KR100915637B1 - Apparatus for delaminating flexible plates - Google Patents
Apparatus for delaminating flexible platesInfo
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Abstract
본 발명은 손잡이의 일단과 결합하고 지지기판과 평행하게 결합하는 수평부, 상기 수평부의 타단에서 두 개의 가지로 분지되고 상기 분지된 두 가지 사이의 거리는 상기 지지기판의 상부에 접착된 플랙서블 기판의 수평 길이보다 더 길며, 상기 두 가지의 끝단은 분리세사로 연결되어 있는 지지기판 접촉부, 상기 수평부의 상단에 축설되는 실타래와 상기 수평부 및 지지기판 접촉부의 상단에 형성되고 상기 실타래에서 인출되는 상기 분리세사를 상기 지지기판 접촉부의 끝단으로 인도하는 복수의 도르래 및 고정구, 상기 수평부의 상단에서 상기 인출된 분리세사와 인접하게 형성되며 용제 저장통 및 상기 용제 저장통의 하단에 삽설되고 상기 인출된 분리세사와 접촉하는 용제 접촉부로 구성된 용제 인가부 및 상기 수평부의 양 측면에 축설되는 이동 바퀴로 구성된 플랙서블 기판 분리 장치를 제공할 수 있다.The present invention is a horizontal portion that is coupled to one end of the handle and coupled in parallel with the support substrate, branched into two branches at the other end of the horizontal portion and the distance between the two branches of the flexible substrate bonded to the upper portion of the support substrate Longer than the horizontal length, the two ends are formed on the upper end of the support board contact portion connected to the separation thread, the horizontal thread formed on the upper end of the horizontal portion and the contact portion of the horizontal portion and the support substrate and withdrawn from the thread A plurality of pulleys and fixtures leading the yarn to the end of the support substrate contacting portion, and formed at the upper end of the horizontal portion so as to be adjacent to the pulled-off separation yarn and inserted into the solvent reservoir and the bottom of the solvent reservoir and contacting the pulled-off yarn A solvent applying portion composed of a solvent contact portion to be formed and a movement arranged on both sides of the horizontal portion A flexible substrate separation device composed of wheels can be provided.
Description
본 발명은 플랙서블 기판 분리 장치에 관한 것이다. 특히 본 발명은 지지기판과 접착되어 있는 얇은 플랙서블 기판을 기판에 부담 없이 쉽게 분리하기 위한 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a flexible substrate separating apparatus. In particular, the present invention relates to an apparatus for easily separating a thin flexible substrate adhered to a support substrate without burdening the substrate.
본 발명은 정보통신부 및 정보통신연구진흥원의 IT신성장동력기술개발사업의 일환으로 수행한 연구로부터 도출된 것이다[과제관리번호: 2005-S-070-03, 과제명: Flexible 디스플레이]The present invention is derived from the research conducted as part of the IT new growth engine technology development project of the Ministry of Information and Communication and the Ministry of Information and Communication Research and Development. [Task Management Number: 2005-S-070-03, Project Name: Flexible Display]
플랙서블 디스플레이와 같은 얇고 구부러질 수 있는 첨단 전자 장비에 대한 기술이 발전함에 따라 금속박이나 플라스틱 박막과 같이 매우 얇고 구부러지기 쉬운 재료를 기판으로 하여 반도체 공정을 진행하는 기술이 발전하고 있다.As technology for thin and bendable high-tech electronic equipment such as flexible displays is developed, technology for processing semiconductors using substrates made of very thin and bendable materials such as metal foil or plastic thin films is being developed.
이러한 경우, 일반적으로 얇은 기판의 하단에 경질의 기판을 덧대어서 공정 작업을 수행하고 공정이 모두 끝난 후에 하단의 기판과 얇은 플랙서블 기판을 분리하여 플랙서블 기판에 대한 공정을 끝낸다.In this case, in general, a process of attaching a hard substrate to the bottom of the thin substrate is performed, and after the process is completed, the process of the flexible substrate is completed by separating the bottom substrate and the thin flexible substrate.
그러나 공정이 끝나고 플랙서블 기판과 하단의 기판을 분리할 때에 얇은 플랙서블 기판이 손상을 입는 경우가 많았다. 이는 하단 기판과 플랙서블 기판이 공정 중에 분리되거나 위치가 변경되지 않도록 접착제를 이용하여 접착시키는데 이러한 접착제를 제거하기 위하여 물리적인 방법이나, 열을 부가하는 방법 등을 사용해왔기 때문이다. 이러한 기존의 방법들은 재현성이 부족하거나 공정의 단가를 증가시키거나, 사용에 제약이 큰 것들이었다.However, when the process was completed, the thin flexible substrate was often damaged when separating the flexible substrate from the lower substrate. This is because the lower substrate and the flexible substrate are bonded by using an adhesive so that the substrate is not separated or changed in the process, and a physical method or a method of adding heat is used to remove the adhesive. These existing methods lack reproducibility, increase the cost of the process, or restrict the use.
따라서 공정단가를 높이지 않으면서도 쉽고 간편하게 플랙서블 기판을 하단의 지지기판과 분리할 수 있는 장치가 요청되어왔다.Therefore, there has been a demand for a device that can easily and easily separate the flexible substrate from the lower support substrate without increasing the process cost.
본 발명은 플랙서블 기판 분리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한 본 발명은 얇은 실을 이용하여 플랙서블 기판에 무리가 가지 않도록 기판을 분리하는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a flexible substrate separation apparatus. In addition, an object of the present invention is to provide an apparatus for separating the substrate using a thin thread so that the flexible substrate is not overwhelmed.
상술한 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따르면, 손잡이의 일단과 결합하고 지지기판과 평행하게 결합하는 수평부; 상기 수평부의 타단에서 두 개의 가지로 분지되고 상기 분지된 두 가지 사이의 거리는 상기 지지기판의 상부에 접착된 플랙서블 기판의 수평 길이보다 더 길며, 상기 두 가지의 끝단은 분리세사로 연결되어 있는 지지기판 접촉부; 상기 수평부의 상단에 축설되어 분리세사를 인출시키는 실타래와, 상기 수평부 및 지지기판 접촉부의 상단에 형성되고 상기 실타래에서 인출되는 상기 분리세사를 상기 지지기판 접촉부의 끝단으로 인도하는 복수의 도르래 및 고정구; 상기 수평부의 상단에 형성되며, 용제 저장통과, 상기 용제 저장통의 하단에 삽설되고 상기 인출된 분리세사와 접촉하는 용제 접촉부로 구성된 용제 인가부; 및 상기 수평부의 양 측면에 축설되는 이동 바퀴로 구성된 플랙서블 기판 분리 장치를 제공할 수 있다.In order to achieve the above objects, according to an aspect of the present invention, a horizontal portion coupled to one end of the handle and coupled to the support substrate in parallel; The distance between the two branched branches at the other end of the horizontal portion is longer than the horizontal length of the flexible substrate bonded to the upper portion of the support substrate, the two ends are supported by a separate thread Substrate contacts; A plurality of pulleys and fasteners arranged at an upper end of the horizontal part to draw a separate thread, and a plurality of pulleys and fixtures formed at an upper end of the horizontal part and the support substrate contacting part and leading the separating thread drawn out of the thread to the end of the support substrate contacting part; ; A solvent applying part formed at an upper end of the horizontal part, the solvent applying part including a solvent storage part and a solvent contact part inserted into a lower part of the solvent storage part and contacting the drawn-off separation yarn; And it is possible to provide a flexible substrate separation device consisting of moving wheels arranged on both sides of the horizontal portion.
바람직한 실시예에 있어서, 상기 지지기판은 연성이 없는 유리 또는 규소화합물 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다. 또한, 상기 플랙서블 기판은 구부러지기 쉬운 플라스틱 또는 은박지 중 어느 하나로 이루어진 얇은 기판인 것을 특징으로 할 수 있다. In a preferred embodiment, the support substrate may be formed of any one of ductile glass or silicon compound. In addition, the flexible substrate may be a thin substrate made of any one of plastic or silver foil, which is easily bent.
또한, 상기 지지기판 접촉부의 끝단은 상기 지지기판을 보호하기 위한 보호부를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다. 또한, 상기 실타래의 상단에는 상기 실타래를 회전시킬 수 있도록 구성된 손잡이가 더 포함되는 것을 특징으로 할 수 있다. 또한, 상기 고정구는 상기 분리세사가 관통되는 작은 관 형상으로 구성되며, 상기 관의 구부러짐을 이용하여 상기 실타래에서 인출되는 분리세사를 상기 지지기판 접촉부의 끝단으로 인도하는 것을 특징으로 할 수 있다. 또한, 상기 용제 저장통은 상기 플랙서블 기판을 상기 지지기판에 접착시킨 접착제를 녹이는 유기 용제를 저장하는 것을 특징으로 할 수 있다. 또한, 상기 용제 접촉부는 상기 용제 저장통에 저장된 유기 용제를 흡수하여 상기 분리세사와 접촉하는 부분에서 상기 흡수된 유기 용제를 상기 분리세사로 흡수시키는 것을 특징으로 할 수 있다. In addition, the end of the support substrate contact portion may be characterized in that it further comprises a protection for protecting the support substrate. In addition, the upper end of the thread may be characterized in that it further comprises a handle configured to rotate the thread. In addition, the fastener may be configured in a small tubular shape through which the separation thread penetrates, and guides the separation yarn drawn out of the thread to the end of the support substrate contacting portion by using the bending of the tube. In addition, the solvent reservoir may be characterized in that for storing the organic solvent for melting the adhesive bonded to the flexible substrate to the support substrate. In addition, the solvent contact portion may absorb the organic solvent stored in the solvent reservoir to absorb the absorbed organic solvent in the portion in contact with the separation washing by the separation washing.
또한, 상기 분리세사는 상기 용제 저장통에 저장되는 유기 용제에 녹지 않는 물질인 것을 특징으로 할 수 있다. 또한, 상기 이동 바퀴는 상기 수평부의 양 측면과 결합하는 이동 바퀴 지지대에 축설되는 것을 특징으로 할 수 있다. In addition, the separation tax may be characterized in that the material is insoluble in the organic solvent stored in the solvent reservoir. In addition, the moving wheel may be characterized in that it is arranged on the moving wheel support coupled to both sides of the horizontal portion.
본 발명은 플랙서블 기판 분리 장치를 제공할 수 있다. 또한 본 발명은 얇은 실을 이용하여 플랙서블 기판에 무리가 가지 않도록 기판을 분리하는 장치를 제공한다.The present invention can provide a flexible substrate separation apparatus. In another aspect, the present invention provides a device for separating the substrate using a thin thread so that the flexible substrate is not overwhelming.
도 1은 본 발명이 적용되는 플랙서블 기판의 단면도를 나타내는 도면1 is a cross-sectional view of a flexible substrate to which the present invention is applied.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플랙서블 기판 분리 장치의 측면도Figure 2 is a side view of the flexible substrate separation apparatus according to an embodiment of the present invention
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 플랙서블 기판 분리 장치의 정면도3 is a front view of a flexible substrate separating apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 플랙서블 기판 분리 장치의 평면도Figure 4 is a plan view of a flexible substrate separation apparatus according to an embodiment of the present invention
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
201 : 손잡이 203 : 수평부201: handle 203: horizontal portion
205 : 지지기판 접촉부 207 : 실타래205: support substrate contact portion 207: thread
211 : 도르래 209 : 고정구211 pulley 209 fixture
221 : 용제 저장통 223 : 용제 접촉부221: solvent reservoir 223: solvent contact
213 : 용제 인가부 217 : 이동 바퀴213: solvent applying unit 217: moving wheel
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 플랙서블 기판 분리 장치에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a flexible substrate separation apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명이 적용되는 플랙서블 기판의 단면도를 나타내는 도면이다.1 is a cross-sectional view of a flexible substrate to which the present invention is applied.
도 1을 참조하면, 본 발명이 적용되는 플랙서블 기판(101)은 반도체 공정을 위하여 여러 공정을 유영하고 휘어질 수 있는 얇은 박막의 플랙서블 기판(101)위에서 처리하게 되므로, 공정의 결과로 패턴(100) 등이 형성되는 경우 플랙서블 기판(101)위에 형성되게 된다.Referring to FIG. 1, the flexible substrate 101 to which the present invention is applied is processed on a thin thin film flexible substrate 101 capable of swimming and bending various processes for a semiconductor process, and as a result of the process, a pattern When the 100 and the like are formed, the flexible substrate 101 is formed.
다만, 이러한 경우 플랙서블 기판(101)위에 패턴(100)을 생성할 경우에는 기판이 움직이거나 휘어지면 문제가 생길 수 있어, 일반적으로 딱딱하고 안정적인 지지기판(103)위에 플랙서블 기판(101)을 적층하고 그 사이에 접착제(102)를 도포하여 플랙서블 기판(101)과 지지기판(103)을 고정하게 된다. 이렇게 접착제(102)로 고정을 하면, 공정 단계에서 지지기판(103) 때문에 안정적인 공정이 가능하고, 공정이 끝난 다음 접착제(102)를 제거하거나, 접착을 떼어내면 플랙서블 기판(101)의 상부에 형성된 패턴(100)으로 플랙서블 장치에 적용할 수 있다.However, in this case, when the pattern 100 is formed on the flexible substrate 101, problems may occur when the substrate is moved or bent, so that the flexible substrate 101 is generally placed on the rigid and stable support substrate 103. The flexible substrate 101 and the support substrate 103 are fixed by laminating and applying an adhesive 102 therebetween. When the adhesive 102 is fixed in this way, a stable process is possible due to the support substrate 103 in the process step, and after the process is finished, the adhesive 102 is removed or the adhesive is removed to the upper portion of the flexible substrate 101. The formed pattern 100 may be applied to a flexible device.
이러한 상기 접착제(102)를 지지기판과 떼어내기 위해서 일반적으로 사용되는 방법은, 물리적인 방법으로 직접 뜯어내는 방법, 가열하여 접착제(102)를 이완시켜 분리시키는 방법, 접착제(102)에 감광성 물질을 포함시켜 노광하는 방법 및 유기 용제를 이용하여 접착제(102)를 녹이는 방법이 사용되어 왔다.The method generally used to separate the adhesive 102 from the support substrate is a method of directly tearing off the physical body by a physical method, a method of loosening and separating the adhesive 102 by heating, and a photosensitive material on the adhesive 102. A method of incorporating and exposing and dissolving the adhesive 102 using an organic solvent has been used.
그러나 상기 물리적인 방법은, 플랙서블 기판에 과도한 압력이 가해져서 패턴이 손상될 우려가 있으며, 가열하는 경우 유해가스가 방출되거나, 분리한 후에 여분의 접착제에 의하여 재 접착의 위험성이 있고, 감광성 물질을 사용하는 경우 특정 광원을 선택해야하므로 선택의 폭이 좁고 제조 단가가 상승한다. 또한, 유기 용제를 사용할 경우 접착면에 정확히 유기 용제를 이송하기가 힘들다는 난점이 존재한다.However, the physical method may damage the pattern due to excessive pressure applied to the flexible substrate, and when heated, there is a risk of releasing harmful gases or re-adhesion by extra adhesive after separation, and a photosensitive material. In the case of using a specific light source, the choice is narrower and the manufacturing cost increases. In addition, when using an organic solvent, there is a difficulty in that it is difficult to accurately transfer the organic solvent to the adhesive surface.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 플랙서블 기판 분리 장치의 측면도이다.2 is a side view of a flexible substrate separation apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 2를 참조하면, 상기 도 1에서 설명된 여러 제한들을 극복하고 쉽고 간단하게 플랙서블 기판을 지지기판에서 분리하기 위한 플랙서블 기판 분리 장치를 나타내는 도면이다.Referring to FIG. 2, a flexible substrate separation apparatus for overcoming the limitations described in FIG. 1 and easily and simply separating the flexible substrate from the supporting substrate is illustrated.
도 2에서 본 발명에 따른 플랙서블 기판 분리 장치는 손잡이(201), 수평부(203),지지기판 접촉부(205)로 크게 나눌 수 있으며, 이러한 세 부분이 합쳐 본체를 이룬다. 이러한 본체 위에는 실타래(207), 도르래(211) 및 고정구(209), 용제 저장통(221) 및 용제 접촉부(223)로 구성된 용제 인가부(213)가 있으며, 상기 본체의 양쪽 측면으로는 이동 바퀴(217)가 있는 모양이다.In FIG. 2, the flexible substrate separating apparatus according to the present invention may be broadly divided into a handle 201, a horizontal part 203, and a support substrate contacting part 205, and these three parts form a main body. On the main body there is a solvent applying portion 213 consisting of a thread 207, a pulley 211 and a fixture 209, a solvent reservoir 221 and a solvent contact portion 223, the moving wheel ( 217).
손잡이(201)는 본 발명에 따른 플랙서블 기판 분리 장치를 다루기 위한 손잡이 부분이다. 본 발명에 따른 플랙서블 기판 분리 장치는 플랙서블 기판의 크기에 따라 그 크기가 다양할 수 있으나, 일반적으로 판단할 때 아주 큰 크기는 아니므로 플랙서블 기판 분리 장치도 한 손 으로 다룰 수 있는 크기가 될 것이다. 따라서 상기 플랙서블 기판 분리 장치를 다루기 위한 손잡이가 구성요소로 추가된다.The handle 201 is a handle portion for handling the flexible substrate separating apparatus according to the present invention. The flexible substrate separating apparatus according to the present invention may vary in size depending on the size of the flexible substrate, but in general, the flexible substrate separating apparatus is not a very large size, and thus the flexible substrate separating apparatus may be handled with one hand. Will be. Thus, a handle for handling the flexible substrate separation device is added as a component.
수평부(203)는 손잡이와 연결된 구조물이다. 이러한 수평부(203)의 상단에는 플랙서블 기판 분리 장치에서 필요한 여러 구조물들이 설치될 수 있다.The horizontal portion 203 is a structure connected with the handle. Various structures necessary for the flexible substrate separation apparatus may be installed at the upper end of the horizontal portion 203.
지지기판 접촉부(205)는 실제로 지지기판(220)과 닿는 부분이다. 본 발명의 플랙서블 기판 분리 장치는 도 3 및 도 4에서 확인할 수 있는 바와 같이 'Y' 자 모양이나 'ㄷ' 자 형태를 취하고 있다. 결국 상기 지지기판 접촉부(205)는 두 갈래로 나눠져서 지지기판(220)에 접촉하고, 그 사이로 플랙서블 기판(230)이 통과되는 형태이다. 즉 상기 수평부(203)에서 분지된 가지가 양 끝으로 2 개 나와서 그 끝이 지지기판(220)과 접촉하고 그 분지된 가지의 끝단과 끝단을 이하에서 설명할 분리 세사(215)로 연결한 모양을 가진다.The support substrate contact portion 205 is a portion that actually contacts the support substrate 220. The flexible substrate separating apparatus of the present invention has a 'Y' shape or a 'c' shape as can be seen in FIGS. 3 and 4. As a result, the support substrate contact portion 205 is divided into two parts to contact the support substrate 220, and the flexible substrate 230 passes therebetween. That is, two branches branched from the horizontal portion 203 come out at both ends thereof, and the ends thereof come into contact with the support substrate 220, and the ends and ends of the branched branches are separated by a separate thread 215 to be described below. Has a shape.
본 도면에서 지지기판 접촉부(205)는 수평부(203)에 'ㄱ'형태로 결합하는 모양으로 나타나 있으나, 이는 일반적인 실시예일 뿐으로 다른 형태로 결합하는 것도 얼마든지 가능하다.In this figure, the support substrate contact portion 205 is shown in a shape that is coupled to the horizontal portion 203 in the 'b' shape, this is just a general embodiment it is also possible to combine in other forms.
실타래(207)는 본 발명의 수평부(203)의 상부에 축을 설치하고 축에 원통형 실패를 설치한 것이다. 이러한 실타래(207)는 분리 세사(215)가 실패를 감싸고 있는 형태인데, 본 발명에서 플랙서블 기판(230)을 쉽게 분리하기 위한 분리 장치의 중요한 부분인 분리 세사(215)를 저장하는 부분이라 할 수 있다.The thread 207 is to install a shaft on top of the horizontal portion 203 of the present invention and a cylindrical failure in the shaft. The thread 207 is a form in which the separation thread 215 surrounds a failure, and in the present invention, a part for storing the separation thread 215 which is an important part of the separation device for easily separating the flexible substrate 230. Can be.
도르래(211) 및 고정구(209)는 상기 실타래(207)에서 인출되는 분리 세사(215)의 경로를 고정하는 역할을 담당한다. 여기서 도르래(211)는 분리 세사(215)가 움직이는 경우에 마찰에 의한 손상을 최소화하기 위하여 실이 움직일 때 같이 움직이도록 도르래 형태로 구성되고, 실의 경로를 고정시키기 위한 수단이고, 고정구(209)는 분리 세사(215)가 실타래(207)에서 인출되는 부분이나, 지지기판 접촉부(205)의 끝단에서 끝단으로 분리 세사(215)가 연결되는 부분에서 그 경로를 지정해 줄때 사용되는 소형 관의 형태를 가지고 있는 부분이다.The pulley 211 and the fastener 209 play a role of fixing the path of the separating yarn 215 drawn out from the thread 207. Here, the pulley 211 is configured in the form of a pulley to move together when the thread moves in order to minimize the damage caused by the friction when the separation yarn 215 is moved, a means for fixing the path of the thread, the fastener 209 Is the shape of a small tube used when the separation yarn 215 is drawn out from the thread 207, or when the separation yarn 215 is connected from the end of the support substrate contact portion 205 to the end thereof. It's part of it.
용제 인가부(213)는 분리 세사(215)의 진행 경로에 인접하게 설치되어 용제 저장통(221)에 저장된 접착제 분리를 위한 유기 용제를 용제 접촉부(223)로 흘리고, 용제 접촉부(223)와 접촉하는 분리 세사(215)가 자연스럽게 용제를 흡수하도록 구성된 부분이다.The solvent applying unit 213 is installed adjacent to the path of separation of the fine yarn 215 to flow the organic solvent for separating the adhesive stored in the solvent reservoir 221 to the solvent contact portion 223, and to contact the solvent contact portion 223 Separation fine thread 215 is a portion configured to naturally absorb the solvent.
이러한 용제 인가부(213)는 본 도면 에서는 실타래(207)에서 인출된 분리 세사(215)에 유기 용제를 적시는 형태로 구성되어 있으나, 실타래(207)에 직접 설치되어 실타래 전체를 적시는 형태로도 구성될 수 있다.In this figure, the solvent applying unit 213 is formed in the form of soaking the organic solvent in the separation fine thread 215 drawn out from the thread 207, but is installed directly in the thread 207 in the form of soaking the whole thread It may also be configured.
이동 바퀴(217)는 상기 수평부(203)의 좌우 측변에 설치되는 바퀴로서, 본 발명의 플랙서블 기판 분리 장치를 움직일 때 안정적이면서 부드럽게 움직이게 하기 위한 부분이다 이 부분은 수평부(203)에 이동 바퀴 지지대를 설치하고 그 이동 바퀴 지지대의 끝단에 축으로 설치될 수도 있다. 본 도면에서 확인할 수 있는 바와 같이, 이동 바퀴의 높이에 따라 전체적인 플랙서블 기판 분리 장치의 높이가 결정되며, 특히 지지기판 접촉부(205)와 지지기판이 접촉하는 높이가 이동 바퀴의 크기에 따라 결정되므로, 이동 바퀴 지지대를 사용할 경우 상기 이동 바퀴 지지대의 높이를 가변함으로써 전체적인 장치의 높이를 변경할 수 있게 된다.The moving wheel 217 is a wheel installed at the left and right sides of the horizontal part 203 and is a part for stably and smoothly moving the flexible substrate separating apparatus of the present invention. This part is moved to the horizontal part 203. A wheel support may be installed and mounted axially at the end of the moving wheel support. As can be seen in this figure, the height of the entire flexible substrate separating apparatus is determined according to the height of the moving wheel, and in particular, the height of the contact between the support substrate contacting portion 205 and the support substrate is determined according to the size of the moving wheel. In the case of using the moving wheel support, the height of the moving wheel support can be varied to change the height of the overall device.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 플랙서블 기판 분리 장치의 정면도이다.3 is a front view of a flexible substrate separating apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 3을 참조하면, 상기 도 2에서 설명된 플랙서블 기판 분리 장치의 동작을 좀 더 자세하게 알 수 있다.Referring to FIG. 3, the operation of the flexible substrate separation apparatus described in FIG. 2 may be described in more detail.
정면도에서 확실하게 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 지지기판 접촉부(205)는 수평부(203)에서 분지된 가지가 수평부의 양 끝단에서 돌출되고, 그 가지의 첨단 부분의 두 가지 사이를 분리세사(215)로 연결되어 있음을 알 수 있다.As can be clearly seen from the front view, the support substrate contact portion 205 of the present invention has a branch branched from the horizontal portion 203 protrudes from both ends of the horizontal portion, and is separated between the two branches of the tip portion of the branch. It can be seen that the connection to (215).
본 예시도에서 지지기판 접촉부(205)는 지지기판과 접촉하지 않도록 예시되어 있지만, 예시에서 지지기판(220)이 더 큰 경우 지지기판(220)의 상부와 접촉할 수 있다. 이러한 경우, 지지기판 접촉부와 지지기판의 마찰을 줄이고 지지기판 및 지지기판 접촉부를 보호하기위한 보호부가 지지기판의 양끝 단에 더 포함될 수 있다.In this example, the support substrate contact portion 205 is illustrated so as not to contact the support substrate, but in the example, the support substrate 220 may contact the upper portion of the support substrate 220 when the support substrate 220 is larger. In this case, a protective part for reducing friction between the support substrate contact portion and the support substrate and protecting the support substrate and the support substrate contact portion may be further included at both ends of the support substrate.
또한 본 도면에서 확인할 수 있는 바와 같이, 분리세사(215)는 지지기판(220)과 플랙서블 기판(230)의 사이를 지나가게 설계되며, 용제 인가부(213)에서 분리세사(215)에 유기 용제를 인가하게 된다. 그러면 분리세사(215)는 플랙서블 기판(230)과 지지기판(220)을 접착시키는 접착제를 용해시키는 유기용제를 머금은 상태로 플랙서블 기판과 지지기판 사이를 통과하게 되어 쉽게 플랙서블 기판을 분리할 수 있다.In addition, as can be seen in this figure, the separation yarn 215 is designed to pass between the support substrate 220 and the flexible substrate 230, and the organic solvent is separated from the solvent applying portion 213 to the separation yarn 215. Solvent is applied. Then, the separation yarn 215 passes between the flexible substrate and the support substrate in a state in which an organic solvent dissolving an adhesive for bonding the flexible substrate 230 and the support substrate 220 passes therebetween to easily separate the flexible substrate. Can be.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 플랙서블 기판 분리 장치의 평면도이다.4 is a plan view of a flexible substrate separation apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 4를 참조하면, 본 도면의 플랙서블 기판 분리 장치는 손잡이(201)에서 수평부(203)와 결합하는 부분에서부터 분지되어 2개의 가지로 분리된 플랙서블 기판 분리 장치를 나타낸다. 이러한 경우 실타래(207)에서 인출되는 분리세사(215)는 분지된 가지를 따라 진행해서 각 분지된 가지에 연결된 지지기판 접촉부(205)로 연결되고 그 끝단에서 다른 가지의 지지기판 접촉부의 끝단으로 다시 진행되는 형태로 구성될 수 있다.Referring to FIG. 4, the flexible substrate separating apparatus of this figure shows a flexible substrate separating apparatus which is divided into two branches by branching from a portion of the handle 201 that engages with the horizontal portion 203. In this case, the separating yarn 215 drawn out from the thread 207 proceeds along the branched branch and is connected to the supporting substrate contact portion 205 connected to each branched branch, and from the end thereof to the end of the supporting substrate contact portion of the other branch. It may be configured in an ongoing form.
특히 이러한 경우 실타래(207)의 회전에 따라 분리세사(215)가 자동으로 움직이도록 설정할 수 도 있는데, 이러한 경우 상기 실타래(207)의 상단에 회전 손잡이를 부가하여 수동으로 실타래를 회전시킬 수도 있으며, 그렇지 않으면 이동 바퀴(213)와 축, 기어, 벨트 등으로 연동하여, 본 플랙서블 기판 분리 장치가 이동하는 경우 그 이동에 상응하여 실타래(207)가 자동으로 회전할 수 있도록 구성할 수 있다. In particular, in this case, the separation thread 215 may be set to move automatically according to the rotation of the thread 207. In this case, the thread may be manually rotated by adding a rotary knob to the top of the thread 207. Otherwise, in conjunction with the moving wheel 213 and the shaft, gears, belts, etc., when the flexible substrate separating apparatus moves, the thread 207 can be automatically rotated corresponding to the movement.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 많은 변형이 본 발명의 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 가능함은 물론이다. The present invention is not limited to the above embodiments, and many variations are possible by those skilled in the art within the spirit of the present invention.
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