KR100935815B1 - Powder eliminator for vacuum line - Google Patents
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Abstract
진동자의 진동이 최대한 진공배관측으로만 전달되도록 함으로써, 다른 구성부품들로 진동이 전달되어 상쇄되거나 이로 인해 고열이 발생되지 않게 할 수 있는 파우더 제거장치가 개시된다. 본 발명에 따른 파우더 제거장치는 진공배관과, 진공배관의 상부면상에 안착되는 진동판과, 진동판의 상부면상에 안착되는 초음파진동자와, 초음파진동자의 무진동부에 체결되는 무진동판과, 무진동판과 진공배관을 묶어주는 클램프를 포함하는 구성을 갖는다. 또한, 초음파진동자를 감싸면서 외주면상에는 외부공기가 유입되는 쿨링포트가 형성되고, 하단이 진동판과 소정의 간격으로 이격되게 배치되는 쿨링커버를 더 포함할 수도 있다. 이때, 클램프는 한쌍의 "U"자 형태로 구비되고, 클램프의 상부에는 고장력볼트가 결합되어 무진동판과 너트결합되며, 클램프의 굴곡면상에는 적어도 하나 이상의 받침핀이 진공배관측으로 돌출됨이 바람직하다.By allowing the vibration of the vibrator to be transmitted only to the vacuum pipe side as much as possible, a powder removing device is disclosed that can transmit vibration to other components to cancel or prevent high heat from occurring. The powder removing device according to the present invention includes a vacuum pipe, a vibration plate seated on the upper surface of the vacuum pipe, an ultrasonic vibrator seated on the upper surface of the vibration plate, a vibration free plate fastened to the vibration-free part of the ultrasonic vibrator, a vibration free plate and a vacuum. It has a configuration including a clamp for tying the pipe. In addition, a cooling port is formed on the outer circumferential surface while surrounding the ultrasonic vibrator, and a cooling cover having a lower end spaced apart from the diaphragm at a predetermined interval may be further included. At this time, the clamp is provided in a pair of "U" shape, the high tension bolt is coupled to the upper portion of the clamp is coupled to the non-vibration plate and nut, at least one support pin is preferably protruded to the vacuum pipe side on the curved surface of the clamp. .
Description
본 발명은 초음파진동자를 이용한 진공배관 라인용 파우더 제거장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 칩이나 LCD패널이 가공되는 진공챔버의 내부에서 발생되는 불활성가스나 미립파티클이 배출되는 진공배관에 설치되어 소정의 진동에너지를 발생시킴으로써, 진공배관의 내부에 부착된 파우더를 탈리시킬 수 있도록 구성된 초음파진동자를 이용한 진공배관 라인용 파우더 제거장치에 관한 것이다.The present invention relates to a powder removal device for a vacuum pipe line using an ultrasonic vibrator, and more particularly, to a vacuum pipe for discharging inert gas or fine particles generated inside a vacuum chamber in which a semiconductor chip or an LCD panel is processed. The present invention relates to a powder removal device for a vacuum pipe line using an ultrasonic vibrator configured to detach a powder attached to an inside of a vacuum pipe by generating a predetermined vibration energy.
일반적으로 반도체칩이나 LCD패널이 가공되는 진공챔버내에서 발생되는 폐가스를 처리하기 위해 상기 진공챔버의 일측으로 그 내부에서 발생된 폐가스 및 이물질을 배출시키기 위한 진공배출수단이 설치된다.Generally, in order to process waste gas generated in a vacuum chamber in which a semiconductor chip or an LCD panel is processed, a vacuum discharge means for discharging waste gas and foreign substances generated therein is installed at one side of the vacuum chamber.
즉, 상기 진공배출수단은 일정길이의 진공배관과, 이 진공배관의 중간부에 연결되어 상기 진공챔버로부터 폐가스 및 이온을 배출시키고 공정에 필요한 일정한 진공압을 발생시키기 위한 진공펌프와, 폐가스의 배출전 폐가스의 유독성분을 정화시키기 위해 진공배관에 연결 설치된 가스세정기 및 집진기 등으로 구성되어 진공배관 내측의 이물질 제거 및 억제하는 장치이다.That is, the vacuum discharge means is a vacuum pipe of a predetermined length, a vacuum pump connected to the middle portion of the vacuum pipe to discharge the waste gas and ions from the vacuum chamber and to generate a constant vacuum pressure required for the process, discharge of the waste gas It is composed of a gas cleaner and a dust collector connected to the vacuum pipe to purify the toxic substances of all the waste gas and removes and suppresses foreign substances inside the vacuum pipe.
일예로, 반도체 칩의 양산공정에 실란(SiH4), 아르신(AsH3), 포스핀(PH3) 등의 유해가스가 사용되는데, 이와 같은 가스들은 발화성 및 독성이 있으므로 사용이 끝난 폐가스는 상기의 진공배출수단 즉, 일정한 직경의 진공배관을 통과하여 외부로 배출하게 되는데, 상기 폐가스에는 소정의 수분과 칩가공시 발생된 미립자들이 함께 포함되어 있다.For example, toxic gases such as silane (SiH4), arsine (AsH3), and phosphine (PH3) are used in the mass production process of the semiconductor chip, and since these gases are ignitable and toxic, the used waste gas is vacuum Discharge means, that is, discharged to the outside through a vacuum pipe of a constant diameter, the waste gas contains a predetermined moisture and the particles generated during chip processing together.
즉, 반도체 칩이나 LCD패널을 가공하는 진공챔버에서 사용된 폐가스를 열산화시켜 정화시키는데, 이 과정에서 SiO2와 같은 고형미립자가 생성된다.That is, the waste gas used in the vacuum chamber for processing a semiconductor chip or LCD panel is thermally oxidized and purified, and solid particles such as SiO 2 are generated in this process.
이와 같은 열산화처리과정에서 SiO2파우더와 같은 고형미립자가 생성되며, 생성된 SiO2파우더는 함께 생성된 소정의 수분과 함께 진공배관을 따라 배출구로 배출되는 과정에서 진공배관의 내측에 달라붙게 되며, 특히 이동중에 진공배관 내부와의 대전현상(박리대전, 유동대전, 마찰대전, 혼합대전 등)에 의해 전기적인 성질을 가진 파우더가 진공배관의 내면에 달라붙어 고착되는 현상이 발생된다(도 1참조).In the thermal oxidation process, solid particles such as SiO 2 powder are generated, and the produced SiO 2 powder is attached to the inside of the vacuum pipe in the process of being discharged to the outlet along the vacuum pipe together with the generated moisture. During the movement, a phenomenon in which the powder having electrical properties adheres to the inner surface of the vacuum pipe and adheres due to the charging phenomenon (peeling charge, flow charge, friction charge, mixed charge, etc.) with the inside of the vacuum pipe (see FIG. 1). .
결국, 일정기간 제품을 생산후에 진공배관을 떼어내어 살펴보면, 도 2에서 보는 바와 같이 진공배관의 내부가 이물질이 적층되어 고착된 파우더에 의해 이동통로가 좁아지는 현상이 발생되고, 통로가 좁아짐으로써 진공챔버 내부의 폐가스 배출성능이 저하되어 미세한 반도체 가공시 불량률을 높이는 결과를 초래하게 된다.As a result, when the vacuum pipe is removed after the production of the product for a certain period of time, as shown in FIG. 2, as shown in FIG. 2, foreign matters are stacked and the moving path is narrowed due to the powder adhered to the inside of the vacuum pipe. Waste gas discharge performance inside the chamber is reduced, resulting in an increase in defect rate during the processing of fine semiconductors.
따라서 종래의 경우 진공배관 내부에 쌓이는 파우더의 제거를 위해 주기적으로 진공배관의 교체작업이나 진공배관 내부의 세정작업을 실시하여야 했었다.Therefore, in the conventional case, in order to remove powder accumulated in the vacuum pipe, the vacuum pipe replacement or cleaning work inside the vacuum pipe had to be performed periodically.
따라서 이러한 진공배관의 교체나 세정작업을 하기 위해 제품의 생산공정을 일시 멈춰야 하기 때문에 라인의 유효가동율을 저하시키게 되고, 이로 인해 제품의 생산성 저하로 제작사의 막대한 경제적 손실을 초래하였으며, 진공배관 라인의 유지보수에도 막대한 비용이 소요되는 문제점이 있었다.Therefore, in order to replace or clean the vacuum pipe, the production process of the product has to be paused, which lowers the effective utilization rate of the line. As a result, the productivity of the product decreases, leading to enormous economic loss of the manufacturer. There was also a problem that costs a huge amount of maintenance.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 대한민국 실용신안등록 제432208호(고안의 명칭 : 진공배관 라인용 파우더 제거 및 흡착억제장치)가 개시된바 있다(2006. 11. 30. 공고).In order to solve the above problems, Republic of Korea Utility Model Registration No. 432208 (name of the design: powder removal and adsorption suppression device for vacuum pipe line) has been disclosed (August 30, 2006).
상기 파우더 제거 및 흡착억제장치를 간략하게 살펴보면,Looking briefly at the powder removal and adsorption inhibitor,
도 3에서 보는 바와 같이 반도체칩이나 LCD패널이 가공되는 진공챔버(10)에서 배기구(20) 사이에 설치된 진공배관(12)의 외측에 결합되는 진동판(53)과, 상기 진동판(53)을 통해 진공배관(12)으로 일정한 진동을 전달하도록 진동판(53)의 상면에 결합되어 진동을 발생하는 초음파진동자(51)와, 상기 초음파진동자(51)에서 일정한 진동을 발생시킬 수 있도록 초음파진동자(51)와 전기적으로 연결되어 소정의 전원을 공급하는 초음파진동 발진 및 제어수단(50)과; 상기 초음파진동 발진 및 제어수단(50)에 전기적으로 연결되어 소정량의 이온을 발생 상기 초음파진동자(51)가 결합된 진공배관(12)에 공급하도록 진공배관(12)에 연결 설치되는 이온공급수단(30);을 포함하는 구성을 갖는다.As shown in FIG. 3, the
이러한 종래의 파우더 제거 및 흡착억제장치는 진공배관 내부에서 쌓이는 파우더의 적층을 미연에 방지하고 이의 양생을 억제시킬 수 있도록 하여 진공배관의 교체주기 뿐만 아니라 진공배관의 세정주기를 연장하여 진공배관의 유지보수비용의 손실을 줄이고, 제품 생산라인의 가동효율을 더욱 높일 수 있도록 할 수 있다.The conventional powder removal and adsorption suppression device prevents the stacking of powder accumulated in the vacuum pipe in advance and suppresses the curing thereof, thereby extending the cleaning cycle of the vacuum pipe as well as maintaining the vacuum pipe by extending the cleaning cycle of the vacuum pipe. It can reduce the cost of repair and increase the operating efficiency of the production line.
또한, 종래의 파우더 제거 및 흡착억제장치는 간단한 구성으로 이루어져 기존의 진공배관 라인의 외측에 간단히 설치 가능하도록 하여 장치의 설치 및 이동편리성을 향상시킴은 물론 진공배관을 따라 이동중인 파우더의 대전현상 방지와 수분에 따른 고착방지를 효율적으로 수행하여 폐가스의 배출이 원활하도록 할 수 있다.In addition, the conventional powder removal and adsorption suppression device is made of a simple configuration to enable easy installation on the outside of the existing vacuum pipe line to improve the installation and movement convenience of the device as well as the charging phenomenon of the powder moving along the vacuum pipe Prevention and seizure prevention due to moisture can be efficiently performed to facilitate the discharge of waste gas.
그러나 상기와 같은 종래의 파우더 제거 및 흡착억제장치는 진동전달의 상쇄현상 및 초음파 진동에 따른 고열발생과 같은 문제점이 있어왔다.However, the conventional powder removal and adsorption suppression apparatus as described above has problems such as high heat generation due to the offset phenomenon of vibration transmission and ultrasonic vibration.
즉, 진동자에 의해 진동판이 울리면서 이 진동판의 떨림이 진공배관으로 전달되어 진공배관내의 파우더가 떨어져 나가게 되야 되는데, 진동판을 진공배관에 결합시키고 있는 "U"자 형상의 볼트가 진동판의 떨림을 억제하고 있어 진공배관의 떨림이 덜하게 되는 문제점이 있고, 또한, 진공배관의 떨림이 "U"자 형상의 볼트에 의해 진동이 전달되다가 볼트에 의해 상쇄되기도 하는 문제가 있었다.That is, the vibration of the diaphragm causes the vibration of the diaphragm to be transmitted to the vacuum pipe, so that the powder in the vacuum pipe should fall off. The "U" shaped bolt that couples the diaphragm to the vacuum pipe suppresses vibration of the diaphragm. There is a problem in that the vibration of the vacuum pipe is less, and the vibration of the vacuum pipe is canceled by the bolt while the vibration is transmitted by the "U" shaped bolt.
또한, 진동판이 심하게 진동되므로 이 진동판에 결합되어 있는 "U"자형상 볼트 및 체결된 너트들이 풀어지는 문제점도 발생되었다.In addition, since the vibrating plate vibrates violently, a problem arises in that the "U" -shaped bolt and the fastening nut coupled to the diaphragm are loosened.
또한, 진동판, 볼트 및 진공배관의 진동 마찰에 의해 진동자와 진동판에 고열(370℃ 이상)이 발생되어 고장의 원인이 되기도 하며, 부주의 하여 화상을 입게 되는 경우도 발생되었다.In addition, high heat (more than 370 ° C.) is generated in the vibrator and the vibrating plate by vibrating friction of the diaphragm, the bolt, and the vacuum pipe, which may cause a breakdown, and inadvertently burns.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 진동자의 진동이 최대한 진공배관측으로만 전달되도록 함으로써, 다른 구성부품들로 진동이 전달되어 상쇄되거나 이로 인해 고열이 발생되지 않게 할 수 있는 초음파진동자를 이용한 진공배관용 파우더 제거장치를 제공하는데 있다.The present invention has been made to solve the above problems, by allowing the vibration of the vibrator to be transmitted only to the vacuum pipe side as much as possible, by transmitting the vibration to the other components to prevent the offset or high heat generated by this The present invention provides a powder removing device for a vacuum pipe using a vibrator.
상기와 같은 과제를 해결하기 위해 본 발명은,The present invention to solve the above problems,
진공배관;Vacuum piping;
진공배관의 상부면상에 안착되는 진동판;A diaphragm seated on the upper surface of the vacuum pipe;
진동판의 상부면상에 안착되는 초음파진동자;An ultrasonic vibrator seated on the upper surface of the diaphragm;
초음파진동자의 무진동부에 체결되는 무진동판; 및Vibration-free plate fastened to the vibration-free portion of the ultrasonic vibrator; And
무진동판과 진공배관을 묶어주는 클램프;를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파진동자를 이용한 진공배관 라인용 파우더 제거장치를 제공한다.Provides a powder removal device for a vacuum pipe line using an ultrasonic vibrator, characterized in that it comprises a; clamp to tie the vibration-free plate and the vacuum pipe.
또한, 초음파진동자를 감싸면서 외주면상에는 외부공기가 유입되는 쿨링포트가 형성되고, 하단이 진동판과 소정의 간격으로 이격되게 배치되는 쿨링커버를 더 포함할 수 있다.In addition, a cooling port is formed on the outer circumferential surface while surrounding the ultrasonic vibrator, and a cooling cover having a lower end spaced apart from the diaphragm at a predetermined interval may be further included.
이때, 클램프는 한쌍의 "U"자 형태로 구비되고, 클램프의 상부에는 고장력볼트가 결합되어 무진동판과 너트결합되며, 클램프의 굴곡면상에는 적어도 하나 이상의 받침핀이 진공배관측으로 돌출되며, 받침핀은 뾰족하게 형성됨이 바람직하다.At this time, the clamp is provided in a pair of "U" shape, the high tension bolt is coupled to the upper portion of the clamp coupled to the vibration-free plate and the nut, at least one support pin protrudes to the vacuum pipe side on the curved surface of the clamp, the support pin Is preferably formed sharp.
전술한 바와 같이 본 발명에 따른 파우더 제거장치는 초음파를 이용하여 지공배관내의 파우더를 쉽게 탈리시킬 수 있는 잇점이 있다.As described above, the powder removing apparatus according to the present invention has an advantage of easily detaching powder in a ground pipe using ultrasonic waves.
또한, 본 발명은 초음파진동자의 진동전달이 최대한 진공배관측으로 전달되도록 설계되어 효율이 높은 장점이 있다.In addition, the present invention has an advantage that the efficiency of the vibration transmission of the ultrasonic vibrator is designed to be transmitted to the vacuum pipe side as much as possible.
또한, 본 발명은 초음파진동자에 의해 발생되는 고열을 쿨링커버에서 냉각시켜주어 기기의 고장을 방지할 수 있으며 수명을 연장시킬 수 있는 장점이 있다.In addition, the present invention by cooling the high heat generated by the ultrasonic vibrator in the cooling cover can prevent the failure of the device and has the advantage of extending the life.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 초음파진동자를 이용한 진공배관 라인용 파우더 제거장치를 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a powder removal apparatus for a vacuum pipe line using an ultrasonic vibrator according to a preferred embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명에 따른 파우더 제거장치를 나타낸 분해사시도이고, 도 5는 본 발명에 따른 파우더 제거장치를 나타낸 결합사시도이며, 그리고 도 6은 본 발명에 따른 파우더 제거장치를 종방향으로 절단하여 내부를 보인 단면도이다.Figure 4 is an exploded perspective view showing a powder removing device according to the present invention, Figure 5 is a combined perspective view showing a powder removing device according to the present invention, and Figure 6 is a longitudinal cut inside the powder removing device according to the present invention It is a cross-sectional view.
도 4 내지 도 6을 참고하면, 본 발명에 따른 파우더 제거장치(100)는 진공배관(12)의 상부면상에 안착되는 진동판(110), 상기 진동판(110)의 상부에 안착되는 초음파진동자(120), 상기 초음파진동자(120)를 감싸는 쿨링커버(130), 상기 쿨링커버(130)의 외측에 장착되어 상기 초음파진동자(120)에 체결되는 무진동판(140), 상기 무진동판(140)에 결합되는 결합판(150) 및 결합판(150)과 진공배관(12)을 묶어주는 클램프(160)를 포함하는 구성을 갖는다.4 to 6, the
먼저, 진동판(110)은 사각판 형상을 갖는 것으로, 진공배관(12)의 상부측을 감싸면서 안착되도록 하부면상이 진공배관(12)의 둥그런 외주면상에 대응되도록 호 형상을 갖도록 형성됨이 바람직하다. 이러한 진동판(110)의 중앙부에는 초음파진동자(120)가 안착되어 결합되기 위한 장착공(111)이 형성된다.First, the
초음파진동자(120)는 종래기술에서도 제시한 바와 같이 외부의 초음파 발진기(도시되지 않음)에서 인가되어 초음파를 발생시키는 통상적인 진동자이다. 이러한 초음파진동자(120)의 하부면상에는 암나사가 형성되어 있으며, 이 암나사와 진동판(110)에 형성된 장착공(111)을 일치시켜 장착공(111)의 하부에서 볼트(B1)를 끼워 진동판(110)과 초음파진동자(120)를 일체화 되도록 결합시킨다.The
쿨링커버(130)는 하부가 개방된 형상을 갖는 것으로, 쿨링커버(130)의 상부면상에는 초음파진동자(120)로 인가되는 케이블(C)이 관통되고, 쿨링커버(130)의 외주면상에는 내부로 연통되는 쿨링포트(131)가 형성된다. 쿨링포트(131)는 외부의 콤푸레셔나 냉각기 등에서 공급되는 차가운 바람을 쿨링커버(130)의 내부로 공급해주어 초음파진동자(120)에서 발생되는 고열을 공랭식으로 식혀주게 된다. 이렇게 형성된 쿨링커버(130)는 초음파진동자(120)를 감싸도록 덮되, 진동판(110)과 소정의 간격으로 이격되도록 띄워진 상태로 배치된다.The
무진동판(140)은 쿨링커버(130)의 외주면상에 링 형상으로 장착되는 것으로, 이 무진동판(140)은 다수의 볼트(B2)들이 쿨링커버(130)를 관통하여 초음파진동자(120)에 체결되는 구성을 갖는다. 이때, 다수의 볼트(B2)들은 초음파진동자(120)의 무진동부에 체결됨이 바람직하다. 즉, 초음파진동자(120)에는 압전세라믹소자에 의해 진동이 발생되는 진동부와 진동이 발생되지 않는 무진동부가 존재하게 되는 데, 이 무진동부에 다수의 볼트(B2)가 체결되는 것이다.The vibration-
결합판(150)은 무진동판(140)의 하부면상에 결합되는 것으로, 방형의 플레이트 형상을 가지며, 다수의 볼트(B3)에 의해 무진동판(140)과 체결되어 결합된다.The
클램프(160)는 결합판(150)의 양단부와 진공배관(12)을 묶어주기 위한 수단으로, 진공배관(12)을 감싸도록 "U"자 형상을 갖는 한쌍이 구비되고, 각각의 클램프(160)의 상부면상에는 결합판(150)측으로 연장되어 너트(N1)에 의해 체결되는 고장력볼트(165)가 결합된다.
이때, 클램프(160)의 굴곡면상에는 적어도 하나 이상의 받침핀(161)이 구비된다. 받침핀(161)은 클램프(160)와 진공배관(12)이 서로 밀착되게 하지 못하도록 떨어뜨려 놓기 위한 수단으로 클램프(160)의 정중앙에 하나가 구비될 수 있다. 또는, 클램프(160)의 정중앙에서 양쪽 45ㅀ로 하나씩 두개가 구비될 수도 있다. 또는, 클램프의 정중앙과 양옆으로 하나씩 세 개가 구비될 수 있으며, 또는 그 이상이 구비될 수도 있다. 바람직하게는 받침핀(161)의 끝부분은 뾰족하게 형성되어 진공배관(12)과 점접촉되는 것이 좋다. 그리고 받침핀(161)은 클램프(160)에 나사결합 될 수도 있고, 일체형으로 형성될 수도 있으며, 억지 끼워맞춤으로 끼워질 수도 있다.In this case, at least one
한편, 진공배관(12)의 상부면상에는 고장력볼트(165)가 관통되어 너트(N2)에 의해 결합되는 중간결합판(155)이 더 구비될 수 있다. 이 중간결합판(155)은 반드시 필요한 구성품은 아니며 진공배관(12)과 클램프(160)와의 결합력을 증진시키기 위해 마련될 수 있는 것이다.On the other hand, on the upper surface of the
하기에는 전술한 바와 같이 형성된 초음파진동자를 이용한 진공배관 라인용 파우더 제거장치(100)의 작동을 간략하게 설명한다.Hereinafter, the operation of the
초음파진동자(120)가 작동되게 되면 초음파진동자(120)와 맞닿아 있는 진동판(110)이 진동을 받고, 이 진동이 진공배관(12)으로 전달되어 진공배관(12)의 내부에 쌓인 파우더를 탈리시켜준다.When the
이때, 진공배관(12)과 클램프(160)는 받침핀(161)에 의해 점접촉되어 있기 때문에 진공배관(12)의 진동이 클램프(160)쪽으로 거의 전달되지 않고 대부분이 진공배관(12)으로만 전달되어 진동이 강하고 멀리 전달될 수 있게 된다.At this time, since the
또한, 받침핀(161)에 의해 진공배관(12)과 클램프(160)가 밀착되어 있지 않음으로 진공배관(12)의 길이방향으로 전달되던 진동이 중간에 막혀 상쇄되는 현상도 방지할 수 있게 된다.In addition, since the
또한, 위와 같은 작용과 함께 초음파진동자(120)의 무진동부에 볼트(B1)결합되어 있는 무진동판(140) 및 결합판(150)도 클램프(160)와 함께 진동이 거의 없게 되어 너트(N1, N2)들의 풀림현상이나 진동을 받아 마찰에 의해 고열이 발생되는 현상도 방지할 수 있게 된다.In addition, the vibration-
그리고 초음파진동자(120)에서는 마찰에 의해 열이 발생되게 되는데, 이 발생되는 열은 쿨링포트(131)를 통해 유입된 외부의 찬공기에 의해 냉각되어 기기의 수명을 연장시킬 수 있게 된다.In the
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 숙련된 당업자는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described above with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art can be variously modified and changed within the scope of the invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims You will understand.
도 1은 진공배관의 내부에서 파우더가 고착되는 상태를 보여주기 위한 단면도이고,1 is a cross-sectional view showing a state that the powder is fixed in the interior of the vacuum pipe,
도 2는 진공배관의 내부에 파우더가 고착된 상태를 촬영한 사진이고,2 is a photograph of a state in which the powder is fixed to the inside of the vacuum pipe,
도 3은 종래기술에 따른 파우더 제거장치를 개략적으로 나타낸 구성도이며,3 is a schematic view showing a powder removing apparatus according to the prior art,
도 4는 본 발명에 따른 파우더 제거장치를 나타낸 분해사시도이고,Figure 4 is an exploded perspective view showing a powder removing apparatus according to the present invention,
도 5는 본 발명에 따른 파우더 제거장치를 나타낸 결합사시도이며, 그리고5 is a combined perspective view showing a powder removing apparatus according to the present invention, and
도 6은 본 발명에 따른 파우더 제거장치를 종방향으로 절단하여 내부를 보인 단면도이다.6 is a cross-sectional view showing the interior of the powder removal apparatus according to the present invention in the longitudinal direction.
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