KR100929327B1 - Cancellation method of liquid crystal display device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 액정표시장치의 암점화 방법에 대해 개시된다. 개시된 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법은, 기판상에 금속막을 증착하여 게이트 전극 및 게이트 라인을 형성하는 단계와; 상기 게이트 전극 및 게이트 라인이 형성된 기판상에 게이트 절연막을 형성하는 단계와; 상기 게이트 절연막상에 활성층, 오믹컨텍층, 금속막을 순차적으로 형성하고, 마스크를 이용하여 소스-드레인 전극을 형성하는 단계와; 상기 형성된 소스-드레인상에 패시베이션 및 광반응성 유기절연막을 순차적으로 형성하는 단계와; 상기 게이트 라인과 형성될 화소전극과의 오버랩되는 부분에 대응되는 상기 광반응성 유기절연막을 소정 패턴으로 식각하는 단계와; 상기 결과물상에 화소전극을 형성하는 단계를 포함하는 점에 그 특징이 있다.The present invention is directed to a method for igniting a cylinder of a liquid crystal display device. According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a liquid crystal display device, including: forming a gate electrode and a gate line by depositing a metal film on a substrate; Forming a gate insulating film on the substrate on which the gate electrode and the gate line are formed; Sequentially forming an active layer, an ohmic contact layer, and a metal film on the gate insulating film, and forming source and drain electrodes using a mask; Sequentially forming a passivation layer and a photoreactive organic insulating layer on the source-drain layer; Etching the photoreactive organic insulating film corresponding to the overlapping portion of the gate line and the pixel electrode to be formed with a predetermined pattern; And forming a pixel electrode on the resultant structure.
본 발명에 따른 액정표시장치의 암점화 방법은, 게이트라인과 화소전극사이의 오버랩되는 영역에 대해 암점화를 위한 레이저 웰딩을 수행함에 있어, 유기절연막을 제거하여 암점화가 가능하게 할 수 있다.The method for igniting a cylinder of a liquid crystal display device according to the present invention can perform laser welding for arm ignition on an overlapping region between a gate line and a pixel electrode, thereby making it possible to remove the organic insulating film and make it dark.
암점화, 오버랩, 게이트라인, 화소전극Arm ignition, overlap, gate line, pixel electrode
Description
도 1은 종래의 액정 표시 장치용 어레이 기판에 대한 평면도.1 is a plan view of a conventional array substrate for a liquid crystal display;
도 2는 종래에 따른 액정표시장치의 암점화하는 부분을 도시한 도면.Fig. 2 is a view showing a portion of the conventional liquid crystal display device which is ignited by the arm. Fig.
도 3은 종래에 따른 게이트라인과 화소전극의 오버랩 부분에 암점화되어 리페어된 I-I'의 단면을 보여주는 도면.FIG. 3 is a cross-sectional view of a conventional I-I 'that has been repaired by an ignition on an overlapped portion of a gate line and a pixel electrode. FIG.
도 4는 본 발명에 따른 게이트라인과 화소전극의 오버랩되는 부분의 암점화를 도시한 도면.4 is a view showing the ignition of the overlapping portion of the gate line and the pixel electrode according to the present invention.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법을 나타낸 단면도.5A to 5D are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention.
도 6은 본 발명에 따른 게이트라인과 화소 전극의 오버랩되는 부분을 패터닝 한 단면도.FIG. 6 is a cross-sectional view of a portion where an overlapping portion of a gate line and a pixel electrode according to the present invention is patterned. FIG.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>Description of the Related Art
51 --- 기판 52 --- 게이트 라인51 ---
53 --- 게이트 절연막 54 --- 패시베이션53 --- Gate
55 --- 광반응성 유기절연막 56 --- 화소전극55 --- photoreactive organic
본 발명은 액정표시장치의 암점화 방법에 관한 것으로서, 특히 게이트라인과 화소전극사이의 오버랩되는 영역에 대해 암점화를 위한 레이저 웰딩을 수행함에 있어, 유기절연막을 제거하여 암점화가 가능한 액정표시장치의 암점화 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of igniting an arm of a liquid crystal display device, and more particularly, to a method of igniting an arm overlapping region between a gate line and a pixel electrode, And to a method for igniting a cancer.
최근 정보화 사회로 시대가 급발전함에 따라 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 가지는 평판 표시장치(flat panel display)의 필요성이 대두되었는데, 이 중 액정 표시 장치(liquid crystal display)가 해상도, 컬러표시, 화질 등에서 우수하여 노트북이나 데스크탑 모니터에 활발하게 적용되고 있다.Recently, as the information society has developed rapidly, there has been a need for a flat panel display having excellent characteristics such as thinness, light weight, and low power consumption. Among them, a liquid crystal display Color display, and picture quality, and is actively applied to a notebook or desktop monitor.
일반적으로 액정 표시 장치는 전극이 각각 형성되어 있는 두 기판을 두 전극이 형성되어 있는 면이 마주 대하도록 배치하고 두 기판 사이에 액정 물질을 주입한 다음, 두 전극에 전압을 인가하여 생성되는 전기장에 의해 액정 분자를 움직이게함으로써, 이에 따라 달라지는 빛의 투과율에 의해 화상을 표현하는 장치이다.In general, in a liquid crystal display device, two substrates on which electrodes are formed are arranged so that the surfaces on which the two electrodes are formed face each other, a liquid crystal material is injected between the two substrates, and then an electric field And moving the liquid crystal molecules, thereby expressing the image by the transmittance of light depending on the liquid crystal molecules.
상기 액정표시장치(Liquid Crystal Display Device : 'LCD')는 화소 단위를 이루는 액정셀의 형성 공정을 동반하는 패널 상판 및 하판의 제조공정과, 액정 배향을 위한 배향막의 형성 및 러빙(Rubbing) 공정과, 상판 및 하판의 합착 공정과, 합착된 상판 및 하판 사이에 액정을 주입하고 봉지하는 공정 등의 여러 과정을 거쳐 완성되게 된다. The liquid crystal display device (LCD) is manufactured by a process of manufacturing a panel upper plate and a lower plate with a process of forming a liquid crystal cell constituting a pixel unit, a forming process of an alignment film for liquid crystal alignment, a rubbing process, A process of laminating a top plate and a bottom plate, and a process of injecting and sealing the liquid crystal between the top plate and the bottom plate, and the like.
여기에서 하판의 제조공정은 기판 상에 전극 물질, 반도체층 및 절연막의 도 포와 에칭 작업을 통한 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하 'TFT'라 함)부의 형성과 스토리지 캐패시터 및 기타 전극부의 형성 과정을 포함한다. Here, the manufacturing process of the lower plate is a process of forming a thin film transistor (hereinafter, referred to as 'TFT') portion and a forming process of the storage capacitor and the other electrode portion through the etching of the electrode material, the semiconductor layer, .
상기 하판의 화소 전극은 상판의 공통 전극과 함께 액정 캐패시터를 이루는데, 액정 캐패시터(liquid crystalcapacitor)에 인가된 전압은 다음 신호가 들어올 때까지 유지되지 못하고 누설되어 사라진다. 따라서, 인가된 전압을 유지하기 위해 스토리지 캐패시터(storage capacitor)를 액정 캐패시터에 연결해야 한다. The pixel electrode of the lower panel forms a liquid crystal capacitor together with the common electrode of the upper plate. The voltage applied to the liquid crystal capacitor is not retained until the next signal is received, and is leaked and disappeared. Therefore, a storage capacitor must be connected to the liquid crystal capacitor to maintain the applied voltage.
이러한 스토리지 캐패시터는 신호유지 이외에도 계조 표시의 안정, 플리커 감소 및 잔상효과 감소 등의 장점을 가진다.In addition to signal retention, these storage capacitors have advantages such as stable gray scale display, reduced flicker, and reduced afterimage effect.
스토리지 캐패시터는 두 가지 방법으로 형성할 수 있는데, 스토리지 캐패시터용 전극을 별도로 형성하여 공통 전극과 연결하여 사용하는 방식과, n-1번째 게이트 배선의 일부를 n번째 화소의 스토리지 캐패시터의 전극으로 사용하는 방식이 있다. 전자를 스토리지 온 커먼(storage on common) 방식 또는 독립 스토리지 캐패시터 방식이라 하고, 후자를 스토리지 온 게이트(storage on gate) 또는 전단 게이트(previous gate) 방식이라 한다.The storage capacitor can be formed by two methods. One is a method of forming an electrode for a storage capacitor separately and connecting it to a common electrode, and a method of using a part of the (n-1) th gate wiring as an electrode of a storage capacitor of an n- . The former is referred to as a storage on common method or the independent storage capacitor method, and the latter is referred to as a storage on gate method or a previous gate method.
이 중 스토리지 온 커먼 방식을 이용한 일반적인 액정 표시 장치용 어레이 기판에 대하여 설명하기로 한다.An array substrate for a general liquid crystal display using a storage oncommon method will be described.
도 1은 일반적인 액정 표시 장치용 어레이 기판의 한 화소에 대한 평면도이다. 이에 도시한 바와 같이, 게이트배선(11)과 데이터배선(12)이 교차하여 구성되며, 상기 두 배선의 교차지점에는 게이트전극, 소스전극 및 드레인전극을 포함하는 박막트랜지스터(T)가 구성된다.
1 is a plan view of a pixel of an array substrate for a general liquid crystal display device. As shown in the drawing, a
상기 게이트 라인(11)과 데이터 라인(12)이 교차하여 정의되는 영역에는 상기 드레인전극과 접촉하는 화소전극이 구성된다.A pixel electrode that is in contact with the drain electrode is formed in a region where the
또한, 화소영역(P)의 중앙에는 상기 게이트 라인(11)과 평행한 방향으로 제 1 스토리지 전극(13)이 형성되고, 상기 제 1 스토리지 전극(13)과 화소전극 및 공통전극에 의해 스토리지 캐패시터(C)가 구성된다.A
한편, 액정표시장치가 완성되면 최종적인 검사 작업이 이루어지게 된다.On the other hand, when the liquid crystal display device is completed, a final inspection operation is performed.
상기 최종 검사 과정에서는 완성된 액정패널의 화면에 테스트(Test) 패턴을 띄우고 불량화소의 유무를 탐지하여 불량화소가 발견되었을 때 이에 대한 리페어작업을 행하게 된다. In the final inspection process, a test pattern is displayed on the screen of the completed liquid crystal panel and the presence or absence of defective pixels is detected, and a repair operation is performed when a defective pixel is found.
상기 액정표시장치의 불량에는 화소셀 별 색상 불량, 휘점(항상 켜져 있는 셀), 암점(항상 꺼져 있는 셀) 등의 점 결함과, 인접한 데이터 라인간의 단락(Short)으로 인해 발생하는 선 결함(LineDefect) 등이 있다.The defects of the liquid crystal display device include a defective point defect such as a color defect of each pixel cell, a bright spot (always on cell), a dark spot (always off cell), and a line defect caused by a short between adjacent data lines ).
한편, 상기와 같은 액정표시장치에 노멀리 화이트 티엔 모드(Normally White TN Mode)의 액정이 사용될 경우, 소스전극과 드레인전극 사이의 채널에 흠결이 발생하면 전압이 화소전극에 인가되지 않으므로 이 화소셀은 휘점으로 나타나게 된다. When a liquid crystal of a normally white TN mode is used for the liquid crystal display as described above, when a channel between the source electrode and the drain electrode is defective, no voltage is applied to the pixel electrode, Is displayed as a bright spot.
이와 같은, 한 화소 단위의 불량의 경우, 그 점이 암점(흑)이면 눈에 띄지 않지만, 그 점이 휘점(백)이면 주위 화소가 흑표시인 경우 등에서 심하게 눈에 띄는 문제가 있다. 이 때문에, 불량 화소에 대해서 암점화할 필요가 있다.In the case of such defective pixel units, the point is not noticeable when the pixel is a dark point (black). However, when the pixel is a bright point (white), there is a problem that the surrounding pixels are conspicuous in the case of black display. For this reason, it is necessary to ignite the defective pixel.
TN(Twisted Nematic) LCD에서 주류를 이루는 통상의 노말리 화이트 모드(normally white mode)의 LCD에서는, 동작 불량의 화소에 대해서 액정에 상시 온 전압을 인가하여 표시를 흑으로 할 필요가 있다. In a normally-white mode LCD, which is a mainstream in a TN (Twisted Nematic) LCD, it is necessary to apply a normally-on voltage to a liquid crystal with respect to a defective pixel to make the display black.
즉, 상기 드레인전극과 소스전극이 오픈된 불량 화소셀은 관측자에게 밝게 나타나게 되므로 이를 암점화하여 관측자로 하여금 불량 화소셀을 인지하지 못하게 하여야 한다.That is, since the defective pixel cell in which the drain electrode and the source electrode are opened is brightly displayed to the observer, the defective pixel cell should be ignited so that the observer can not recognize the defective pixel cell.
도 2는 종래에 따른 액정표시장치의 암점화하는 부분을 도시한 도면이다. 이에 도시된 바와 같이, A점의 암점화 방법은 드레인으로부터의 화소전극에 공급되는 게이트신호를 항상 인가되게 한다.FIG. 2 is a view showing a portion of the conventional liquid crystal display device which is ignited. As shown in the figure, the method of igniting the point A causes the gate signal supplied to the pixel electrode from the drain to always be applied.
그리고, B점의 암점화 방법은 스토리지 전극으로 인가되는 Vcom(3.3V)전압을 Vgl(-5V)로 변경하여 암점화가 가능하나, 이는 인가되는 신호를 Vcom에서 Vgl으로 변경하게 되면 주입구변에 DC가 걸림으로 인해 주입구 얼룩이 발생하게 되고, 이는 신호 변경이 불가능한 문제점이 발생된다. When the voltage applied to the storage electrode is changed from Vcom to Vgl, the voltage of Vcom (3.3V) applied to the storage electrode can be changed to Vgl (-5V). However, The injection port is unevenly formed, which causes a problem that the signal can not be changed.
도 3은 종래에 따른 게이트라인과 화소전극의 오버랩 부분에 암점화되어 리페어된 I-I'의 단면을 보여주는 도면이다. 이에 도시된 바와 같이, 이는 C점의 암점화 방법으로 게이트 신호를 화소 전극으로 인가하여 암점화 리페어가 가능하나 유기 절연막의 두께(2.6㎛)에 기인하여 성공율(10~20%)이 저조하다는 문제점이 발생된다.FIG. 3 is a cross-sectional view of a conventional I-I 'that has been repaired by an ignition on an overlapped portion of a gate line and a pixel electrode. As shown in the figure, the gate signal is applied to the pixel electrode by the dark ignition method at the point C, and the success rate (10 to 20%) is low due to the thickness of the organic insulating film (2.6 탆) Lt; / RTI >
본 발명은, 게이트라인과 화소전극을 암점화하는 방법에 있어, 게이트라인과 화소전극사이의 오버랩되는 영역에 대해 암점화를 위한 레이저 웰딩을 수행함에 있 어, 유기절연막을 제거하여 암점화가 가능한 액정표시장치의 암점화 방법을 제공함에 그 목적이 있다.The present invention relates to a method for igniting a gate line and a pixel electrode by performing laser welding for arm ignition on an overlapping region between a gate line and a pixel electrode, And a method of igniting the display device.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정표시장치는,According to an aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal display device comprising:
기판상에 금속막을 증착하고, 상기 금속막을 패터닝하여 형성된 게이트 전극 및 게이트 라인과;A gate electrode and a gate line formed by depositing a metal film on a substrate and patterning the metal film;
상기 게이트 전극 및 게이트 라인이 형성된 기판상에 순차적으로 게이트 절연막, 활성층, 오믹컨텍층 및 금속막이 형성되며, 상기 금속막, 오믹컨텍층, 활성층은 상기 게이트 전극과 대응되는 부분을 제외하여 식각되고, 상기 게이트 전극과 대응되는 부분의 오믹컨텍층 및 금속막을 패터닝하여 형성된 소스-드레인 전극과;An active layer, an ohmic contact layer and a metal film are sequentially formed on the substrate on which the gate electrode and the gate line are formed, and the metal film, the ohmic contact layer, and the active layer are etched except for a portion corresponding to the gate electrode, Source and drain electrodes formed by patterning a metal film and an ohmic contact layer in a portion corresponding to the gate electrode;
상기 소스-드레인 전극이 형성된 기판상에 형성된 패시베이션과;A passivation formed on the substrate on which the source-drain electrode is formed;
상기 패시베이션상에 마련되며 상기 게이트 라인과 형성될 화소전극과의 오버랩되는 부분에 대응되는 부분이 소정 패턴으로 식각된 상기 광반응성 유기절연막과;A photoreactive organic insulating layer provided on the passivation and having a portion corresponding to an overlapping portion of the gate line and the pixel electrode to be formed in a predetermined pattern;
상기 결과물상에 형성된 화소전극을 포함하는 점에 그 특징이 있다.And a pixel electrode formed on the resultant structure.
또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법은,According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a liquid crystal display device,
기판상에 금속막을 증착하여 게이트 전극 및 게이트 라인을 형성하는 단계와;Depositing a metal film on the substrate to form a gate electrode and a gate line;
상기 게이트 전극 및 게이트 라인이 형성된 기판상에 게이트 절연막을 형성 하는 단계와;Forming a gate insulating film on the substrate on which the gate electrode and the gate line are formed;
상기 게이트 절연막상에 활성층, 오믹컨텍층, 금속막을 순차적으로 형성하고, 마스크를 이용하여 소스-드레인 전극을 형성하는 단계와;Sequentially forming an active layer, an ohmic contact layer, and a metal film on the gate insulating film, and forming source and drain electrodes using a mask;
상기 형성된 소스-드레인상에 패시베이션 및 광반응성 유기절연막을 순차적으로 형성하는 단계와;Sequentially forming a passivation layer and a photoreactive organic insulating layer on the source-drain layer;
상기 게이트 라인과 형성될 화소전극과의 오버랩되는 부분에 대응되는 상기 광반응성 유기절연막을 소정 패턴으로 식각하는 단계와;Etching the photoreactive organic insulating film corresponding to the overlapping portion of the gate line and the pixel electrode to be formed with a predetermined pattern;
상기 결과물상에 화소전극을 형성하는 단계를 포함하는 점에 그 특징이 있다.And forming a pixel electrode on the resultant structure.
여기서, 특히 상기 게이트 라인과 형성될 화소전극과의 오버랩되는 부분에 대응되는 상기 광반응성 유기절연막을 소정 패턴으로 식각하는 단계에서 상기 광반응성 유기 절연막은 최소 6×8㎛ 이상의 패턴으로 식각하는 점에 그 특징이 있다.In particular, in the step of etching the photoreactive organic insulating film corresponding to the overlapping portion of the gate line with the pixel electrode to be formed in a predetermined pattern, the photoreactive organic insulating film is etched in a pattern of at least 6 × 8 μm There are features.
또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정표시장치의 암점화방법은,According to another aspect of the present invention, there is provided a method for igniting a cylinder of a liquid crystal display device,
상기 본 발명에 따른 액정표시장치를 포함하는 액정표시장치에 있어서, 상기 광반응성 유기절연막이 소정 패턴으로 식각된 상기 게이트 라인과 화소전극과의 오버랩된 부분에 레이저 웰딩을 수행하는 점에 그 특징이 있다.In the liquid crystal display device including the liquid crystal display device according to the present invention, the laser welding is performed on the overlapped portion of the gate electrode and the pixel electrode where the photoreactive organic insulating film is etched in a predetermined pattern. have.
이와 같은 본 발명에 의하면, 게이트라인과 화소전극사이의 오버랩되는 영역에 대해 암점화를 위한 레이저 웰딩을 수행함에 있어, 유기절연막을 제거하여 암점화가 가능하게 할 수 있다. According to the present invention, in performing laser welding for arm ignition on an overlapping region between a gate line and a pixel electrode, it is possible to remove the organic insulating film and make it possible to obtain a dark spot.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 실시 예를 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 4는 본 발명에 따른 게이트라인과 화소전극의 오버랩되는 부분의 암점화를 도시한 도면이다. 이에 도시된 바와 같이, 게이트 라인과 화소전극이 오버랩되는 부분의 암점화 영역을 나타내고 있다.FIG. 4 is a view showing the ignition of the overlapping portion of the gate line and the pixel electrode according to the present invention. As shown in the figure, a dark region of the portion where the gate line and the pixel electrode overlap is shown.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법을 나타낸 단면도이다. 5a에 도시된 바와 같이, 투명기판(51) 상에 스퍼터링(sputtering)등의 방법으로 알루미늄(Al) 또는 구리(Cu) 등을 증착하여 금속박막을 형성한다. 그리고, 금속박막을 포토리쏘그래피방법으로 패터닝하여 투명기판(51)상에 게이트전극(미도시)과 게이트라인(52)을 형성한다.5A to 5D are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention. Aluminum (Al), copper (Cu), or the like is deposited on the
도 5b에 도시된 바와 같이, 투명기판(51)상에 게이트전극(미도시) 및 게이트라인(52)을 덮도록 게이트절연막(53), 활성층(미도시) 및 오믹접촉층(미도시)을 화학기상증착방법(Chemical Vapor Deposition : 이하 'CVD' 라함)으로 순차적으로 형성한다.A
상기 게이트절연막(53)은 질화실리콘 또는 산화실리콘으로 절연물질을 증착하여 형성한다.The
상기 활성층(미도시)은 불순물이 도핑되지 않은 비정질실리콘 또는 다결정실리콘으로 형성된다. 또한, 상기 오믹접촉층은 N형 또는 P형의 불순물이 고농도로 도핑된 비정질실리콘 또는 다결정실리콘으로 형성된다.The active layer (not shown) is formed of amorphous silicon or polycrystalline silicon that is not doped with an impurity. Further, the ohmic contact layer is formed of amorphous silicon or polycrystalline silicon doped with an N-type or P-type impurity at a high concentration.
상기 오믹접촉층(미도시) 및 활성층(미도시)을 게이트전극(미도시)과 대응하는 부분에만 잔류되도록 이방식각을 포함하는 포토리쏘그래피방법으로 게이트절연 막(53)이 노출되도록 패터닝한다. 이 때, 상기 활성층(미도시) 및 오믹접촉층(미도시)은 게이트전극(미도시)과 대응하는 부분에만 잔류되도록 한다.The
도 5c에 도시된 바와 같이, 상기 활성층(미도시) 및 오믹접촉층(미도시) 형성된 결과물상에 소스-드레인(미도시)이 형성될 물질을 증착한 후, 포토리쏘그래피방법으로 패터닝을 수행한다.As shown in FIG. 5C, a material to be a source-drain (not shown) is deposited on the active layer (not shown) and an ohmic contact layer (not shown), and patterning is performed by a photolithography method do.
그리고, 상기 소스 및 드레인전극(미도시)이 형성된 결과물상에 패시베이션(54)을 형성한다. Then, a
상기 패시베이션(54)으로는 아크릴계(acryl) 유기화합물, 테프론(Teflon), 벤조싸이클로부탄(BCB:benzocyclobutene), 플로오르폴리아릴에테르(louropolyarryleth er: FPAE), 사이토프(cytop) 또는 퍼플로오르싸이클로부탄(PFCB:perfluorocyclo butane)등의 유전상수가 작은 유기절연물질 또는 무기절연물질을 화학기상증착 (CVD:Chemical Vapor Deposition )하여 형성한다.The
그리고, 상기 패시베이션(54)상에 광반응성 유기절연막(55)을 형성하게 된다.Then, a photoreactive organic insulating
상기 광반응성 유기절연막(55)은 포토래지스트의 역할을 대신하여 형성된 것으로 직접 상기 광반응성 유기절연막(55)에 마스크를 이용하여 패터닝을 수행하게 된다.The photoreactive organic insulating
이어서, 도 5d에 도시된 바와 같이, 상기 광반응성 유기절연막(55)은 마스크를 이용하여 드레인전극의 컨텍홀(미도시)과 상기 게이트 라인과 화소 전극이 오버 랩되는 부분을 패터닝한다.Then, as shown in FIG. 5D, the photoreactive organic insulating
보다 상세하게는, 상기 게이트 라인과 상기 화소 전극이 오버랩되는 부분의 광반응성 유기 절연막(55)을 소정 패턴으로 제거하여, 액정표시장치의 검사에 의해 화소 불량이 발생된 경우 상기 소정 패턴부분을 레이저로 웰딩하여 대응 화소의 전극을 개방하여 해당 셀을 암점화시킨다.More specifically, when the pixel defect occurs due to the inspection of the liquid crystal display device by removing the photoreactive organic insulating
도 6은 본 발명에 따른 게이트라인과 화소 전극의 오버랩되는 부분을 패터닝 한 단면도이다. 이에 도시된 바와 같이, 상기 광반응성 유기 절연막(55)의 패터닝 시 최소 6×8㎛ 이상의 홀 디자인이 필요하다. 이는 상기 광반응성 유기 절연막(55)의 홀 사이즈가 6×8㎛ 이하일 경우 상기 광반응성 유기 절연막(55)을 경화하는 과정에서 써머 플로우(thermal flow)에 기인하여 상기 광반응성 유기 절연막(55)이 흘러내려 홀이 막히게 되기 때문이다.6 is a cross-sectional view of a patterned portion of an overlapping portion of a gate line and a pixel electrode according to the present invention. As shown in the figure, a hole design of at least 6 × 8 μm is required for patterning the photoreactive organic insulating
상기와 같이 패터닝된 상기 광반응성 유기절연막(55)상에 투명한 전도성물질인 인듐-틴-옥사이드(Indium-Tin-Oxide:이하'ITO'라함), 인듐-아연-옥사이드 (Indium-Zinc-Oxide) 또는 인듐-틴-아연 옥사이드(Indium-Tin-Zinc-Oxide)을 증착하여 상기 광반응성 유기절연막(55)상의 TFT와 대응되는 부분을 제외한 부분에 화소전극(56)을 형성한다.Indium-Tin-Oxide (ITO), Indium-Zinc-Oxide (ITO), etc., which are transparent conductive materials, are formed on the photoreactive organic insulating
상기 화소전극(56)은 상기 드레인전극과 컨텍홀을 통해 전기적으로 접촉한다. 또한, 화소전극(56)은 데이터 라인과 게이트라인이 소정 부분이 중첩되도록 형성된다.The
상기와 같이 형성된 액정표시장치에 화소 불량이 발생될 경우 게이트 라인과 화소전극이 오버랩되는 부분에 레이저 웰딩(laser welding)을 하여 암점화가 가능하게 된다.When a pixel defect occurs in the liquid crystal display device formed as described above, laser welding is performed at a portion where the gate line and the pixel electrode overlap with each other, thereby making it possible to obtain a dark spot.
따라서, 상기 게이트 신호가 화소전극에 상시 인가되어 화소가 표시를 흑으로 되어 불량이 없는 것처럼 보인다.Therefore, the gate signal is always applied to the pixel electrode, and the display of the pixel becomes black, which appears to be not defective.
본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is evident that many alternatives, modifications and variations will be apparent to those skilled in the art. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.
이상의 설명에서와 같이 본 발명에 따른 액정표시장치의 암점화 방법은, 게이트라인과 화소전극사이의 오버랩되는 영역에 대해 암점화를 위한 레이저 웰딩을 수행함에 있어, 유기절연막을 제거한 후 레이저 웰딩을 수행함으로써 암점화가 가능하게 할 수 있다.As described above, in the method of igniting a cylinder of a liquid crystal display according to the present invention, in performing laser welding for arm ignition on an overlapping region between a gate line and a pixel electrode, laser welding is performed after removing the organic insulating film So that it becomes possible to make the block.
Claims (4)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020020088516A KR100929327B1 (en) | 2002-12-31 | 2002-12-31 | Cancellation method of liquid crystal display device |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020020088516A KR100929327B1 (en) | 2002-12-31 | 2002-12-31 | Cancellation method of liquid crystal display device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20040062187A KR20040062187A (en) | 2004-07-07 |
KR100929327B1 true KR100929327B1 (en) | 2009-11-27 |
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---|---|---|---|
KR1020020088516A KR100929327B1 (en) | 2002-12-31 | 2002-12-31 | Cancellation method of liquid crystal display device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100929327B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9647051B2 (en) | 2015-01-15 | 2017-05-09 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light emitting diode display and repairing method thereof |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100806811B1 (en) * | 2005-12-21 | 2008-02-25 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Liquid Crystal Display Device and Method for Repairing the Same |
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JPH11231341A (en) * | 1998-02-10 | 1999-08-27 | Advanced Display Inc | Liquid crystal display device |
-
2002
- 2002-12-31 KR KR1020020088516A patent/KR100929327B1/en not_active IP Right Cessation
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