KR100922339B1 - 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치 - Google Patents

전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 제조시설에서 발생한 분진(mist) 및 미세가루(dust) 등의 미세입자를 코로나 방전을 통하여 집진하는 전기집진방식을 이용한 포집장치에 사용되는 물을 미세하게 분무하기 위한 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치에 관한 것으로, 상세하게는 물을 제1노즐에서 분무하고, 제1노즐에서 분무된 물을 다시 제2노즐에서 충돌시켜 분무되도록 이루어진 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치는 세정수가 공급되도록 형성되고, 양측에 플레이트가 설치되어 밀폐형으로 이루어지며, 상기 일측의 플레이트에는 세정수 공급홀이 형성된 관으로 이루어진 몸체와; 상기 몸체의 양측에 설치되어 있는 플레이트들에 형성된 에어공급관용 홀들을 통하여 몸체를 관통되게 설치되되, 상기 플레이트 측으로 돌출되게 설치되며, 상기 돌출된 단부가 서로 각도를 가지고 마주보게 설치되는 압력을 가지는 공기가 공급되는 다수개의 에어공급관과; 상기 플레이트 측으로 돌출된 에어급공관 부분을 막음판을 이용하여 형성되는 세정수 공급홀을 통하여 세정수가 공급되는 챔버와; 상기 챔버에 공급된 세정수를 다수개의 에어공급관으로 각각 분무시키도록 형성된 다수개의 노즐로 이루어진다.
노즐, 세정수, 미세분무장치, 미세입자

Description

전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치{Minute atomize apparatus for removing the harmful fine particles apparatus}
본 발명은 반도체 제조시설에서 발생한 분진(mist) 및 미세가루(dust) 등의 미세입자를 코로나 방전을 통하여 집진하는 전기집진방식을 이용한 포집장치에 사용되는 물을 미세하게 분무하기 위한 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치에 관한 것으로, 상세하게는 물을 제1노즐에서 분무하고, 제1노즐에서 분무된 물을 다시 제2노즐에서 충돌시켜 분무되도록 이루어진 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치에 관한 것이다.
본 발명은 반도체 제조시설에서 발생한 분진(mist) 및 미세가루(dust) 등의 미세입자를 포집하는 미세입자 포집장치 중 전기집진법은 기체 중에 부유하는 입자를 코로나 방전(corona discharge)로 하전하고 여기에 전계를 형성시켜 정전기력으로 포집 제거하는 것으로, 그 성능 특성은 포집되는 입자의 전기저항율에 크게 좌우된다. 특히 전기저항율이 높은 입자의 경우 '역전리(back corona)현상'이라고 하는 이상현상이 발생하고 집진 성능이 저하된다. 이러한 역전리 현상은 대전되어 집진판에 부착된 분진입자를 전기적으로 중화시켜버려 입자를 재비산 시켜버리는 경 우도 발생한다. 따라서, 포집을 하려는 입자의 특성에 집진 성능이 크게 영향을 받게 되며, 집진판에 포집된 입자의 제거를 위한 추가 공정이 필요할 뿐만 아니라, 가스상의 배출물질의 경우 포집이 어렵다는 단점이 있다.
상기 단점을 해결하고자 국내특허등록 제634490호의 양극성 복합 정전유전체 응집 방식 미세입자 포집장치가 제시되었다.
상기 제시된 국내특허등록 제634490호에서는, 유해미세입자 및 먼지포집장치에 있어서, (+)코로나 방전을 발생시키는 (+)코로나 방전발생부와 (-)코로나 방전을 발생시키는 (-)코로나 방전발생부로 이루어진 양극성 예비하전부와; 상기 양극성 미세입자들이 분무사이를 통과하면서 분무액적에 의하여 걸러지도록 세정수조와 상기 세정수조내의 물을 순환시키는 펌프와 상기 순환된 물을 분무하는 다수개의 분사노즐로 이루어진 습식스크러버의 분무부와; 상기 분무부 세정수조의 수직상부에 형성되고, 고전압 하전극과 접지전극 사이에 형성된 전계로 인해 유전체인 물 액적이 양극성을 띄게 되도, 상기 액적들 사이로 미세한 유해 입자들은 극성을 띈 채로 통과하면서 입자/액적간의 응집과 응집액적간의 2차 전기응집이 이루어지며, 유전체 응집부를 지나면서 양극화 된 물 액적이 공기 중에서 체류시간이 길어지게 되고, 미세 입자들과의 반응 시간이 길어지면서 포집 효율이 증가되도록 마련된 정전유전체/양극성 전기 복합 응집부와; 상기 응집부의 수직상부에 형성되고, 고전압이 가해지는 방전극에서 발생하는 높은 코로나 하전 및 고전계로 인해 큰 물액적들은 집진판에 부착하도록 이루어진 전기집진부로 구성된 양극성 복합 정전유전체 응집 방식 미세입자 포집장치가 제시되어 있다.
상기와 같이 구성된 국내특허등록 제634490호의 양극성 복합 정전유전체 응집 방식 미세입자 포집장치는 기존의 습식 스크러버를 사용하면서도, 고효율의 미세 유해입자 포집 성능을 가질 수 있도록 스크러버의 전단에 전기적으로 양극성의 예비하전부를, 후단에 유전체 및 2차 양극성 액적 응집부와 전기집진부를 단계적으로 설치함으로써 유해가스 흡수와 유해 미세 입자까지도 동시에 효과적으로 포집할 수 있는 특징이 있다.
상기 분무부에서는 예비하전부에서 코로나방전이 이루어진 미세입자에 세정수(물)을 분무시켜 비교적 큰 미세입자를 제거하는 동시에 응집부로 유입된 미세입자를 응집성장을 일으켜 조대화시킴으로서 제거시킨다.
상기 분무부에 설치되는 세정수를 분무시키는 미세분무장치는 세정수(물)를 미세하게 분무시켜야 한다. 만약 세정수가 미세하게 분무되지 않아 분무된 세정수 입자가 미세입자보다 클 경우 제거하고자 하는 미세입자가 응집성장이 잘 이루어지지 않아 조대화되지 않는 단점이 있다.
상기 세정수를 미세하게 분무시켜 미세입자의 응집성장이 잘 이루어지도록 하기 위하여 세정수를 분무하는 노즐을 작게 형성시킬 경우에는 세정수에 포함되어 있는 이물질에 의하여 노즐이 막히는 현상이 발생한다.
즉, 상기 세정수는 노즐을 통하여 분무되고, 분무된 세정수는 미세입자와 함께 세정수조로 유입되고, 세정수조로 유입된 세정수는 다시 펌프를 통하여 노즐로 공급되어 분무된다. 그러므로 세정수에는 많은 이물질이 포함되게 된다.
상기와 같은 이유로 일반적인 노즐을 사용하여 세정수를 분무하는 분무장치 는 분무되는 세정수의 입자의 크기가 한정된다.
상기 문제점을 해결하고자 본 발명은,
공급되는 세정수를 노즐을 통하여 1차로 분무시키고, 분무된 세정수를 다시 공급되는 공기압을 이용하여 서로 충돌시켜 분무시킴으로써 노즐의 막힘현상을 방지하고, 분부되는 세정수가 미세하게 분무되도록 하는데 목적이 있다.
즉, 공급되는 세정수를 1차로 분무하는 노즐과, 상기 노즐에서 분무된 세정수를 서로 충돌시켜 분무하는 충돌노즐부를 가지는 미세 분무장치를 제공하는데 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치의 미세 분무장치에 있어서, 세정수 공급관으로 공급되는 세정수를 노즐을 통하여 1차로 분무시키고, 상기 노즐을 통하여 분무된 세정수를 서로 충돌시켜 2차로 분무시키도록 이루어진 것이다.
이러한 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치는, 세정수가 공급되도록 형성되고, 양측에 플레이트가 설치되어 밀폐형으로 이루어지며, 상기 일측의 플레이트에는 세정수 공급홀이 형성된 관으로 이루어진 몸체와;
상기 몸체의 양측에 설치되어 있는 플레이트들에 형성된 에어공급관용 홀들을 통하여 몸체를 관통되게 설치되되, 상기 플레이트 측으로 돌출되게 설치되며, 상기 돌출된 단부가 서로 각도를 가지고 마주보게 설치되는 압력을 가지는 공기가 공급되는 다수개의 에어공급관과;
상기 플레이트 측으로 돌출된 에어급공관 부분을 막음판을 이용하여 형성되는 세정수 공급홀을 통하여 세정수가 공급되는 챔버와;
상기 챔버에 공급된 세정수를 다수개의 에어공급관으로 각각 분무시키도록 형성된 다수개의 노즐로 구성된다.
상기 에어공급관들은 보통 2~5개로 형성되며, 바람직하게는 2개로 이루어지는 것이 좋다.
상기 각각의 에어공급관에 설치되는 노즐은 그 크기와 분무량에 따라 그 수량이 결정되며 보통 1~3개가 설치되고, 바람직하게는 1개 또는 2개가 설치되는 것이 가장 바람직하다.
상기와 같이 구성된 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치는, 챔버에 공급된 세정수를 다수개의 노즐을 통하여 각각의 에어공급관으로 분무시키고, 상기 각각의 에어공급관으로 분무된 세정수가 압력을 가지는 공기와 함께 단부로 공급되어 서로 충돌하여 분무되게 된다.
상기 챔버에는 공급된 세정수가 다수개의 노즐을 통하여 각각의 에어공급관에 균일하게 분무시킬 수 있도록 확관부가 형성되는 것이 바람직하다.
상기 챔버에 형성된 확관부는 에어공급관을 곡선으로 구부려 노즐이 형성된 챔버의 일부분을 넓게 형성되도록 한 것이다. 상기 에에공급관이 곡선으로 구부러짐으로써 공기의 흐름이 원활해 질 수 있는 특징이 있다.
또는, 에어공급관을 막는 막음판을 곡면지게 형성하여 노즐이 형성된 챔버의 일부분을 넓게 형성할 수도 있는 것이다.
상기 에어공급관에 돌출된 단부 측에 형성되는 경사각(θ)은 28~32도로 형성되는 것이 바람직하다.
상기 에어공급관에 돌출된 단부들로 형성되는 분사각(θ')은 30~35도로 형성되는 것이 바람직하다.
상기와 같이 이루어진 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치는 세정수를 1차로 노즐을 통하여 분무시키고, 노즐을 통하여 분무된 세정수를 다시 충돌시켜 분무된 세정수를 미세하게 분무시키는 것으로, 1차로 세정수를 분무시키는 노즐의 크기를 크게 할 수 있어 세정수에 포함되어 있는 이물질에 의하여 노즐을 막힘현상을 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 1차로 노즐을 통하여 분무된 세정수를 압력을 가지는 공기와 함께 서로 충돌시킴으로써 충돌에 의하여 분무된 세정수를 보다 미세하게 공급할 수 있는 특징이 있다.
또한, 상기와 같이 구성된 본 발명의 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치는 노즐을 이용하여 1차로 분무시키고, 상기 노즐을 통하여 분무된 세정수를 압력 공기와 함께 서로 충돌시킴으로써 대용량의 세정수를 분무시킬 수 있는 특징이 있다.
첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대하여 보다 구체적으로 설명한다.
도 1과 같이 일반적으로 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치는 크게 유해배출물(가스)이 유입되는 공급관에 설치되는 양극성 예비하전부(1)와, 분사장치가 설치된 스크러버 분무부(2)와, 고정압전극이 설치된 응집부(3)와, 방전극이 설치된 전기집진부(4)와, 고압발생장치(5)로 구성된다.
보통 상기 양극성 예비하전부(1)는 (+)고전압 코로나 방전을 발생시키는 방전극과, 이에 대응되도록 마련된 접지극으로 이루어져 (+)코로나 방전을 발생시키는 (+)코로나 방전발생부와, (-)고전압 하전을 발생시키는 방전극과 이에 대응하도록 마련된 접지극으로 이루어져 (-)코로나 방전을 발생시키는 (-)코로나 방전발생부로 이루어져 상기 공급관으로 유입되는 유해배출물(가스)의 유해 미세 입자는 양극성 예비하전부(1)를 지나면서 양(+)극 하전 미세입자와 음(-)극 하전 미세입자의 양극성을 띄게 된다.
상기 양극성 예비하전부(1)를 통과하면서 (+)하전 미세입자와 (-)하전 미세입자들은 습식 스크러버의 분무부(2)에서 발생하는 분무 사이를 통과하면서 일반적인 습식 스크러버의 포집 메카니즘에 따라 큰 입자와 가스상 물질은 분무 액적에 의해 걸러지게 되는 것으로, 이때에도 직경 1미크론 이하의 미세한 입자는 대부분 통과하게 되며, 상기 통과하는 미세입자는 분무되는 물 액적과 함께 응집부(3)로 유입된다.
상기 응집부(3)로 유입된 미세입자와 분무(물) 액적은 응집성장하고, 전기집진부(4)에 설치되어 있는 고전압이 가해지는 방전극에서 발생하는 높은 코로나 하전 및 고전계로 인해 큰 물 액적들은 집진판에 부착하여 집진된다.
상기 스크러버의 분무부(2)에는 미세입자에 세정수를 분무하기 위한 세정수 공급장치가 설치된다.
상기 세정수 공급장치는 세정수를 저장하는 세정수조와, 상기 세정수조의 세정수를 펌핑하는 펌프와, 상기 펌프에서 펌핑되는 세정수를 공급하는 세정수 공급관과, 상기 세정수 공급관으로 공급되는 세정수를 분무하는 미세 분무장치로 이루어진다.
본 발명의 바람직한 실시예를 나타낸 도 2 내지 도 7를 이용하여 미세 분무장치에 대하여 설명하면,
상기 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치는 크게 세정수를 공급하는 몸체(10)와; 상기 몸체(10)를 관통하여 설치되어 압력공기를 공급하는 2개의 에어공급관(20)과, 상기 몸체(10)에 돌출되어 있는 2개의 에어공급관(20)과 막음판(50)을 이용하여 형성되고 상기 몸체(10)에 공급되는 세정수가 공급되도록 형성된 챔버(30)와, 상기 챔버(30)에 공급된 세정수를 각각의 에어공급관(20)에 분무하도록 설치된 노즐(40)들로 구성되되, 상기 2개의 에어공급관(20)의 단부는 서로 경사지게 마주보도록 형성된다.
상기 몸체(10)는 세정수가 공급되는 세정수 공급관(14)이 설치되고, 상기 양 단부에 플레이트(12, 13)가 설치되는 관(11)으로 이루어진다.
상기 관(11)은 도면과 같이 원형의 관으로 이루어질 수 있으며, 또는 4각, 5각, 6각과 같은 다각형의 관으로 이루어질 수 있다.
상기 관(11)의 단부에 설치되는 플레이트(12, 13)에는 2개의 에어공급관(20)이 몸체(10)를 관통하여 설치될 수 있도록 에어공급관용 홀(12-2, 12-3)들이 대응되게 형성되어 있으며, 상기 플레이트(12)에는 몸체(10) 내측으로 공급된 세정수를 챔버(30)에 공급되도록 세정수 공급홀(12-1)이 형성된다.
이러한 상기 몸체(10)를 고정시키기 위하여 외측에는 고정을 위한 고정용 플레이트(14)가 더 설치된다.
상기 몸체(10)를 관통되게 설치되는 에어공급관(20)으로 압력을 가지는 공기가 공급될 수 있도록 몸체(10)의 플레이트(13) 측에 압력를 가지는 공기가 공급되는 에어공급구(70)가 설치된다.
상기 몸체(10)의 플레이트(12) 측의(전방) 에어공급관(20)은 돌출되게 설치되고, 돌출된 2개의 에어공급관(20)의 단부(21)는 서로 경사지도록 마주보게 형성하여 충돌노즐부(60) 형성한다. 이는 2개의 에어공급관(20)으로 공급되는 공기와 분무된 세정수가 서로 충돌하여 분무되도록 하기 위함이다.
도 3과 같이 상기 돌출된 에어공급관(20)의 단부(21) 측에 형성되는 경사각(θ)은 28~32도로 형성된다. 상기 경사각(θ)은 에어공급관(20)으로 공급되는 분무된 세정액을 서로 충돌시켜 세정수의 입자를 미세하게 분무시키게 된다.
상기 에어공급관(20)에 돌출된 단부(21)들로 형성되는 분무된 세정액을 분사 시키는 분사각(θ')은 30~35도로 형성된다. 이는 서로 충돌된 세정수를 분산시키기 위한 것이다.
상기 2개의 에어공급관(20)이 몸체(10)로부터 돌출된 부분을 이용하여 챔버(30)가 형성된다. 즉, 돌출된 에어공급관(20)의 부분을 양측에서 막음판(50)을 설치하고, 단부(21)의 일측을 서로 접합하여 챔버(30)를 형성한다.
상기와 같이 형성된 챔버(30)는 플레이트(12)에 형성된 세정수 공급홀(12-1)을 통하여 세정수가 공급되고, 공급된 세정수는 각각의 에어공급관(20)으로 분무될 수 있도록 노즐(40)들이 설치된다. 즉, 상기 세정수 공급홀(12-1)을 통하여 공급되는 세정수는 각각의 에어공급관(20)으로 분부된다.
이러한 챔버(30)는 공급된 세정수가 각각의 에어공급관(20)으로 분무될 수 있도록 환관부(31)가 형성된다.
상기 확관부(31)는 도 3과 같이 에어공급관(20)을 외측으로 곡선지게 구부려 형성한다. 이는 에어공급관(20)으로 공급되는 공기의 흐름을 원활하게 하는 효과도 있다.
상기 확관부(31)는 막음판(50)을 외측으로 볼록하게 형성함으로써 형성시킬 수도 있는 것이다.
상기와 같이 구성된 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치의 작용에 대하여 설명하며,
세정수조로부터 펌프에 의하여 세정수가 압력을 가지고 세정수 공급관(14)으 로 공급되고, 상기 에어공급구(70)로는 블로워에 의하여 압축된 공기가 공급된다.
상기 세정수 공급관(14)으로 공급되는 세정수는 몸체(10) 내측으로 유입되고, 유입된 세정수는 플레이트(12)에 형성된 세정수 공급홀(12-1)을 통하여 챔버(30)로 유입되고, 상기 챔버(30)로 유입된 세정수는 노즐(40)을 통해 각각의 에어공급관(20)으로 분무된다.
상기 에어공급구(70)로 공급된 압축된 공기는 에어공급관(20)으로 공급되고, 상기 노즐(40)을 통해 분무된 세정수와 함께 단부(21)로 토출되되, 각각의 에어공급관(20)으로 토출되는 분무된 세정수는 서로 충돌하여 미세하게 분무된다.
즉, 세정수 공급관(14)으로 공급되는 세정수를 노즐(30)을 통하여 1차로 분무시키고, 상기 노즐(40)을 통하여 분무된 세정수를 충돌노즐부(60)에서 서로 충돌시켜 2차로 분무시키게 된다.
도 1은 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치의 구성도.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예를 나타낸 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치의 정면도.
도 3은 도 2의 단면도.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예를 나타낸 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치의 평면도.
도 5는 도 4의 단면도.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예를 나타낸 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치의 부분 사시도.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예를 나타낸 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치의 측면도.
도 8은 도 3의 A-A 단면도.
[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명]
10 : 몸체 11 : 관
12, 13 : 플레이트 12-1 : 세정수 공급홀
12-2, 13-2 : 에어공급관용 홀
20 : 에어관급관 21 : 단부
30 : 챔버 31 : 확관부
40 : 노즐 50 : 막음판

Claims (6)

  1. 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치의 미세 분무장치에 있어서,
    세정수가 공급되도록 형성되고, 양측에 플레이트(12, 13)가 설치되어 밀폐형으로 이루어지며, 상기 플레이트(12)에 세정수 공급홀(12-1)이 형성된 관(11)으로 이루어진 몸체(10)와;
    상기 몸체(10)의 양측에 설치되어 있는 플레이트(12, 13)에 형성된 에어공급관용 홀(12-2, 13-2)들을 통하여 몸체(10)를 관통되게 설치되되, 상기 플레이트(12) 측으로 돌출되게 설치되며, 상기 돌출된 단부(21)가 서로 각도를 가지고 마주보게 설치되는 압력을 가지는 공기가 공급되는 다수개의 에어공급관(20)과;
    상기 플레이트(12) 측으로 돌출된 에어급공관(20) 부분을 막음판(50)을 이용하여 형성되는 세정수 공급홀(12-1)을 통하여 세정수가 공급되는 챔버(30)와;
    상기 챔버(30)에 공급된 세정수를 다수개의 에어공급관(20)으로 각각 분무시키도록 형성된 다수개의 노즐(40)로 구성되어,
    상기 챔버(30)에 공급된 세정수를 다수개의 노즐(40)을 통하여 각각의 에어공급관(20)으로 분무시키고, 상기 각각의 에어공급관(20)으로 분무된 세정수가 압력을 가지는 공기와 함께 단부(21)로 공급되어 서로 충돌하여 분무됨을 특징으로 하는 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 챔버(30)에는 공급된 세정수가 다수개의 노즐(40)을 통하여 각각의 에어공급관(20)에 균일하게 분무시킬 수 있도록 확관부(31)가 형성됨을 특징으로 하는 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 챔버(30)에 형성된 확관부(31)는 에어공급관(20)을 곡선으로 구부려 형성됨을 특징으로 하는 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 에어공급관(20)에 돌출된 단부(21) 측에 형성되는 경사각(θ)은 28~32도로 형성됨을 특징으로 하는 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 에어공급관(20)에 돌출된 단부(21)들로 형성되는 분사각(θ')은 30~35도로 형성됨을 특징으로 하는 전기집진방식을 이용한 미세입자 포집장치용 미세 분무장치.
  6. 삭제
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106670009A (zh) * 2017-02-21 2017-05-17 山东科技大学 橡胶颗粒表面液体胶黏剂涂覆方法及涂覆装置
CN107457100A (zh) * 2017-07-03 2017-12-12 山东科技大学 一种排堵式液气化喷嘴
KR20190055959A (ko) 2017-11-16 2019-05-24 한국에너지기술연구원 용량 대응형 습식 전기 집진 시스템

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102113469B1 (ko) * 2018-12-26 2020-05-21 주식회사 제이디앤티 2 유체 혼합 방식의 분무 노즐
CN112808477B (zh) * 2020-12-30 2022-05-10 中冶建筑研究总院有限公司 一种用于钢渣表面涂覆处理的装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09287714A (ja) * 1996-04-19 1997-11-04 Babcock Hitachi Kk スラリ燃料用アトマイザ
KR20020002300A (ko) * 2000-06-30 2002-01-09 시부야 히로토시 세정 노즐 및 세정 장치
KR20020087075A (ko) * 2000-03-14 2002-11-21 엠사르, 인코포레이티드 압착배출기용 배출헤드를 이용하는 방법
KR20060128289A (ko) * 2005-06-10 2006-12-14 가부시키가이샤 이케우치 초미세 분무 분사 노즐

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09287714A (ja) * 1996-04-19 1997-11-04 Babcock Hitachi Kk スラリ燃料用アトマイザ
KR20020087075A (ko) * 2000-03-14 2002-11-21 엠사르, 인코포레이티드 압착배출기용 배출헤드를 이용하는 방법
KR20020002300A (ko) * 2000-06-30 2002-01-09 시부야 히로토시 세정 노즐 및 세정 장치
KR20060128289A (ko) * 2005-06-10 2006-12-14 가부시키가이샤 이케우치 초미세 분무 분사 노즐

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106670009A (zh) * 2017-02-21 2017-05-17 山东科技大学 橡胶颗粒表面液体胶黏剂涂覆方法及涂覆装置
CN107457100A (zh) * 2017-07-03 2017-12-12 山东科技大学 一种排堵式液气化喷嘴
CN107457100B (zh) * 2017-07-03 2019-04-02 山东科技大学 一种排堵式液气化喷嘴
KR20190055959A (ko) 2017-11-16 2019-05-24 한국에너지기술연구원 용량 대응형 습식 전기 집진 시스템

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