KR100929022B1 - Jig and Buffer System Containing It - Google Patents

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Abstract

복수의 기판을 정확하게 얼라인시키고 기판을 각 안착단으로 용이하게 이동시킬 수 있는 지그 및 이를 포함하는 버퍼 시스템이 제공된다. 지그는 제1 직경부와, 제1 직경부보다 작은 직경을 가지는 제2 직경부를 포함한다.Provided are a jig and a buffer system including the same that can accurately align a plurality of substrates and easily move the substrate to each seating stage. The jig includes a first diameter portion and a second diameter portion having a diameter smaller than the first diameter portion.

버퍼, 지그, 직경 Buffer, jig, diameter

Description

지그 및 이를 포함하는 버퍼 시스템{Jig and buffer system comprising the same} Jig and buffer system comprising the same

본 발명은 지그 및 이를 포함하는 버퍼 시스템에 관한 것으로 더욱 상세하게는, 복수의 기판의 얼라인 정확도를 향상시키고 복수의 안착단으로 기판을 이동시키기 용이한 지그 및 이를 포함하는 버퍼 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a jig and a buffer system including the same. More particularly, the present invention relates to a jig and a buffer system including the same to improve alignment accuracy of the plurality of substrates and to easily move the substrate to the plurality of seating stages.

일반적으로 버퍼 시스템은 반도체 공정 또는 평판 디스플레이 성형 공정에서 일련의 공정을 진행하는 동안 임시로 기판을 저장하는 장치를 말한다. 버퍼 시스템은 일련의 공정에 있어서 각각 공정을 수행하는 시간이 다르거나, 일 공정이 임시로 멈추는 경우에 타 공정에서 수행된 기판을 임시로 배치시키는 공간을 제공한다. Generally, a buffer system refers to an apparatus for temporarily storing a substrate during a series of processes in a semiconductor process or a flat panel display molding process. The buffer system may provide a space for temporarily placing a substrate performed in another process when the process time is different or when one process is temporarily stopped in a series of processes.

버퍼 시스템은 복층의 안착단을 구비하며, 기판 이송 로봇은 공정 챔버에 기판을 투입할 때와 인출할 때, 각각 하부암과 상부암을 사용하는 것이 일반적이다. 이에 따라 버퍼 시스템의 각 안착단에 안착된 기판을 상부 또는 하부로 이동시킬 필요가 있다.The buffer system has a plurality of seating stages, and the substrate transfer robot generally uses a lower arm and an upper arm when inputting and withdrawing a substrate into the process chamber, respectively. Accordingly, it is necessary to move the substrate seated at each seating end of the buffer system up or down.

이를 위해 버퍼 시스템에는 이송된 기판을 상하로 이동시킬 수 있는 별도의 이송 수단이 구비되었다.To this end, the buffer system is provided with a separate transfer means for moving the transferred substrate up and down.

그러나, 별도의 버퍼 시스템에 이송 수단을 구비하는 것은 번거롭고, 이송 수단을 구비하더라도 상하부 지그 사이에 얼라인 미스가 발생할 우려가 있다.However, it is cumbersome to provide the transfer means in a separate buffer system, and even if the transfer means is provided, there is a possibility that alignment miss occurs between the upper and lower jigs.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기판을 용이하게 이송시키고, 기판의 얼라인 정확도를 향상시키는 지그를 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is to provide a jig for easily transporting the substrate, improving the alignment accuracy of the substrate.

본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 기판을 용이하게 이송시키고, 기판의 얼라인 정확도를 향상시키는 버퍼 시스템을 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a buffer system for easily transferring a substrate and improving the alignment accuracy of the substrate.

본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다. Problems to be solved by the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 지그는 제1 직경부와, 상기 제1 직경부보다 작은 직경을 가지는 제2 직경부를 포함한다.A jig according to an embodiment of the present invention for achieving the above object includes a first diameter portion, and a second diameter portion having a diameter smaller than the first diameter portion.

상기 다른 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 시스템은 서로 이격되어 형성된 한 쌍의 측벽과, 복수층으로 배열된 안착단으로서, 상기 각 층마다 상기 양 측벽으로부터 돌출되어 서로 대향하는 안착단과, 상기 안착단에 거치되고, 제1 직경 및 상기 제1 직경보다 작은 제2 직경을 가지는 지그를 포함하되, 상기 각 층의 안착단은 상기 제1 직경보다 작고 상기 제2 직경보다 큰 간격으로 이격되어 있다.According to another aspect of the present invention, a buffer system includes a pair of sidewalls formed spaced apart from each other, and a seating end arranged in a plurality of layers, protruding from both sidewalls of each layer to face each other. And a seating end and a jig mounted to the seating end, the jig having a first diameter and a second diameter smaller than the first diameter, wherein the seating ends of each layer are smaller than the first diameter and larger than the second diameter. Spaced apart.

본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Other specific details of the invention are included in the detailed description and drawings.

상기한 바와 같은 지그 및 이를 포함하는 버퍼 시스템에 따르면 다음과 같은 효과가 있다. According to the jig and the buffer system including the same as described above has the following advantages.

첫째, 부위별 직경이 서로 다른 지그를 이용하여 지그를 버퍼 시스템의 상부 또는 하부로 용이하게 이송시킬 수 있다.First, the jig can be easily transferred to the upper or lower portion of the buffer system by using a jig having a different diameter for each part.

둘째, 샤프트를 이용하여 복수의 지그 사이의 얼라인 정확도를 향상시킬 수 있다.Second, it is possible to improve the alignment accuracy between the plurality of jig using the shaft.

셋째, 지그의 이송 용이성과 얼라인 정확도 향상에 따라 기판의 이송 용이성 및 이송 정확도가 향상될 수 있다. Third, the ease of transfer and the accuracy of transfer of the substrate may be improved by the ease of transfer of the jig and the alignment accuracy.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various forms, and only the present embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention, and the general knowledge in the art to which the present invention pertains. It is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the present invention is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

이하 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 및/또는 은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification. And / or include each and all combinations of one or more of the items mentioned.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 포함한다(comprises) 및/또는 포함하는(comprising)은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. In this specification, the singular also includes the plural unless specifically stated otherwise in the phrase. As used herein, including and / or comprising the components, steps, operations and / or elements mentioned exclude the presence or addition of one or more other components, steps, operations and / or elements. I never do that.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다. Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used in the present specification may be used in a sense that can be commonly understood by those skilled in the art. In addition, the terms defined in the commonly used dictionaries are not ideally or excessively interpreted unless they are specifically defined clearly.

이하, 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 시스템에 대하여 상세히 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 시스템에 포함되는 지그의 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 시스템에 포함하는 기판 거치대의 사시도이다 Hereinafter, a buffer system according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2. 1 is a perspective view of a jig included in a buffer system according to an embodiment of the present invention. 2 is a perspective view of a substrate holder included in the buffer system according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 버퍼 시스템에 포함되는 지그(100)는 부위별로 크기가 상이할 수 있다. 지그(100)는 기판(미도시)과 상응하는 형상을 가질 수 있다. 예를 들어 기판이 원반 형상인 경우, 지그(100)는 제1 직경부(A1) 및 제2 직경부(A2)를 가지는 원판 형상일 수 있다. 이 경우 제1 직경부(A1)는 제1 직경(R)을 가지고, 제2 직경부(A2)는 제1 직경(R)보다 작은 제2 직경(r)을 가질 수 있다. 제1 직경부(A1)와 제2 직경부(A2)는 교대로 배치될 수 있다.Referring to FIG. 1, the jig 100 included in the buffer system according to the present exemplary embodiment may have a different size for each part. The jig 100 may have a shape corresponding to the substrate (not shown). For example, when the substrate has a disc shape, the jig 100 may have a disc shape having a first diameter portion A 1 and a second diameter portion A 2 . In this case, the first diameter portion A 1 may have a first diameter R, and the second diameter portion A 2 may have a second diameter r smaller than the first diameter R. The first diameter portion A 1 and the second diameter portion A 2 may be alternately arranged.

지그(100)는 중심부에 얼라인 홀(110)이 구비되어 있다. 복수의 지그(100)가 안착단(도 2의 241, 242 참조)에 배치되는 경우 얼라인 홀(110)은 샤프트(도 3의 260 참조)를 중심으로 복수의 지그(100)를 서로 정확하게 얼라인 시킨다.The jig 100 has an alignment hole 110 in the center thereof. When the plurality of jig 100 is disposed at the seating end (see 241 and 242 of FIG. 2), the alignment hole 110 freezes the plurality of jig 100 accurately with respect to the shaft (see 260 of FIG. 3). Let it be.

지그(100)는 기판을 안착시키는 역할을 하며, 예를 들어 알루미늄과 같은 금속으로 이루어질 수 있다. 지그(100)의 하중을 최소화하기 위하여 지그(100)에는 다수의 개구부(120)가 형성될 수 있다.The jig 100 serves to seat the substrate, for example, may be made of a metal such as aluminum. A plurality of openings 120 may be formed in the jig 100 to minimize the load of the jig 100.

이하, 도 2를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 시스템에 포함되는 기판 거치대에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the substrate holder included in the buffer system according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 2.

기판 거치대는 서로 이격되어 형성된 한 쌍의 측벽(231, 232) 및 복수층으로 배열된 안착단(241, 242)을 포함할 수 있다. 기판 거치대는 한 쌍의 측벽(231, 232)을 견고하게 고정시키기 위하여 바닥 플레이트(210)를 더 포함할 수도 있다.The substrate holder may include a pair of sidewalls 231 and 232 spaced apart from each other, and seating ends 241 and 242 arranged in a plurality of layers. The substrate holder may further include a bottom plate 210 to firmly fix the pair of side walls 231 and 232.

바닥 플레이트(210)는 예를 들어 평판 형상으로 제공되며, 중앙에는 고정홀(220)이 형성되어 있다.The bottom plate 210 is provided in a flat plate shape, for example, and a fixing hole 220 is formed in the center thereof.

측벽(231, 232)은 바닥 플레이트(210)의 일측 및 타측에 각각 하나씩 형성될 수 있다. 한 쌍의 측벽(231, 232)은 바닥 플레이트(210)에 실질적으로 수직하도록 고정되며, 서로 이격되어 형성된다. The side walls 231 and 232 may be formed one each on one side and the other side of the bottom plate 210. The pair of side walls 231 and 232 are fixed to be substantially perpendicular to the bottom plate 210 and are spaced apart from each other.

각 측벽(231, 232)에는 안착단(241, 242)이 복수층으로 배열된다. 안착단(241, 242)은 기판을 안착시키는 역할을 한다. 일 측벽(231)으로부터 돌출되어 형성된 안착단(241)은 다른 측벽(232)의 동일층에 돌출되어 형성된 안착단(242)과 한 쌍을 이루어 서로 대향하며, 한 쌍의 안착단(241, 242)이 하나의 지그(도 1의 100 참조)를 안착시킨다. 한 쌍의 안착단(241, 242)의 이격 거리는 지그의 제1 직경(도 1의 R 참조)보다는 작고, 제2 직경(도 1의 r 참조)보다는 크다.Seating ends 241 and 242 are arranged in a plurality of layers on each side wall 231 and 232. The seating ends 241 and 242 serve to seat the substrate. The seating ends 241 protruding from the side wall 231 are formed in pairs with the seating ends 242 protruding from the same layer of the other side wall 232 to face each other, and a pair of seating ends 241 and 242. ) Seats one jig (see 100 in FIG. 1). The separation distance of the pair of seating ends 241, 242 is smaller than the first diameter of the jig (see R in FIG. 1) and larger than the second diameter (see r in FIG. 1).

각 안착단(241, 242)에는 가이드 핀(250)이 형성될 수 있다. 가이드 핀(250)은 지그를 고정시키고 복수의 지그 사이의 얼라인 정확도를 향상시키는 역할을 한다.Guide pins 250 may be formed at each seating end 241 or 242. The guide pin 250 serves to fix the jig and improve alignment accuracy between the plurality of jig.

본 실시예의 버퍼 시스템은 샤프트(260)를 더 포함할 수 있다. 샤프트(260)는 복수의 지그의 얼라인 정확도를 향상시키는 역할을 한다. The buffer system of this embodiment may further include a shaft 260. The shaft 260 serves to improve the alignment accuracy of the plurality of jigs.

샤프트(260)는 복수의 지그의 얼라인 홀(도 1의 110 참조)을 관통하도록 배치되고, 고정홀(220)에 고정될 수 있다.The shaft 260 may be disposed to pass through the alignment holes (see 110 of FIG. 1) of the plurality of jigs, and may be fixed to the fixing holes 220.

보호 플레이트(270)는 샤프트(260)의 상부를 고정시키고, 이물질을 기판으로 유입되지 않도록 한다.The protection plate 270 fixes the upper portion of the shaft 260 and prevents foreign matter from entering the substrate.

이하, 도 3 및 도 4를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 시스템을 이용하여 기판을 배치하고, 이동시키는 동작에 대하여 상세히 설명한다. 도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 시스템의 기판 안착 과정을 나타낸 사시도이다.3 and 4, an operation of arranging and moving a substrate using a buffer system according to an embodiment of the present invention will be described in detail. 3 and 4 are perspective views showing a substrate mounting process of the buffer system according to an embodiment of the present invention.

먼저, 도 3을 참조하면, 지그(100)는 제 직경부(A1)가 안착단(241, 242)에 접촉하여 안착단(241, 242)에 안착된다. 이를 서로 이격된 안착단(241, 242) 사이의 이격 거리는 제1 직경부(A1)보다 작다는 점은 상술한 바와 같다.First, a 3, a jig 100 is secured to the first diameter portion (A 1) is seated end (241, 242) end (241, 242) mounted in contact with. As described above, the separation distance between the seating ends 241 and 242 spaced apart from each other is smaller than the first diameter portion A 1 .

복수의 지그(100)가 버퍼 시스템에 배치된 경우 각 지그(100)들은 샤프트(260)를 중심으로 정확하게 얼라인된다. 이에 따라 이송 로봇(미도시)을 이용하여 기판을 버퍼 시스템에 도입하고 인출할 때 공정 정확도가 향상된다. When a plurality of jigs 100 are arranged in the buffer system, each jig 100 is accurately aligned about the shaft 260. This improves process accuracy when introducing and withdrawing substrate into the buffer system using a transfer robot (not shown).

도 4를 참조하면, 기판을 상부 또는 하부로 이동시킬 필요가 있는 경우, 지그(100)를 샤프트(260)를 중심으로 좌우로 회전시켜, 지그(100)의 제2 직경부(A2)를 안착단(241, 242)과 대향하여 이격시킨다. 지그(100)의 회전 각도는 제1 직경부(A1)가 안착단(241, 242)과 오버랩되지 않을 정도의 각도, 예를 들어 90°일 수 있다.Referring to FIG. 4, when it is necessary to move the substrate upward or downward, the jig 100 is rotated to the left and right about the shaft 260 so that the second diameter portion A 2 of the jig 100 is moved. The mounting ends 241 and 242 are spaced apart from each other. The rotation angle of the jig 100 may be an angle such that the first diameter portion A 1 does not overlap with the seating ends 241 and 242, for example, 90 °.

이후, 지그(100)를 일 안착단(241, 242)으로부터 타 안착단(241, 242)으로 상부 또는 하부로 이동시킨다.Thereafter, the jig 100 is moved upward or downward from one seating end 241, 242 to the other seating end 241, 242.

이어서, 샤프트(260)를 중심으로 지그(100)를 좌우로 회전시켜 제1 직경 부(A1)를 타 안착단(241, 242)에 안착 시킨다.Subsequently, the jig 100 is rotated to the left and right about the shaft 260 to seat the first diameter portion A 1 on the other seating ends 241 and 242.

이와 같이 하면, 지그(100)를 상부 또는 하부로 용이하게 이동시킬 수 있다. 이에 따라 버퍼 시스템과 별도의 기판 이송 장치를 구비할 필요가 없어 효율적으로 기판을 이송시킬 수 있다.In this way, the jig 100 can be easily moved to the upper side or the lower side. Accordingly, it is not necessary to provide a substrate transfer apparatus separate from the buffer system, so that the substrate can be efficiently transferred.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, those skilled in the art to which the present invention pertains may implement the present invention in other specific forms without changing the technical spirit or essential features thereof. I can understand that. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 시스템에 포함되는 지그의 사시도이다.1 is a perspective view of a jig included in a buffer system according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 시스템에 포함하는 기판 거치대의 사시도이다. 2 is a perspective view of a substrate holder included in a buffer system according to an embodiment of the present invention.

도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 시스템의 기판 안착 과정을 나타낸 사시도이다. 3 and 4 are perspective views showing a substrate mounting process of the buffer system according to an embodiment of the present invention.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)

100: 지그 110: 얼라인 홀100: jig 110: alignment hole

120: 개구부 210: 바닥 플레이트120: opening 210: bottom plate

220: 고정홀 231, 232: 측벽220: fixing hole 231, 232: side wall

241, 242: 안착단 250: 가이드 핀241, 242: seating end 250: guide pin

260: 샤프트 270: 보호 플레이트260: shaft 270: protective plate

Claims (6)

삭제delete 서로 이격되어 형성된 한 쌍의 측벽; A pair of side walls formed spaced apart from each other; 복수층으로 배열된 안착단으로서, 상기 각 층마다 상기 양 측벽으로부터 돌출되어 서로 대향하는 안착단; 및A seating end arranged in a plurality of layers, each seating end protruding from both side walls to face each other; And 상기 안착단에 거치되고, 제1 직경 및 상기 제1 직경보다 작은 제2 직경을 가지는 지그를 포함하되,A jig mounted on the seating end and having a first diameter and a second diameter smaller than the first diameter, 상기 각 층의 안착단은 상기 제1 직경보다 작고 상기 제2 직경보다 큰 간격으로 이격되어 있는 버퍼 시스템. The seating ends of each layer are spaced at intervals smaller than the first diameter and larger than the second diameter. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 지그는 복수개 배치되고, 상기 각 지그의 중심에는 얼라인 홀이 형성되어 있고,The jig is arranged in plural, the center of each jig is formed an alignment hole, 상기 각 지그의 상기 얼라인 홀을 관통하도록 배치되는 샤프트를 더 포함하는 버퍼 시스템.And a shaft disposed to pass through the alignment hole of each jig. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 한 쌍의 측벽이 고정된 바닥 플레이트로서, 중심부에 상기 샤프트를 고정하는 고정홀을 구비하는 바닥 플레이트를 더 포함하는 버퍼 시스템. The bottom plate is fixed to the pair of side walls, the buffer system further comprising a bottom plate having a fixing hole for fixing the shaft in the center. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 지그는 상기 샤프트를 따라 상하로 이동되고, 상기 샤프트를 중심으로 좌우로 회전되는 버퍼 시스템.The jig is moved up and down along the shaft, the buffer system rotates from side to side about the shaft. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 복수층을 배열된 안착단은 일 안찬단 및 상기 일 안착단의 상부 또는 하부에 배치된 타 안착단을 포함하고,The seating end arranged in the plurality of layers includes one seating stage and the other seating end disposed above or below the one seating end, 상기 지그의 제1 직경을 가지는 제1 직경부는 상기 일 안착단에 안착되고,The first diameter portion having the first diameter of the jig is seated on the one seating end, 상기 샤프트를 중심으로 상기 지그를 좌우로 회전하여 상기 제2 직경을 가지는 제2 직경부를 상기 일 안착단과 대향하여 이격시키고, Rotating the jig left and right about the shaft to space the second diameter portion having the second diameter to face the one seating end, 상기 지그를 상기 샤프트를 따라 상하로 이동하여 상기 타 안착단으로 이동시키고,The jig is moved up and down along the shaft to the other seating end, 상기 샤프트를 중심으로 상기 지그를 좌우로 회전시켜 상기 제1 직경부를 상기 타 안착단에 안착시키는 버퍼 시스템.The buffer system for rotating the jig to the left and right about the shaft to seat the first diameter portion to the other seating end.
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