KR100939619B1 - 액정표시장치 제조용 장비 보호커버 - Google Patents

Abstract

본 발명은 액정표시장치를 제조하는 클린룸에 설치되는 장비 보호 커버에 관한 것으로써 특히, 장비 커버가 클린룸의 천정에 접하도록 구성된 액정표시장치 제조용 장비 보호커버에 관한 것이다. 본 발명의 장비 보호 커버는 접이식 또는 슬라이드 방식으로 구성되는 다수의 파텐션으로 구성되며 상기 각 파텐션은 서로 복수의 장비 커버로 구성되어 서로 결합수단에 의해 결합되며 장비 커버가 천정과 접하는 에지부는 높이 조절이 가능하도록 구성되어 있어 클린룸의 통로측에서 발생할 수 있는 와류로부터 액정표시장치 제조 장비를 보호하는 효과를 얻을 수 있다.

클린룸, 장비 보호 커버, 와류

Description

액정표시장치 제조용 장비 보호커버{COVER FOR PROTECTING SUBSTRATE USED FOR FABRICATING LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}

도 1은 액정표시장치 제조 공정이 진행되는 클린룸의 개략적 모식도.

도 2는 액정표시장치 제조 공정이 진행되는 클린룸의 일부를 나타내는 모식도.

도 3은 본 발명의 클린룸에 장치되는 장비 커버를 나타내는 단면도.

도 4는 본 발명의 장비 커버를 나타내는 사시도.

도 5는 본 발명의 장비 커버가 결합되는 모습을 나타내는 사시도.

도 6은 본 발명의 접이형 장비 커버의 일편의 모습을 나타내는 사시도.

도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 의한 슬라이드 형 장비 커버의 일편을 나타내는 사시도.

도 8a~8b는 본 발명의 장비 커버 에지부를 나타내는 단면도.

*********도면의 주요부분에 대한 부호의 설명***********

3:팬 필터 유니트 20:클린룸 천정

10:장비 커버 2:장비

30:클린룸 바닦 10b:상부 장비 커버

10b:하부 장비 커버

본 발명은 액정표시장치가 생산되는 클린룸에 관한 것으로 특히, 클린룸에서 발생할 수 있는 와류에 의해 장비에 불량이 발생하는 것을 방지하는 장비 커버를 포함하는 액정표시장치 제조용 클린룸에 관한 것이다.

일반적으로 액정표시장치를 구성하는 일 부품으로써 액정표시패널은 스위칭 소자로써 박막트랜지스터가 매트릭스 배열을 하는 박막트랜지스터 어레이 기판과 상기 박막트랜지스터 어레이 기판과 대향하는 컬러필터 기판을 구비하며 상기 박막트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 기판 사이의 셀 갭에 액정이 충진되어 있다. 특히, 박막트랜지스터 어레이 기판에 배열되며 단위화소를 구동하는 박막트랜지스터는 근본이 반도체 공정을 통하여 형성되므로 고 순도의 청정 환경속에서 형성되어야하므로 액정표시장치 제조공정에서 주위 환경은 제품의 품질 및 수율에 지대한 영향을 미치고 있다.

따라서 액정표시장치의 제조공정은 고 청정도가 유지된 클린룸(Crean Room)내에서 이루어진다. 상기 클린룸 내에는 기류가 형성되어 내부에서 발생하는 먼지 등의 이물질을 제거하도록 되어 있다. 특히 고청정 클린룸에서 기류의 흐름은 수직 층류(Down Stream Laminar Flow)가 기본으로 되어 있으며 편류 또는 와류는 최소한 억제하여야 한다.

도 1은 상기 클린룸의 내부구조를 개략적으로 나타낸 것으로, 생산라 인(1)에는 액정표시장치를 생산하기 위한 제조장비(2)들이 구비되고, 생산라인(1)의 천정에는 다수개의 팬 필터 유니트(3)가 설치되며, 생산라인(1)의 바닥에는 다수의 홀로 구성되는 격자세공(Grating)(4)이 설치되어있다.

상기 생산라인의 천정에 형성되는 팬 필터 유니트(3)를 통과하여 필터링된 공기가 생산라인(1)으로 공급되어 수직기류를 형성하게 되고, 이 수직기류에 의해 생산라인(1)에서 발생한 이물질들이 그레이팅(4)을 통해 배출되어 제거됨으로써 생산라인(1)내의 고청정도를 유지하게 된다. 또한 그레이팅(4)을 통해 배출된 공기는 팬 필터 유니트(3)에 의해 다시 천정 위로 이동하여 팬 필터 유니트(3)를 통해 재순환됨으로써 클린룸 내의 고청정도를 유지하게 된다.

그런데 액정표시장치의 생산라인에는 기판에 박막을 형성하기 위한 각종 챔버, 상기 기판을 반송하기 위한 반송장치 및 기판에 실(seal)등을 인쇄하는 인쇄기등의 장비가 배열되어 있고 각 장비들은 설치 영역의 외곽으로 장비를 보호하고 작업자들로부터 발생하는 이물등으로부터 장비를 보호하기 위한 장비 커버가 구비되어 있다. 상기 장비 커버는 각 장비를 보호하기 위하여 일정한 높이로 장비를 에워싸고 있다.

그러나 상기 장비 커버는 생산라인의 천정으로부터 일정한 거리로 이격되어 있어, 천정에 설치된 팬 필터 유니트(3)로부터 커버 외부에 형성되는 수직기류가 발생할 때 이 수직기류가 장비 커버를 넘어 와류형태로 장비에 영향을 주어 장비 커버내의 장비에 완전한 수직기류만을 공급하지 못하는 경우가 발생한다. 특히, 장 비 커버의 외곽으로는 작업자들이 이동하는 이동로인데, 이 이동로에는 이물발생이 특히 심하며 상기 이동로에서 발생하는 이물이 장비에 영향을 주는 것을 방지할 필요가 있다.

본 발명은 상기한 바와 같이, 액정표시장치를 생산하는 생산라인에 있어서, 와류의 발생으로 인하여 생산라인의 통로등에서 발생하는 이물이 장비에 영향을 주지않는 장비 커버를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 상기 장비커버를 접이식 또는 슬라이드 방식으로 구성하여 용이하게 생산라인에 설치할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 액정표시장치 제조용 장비 보호용 커버는 액정표시장치 제조용 장비; 상기 장비의 외곽에 형성되며 상기 장비가 장치되는 클린룸의 천정에 접하는 다수의 파티션; 상기 파티션 결합하는 채결구; 상기 장비에 수직 기류를 형성하는 팬 필터 유니트; 상기 팬 필터 유니트로부터 분사되는 기류를 흡입하는 그레이팅을 구비하는 것을 특징으로 한다.

액정표시장치는 박막트랜지스터가 매트릭스 배열을 하는 박막트랜지스터 어레이 기판과 이에 대향하는 컬러필터 기판과 상기 박막트랜지스터 어레이 기판 및 컬러필터 기판사이에 형성되는 셀 갭에 충진되는 액정을 포함하여 구성되는 액정표시패널이 중요한 구성요소를 이룬다.

그 중에서도 단위화소를 구동하기 위한 스위칭 소자로써 박막트랜지스터가 배열된 박막트랜지스터 어레이 기판은 그 제조공정이 반도체 제조공정을 기반으로 하고 있어 고 청정도가 유기된 상태에서 진행되어야 한다.

그러므로 박막트랜지터의 제조공정이 진행되는 생산라인은 전체로 이물발생이 극도로 제어된 클린룸 상태이다. 그런데 상기 클린룸의 생산라인에 배치되어 있는 액정표시장치 제조 장비 즉, 각종 챔버, 실 인쇄기 및 세정장비등은 상기 액정표시장치 제조 장비들을 다른 설비들과 구분하고 외부의 이물로부터 보호하기 위한 장비 보호 커버에 의해 보호되어 있지만 종래의 장비 보호 커버는 고 청정도의 수직기류가 발생하는 천정과 일정거리 이격되어 있어 장비 보호 커버 외측으로부터 장비쪽으로 와류가 유입되어 불량 발생의 원인이 되었다.

그러므로 본 발명은 상기 장비 보호 커버의 구조를 클린룸의 천정에 접하도록 구성하고 상기 장비 보호 커버를 이루는 다수의 파티션을 접이 방식 또는 슬라이드 방식으로 구성하여 외부에서 상기 장비 및 장비 커버를 클린룸으로 인입할 때 용이하도록 구성한다.

또한, 상기 장비 커버가 클린룸의 천정에 접할 때 미세하게 조절이 가능하도록 상기 장비 커버의 에지를 높이 조절이 가능하도록 나사선 및 홀을 구비한 높이조절부로 구성한다.

이하 도 3을 참조하여 본 발명의 액정표시장치 제조 장비 보호 커버에 대해서 상세히 설명한다.

도 3은 본 발명에 의한 액정표시소자 제조장비가 설치된 클린룸의 일부를 도시한 것으로 고 청정도의 공기를 수직 분사하는 팬 필터 유니트(3)가 설치된 천정(20)과, 상기 전정으로부터 분출되는 공기를 흡입하며 클린룸 내에 포함된 이물을 배출하는 그레이팅(미도시)이 설치되는 바닥(30)과, 상기 바닥(30)에 설치되는 액정표시장치 제조 장비(2)와, 상기 제조 장비의 외곽에 설치되며 천정(20)에 접하는 장비 커버(10)를 포함하여 구성된다.

특히, 상기 장비 커버(10)는 작업자들이 통행하는 통로와 장비를 분리하며 장비의 설치영역을 구획한다. 또한, 상기 장비 커버(10)에는 기판이 인입될 수 있는 도어(미도시)가 더 설치되며 이 도어를 통해 기판이 장비에 로딩 및 언로딩된다.

상기 클린룸의 통풍 및 정화 과정을 살펴보면, 액정표시장치 형성용 장비가 설치된 클린룸의 천정에서 수직으로 고 청정의 공기가 분사되면 분사된 공기는 클린룸의 바닥에 설치되는 그레이팅에 의해 흡입되면서 클린룸에 분포하는 이물을 외부로 배출한다. 또한 배출되는 상기 공기는 송풍기(미도시)에 의해 송풍되어 다시 정화되고 클린룸 상부로 순환하여 다시 클린룸 천정의 팬 필터 유니트(3)를 통하여 클린룸 내로 분사된다.

이때, 본 발명의 장비 커버는 클린룸의 천정에 접하도록 구성됨으로 통로측에서 발생할 수 있는 수직기류의 와류가 장비측으로 흐르는 것을 근본적으로 차단할 수 있다. 또한, 상기 장비 보호 커버의 내부에는 수직 기류가 상기 커버에 의해 가이드 되어 수직기류의 흐름을 더욱 양호하게 할 수 있다.

와류의 발생은 통로측에서 발생한 이물질이 장비쪽으로 인입된다는 것을 의미하므로 와류의 차단은 액정표시소자 제조공정에서 발생할 수 있는 불량을 줄이는 데 매우 중요하다.

한편, 도 4는 본 발명의 장비 커버(10)가 액정표시장치 제조용 장비를 포함하며 클린룸의 천정에 접하여 형성되는 모습의 사시도로써, 본 발명의 장비 보호 커버는 사각형의 박스 형상을 하며 상기 장비 보호 커버의 각 파티션은 상부 파티션(10b)와 하부 파티션(10a)으로 구성되며 상기 상부 파티션(10b)와 하부 파티션(10b)은 경첩등의 결합수단에 의해 체결되어 있다. 또한, 상기 장비 커버(10)는 접이식으로 구성되어 접힐 수 있게 구성된다.

상기 장비 커버를 접이식으로 구성하는 것은 장비를 클린룸에 장치하기 전에 클린룸의 외부에서 장비와 상기 장비 보호 커버는 일체로 구성되고, 일체로 구성된 장비 및 장비 보호 커버가 클린룸 내로 옮겨져 설치되는데, 장비 커버가 접이식이 아닌 직립형으로 구성되면 너무 커 장비와 장비 커버를 클린룸으로 인입하는데 애로가 있기 때문이다.

또한, 상기 장비 커버의 하부 파티션(10a)도 접이식으로 구성되어 펼쳐질 수 있게 구성되며 펼친 후, 장비를 상기 장비 커버의 중앙에 안착시키고 장비 커버를 서로 결합하여 장비의 외관을 에워 쌀 수 있게 만든다.

그 다음, 장비 커버에 의해 보호되는 장비를 클린룸으로 인입하고 소정의 위치에 설치한다. 이때 접이식으로 구성되는 상부 파티션(10b)을 채결하여 천정과 접하게 하고 장비의 셋팅을 완성한다.

도 5는 접이식으로 구성되는 장비 커버(10)가 결합되는 모습을 나타내는 사시도이다. 즉, 상기에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 장비 커버(10)는 장비를 포 함한 채, 클린룸 내로 인입되어 장치되고 그 후, 상부 장비 커버(10)를 도 5에 도시된 바와 같이 채결하여 클린룸의 천정과 접하게 한다.

도 5에 도시된 장비 커버는 2단의 접이식으로 구성되는 경우를 도시하였으나, 본 발명의 장비 커버는 2단으로 접히는 장비 커버에 국한하지 않는다.

즉, 도 6에 도시된 바와 같이, 본 장비 커버의 각 파티션은 하측의 제 1단 파티션(10a)과 상단에 설치되는 제 2 단의 파티션(10b)과 그 상단의 3단 장비 커버(10c)로 구성될 수 있다.

또한, 본 발명의 장비 커버는 접이식에 제한되지 않으며 도 7에 도시된 바와 같이, 슬라이드 방식으로 구성될 수 있다.

즉,도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 장비 커버의 일측면을 구성하는 파티션은 상 하로 구분되는 슬라이드 장비 커버로 구성하여 장비와 장비 커버가 클린룸에 장치된 후, 상부 커버를 슬라이딩하여 채결한다. 이때 상부 커버와 하부 커버를 채결하는 수단으로는 상부 커버의 하단에 후크를 설치하여 슬리이딩 후, 하부 기판에 결합시킬 수 있다.

하부 장비 커버에는 상부 커버가 슬라이딩될 수 있도록 양측으로 가이드 레일(미도시)을 더 구비할 수 있다.

한편, 클린룸과 이에 장치되는 장비 커버의 크기가 일치하지 않는 경우가 발생할 수 있는데, 이때 클린룸의 천정과 장비 커버를 접하는게 하는 문제를 해결할 필요가 있다.

본 발명은 상기 문제를 해결하기 위하여 클린룸의 천정과 장비 커버가 접하 는 장비 커버의 에지부를 높이 조절이 가능하도록 구성한다.

도 8a~8b를 통하여 본 발명의 장비 커버 에지부의 구조를 상세히 살펴본다.

도 8a 및 도 8b에 도시된 바와같이, 장비 커버의 에지부는 높이 조절부(81)가 삽입될 수 있는 홈을 구비하는 장비 커버(10)와 상기 홈에 삽입되는 높이 조절부(81)과 상기 높이 조절부와 상기 장비 커버를 결합시키는 나사선(82)으로 구성된다. 상기 높이 조절부(81)는 평평한 패널로 구성되며 상기 높이조절부(81)의 하단에는 장비 커버와 결합하기 위한 채결홈(83)이 형성되어 있다. 상기 상기 채결홈(83)은 세로방향이 길게 형성되어 나사선에 의해 장비 커버와 결합할 때 이동 마진을 가지도록 구성된다. 이렇게 구성됨으로써 클린룸에 장비 커버를 설치 했을때 나타나는 클린룸의 천정과 장비 커버의 갭을 상기 높이 조절부(81)가 높이 조절되어 장비 커버가 클린룸의 천정과 접할 수 있게 구성한다.

본 발명은 상기와 같이 클린룸에 설치되는 장비를 와류로부터 보호하기 위하여 장비 커버를 클린룸의 천정과 접하도록 구성함으로써 장비 커버 외측에서 발생할 수 있는 와류에 의해 이물이 액정표시장치 제조 장비내로 인입되는 것을 방지할 수 있으며 이물에 의해 액정표시패널이 단선 또는 단락되는 불량을 줄일 수 있다.

Claims (8)

1. 액정표시장치 제조용 장비;

   상기 장비의 외곽에 형성되며 상기 장비가 장치되는 클린룸의 천정에 접하는다수의 파티션;

   상기 파티션을 결합하는 채결구;

   상기 장비에 수직기류를 형성하는 팬 필터 유니트;

   상기 팬 필터 유니트로부터 분사되는 기류를 흡입하는 그레이팅을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 장비 보호커버.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 파티션은 다수의 서버 파티션으로 구분되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 장비 보호 커버.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 장비 보호 커버는 클린룸의 천정과 접하는 에지부가 높이조절부로 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 장비 보호 커버.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 에지부는 상기 높이 조절부가 채결될 수 있게 체결홈을 구비하며 상기 높이 조절부의 일측에는 상기 장비 보호 커버와 결합되는 체결홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 장비 보호 커버.
5. 제 4항에 있어서, 상기 채결홈은 상기 높이조절부가 상하로 높이 조절이 가능하도록 잉여공간을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 장비 보호 커버.
6. 제 2 항에 있어서, 상기 파티션은 접이 방식으로 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 장비 보호 커버.
7. 제 2 항에 있어서, 상기 파티션은 슬라이드 방식으로 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 장비 보호 커버.
8. 제 7항에 있어서, 상기 슬라이드 방식의 파티션은 후크에 의해 상부 파티션과 하부 파티션이 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 장비 보호 커버.

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