KR100922387B1 - 모션 제어를 위한 2 포트 전송장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

모션 제어(Motion Control)를 위한 2 포트 전송장치 및 방법이 개시된다. 본 발명의 전송장치는 액추에이터(Actuator)의 제어를 위한 제어값을 드라이버로 전송함에 있어, 헌팅(Hunting) 제어를 위해 제어값에 포함되는 고주파 성분을 별도의 경로를 통해 증폭하여 제공하는 2중 구조를 가진다. 제어값에서 평균치를 뺀 고주파 성분은 별도의 경로를 통해 소정 배수로 곱해져 드라이버 측으로 제공되고 드라이버 측에서 다시 해당 배수로 나누어져 복원된다. 복원된 고주파 성분은 상기 평균치와 더해져 원래의 제어값으로 복원된다. 이에 따르면, 외부 잡음에 대한 신호대 잡음 비가 개선되면서 레귤레이션 모드(Regulation Mode)상의 헌팅도 효과적으로 줄일 수 있다.

모션 제어, 헌팅, 이중 경로, 레귤레이션

Description

모션 제어를 위한 2 포트 전송장치 및 방법{2 Port Transmission Apparatus and Method for Motion Control}

본 발명은, 액추에이터(Actuator)의 제어를 위한 2 포트 전송장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 레귤레이션 모드(Regulation Mode)상의 헌팅(Hunting)을 줄이기 위한 2 포트 전송장치 및 방법에 관한 것이다.

산업계의 많은 분야에서 수 나노미터(Nanometer) 단위의 정밀한 모션 제어가 필요한 초정밀 스테이지가 사용된다. 예컨대, 반도체 또는 평판 디스플레이 기판 등의 제조공정에 포함된 사진공정(Photolithography Process)에서 사용되는 레티클 스테이지(Reticle Stage)는 그 상면에 로딩 된 레티클을 하측에 위치하는 기판과 정밀하게 정렬하기 위해 수 나노미터 단위로 이동하거나 소정 각도(θ)로 회전하는 등의 정밀 모션 제어가 필요하다.

초정밀 스테이지의 제어를 위한 구동장치, 예컨대 모터(Motor)는 기본적으로 정밀 제어가 힘든 부분도 있지만, 자체의 물리적 특성뿐만 아니라 각종 노이즈에 기초한 스테이지의 헌팅(Hunting) 현상이 문제된다.

스테이지의 헌팅을 야기하는 노이즈에는, 디지털-아날로그 컨버터 또는 아날로그-디지털 컨버터 등의 양자화 효율 및 센서 자체의 노이즈와 같은 피드백 루프에 내재된 노이즈와 함께, 제어기와 모터 드라이버 사이의 전송 과정에서 삽입되는 외부 노이즈를 포함한다.

구동장치에서 제어기로 피드백되는 에러(Error) 값의 오차와 제어기의 제어값이 구동장치에 전달되는 과정에서 삽입되는 노이즈는 제어기의 제어 알고리즘에 불구하고 레귤레이션 모드(Regulation Mode)상의 스테이지의 헌팅을 초래하는 것이다.

앞서 설명한 바와 같이, 초정밀 스테이지의 제어는 매우 안정적으로 이루어져 낮은 헌팅 특성(Low Hunting Characterstics)을 가질 필요가 있으므로, 이러한 헌팅 문제의 해결은 초정밀 스테이지의 특성 중 해결되어야 매우 중요한 과제에 해당한다.

초정밀 스테이지의 모션 제어는 통상 그 제어기에 사용되는 개별 부품들의 동적 제어범위 등과 관련될 수 있으며, 만족할 만한 성능의 제품들은 매우 고가에 해당하여 경제적인 면에서 선택의 폭이 제한적일 수밖에 없다.

본 발명의 목적은, 액추에이터(Actuator)의 제어에 있어, 레귤레이션 모드(Regulation Mode)상의 헌팅(Hunting)을 줄이고 외부 잡음에 대한 신호대 잡음 비를 개선하기 위한 2 포트 전송장치 및 방법을 제공함에 있다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 모션 제어를 위한 2 포트 전송장치는, 액추에이터를 구동하기 위한 드라이버와 상기 드라이버를 제어하는 제어장치 사이에 마련되어 상기 제어장치의 디지털 제어값을 아날로그 신호로 변환하여 상기 드라이버에 제공하는 전송부 및 수신부를 포함한다.

상기 전송부는, 상기 드라이버로 제공할 제어값을 상기 제어장치로부터 제공받아, 상기 제어값의 평균을 구하는 평균값추출부; 상기 평균값추출부에서 구한 평균값을 아날로그 신호로 변환하여 상기 드라이버로 전송하는 제1 D/A(Digital to Analog) 변환부; 상기 제어값에서 상기 평균값을 뺀 값에 소정 배수를 곱하는 곱셈기; 및 상기 곱셈기의 출력을 아날로그 신호로 변환하여 상기 드라이버로 전송하는 제2 D/A변환부;를 포함한다.

상기 수신부는, 상기 제2 D/A변환부로부터 전송된 값을 상기 배수로 나누는 나눗셈기; 및 상기 제1 D/A변환부로부터 전송된 값과 상기 나눗셈기의 결과를 더하는 덧셈기;를 포함한다.

여기서, 본 발명의 전송장치는 상기 제어장치의 출력을 상기 평균값추출부 및 곱셈기 중 하나로 스위칭하는 스위치를 더 포함할 수 있다. 여기서, 상기 스위치는 트래킹 모드(Moving Mode)에 따라 상기 제어장치로부터 제공되는 제어값을 상기 평균값추출부로 스위칭하다가, 레귤레이션 모드(Regulation Mode)시에 상기 제어값에서 상기 평균값을 뺀 값을 상기 제어장치로부터 제공받아 상기 평균값추출부로 스위칭한다. 또한, 상기 레귤레이션 모드시, 상기 제1 D/A변환부는 기존의 출력값을 유지할 수 있다.

또 다른 실시 예에 따른 전송장치는, 상기 스위치와 평균값추출부 사이에 마련되어, 상기 드라이버의 상기 트래킹 모드 제어를 위한 제어 알고리즘을 수행하는 광대역 제1제어기; 및 상기 스위치와 곱셈기 사이에 마련되어, 상기 드라이버의 상기 레귤레이션 모드 제어를 위한 제어 알고리즘을 수행하는 제2제어기;를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 실시 예에 따른 모션 제어를 위한 2 포트 전송방법은, 소정 목표치의 위치, 토크, 또는 속도로 액추에이터를 구동하기 위해, 드라이버로 제어값을 제1 경로를 통해 제공하는 트래킹 모드를 시작하는 단계; 상기 트래킹 모드 중에 변동되는 상기 제어값이 상기 목표치에 도달함에 따른 정상상태인 경우, 상기 트래킹 모드를 레귤레이션 모드로 전환하는 단계; 및 상기 레귤레이션 모드 단계를 포함한다.

상기 레귤레이션 모드 단계는, 상기 제1 경로로 상기 정상상태의 제어값의 평균치를 제공하는 단계; 상기 제1 경로와 다른 제2 경로로 상기 레귤레이션 모드의 제어값에서 상기 평균치를 뺀 고주파 성분을 제공하는 단계; 및 상기 드라이버에서 상기 제1 경로로 제공된 평균치와 상기 제2 경로를 통해 제공되는 고주파 성분을 더하여 최종 출력하는 단계를 포함한다.

여기서, 상기 고주파 성분은, 상기 고주파 성분을 제공하는 단계에서 소정 배수로 스케일 업(Scale Up) 되었다가, 상기 최종 출력하는 단계에서 상기 평균치와 더해지기 전에 상기 배수로 나누어져 원상으로 회복되는 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 2 포트 전송장치는, 저가의 디지털-아날로그 변환기(Digital to Analog Converter)를 사용하면서도 뛰어난 제어 성능(Resolution)과 넓은 동적 범위(Dynamic Range)를 가지는 제어기의 구현을 가능하게 한다.

특히, 본 발명의 전송장치는 액추에이터의 위치, 토크(Torque) 또는 속도제어 등에 적용되어, 레귤레이션 모드(Regulation Mode)시의 액추에이터(Actuator) 또는 그 액추에이터에 의해 동작하는 물체의 헌팅(Hunting)을 현저하게 줄일 수 있다.

또한, 본 발명의 제어장치는 소정 알고리즘에 의해 처리된 아날로그 신호인 제어 신호가 모터 드라이버와 같은 최종 출력단으로 제공되는 과정 등에서 유입되는 잡음(Noise)에 대하여 신호대 잡음 비(Signal to Noise Ratio)를 개선할 수 있다.

이하 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따라 2 포트 전송장치를 구비한 제어시스템의 블록도로서, 도 1의 제어시스템(100)은 본 발명의 2 포트(Port) 전송장치를 포함하여 구현된 예이다.

본 발명의 제어시스템(100)은 액추에이터(Actuator)(미도시)를 구동하기 위한 드라이버(Driver)(110) 및 드라이버(110)를 제어하는 제어장치(130)를 포함하며, 액추에이터의 위치, 토크(Torque) 및 속도 제어를 위한 폐쇄 루프(Closed Loop) 제어뿐만 아니라 오픈 루프(Open Loop) 제어에도 사용될 수 있다. 여기서, 위치제어는 액추에이터로 보이스 코일 모터(Voice Coil Motor)와 같은 리니어 모터(Linear Motor)를 사용하는 경우에 해당한다.

본 발명은 제어시스템(100)에 포함된 전송장치에 관한 것으로, 제어시스템(100)의 구성이나 방법에 대하여는 간단히 설명하되, 반드시 아래의 설명에 한정되지 아니한다.

제어시스템(100)은, 제어장치(130)의 제어값을 아날로그 신호로 드라이버(110)에게 제공하고, 드라이버(110)는 제어장치(130)로부터 제공되는 아날로그 신호인 제어값에 따라 액추에이터를 제어한다. 제어장치(130)는 액추에이터 또는 액추에이터에 연결된 기기(예컨대, 스테이지)의 센서로부터 피드백되는 제어결과를 기초로, 비례미적분(PID: Proportional Integral Derivative, 폐쇄루프 제어의 경 우) 제어와 같은 소정의 제어 알고리즘에 따른 제어값을 드라이버(110)로 출력한다.

제어장치(130)의 제어는 트래킹 모드(Tracking Mode)와 레귤레이션 모드(Regulation Mode)로 구분될 수 있다. 트래킹 모드는 액추에이터 또는 액추에이터에 연결된 기기에 대한 소정 목표치의 위치, 토크 또는 속도에 도달하기 위한 1차 제어에 해당하며, 레귤레이션 모드는 트래킹 모드에 의해 목표치에 도달한 후에 발생하는 헌팅 현상을 제어하기 위한 2차 정밀 제어에 해당한다.

트래킹 모드의 진행 중에 제어장치(130)의 1차 제어가 완료되는 정상 상태(Steady State)로 진입하면, 제어장치(130)의 제어값은 기준값(저주파 성분)에 헌팅 제어를 위한 미세한 리플(Ripple, 이하 '고주파 성분'이라 함)이 포함된 형태가 된다. 정상상태로 진입된 후, 제어장치(130)는 헌팅 제어를 위한 레귤레이션 모드로 진행한다.

예컨대, 보이스 코일 모터(Voice Coil Motor)와 같은 리니어 모터(Linear Motor)를 사용하여, 모터에 연결된 스테이지를 특정 위치로 이동시키는 위치 제어의 경우를 가정한다. 보이스 코일 모터는 회전운동 대신 직선운동을 수행하는 코일을 구비하여, 드라이버의 출력의 크기에 따라 전방으로 이동한다.

먼저, 트래킹 모드에서, 제어장치(130)는 스테이지를 특정 위치로 이동시키기 위한 트래킹 제어를 수행한다. 스테이지가 해당 위치로 이동하고 제어장치(130)의 제어가 정상상태(Steady State)로 진입하면, 제어장치(130)는 레귤레이션 모드에 따라 스테이지의 헌팅을 제거하기 위한 제어를 수행한다.

정상상태 이후부터 레귤레이션 모드 상태까지, 제어장치(130)가 제공하는 제어값은 스테이지의 헌팅에 대응하는 고주파 성분이 기준값에 포함된 형태가 된다.

도 1을 참조하면, 전송장치는 제어장치(130)에 포함된 전송부(150)와 드라이버(110)에 포함된 수신부(170)를 포함한다. 전송부(150)와 수신부(170)는 각각 2 포트를 가지고 유선 또는 무선으로 연결될 수 있다. 무선으로 연결될 경우, 전송부(150)와 수신부(170)는 각각 모뎀과 같은 별도의 전송 인터페이스(Interface)를 구비할 수 있다.

전송장치는 이중 경로 구조, 디지털 필터, 스위칭 알고리즘 및 레귤레이션 모드를 최적화하기 위한 제어기를 포함하여 낮은 헌팅 특성 및 외부 잡음(Noise)에 대하여 개선된 신호대 잡음비(Signal to Noise Ratio)의 특성을 얻는다.

전송부(150)는 제1 경로 및 제2 경로의 이중 제어경로를 가지며, 트래킹 모드시에는 제1 경로만 동작하였다가, 레귤레이션 모드시에는 제1스위치(151)가 제2 경로로 스위칭되면서 제1 경로와 제2 경로가 함께 동작한다. 전송부(150)는 제어값 중 고주파 성분을 별도의 제2 경로를 이용하여 처리하는 구조를 가짐으로써, 비교적 그 동적 범위가 작은 구성(예컨대, 디지털-아날로그 변환부)의 사용으로도 전체 시스템의 동적 범위를 크게 하는 효과가 있다.

제1 경로에는 제1제어기(153), 제2스위치(155), 제1제어기(153)의 출력의 평균값을 구하는 평균값추출부(157) 및 평균값추출부(157)의 디지털 출력을 아날로그 신호로 변환하는 제1 D/A(Digital to Analog) 변환부(159)가 포함된다.

제1제어기(153)는 제1스위치(151)와 평균값추출부(157) 사이에 마련되어, 트래킹 모드 제어를 위한 제어 알고리즘을 수행하며, 앞서 설명한 기준값 및 고주파 성분이 포함된 제어값을 처리하기 위한 광대역(Wideband) 특성이 있는 제어기이다.

제2스위치(155)는 제1스위치(151)와 연동되어, 레귤레이션 모드시 절체된다. 이에 따라 트래킹 모드에서 레귤레이션 모드로의 전환시, 다시 말해 정상상태의 평균값추출부(157)가 추출한 평균값이 레귤레이션 모드동안 유지된다.

평균값추출부(157)는 기준값과 고주파 성분을 포함하는 제어값 중 기준값을 추출하는 역할을 한다. 이에 따라 평균값추출부(157)와 제1 D/A변환부(159)를 거쳐 수신부(170)로 제공되는 제어값은 트래킹 모드의 정상상태 이후 레귤레이션 모드를 포함하여 기준값이 된다.

실시 예에 따라, 평균값추출부(157)는 정상상태의 제어값의 평균을 래치(Latch)함으로써 레귤레이션 모드로 전환된 후에 해당 평균값을 유지할 수 있다.

제2 경로에는 제2제어기(161), 제2제어기(161)의 출력을 스케일 업(Scale up)하기 위해 소정 배수(Ka)로 곱하는 곱셈기(163) 및 곱셈기(163)의 디지털 출력을 아날로그 신호로 변환하는 제2 D/A변환부(165)가 포함한다.

제2 경로는 정상상태의 제어값에서 기준값이 제거된 고주파 성분을 입력받아 처리한다. 여기서, 정상상태의 기준값은 제어값의 평균이 되므로, 기준값이 제거된 고주파 성분은 제어값에서 그 평균을 뺀 것에 대응될 수 있다. 따라서 실시 예에 따라, 고주파 성분은 정상상태에서의 평균값추출부(157)의 출력을 제1스위치(151) 전단으로 피드백시켜, 제어값에서 정상상태에서의 평균값을 빼줌으로써 구할 수 있 다.

제2제어기(161)는 제1스위치(151)와 곱셈기(163) 사이에 마련되어, 레귤레이션 모드시 제어값에 포함된 고주파 성분에 따른 제어를 위한 제어 알고리즘을 수행한다.

곱셈기(163)는 제2제어기(161)의 출력에 배수(Ka)를 곱함으로써 스케일 업하여, 미세한 고주파 성분이 제2 D/A변환부(165)를 거쳐 드라이버(110)로 전송되는 과정에서 삽입될 수 있는 노이즈의 영향을 최소화한다. 또한, 곱셈기(163)는 고주파 성분을 스케일 업함으로써, 제2 D/A변환부(165)가 고주파 성분을 아날로그 신호로 변환하기 위해 비교적 넓은 동적 범위를 가져야 하는 부담을 제거한다.

수신부(170)는 제1 D/A변환부(159)와 제2 D/A변환부(165)를 통해 전송되는 아날로그 신호를 수신하며, 제2 D/A변환부(165)를 통해 수신한 신호를 다시 상기 배수(Ka)로 나누어 스케일 다운(Scale down)하는 나눗셈기(171) 및 제1 D/A변환부(159)의 출력과 나눗셈기(171)의 출력을 더하여 최종 제어값을 출력하기 위한 덧셈기(173)를 포함한다. 여기서, 나눗셈기(171)는 제2 경로에 포함된다.

제2 D/A변환부(165)로부터 전송된 Ka배된 고주파 성분은 나눗셈기(171)에서 다시 원래대로 복원되어, 덧셈기(173)에 의해 제1 D/A변환부(159)로부터 전송된 기준값과 더해져 원래의 제어값으로 복원되는 것이다.

결국, 전송부(150)와 수신부(170) 사이, 즉 제어장치(130)와 드라이버(110) 사이의 전송 경로에서 삽입될 수 있는 노이즈에 대한 신호대 잡음비(SNR)를 현저하게 개선할 수 있다.

이상, 도 1을 통해 각 경로의 동작을 설명하였다. 다시 말해, 제1 경로는 제어값의 평균을 추출한 다음 아날로그 신호로 변환하여 드라이버(110)로 제공하고, 제2 경로는 제어값 중 고주파 성분(제어값에서 평균치를 뺀 값)을 소정 배수로 스케일 업하여 드라이버(110)로 제공한다. 제2 경로로 제공된 고주파 성분은 드라이버(110) 측의 수신부(170)에서 원래대로 스케일 다운되어 복원된다. 이하에서는 도 2를 참조하여, 제1 경로 및 제2 경로의 동작 순서를 제1스위치(151)를 중심으로 설명한다.

도 2는 본 발명의 이중 경로 전송장치의 동작 설명에 제공되는 흐름도이다.

소정의 제어목적에 따라 액추에이터의 위치, 속도 또는 토크 등을 제어하기 위한 제어(트래킹 모드)가 시작되면, 전송부(150)의 제1 경로가 사용되어 제어값이 수신부(170)로 전달된다(S201).

트래킹 모드가 진행됨에 따라, 액추에이터의 목표 위치, 목표 속도 또는 목표 토크 등에 도달하고 제어값이 정상상태가 되는지 판단한다(S203).

정상상태가 되면, 제1스위치(151)가 절체되면서 제1 경로와 제2 경로를 함께 사용하는 레귤레이션 모드로 진입한다. 전송부(150)로 입력되는 값은 해당 시점의 제어값 중 고주파 성분이 되어 제2 경로로 전달되고, 제1 경로에서는 평균값추출부(157)의 출력이 정상상태의 평균값으로 고정된다. 앞서 설명한 바와 같이, 고주파 성분은 정상상태의 평균값을 제어값에서 빼줌으로써 구할 수 있다(S205).

이상의 방법으로 본 발명의 전송장치는 트래킹 모드와 레귤레이션 모드를 구분하며, 레귤레이션 모드에서는 2 중 경로의 제어루프를 사용한다.

이상에서 제시된 도 1의 전송장치는 트래킹 모드와 레귤레이션 모드를 구분하기 위해 제1스위치(151)를 포함하여, 도 2와 같은 알고리즘에 따라 동작하였다. 그러나, 다른 실시 예에 따라, 전송장치가 제1스위치(151)를 구비하지 아니하고 전송부(150)의 이중 경로를 항상 활성화할 수 있다. 이를 위해, 전송부(150)의 제2 경로에는 제어값에서 평균값을 제거한 고주파 성분이 항상 입력되도록 함으로써, 해당 이중 경로를 제어모드에 따라 구분하지 않고 항상 사용할 수도 있다.

또한, 도 1의 실시 예에서, 전송부(150)는 제1제어기(153)와 제2제어기(161)를 포함하였으나, 제1제어기(153)와 제2제어기(161)가 반드시 필요한 것은 아니며 전송부(150) 전단에 위치하는 제어기에 의해 전체 제어 알고리즘이 처리될 수 있다.

또 다른 실시 예에 따라, 본 발명의 전송부(150)와 수신부(170)는 제어장치(130) 및 드라이버(110)에 포함되지 아니하고 별개로 마련되어, 제어장치(130)와 드라이버(110) 사이에 마련될 수 있다.

또한, 이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따라 2 포트 전송장치를 구비한 제어시스템의 블록도, 그리고

도 2는 본 발명의 이중 경로 전송장치의 동작 설명에 제공되는 흐름도이다.

Claims (5)

1. 액추에이터를 구동하기 위한 드라이버와 상기 드라이버를 제어하는 제어장치 사이에 마련되어, 상기 제어장치의 디지털 제어값을 아날로그 신호로 변환하여 상기 드라이버에 제공하는 전송부 및 수신부를 포함하고,

   상기 전송부는,

   상기 드라이버로 제공할 제어값을 상기 제어장치로부터 제공받아, 상기 제어값의 평균을 구하는 평균값추출부;

   상기 평균값추출부에서 구한 평균값을 아날로그 신호로 변환하여 상기 드라이버로 전송하는 제1 D/A(Digital to Analog) 변환부;

   상기 제어값에서 상기 평균값을 뺀 값에 소정 배수를 곱하는 곱셈기; 및

   상기 곱셈기의 출력을 아날로그 신호로 변환하여 상기 드라이버로 전송하는 제2 D/A변환부;를 포함하고,

   상기 수신부는,

   상기 제2 D/A변환부로부터 전송된 값을 상기 배수로 나누는 나눗셈기; 및

   상기 제1 D/A변환부로부터 전송된 값과 상기 나눗셈기의 결과를 더하는 덧셈기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 모션 제어를 위한 2 포트 전송장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 제어장치의 출력을 상기 평균값추출부 및 곱셈기 중 하나로 스위칭하는 스위치를 더 포함하고,

   상기 스위치는 트래킹 모드(Tracking Mode)에 따라 상기 제어장치로부터 제공되는 제어값을 상기 평균값추출부로 스위칭하다가, 레귤레이션 모드(Regulation Mode)시에 상기 제어값에서 상기 평균값을 뺀 값을 상기 제어장치로부터 상기 평균값추출부로 스위칭하며,

   상기 레귤레이션 모드시, 상기 평균값추출부의 출력은 상기 레귤레이션 모드 전의 평균값을 유지하는 것을 특징으로 하는 모션 제어를 위한 2 포트 전송장치.
3. 제2항에 있어서,

   상기 스위치와 평균값추출부 사이에 마련되어, 상기 드라이버의 상기 트래킹 모드 제어를 위한 제어 알고리즘을 수행하는 광대역 제1제어기; 및

   상기 스위치와 곱셈기 사이에 마련되어, 상기 드라이버의 상기 레귤레이션 모드 제어를 위한 제어 알고리즘을 수행하는 제2제어기;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 모션 제어를 위한 2 포트 전송장치.
4. 소정 목표치의 위치, 토크, 또는 속도로 액추에이터를 구동하기 위해, 드라이버로 제어값을 제1 경로를 통해 제공하는 트래킹 모드를 시작하는 단계;

   상기 트래킹 모드 중에 변동되는 상기 제어값이 상기 목표치에 도달함에 따른 정상상태인 경우, 상기 트래킹 모드를 레귤레이션 모드로 전환하는 단계; 및

   상기 레귤레이션 모드 단계를 포함하고,

   상기 레귤레이션 모드 단계는,

   상기 제1 경로로 상기 정상상태의 제어값의 평균치를 제공하는 단계;

   상기 제1 경로와 다른 제2 경로로 상기 레귤레이션 모드의 제어값에서 상기 평균치를 뺀 고주파 성분을 제공하는 단계; 및

   상기 드라이버에서 상기 제1 경로로 제공된 평균치와 상기 제2 경로를 통해 제공되는 고주파 성분을 더하여 최종 출력하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 모션 제어를 위한 2 포트 전송방법.
5. 제4항에 있어서,

   상기 고주파 성분은, 상기 고주파 성분을 제공하는 단계에서 소정 배수로 스케일 업(Scale Up) 되었다가, 상기 최종 출력하는 단계에서 상기 평균치와 더해지기 전에 상기 배수로 나누어져 원상으로 회복되는 것을 특징으로 하는 모션 제어를 위한 2 포트 전송방법.

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