KR100906956B1 - Trans-reflective type liquid crystal display device and method for fabricating the same - Google Patents

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Abstract

반사-투과형 액정표시장치 및 이의 제조 방법이 개시되어 있다. 액정 표시 장치는 제1 기판 상에 컬러필터와 공통 전극이 형성된 상부 기판, 제2 기판상에 스위칭 소자, 스위칭 소자상에 형성된 유기 절연막, 유기 절역막의 상면에 투명 전극, 투명 전극상에 형성된 화소 전극을 포함하고, 공통 전극과 화소 전극이 마주보도록 상부 기판과 결합하는 하부 기판 및 하부 기판과 상기 상부 기판과의 사이에 주입된 액정층을 포함하고, 유기 절연막은 스위칭 소자에 대응하는 오목부와, 볼록부를 갖는다. 따라서, 투명 전극에 반사된 광이 스위칭 소자의 채널부에 조사되는 것을 방지하여 표시 품질을 향상시킬 수 있다.

Figure R1020020076643

반사-투과형 액정표시장치, 유기 절연막, 오목(concave)부

Disclosed are a transflective liquid crystal display and a method of manufacturing the same. The liquid crystal display includes an upper substrate on which a color filter and a common electrode are formed on a first substrate, a switching element on a second substrate, an organic insulating layer formed on the switching element, a transparent electrode on an upper surface of the organic intercepting layer, and a pixel electrode formed on the transparent electrode. A lower substrate coupled to the upper substrate so that the common electrode and the pixel electrode face each other, and a liquid crystal layer injected between the lower substrate and the upper substrate, wherein the organic insulating layer includes a recess corresponding to the switching element; It has a convex part. Therefore, the display quality can be improved by preventing the light reflected by the transparent electrode from being irradiated to the channel portion of the switching element.

Figure R1020020076643

Reflective-transmissive liquid crystal display, organic insulating film, concave portion

Description

반사-투과형 액정표시장치 및 이의 제조 방법{TRANS-REFLECTIVE TYPE LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME}Reflective-transmissive liquid crystal display and its manufacturing method {TRANS-REFLECTIVE TYPE LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME}

도 1은 종래 반사-투과형 액정표시장치의 프로파일의 일부분을 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a part of a profile of a conventional reflection-transmissive liquid crystal display device.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 반사-투과형 액정 표시 장치의 구조를 나타낸 단면도이다.2 is a cross-sectional view illustrating a structure of a reflection-transmissive liquid crystal display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 3은 도 2에서 표시된 원부분을 도시한 확대도이다.FIG. 3 is an enlarged view of the circle portion shown in FIG. 2.

도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 실시예에 의한 반사-투과형 액정 표시 장치의 제조 방법을 도시한 도면이다.4A to 4F illustrate a method of manufacturing a reflection-transmissive liquid crystal display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

100 : 상부기판 110 : 제2 기판100: upper substrate 110: second substrate

120 : 컬러필터 130 : 블랙 매트릭스120: color filter 130: black matrix

140 : 공통 전극 150 : 제1 배향막140: common electrode 150: first alignment layer

200 : 하부 기판 220 : 박막 트랜지스터200: lower substrate 220: thin film transistor

260 : 제1 기판 280 : 유기 절연막260: first substrate 280 organic insulating film

282 : 투과 전극 283 : 반사 전극 282: transmission electrode 283: reflection electrode

285 : 제2 배향막 300 : 액정층285: second alignment layer 300: liquid crystal layer

본 발명은 반사-투과형 액정표시장치 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 표시 품질을 향상시킬 수 있는 반사-투과형 액정표시장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a reflection-transmissive liquid crystal display device and a manufacturing method thereof, and more particularly, to a reflection-transmissive liquid crystal display device and a method for manufacturing the same that can improve display quality.

오늘날과 같은 정보화 사회에 있어서 디스플레이 장치의 역할은 갈수록 중요해지며, 각종 디스플레이장치가 다양한 산업 분야에 광범위하게 사용되고 있다. 반도체 기술의 급속한 진보에 의해 각종 정보처리장치의 소형 및 경량화에 따라 디스플레이장치도 얇고 가벼우면서 또한, 저소비 전력의 특징을 갖춘 액정 표시 장치가 광범위하게 사용되고 있다.In today's information society, the role of display devices becomes more and more important, and various display devices are widely used in various industrial fields. BACKGROUND With the rapid advance of semiconductor technology, liquid crystal display devices having thin and light display devices and low power consumption are widely used in accordance with the miniaturization and light weight of various information processing devices.

이러한, 액정 표시 장치는 외부로부터 발생된 제1 광을 제공받아 영상을 표시하는 반사형 액정 표시 장치와 자체적으로 생성된 제2 광을 제공받아 영상을 표시하는 투과형 액정 표시 장치로 구분된다. 최근에는, 전력의 소모를 줄이면서 고화질의 영상을 구현하기 위해 반사형 액정 표시 장치와 투과형 액정 표시 장치의 장점을 모두 살린 반사-투과형 액정 표시 장치가 개발되고 있다.The liquid crystal display is classified into a reflective liquid crystal display device that receives an external first light and displays an image and a transmissive liquid crystal display device that receives an internally generated second light and displays an image. Recently, in order to realize high quality images while reducing power consumption, a reflection-transmissive liquid crystal display device utilizing both the advantages of the reflective liquid crystal display and the transmissive liquid crystal display has been developed.

이와 같은, 반사-투과형 액정표시장치는 외부 광양이 풍부한 곳에서는 제1 광을 이용하는 반사모드에서 영상을 디스플레이하고, 외부 광양이 부족한 곳에서는 자체에 충전된 전기 에너지를 소모하여 생성된 제2 광을 이용하는 투과모드에서 영상을 디스플레이한다. Such a reflection-transmissive liquid crystal display displays an image in a reflection mode using the first light in a place where the external light amount is abundant, and uses a second light generated by consuming electric energy charged in itself when the external light amount is insufficient. The image is displayed in the transmission mode used.                         

도 1에는 종래 반사-투과형 액정표시장치의 프로파일 일부분이 도시되어 있는데, 도 1을 참조하여 종래 반사-투과형 액정표시장치(50)의 문제점을 설명하기로 한다.FIG. 1 illustrates a part of a profile of a conventional reflection-transmissive liquid crystal display. Referring to FIG. 1, a problem of the conventional reflection-transmissive liquid crystal display 50 will be described.

먼저, 반사-투과형 액정 표시 장치는 전체적으로 보아 제1 기판(20), 제1 기판(20)의 상면에 형성된 박막 트랜지스터(10), 박막 트랜지스터(10)의 상면에 형성된 유기 절연막(30), 유기 절연막(30)에 형성된 콘택홀(31), 상기 유기 절연막(30)의 상면에 증착된 투명 전극(32) 및 광을 반사시키는 화소 전극(33)을 갖는다.First, in the reflection-transmissive liquid crystal display, the first substrate 20, the thin film transistor 10 formed on the upper surface of the first substrate 20, the organic insulating layer 30 formed on the upper surface of the thin film transistor 10, A contact hole 31 formed in the insulating film 30, a transparent electrode 32 deposited on the upper surface of the organic insulating film 30, and a pixel electrode 33 reflecting light.

이와 같은 종래 반사-투과형 액정표시장치는 박막트랜지스터(10) 상면에 도포되는 유기 절연막(30)의 패턴이 픽셀의 위치에 관계없이 볼록(convex)구조로 형성이 되어 있다. 이러한 볼록구조는 백라이트 유닛측에서 관측할 경우 오목(concave)구조가 된다. 즉, 백라이트 유닛에서 올라온 빛은 오목 구조로 형성된 요철에 의하여 도 1에서 도시된 바와 같이 광이 특정 방향으로 모이는 현상이 일어난다. 특히 박막 트랜지스터 채널위에 형성된 요철은 광을 채널로 조사시켜 박막 트랜지스터의 포토 쿼런트(photo current)를 증가되어 액정 표시 장치의 표시 품질이 떨어지는 문제점을 일으킨다.In the conventional reflection-transmissive liquid crystal display device, the pattern of the organic insulating layer 30 applied to the top surface of the thin film transistor 10 is formed in a convex structure regardless of the position of the pixel. This convex structure becomes a concave structure when viewed from the backlight unit side. That is, as shown in FIG. 1, the light raised from the backlight unit is gathered in a specific direction due to irregularities formed in a concave structure. In particular, the unevenness formed on the thin film transistor channel causes light to be irradiated to the channel, thereby increasing the photo current of the thin film transistor, thereby causing a problem of deterioration of display quality of the liquid crystal display.

따라서, 본 발명은 이와 같은 종래 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 백라이트 유닛에서 발생한 빛 중 일부 반사광이 박막 트랜지스터 채널에 조사되는 현상을 방지하기 위한 액정 표시 장치를 제공함에 있다.Accordingly, the present invention has been made in view of such a conventional problem, and an object of the present invention is to provide a liquid crystal display device for preventing a phenomenon in which some reflected light generated from the backlight unit is irradiated to the thin film transistor channel.

또한, 상기의 액정 표시 장치의 제조 방법을 제공함에 있다.In addition, the present invention provides a method for manufacturing the liquid crystal display device.

본 발명의 목적을 구현하기 위한 액정 표시 장치는, 제1 기판 상에 컬러필터와 공통 전극이 형성된 상부 기판, 제2 기판상에 스위칭 소자, 상기 스위칭 소자상에 형성된 유기 절연막,상기 유기 절역막의 상면에 형성된 투명 전극, 상기 투명 전극상에 형성된 화소 전극을 포함하고, 상기 공통 전극과 상기 화소 전극이 마주보도록 상기 상부 기판과 결합하는 하부 기판 및 상기 하부 기판과 상기 상부 기판과의 사이에 주입된 액정층을 포함하고, 상기 유기 절연막은 스위칭 소자에 대응하는 오목부와, 볼록부를 가지며, 상기 오목부는 상기 투명전극으로부터의 반사광이 상기 스위칭 소자의 채널부에 조사되는 것을 방지하기 위해 상부 기판에 대하여 오목한 형상을 갖는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, a liquid crystal display device includes: an upper substrate on which a color filter and a common electrode are formed on a first substrate, a switching element on a second substrate, an organic insulating layer formed on the switching element, and an upper surface of the organic blocking layer A transparent electrode formed on the transparent electrode, a pixel electrode formed on the transparent electrode, and a lower substrate coupled to the upper substrate so that the common electrode and the pixel electrode face each other, and a liquid crystal injected between the lower substrate and the upper substrate And an organic insulating film having a concave portion corresponding to the switching element and a convex portion, wherein the concave portion is concave with respect to the upper substrate to prevent the reflected light from the transparent electrode from being irradiated to the channel portion of the switching element. It is characterized by having a shape.

또한, 본 발명의 목적을 구현하기 위한 액정 표시 장치의 제조 방법은, 제1 기판 상에 컬러필터와 공통 전극을 형성하여 상부 기판을 형성하는 단계, 제2 기판상에 스위칭 소자를 형성하는 단계, 상기 스위칭 소자를 포함하여 상기 제2 기판상에 상기 스위칭 소자와 대응하는 오목부와 볼록부를 갖는 유기 절연막을 형성하는 단계, 상기 유기 절역막의 상면에 투명 전극을 형성하는 단계 및 상기 투명 전극상에 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the manufacturing method of the liquid crystal display device for implementing the object of the present invention, forming a color filter and a common electrode on the first substrate to form an upper substrate, forming a switching element on the second substrate, Forming an organic insulating layer having the concave and convex portions corresponding to the switching element on the second substrate, including the switching element, forming a transparent electrode on an upper surface of the organic cutting layer, and a pixel on the transparent electrode And forming an electrode.

구체적으로, 상기 유기 절연막을 형성하는 단계는, 상기 기판상에 유기물질로 이루어지는 박막을 도포하는 단계, 상기 박막이 도포된 결과물상에 상기 볼록부에 대응하는 부분은 닫히고, 상기 오목부와 연결부는 열리는 패턴을 갖는 마스크를 위치시키는 단계, 상기 마스크가 위치하는 결과물에 광을 조사하는 단계 및 상기 광이 조사된 박막을 현상하여 상기 유기 절연막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In detail, the forming of the organic insulating layer may include coating a thin film made of an organic material on the substrate, and a portion corresponding to the convex portion may be closed on a resultant of applying the thin film, and the concave portion and the connecting portion may be Positioning a mask having an open pattern, irradiating light to a resultant product on which the mask is located, and developing the thin film to which the light is irradiated to form the organic insulating layer.

본 발명에 의하면, 박막 트랜지스터 채널 위에 요철을 오목한 형상으로 채용함으로써, 광이 상기 채널로 조사되지 않도록 한다.According to the present invention, concavities and convexities are concave on the thin film transistor channel so that light is not irradiated to the channel.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 반사-투과형 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법을 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a reflection-transmissive liquid crystal display and a method of manufacturing the same according to a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2 는 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 반사-투과형 액정 표시 장치(600)의 구조를 설명하기 위한 프로파일이고, 도 3 은 도 2에서 표시된 원 부분을 구체적으로 도시한 확대도이다.FIG. 2 is a profile for explaining the structure of a reflective-transmissive liquid crystal display 600 according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an enlarged view specifically showing the circle portion shown in FIG.

도 2, 도 3을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 반사-투과형 액정 표시 장치는 전체적으로 보아 상부 기판(100), 하부 기판(200), 상부 기판(100)과 하부 기판(200)사이에 주입된 액정층(300)으로 이루어진다.2 and 3, the reflective-transmissive liquid crystal display according to the preferred embodiment of the present invention is generally viewed between the upper substrate 100, the lower substrate 200, the upper substrate 100, and the lower substrate 200. It is made of a liquid crystal layer 300 injected into.

상부 기판(100)은 제2 기판(110)상에 R(Red).G(Green).B(Blue)색화소로 이루어진 컬러필터(120)와, 블랙 매트릭스(Black Matrix: BM)(130)와, 공통 전극(140)과, 제1 배향막(150)이 형성된 기판이다.The upper substrate 100 includes a color filter 120 formed of R (Red) .G (Green) .B (Blue) color pixels on the second substrate 110 and a black matrix (BM) 130. And the common electrode 140 and the first alignment layer 150 are formed.

구체적으로, 제2 기판(110)상에는 통과되는 광에 의해 소정의 색으로 발현되는 색화소인 RGB 화소와 RGB 각각의 색화소 사이에 형성되어 콘스트라스트비(Contrast Ratio:C/R)를 높이기 위한 블랙 매트릭스층(130)이 박막공정에 의해 형성된다. 그 위로 인듐 옥사이드(Indium Tin Oxide; 이하, ITO) 또는 인듐 징크옥사이드(Indium Zinc Oxide; 이하, IZO)로 이루어진 공통 전극(140)이 도포되고, 공통 전극(140)상에는 일정 방향으로 러빙된 제1 배향막(150)이 형성된다.Specifically, the second substrate 110 is formed between the RGB pixel, which is a color pixel expressed by a predetermined color by the light passing through, and each of the RGB color pixels to increase the contrast ratio (C / R). The black matrix layer 130 is formed by a thin film process. A common electrode 140 made of indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO) is coated thereon, and a first rubbed in a predetermined direction on the common electrode 140. An alignment layer 150 is formed.

한편, 하부 기판(200)은 제1 기판(260)상에 박막 트랜지스터(220)와, 유기 절연막(280)과, 투과 전극(282)과 반사 전극(283)으로 이루어진 화소 전극과, 제2 배향막(285)이 형성된 기판이다. 여기서, 도면상에는 박막 트랜지스터만을 도시하였으나, 스토리지 캐패시터는 그 도시를 생략하였다.Meanwhile, the lower substrate 200 includes a thin film transistor 220, an organic insulating layer 280, a pixel electrode formed of a transmission electrode 282, a reflective electrode 283, and a second alignment layer on the first substrate 260. A substrate 285 is formed. Here, only the thin film transistor is shown in the drawing, but the storage capacitor is not shown.

구체적으로, 제1 기판(260), 제1 기판(260)의 상면에 형성된 박막 트랜지스터(220), 박막 트랜지스터(220)의 상면에 형성된 유기 절연막(280), 유기 절연막(280)에 형성된 콘택홀(281), 상기 유기 절연막(280)의 상면에 증착된 투명 전극(282) 및 광을 반사시키는 반사 전극(283)을 갖는다.In detail, the first substrate 260, the thin film transistor 220 formed on the top surface of the first substrate 260, the organic insulating film 280 formed on the top surface of the thin film transistor 220, and the contact hole formed in the organic insulating film 280. 281, a transparent electrode 282 deposited on the upper surface of the organic insulating layer 280, and a reflective electrode 283 reflecting light.

구체적으로, 첨부된 도 2, 도 3을 참조하면, 투명한 제1 기판(260)상에는 박막 트랜지스터(220)가 형성된다.Specifically, referring to FIGS. 2 and 3, the thin film transistor 220 is formed on the transparent first substrate 260.

박막 트랜지스터(220)는 다시 게이트 전극(221), 소오스 전극(225) 및 드레인 전극(226), 게이트 전극(221)으로부터 소오스 전극(225) 및 드레인 전극(226)을 절연시키는 절연막(222), 게이트 전극(221)에 전원이 인가됨에 따라 소오스 전극(225)으로부터 드레인 전극(226)으로 전원이 인가되도록 하는 반도체층(223, 224)으로 구성된다.The thin film transistor 220 may further include an insulating film 222 that insulates the source electrode 225 and the drain electrode 226 from the gate electrode 221, the source electrode 225 and the drain electrode 226, and the gate electrode 221. As the power is applied to the gate electrode 221, the semiconductor layers 223 and 224 are configured to supply power from the source electrode 225 to the drain electrode 226.

이와 같은 구성을 갖는 박막 트랜지스터(220)는 제 1 기판(260) 상에 적어도 1 개 이상이 매트릭스 형태로 배열된다.At least one thin film transistor 220 having such a configuration is arranged in a matrix form on the first substrate 260.

이때, 매트릭스 형태로 배열된 박막 트랜지스터(220)들 중 각 행(column)에 속하는 모든 박막 트랜지스터의 게이트 전극은 공통 게이트 라인(common gate line)에 의하여 게이트 전원이 인가된다.In this case, a gate power is applied to the gate electrodes of all the thin film transistors belonging to each column among the thin film transistors 220 arranged in a matrix form by a common gate line.

즉, 매트릭스 형태로 배열된 박막 트랜지스터들은 공통 게이트 라인에 의하여 행 단위로 턴-온(turn-on) 또는 턴-오프(turn-off)된다.That is, the thin film transistors arranged in a matrix form are turned on or turned off in units of rows by a common gate line.

한편, 매트릭스 형태로 배열된 박막 트랜지스터들 중 각 열(row)에 속하는 모든 박막 트랜지스터의 소오스 전극은 공통 데이터 라인(common data line)에 의하여 데이터 전원이 인가된다.On the other hand, the source power of all the thin film transistors belonging to each row among the thin film transistors arranged in a matrix form is supplied with data power by a common data line.

즉, 매트릭스 형태로 배열된 모든 박막 트랜지스터의 소오스 전극에는 공통 데이터 라인에 인가된 전원이 인가된다.That is, the power applied to the common data line is applied to the source electrodes of all the thin film transistors arranged in the matrix form.

이와 같이 모든 박막 트랜지스터의 소오스 전극에 원하는 전압이 인가된 상태에서 선택된 어느 하나의 공통 게이트 라인에 턴-온 전압이 인가됨으로써 매트릭스 형태로 배열된 박막 트랜지스터들 중 선택된 하나의 행에 속한 박막 트랜지스터에는 소오스 전극으로부터 반도체층을 경유하여 드레인 전극으로 전원이 출력된다.As such, a turn-on voltage is applied to any one of the selected common gate lines while a desired voltage is applied to the source electrodes of all the thin film transistors, so that the thin film transistors belonging to one selected row of the thin film transistors arranged in a matrix form are sourced. Power is output from the electrode to the drain electrode via the semiconductor layer.

이처럼 드레인 전극으로 출력된 전원은 액정(Liquid Crystal)이 구동되어 디스플레이가 수행될 수 있도록 한다.As such, the power output to the drain electrode drives the liquid crystal so that the display can be performed.

이때, 드레인 전극(226)에 투명한 전극이 형성될 경우, 투과 방식에 의하여 디스플레이를 수행할 수 있고, 드레인 전극(226)에 반사율이 뛰어난 메탈로 전극을 형성할 경우, 반사 방식에 의하여 디스플레이를 수행할 수 있으며, 드레인 전극(226)에 투명한 전극 및 메탈 전극을 모두 형성할 경우 반사-투과 방식에 의하여 디스플레이를 수행할 수 있다. In this case, when a transparent electrode is formed on the drain electrode 226, the display may be performed by a transmission method. When the electrode is formed of a metal having excellent reflectance on the drain electrode 226, the display may be performed by the reflection method. In the case where both the transparent electrode and the metal electrode are formed on the drain electrode 226, the display may be performed by a reflection-transmission method.                     

본 발명에서는 반사-투과 방식으로 디스플레이를 수행하기 위하여 일실시예로 박막 트랜지스터(220)의 드레인 전극(226)에 투명한 전극 및 메탈 전극이 모두 형성된다.In the present invention, both a transparent electrode and a metal electrode are formed on the drain electrode 226 of the thin film transistor 220 in order to perform the display in the reflection-transmission method.

이때, 드레인 전극(226)과 동일한 레이어(layer)에는 소오스 전극(225)도 함께 형성되어 있음으로 드레인 전극(226)에만 투명한 전극 및 메탈 전극이 접촉되도록 하기 위해서 박막 트랜지스터(220)의 상면에는 소정 두께로 유기 절연막(280)이 형성된다.In this case, the source electrode 225 is also formed on the same layer as the drain electrode 226, so that the transparent electrode and the metal electrode contact only the drain electrode 226 so as to contact the upper surface of the thin film transistor 220. The organic insulating layer 280 is formed to a thickness.

이때, 상기 유기 절연막(280) 오목부(A)와, 볼록부를 가지며, 상기 오목부(A)는 반사광이 상기 박막 트랜지스터(220) 채널부에 조사되는 것을 방지하기 위해 오목한 형상을 갖는다.In this case, the organic insulating layer 280 has a concave portion A and a convex portion, and the concave portion A has a concave shape in order to prevent reflected light from being irradiated to the channel portion of the thin film transistor 220.

여기서, 상기 오목부의 지름은 도면에서 도시한 바와 같이 가상의 원을 상정하였을 때의 상기 원의 지름으로, 상기 반사광이 상기 박막 트랜지스터(220) 채널부에 조사되지 않도록 하기 위하여 상기 채널 길이(C)를 충분히 커버할수 있는 정도여야 한다. 구체적으로, 상기 오목부의 지름(R)은 상기 채널의 길이에 대하여 2:1 정도의 비율을 가지는 것이 바람직하다. 예를 들면, 대부분의 박막 트랜지스터(220)의 채널 길이가 3㎛내지 5㎛이므로, 오목부의 지름은 상기 채널 길이를 충분히 커버할 수 있는 수준인 6㎛내지 10㎛이상 길이를 가진다.Here, the diameter of the concave portion is a diameter of the circle when a virtual circle is assumed as shown in the drawing, and the channel length C is used so that the reflected light is not irradiated to the channel portion of the thin film transistor 220. Should cover enough. Specifically, the diameter R of the concave portion preferably has a ratio of about 2: 1 with respect to the length of the channel. For example, since the channel length of most of the thin film transistors 220 is 3 µm to 5 µm, the diameter of the concave portion has a length of 6 µm to 10 µm or more, which is sufficient to cover the channel length.

따라서, 반사-투과형 액정 표시 장치(600)는 도 3에서 도시된 바와 같이, 상기 반사광이 상기 박막 트랜지스터(220)의 채널부외의 부분으로 조사될수 있다.Accordingly, in the reflection-transmissive liquid crystal display 600, as shown in FIG. 3, the reflected light may be irradiated to a portion other than the channel portion of the thin film transistor 220.

유기 절연막(280)에는 박막 트랜지스터(220)의 드레인 전극(226)을 개구시키 기 위한 콘택홀(281)이 형성되어 있다.In the organic insulating layer 280, a contact hole 281 for opening the drain electrode 226 of the thin film transistor 220 is formed.

유기 절연막(280)상에는 콘택홀(281)을 통해 박막 트랜지스터의 드레인 전극(226)과 접촉되는 화소 전극(282, 283)이 형성된다. 구체적으로, 유기 절연막(280)상에는 ITO 또는 IZO로 이루어진 투명 전극(282)이 균일한 두께로 적층되고, 투명 전극(282)위로 투명 전극(282)을 개구시키는 투과창(284)이 형성된 반사 전극(283)이 균일한 두께로 적층된다. 이때, 반사 전극(283)에는 반사율이 뛰어난 금속 물질이 사용된다.The pixel electrodes 282 and 283 are formed on the organic insulating layer 280 to contact the drain electrode 226 of the thin film transistor through the contact hole 281. In detail, a transparent electrode 282 made of ITO or IZO is laminated on the organic insulating layer 280 with a uniform thickness, and a reflective electrode having a transmission window 284 for opening the transparent electrode 282 over the transparent electrode 282. 283 are laminated to a uniform thickness. In this case, a metal material having excellent reflectance is used for the reflective electrode 283.

이때, 투명 전극(282)은 유기 절연막(280)상에 균일한 두께로 적층되기 때문에 유기 절연막(280)과 동일한 구조를 갖는다. 즉, 유기 절연막(280)의 형상이 위에서 살펴본 대로 볼록과 오목의 형상을 가지는 요철구조이므로, 투명 전극(282)의 형상 역시 그러하다.In this case, since the transparent electrode 282 is stacked on the organic insulating layer 280 with a uniform thickness, the transparent electrode 282 has the same structure as the organic insulating layer 280. That is, since the shape of the organic insulating layer 280 has a concave-convex structure having convex and concave shapes as described above, the shape of the transparent electrode 282 is also the same.

이후, 투명 전극(282)상에 적층되는 반사 전극(283)은 균일한 두께로 적층되기 때문에 투명 전극(282)과 동일한 표면 구조를 갖는다. 그리고 반사 전극(283)과 투과창(284)상에 제2 배향막(285)이 더 형성된다.Thereafter, the reflective electrode 283 stacked on the transparent electrode 282 has the same surface structure as the transparent electrode 282 because it is stacked with a uniform thickness. The second alignment layer 285 is further formed on the reflective electrode 283 and the transmission window 284.

다음, 상부 기판(100)은 공통 전극(140)이 화소 전극(282, 283)과 마주보도록 하부 기판(200)과 대향하여 결합된다. 이와 같이, 상부 기판(100)과 하부 기판(200)과의 사이에 액정층(300)이 주입된다. 이로써, 반사-투과형 액정 표시 장치(600)가 완성된다.Next, the upper substrate 100 is coupled to face the lower substrate 200 so that the common electrode 140 faces the pixel electrodes 282 and 283. As such, the liquid crystal layer 300 is injected between the upper substrate 100 and the lower substrate 200. Thus, the reflection-transmissive liquid crystal display device 600 is completed.

이하, 도 2에 도시된 반사-투과형 액정 표시 장치(600)의 하부 기판(200)의 제조 공정을 설명하기로 한다. Hereinafter, a manufacturing process of the lower substrate 200 of the reflection-transmissive liquid crystal display 600 shown in FIG. 2 will be described.                     

도 4a 내지 도4f는 본 발명의 실시예에 의한 반사-투과형 액정 표시 장치의 보다 구체적인 제조 방법을 도시한 도면이다. 여기서, 도 1에 도시한 부분중 동일한 부분은 동일한 도면 부호를 사용한다.4A to 4F illustrate a more specific manufacturing method of a reflection-transmissive liquid crystal display device according to an exemplary embodiment of the present invention. Here, the same parts among the parts shown in FIG. 1 use the same reference numerals.

도 4a를 참조하면, 투명한 제1 기판(260)의 전면적에 걸쳐 스퍼터링 공정등을 통하여 소정 두께를 갖는 게이트 박막(230)이 형성된다.Referring to FIG. 4A, a gate thin film 230 having a predetermined thickness is formed through a sputtering process or the like over the entire area of the transparent first substrate 260.

이때, 게이트 박막(230)을 이루는 물질로는 알루미늄(Al), 알루미늄-네오디뮴 합금(Al-Nd alloy), 크롬(Cr) 등이 사용될 수 있다.In this case, the material forming the gate thin film 230 may be aluminum (Al), aluminum-neodymium alloy (Al-Nd alloy), chromium (Cr) and the like.

게이트 박막(230)으로 순수 알루미늄을 사용할 경우, 공정 온도 설정에 신중을 기하지 않으면, 힐락(hill rock)과 같은 트러블이 발생될 수 있음으로 공정 온도 설정에 신중을 기하도록 한다.In the case of using pure aluminum as the gate thin film 230, troubles such as hill rock may occur if the process temperature is not carefully set.

이처럼 알루미늄-네오디뮴 합금 및 크롬을 이용한 게이트 박막(230)을 이용할 경우 낮은 전기 저항 및 높은 강도를 갖는 게이트 전극(221)을 얻을 수 있다. As such, when the gate thin film 230 using aluminum-neodymium alloy and chromium is used, the gate electrode 221 having low electrical resistance and high strength can be obtained.

첨부된 도 4b를 참조하면, 제 1 기판(260)에 형성된 게이트 박막(230)은 포토레지스트 도포 공정, 제 1 패턴 마스크(미도시)를 이용한 사진 공정, 노광 공정, 식각 공정을 통하여 패터닝되어 게이트 전극(221)이 형성된다.Referring to FIG. 4B, the gate thin film 230 formed on the first substrate 260 is patterned through a photoresist coating process, a photo process using a first pattern mask (not shown), an exposure process, and an etching process. The electrode 221 is formed.

이후, 첨부된 도 4c에 도시된 바와 같이, 게이트 전극(221)이 포함되도록 제 1 기판(260)에는 플라즈마 강화 화학 기상 증착(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 공정 등에 의하여 박막들이 연속 증착된다.Subsequently, as shown in FIG. 4C, thin films are continuously deposited on the first substrate 260 by a plasma enhanced chemical vapor deposition process to include the gate electrode 221.

구체적으로, 게이트 전극(221)이 형성된 제 1 기판(100)에 순차적으로 증착되는 박막들은 게이트 절연막(222), 제 1, 제 2 반도체막(223, 224) 및 소오스/드 레인 전극 형성용 메탈막(227)이다.Specifically, the thin films sequentially deposited on the first substrate 100 on which the gate electrode 221 is formed may include the gate insulating layer 222, the first and second semiconductor layers 223 and 224, and the metal for forming the source / drain electrodes. Film 227.

보다 구체적으로, 게이트 절연막(222)은 게이트 전극(221)이 포함되도록 제 1 기판(260)의 전면적에 형성되는 투명 박막으로 질화 실리콘(SiNx) 재질로 약 4500Å 정도의 박막 두께를 갖는다.More specifically, the gate insulating layer 222 is a transparent thin film formed on the entire surface of the first substrate 260 to include the gate electrode 221 and has a thin film thickness of about 4500 kPa made of silicon nitride (SiNx).

한편, 이 게이트 절연막(222)의 상면에는 전면적에 걸쳐 제 1 반도체막(223)이 형성된다. 제 1 반도체막(223)은 아몰퍼스 실리콘 재질로 약 2000Å 정도의 두께를 갖도록 형성된다.On the other hand, the first semiconductor film 223 is formed over the entire surface of the gate insulating film 222. The first semiconductor film 223 is formed of amorphous silicon and has a thickness of about 2000 GPa.

이 제 1 반도체막(223)은 게이트 전극(221)에 전원이 인가될 경우, 후술될 소오스 전극으로부터 드레인 전극으로 전원이 공급되도록 하는 채널 역할을 한다.When power is applied to the gate electrode 221, the first semiconductor layer 223 serves as a channel for supplying power to the drain electrode from the source electrode to be described later.

이어서, 제 1 반도체막(223)의 상면에는 전면적에 걸쳐 다시 제 2 반도체막(224)이 형성된다. 제 2 반도체막(224)은 아몰퍼스 실리콘에 n+ 물질이 이온 도핑된 n+ 아몰퍼스 실리콘 재질이 약 500Å 정도의 두께를 갖도록 형성된다.Subsequently, the second semiconductor film 224 is formed over the entire surface of the first semiconductor film 223. The second semiconductor film 224 is formed such that the n + amorphous silicon material in which the n + material is ion-doped to the amorphous silicon has a thickness of about 500 GPa.

한편, 제 2 반도체막(224)의 상면에는 다시 소오스-드레인 전극 형성용 메탈막(227)이 형성되는데, 소오스-드레인 전극 형성용 메탈막(227)은 스퍼터링 방식에 의하여 약 1500Å 두께를 갖는 크롬으로 형성된다.On the other hand, the source-drain electrode forming metal film 227 is again formed on the upper surface of the second semiconductor film 224. The source-drain electrode forming metal film 227 has a thickness of about 1500 GPa by the sputtering method. Is formed.

이후, 도 4d 에 도시된 바와 같이 게이트 전극(221)의 상면에 형성된 게이트 절연막(222), 제 1, 제 2 반도체막(223, 224), 소오스/드레인 전극 형성용 메탈막(227)은 소정 형상으로 패터닝된다.Subsequently, as illustrated in FIG. 4D, the gate insulating layer 222, the first and second semiconductor layers 223 and 224, and the source / drain electrode forming metal layer 227 formed on the upper surface of the gate electrode 221 are predetermined. Patterned to shape.

이후, 드레인 전극(225) 및 소오스 전극(226)이 형성되는 과정에서 외부로 노출된 제 2 반도체막(224)은 소오스 전극(226) 및 드레인 전극(225)을 마스크로 하여 식각되어 박막 트랜지스터(220)가 제작된다.Subsequently, the second semiconductor film 224 exposed to the outside in the process of forming the drain electrode 225 and the source electrode 226 is etched using the source electrode 226 and the drain electrode 225 as a mask to form a thin film transistor ( 220) is produced.

또한, 박막 트랜지스터(220)가 형성된 제 1 기판(260)의 상면에는 전면적에 걸쳐 유기 절연막(280)이 후박하게 형성된다.In addition, the organic insulating layer 280 is thinly formed on the entire surface of the first substrate 260 on which the thin film transistor 220 is formed.

이 유기 절연막(280)은 후술될 투과 전극 및 반사 전극이 드레인 전극(225) 이외의 도전성 패턴, 예를 들면, 소오스 전극(226) 등과 쇼트 되지 않도록 하기 위함이다. 이때, 유기 절연막(280)은 절연성이면서 광이 투과될 수 있도록 투명해야 한다. 이를 만족시키기 위해서, 유기 절연막(280)은 투명한 절연물질인 벤조 사이클릭 부텐(benzo cyclic butene) 물질로 구성된다.The organic insulating layer 280 is intended to prevent the transmissive electrode and the reflective electrode, which will be described later, from shorting to a conductive pattern other than the drain electrode 225, for example, the source electrode 226 and the like. In this case, the organic insulating layer 280 should be insulative and transparent so that light can be transmitted therethrough. In order to satisfy this, the organic insulating layer 280 is made of a benzo cyclic butene material, which is a transparent insulating material.

이후, 도 4e에 도시된 바와 같이, 유기 절연막(280)의 요철 형성을 위한 마스크가 위치된다. 마스크(700)는 박막 트랜지스터에 대응되는 부분(710)이 개구되고, 나머지 부분에는 일정한 패턴으로 개구된 슬릿을 갖는다. 유기 절연막(280)의 요철을 박막 트랜지스터(220)에 대응하는 부분은 오목(concave)한 형상을 가지고, 그 외의 부분은 볼록(convex)한 형상을 가지도록 마스크(700)를 제작하여야 한다. 즉, 오목(concave)한 형상을 구현하기 위하여 중심부를 넓게 개구하고 그 주변부도 점점 좁아지는 슬릿을 가지는 마스크(700)가 필요하다.Thereafter, as shown in FIG. 4E, a mask for forming irregularities of the organic insulating layer 280 is positioned. The mask 700 has a portion 710 corresponding to the thin film transistor is opened, and the remaining portion has a slit opened in a predetermined pattern. A portion of the organic insulating layer 280 corresponding to the thin film transistor 220 may have a concave shape, and other portions of the organic insulating layer 280 may have a convex shape. That is, in order to implement a concave shape, a mask 700 having a slit that opens a central portion widely and gradually closes to a peripheral portion thereof is required.

이후, 도 4f에 도시된 바와 같이 마스크(700) 위치시키고, 노광, 현상등의 과정을 거처 유기 절연막(280) 요철을 형성한다.Subsequently, as shown in FIG. 4F, the mask 700 is positioned, and the organic insulating layer 280 is unevenly formed through a process of exposure and development.

이러한 유기 절연막(280) 요철에서 박막 트랜지스터(220) 대응되는 부분에 완만한 오목(concave)형상을 가지게 하기 위해서는 도 4e에서 구비하는 마스크(700)의 슬릿이 정밀하게 구현되어져야 한다. In order to have a gentle concave shape in the portion of the organic insulating layer 280 corresponding to the thin film transistor 220, the slit of the mask 700 of FIG. 4E must be precisely implemented.                     

여기서, 박막 트랜지스터(220)의 채널 부분과 유기 절연막(280)의 오목(concave)한 부분의 지름의 비가 1:2 정도로 설정하는 것이 바람직하다.Here, the ratio of the diameter of the channel portion of the thin film transistor 220 to the concave portion of the organic insulating layer 280 is preferably set to about 1: 2.

이후의 공정은 도면에 도시하지는 않았지만, 유기 절연막의 상면에는 소정 두께를 갖는 포토레지스트 박막이 스핀 코팅등의 방법으로 형성되고, 사진/식각 공정에 의하여 포토레지스트 박막 중 박막 트랜지스터의 드레인 전극부분에 해당하는 부분이 제거되어 콘택홀이 형성된다.Although the subsequent steps are not shown in the drawings, a photoresist thin film having a predetermined thickness is formed on the top surface of the organic insulating film by spin coating, and the like, corresponding to the drain electrode portion of the thin film transistor in the photoresist thin film by a photo / etch process. The contact portion is removed to form a contact hole.

이후, 유기 절연막에는 도전성이면서 투명한 ITO 물질 또는 IZO 물질로 투과 전극이 소정 두께를 갖도록 증착된다. 이때, 투과 전극의 일부는 콘태홀에 의하여 노출된 박막 트랜지스터의 트랜지스터에도 증착되어, 드레인 전극으로부터 출력된 전원이 인가된다.Subsequently, a transparent electrode is deposited on the organic insulating layer to have a predetermined thickness of a conductive ITO material or an IZO material. At this time, part of the transmissive electrode is also deposited on the transistor of the thin film transistor exposed by the context hole, and the power output from the drain electrode is applied.

이 투과 전극은 반사-투과형 액정 표시 장치가 투과 모드에서 디스플레이를 수행하도록 하기위하여 유기 절연막의 상면에 형성된다.This transmissive electrode is formed on the upper surface of the organic insulating film in order to cause the reflection-transmissive liquid crystal display to perform display in the transmissive mode.

이후, 스퍼터링 방식에 의하여 유기 절연막의 상면중에 반사전극이 형성된다.Thereafter, a reflective electrode is formed on the upper surface of the organic insulating film by a sputtering method.

이로써, 외부에서 공급된 광은 반사 전극의 요철에 반사되어 액정을 통과하여 고휘도 디스플레이가 가능하고, 하부 기판의 밑면에서 유기 절연막을 경유하여 투과 전극을 통과한 광을 이용하여 디스플레이가 가능하다.As a result, the light supplied from the outside is reflected by the unevenness of the reflective electrode and passes through the liquid crystal to enable high brightness display, and the display is possible by using the light passing through the transmissive electrode through the organic insulating layer on the bottom surface of the lower substrate.

이와 같은 방법에 의하여 제조된 하부 기판에는 RGB 화소 및 공통 전극이 형성된 상부 기판이 결합되고, 상부 기판과 하부 기판이 결합된 상태에서 제1, 제2 기판의 사이에는 액정이 주입되어 반사-투과형 액정 표시 장치가 제조된다.The lower substrate manufactured by the above method is combined with the upper substrate on which the RGB pixel and the common electrode are formed, and the liquid crystal is injected between the first and second substrates while the upper substrate and the lower substrate are coupled to each other so that the reflection-transmissive liquid crystal is formed. The display device is manufactured.

이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, 박막 트랜지스터 상면에 도포되는 유기 절연막의 요철형상을 박막 트랜지스터에 대응되는 부분은 상부 기판에서 보아 오목한 구조로 구비함으로써, 백라이트 유닛에서 발생된 광중 일부 반사광이 박막 트랜지스터 채널부에 조사되는 것을 방지할 수 있다.As described above in detail, since the portions corresponding to the thin film transistors have the concave-convex shape of the organic insulating film applied to the upper surface of the thin film transistor in a concave structure when viewed from the upper substrate, the partial reflection light of the light generated from the backlight unit is thin film transistor channel portion. Can be prevented.

이상 본 발명은 상기 실시예에 의해 설명하였지만, 본 발명은 이에 의해 제한되는 것은 아니고, 당업자가 통상의 지식의 범위내에서 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다.As mentioned above, although this invention was demonstrated by the said Example, this invention is not restrict | limited by this, It is clear that a deformation | transformation and improvement are possible for a person skilled in the art within the range of ordinary knowledge.

Claims (6)

제1 기판 상에 컬러필터와 공통 전극이 형성된 상부 기판;An upper substrate on which a color filter and a common electrode are formed on the first substrate; 제2 기판상에 스위칭 소자, 상기 스위칭 소자상에 형성된 유기 절연막,상기 유기 절역막의 상면에 형성된 투명 전극, 상기 투명 전극상에 형성된 화소 전극을 포함하고, 상기 공통 전극과 상기 화소 전극이 마주보도록 상기 상부 기판과 결합하는 하부 기판; 및A switching element on the second substrate, an organic insulating layer formed on the switching element, a transparent electrode formed on an upper surface of the organic switching layer, and a pixel electrode formed on the transparent electrode, wherein the common electrode and the pixel electrode face each other. A lower substrate coupled with the upper substrate; And 상기 하부 기판과 상기 상부 기판과의 사이에 주입된 액정층을 포함하고,A liquid crystal layer injected between the lower substrate and the upper substrate, 상기 유기 절연막은 스위칭 소자에 대응하는 오목부와, 볼록부를 가지며, 상기 오목부는 상기 투명전극으로부터의 반사광이 상기 스위칭 소자의 채널부에 조사되는 것을 방지하기 위해 상부 기판에 대하여 오목한 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The organic insulating layer has a concave portion corresponding to the switching element and a convex portion, wherein the concave portion has a concave shape with respect to the upper substrate in order to prevent the reflected light from the transparent electrode from being irradiated to the channel portion of the switching element. Liquid crystal display device. 제 1 항에 있어서, 상기 스위칭 소자의 채널 길이와 상기 오목부의 지름의 비율이 약 1:2 인 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.2. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the ratio of the channel length of the switching element to the diameter of the concave portion is about 1: 2. 제1 항에 있어서, 상기 오목부의 유기 절연막 두께는 상기 볼록부의 유기 절연막 두께보다 얇고, 상기 화소 전극이 형성된 영역의 유기 절연막의 두께보다 얇은 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the thickness of the organic insulating film of the concave portion is thinner than the thickness of the organic insulating film of the convex portion and thinner than the thickness of the organic insulating film of the region where the pixel electrode is formed. 제1 기판 상에 컬러필터와 공통 전극을 형성하여 상부 기판을 형성하는 단계;Forming an upper substrate by forming a color filter and a common electrode on the first substrate; 제2 기판상에 스위칭 소자를 형성하는 단계;Forming a switching element on the second substrate; 상기 스위칭 소자를 포함하여 상기 제2 기판상에 상기 스위칭 소자와 대응하는 오목부와 볼록부를 갖는 유기 절연막을 형성하는 단계;Forming an organic insulating layer including the switching element, the organic insulating layer having concave and convex portions corresponding to the switching element on the second substrate; 상기 유기 절역막의 상면에 투명 전극을 형성하는 단계; 및Forming a transparent electrode on an upper surface of the organic barrier film; And 상기 투명 전극상에 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.Forming a pixel electrode on the transparent electrode. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 유기 절연막을 형성하는 단계는,Forming the organic insulating film, 상기 기판상에 유기물질로 이루어지는 박막을 도포하는 단계;Coating a thin film made of an organic material on the substrate; 상기 박막이 도포된 결과물상에 상기 볼록부에 대응하는 부분은 닫히고, 상기 오목부와 연결부는 열리는 패턴을 갖는 마스크를 위치시키는 단계;Positioning a mask having a pattern in which a portion corresponding to the convex portion is closed and the concave portion and the connecting portion are opened on the resultant product to which the thin film is applied; 상기 마스크가 위치하는 결과물에 광을 조사하는 단계; 및 Irradiating light onto the resultant product in which the mask is located; And 상기 광이 조사된 박막을 현상하여 상기 유기 절연막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시 장치의 제조방법.And developing the thin film irradiated with the light to form the organic insulating layer. 제4 항에 있어서, 상기 스위칭 소자의 채널 길이와 상기 오목부의 지름의 비율이 약 1:2 로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.The method of claim 4, wherein the ratio of the channel length of the switching element to the diameter of the concave portion is about 1: 2.
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