ 60 N / mm 2 , the surface roughness is formed in the range of 1 ~ 25μm.

외면의 표면거칠기가 1~25μm의 범위로 형성된 다공질체(100)의 내측으로부터 정압의 공기가 균일하게 다공질체(100)의 미세기공(H)으로 배출되면서 다공질체(100)의 외표면에 인접한 물체가 일정간격(20~300μm) 이격된 상태로 유지될 수 있게 된다. 다공질체(100)의 무수한 미세기공(H)을 유지하는 입자구조물(P)은 일정한 방향성을 없이 산포됨에 따라 미세기공(H) 또한 일정한 방향성을 갖지 않아 이 미세기공(H)을 통해 배출되는 공기는 다공질체(100)의 외표면으로부터 500μm 이상 멀어지는 경우에는 공기의 배출속도가 급격히 감소하는 저풍속의 상태를 유지하게 된다.The surface roughness of the outer surface is uniformly discharged into the micropores H of the porous body 100 from the inside of the porous body 100 formed in the range of 1 ~ 25μm adjacent to the outer surface of the porous body 100 The object can be maintained at a predetermined interval (20 ~ 300μm) spaced apart. Particle structure (P) that maintains countless micropores (H) of the porous body 100 is scattered without a certain direction, so that the micropores (H) also have a certain direction does not have air discharged through the micropores (H) When the distance from the outer surface of the porous body 100 is 500μm or more to maintain a state of low wind speed in which the discharge rate of air is rapidly reduced.

이처럼 다공질체(100)는 이 다공질체(100)의 외표면에 비접촉 상태로 인접하는 외부물체와 매우 밀접한 거리를 유지할 수 있는 미세한 공기막을 구현할 수 있게 된다. 이러한 다공질체(100)의 주요 물성은 다음의 [표 1]과 같다.
As described above, the porous body 100 can realize a fine air film that can maintain a very close distance to an adjacent external object in a non-contact state with the outer surface of the porous body 100. The main physical properties of the porous body 100 are as shown in Table 1 below.

항목Item 규격standard 밀도(Density)Density 1.7 ~ 1.9 g/cm2 1.7 to 1.9 g / cm 2 경도(Shore D Hardness)Shore D Hardness 75 ~ 8575 to 85 휨강도(Flexural Strength)Flexural Strength 45 ~ 60 N/mm2 45 to 60 N / mm 2 표면거칠기(Surface roughness)Surface roughness 1 ~ 25 ㎛1 to 25 μm 기공크기(Pore size)Pore size 6 ~ 25 ㎛6 to 25 μm 기공율(Pore volume)Pore volume 15 ~ 40 %15 to 40%

상술한 바와 같이 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 본 발명에 관한 기술적 사상의 균등범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 물론이다.
As described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and is intended for those skilled in the art to which the present invention pertains without departing from the spirit and scope of the present invention. Of course, substitutions, modifications and variations are possible.

10 : 배기 에어베어링 20 : 흡기 에어베어링
30 : 고정프레임 31 : 고정브라켓
40 : 베이스프레임 50 : 가이드레일
60 : 가이드아암 100 : 다공질체
200 : 하우징 210 : 통기공
211 : 가이드홈 220 : 내향단턱부
230 : 공간부 250 : 착탈잭
300 : 접착부재 H : 미세기공
P : 입자구조물 G : 유리기판
C : 컴프레샤 R : 고압호스
B : 개폐밸브10: exhaust air bearing 20: intake air bearing
30: fixed frame 31: fixed bracket
40: base frame 50: guide rail
60: guide arm 100: porous body
200 housing 210 ventilator
211: guide groove 220: inward step
230: space portion 250: removable jack
300: adhesive member H: fine pores
P: Particle Structure G: Glass Substrate
C: Compressor R: High Pressure Hose
B: on-off valve

Claims (7)

알루미늄 파우더 30~97중량%와; 에폭시수지 3∼70중량%와; 알루미늄 파우더 및 에폭시수지의 총중량 100중량%에 대해 1~15중량% 비율의 경화제;가 상호 혼합된 상태로 일정한 형상의 프레스 금형에서 60∼250kgf/cm2의 압력으로 성형된 후, 몸체부에 무수한 미세기공(H)이 구현되도록 80∼270℃의 온도에서 1~24시간 동안 소결되어 형성된 다공질체(100); 및
상기 다공질체(100)의 일정한 부분이 외부와 차단되어 기밀유지되도록 다공질체(100)의 일정한 부분이 삽입고정되는 하우징(200);
을 포함하여 구성되며,
상기 미세기공(H)은 직경이 6 ~ 25μm 범위로 형성되되 상기 다공질체(100)의 단위체적당 미세기공(H)이 차지하는 공극률은 15 ~ 40%로 형성되고,
상기 다공질체(100)의 일정한 부분이 삽입고정되는 상기 하우징(200)에는 외부와 다공질체(100)를 연통하는 통기공(210)이 형성된 것을 특징으로 하는 에어베어링.30 to 97% by weight of aluminum powder; 3 to 70% by weight of epoxy resin; 1 to 15% by weight of the curing agent with respect to 100% by weight of the total weight of the aluminum powder and epoxy resin; after being molded at a pressure of 60 to 250kgf / cm 2 in a press mold of a constant shape in a mixed state, A porous body 100 formed by sintering at a temperature of 80 to 270 ° C. for 1 to 24 hours to realize micropores (H); And
A housing 200 into which a certain portion of the porous body 100 is inserted and fixed so that a certain portion of the porous body 100 is blocked from the outside and kept confidential;
It is configured to include,
The micropores (H) is formed in a diameter of 6 ~ 25μm range, the porosity occupied by the micropores (H) per unit volume of the porous body 100 is formed to 15 to 40%,
Air housing, characterized in that the ventilation hole 210 is formed in the housing 200 in which a predetermined portion of the porous body 100 is inserted and communicates with the porous body 100. 청구항 1에 있어서,
상기 하우징(200)으로부터 개방된 상기 다공질체(100)의 외표면은 하우징(200)의 상단부와 동일한 높이로 편평하게 형성되고,
상기 다공질체(100)가 삽입되는 상기 하우징(200)의 내주벽에는 다공질체(100)의 저면 테두리부가 맞닿아 고정되는 내향단턱부(220)가 형성되어 상기 다공질체(100)의 저면과 상기 하우징(200)의 바닥면 사이에 일정한 공간부(230)가 구비되며, 이 공간부(230)의 일측으로 상기 통기공(210)이 외부와 연통되는 것을 특징으로 하는 에어베어링.The method according to claim 1,
The outer surface of the porous body 100 opened from the housing 200 is formed flat to the same height as the upper end of the housing 200,
The inner circumferential wall 220 is formed on the inner circumferential wall of the housing 200 into which the porous body 100 is inserted so that the bottom edge portion of the porous body 100 comes into contact with and fixed to the bottom surface of the porous body 100. A constant space portion 230 is provided between the bottom surfaces of the housing 200, and the air vent 210 is in communication with the outside to one side of the space portion 230. 청구항 2에 있어서,
상기 하우징(200)의 바닥면에는 상기 통기공(210)으로부터 연장되는 중앙부분에 통기공(210)으로부터 유입된 공기를 유도하는 일직선상의 가이드홈(211)이 형성된 것을 특징으로 하는 에어베어링.The method according to claim 2,
Air bearing, characterized in that formed on the bottom surface of the housing 200 in a straight guide groove 211 to guide the air introduced from the vent hole 210 in the central portion extending from the vent hole (210). 청구항 2에 있어서,
상기 하우징(200)과 다공질체(100)가 맞닿는 하우징(200)의 외주벽과 다공질체(100)의 내주벽 사이에는 기밀유지를 위한 접착부재(300)가 배치되는 것을 특징으로 하는 에어베어링.The method according to claim 2,
An air bearing, characterized in that an adhesive member 300 is disposed between the outer circumferential wall of the housing 200 in which the housing 200 and the porous body 100 abut and the inner circumferential wall of the porous body 100. 청구항 2에 있어서,
상기 통기공(210)을 통해 공기가 유입/배출되도록 컴프레샤(C)와 연장연결된 고압호스(R)에 결합되는 착탈잭(250)이 상기 통기공(210)의 외측부로부터 회동가능하게 끼움결합되는 것을 특징으로 하는 에어베어링.The method according to claim 2,
Detachable jack 250 coupled to the high-pressure hose (R) connected to the compressor (C) extending so that air is introduced / discharged through the vent 210 is rotatably fitted from the outer portion of the vent 210 Air bearing characterized in that. 평판 디스플레이용 유리기판(G)이 상면에 비접촉 상태로 배치되도록 외부의 컴프레샤(C)에 연결되어 이 컴프레샤(C)로부터 주입되는 고압공기를 분출하는 복수 개의 배기 에어베어링(10);
상기 컴프레샤(C)에 연결되어 컴프레샤(C)의 흡입력에 의해 주변공기를 흡입함으로써 상기 유리기판(G)을 하면으로부터 비접촉 상태로 홀딩하여 유리기판(G)을 일정한 방향으로 평행이동시키는 복수 개의 흡기 에어베어링(20);
상기 배기 에어베어링(10)과 흡기 에어베어링(20)가 동일한 높이로 유지되도록 하면으로부터 지지하는 고정프레임(30);
상기 고정프레임(30)이 바닥면으로부터 일정한 높이를 유지하도록 지지하는 장방형의 베이스프레임(40);
을 포함하여 구성되며,
상기 배기 에어베어링(10) 및 흡기 에어베어링(20)은,
각각 알루미늄 파우더 30~97중량%와; 에폭시수지 3∼70중량%와; 알루미늄 파우더 및 에폭시수지의 총중량 100중량%에 대해 1~15중량% 비율의 경화제;가 상호 혼합된 상태로 일정한 형상의 프레스 금형에서 60∼250kgf/cm2의 압력으로 성형된 후, 몸체부에 무수한 미세기공(H)이 구현되도록 80∼270℃의 온도에서 1~24시간 동안 소결되어 형성된 다공질체(100); 및
상기 다공질체(100)의 일정한 부분이 외부와 차단되어 기밀유지되도록 다공질체(100)의 일정한 부분이 삽입고정되는 하우징(200);을 포함하여 구성되고,
상기 미세기공(H)은 직경이 6 ~ 25μm 범위로 형성되되 상기 다공질체(100)의 단위체적당 미세기공(H)이 차지하는 공극률은 15 ~ 40%로 형성되며,
상기 다공질체(100)의 일정한 부분이 삽입고정되는 상기 하우징(200)에는 외부와 다공질체(100)를 연통하는 통기공(210)이 형성된 것을 특징으로 하는 에어베어링을 이용한 비접촉식 반송장치.A plurality of exhaust air bearings 10 connected to an external compressor C to eject the high pressure air injected from the compressor C so that the flat panel glass substrate G is disposed in a non-contact state on an upper surface thereof;
A plurality of intake air connected to the compressor (C) to suck the ambient air by the suction force of the compressor (C) to hold the glass substrate (G) in a non-contact state from the lower surface to move the glass substrate (G) in parallel in a certain direction Air bearing 20;
A fixed frame 30 supporting the exhaust air bearing 10 and the intake air bearing 20 from a lower surface to maintain the same height;
A rectangular base frame 40 for supporting the fixed frame 30 to maintain a constant height from the bottom surface;
It is configured to include,
The exhaust air bearing 10 and the intake air bearing 20,
30 to 97% by weight of aluminum powder, respectively; 3 to 70% by weight of epoxy resin; 1 to 15% by weight of the curing agent with respect to 100% by weight of the total weight of the aluminum powder and epoxy resin; after molding at a pressure of 60 to 250kgf / cm 2 in a press mold of a constant shape in a mixed state, A porous body 100 formed by sintering at a temperature of 80 to 270 ° C. for 1 to 24 hours to realize micropores (H); And
And a housing 200 into which a certain portion of the porous body 100 is inserted and fixed so that a certain portion of the porous body 100 is blocked from the outside and kept airtight.
The micropores (H) is formed in a diameter of 6 ~ 25μm range, the porosity occupied by the micropores (H) per unit volume of the porous body 100 is formed to 15 to 40%,
Non-contact conveying device using an air bearing, characterized in that the ventilation hole 210 is formed in the housing 200 is fixed to a certain portion of the porous body 100 is in communication with the outside and the porous body (100). 청구항 6에 있어서,
상기 각각의 흡기 에어베어링(20)은 상기 베이스프레임(40)의 상단부에 안착결합된 한 쌍의 가이드레일(50) 상면을 따라 슬라이드되면서 상기 유리기판(G)을 이송하도록 일렬로 배치되고, 상기 각각의 배기 에어베어링(10)은 상기 가이드레일(50)의 양측부에 대칭되게 상기 유리기판(G)이 이송되는 방향을 따라 바둑판식 배열로 배치되는 것을 특징으로 하는 에어베어링을 이용한 비접촉식 반송장치.The method of claim 6,
Each of the intake air bearings 20 is disposed in a row to convey the glass substrate G while sliding along the upper surface of the pair of guide rails 50 seated and coupled to the upper end of the base frame 40. Each exhaust air bearing 10 is a non-contact conveying device using an air bearing, characterized in that arranged in a tiled arrangement along the direction in which the glass substrate (G) is symmetrically on both sides of the guide rail (50) .
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