KR100936861B1 - 광간섭법을 이용한 측정결과의 향상방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 일정부분의 참조광과 물체광의 광 감도를 일치시켜 측정결과의 품질향상을 기대할 수 있도록 한 광간섭법을 이용한 측정결과의 향상방법에 관한 것이다.

이를 위하여, 본 발명은 광간섭계로부터 참조광과 물체광을 각각 입사받아 CCD카메라를 통해 이미지화하는 단계와, 이미지화 단계에서 얻어진 참조광 이미지와 물체광 이미지의 일정부분의 광 감도를 비교하는 단계와, 광 감도 비교단계에서 기 설정된 기준치 범위인 경우 광간섭법을 이용한 측정을 개시하고, 기 설정된 기준치 범위를 벗어난 경우 상기 광간섭계를 조절하여 참조광과 물체광을 각각 재측정하여 반복수행하는 것을 특징으로 한다.

상기의 기술적 구성에 따르면, 참조광과 물체광의 이미지를 각각 획득하여 일정부분에 대하여 광 감도를 비교 판단함으로써 참조광과 물체광의 광 감도가 일치하는 경우 광간섭법을 이용한 측정을 개시함으로써 측정자의 주관을 배제하고, 그 결과 측정결과의 품질향상을 기대할 수 있게 된다.

광간섭계, 물체광, 참조광, 측정결과 향상

Description

광간섭법을 이용한 측정결과의 향상방법{A MEASURING METHOD OF OPTICAL INTERFERENCE}

본 발명은 광간섭법을 이용한 측정결과의 향상방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 일정부분의 참조광과 물체광의 광 감도를 일치시켜 측정결과의 품질향상을 기대할 수 있도록 한 광간섭법을 이용한 측정결과의 향상방법에 관한 것이다.

일반적으로 광간섭법을 이용한 측정에 있어서, 물체 표면에 대한 정보는 광학간섭계를 통해 CCD카메라로 입사되고, CCD카메라에 의해 디지털신호로 변환되어 이미지 정보로 디스플레이된다.

이때, 측정자는 물체광의 정보를 차단한 상태에서 참조광의 광 감도를 판단하고, 참조광의 정보를 차단한 상태에서 물체광의 광 감도를 측정한 다음 이를 비교하여 광간섭법을 이용한 측정을 개시하게 된다.

그러나 이와 같은 감도 판단방법은 순전히 측정자의 개인적인 판단에 기초한 결과로, 측정자의 경험에 따라 최종적인 측정결과에 영향을 미칠 수 있다는 문제점이 있었다.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 일정부분의 참조광과 물체광의 광 감도를 일치시켜 광간섭법을 이용한 측정을 개시함으로써 측정자의 주관을 배제하고, 그 결과 측정결과의 품질향상을 기대할 수 있도록 한 광간섭법을 이용한 측정결과의 향상방법을 제공하고자 한다.

본 발명은 광간섭법을 이용한 측정방법에 있어서, 광간섭계로부터 참조광과 물체광을 각각 입사받아 CCD카메라를 통해 이미지화하는 단계와, 이미지화 단계에서 얻어진 참조광 이미지와 물체광 이미지의 일정부분의 광 감도를 비교하는 단계와, 광 감도 비교단계에서 기 설정된 기준치 범위인 경우 광간섭법을 이용한 측정을 개시하고, 기 설정된 기준치 범위를 벗어난 경우 상기 광간섭계를 조절하여 참조광과 물체광을 각각 재측정하여 반복수행하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 참조광과 물체광의 이미지를 각각 획득하여 일정부분에 대하여 광 감도를 비교 판단함으로써 참조광과 물체광의 광 감도가 일치하는 경우 광간섭법을 이용한 측정을 개시함으로써 측정자의 주관을 배제하고, 그 결과 측정결과의 품질향상을 기대할 수 있다는 효과가 있다.

이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명 한다.

먼저, 광간섭계로부터 참조광(Reference beam)과 물체광(Object beam)을 각각 입사받아 CCD카메라를 통해 이미지화한다.

즉, 광간섭계로부터 물체광을 차단한 상태에서 CCD카메라를 통해 참조광의 이미지 정보를 얻고, 반대로 참조광을 차단한 상태에서 CCD카메를 통해 물체광의 이미지 정보를 얻는다.

다음, 이미지화 단계에서 얻어진 참조광 이미지와 물체광 이미지의 일정부분의 광 감도를 비교한다.

즉, 참조광 이미지와 물체광 이미지의 일정부분, 바람직하게는 센터부분의 이미지를 이미지 프로그램상에서 상호 비교하여 광 감도(Intensity)를 비교한다. 이때, 광 감도는 이미지 프로그램상에서 수치화가 가능한 데이터, 일례로 명암도 등으로 표현될 수 있다.

다음, 광 감도 비교단계에서 기 설정된 기준치 범위인 경우 광간섭법을 이용한 측정을 개시하고, 기 설정된 기준치 범위를 벗어난 경우 광간섭계를 조절하여 참조광과 물체광을 각각 재측정하여 전술한 단계를 반복수행한다.

즉, 기 설정된 기준치 범위는 광 감도의 대비가 육안으로 식별 곤란할 정도의 데이터 값으로 설정할 수 있다. 이에 따라, 광 감도에 대한 측정자의 개인적인 판단을 배제할 수 있게 된다.

도 1은 본 발명에 따른 광간섭법을 이용한 측정결과의 향상방법에 대한 순서도이다.

Claims (1)

1. 광간섭계로부터 참조광과 물체광을 각각 입사받아 CCD카메라를 통해 이미지화하는 단계와, 상기 이미지화 단계에서 얻어진 참조광 이미지와 물체광 이미지의 광 감도를 비교하는 단계를 포함하는 광간섭법을 이용한 측정방법에 있어서,

   상기 광 감도 비교단계에서 기 설정된 기준치 범위인 경우 광간섭법을 이용한 측정을 개시하고, 기 설정된 기준치 범위를 벗어난 경우 상기 광간섭계를 조절하여 참조광과 물체광을 각각 재측정하여 상기 광 감도 비교단계를 반복수행하는 것을 특징으로 하는 광간섭법을 이용한 측정결과의 향상방법.

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