KR100958036B1 - Mask device for exposure of alignment film for multi domain photo alignment - Google Patents

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이철환
박광현
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하이디스 테크놀로지 주식회사
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Abstract

PURPOSE: A mask device for exposure of an alignment film for multi domain photo alignment is provided to form a multi domain which can keep various alignment directions by one mask, thereby preventing manufacture of an additional mask and simplifying a complex manufacture process. CONSTITUTION: The first substrate comprises a gate line(220), a data line(230), a common bus line(240), a switching element arranged between the gate line and the data line and an exposure area(EA). The exposure area is defined by the gate line and the data line to form a horizontal electric field by the pixel electrode and the common electrode. The exposure area is defined by unit areas in which a horizontal electric field of each different angle is formed to form a multi domain. The angle is different per each unit area based on voltage strength applied to the pixel electrode and the common electrode.

Description

멀티 도메인 광배향을 위한 배향막 노광용 마스크 장치{MASK DEVICE FOR EXPOSURE OF ALIGNMENT FILM FOR MULTI DOMAIN PHOTO ALIGNMENT}Mask device for exposure of alignment film for multi-domain photo-alignment {MASK DEVICE FOR EXPOSURE OF ALIGNMENT FILM FOR MULTI DOMAIN PHOTO ALIGNMENT}

본 발명은 광배향막 노광용 마스크 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게 상기 마스크는 동일한 기판 상에 화소전극 및 공통전극을 형성하고 이 두 전극들 사이에서 발생하는 횡전계를 이용하여 하나의 마스크(Mask)로 다양한 배향방향을 유지할 수 있는 멀티 도메인(Multi Domain)을 형성함으로써, 액정표시장치의 제조 시 광배향을 위한 배향막을 이용할 때 추가 마스크(Mask) 제작을 방지함과 아울러 복잡한 제조공정을 단순화할 수 있는 멀티 도메인 광배향을 위한 배향막 노광용 마스크 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mask device for exposing a photo-alignment film, and more particularly, the mask forms a pixel electrode and a common electrode on the same substrate and uses a transverse electric field generated between the two electrodes to form a single mask. By forming a multi domain that can maintain various alignment directions, it is possible to prevent additional masks and simplify complicated manufacturing processes when using an alignment layer for optical alignment in manufacturing a liquid crystal display. A mask device for exposing an alignment film for multi-domain photo-alignment.

일반적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display, LCD)는 경량, 박형, 및 저소비 전력 등의 특성을 갖기 때문에 음극선관(CRT: Cathode Ray Tube)을 대신하여 각종 정보기기의 단말기 또는 비디오기기 등에 사용되고 있다.In general, liquid crystal displays (LCDs) are used for terminals or video devices of various information devices in place of cathode ray tubes (CRTs) because they have characteristics such as light weight, thinness, and low power consumption. .

이러한 액정표시장치(LCD)는 이방성 액정을 이용하는 것이라 보는 시야각에 따라서 빛의 지연(retardation)에 큰 차이가 생겨 시야각이 좁다는 문제점이 있다.The liquid crystal display (LCD) has a problem in that the viewing angle is narrow due to a large difference in retardation of light depending on the viewing angle used as an anisotropic liquid crystal.

이러한 문제점을 해결하기 위하여, 국내 공개특허공보 특1998-57609호(시야각을 넓힌 액정 표시소자의 제조방법)에서는 멀티 도메인(Multi Domain)을 형성하기 위한 방법으로, 편광판의 패터닝(Patterning)을 이용한 방법을 제시하고 있으나, 편광판 제조공정에서 연신을 통한 편광축 형성에 따른 멀티 도메인 형성에는 어려움이 많다.In order to solve this problem, Korean Laid-Open Patent Publication No. 1998-57609 (Method of manufacturing a liquid crystal display device having a wide viewing angle) is a method for forming a multi domain, and a method using patterning of a polarizing plate. Although presenting, there is a lot of difficulty in forming a multi-domain according to the polarization axis formed through the stretching in the polarizing plate manufacturing process.

한편 액정표시장치(LCD)는 백라이트를 광원으로 이용하는 투과형 액정표시장치와 자연광을 광원으로 이용하는 반사형 액정표시장치의 두 종류로 분류할 수 있는데, 상기 투과형 액정표시장치 및 상기 반사형 액정표시장치의 단점들을 해결하기 위해 반투과형 액정표시장치가 제안되었다. 상기 반투과형 액정표시장치는 필요에 따라 반사형 및 투과형의 양용이 가능하기 때문에 상대적으로 낮은 소비전력을 가지며 어두운 주변환경에서도 사용이 가능하다.LCDs can be classified into two types: a transmissive liquid crystal display device using a backlight as a light source and a reflective liquid crystal display device using natural light as a light source. In order to solve the shortcomings, a transflective liquid crystal display device has been proposed. Since the transflective liquid crystal display device can use both a reflection type and a transmission type as needed, it has a relatively low power consumption and can be used even in a dark environment.

종래의 반투과형 액정표시장치는 투과부와 반사부에서 출사되는 광이 위상차가 발생하여 상기 투과부와 반사부의 위상차를 없애주기 위하여 반사부에 위상차 필름(Retardation Film)을 적용하게 된다. 이때, 위상차 필름을 추가하고 패터닝(Patterning)하는 공정이 추가되어 패널(Panel) 제조공정 시간이 추가되고, 필름 코팅(Film Coating)공정의 추가 및 패터닝 과정에서 발생하는 공정 횟수의 증가로 인한 불량발생 가능성도 증가하게 된다.In the conventional transflective liquid crystal display, a phase difference of light emitted from the transmissive part and the reflecting part is generated so that a retardation film is applied to the reflecting part to eliminate the phase difference of the transmissive part and the reflecting part. In this case, a process of adding a phase difference film and patterning is added to increase a panel manufacturing process time, and a defect occurs due to the addition of a film coating process and an increase in the number of processes occurring in the patterning process. The possibilities also increase.

이러한 위상차 필름을 적용하지 않기 위해 투과부와 반사부의 액정의 배향방향을 다양하게 하는 멀티배향 기술을 적용하기도 하는데, 기존의 광배향을 하는 경 우 2가지의 배향방향을 형성하기 위하여 최소 2종류 이상의 노광 마스크(Mask)를 2번 이상 노광하게 되므로, 공정시간 증가유발 및 마스크를 추가로 제작함으로써 제조비용의 증가를 가져오는 문제점이 있다.In order not to apply such a retardation film, a multi-orientation technique may be applied to vary the alignment directions of the liquid crystals of the transmissive portion and the reflecting portion. Since the mask is exposed two or more times, there is a problem of causing an increase in processing time and an increase in manufacturing cost by additionally manufacturing the mask.

한편, 국내 특허출원 제2005-90484호(액정 포토마스크와 이를 이용한 액정 포토마스크 장치, 패턴형성방법 및 평판 디스플레이 제조방법)에서는 액정표시장치(LCD)를 이용한 포토마스크(Photo Mask)제작에 대해 설명하고 있으나, 이러한 종래 기술은 액정표시장치를 이용해 빛을 투과 또는 불투과하는 것만을 목적으로 하고 있어 다양한 편광영역의 형성에는 어려움을 주게 된다.Meanwhile, Korean Patent Application No. 2005-90484 (Liquid Crystal Photomask and Liquid Crystal Photomask Apparatus, Pattern Forming Method, and Flat Panel Display Manufacturing Method) describes the manufacture of a photo mask using a liquid crystal display (LCD). However, this conventional technology is only intended to transmit or opaque light using a liquid crystal display device, which makes it difficult to form various polarization regions.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 동일한 기판 상에 화소전극 및 공통전극을 형성하고 이 두 전극들 사이에서 발생하는 횡전계를 이용한 하나의 마스크(Mask)로 다양한 배향방향을 유지할 수 있는 멀티 도메인(Multi Domain)을 형성함으로써, 액정표시장치의 제조 시 광배향을 위한 배향막을 이용할 때 추가 마스크(Mask) 제작을 방지함과 아울러 복잡한 제조공정을 단순화할 수 있는 멀티 도메인 광배향을 위한 배향막 노광용 마스크 장치를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to form a pixel electrode and a common electrode on the same substrate, and to form a mask using a transverse electric field generated between the two electrodes. By forming a multi domain that can maintain various alignment directions, it is possible to prevent additional masks and simplify complicated manufacturing processes when using an alignment layer for optical alignment in manufacturing a liquid crystal display. The present invention provides a mask device for exposing an alignment film for multi-domain photo-alignment.

전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면은, 제1 기판, 제2 기판, 및 상기 제1 기판 및 제2 기판 사이에 삽입된 액정층을 포함하는 광배향을 위한 배향막 노광용 마스크 장치에 있어서, 상기 제1 기판은, 기판 상에 상호 교차된 게이트 라인과 데이터 라인, 상기 게이트 라인과 평행하게 이격된 공통 버스라인, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인의 교차부에 배치된 스위칭 소자, 상기 스위칭 소자에 전기적으로 연결되어 상기 데이터 라인의 신호를 전달받는 화소전극, 상기 공통 버스라인에 전기적으로 연결되어 공통 신호를 전달받는 공통전극, 및 상기 게이트 라인과 데이터 라인에 의해 제1 영역과 제2 영역으로 정의된 노광영역을 포함하되, 마스크 구동 시 상기 화소전극과 공통전극 사이에 형성된 전기장의 영향에 의해 평 면적으로 상기 제1 영역과 제2 영역에 위치한 액정의 배열방향이 각각 다른 임의의 각도로 회전한 상태로 유지됨으로써 상기 노광영역에 멀티 도메인이 형성되는 것을 특징으로 하는 멀티 도메인 광배향을 위한 배향막 노광용 마스크 장치를 제공하는 것이다.In order to achieve the above object, an aspect of the present invention is a mask device for alignment film exposure for optical alignment comprising a first substrate, a second substrate, and a liquid crystal layer interposed between the first substrate and the second substrate. The first substrate may include a gate line and a data line intersecting each other on a substrate, a common bus line spaced in parallel with the gate line, a switching element disposed at an intersection of the gate line and the data line, and the switching element. A pixel electrode electrically connected to receive a signal of the data line, a common electrode electrically connected to the common bus line, and receiving a common signal, and defined as a first region and a second region by the gate line and the data line. And a first exposure area, wherein the first zero area is planarly affected by an electric field formed between the pixel electrode and the common electrode during mask driving. It is to provide a mask device for the alignment film exposure for multi-domain photo-alignment, characterized in that the multi-domain is formed in the exposure area is maintained by the rotation direction of the liquid crystal located in the and the second region at different arbitrary angles. .

바람직하게, 상기 마스크 장치 상부에 광배향을 위한 광원이 더 구비될 수 있다.Preferably, a light source for photoalignment may be further provided on the mask device.

바람직하게, 상기 광원과 상기 멀티 마스크 장치 사이에 편광판이 더 구비됨이 바람직하다.Preferably, the polarizing plate is further provided between the light source and the multi mask device.

바람직하게, 상기 제2 기판에 상기 노광영역을 제외한 나머지 영역을 차광시키는 차광막이 더 형성될 수 있다.Preferably, a light shielding film may be formed on the second substrate to shield light from the remaining areas except for the exposure area.

바람직하게, 상기 화소전극과 공통전극은, 상기 제1 영역과 제2 영역에 마스크 구동시 평면적으로 각각 다른 방향의 전계가 발생할 수 있도록 형성될 수 있다.Preferably, the pixel electrode and the common electrode may be formed to generate electric fields in different directions in planar directions when driving a mask in the first region and the second region.

바람직하게, 상기 화소전극과 공통전극은, 상기 제1 영역과 제2 영역 중 하나의 영역에만 형성될 수 있다.Preferably, the pixel electrode and the common electrode may be formed only in one of the first region and the second region.

바람직하게, 상기 화소전극과 공통전극은 제1 기판과 제2 기판 사이의 셀갭과 동일한 높이로 형성될 수 있다.Preferably, the pixel electrode and the common electrode may be formed at the same height as the cell gap between the first substrate and the second substrate.

바람직하게, 상기 화소전극과 공통전극 하부에 제1 기판과 제2 기판 사이의셀갭과 동일한 높이로 격벽이 더 형성될 수 있다.The barrier rib may be further formed below the pixel electrode and the common electrode at the same height as the cell gap between the first substrate and the second substrate.

바람직하게, 상기 임의의 각도는 상기 화소전극과 공통전극의 형성 모양과 인가되는 전압의 세기에 따라 조절될 수 있다.Preferably, the arbitrary angle may be adjusted according to the shape of the pixel electrode and the common electrode and the intensity of the applied voltage.

바람직하게, 상기 액정의 배향은 상기 제1 기판 및 제2 기판이 180도 차이나도록 방향으로 배향되는 수평배향인 것이다.Preferably, the alignment of the liquid crystal is a horizontal alignment in which the first substrate and the second substrate are oriented in a direction such that they are 180 degrees apart.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 멀티 도메인 광배향을 위한 배향막 노광용 마스크 장치는 액정표시장치(LCD)의 기본 제조공정을 통하여 제작할 수 있으며, 상기 마스크는 동일한 기판 상에 화소전극 및 공통전극을 형성하고 이 두 전극들 사이에서 발생하는 횡전계를 이용하여 하나의 마스크(Mask)로 다양한 배향방향을 유지할 수 있는 멀티 도메인(Multi Domain)을 형성함과 아울러 액정표시장치의 제조 시 광배향을 위한 배향막을 이용할 때 추가 마스크(Mask) 제작을 효과적으로 방지할 수 있는 이점이 있다.As described above, an alignment film exposure mask device for multi-domain optical alignment according to the present invention can be manufactured through a basic manufacturing process of a liquid crystal display (LCD), and the mask forms a pixel electrode and a common electrode on the same substrate. By using a transverse electric field generated between the two electrodes to form a multi-domain that can maintain a variety of alignment directions with a mask (Mask) and to form an alignment film for the optical alignment in the manufacturing of the liquid crystal display device When used, there is an advantage that can effectively prevent the production of additional masks.

또한, 본 발명에 의하면, 마스크 제작의 용이함을 제공하고 복잡한 제조공정을 단순화할 수 있고, 또한 마스크의 단일화를 통한 액정표시장치의 제조원가 절감 및 공정단순화를 통한 불량 발생율의 감소를 가져옴으로써 신뢰성과 우수한 화면품위가 확보된 액정표시장치를 만들 수 있는 이점이 있다.In addition, according to the present invention, it is possible to provide ease of mask fabrication, simplify a complicated manufacturing process, and reduce manufacturing cost of a liquid crystal display device through a single mask and a reduction of defect occurrence rate through process simplification. There is an advantage in that it is possible to make a liquid crystal display device with a secure screen quality.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. 그러나, 다음에 예시하는 본 발명의 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 상술하는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시예는 당업계에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되어지는 것이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the following embodiments of the present invention may be modified into various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. The embodiments of the present invention are provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 도메인 광배향을 위한 배향막 노광용 마스크 장치의 하부기판을 개략적으로 설명하기 위한 평면도이고, 도 2는 도 1의 A-A'선 단면도이고, 도 3은 도 1의 B-B'선 단면도이며, 도 4는 도 1의 C-C'선 단면도이다.1 is a plan view schematically illustrating a lower substrate of an alignment layer exposure mask apparatus for multi-domain photo-alignment according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 1, and FIG. It is sectional drawing along the line B-B 'of FIG. 1, and FIG. 4 is sectional drawing along the C-C' line of FIG.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 도메인 광배향을 위한 배향막 노광용 마스크 장치는, 일반적인 액정표시장치(Liquid Crystal Display, LCD)와 마찬가지로, 크게 제1 기판(200, 도 6 참조)과 제2 기판(100, 도 6 참조)이 이격되어 구성되어 있으며, 제1 기판(200)과 제2 기판(100)의 사이에 한 방향으로 배향된 액정층(300, 도 6 참조)이 개재되어 있다.1 to 4, an alignment film exposure mask device for multi-domain optical alignment according to an exemplary embodiment of the present invention is similar to a liquid crystal display (LCD). 6) and the second substrate 100 (see FIG. 6) are separated from each other, and the liquid crystal layer 300 (FIG. 6) oriented in one direction between the first substrate 200 and the second substrate 100. Intervening).

여기서, 상기 액정의 배향은 제1 기판(200)과 제2 기판(100)이 180도 차이나는 방향으로 배향되는 수평배향을 하게 된다.Here, the alignment of the liquid crystal is a horizontal alignment in which the first substrate 200 and the second substrate 100 are aligned in a direction different from each other by 180 degrees.

제2 기판(100)에는 후술하는 노광영역(Exposure Area, EA)을 제외한 나머지 영역을 차광시키기 위한 차광막(미도시)(예컨대, 블랙매트릭스(Black Matrix, BM))이 패터닝(Patterning)되어 형성될 수 있다.The second substrate 100 may be formed by patterning a light shielding film (for example, a black matrix (BM)) for shielding other areas except for an exposure area (EA), which will be described later. Can be.

제1 기판(200)은 기판(210) 상에 게이트 라인(Gate Line)(220)과 데이터 라인(Data Line)(230)이 서로 교차하도록 배열되어 있고, 게이트 라인(220)과 데이터 라인(230)의 교차부에는 스위칭 소자인 박막트랜지스터(Thin Film Transistor, TFT)가 배치되어 있다.The first substrate 200 is arranged such that a gate line 220 and a data line 230 cross each other on the substrate 210, and the gate line 220 and the data line 230 intersect each other. ), A thin film transistor (TFT), which is a switching element, is disposed.

이러한 박막트랜지스터(TFT)는 게이트 라인(220)의 신호에 의해 스위칭(Switching)되어 데이터 라인(230)의 신호를 후술하는 화소전극(250)에 전달하는 역할을 수행한다.The thin film transistor TFT is switched by a signal of the gate line 220 to transfer a signal of the data line 230 to the pixel electrode 250 which will be described later.

그리고, 게이트 라인(220)과 일정한 간격으로 이격되어 게이트 라인(220)과 평행하게 형성된 공통 버스라인(240)이 배열되어 있으며, 이러한 공통 버스라인(240)은 후술하는 공통전극(260)과 전기적으로 연결되어 공통전극(260)에 지속적으로 공통신호를 인가한다.The common bus line 240 is spaced apart from the gate line 220 at regular intervals and formed in parallel with the gate line 220. The common bus line 240 is electrically connected to the common electrode 260 to be described later. Connected to the common signal continuously applied to the common electrode 260.

또한, 게이트 라인(220), 데이터 라인(230)에 의해 노광영역(Exposure Area, EA)이 규정되며, 이러한 노광영역(EA)은 제1 영역과 제2 영역으로 구분될 수 있다.In addition, an exposure area EA is defined by the gate line 220 and the data line 230, and the exposure area EA may be divided into a first area and a second area.

그리고, 노광영역(EA)의 제1 영역 및 제2 영역에는 상기 박막트랜지스터(TFT)와 전기적으로 연결되어 화소전극(250)이 형성되어 있다.In addition, the pixel electrode 250 is formed in the first region and the second region of the exposure area EA by being electrically connected to the thin film transistor TFT.

즉, 화소전극(250)은 노광영역(EA)의 제1 영역에는 슬릿을 포함한 플레이트(Plate) 형상의 제1 화소전극(250a)과, 제2 영역에는 제1 화소전극(250a)의 일측 모서리부에 공통 버스라인(240)측으로 연장 형성됨과 아울러 데이터 라인(230)과 평행하게 형성된 막대 형상의 제2 화소전극(250b)으로 구성되어 있다.That is, the pixel electrode 250 has a plate-shaped first pixel electrode 250a including slits in the first area of the exposure area EA, and one side edge of the first pixel electrode 250a in the second area. The portion extends toward the common bus line 240 and includes a rod-shaped second pixel electrode 250b formed parallel to the data line 230.

이러한 제2 화소전극(250b)은 후술하는 공통전극(260)과의 원활한 전기장을 형성하기 위하여, 상기 제2 화소전극(250b) 하부에 일정 높이(예컨대, 액정표시장치의 셀갭과 동일한 높이)의 격벽(Barrier Rib, BR)을 형성하고 그 상부에 소정 두께의 금속막(예컨대, ITO 등)을 증착하여 형성됨이 바람직하다.The second pixel electrode 250b has a predetermined height (for example, the same height as the cell gap of the liquid crystal display device) under the second pixel electrode 250b to form a smooth electric field with the common electrode 260 which will be described later. It is preferable that the barrier rib is formed by forming a barrier rib (BR) and depositing a metal film (eg, ITO) having a predetermined thickness thereon.

한편, 기판(210)과 화소전극(250)의 사이에는 소정 두께의 절연막(Insulator Layer, IL)이 더 형성될 수 있으며, 화소전극(250)은 빛의 투과를 원활하게 하기 위하여 투명한 금속물질을 이용하여 형성됨이 바람직하다.An insulating layer IL may be further formed between the substrate 210 and the pixel electrode 250. The pixel electrode 250 may be formed of a transparent metal material to facilitate light transmission. It is preferable to form using.

그리고, 공통 버스라인(240) 상에 전기적으로 연결되어 공통전극(260)이 형성되어 있다.The common electrode 260 is electrically connected to the common bus line 240.

즉, 공통전극(260)은 노광영역(EA)의 제1 영역에는 화소전극 하부에 절연막을 사이에 두고 형성된 플레이트(Plate) 형상의 제2 공통전극(260b)과, 제2 영역에는 공통 버스라인(240)의 일측 상부에 컨택홀(CH)을 통해 전기적으로 연결되도록 공통 버스라인(240)의 길이방향을 따라 연장 형성된 막대 형상의 제1 공통전극(260a)과, 제1 공통전극(260a)의 일단에 게이트 라인(220)측으로 연장 형성됨과 아울러 상기 제1 공통전극(260a)과 제2 공통전극(260b)을 연결하는 제3 공통전극(260c)으로 구성되어 있다.That is, the common electrode 260 is a plate-shaped second common electrode 260b formed with an insulating film under the pixel electrode in the first area of the exposure area EA, and a common bus line in the second area. The rod-shaped first common electrode 260a and the first common electrode 260a extending along the longitudinal direction of the common bus line 240 to be electrically connected to the upper portion of the one side 240 through the contact hole CH. One end of the third common electrode 260c extends toward the gate line 220 and connects the first common electrode 260a and the second common electrode 260b.

이러한 제1 및 제3 공통전극(260a 및 260c)은 전술한 제2 화소전극(250b)과 마찬가지로 화소전극(250)과의 원활한 전기장을 형성하기 위하여, 상기 제1 및 제3 공통전극(260a 및 260c) 하부에 일정 높이(예컨대, 액정표시장치의 셀갭과 동일한 높이)의 격벽(Barrier Rib, BR)을 형성하고 그 상부에 금속막(예컨대, ITO 등)을 증착하여 형성됨이 바람직하다.The first and third common electrodes 260a and 260c have the same characteristics as the second pixel electrode 250b in order to form a smooth electric field with the pixel electrode 250. A barrier rib (BR) having a predetermined height (for example, the same height as the cell gap of the liquid crystal display device) is formed under the 260c, and a metal film (for example, ITO, etc.) is deposited on the barrier rib.

추가적으로, 상기 마스크 장치 상부에 광배향을 위한 광원이 구비되는 경우 상기 광원과 상기 마스크 장치 사이에 편광판(270, 도 6 참조)이 더 구비될 수 있다.In addition, when a light source for photoalignment is provided on the mask device, a polarizer 270 (see FIG. 6) may be further provided between the light source and the mask device.

더욱이, 공통 버스라인(240)과 제1 공통전극(260a), 기판(210)과 제2 및 제3 공통전극(260b 및 260c)의 사이에 전술한 소정 두께의 절연막(Insulator Layer, IL)이 더 형성될 수 있다.In addition, an insulating layer IL of a predetermined thickness is formed between the common bus line 240, the first common electrode 260a, the substrate 210, and the second and third common electrodes 260b and 260c. Can be further formed.

한편, 본 발명의 일 실시예에서는 하나의 마스크(Mask) 내에 하나의 노광영역(EA)을 구현하였지만, 이에 국한하지 않으며, 하나의 마스크 내에 복수개의 게이트 라인(220), 데이터 라인(230) 및 공통 버스라인(240)을 배열하여 어레이(Array) 형태의 노광영역(EA)을 구현할 수도 있다.Meanwhile, in one embodiment of the present invention, although one exposure area EA is implemented in one mask, the present invention is not limited thereto, and a plurality of gate lines 220, data lines 230, and The common bus lines 240 may be arranged to implement an exposure area EA in an array form.

이하에는 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 도메인 광배향을 위한 배향막 노광용 마스크 장치의 동작원리에 대하여 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, the operation principle of the alignment film exposure mask device for multi-domain photo-alignment according to an embodiment of the present invention will be described in detail.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정의 초기상태와 마스크 구동 시의 액정배열방향을 평면적으로 나타낸 개념도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정의 초기상태와 마스크 구동 시의 액정배향 및 편광방향을 단면적으로 나타낸 개념도이다.FIG. 5 is a conceptual view illustrating a liquid crystal array direction in the initial state of a liquid crystal and a mask driving plane according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a view illustrating an initial state of the liquid crystal and a mask driving state according to an embodiment of the present invention. It is a conceptual diagram which shows the liquid crystal orientation and the polarization direction in cross section.

도 1 내지 도 6을 참조하면, 먼저, 노광장치(미도시)에서 입사된 빛이 제1 기판(200)에 부착된 편광판(270)을 통과하면서 단일축의 편광으로 형성되고, 이렇게 단일축으로 형성된 편광은 액정층(300)을 통과하면서 액정의 배열방향에 따라 편광축의 회전이 발생하게 된다.1 to 6, first, light incident from an exposure apparatus (not shown) passes through a polarizing plate 270 attached to the first substrate 200, and is formed with a single axis of polarized light. As the polarization passes through the liquid crystal layer 300, rotation of the polarization axis occurs along the alignment direction of the liquid crystal.

이때, 노광영역(EA)의 제1 영역에 위치한 액정은 제1 화소전극(250a)과 제2 공통전극(260b)의 사이에 형성된 전기장의 영향에 의해 일정한 각도(바람직하게는, 약 0도 정도)로 회전한 상태의 액정배열을 만들게 되고, 이 영역을 통과하는 빛은 액정의 회전방향을 따라 입사광의 광축이 일정한 각도로 회전한 상태로 투과하게 된다.In this case, the liquid crystal positioned in the first region of the exposure area EA is at a predetermined angle (preferably about 0 degrees) due to the influence of the electric field formed between the first pixel electrode 250a and the second common electrode 260b. The liquid crystal array is rotated by), and the light passing through this region is transmitted while the optical axis of incident light is rotated at a predetermined angle along the rotation direction of the liquid crystal.

마찬가지로, 노광영역(EA)의 제2 영역에 위치한 액정은 제1 화소전극(250a)의 일 측 및 제2 화소전극(250b)과 제1 및 제3 공통전극(260a 및 260c)의 사이에 형성된 전기장의 영향에 의해 일정한 각도(바람직하게는, 약 45도 정도)로 회전한 상태의 액정배열을 만들게 되고, 이 영역을 통과하는 빛은 액정의 회전방향을 따라 입사광의 광축이 일정한 각도(약 45도 정도)로 회전한 상태로 투과하게 된다.Similarly, the liquid crystal positioned in the second area of the exposure area EA is formed between one side of the first pixel electrode 250a and between the second pixel electrode 250b and the first and third common electrodes 260a and 260c. Under the influence of the electric field, the liquid crystal array is rotated at a certain angle (preferably, about 45 degrees), and the light passing through this area has a constant angle (about 45 degrees) of the incident light along the rotational direction of the liquid crystal. Permeability).

이때, 상기 제1 영역 및 제2 영역의 액정의 회전각도는 액정의 복원력 또는 화소전극(250)과 공통전극(260)에 인가되는 전압의 세기조절을 통해 회전각의 조절이 가능하다.In this case, the rotation angle of the liquid crystal of the first region and the second region may be controlled by adjusting the restoring force of the liquid crystal or the intensity of the voltage applied to the pixel electrode 250 and the common electrode 260.

전술한 본 발명에 따른 멀티 도메인 광배향을 위한 배향막 노광용 마스크 장치에 대한 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.Although a preferred embodiment of the mask device for oriented film exposure for multi-domain photo-alignment according to the present invention has been described above, the present invention is not limited thereto, but the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings are various. It is possible to carry out the transformation by the branch and this also belongs to this invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 도메인 광배향을 위한 배향막 노광용 마스크 장치의 하부기판을 개략적으로 설명하기 위한 평면도이다.1 is a plan view schematically illustrating a lower substrate of a mask device for exposing an alignment film for multi-domain photoalignment according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 A-A'선 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 1.

도 3은 도 1의 B-B'선 단면도이다.3 is a cross-sectional view taken along line BB ′ of FIG. 1.

도 4는 도 1의 C-C'선 단면도이다.4 is a cross-sectional view taken along the line CC ′ of FIG. 1.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정의 초기상태와 마스크 구동 시의 액정배열방향을 평면적으로 나타낸 개념도이다.FIG. 5 is a conceptual view illustrating a liquid crystal array direction in the initial state of the liquid crystal and in driving the mask according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정의 초기상태와 마스크 구동 시의 액정배향 및 편광방향을 단면적으로 나타낸 개념도이다.FIG. 6 is a conceptual diagram illustrating the liquid crystal alignment and the polarization direction in the initial state of the liquid crystal and the mask driving according to the exemplary embodiment of the present invention.

Claims (10)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1 기판, 제2 기판, 및 상기 제1 기판 및 제2 기판 사이에 삽입된 액정층을 포함하는 광배향을 위한 배향막 노광용 마스크 장치에 있어서,In the mask device for the alignment film exposure for optical alignment comprising a first substrate, a second substrate, and a liquid crystal layer interposed between the first substrate and the second substrate, 상기 제1 기판은,The first substrate, 기판 상에 상호 교차된 게이트 라인, 데이터 라인 및 공통 버스라인, 상기 게이트 라인과 데이터 라인의 교차부분에 배치된 스위칭 소자, 및 상기 게이트 라인과 데이터 라인에 의해 정의되고 화소전극과 공통전극에 의해 횡전계가 형성되는 노광영역을 포함하되,A gate line, a data line and a common bus line intersected on the substrate, a switching element disposed at an intersection of the gate line and the data line, and defined by the gate line and the data line and transversely by the pixel electrode and the common electrode. Including an exposure area where an electric field is formed, 상기 노광영역은 평면적으로 각각 다른 일정 각도의 횡전계가 형성되는 복수개의 단위영역으로 정의되어 멀티 도메인이 형성되며, 상기 일정각도는 상기 화소전극과 공통전극에 인가되는 전압의 세기에 따라 각 단위영역마다 다르게 조절되는 것을 특징으로 하는 멀티 도메인 광배향을 위한 배향막 노광용 마스크 장치.The exposure area is defined as a plurality of unit areas in which transverse electric fields of different predetermined angles are formed in plan view, and multi domains are formed. Masking device for the alignment film exposure for multi-domain photo-alignment, characterized in that it is adjusted differently every time. 제5 항에 있어서,6. The method of claim 5, 상기 단위영역이 제1 영역과 제2 영역으로 두 개인 경우,When the unit region is two as the first region and the second region, 상기 제1 영역은 플레이트 형상의 제1 공통전극과 상기 제1 공통전극 상부에 슬릿을 포함한 플레이트 형상의 제1 화소전극을 포함하여 이루어지고,The first region includes a plate-shaped first common electrode and a plate-shaped first pixel electrode including a slit on the first common electrode. 상기 제2 영역은 상기 공통 버스라인 상에 컨택홀을 통해 전기적으로 연결되며, 상기 공통 버스라인 길이방향을 따라 형성된 막대 형상의 제2 공통전극과 상기 제2 공통전극의 일단 및 상기 제1 공통전극이 연결되도록 형성된 막대 형상의 제3 공통전극 및 상기 제1 화소전극에 연결되어 상기 제3 공통전극과 마주보도록 막대 형상으로 형성된 제2 화소전극을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 멀티 도메인 광배향을 위한 배향막 노광용 마스크 장치.The second region is electrically connected to the common bus line through a contact hole, and includes a rod-shaped second common electrode formed along a length direction of the common bus line, one end of the second common electrode, and the first common electrode. A third common electrode having a bar shape formed to be connected to each other, and a second pixel electrode connected to the first pixel electrode to form a bar shape so as to face the third common electrode. Mask apparatus for oriented film exposure. 제5 항에 있어서,6. The method of claim 5, 상기 제2 기판에 상기 노광영역을 제외한 나머지 영역을 차광시키는 차광막이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 멀티 도메인 광배향을 위한 배향막 노광용 마스크 장치.And a light shielding film for shielding the remaining areas other than the exposure area on the second substrate. 제5 항에 있어서,6. The method of claim 5, 광배향을 위한 광원이 추가로 구비되고, 상기 광원과 상기 마스크 장치 사이에, 상기 액정층에 단일축의 편광이 입사될 수 있도록 편광판이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 멀티 도메인 광배향을 위한 배향막 노광용 마스크 장치.A light source for optical alignment is additionally provided, and a polarizing plate is further provided between the light source and the mask device so that a single axis of polarized light is incident on the liquid crystal layer. Device. 제5 항에 있어서,6. The method of claim 5, 상기 단위영역은,The unit area, 각 단위영역에 각각 다른 일정 각도의 횡전계가 형성되도록 구비된 화소전극과 공통전극을 포함하고, 상기 각 단위영역 내의 화소전극과 공통전극은 서로 각각 전기적으로 연결되며, 상기 화소전극은 상기 스위칭 소자에, 상기 공통전극은 상기 공통 버스라인에 전기적으로 연결되어 이루어진 것을 특징으로 하는 멀티 도메인 광배향을 위한 배향막 노광용 마스크 장치.A pixel electrode and a common electrode provided to form different transverse electric fields at different angles in each unit region, wherein the pixel electrode and the common electrode in each unit region are electrically connected to each other, and the pixel electrode is the switching element. And the common electrode is electrically connected to the common bus line. 제9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 단위영역 내의 화소전극들과 공통전극들 중 적어도 일부의 화소전극과 공통전극 하부에 일정 높이의 격벽이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 멀티 도메인 광배향을 위한 배향막 노광용 마스크 장치.And a barrier rib having a predetermined height is formed under the pixel electrode and the common electrode of at least some of the pixel electrodes and the common electrodes in the unit region.
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