KR100956270B1 - 진공게이지용 집진필터 - Google Patents

Abstract

본 발명은 챔버 내의 진공도를 측정할 수 있도록 설치된 진공게이지와 챔버 사이 또는 챔버와 연결된 배기라인(Exhaust line)에 진공게이지로 유입되는 공기 중의 부산물을 여과하기 위한 집진필터를 연결설치함으로써, 진공게이지로 청정공기만이 유입되도록 하여 진공게이지의 오염을 방지함과 동시에 진공게이지의 오작동을 미연에 방지할 수 있도록 하고, 교환주기가 연장됨으로써, 진공게이지의 교체로 인한 공정중단 시간을 최소화하여 주어, 제품 생산성이 저하되는 문제현상을 최소화할 수 있도록 한 진공게이지용 집진필터에 관한 것이다.

본 발명에 따르면,

진공압 상태의 챔버와 상기 챔버 내의 진공도를 측정하기 위한 진공게이지 사이에 설치되어 상기 진공게이지로 유입되는 공기 중의 부산물을 여과하기 위한 집진필터에 있어서,

상기 집진필터는 서로 대칭되게 분할형성되어 용접된 관형태로 내측에 설치공간이 형성된 필터하우징과, 상기 설치공간에 설치되어 그 내부를 구획하는 구획판과, 상기 구획판의 양측에 서로 대칭되게 설치되어 이동하는 공기 중의 이물질을 적층시키며, 내측에 거름망이 구비된 한 쌍의 집진플레이트와, 상기 거름망을 고정하기 위한 한 쌍의 연결플레이트 및 상기 구획판과 집진플레이트 및 연결플레이트를 설치공간 내에 연결고정하기 위한 체결핀을 포함하여 구성된다.

진공게이지, 챔버, 집진필터, 거름망

Description

진공게이지용 집진필터{Particle Protector}

본 발명은 집진필터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 챔버 내의 진공도를 측정할 수 있도록 설치된 진공게이지와 챔버 사이 또는 상기 챔버와 연결된 배기라인에 진공게이지로 유입되는 공기 중의 부산물을 여과하기 위한 집진필터를 연결설치함으로써, 진공게이지로 청정공기만이 유입되도록 하여 진공게이지의 오염을 방지함과 동시에 진공게이지의 오작동을 미연에 방지할 수 있도록 하고, 교환주기가 연장됨으로써, 진공게이지의 교체로 인한 공정중단 시간을 최소화하여 주어, 제품 생산성이 저하되는 문제현상을 최소화할 수 있도록 한 진공게이지용 집진필터에 관한 것이다.

일반적으로 진공압 게이지는 진공 공급 라인에 설치되어 라인에 공급되는 진공의 크기를 센싱하여 진공의 압력을 작업자에게 알리는 장치를 말한다.

예를 들어 CVD장비나 드라이 에치(Dry etch)장비와 같은 반도체 장비의 챔버 내부 압력은 반도체 제조과정에서 중요한 공정 인자이므로 챔버와 연결된 배기관에 진공게이지(Vacuum sensor)를 부착하여 챔버 내부의 압력이 일정한 상태를 유지하도록 제어한다.

이러한 진공게이지의 측정부가 얇은 막 형태로 된 정전센서(Capacitance Manometer)나 열전자 방출을 이용하는 써모 커플 게이지(Thermo Couple Gauge) 또는 피라니 게이지(Pirani Gauge)나 이온발생 및 전달도를 이용한 센서등을 설치한다.

도 1은 종래의 진공게이지의 사용상태를 나타낸 단면도이다.

도 1을 참조하면, 챔버(20)와 연결된 배기관(30)에는 챔버(20) 내부의 진공압을 센싱하기 위한 진공게이지(10)가 설치된다.

이에 따라, 상기 챔버(20) 내부의 진공도는 진공게이지(10)에 의해 측정된 값을 통해 진공펌프를 제어하여 챔버(20) 내부의 진공도가 프로세서 진행시 설정된 압력으로 유지할 수 있게 한다.

그러나 이와 같은 종래 진공게이지는 실사용 시 다음과 같은 문제점이 있었다.

종래 진공게이지는 설치 후, 소정기간이 경과하면 진공압 측정결과에 오차가 발생하여 여러 단계의 공정들이 일제히 중단되어 이에 따른 제품생산에 손실이 발생하는 문제점이 있었다.

즉, 종래 진공게이지는 챔버 내의 공기 중에 포함된 부산물들이 진공게이지의 측정부 표면에 축적되어 게이지의 반응을 방해하기 때문이다.

본 발명은 상술한 종래 문제점을 감안하여 안출한 것으로, 그 목적은 챔버 내의 진공도를 측정할 수 있도록 설치된 진공게이지와 챔버 사이 또는 챔버와 연결된 배기라인에 진공게이지로 유입되는 공기 중의 부산물을 여과하기 위한 집진필터를 연결설치함으로써, 진공게이지로 청정공기만이 유입되도록 하여 진공게이지의 오염을 방지함과 동시에 진공게이지의 오작동을 미연에 방지할 수 있도록 한 진공게이지용 집진필터를 제공한다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 진공게이지를 오차 없이 장기간 사용할 수 있도록 하여 그 교환 주기를 연장함으로써, 진공게이지의 교체로 인한 공정중단 시간을 최소화하여 주어, 제품생산성이 저하되는 문제현상을 최소화할 수 있도록 한 진공게이지용 집진필터를 제공한다.

상기 목적을 달성시키기 위한 본 발명은
진공압 상태의 챔버와 상기 챔버 내의 진공도를 측정하기 위한 진공게이지 사이에 설치되어 상기 진공게이지로 유입되는 공기 중의 부산물을 여과하기 위한 집진필터에 있어서,

상기 집진필터는 서로 대칭되게 분할형성되어 용접된 관형태로 내측에 설치공간이 형성된 필터하우징과,
상기 설치공간에 설치되어 그 내부를 구획하는 구획판과,
상기 구획판의 양측에 서로 대칭되게 설치되어 이동하는 공기 중의 이물질을 적층시키며, 내측에 거름망이 구비된 한 쌍의 집진플레이트와,
상기 거름망을 고정하기 위한 한 쌍의 연결플레이트 및
상기 구획판과 집진플레이트 및 연결플레이트를 설치공간 내에 연결고정하기 위한 체결핀을 포함하여 구성된다.

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본 발명에 따르면, 챔버 내의 진공도를 측정할 수 있도록 설치된 진공게이지와 챔버 사이에 또는 상기 챔버와 연결된 배기라인에 진공게이지로 유입되는 공기 중의 부산물을 여과하기 위한 집진필터를 연결설치함으로써, 진공게이지로 청정공기만이 유입되도록 하여 진공게이지의 오염을 방지함과 동시에 진공게이지의 오작동을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.

또한, 진공게이지를 오차 없이 장기간 사용할 수 있도록 하여 그 교환 주기를 연장함으로써, 진공게이지의 교체로 인한 공정중단 시간을 최소화하여 주어, 제품생산성이 저하되는 문제현상을 최소화할 수 있는 효과가 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터를 상세히 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터를 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터를 나타낸 분해사시도이며, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터를 나타낸 요부단면도이다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 챔버(20) 내의 진공도를 측정하기 위한 진공게이지(10)와 챔버(20)의 사이에는 챔버(20)에서 진공게이지(10)로 유입되는 공기 중의 부산물을 여과하기 위한 집진필터(100)가 연결설치된다.

이때, 상기 챔버(20)에는 배기관(30)이 연결설치되며, 상기 배기관(30)의 단부에는 나선(35)을 갖는 제1 연결링(36)이 힌지회전 가능하게 연결된다.

또한, 상기 진공게이지(10)는 그 단부에 제2 연결링(32)이 힌지회전 가능하게 연결되며, 상기 제2 연결링(32)의 내주면에는 나선홈(31)이 형성된다.

한편, 상기 집진필터(100)는 상기 챔버(20)와 진공게이지(10) 사이에서 진공압의 이동로를 제공하는 필터하우징(110), 구획판(120), 진공압상태로 이동중인 공기중의 이물질을 제거하기 위한 집진플레이트(130), 연결플레이트(140) 및 이들을 긴밀히 연결고정하기 위한 체결핀(150)을 포함하여 구성된다.

상기 필터하우징(110)은 서로 대칭되게 분할형성되어 용접된 관형태로 내측에 단면이 원형을 갖는 설치공간(111)이 형성되고, 상기 설치공간(111)의 외주면에 설치공간(111)과 연통된 걸림턱(113)이 일체로 형성된다.

이때, 상기 필터하우징(110)의 양측 외주면에는 단턱(119)이 돌출형성되며, 상기 단턱(119)에는 너트홈(115)을 갖는 제1 연결커넥터(116)와 볼트부(117)를 갖는 제2 연결커넥터(118)가 걸림을 취해 힌지회전 가능하도록 연결된다.

여기서, 상기 제1 연결커넥터(116)는 배기관(30) 측으로, 제2 연결커넥터(118)는 진공게이지(10) 측으로 연결되는 것이 바람직하다.

한편, 상기 구획판(120)은 그 내측에 관통공(121)이 형성되고, 상기 관통공(121)의 인접한 외측에는 복수개의 체결공(123)이 일체로 형성된다.

이때, 상기 구획판(120)은 상기 설치공간(111)을 구획할 수 있도록 상기 걸림턱(113)에 연결설치된다.

상기 집진플레이트(130)는 상기 구획판(120)의 양측에 이격되어 대칭되게 설치된다.

이때, 상기 집진플레이트(130)는 그 일측에 이동하는 공기중의 이물질이 적층될 수 있도록 유입홈(133)이 형성되고, 상기 유입홈(133)의 단부에는 상기 유입 홈(133)과 연통되어 유입홈(133) 보다 더 큰 내경을 갖는 홈부(135)가 형성되며, 상기 홈부(135)에는 유입홈(133)에 적층된 이물질이 이탈되지 않도록 거름망(134)이 안착된다.

또한, 상기 홈부(135)의 단부에는 상기 홈부(135)와 연통되어 홈부(135) 보다 더 큰 내경을 갖는 연결홈(136)이 형성되며, 상기 연결홈(136)의 측벽에는 상기 체결공(123)과 동일선상을 이루는 복수개의 결합공(138)이 형성된다.

이때, 상기 집진플레이트(130)는 상기 설치공간(111) 보다 작은 외경으로 이루어져, 집진플레이트(130)와 설치공간(111) 사이에는 공기이동로(139)가 구비된다.

또한, 서로 대칭되게 설치된 집진플레이트(130)의 폭은 공기의 유동이 가능하도록 설치공간(111)의 폭보다 작은 폭을 갖는 것이 바람직하다.

또한, 상기 집진플레이트(130)와 구획판(120) 사이에는 연결공(131)을 갖는 스페이서(132)가 개재되어 집진플레이트(130)와 구획판(120) 사이가 스페이서(132)의 길이만큼 이격되게 설치된다.

이에, 상기 스페이서(132)의 연결공(131)은 상기 체결공(123)과 결합공(138)에 연통을 이루게 된다.

이에, 상기 유입홈(133)을 통해 1차 여과되어 공기이동로(139)로 이동하는 공기 중의 이물질은 상기 링홈(137)에 적층됨으로써, 2차 여과를 이루게 된다.

한편, 상기 연결플레이트(140)는 상기 홈부(135)에 안착된 거름망(134)을 고정할 수 있도록 연결홈(136)에 삽입연결된다.

이때, 상기 연결플레이트(140)는 그 내측에 개구공(141)이 형성되고, 상기 개구공(141)의 외측에는 상기 결합공(138)과 동일선상을 이루는 복수개의 설치공(143)이 형성된다.

또한, 상기 체결핀(150)은 상기 구획판(120)과 집진플레이트(130) 및 연결플레이트(140)를 설치공간(111) 내에서 연결고정할 수 있도록 상기 체결공(123)과 연결공(131)과 결합공(138) 및 설치공(143)에 삽입연결되어 양단부가 상기 설치공(143)에 고정된다.

이때, 상기 설치공(143)과 체결핀(150) 사이는 용접에 의해 고정되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 필터하우징(110)의 외주면에는 챔버(20)에서 진공게이지(10)로 이동하는 공기의 온도변화를 방지할 수 있도록 설치공간(111)을 보온하기 위한 발포실리콘(160)이 도포된다.

이에 따라, 상기 챔버(20) 내의 고온의 공기는 설치공간(111)을 통과하면서 열을 빼앗기지 않아 측정조건의 변화 없이 진공게이지(10)가 진공압을 측정할 수 있게 된다.

이에, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터는 챔버 내의 진공도를 측정할 수 있도록 설치된 진공게이지와 챔버 사이에 진공게이지로 유입되는 공기 중의 부산물을 여과하기 위한 집진필터를 연결설치함으로써, 진공게이지로 청정공기만이 유입되도록 하여 진공게이지의 오염을 방지함과 동시에 진공게이지의 반응을 기민하게 수행할 수 있도록 하여 제조공정이 원활히 이루어질 수 있 도록 한 것으로, 이에 따른 작용효과를 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.

도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터의 설치상태를 나타낸 요부단면도이고, 도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터의 동작관계를 타나낸 사용상태도이다.

도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 필터하우징(110)의 일단을 챔버(20)의 배기관(30)에 연통되게 위치시키고, 타단을 상기 진공게이지(10)에 연통되게 위치시킨다.

이후, 상기 제2 연결커넥터(118)의 볼트부(117)를 제2 연결링(32)의 나선홈(31)에 볼트체결하고, 상기 제1 연결커넥터(116)의 너트홈(115)에 제 연결링(36)의 나선(35)을 볼트체결한다. 이에 따라, 상기 진공게이지용 집진필터(100)는 진공게이지(10)와 챔버(20) 사이에서 긴밀한 연결관계를 이루게 된다.

이에, 상기 진공게이지(10)로 유입되는 공기는 필터하우징(110)을 통해 상기 설치공간(111)으로 유입되며, 그 공기 중에 분포하는 이물질은 거름망(134)을 통과하여 유입홈(133)의 표면에 밀착되어 적층된다.

이와 같이 유입홈(133)에 적층된 이물질들은 서로 응결되고, 응결된 이물질은 거름망(134)에 의해 유입홈(133)에서 이탈되지 않게 된다.

또한, 상기 유입홈(133)에서 1차 여과된 공기는 링홈(137)을 통과하는 과정에서 이물질이 링홈(137) 표면에 밀착되어 2차 여과되며, 1,2차에 걸쳐 여과된 공기는 공기이동로(139)를 통해 설치공간(111) 내부로 유입된다.

이후, 상기 설치공간(111) 내부로 유입된 여과된 공기는 구획판(120)의 관통 공(121)을 통해 대칭되게 설치된 집진플레이트(130)의 배면을 경유하여 공기이동로(139)를 통해 진공게이지(10)로 유입된다.

이에 따라, 진공게이지(10)로 유입되는 공기 중의 이물질은 집진필터(100)를 통해 여과되어 진공게이지로 청정공기만이 유입되도록 함으로써, 진공게이지의 오염을 방지함과 동시에 진공게이지의 반응을 기민하게 수행할 수 있도록 하여 제조공정이 원활히 이루어질 수 있도록 한다.

도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터의 다른 설치예를 나타낸 단면도이다.

도 7에 도시된 바와 같이 본 발명의 집진필터(100)은 그 실시예에 따라 상기 챔버(20)와 연결된 배기라인(S)에 설치될 수도 있다.

도 1은 종래의 진공게이지의 사용상태를 나타낸 단면도,

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터를 나타낸 사시도,

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터를 나타낸 분해사시도,

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터를 나타낸 요부단면도,

도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터의 설치상태를 나타낸 요부단면도,

도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터의 동작관계를 타나낸 사용상태도 및

도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이지용 집진필터의 다른 설치예를 나타낸 단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 진공게이지 20 : 챔버

110 : 필터하우징 111 : 설치공간

120 : 구획판 121 : 관통공

130 : 집진플레이트 134 : 거름망

140 : 연결플레이트 141 : 개구공

150 : 체결핀 160 : 발포실리콘

Claims (4)

1. 진공압 상태의 챔버(20)와 상기 챔버(20) 내의 진공도를 측정하기 위한 진공게이지(10) 사이에 설치되어 상기 진공게이지(10)로 유입되는 공기 중의 부산물을 여과하기 위한 집진필터에 있어서,

   상기 집진필터(100)는

   서로 대칭되게 분할형성되어 용접된 관형태로 내측에 설치공간(111)이 형성된 필터하우징(110)과,

   상기 설치공간(111)에 설치되어 그 내부를 구획하는 구획판(120)과,

   상기 구획판(120)의 양측에 서로 대칭되게 설치되어 이동하는 공기 중의 이물질을 적층시키며, 내측에 거름망(134)이 구비된 한 쌍의 집진플레이트(130)와,

   상기 거름망(134)을 고정하기 위한 한 쌍의 연결플레이트(140) 및

   상기 구획판(120)과 집진플레이트(130) 및 연결플레이트(140)를 설치공간(111) 내에 연결고정하기 위한 체결핀(150)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 진공게이지용 집진필터.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 집진필터(100)는

   상기 필터하우징(110)은 설치공간(111)의 외주면에 설치공간(111)과 연통된 걸림턱(113)이 형성되고, 양측에 너트홈(115)을 갖는 제1 연결커넥터(116)와 볼트부(117)를 갖는 제2 연결커넥터(118)가 단턱(119)에 의해 걸림을 취해 힌지회전 가능하도록 연결되며,

   상기 구획판(120)은 상기 걸림턱(113)에 연결설치되고, 내측에 관통공(121)과 복수개의 체결공(123)이 형성되며,

   상기 한 쌍의 집진플레이트(130)는 상기 구획판(120)의 양측에 연결공(131)을 갖는 스페이서(132)에 의해 이격되어 대칭되게 설치하되, 상기 설치공간(111)보다 작은 외경으로 설치공간(111)과의 사이에 공기이동로(139)가 구비되고, 일측에 이동하는 공기 중의 이물질이 적층될 수 있도록 유입홈(133)과, 상기 유입홈(133)에 적층된 이물질이 이탈되지 않도록 거름망(134)이 안착되는 홈부(135)와, 연결홈(136) 및 링홈(137)이 서로 다른 내경을 갖도록 일체로 형성되며, 상기 연결홈(136)의 측벽에 복수개의 결합공(138)이 형성되고,

   상기 한 쌍의 연결플레이트(140)는 상기 연결홈(136)에 삽입연결되며, 내측에 개구공(141)과 복수개의 설치공(143)이 형성되고,

   상기 체결핀(150)은 상기 체결공(123)과 연결공(131)과 결합공(138) 및 설치공(143)에 삽입연결되어 양단부가 상기 설치공(143)에 고정됨을 특징으로 하는 진공게이지용 집진필터.
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