KR100911365B1 - Laser trimming apparatus and method using image processing - Google Patents

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Abstract

본 발명은 영상 정보 처리를 이용한 레이저 트리밍 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 임베디드 인쇄 회로 기판의 레지스터를 레이저 트리밍하는 장치 및 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a laser trimming apparatus and method thereof using image information processing, and more particularly, to an apparatus and method for laser trimming a register of an embedded printed circuit board.

본 발명에 따른 영상 정보 처리를 이용한 레이저 트리밍 장치는 레이저 빔을 생성하여 레지스터에 조사하는 광학계와, 레지스터 및 상기 레지스터와 연결된 전극 패턴의 영상 정보를 생성하는 영상 정보 생성부와, 상기 레지스터의 저항 값을 측정하는 저항 측정부 및 상기 영상 정보 생성부에 의해 생성된 상기 영상 정보 및 상기 저항 측정부에 의하여 측정된 저항 값을 기초로 상기 광학계를 제어하는 제어부를 포함한다.The laser trimming apparatus using the image information processing according to the present invention includes an optical system for generating a laser beam and irradiating a register, an image information generator for generating image information of a register and an electrode pattern connected to the register, and a resistance value of the register. And a controller for controlling the optical system based on the image information generated by the image information generation unit and the resistance value measured by the resistance measurement unit.

레이저 트리밍, 임베디드 인쇄 회로 기판 Laser Trimming, Embedded Printed Circuit Boards

Description

영상 처리를 이용한 레이저 트리밍 장치 및 그 방법{LASER TRIMMING APPARATUS AND METHOD USING IMAGE PROCESSING}LASER TRIMMING APPARATUS AND METHOD USING IMAGE PROCESSING

본 발명은 영상 처리를 이용한 레이저 트리밍 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 임베디드 인쇄 회로 기판의 레지스터의 형태로 형성된 저항을 레이저 트리밍하는 장치 및 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser trimming apparatus and method thereof using image processing, and more particularly, to an apparatus and method for laser trimming a resistor formed in the form of a resistor of an embedded printed circuit board.

전자기기가 날로 소형화, 고밀도화 되어감에 따라 인쇄 회로 기판도 그 표면적 자체가 감소할 뿐만 아니라 표면에 실장되는 칩의 수가 증가함에 따라 칩의 표면실장에 많은 어려움이 발생하였다. 이에 대한 해결책으로 칩을 인쇄 회로 기판에 내장하는 임베딩(embedding) 공법이 개발되고 이러한 임베딩 공법을 이용하여 만들어진 인쇄 회로 기판이 바로 임베디드 인쇄 회로 기판(embedded printed circuit board)이다.As electronic devices become smaller and denser, the surface area of the printed circuit board itself decreases, and as the number of chips mounted on the surface increases, a lot of difficulties arise in surface mounting of the chip. As a solution to this, an embedding method for embedding a chip in a printed circuit board has been developed, and a printed circuit board made using the embedding method is an embedded printed circuit board.

임베디드 인쇄 회로 기판이란 저항이나 커패시터 등 수동부품과 집적회로(IC) 등을 인쇄 회로 기판에 심는 대신 그 기능을 기판 자체에 내장함으로써 면 적이 줄어들고 신호간섭이 제거된 인쇄 회로 기판이다. Embedded printed circuit boards are printed circuit boards that reduce area and eliminate signal interference by incorporating passive components such as resistors and capacitors and integrated circuits (ICs) into the printed circuit board instead of embedding the functions in the board itself.

이러한 임베디드 인쇄 회로 기판은 일반 인쇄 회로 기판에 비해 가격은 비싸지만 표면 실장을 생략해 비용을 줄일 수 있고 저항기를 심어야 할 위치에 다른 부품을 배치할 수 있어 기판을 더욱 효율적으로 사용할 수 있게 된다.These embedded printed circuit boards are more expensive than conventional printed circuit boards, but they can be cost-effective by eliminating surface mounts and placing other components in locations where resistors are to be planted, making boards more efficient to use.

언급한 임베디드 인쇄 회로 기판에서 저항은 일반적으로 박막 레지스터(thin film resistor) 및 후막 레지스터(thick film resistor)와 같은 막 레지스터(film resistor)로 형성되며, 주로 인쇄 회로 기판 상에 이격되도록 형성된 전극 패턴들과 전극 패턴들 사이를 연결하는 저항으로 이용된다. 여기서, 저항은 카본(C)과 은(Ag)을 포함하는 카본 페이스트(carbon paste)를 포함하고, 스크린 프린팅을 수행하여 형성한다.In the embedded printed circuit boards mentioned, the resistors are generally formed of film resistors such as thin film resistors and thick film resistors, It is mainly used as a resistor connecting the electrode patterns and the electrode patterns formed to be spaced apart on the printed circuit board. Here, the resistance includes a carbon paste including carbon (C) and silver (Ag), and is formed by performing screen printing.

그러나, 레지스터는 스크린 프린팅 과정을 통하여 형성되기 때문에 정확한 저항 값을 갖는 레지스터를 형성하는 것이 용이하지 않다. 따라서, 레지스터의 목표 저항 값을 10±1% 오차의 범위 내에서 형성하고자 하는 경우, 통상적인 스크린 프린팅에 의한 레지스터는 8 Ω 내지 8.9 Ω의 범위로 형성한 다음 레지스터가 갖는 저항 값을 오차 범위 이내의 설정된 저항 값으로 조정하기 위한 레이저 트리밍(trimming)을 수행한다. However, since the resistor is formed through the screen printing process, it is not easy to form a resistor having an accurate resistance value. Therefore, when a target resistance value of the resistor is to be formed within a range of 10 ± 1% error, a typical screen printing resistor is formed in a range of 8 Ω to 8.9 Ω, and then the resistance value of the resistor is within the error range. Laser trimming is performed to adjust the set resistance to.

이러한 레이저 트리밍에서는 주로 가우시안 프로파일(Gaussian profile)을 갖는 레이저 빔을 사용한다. 즉, 인쇄 회로 기판 상에 레지스터를 형성한 후, 가우시안 프로파일을 갖는 레이저 빔을 사용하여 레지스터의 일부를 제거함으로써 레지스터가 갖는 저항 값을 오차 범위 이내의 저항 값으로 조정한다. 이는 저항의 단면 적과 저항 값이 반비례하는 특성을 이용한 것이다.Such laser trimming mainly uses a laser beam having a Gaussian profile. That is, after the resistor is formed on the printed circuit board, a portion of the resistor is removed by using a laser beam having a Gaussian profile to adjust the resistance value of the resistor to a resistance value within an error range. This is based on the property that the cross-sectional area of the resistance is inversely proportional to the resistance value.

또한, 전술한 바와 같이 레지스터는 스크린 프린팅 과정을 통해 형성되므로, 각각의 레지스터가 형성되는 위치는 항상 일정하지 않으며, 대략 200 μm 의 편차로 그 위치가 변화된다.In addition, as described above, since the register is formed through the screen printing process, the position where each register is formed is not always constant, and the position is changed by a deviation of approximately 200 μm.

종래에는 변화하는 레지스터의 위치 때문에 레이저 빔을 사용한 레지스터의 가공 시 CAD 데이터에 의하여 최외곽, 즉 전극 패턴의 가장자리와 동일 선상에서 레이저 트리밍을 시작한다.Conventionally, laser trimming is started at the outermost part, i.e., on the same line as the edge of the electrode pattern, by CAD data when machining a register using a laser beam due to the changing position of the register.

도 1은 종래의 기술에 따른 레이저 트리밍의 대상이 되는 레지스터를 도시한 도면이다.1 is a diagram illustrating a register that is a target of laser trimming according to the related art.

전극 패턴(10)은 인쇄 회로 기판 보호층(50) 상에 형성되고, 양 전극 패턴(10) 사이에 레지스터(20)가 스크린 프린팅 과정을 통해 형성된다. 전술한 바와 같이 레지스터(20)를 목표 저항 값보다 작은 저항 값의 범위에 속하도록 레지스터(20)을 형성한 다음, 레지스터(20)에 대하여 레이저 트리밍(30)을 수행하여 목표 저항 값에 도달할 때까지 저항 값을 증가시킨다.The electrode pattern 10 is formed on the printed circuit board protective layer 50, and a resistor 20 is formed between the two electrode patterns 10 through a screen printing process. As described above, the resistor 20 is formed so that the resistor 20 is in a range of resistance values smaller than the target resistance value, and then the laser trimming 30 is performed on the resistor 20 to reach the target resistance value. Until the resistance value is increased.

한편, 레지스터(20)가 형성되는 위치는 항상 일정하지 않고 대략 200 μm 의 편차를 갖는다. 따라서 레지스터(20)가 형성되는 위치를 정확하게 특정할 없기 때문에 레이저 트리밍(30)은 CAD 데이터에 의한 최외곽 라인(40), 즉 전극 패턴(10)의 가장자리로부터 레이저 트리밍을 시작하여야만 한다.On the other hand, the position where the register 20 is formed is not always constant and has a deviation of approximately 200 μm. Therefore, since the position at which the register 20 is formed cannot be precisely specified, the laser trimming 30 must start the laser trimming from the outermost line 40 by the CAD data, that is, the edge of the electrode pattern 10.

따라서, 실제 레지스터(20)가 최외곽 라인(40)으로부터 편차를 갖고 이격되어 위치한 경우에는 전체 트리밍에 소요되는 시간이 증가하는 문제가 있다. Therefore, when the actual register 20 is located apart from the outermost line 40 with a deviation, there is a problem that the time required for the entire trimming increases.

또한, 레지스터(20)의 위치 편차에 의해 레지스터(20)가 인쇄되지 않은 영역으로부터 레이저 트리밍(30)이 시작될 수 있고, 이때 레지스터(20)가 인쇄되어 있지 않는 인쇄 회로 기판 보호층이 레이저에 의하여 함께 제거되어 인쇄 회로 기판 보호층이 손상되는 문제점이 있다.In addition, the laser trimming 30 may start from an area where the register 20 is not printed due to the positional deviation of the register 20, wherein the laser is used to protect the printed circuit board protection layer on which the register 20 is not printed. The problem is that the printed circuit board protective layer is damaged by being removed together.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 레지스터가 형성된 위치를 판단하고 그 위치부터 레이저 트리밍을 시작함으로써, 레지스터의 트리밍 소요 시간 및 인쇄 회로 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있는 레이저 트리밍 장치 및 방법을 제공한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and by determining a position where a register is formed and starting laser trimming from the position, a laser trimming apparatus and method which can prevent the time required for trimming the register and damage to the printed circuit board are prevented. To provide.

상술한 기술적 과제를 달성하기 위해, 본 발명의 제1 측면은 레이저 빔을 생성하여 레지스터에 조사하는 광학계와 레지스터 및 상기 레지스터와 연결된 전극 패턴의 영상 정보를 생성하는 영상 정보 생성부와 상기 레지스터의 저항 값을 측정하는 저항 측정부 및 상기 영상 정보 생성부 의해 생성된 상기 영상 정보 및 상기 저항 측정부에 의하여 측정된 저항 값을 기초로 상기 광학계를 제어하는 제어부를 포함하는 레이저 트리밍 장치를 제공한다.In order to achieve the above technical problem, a first aspect of the present invention provides an optical system for generating a laser beam and irradiating a resistor, an image information generator for generating image information of a resistor and an electrode pattern connected to the resistor, and a resistance of the register. It provides a laser trimming device including a resistance measuring unit for measuring a value and a control unit for controlling the optical system based on the resistance value measured by the image information and the resistance measuring unit generated by the image information generating unit.

또한, 본 발명의 제2 측면은 (a) 레지스터의 저항 값을 측정하는 단계와 (b) 상기 레지스터 및 상기 레지스터와 연결된 전극 패턴의 영상 정보를 생성하는 단계 및 (c) 상기 영상 정보와 상기 저항 값을 기초로 광학계를 통하여 레지스터에 조사되는 레이저를 제어하는 단계를 포함하는 것인 레이저 트리밍 방법을 제공한다.In addition, a second aspect of the present invention is to (a) measuring the resistance value of the resistor, (b) generating image information of the resistor and the electrode pattern connected to the resistor, and (c) the image information and the resistance It provides a laser trimming method comprising the step of controlling the laser irradiated to the register through the optical system based on the value.

전술한 본 발명의 과제 해결 수단 중 하나에 의하면, 인쇄 회로 기판에 형성된 레지스터에 대하여만 레이저 트리밍이 이루어짐으로써 레이저에 의해 인쇄 회로 기판의 보호층이 손상되는 것을 최소화할 수 있다.According to one of the problem solving means of the present invention described above, since the laser trimming is performed only on the resistor formed on the printed circuit board, it is possible to minimize the damage of the protective layer of the printed circuit board by the laser.

전술한 본 발명의 과제 해결 수단 중 하나에 의하면, 레이저 트리밍이 요구되는 영역에서만 레이저 트리밍이 수행됨으로써 종래 기술에 비하여 레이저 트리밍에 소요되는 시간을 단축시킨다.According to one of the problem solving means of the present invention described above, the laser trimming is performed only in the area where the laser trimming is required, thereby reducing the time required for laser trimming compared to the prior art.

전술한 본 발명의 과제 해결 수단 중 하나에 의하면, 레지스터의 영상 정보를 기초로 레이저 트리밍 전후 및 레이저 트리밍 도중 비정상적인 레지스터를 판단할 수 있다. According to one of the problem solving means of the present invention described above, the abnormal register can be determined before and after the laser trimming and during the laser trimming based on the image information of the register.

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다. DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. In the drawings, parts irrelevant to the description are omitted in order to clearly describe the present invention, and like reference numerals designate like parts throughout the specification.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 " 전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. Throughout the specification, when a part is "connected" to another part, this includes not only "directly connected" but also "electrically connected" with another element in between. . In addition, when a part is said to "include" a certain component, which means that it may further include other components, except to exclude other components unless otherwise stated.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 트리밍 장치의 구성을 도시한 블록도이다.2 is a block diagram illustrating a configuration of a laser trimming apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 트리밍 장치는 광학계(110), 영상 정보 생성부(120), 저항 측정부(130) 및 제어부(140)를 포함한다.Laser trimming apparatus according to an embodiment of the present invention includes an optical system 110, the image information generating unit 120, the resistance measuring unit 130 and the control unit 140.

광학계(110)는 레이저 빔을 생성하고 레지스터로 조사시킨다. 그리고 광학계(110)는 레지스터로 조사된 레이저 빔을 집속 및/또는 발산시켜 레이저 트리밍을 수행한다.The optical system 110 generates a laser beam and irradiates a register. The optical system 110 performs laser trimming by focusing and / or diverging the laser beam irradiated with the register.

광학계(110)가 생성하는 레이저 빔은 가우시안 프로파일을 갖는 레이저 빔일 수 있다. 다만, 이는 레이저 빔의 일 예일 뿐이며, 레이저 빔의 종류는 레이저 트리밍이 가능한 한 본 발명의 일부를 구성하지 않는다. The laser beam generated by the optical system 110 may be a laser beam having a Gaussian profile. However, this is only an example of a laser beam, and the type of the laser beam does not form part of the present invention as long as laser trimming is possible.

또한, 광학계(110)는 레이저 빔을 레지스터로 조사시키기 위하여 경우에 따라 레이저 빔의 경로를 변경할 필요가 있으며, 이를 위하여 반사 수단을 포함할 수 있다. 그리고, 광학계(110)는 레이저 빔을 집속 및/또는 발산시키기 위하여 갈바노미터 스캐너 또는 하나 이상의 렌즈 등 다양한 수단을 포함할 수 있다.In addition, the optical system 110 needs to change the path of the laser beam in some cases in order to irradiate the laser beam to the register, and may include reflecting means for this purpose. In addition, the optical system 110 may include various means such as a galvanometer scanner or one or more lenses to focus and / or diverge the laser beam.

영상 정보 생성부(120)는 레지스터 및 전극 패턴의 영상 정보를 생성하고, 생성한 영상 정보를 제어부(140)로 전송한다. 영상 정보 생성부(120)는 레이저 트리밍이 진행되기 전의 레지스터 및 전극 패턴의 영상 정보 및 레이저 트리밍이 진 행되고 있는 과정에서의 레지스터의 영상 정보를 생성할 수 있다. 레이저 트리밍 진행 전의 영상 정보는 레이저 트리밍의 시작 라인을 설정하기 위하여 사용될 수 있고, 레이저 트리밍 진행 중의 영상 정보는 레이저 트리밍이 정상적으로 진행되고 있는지 여부 등을 판단하기 위하여 사용될 수 있다.The image information generator 120 generates image information of a register and an electrode pattern, and transmits the generated image information to the controller 140. The image information generator 120 may generate image information of the register and the electrode pattern before the laser trimming is performed and image information of the register in the process of the laser trimming. The image information before the laser trimming may be used to set the start line of the laser trimming, and the image information during the laser trimming may be used to determine whether or not the laser trimming is normally performed.

저항 측정부(130)는 레이저 트리밍이 진행됨에 따라 변화하는 레지스터의 저항 값을 측정하고, 측정된 저항 값을 제어부(140)로 전송한다. 저항 측정부(130)가 전송한 저항 값은 레이저 트리밍의 진행 여부를 판단하기 위하여 사용될 수 있다. 저항 측정부(130)에 의한 저항 값 측정은 레지스터와 연결된 전극 패턴에 저항 측정부(130)를 접촉시켜 수행될 수 있다.The resistance measuring unit 130 measures the resistance value of the resistor that changes as the laser trimming proceeds, and transmits the measured resistance value to the controller 140. The resistance value transmitted by the resistance measuring unit 130 may be used to determine whether the laser trimming is in progress. The resistance value measurement by the resistance measuring unit 130 may be performed by contacting the resistance measuring unit 130 with an electrode pattern connected to the resistor.

제어부(140)는 광학계(110)의 레이저 빔의 생성, 조사 및 레이저 빔의 경로 변경 등을 제어한다.The controller 140 controls the generation of the laser beam of the optical system 110, the irradiation, and the path change of the laser beam.

제어부(140)는 영상 정보 생성부(120)로부터 레지스터 및 전극 패턴의 영상 정보를 수신하여, 수신한 영상 정보를 기초로 레이저 트리밍의 시작 라인을 판단하여 설정한다. 레이저 트리밍의 시작 라인은 기판이 아닌 레지스터의 어느 한 지점으로서, 레지스터 가장자리 또는 그 내부로 설정될 수 있다.The controller 140 receives image information of a register and an electrode pattern from the image information generator 120, and determines and sets a start line of laser trimming based on the received image information. The start line of laser trimming is any point of the register, not the substrate, and can be set at or within the register edge.

레이저 트리밍의 시작 라인이 레지스터의 가장자리로 설정된 경우, 레이저 트리밍은 레지스터의 가장자리로부터 시작된다.If the start line of laser trimming is set to the edge of the register, the laser trimming starts from the edge of the register.

제어부(140)는 저항 측정부(130)로부터 레지스터의 저항 값을 수신하여 레이저 조사를 제어한다. The control unit 140 receives the resistance value of the resistor from the resistance measuring unit 130 to control the laser irradiation.

즉, 제어부(140)는 레이저 트리밍 이전에 측정된 초기 저항 값이 목표 저항 값보다 큰 경우에는 레이저 트리밍을 수행하더라도 목표 저항 값으로 저항 값을 변경시키는 것이 불가능하므로 레이저 트리밍이 이루어지지 않도록 레이저 조사를 제어하며, 또한 레이저 트리밍 중 측정된 저항 값이 설정된 목표 저항 값에 도달하는 경우 레이저 트리밍이 중단되도록 광학계(110)의 레이저 조사를 제어한다.That is, when the initial resistance value measured before the laser trimming is larger than the target resistance value, the controller 140 does not change the resistance value to the target resistance value even if the laser trimming is performed. The laser irradiation of the optical system 110 is controlled to stop the laser trimming when the measured resistance value during the laser trimming reaches the set target resistance value.

제어부(140)는 레지스터의 저항 값이 설정된 목표 저항 값에 도달하는 경우 레이저 트리밍을 중단시키며, 그 후 광학계(110), 영상 정보 생성부(120) 및 저항 측정부(130)의 위치를 제어하여 다음 레이저 트리밍의 대상인 레지스터를 레이저 트리밍할 수 있는 위치로 이동시킨다. The controller 140 stops laser trimming when the resistance value of the resistor reaches the set target resistance value, and then controls the positions of the optical system 110, the image information generation unit 120, and the resistance measurement unit 130. The register to be laser trimmed is moved to the position where the laser can be trimmed.

또한, 제어부(140)는 레이저 트리밍 전후 및 레이저 트리밍 중 영상 정보 생성부(120)로부터 수신된 영상 정보를 설정된 영상 정보와 비교하여 비정상적으로 형성된 레지스터를 판단하는 것도 가능하며, 이를 통해 불량 임베디드 인쇄 회로 기판의 생산을 미연에 방지할 수 있다.In addition, the controller 140 may determine an abnormally formed register by comparing the image information received from the image information generating unit 120 before and after the laser trimming and during the laser trimming with the set image information. Production of the substrate can be prevented in advance.

즉, 제어부(140)는 측정된 레지스터의 초기 저항 값이 목표 저항 값보다 크거나 생성된 레지스터의 영상 정보가 설정된 영상 정보와 비교하여 정상이 아닌 것으로 판단된 경우 레이저 트리밍이 이루어지지 않도록 레이저 조사를 제어하며, 비정상적으로 형성된 레지스터는 별도의 리페어 장치 등을 통하여 복구된 후 레이저 트리밍이 수행된다.That is, the controller 140 performs laser irradiation to prevent laser trimming when it is determined that the measured initial resistance value of the resistor is larger than the target resistance value or the generated image information is not normal compared to the set image information. After controlling, the abnormally formed register is recovered through a separate repair device or the like, and laser trimming is performed.

또한, 상기 제어부(140)는 다른 구성 요소에 분산되어 존재할 수 있으며 물리적으로 반드시 별개의 구성요소로 한정되지는 않는다.In addition, the controller 140 may be distributed in other components and is not necessarily limited to physically separate components.

상기 제어부(140)가 수신된 영상 정보와 설정된 영상 정보를 비교하여 레이 저 트리밍의 시작 라인과 비정상적으로 형성된 레지스터를 판단하는 과정은 통상의 이미지 처리 기술에 의해 수행되며, 이를 수행하기 위한 구성은 당업자에게 자명한 것으로 별도로 설명하지 않는다.The process of determining the start line of the laser trimming and the abnormally formed register by comparing the received image information and the set image information by the control unit 140 is performed by a conventional image processing technique. It is self-explanatory and does not explain separately.

이처럼, 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 트리밍 장치는 영상 정보 생성부(120)에 의하여 레지스터의 영상 정보를 생성하여 레지스터의 가장자리를 판단하고 그 가장자리로부터 레이저 트리밍을 시작한다. As such, the laser trimming apparatus according to the exemplary embodiment of the present invention generates image information of the register by the image information generating unit 120 to determine the edge of the register and starts laser trimming from the edge.

따라서, 레이저 트리밍의 대상인 레지스터에만 레이저 트리밍이 수행되어 레이저 트리밍 수행 시간이 단축되고, 레지스터가 형성된 인쇄 회로 기판 보호층 등이 레이저 트리밍에 의하여 손상되지 않는다.Therefore, the laser trimming is performed only on the register which is the object of laser trimming, which shortens the laser trimming execution time, and the printed circuit board protective layer and the like on which the register is formed are not damaged by the laser trimming.

도 3는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 트리밍 장치를 구체적으로 도시한 도면이다.3 is a diagram illustrating in detail a laser trimming apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 트리밍 장치는 레이저 생성부(200), 영상 정보 생성부(205), 제1 반사 미러(210), 제2 반사 미러(215), 갈바노미터 스캐너(220), 집속 렌즈(225) 및 저항 측정부(245)를 포함한다.The laser trimming apparatus according to another embodiment of the present invention includes a laser generator 200, an image information generator 205, a first reflection mirror 210, a second reflection mirror 215, and a galvanometer scanner 220. , A focusing lens 225 and a resistance measuring unit 245.

레이저 생성부(200)는 레이저를 생성하고, 생성된 레이저 빔을 제1 반사 미러(210)로 조사시킨다. 레이저 생성부(200)가 생성하고 조사하는 레이저 빔은 중심 부위에서 에너지 밀도가 높고, 가장 자리에서 에너지 밀도가 낮은 가우시안 프로파일을 갖는 레이저 빔일 수 있다.The laser generator 200 generates a laser and irradiates the generated laser beam to the first reflection mirror 210. The laser beam generated and irradiated by the laser generator 200 may be a laser beam having a Gaussian profile having a high energy density at the center portion and a low energy density at the edge.

이처럼 레이저 생성부(200)는 고체 레이저를 사용한 레이저 빔의 생성이 가능한 고체 레이저 발진기를 포함할 수 있다. 예를 들어, 레이저 생성부(200)는 Nd:YAG 레이저 생성부, Nd:YLF 레이저 생성부, Nd-YVO4 레이저 생성부 등을 포함할 수 있다.As such, the laser generator 200 may include a solid state laser oscillator capable of generating a laser beam using a solid state laser. For example, the laser generator 200 may include an Nd: YAG laser generator, an Nd: YLF laser generator, an Nd-YVO 4 laser generator, and the like.

영상 정보 생성부(205)는 레지스터(230) 및 레지스터(230)와 연결된 전극 패턴(235)으로부터 반사되는 가시광을 수신하여 레이저 트리밍될 부분의 레지스터(230) 및 전극 패턴(235)의 영상 정보를 생성한다. The image information generation unit 205 receives the visible light reflected from the register 230 and the electrode pattern 235 connected to the register 230 and outputs the image information of the register 230 and the electrode pattern 235 of the portion to be laser trimmed. Create

그리고, 영상 정보 생성부(205)로부터 생성된 영상 정보는 제어부(도시 안됨)로 전송되어 레지스터(230)의 가장자리를 판단하는 기초로 이용된다.The image information generated by the image information generator 205 is transmitted to a controller (not shown) and used as a basis for determining the edge of the register 230.

영상 정보 생성부(205)는 카메라 모듈을 포함할 수 있으며, 이러한 카메라 모듈로는 일예로 CCD(Charge Coupled Device) 이미지 센서, CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 이미지 센서 등을 이용하는 카메라 모듈이 사용될 수 있다. CCD 이미지 센서는 전하 결합 소자(CCD)를 사용하여 빛 에너지에 의해 발생된 전하를 축적 후 전송하여 영상 정보를 디지털 데이터로서 기억 매체에 저장시키며, CMOS 이미지 센서는 CMOS 공정으로 제작된 이미지 센서로서 빛 에너지에 의해 발생된 전하를 반도체 스위치로 읽어내어 영상 정보를 디지털 데이터로 변환시킨다.The image information generator 205 may include a camera module. For example, a camera module using a charge coupled device (CCD) image sensor, a complementary metal oxide semiconductor (CMOS) image sensor, or the like may be used as the camera module. . CCD image sensor uses charge-coupled device (CCD) to accumulate and transfer charge generated by light energy and store image information as digital data in storage media. CMOS image sensor is an image sensor manufactured by CMOS process. The charge generated by the energy is read by a semiconductor switch to convert image information into digital data.

따라서, 영상 정보 생성부(205)는 생성한 영상 정보를 제어부(도 2 도시)로 전송한다. Accordingly, the image information generator 205 transmits the generated image information to the controller (shown in FIG. 2).

영상 정보 생성부(205)로 전달되는 가시광의 축은, 바람직하게는, 레이저 빔의 경로의 축과 동일하다. 이로 인하여, 보다 정확한 레지스터(230) 및 전극 패 턴(235)의 영상 정보를 생성할 수 있다.The axis of visible light transmitted to the image information generation unit 205 is preferably the same as the axis of the path of the laser beam. Thus, more accurate image information of the register 230 and the electrode pattern 235 can be generated.

제1 반사 미러(210)는 레이저 생성부(200)로부터 조사된 레이저 빔을 반사시켜 레이저 빔의 진행 방향이 제2 반사 미러(215)로 향하도록 레이저 빔의 경로를 변경시킨다.The first reflection mirror 210 reflects the laser beam irradiated from the laser generator 200 to change the path of the laser beam such that the traveling direction of the laser beam is directed to the second reflection mirror 215.

제2 반사 미러(215)는 제1 반사 미러(210)에 의해 반사된 레이저 빔을 갈바노미터 스캐너(220)로 반사시키고 영상 정보 생성부(205)로 전달되는 가시광을 투과시키는 반투명 미러로 구성되어, 제2 반사 미러(215)에 의해 반사된 레이저 빔의 축과 영상 정보 생성부(205)로 전달되는 가시광의 축을 동축 정렬시킬 수 있다. The second reflection mirror 215 is composed of a semi-transparent mirror that reflects the laser beam reflected by the first reflection mirror 210 to the galvanometer scanner 220 and transmits visible light transmitted to the image information generator 205. Thus, the axis of the laser beam reflected by the second reflection mirror 215 and the axis of visible light transmitted to the image information generator 205 may be coaxially aligned.

따라서, 제2 반사 미러(215)는 제1 반사 미러(210)로부터 반사된 레이저 빔을 갈바노미터 스캐너(220)로 반사시키고, 갈바노미터 스캐너(220)로부터의 가시광을 통과시켜 그 가시광을 영상 정보 생성부(205)로 입사시킨다.Accordingly, the second reflecting mirror 215 reflects the laser beam reflected from the first reflecting mirror 210 to the galvanometer scanner 220, passes the visible light from the galvanometer scanner 220, and transmits the visible light. The image information generator 205 enters the image information generator 205.

본 발명의 다른 실시예에서는 반사 미러가 제1 반사 미러(210) 및 제2 반사 미러(215)만이 적용되었으나, 이는 예시일 뿐이며 경우에 따라 다수의 반사 미러가 사용될 수 있다.In another embodiment of the present invention, only the first reflection mirror 210 and the second reflection mirror 215 are applied to the reflection mirror, but this is only an example, and in some cases, a plurality of reflection mirrors may be used.

갈바노미터 스캐너(220)는 제2 반사 미러(215)로부터 반사된 레이저 빔의 경로를 유도하여, 레이저 빔을 인쇄 회로 기판(240) 상에 형성된 레지스터(230)의 타겟 영역으로 조사시킨다. 다시 말해, 갈바노미터 스캐너(220)는 레이저 빔의 경로를 조정하여 레이저 빔을 가공하고자 하는 레지스터(230)의 타겟 영역으로 조사시킨다.The galvanometer scanner 220 guides the path of the laser beam reflected from the second reflection mirror 215 to irradiate the laser beam to the target area of the register 230 formed on the printed circuit board 240. In other words, the galvanometer scanner 220 adjusts the path of the laser beam to irradiate the laser beam to the target area of the register 230 to be processed.

또한, 갈바노미터 스캐너(220)는 레지스터(230) 및 전극 패턴(235)로부터의 가시광을 영상 정보 생성부(205)로 유도한다.In addition, the galvanometer scanner 220 guides the visible light from the register 230 and the electrode pattern 235 to the image information generator 205.

집속 렌즈(225)는 갈바노미터 스캐너(220)에 의하여 레지스터(230)의 타겟 영역으로 유도된 레이저 빔을 집속시킨다. 집속렌즈(225)는 일예로 에프-세타(f-theta)렌즈, 텔레센트릭(telecentric) 렌즈 등이 사용될 수 있다.The focusing lens 225 focuses the laser beam guided by the galvanometer scanner 220 to the target area of the register 230. For example, the focusing lens 225 may use an f-theta lens, a telecentric lens, or the like.

레지스터(230)는 서로 마주보도록 형성된 전극 패턴(235) 사이에 스크린 프린팅 과정을 통하여 형성된다. 레지스터(230)는 카본(C) 및 은(Ag)을 포함하는 카본 페이스트로 형성될 수 있다. 이처럼 레지스터(230)는 용액 상태에서 인쇄 회로 기판(240) 상의 전극 패턴(235) 사이에 형성되고, 그로 인해 레지스터(230)가 형성되는 위치는 불가피하게 각각의 레지스터마다 소정의 편차를 갖고 변화하게 된다.The resistor 230 is formed through a screen printing process between the electrode patterns 235 formed to face each other. The resistor 230 may be formed of a carbon paste including carbon (C) and silver (Ag). As such, the register 230 is formed between the electrode patterns 235 on the printed circuit board 240 in a solution state, whereby the position where the resistor 230 is formed is inevitably changed with a predetermined deviation for each register. do.

레지스터(230)는 박막(薄膜) 레지스터 및 후막(厚膜) 레지스터 등의 막 레지스터(film resistor)로 형성된다.The resistor 230 is formed of a film resistor such as a thin film resistor and a thick film resistor.

전극 패턴(235)은 인쇄 회로 기판(240) 상에 서로 마주보도록 형성되며, 구리 또는 알루미늄 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 전술한 바와 같이 서로 마주보도록 형성된 전극 패턴(235) 사이에 레지스터(230)가 형성된다.The electrode pattern 235 is formed to face each other on the printed circuit board 240 and may include one or more of copper or aluminum. As described above, the resistor 230 is formed between the electrode patterns 235 formed to face each other.

저항 측정부(245)는 레이저 트리밍의 대상인 레지스터(230)의 저항을 측정하며, 이 경우 저항 측정부(245)는 전극 패턴(235)에 접촉하여 레지스터(230)의 저항 값을 측정할 수 있다. 저항 측정부(245) 는 측정한 저항 값을 제어부(도시 안됨)로 전송한다. 이처럼 저항 측정부(245)는 레이저 트리밍이 진행됨과 동시에 전극 패턴(235)에 접촉하여 저항 값을 측정할 수 있다.The resistance measuring unit 245 measures the resistance of the resistor 230 that is the object of laser trimming. In this case, the resistance measuring unit 245 may measure the resistance value of the resistor 230 by contacting the electrode pattern 235. . The resistance measuring unit 245 transmits the measured resistance value to a controller (not shown). As described above, the resistance measuring unit 245 may measure the resistance by contacting the electrode pattern 235 while the laser trimming is performed.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 트리밍 장치의 가공 대상이 되는 레지스터를 도시한 도면이다.4 is a diagram illustrating a register to be processed by the laser trimming apparatus according to another embodiment of the present invention.

인쇄 회로 기판 보호층(350) 상에 전극 패턴(310)이 서로 마주보도록 형성되고, 형성된 전극 패턴(310) 사이에 레지스터(320)가 스크린 프린팅 과정을 통하여 형성된다.The electrode patterns 310 are formed to face each other on the printed circuit board protection layer 350, and a resistor 320 is formed between the formed electrode patterns 310 through a screen printing process.

본 발명의 일 실시예에서 레이저 트리밍(330)은 레이저 트리밍의 시작 라인(340)으로부터 시작된다. 레이저 트리밍의 시작 라인은 조사되는 레이저에 의해 기판이 손상되지 않는 레지스터(320)의 어느 한 지점으로 설정될 수 있으며, 본 실시예에서는 레지스터(320)와 인쇄 회로 기판 보호층(350) 사이의 경계, 즉 레지스터(320)의 가장자리가 레이저 트리밍의 시작 라인(340)으로 설정된다. In one embodiment of the present invention, laser trimming 330 starts from the start line 340 of laser trimming. The start line of the laser trimming may be set at any point of the register 320 where the substrate is not damaged by the irradiated laser, and in this embodiment, the boundary between the register 320 and the printed circuit board protective layer 350. That is, the edge of the register 320 is set to the start line 340 of the laser trimming.

레지스터(320)의 가장자리는 영상 정보 생성부(도시 안됨)에 의하여 생성된 레지스터(320) 및 레지스터(320)와 연결된 전극 패턴(310)의 영상 정보를 기초로 판단될 수 있다.The edge of the register 320 may be determined based on the image information of the register 320 generated by the image information generator (not shown) and the electrode pattern 310 connected to the register 320.

이처럼 레이저 트리밍(330)이 레지스터(320) 가장자리 또는 그 내부에서 시작되기 때문에 레이저 트리밍 영역(360)은 레지스터(320)에만 형성된다.The laser trimming region 360 is formed only in the resistor 320 because the laser trimming 330 starts at or around the edge of the resistor 320.

따라서, 인쇄 회로 기판 보호층(350)에 대하여 레이저 트리밍이 수행되지 않아 레이저 트리밍에 의해 인쇄 회로 기판 보호층(350)이 손상될 염려가 없다. 또한, 레이저 트리밍이 필요한 영역에 대하여만 레이저 트리밍이 이루어지기 때문에, 레이저 트리밍의 시작 위치가 일괄적으로 정해졌던 종래의 기술에 비하여 레이저 트리밍에 소요되는 시간이 상대적으로 적다. Therefore, since the laser trimming is not performed on the printed circuit board protective layer 350, the printed circuit board protective layer 350 may not be damaged by laser trimming. In addition, since the laser trimming is performed only for the area where the laser trimming is required, the time required for laser trimming is relatively small as compared with the conventional technology in which the start position of the laser trimming is collectively determined.

결국 하나의 레지스터에 대한 레이저 트리밍 소요 시간이 줄어들어 보다 높 은 수율이 보장된다.As a result, the laser trimming time for one resistor is reduced, ensuring higher yields.

도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 레이저 트리밍 방법의 흐름을 도시한 순서도이다.5 is a flow chart showing the flow of a laser trimming method according to another embodiment of the present invention.

단계(S110)에서, CAD 데이터를 판독하여 레이저 트리밍 대상, 즉 레지스터의 위치를 판단한다. 하나의 임베디드 인쇄 회로 기판에는 다수의 레지스터가 형성되어 있다. 따라서, 각각의 레지스터에 대하여 레이저 트리밍을 할 때마다 그 레지스터가 형성된 위치, 즉 전극 패턴이 형성되어 있는 위치를 수동으로 파악하고, 그 위치로 레이저 트리밍 장치를 이동시키는 것은 효율성이 낮다. 그러므로, CAD 데이터로부터 각각의 레지스터가 형성된 위치를 판단하고, 하나의 레지스터에 대한 레이저 트리밍이 완료될 때마다 자동으로 다음 트리밍 대상인 레지스터의 위치로 레이저 트리밍 장치를 이동시킨다.In step S110, CAD data is read to determine a laser trimming object, that is, a position of a register. A plurality of resistors are formed on one embedded printed circuit board. Therefore, whenever the laser trimming is performed for each register, it is low in efficiency to manually grasp the position where the register is formed, that is, the position where the electrode pattern is formed, and to move the laser trimming apparatus to the position. Therefore, the position where each register is formed from the CAD data is determined, and whenever the laser trimming for one register is completed, the laser trimming device is automatically moved to the position of the next trimming target.

단계(S120)에서는, 단계(S110)에서 판독한 CAD 데이터에 따른 위치의 레지스터에 대한 초기 저항 값을 측정한다. 보다 상세하게는, 저항 측정부가 CAD 데이터에 따른 위치에 형성된 전극 패턴에 접촉함으로써 레지스터의 초기 저항 값을 측정한다.In step S120, the initial resistance value for the register at the position according to the CAD data read in step S110 is measured. More specifically, the resistance measuring unit measures the initial resistance value of the resistor by contacting the electrode pattern formed at the position according to the CAD data.

단계(S120)에서 측정된 레지스터의 초기 저항 값이 설정된 목표 저항 값보다 큰 경우에는 레이저 트리밍에 의해 저항 값을 목표 저항 값으로 설정하는 것이 불가능하므로 레지스터를 리페어 장비를 통하여 보수하거나, 이것이 불가능한 경우 인쇄 회로 기판 자체를 폐기시킬 수 있다.If the initial resistance value of the resistor measured in step S120 is larger than the set target resistance value, it is impossible to set the resistance value to the target resistance value by laser trimming, so that the resistor is repaired through the repair equipment or printing is not possible. The circuit board itself can be discarded.

단계(S130)에서는, 레이저 트리밍 대상인 레지스터 및 레지스터에 연결된 전극 패턴의 영상 정보를 생성한다. 전술한 바와 같이, 레지스터 및 전극 패턴의 영상 정보는 영상 정보 생성부에 의하여 생성될 수 있으며, 영상 정보 생성부는 CCD 이미지 센서 또는 CMOS 이미지 센서 등을 포함하는 카메라 모듈을 포함할 수 있다.In operation S130, image information of a register to be laser trimmed and an electrode pattern connected to the register is generated. As described above, the image information of the register and the electrode pattern may be generated by the image information generator, and the image information generator may include a camera module including a CCD image sensor or a CMOS image sensor.

단계(S130)에서도 생성된 영상 정보를 통해 레지스터의 영상 정보를 설정된 영상 정보와 비교 판단하여 레지스터가 불량인 것으로 판단되는 경우, 레지스터를 리페어 장비를 통하여 보수하거나, 이것이 불가능한 경우 인쇄 회로 기판 자체를 폐기시킬 수 있다.If it is determined that the register is defective by comparing the image information of the register with the set image information based on the generated image information in step S130, the register is repaired through a repair apparatus, or if this is impossible, the printed circuit board itself is discarded. You can.

전술한 단계(S120) 및 단계(S130)은 시간적 순서에 제한 받지 않으며, 동시에 수행될 수도 있다. 단계(S120) 및 단계(S130)이 동시에 수행되는 경우 레지스터에 대한 레이저 트리밍에 소요되는 시간이 단축될 수 있다.Steps S120 and S130 described above are not limited to the temporal order and may be performed simultaneously. When step S120 and step S130 are performed at the same time, the time required for laser trimming of the register may be shortened.

단계(S140)에서는, 단계(S130)에서 생성한 영상 정보를 이용하여 레이저 트리밍의 시작 라인을 판단한다. 레이저 트리밍의 시작 라인은 전술한 바와 같이, 레지스터(320)의 가장자리 또는 그 내부의 어느 한 지점으로 설정될 수 있으며, 설정된 영상 정보와 생성된 영상 정보를 영상 처리 기술로 비교 분석하여 레이저 트리밍의 시작 라인을 설정할 수 있다.In step S140, the start line of laser trimming is determined using the image information generated in step S130. As described above, the start line of the laser trimming may be set to an edge of the register 320 or any point therein, and the laser trimming is started by comparing and analyzing the set image information and the generated image information with an image processing technique. You can set the line.

단계(S150)에서는, 단계(S140)에서 획득한 레이저 트리밍의 시작 라인을 기초로 레지스터에 대하여 레이저 트리밍을 진행한다. 레이저 트리밍을 시작하는 경우, 단계(S140)에서 획득한 레이저 트리밍의 시작 라인으로부터 레이저 트리밍을 시작한다. 레이저 트리밍에 사용되는 레이저 빔은 고체 레이저를 사용하여 생성될 수 있다.In step S150, the laser trimming is performed on the registers based on the start line of the laser trimming obtained in step S140. When laser trimming is started, laser trimming is started from the start line of laser trimming obtained in step S140. The laser beam used for laser trimming can be generated using a solid state laser.

이처럼 레지스터에 대하여 레이저 트리밍을 하는 경우, 레이저 빔에 의하여 레지스터가 절단됨으로써 전하가 통하는 레지스터의 단면적이 줄어들게 되고, 이로 인하여 레지스터의 저항 값이 증가한다.When the laser trimming is performed on the resistor as described above, the cross-sectional area of the resistor through which the charge passes is reduced by cutting the resistor by the laser beam, thereby increasing the resistance value of the resistor.

또한, 단계(S150)이 진행되는 도중에도 단계(S120)의 저항 측정 및 단계(S130)의 영상 정보 생성은 계속적으로 수행되며, 측정된 저항 값 및 생성된 영상 정보는 레이저 조사 중단 여부를 판단하는 기초가 된다.In addition, while step S150 is in progress, the resistance measurement of step S120 and the generation of image information of step S130 are continuously performed, and the measured resistance value and the generated image information determine whether to stop laser irradiation. Is the basis.

단계(S160)에서, 레이저 트리밍이 된 레지스터의 저항 값과 설정된 목표 값을 비교하여, 레지스터의 저항 값이 설정된 목표 값에 도달하였는지 여부를 판단한다. 저항 값의 측정은 레지스터와 연결되어 있는 전극 패턴에 저항 측정부를 접촉시킴으로써 수행될 수 있다. 이로 인해 레이저 트리밍이 진행됨에 따라 변화되는 레지스터의 저항 값을 측정할 수 있다.In step S160, the resistance value of the laser-trimmed resistor is compared with the set target value, and it is determined whether the resistance value of the resistor has reached the set target value. The measurement of the resistance value may be performed by contacting the resistance measurement unit with an electrode pattern connected to the resistor. This allows the resistance value of the resistor to be changed as the laser trimming proceeds.

단계(S170)에서는, 단계(S160)에서 레지스터의 저항 값이 설정된 목표 값에 도달하였다고 판단되는 경우, 해당 레지스터에 대한 레이저 트리밍을 중단시키고 CAD 데이터에 따라 다음 가공의 대상인 레지스터로 레이저 트리밍 장치 및 저항 측정부를 이동시킨다.In step S170, when it is determined in step S160 that the resistance value of the resistor has reached the set target value, the laser trimming for the corresponding resistor is stopped, and the laser trimming device and the resistor to the register as the target of the next processing according to the CAD data. Move the measurement unit.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 트리밍 방법의 흐름을 도시한 순서도이다.6 is a flow chart showing the flow of a laser trimming method according to another embodiment of the present invention.

도 6에 도시된 실시예의 단계(S240) 내지 단계(S70)은 도 5에 도시된 실시예의 단계(S140) 내지 단계(S170)과 실질적으로 동일하다.Steps S240 to S70 of the embodiment shown in FIG. 6 are substantially the same as steps S140 to S170 of the embodiment shown in FIG. 5.

도 6에 도시된 실시예에서는, 레지스터 및 레이지터에 연결된 전극 패턴의 영상 정보를 생성하는 단계(S220)가 초기 저항 값을 측정하는 단계(S230) 이전에 수행된다.In the embodiment shown in FIG. 6, the step S220 of generating image information of the electrode pattern connected to the resistor and the resistor is performed before the step S230 of measuring the initial resistance value.

위와 같이 구성하면, 단계(S230)에서, 단계(S210)에서 판독한 CAD 데이터 뿐만 아니라 단계(S220)에서 생성된 영상 정보도 레지스터가 연결된 전극 패턴의 위치를 판단하는 기초로 이용될 수 있다. 즉, 저항 측정부가 단계(S210)에서 판독된 CAD 데이터 및 단계(S220)에서 생성된 영상 정보를 함께 고려하여 전극 패턴의 위치를 판단한 다음 레지스터의 초기 저항 값을 측정하므로, 정밀한 패드 접촉에 의한 정확한 초기 저항 측정이 가능하다.In this configuration, in step S230, not only the CAD data read in step S210 but also the image information generated in step S220 may be used as a basis for determining the position of the electrode pattern to which the register is connected. That is, since the resistance measurement unit determines the position of the electrode pattern in consideration of the CAD data read out in step S210 and the image information generated in step S220 together, and then measures the initial resistance value of the resistor, accurate pad contact Initial resistance measurements are possible.

이와 같은 방법으로 레지스터를 가공함으로써 레이저 트리밍 시간을 단축시킬 수 있고, 레이저 트리밍에 의한 인쇄 회로 기판의 손상을 최소화할 수 있다. By processing the resistor in this manner, the laser trimming time can be shortened, and damage to the printed circuit board due to the laser trimming can be minimized.

이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concepts of the present invention defined in the following claims are also provided. It belongs to the scope of rights.

도 1은 종래의 기술에 따른 레이저 트리밍의 대상이 되는 레지스터를 도시한 도면,1 is a diagram showing a register subject to laser trimming according to the prior art;

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 트리밍 장치의 구성을 도시한 블록도,2 is a block diagram showing a configuration of a laser trimming apparatus according to an embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 트리밍 장치를 구체적으로 도시한 도면,3 illustrates a laser trimming apparatus according to an embodiment of the present invention;

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 트리밍 장치의 가공 대상이 되는 레지스터를 도시한 도면,4 is a view showing a register to be processed in the laser trimming apparatus according to another embodiment of the present invention,

도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 레이저 트리밍 방법의 흐름을 도시한 순서도,5 is a flowchart showing a flow of a laser trimming method according to another embodiment of the present invention;

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 레이저 트리밍 방법의 흐름을 도시한 순서도.6 is a flow chart showing the flow of a laser trimming method according to another embodiment of the present invention.

Claims (24)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 영상 정보 처리를 이용한 레지스터의 레이저 트리밍 방법에 있어서,In the laser trimming method of the register using the image information processing, (a) 레지스터의 저항 값을 측정하는 단계와,(a) measuring the resistance of the resistor; (b) 상기 측정된 레지스터의 초기 저항 값이 설정된 목표 저항 값보다 큰 경우, 상기 레지스터를 리페어하는 단계와,(b) repairing the resistor when the initial resistance value of the measured resistor is greater than a set target resistance value; (c) 상기 레지스터 및 상기 레지스터와 연결된 전극 패턴의 영상 정보를 생성하는 단계 및(c) generating image information of the register and an electrode pattern connected to the register; and (d) 상기 생성된 영상 정보와 상기 측정된 저항 값을 기초로 광학계를 통하여 레지스터에 조사되는 레이저 빔을 제어하는 단계(d) controlling a laser beam irradiated to a register through an optical system based on the generated image information and the measured resistance value 를 포함하는 것인 레이저 트리밍 방법. Laser trimming method comprising a. 제13항에 있어서,The method of claim 13, 상기 (d) 단계는,In step (d), (d1) 상기 생성된 영상 정보를 기초로 레이저 트리밍의 시작 라인을 판단하는 단계 및 (d1) determining a start line of laser trimming based on the generated image information; and (d2) 상기 시작 라인으로부터 레이저 트리밍을 수행하는 단계 (d2) performing laser trimming from the start line; 를 포함하는 것인 레이저 트리밍 방법.Laser trimming method comprising a. 제14항에 있어서,The method of claim 14, 상기 (d1) 단계는, Step (d1), 상기 생성된 영상 정보와 설정된 영상 정보를 비교하는 영상 처리에 의해 수행되는 것인 레이저 트리밍 방법.And performing the image processing comparing the generated image information with the set image information. 제14항에 있어서,The method of claim 14, 상기 시작 라인은 상기 레지스터의 가장자리인 것인 레이저 트리밍 방법.And the start line is an edge of the register. 제14항에 있어서,The method of claim 14, 상기 시작 라인은 상기 레지스터 내부의 어느 한 지점인 것인 레이저 트리밍 방법.And the start line is any point within the register. 제13항에 있어서,The method of claim 13, 상기 (d) 단계는,In step (d), (d3) 상기 측정된 저항 값을 수신하여 상기 수신된 저항 값을 설정된 목표 저항 값과 비교하는 단계 및 (d3) receiving the measured resistance value and comparing the received resistance value with a set target resistance value; and (d4) 상기 수신된 저항 값이 목표 저항 값에 도달한 경우, 상기 레이저 트리밍을 중단시키는 단계를 포함하는 것인 레이저 트리밍 방법.(d4) if the received resistance value reaches a target resistance value, stopping the laser trimming. 제13항에 있어서,The method of claim 13, 상기 (b) 단계는,In step (b), 상기 레지스터의 리페어가 불가능한 경우, 상기 레지스터가 형성된 기판을 폐기하는 단계를 포함하는 것인 레이저 트리밍 방법.Discarding the substrate on which the register is formed if repair of the register is not possible. 제13항에 있어서,The method of claim 13, 상기 (d) 단계는,In step (d), (d7) 상기 생성된 영상 정보를 설정된 영상 정보와 비교하여 비정상적으로 형성된 레지스터를 판단하는 단계 및(d7) comparing the generated image information with the set image information to determine an abnormally formed register; and (d8) 비정상적으로 형성된 레지스터라고 판단된 경우, 상기 레이저 트리밍을 중단시키는 단계를 포함하는 것인 레이저 트리밍 방법.(d8) if it is determined that the register is abnormally formed, stopping the laser trimming. 제13항에 있어서,The method of claim 13, 상기 (a) 단계와 상기 (c) 단계는 동시에 수행되는 것인 레이저 트리밍 방법.(A) and (c) are performed simultaneously. 제13항에 있어서,The method of claim 13, 상기 (c) 단계는 상기 (a) 단계 이전에 수행되고,Step (c) is performed before step (a), 상기 (a) 단계는 상기 (c) 단계에서 생성된 상기 영상 정보를 기초로 레지스터의 위치를 판단하여 수행하는 것인 레이저 트리밍 방법. Wherein step (a) is performed by determining the position of the register based on the image information generated in the step (c). 제13항 내지 제22항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 13 to 22, 상기 레이저 빔은 고체 레이저를 사용하여 생성하는 것인 레지스터의 레이저 트리밍 방법.And the laser beam is generated using a solid state laser. 제13항 내지 제22항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 13 to 22, 상기 영상 정보는 카메라 모듈을 이용하여 생성되는 것인 레지스터의 레이저 트리밍 방법.And the image information is generated using a camera module.
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