KR100903694B1 - Semiconductor device and data writing method - Google Patents

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KR100903694B1 KR1020077007486A KR20077007486A KR100903694B1 KR 100903694 B1 KR100903694 B1 KR 100903694B1 KR 1020077007486 A KR1020077007486 A KR 1020077007486A KR 20077007486 A KR20077007486 A KR 20077007486A KR 100903694 B1 KR100903694 B1 KR 100903694B1
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Abstract

칩 사이즈를 증대시키지 않고, 많은 비트의 동시 써넣기를 실현할 수 있는 반도체 장치를 제공한다. 반도체 장치는 메모리 셀에 데이터를 써넣기 위한 라이트 데이터 버스와, 상기 메모리 셀로부터 데이터를 읽어내기 위한 리드 데이터 버스와, 고속 써넣기 시에 상기 리드 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀에 데이터를 써넣는 제1 라이트 앰프와, 고속 써넣기 시에 상기 라이트 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀에 데이터를 써넣는 제2 라이트 앰프와, 상기 리드 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀로부터 검증된 데이터를 읽어내는 제1 센스 증폭기와, 라이트 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀로부터 검증된 데이터를 읽어내는 제2 센스 증폭기를 포함한다.

Figure R1020077007486

플래시, 읽기, 쓰기, 고속, 버스

Provided is a semiconductor device capable of simultaneously writing many bits without increasing the chip size. The semiconductor device includes a write data bus for writing data to a memory cell, a read data bus for reading data from the memory cell, and a first data for writing data to the memory cell using the read data bus during high-speed writing. A write amplifier, a second write amplifier that writes data to the memory cell using the write data bus at high-speed writing, and a first sense amplifier to read verified data from the memory cell using the read data bus. And a second sense amplifier that reads the verified data from the memory cell using a write data bus.

Figure R1020077007486

Flash, read, write, high speed, bus

Description

반도체 장치 및 데이터 써넣기 방법 {SEMICONDUCTOR DEVICE AND DATA WRITING METHOD}Semiconductor Device and Data Writing Method {SEMICONDUCTOR DEVICE AND DATA WRITING METHOD}

본 발명은 반도체 장치 및 데이터 써넣기 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor device and a data writing method.

전기적으로 데이터의 리라이트(rewrite)가 가능한 비휘발성 반도체 장치로서 플래쉬 메모리가 널리 사용되고 있지만, 플래쉬 메모리의 데이터 리라이트 시간은 DRAM이나 SRAM과 같은 다른 반도체 기억 장치와 비교하면 매우 길고, 플래쉬 메모리를 제어하는 제어기(controller)는 데이터의 리라이트 실행 중에는 플래쉬 메모리에 액세스할 수 없다.Although flash memory is widely used as a nonvolatile semiconductor device capable of electrically rewriting data, the data rewrite time of the flash memory is very long compared to other semiconductor storage devices such as DRAM and SRAM, and controls the flash memory. The controller cannot access the flash memory during data rewrite execution.

최근 이러한 단점을 해소하기 위하여, 플래쉬 메모리의 내부를 복수의 뱅크로 분할하고, 어느 뱅크의 데이터를 리라이트하고 있는 동안에도 다른 뱅크의 데이터를 읽어내는 것이 가능한 듀얼 오퍼레이션 타입의 플래쉬 메모리가 개발되어 있다. 이 때, 뱅크라 함은 하나의 블록 또는 임의로 조합된 2개 이상의 블록으로 구성되는 그룹으로 이루어지고, 데이터 처리에 관하여 동시에 작용하는 것이 가능한 메모리 뱅크를 지칭한다.In recent years, in order to solve such a disadvantage, a dual operation type flash memory has been developed that can divide the inside of the flash memory into a plurality of banks and read data from another bank while rewriting data in one bank. . In this case, the bank refers to a memory bank that is composed of one block or a group consisting of two or more blocks arbitrarily combined and capable of simultaneously acting on data processing.

다음으로, 종래의 듀얼 오퍼레이션 타입의 플래쉬 메모리에 대하여 설명한다. 도 1은 종래의 듀얼 오퍼레이션 타입의 플래쉬 메모리의 블록도이다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 플래쉬 메모리(1)는 셀 어레이(2)와, 읽기용 센스 증폭기(3)와, 쓰기용 센스 증폭기(4)와, 라이트 앰프(write amplifier)(5)를 포함한다. 셀 어레이(2)는 복수의 뱅크(BANK0 내지 BANKn)를 포함한다. 각 뱅크(BANK0 내지 BANKn)의 메모리 셀은 섹터 단위로 관리되고 있다. Y 게이트(21)는 비트선(BL)을 통하여 리드 데이터 버스( RDB0 내지 RDBm) 및 라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm)에 접속되어 있다.Next, a description will be given of a conventional dual operation type flash memory. 1 is a block diagram of a conventional dual operation type flash memory. As shown in FIG. 1, the flash memory 1 includes a cell array 2, a read sense amplifier 3, a write sense amplifier 4, and a write amplifier 5. do. The cell array 2 includes a plurality of banks BANK0 to BANKn. Memory cells in each bank BANK0 to BANKn are managed in sector units. The Y gate 21 is connected to the read data buses RDB0 to RDBm and the write data buses WDB0 to WDBm through the bit lines BL.

읽기용 센스 증폭기(3)는 리드 데이터 버스(RDB0 내지 RDBm)를 사용하여 메모리 셀로부터 데이터를 읽어낸다. 쓰기용 센스 증폭기(4)는 라이트 데이터 버스 (WDB0 내지 WDBm)를 사용하여 메모리 셀로부터 검증 데이터를 읽어낸다. 라이트 앰프(5)는 라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm)를 사용하여 메모리 셀에 데이터를 써넣는다. 이러한 듀얼 오퍼레이션 타입의 플래쉬 메모리에서는 어떤 뱅크의 데이터를 리라이트하고 있는 동안에도, 다른 뱅크의 데이터를 읽어낼 수 있다.The read sense amplifier 3 reads data from the memory cell using the read data buses RDB0 to RDBm. The write sense amplifier 4 reads verification data from the memory cell using the write data buses WDB0 to WDBm. The write amplifier 5 writes data to the memory cells using the write data buses WDB0 to WDBm. In such a dual operation type flash memory, data in another bank can be read while rewriting data in one bank.

또한, 이러한 듀얼 오퍼레이션 타입의 플래쉬 메모리에 대하여 특허 문헌 1에 제안되어 있다.In addition, Patent Document 1 proposes such a dual operation type flash memory.

특허 문헌 1: 미국 특허 제6240040호 명세서 Patent Document 1: US Patent No. 6240040

그러나, 이러한 듀얼 오퍼레이션 타입의 플래쉬 메모리(1)에 있어서, 메모리 셀에의 써넣기 시에, 내부 전원을 사용하는 경우, 칩에 탑재된 고전압 발생 회로의 전류 능력의 제약으로 인하여 한 번에 써넣는 비트수가 제한되기 때문에, 고속으로 써넣기를 할 수 없다. 한편, 외부 전원을 사용하여 고속 써넣기를 실시하는 경우, 한 번에 써넣는 비트수에 제한이 없기 때문에, 많은 비트를 동시에 써넣음으로써 고속 써넣기를 달성할 수 있지만, 외부 전원을 사용하여 많은 비트를 동시에 써넣으려면 그 비트수 분의 라이트 데이터 버스가 필요하게 되고, 라이트 데이터 버스를 증가시키면 칩 사이즈가 증대된다는 문제가 있다.However, in such dual operation type flash memory 1, when an internal power supply is used when writing to a memory cell, the bit is written at a time due to the limitation of the current capability of the high voltage generation circuit mounted on the chip. Because of the limited number, writing at high speed is not possible. On the other hand, when performing high-speed writing using an external power supply, there is no limit to the number of bits to be written at one time. Therefore, high-speed writing can be achieved by writing many bits at the same time. Writing at the same time requires the write data bus for the number of bits, and there is a problem that the chip size increases if the write data bus is increased.

이에, 본 발명은 상기 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 칩 사이즈를 증대시키지 않고, 많은 비트의 동시 써넣기를 실현할 수 있는 반도체 장치 및 반도체 써넣기 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a semiconductor device and a semiconductor write method capable of simultaneously writing many bits without increasing the chip size.

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 메모리 셀에 데이터를 써넣기 위한 데이터 버스와, 상기 메모리 셀로부터 데이터를 읽어내기 위한 리드 데이터 버스와, 소정의 써넣기 시에 상기 리드 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀에 데이터를 써넣는 제1 라이트 앰프(write amplifier)를 포함하는 반도체 장치이다. 본 발명에 의하면, 예를 들면 버스트 모드 스트럭쳐나 페이지 모드 스트럭쳐와 같이 많은 리드 데이터 버스를 가진 경우, 예를 들면 고속 써넣기 시에는 이들의 리드 데이터 버스를 라이트 데이터 버스로서 사용하기 때문에, 메모리 셀에 많은 비트를 동시에 써넣을 수 있고, 고속으로 써넣기를 실시할 수 있다. 또한, 고속 써넣는 동안에 사용하지 않은 데이터 버스를 사용하여 데이터의 써넣기를 실시하므로, 써넣기용의 데이터 버스를 별도로 설치할 필요가 없기 때문에, 칩 사이즈가 증대되지도 않는다.In order to solve the above problems, the present invention provides a data bus for writing data to a memory cell, a read data bus for reading data from the memory cell, and the read data bus at a predetermined write time. It is a semiconductor device including a first write amplifier for writing data into a card. According to the present invention, in the case of having a large number of read data buses such as a burst mode structure or a page mode structure, for example, at the time of high-speed writing, these read data buses are used as write data buses. The bits can be written at the same time and can be written at high speed. In addition, since data is written using an unused data bus during high-speed writing, the chip size does not increase because there is no need to separately install a data bus for writing.

상기 반도체 장치는 또한, 소정의 써넣기 시에 상기 라이트 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀에 데이터를 써넣는 제2 라이트 앰프를 포함한다. 본 발명에 따르면 데이터의 써넣기에 라이트 데이터 버스와 리드 데이터 버스를 사용함으로써, 메모리 셀에 더욱 많은 비트를 동시에 써넣을 수 있어서, 고속으로 써넣을 수 있다.The semiconductor device also includes a second write amplifier that writes data into the memory cell using the write data bus at a predetermined write time. According to the present invention, by using the write data bus and the read data bus for writing data, more bits can be written to the memory cell at the same time, and the data can be written at high speed.

상기 반도체 장치는 또한, 상기 리드 데이터 버스를 쉴드하기 위한 쉴드 배선과, 소정의 써넣기 시에 상기 쉴드 배선을 사용하여 상기 메모리 셀에 데이터를 써넣는 제3 라이트 앰프를 포함한다. 본 발명에 의하면, 각 리드 데이터 버스의 쉴드 배선을 고속 써넣기 시에는 라이트 데이터 버스로서 사용하므로, 메모리 셀에 더욱 많은 비트를 동시에 써넣을 수 있고, 고속으로 써넣기를 실시할 수 있다.The semiconductor device also includes a shield wiring for shielding the read data bus, and a third write amplifier for writing data into the memory cell using the shield wiring at a predetermined writing time. According to the present invention, since the shield wiring of each read data bus is used as the write data bus at the time of high-speed writing, more bits can be written simultaneously into the memory cell, and writing can be performed at high speed.

본 발명은 메모리 셀로부터 데이터를 읽어내는 리드 데이터 버스를 쉴드하기 위한 쉴드 배선과, 소정의 써넣기 시에 상기 쉴드 배선을 사용하여 상기 메모리 셀에 데이터를 써넣는 제3 라이트 앰프를 포함하는 반도체 장치이다. 본 발명에 의하면, 리드 데이터 버스의 쉴드 배선을 고속 써넣기 시에는 라이트 데이터 버스로서 사용함으로써, 메모리 셀에 많은 비트를 동시에 써넣을 수 있어서 데이터를 고속으로 써넣을 수 있다. 본 발명의 반도체 장치는 또한, 상기 메모리 셀에 데이터를 쓰기 위한 라이트 데이터 버스를 포함한다.The present invention is a semiconductor device including a shield wiring for shielding a read data bus for reading data from a memory cell, and a third write amplifier for writing data into the memory cell using the shield wiring at a predetermined writing time. . According to the present invention, when the shield wiring of the read data bus is used as the write data bus at the time of high-speed writing, many bits can be written simultaneously into the memory cell, and data can be written at high speed. The semiconductor device of the present invention also includes a write data bus for writing data to the memory cells.

상기 반도체 장치는 또한, 상기 리드 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀로부터 검증 데이터를 읽어내는 제1 센스 증폭기를 포함한다. 본 발명에 의하면 검증 데이터의 읽어내기에 리드 데이터 버스를 사용함으로써, 메모리 셀로부터 데이터를 고속으로 읽어낼 수 있다.The semiconductor device also includes a first sense amplifier that reads verification data from the memory cell using the read data bus. According to the present invention, by using the read data bus for reading verification data, data can be read out from the memory cell at high speed.

상기 반도체 장치는 또한, 상기 라이트 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀로부터 검증 데이터를 읽어내는 제2 센스 증폭기를 포함한다. 본 발명에 의하면 검증 데이터의 읽어내기에 라이트 데이터 버스와 리드 데이터 버스를 사용함으로써, 메모리 셀로부터 데이터를 고속으로 읽어낼 수 있다.The semiconductor device also includes a second sense amplifier that reads verification data from the memory cell using the write data bus. According to the present invention, by using the write data bus and the read data bus for reading verification data, data can be read from the memory cell at high speed.

상기 반도체 장치는 또한, 상기 쉴드 배선을 사용하여 상기 메모리 셀로부터 검증 데이터를 읽어내는 제3 센스 증폭기를 포함한다. 본 발명에 의하면 검증 데이터의 읽어내기에 쉴드 배선을 사용함으로써, 메모리 셀로부터 데이터를 고속으로 읽어낼 수 있다.The semiconductor device also includes a third sense amplifier that reads verification data from the memory cell using the shield wiring. According to the present invention, the shield wiring is used to read verification data, so that data can be read from the memory cell at high speed.

상기 반도체 장치는 또한, 상기 리드 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀로부터 데이터를 읽어내는 센스 증폭기를 포함한다. 본 발명에 의하면 리드 데이터 버스를 사용하여 메모리 셀로부터 데이터를 읽어낼 수 있다.The semiconductor device also includes a sense amplifier that reads data from the memory cell using the read data bus. According to the present invention, data can be read from a memory cell using a read data bus.

상기 반도체 장치는 또한, 제1 뱅크의 메모리 셀에 데이터를 써넣는 동안에 제2 뱅크의 메모리 셀로부터 데이터를 읽어낼 수 있는 복수의 뱅크를 포함하는 셀 어레이를 포함한다. 본 발명에 의하면, 듀얼 오퍼레이션 동작에 적절한 데이터의 고속 읽어내기가 가능해진다.The semiconductor device also includes a cell array including a plurality of banks capable of reading data from memory cells of the second bank while writing data into the memory cells of the first bank. According to the present invention, high-speed reading of data suitable for dual operation operation is enabled.

상기 반도체 장치는 또한, 제1 뱅크의 메모리 셀에 데이터를 써넣는 동안에 제2 뱅크의 메모리 셀로부터 데이터를 읽어낼 수 있는 복수의 뱅크를 포함하는 셀 어레이와, 상기 뱅크마다 설치되고, 상기 리드 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀로부터 데이터를 읽어내는 센스 증폭기를 포함한다. 본 발명에 의하면, 쓰기용의 센스 증폭기가 뱅크마다 설치되어 있는 경우에도, 쉴드 배선을 사용하여 메모리 셀에 데이터를 고속으로 써넣을 수 있다.The semiconductor device further includes a cell array including a plurality of banks capable of reading data from the memory cells of the second bank while writing data into the memory cells of the first bank, and provided for each of the banks, and the read data. And a sense amplifier that reads data from the memory cell using a bus. According to the present invention, even when a sense amplifier for writing is provided for each bank, data can be written to the memory cell at high speed by using the shield wiring.

상기 반도체 장치는 또한, 제1 뱅크의 메모리 셀에 데이터를 써넣는 동안에 제2 뱅크의 메모리 셀로부터 데이터를 읽어낼 수 있는 복수의 뱅크를 포함하는 셀 어레이를 포함하고, 상기 리드 데이터 버스는 상기 뱅크마다 설치되어 있다. 본 발명에 의하면, 리드 데이터 버스가 뱅크마다 설치되어 있는 경우에도, 리드 데이터 버스의 쉴드 배선을 사용함으로써, 메모리 셀에 데이터를 고속으로 써넣을 수 있다.The semiconductor device also includes a cell array including a plurality of banks capable of reading data from memory cells of a second bank while writing data into memory cells of a first bank, wherein the read data bus includes: It is installed every time. According to the present invention, even when the read data bus is provided for each bank, data can be written to the memory cell at high speed by using the shield wiring of the read data bus.

상기 반도체 장치는 또한, 제1 뱅크의 메모리 셀에 데이터를 써넣는 동안에 제2 뱅크의 메모리 셀로부터 데이터를 읽어낼 수 있는 복수의 뱅크를 포함하는 셀 어레이와, 상기 뱅크를 선택하는 선택 신호를 생성하는 선택 회로를 포함한다. 본 발명에 의하면, 데이터를 고속으로 써넣는 뱅크를 선택할 수 있다.The semiconductor device also generates a cell array including a plurality of banks capable of reading data from the memory cells of the second bank while writing data into the memory cells of the first bank, and a selection signal for selecting the banks. And a selection circuit. According to the present invention, a bank for writing data at high speed can be selected.

상기 반도체 장치는 또한, 소정의 써넣기 시에 상기 제1 라이트 앰프를 상기 리드 데이터 버스에 접속하는 스위치 수단을 포함한다. 본 발명에 의하면 제1 라이트 앰프를 리드 데이터 버스에 접속하여 메모리 셀에 데이터를 고속으로 써넣을 수 있다.The semiconductor device also includes switch means for connecting the first write amplifier to the read data bus at a predetermined writing time. According to the present invention, the first write amplifier can be connected to the read data bus so that data can be written to the memory cell at high speed.

상기 반도체 장치는 또한, 소정의 써넣기 시에 상기 제3 라이트 앰프를 상기 쉴드 배선에 접속하는 스위치 수단을 포함한다. 본 발명에 의하면 제3 라이트 앰프를 쉴드 배선에 접속하여 메모리 셀에 데이터를 고속으로 써넣을 수 있다.The semiconductor device also includes switch means for connecting the third write amplifier to the shield wiring at a predetermined writing time. According to the present invention, data can be written to the memory cell at high speed by connecting the third write amplifier to the shield wiring.

상기 반도체 장치는 또한, 제1 뱅크의 메모리 셀에 데이터를 써넣는 동안에 제2 뱅크의 메모리 셀로부터 데이터를 읽어낼 수 있는 복수의 뱅크를 포함하는 셀 어레이와, 상기 복수의 뱅크 중에서 상기 리드 데이터 버스에 접속하는 뱅크를 선택하는 스위치 수단을 포함한다. 본 발명에 의하면, 각 뱅크 내의 메모리 셀을 리드 데이터 버스에 접속할 수 있다.The semiconductor device also includes a cell array including a plurality of banks capable of reading data from memory cells of a second bank while writing data into memory cells of a first bank, and the read data bus of the plurality of banks. Switch means for selecting a bank to be connected to. According to the present invention, memory cells in each bank can be connected to the read data bus.

상기 반도체 장치는 또한, 제1 뱅크의 메모리 셀에 데이터를 써넣는 동안에 제2 뱅크의 메모리 셀로부터 데이터를 읽어낼 수 있는 복수의 뱅크를 포함하는 셀 어레이와, 소정의 써넣기 시에 상기 복수의 뱅크 중 상기 쉴드 배선에 접속하는 뱅크를 선택하는 스위치 수단을 포함한다. 본 발명에 의하면, 각 뱅크 내의 메모리 셀을 쉴드 배선에 접속할 수 있다.The semiconductor device further includes a cell array including a plurality of banks capable of reading data from memory cells of a second bank while writing data into memory cells of a first bank, and the plurality of banks at a predetermined write time. And switch means for selecting a bank to be connected to the shield wiring. According to the present invention, the memory cells in each bank can be connected to the shield wiring.

상기 리드 데이터 버스는 상기 라이트 데이터 버스보다 많은 데이터 버스로 구성된다. 본 발명에 의하면 버스트 모드 스트럭쳐나 페이지 모드 스트럭쳐의 경우에는 라이트 데이터 버스보다 많은 리드 데이터 버스를 사용함으로써, 메모리 셀에 데이터를 고속으로 써넣을 수 있다. 상기 반도체 장치는 반도체 기억 장치이다.The read data bus is composed of more data buses than the write data bus. According to the present invention, data can be written to a memory cell at high speed by using more read data buses than write data buses in the case of a burst mode structure and a page mode structure. The semiconductor device is a semiconductor memory device.

본 발명은 라이트 데이터 버스를 사용하여 메모리 셀에 데이터를 써넣는 단계와, 리드 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀로부터 데이터를 읽어내는 단계와, 소정의 써넣기 시에 상기 리드 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀에 데이터를 써넣는 단계를 포함하는 데이터 써넣기 방법이다. 본 발명에 의하면, 예를 들면 버스트 모드 스트럭쳐나 페이지 모드 스트럭쳐와 같은 많은 리드 데이터 버스를 갖는 경우, 예를 들면 고속 써넣기 시에는 이들 리드 데이터 버스를 라이트 데이터 버스로서 사용하므로, 많은 비트를 동시에 써넣을 수 있고, 고속으로 써넣기가 가능한 반도체 장치의 데이터 써넣기 방법을 제공할 수 있다. 또한, 고속 써넣는 동안에 사용하지 않은 데이터 버스를 사용하여 데이터의 써넣기를 실시함으로써, 써넣기용의 데이터 버스를 별도 설치할 필요가 없기 때문에, 칩 사이즈가 증대하지도 않는다.The present invention provides a method of writing data into a memory cell using a write data bus, reading data from the memory cell using a read data bus, and using the read data bus at a predetermined write time. This is a data writing method that includes writing data into a cell. According to the present invention, for example, when there are many read data buses such as burst mode structures and page mode structures, these read data buses are used as write data buses for high-speed writing, for example, so that many bits can be written simultaneously. It is possible to provide a data writing method of a semiconductor device which can be written at high speed. In addition, by writing data using an unused data bus during high-speed writing, there is no need to provide a data bus for writing separately, so that the chip size does not increase.

본 발명의 데이터 써넣기 방법은 또한, 소정의 써넣기 시에 상기 라이트 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀에 데이터를 써넣는 단계를 포함한다. 본 발명에 의하면, 데이터의 써넣기에 라이트 데이터 버스와 리드 데이터 버스를 사용함으로써, 더욱 많은 비트를 동시에 써넣을 수 있어서, 고속으로 써넣을 수 있다.The data writing method of the present invention also includes writing data into the memory cell using the write data bus at a predetermined writing time. According to the present invention, by using the write data bus and the read data bus for writing data, more bits can be written at the same time, and the data can be written at high speed.

본 발명의 데이터 써넣기 방법은 또한, 소정의 써넣기 시에 상기 리드 데이터 버스를 쉴드하기 위한 쉴드 배선을 사용하여 상기 메모리 셀에 데이터를 써넣는 단계를 포함한다. 본 발명에 의하여, 각 리드 데이터 버스의 쉴드 배선을 고속 써넣기 시에는 라이트 데이터 버스로서 사용하므로, 더욱 많은 비트를 동시에 써넣을 수 있고, 고속으로 써넣기를 실시할 수 있다.The data write method of the present invention also includes writing data into the memory cell using shield wiring for shielding the read data bus at a predetermined write time. According to the present invention, since the shield wiring of each read data bus is used as a write data bus at the time of high-speed writing, more bits can be written at the same time and writing at high speed can be performed.

본 발명은 리드 데이터 버스를 사용하여 메모리 셀로부터 데이터를 읽어내는 단계와 소정의 써넣기 시에 상기 리드 데이터 버스를 쉴드하기 위한 쉴드 배선을 사용하여 상기 메모리 셀에 데이터를 써넣는 단계를 포함하는 데이터 써넣기 방법이다. 본 발명에 의하면 각 리드 데이터 버스의 쉴드 배선을 고속 써넣기 시에는 라이트 데이터 버스로서 사용하기 때문에, 많은 비트를 동시에 써넣을 수 있어서 데이터를 고속으로 써넣을 수 있다.According to the present invention, a data write method includes reading data from a memory cell using a read data bus and writing data to the memory cell using a shield wire for shielding the read data bus at a predetermined write time. It is a way. According to the present invention, since the shield wiring of each read data bus is used as a write data bus at the time of high-speed writing, many bits can be written at the same time and data can be written at high speed.

상기 데이터 써넣기 방법은 또한, 상기 리드 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀로부터 검증 데이터를 읽어내는 단계를 포함한다. 본 발명에 의하면, 검증 데이터의 읽어내기에 리드 데이터 버스를 사용하여, 메모리 셀로부터 데이터를 고속으로 읽어낼 수 있다.The data write method also includes reading verification data from the memory cell using the read data bus. According to the present invention, it is possible to read data from a memory cell at high speed by using a read data bus for reading verification data.

상기 데이터 써넣기 방법은 또한, 상기 라이트 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀로부터 검증 데이터를 읽어내는 단계를 포함한다. 본 발명에 의하면, 검증 데이터의 읽어내기에 라이트 데이터 버스와 리드 데이터 버스를 사용함으로써, 메모리 셀로부터 데이터를 고속으로 읽어낼 수 있다.The data write method also includes reading verification data from the memory cell using the write data bus. According to the present invention, by using the write data bus and the read data bus for reading verification data, data can be read out from the memory cell at high speed.

상기 데이터 써넣기 방법은 또한, 상기 쉴드 배선을 사용하여 상기 메모리 셀로부터 검증 데이터를 읽어내는 단계를 포함한다. 본 발명에 의하면, 검증 데이터의 읽어내기에 쉴드 배선을 사용함으로써 메모리 셀로부터 데이터를 고속으로 읽어낼 수 있다.The data write method also includes reading verification data from the memory cell using the shield wire. According to the present invention, it is possible to read data from a memory cell at high speed by using a shield wiring for reading verification data.

상기 데이터 써넣기 방법은 또한, 상기 메모리 셀을 각각 포함하는 복수의 뱅크를 선택하는 선택 신호를 생성하는 단계를 포함한다. 본 발명에 의하면, 데이터를 고속으로 써넣는 뱅크를 선택할 수 있다.The data writing method also includes generating a selection signal for selecting a plurality of banks each including the memory cells. According to the present invention, a bank for writing data at high speed can be selected.

상기 데이터 써넣기 방법은 또한, 복수의 뱅크 중 제1 뱅크의 메모리 셀에 데이터를 써넣는 동안에 제2 뱅크의 메모리 셀로부터 데이터를 읽어내는 단계를 포함한다. 본 발명에 의하면, 듀얼 오퍼레이션 타입의 반도체 장치를 제공할 수 있다.The data write method also includes reading data from memory cells of the second bank while writing data to the memory cells of the first bank of the plurality of banks. According to the present invention, a dual operation type semiconductor device can be provided.

발명의 효과Effects of the Invention

본 발명에 의하면, 칩 사이즈를 증대시키지 않고, 많은 비트의 동시 써넣기를 실현할 수 있는 반도체 장치 및 반도체 써넣기 방법을 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide a semiconductor device and a semiconductor writing method capable of simultaneously writing many bits without increasing the chip size.

도 1은 종래의 듀얼 오퍼레이션 타입의 플래쉬 메모리의 블록도이다.1 is a block diagram of a conventional dual operation type flash memory.

도 2는 실시예 1에 따른 반도체 장치의 구성도이다.2 is a configuration diagram of a semiconductor device according to the first embodiment.

도 3은 실시예 1에 따른 반도체 장치(10)의 뱅크 선택 신호를 생성하는 구성을 나타내는 도면이다.3 is a diagram illustrating a configuration of generating a bank selection signal of the semiconductor device 10 according to the first embodiment.

도 4는 실시예 1에 따른 뱅크 선택 회로를 나타내는 도면이다.4 is a diagram showing a bank selection circuit according to the first embodiment.

도 5는 실시예 1에 따른 반도체 장치의 고속 써넣기 시의 타이밍도이다.Fig. 5 is a timing chart at the time of high speed writing of the semiconductor device according to the first embodiment.

도 6은 실시예 2에 따른 반도체 장치의 구성도이다.6 is a configuration diagram of a semiconductor device according to the second embodiment.

도 7은 실시예 2에 따른 반도체 장치의 고속 써넣기 시의 타이밍도이다.7 is a timing chart at the time of high-speed writing of the semiconductor device according to the second embodiment.

도 8은 실시예 3에 따른 반도체 장치의 구성도이다.8 is a configuration diagram of a semiconductor device according to the third embodiment.

도 9는 실시예 3에 따른 반도체 장치의 고속 써넣기 시의 타이밍도이다.9 is a timing diagram at the time of high-speed writing of the semiconductor device according to the third embodiment.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

실시예Example 1 One

도 2는 실시예 1에 따른 반도체 장치의 구성도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 반도체 장치(10)는 코어 셀 어레이(2), 읽기용 센스 증폭기(3), 쓰기용 센스 증폭기(4), 라이트 앰프(5), 쓰기용 센스 증폭기(11) 및 라이트 앰프(12)를 포함한다. 또한, 반도체 장치(10)는 라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm), 리드 데이터 버스(RDB0 내지 RDBm) 및 쉴드 배선(VSD)을 포함한다. 도 1과 동일 부분에 대하여는 동일 부호를 붙이고 설명한다.2 is a configuration diagram of a semiconductor device according to the first embodiment. As shown in FIG. 2, the semiconductor device 10 includes a core cell array 2, a read sense amplifier 3, a write sense amplifier 4, a write amplifier 5, and a write sense amplifier 11. And a write amplifier 12. In addition, the semiconductor device 10 includes write data buses WDB0 to WDBm, read data buses RDB0 to RDBm, and shield wirings VSD. The same parts as in FIG. 1 will be described with the same reference numerals.

반도체 장치(10)는 단독으로 패키지된 플래쉬 메모리 등의 반도체 기억 장치 이어도 좋고, 시스템 LSI와 같이 반도체 장치의 일부로서 설치된 것이어도 좋다. 이 반도체 장치(10)는 데이터의 소거나 써넣기를 실시하고 있는 도중에 다른 부분의 데이터를 읽어내는 것이 가능한 듀얼 오퍼레이션 타입의 것이다. 반도체 장치(10)는 듀얼 오퍼레이션 동작 중에는 통상의 속도로 메모리 셀에 데이터를 써넣을 수 있고, 고속 써넣기 시는 듀얼 오퍼레이션 동작을 금지하여, 고속으로 메모리 셀에 데이터를 써넣을 수 있다.The semiconductor device 10 may be a semiconductor memory device such as a flash memory packaged alone, or may be provided as part of a semiconductor device such as a system LSI. This semiconductor device 10 is of a dual operation type that can read data of another part while data is written or written. The semiconductor device 10 can write data to a memory cell at a normal speed during a dual operation operation, and can write data to the memory cell at a high speed by prohibiting the dual operation operation at a high speed writing.

코어 셀 어레이(2)는 제1 뱅크의 메모리 셀에 데이터를 써넣는 동안에 제2 뱅크의 메모리 셀로부터 데이터를 읽어낼 수 있는 복수의 뱅크(BANK0 내지 BANKn)를 포함한다. 각 뱅크(BANK0 내지 BANKn)의 메모리 셀은 복수의 섹터로 구성되어 있다. Y 게이트(21)는 비트선(BL)을 통하여 리드 데이터 버스(RDB0 내지 RDBm) 및 라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm)에 접속되어 있다. 라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm)는 메모리 셀에 데이터를 써넣기 위한 것이다. 리드 데이터 버스(RDB0 내지 RDBm)는 메모리 셀로부터 데이터를 읽어내기 위한 것이다. 쉴드 배선(VSD)은 리드 데이터 버스(RDB0 내지 RDBm)를 쉴드하기 위한 것이다.The core cell array 2 includes a plurality of banks BANK0 to BANKn capable of reading data from memory cells of the second bank while writing data to the memory cells of the first bank. The memory cells of each bank BANK0 to BANKn are composed of a plurality of sectors. The Y gate 21 is connected to the read data buses RDB0 to RDBm and the write data buses WDB0 to WDBm through the bit lines BL. The write data buses WDB0 to WDBm are for writing data to memory cells. The read data buses RDB0 to RDBm are for reading data from memory cells. The shield wiring VSD is for shielding the read data buses RDB0 to RDBm.

읽기용 센스 증폭기(3)는 전류 비교 회로이며, 리드 데이터 버스(RDB0 내지 RDBm)를 사용하여 메모리 셀로부터 데이터를 읽어내고, 메모리 셀의 읽어내기 전류와 기준 전류를 비교하여, 그 전류차를 증폭하여 출력한다. 쓰기용 센스 증폭기(4)는 통상 써넣기 시 및 고속 써넣기 시에 라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm)를 사용하여 메모리 셀로부터 검증 데이터를 읽어내는 것이다. 라이트 앰프(5)는 통상 써넣기 시 및 고속 써넣기 시에 라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm)를 사용하여 메모리 셀에 데이터를 써넣는 것이다.The read sense amplifier 3 is a current comparison circuit, which reads data from a memory cell using read data buses RDB0 to RDBm, compares the read current of the memory cell with the reference current, and amplifies the current difference. To print. The write sense amplifier 4 reads the verification data from the memory cell using the write data buses WDB0 to WDBm during normal writing and high speed writing. The write amplifier 5 writes data to a memory cell using write data buses WDB0 to WDBm at the time of normal writing and high-speed writing.

쓰기용 센스 증폭기(11)는 고속 프로그램용의 센스 증폭기이다. 이 쓰기용 센스 증폭기(11)는 고속 써넣기 시에 리드 데이터 버스(RDB0 내지 RDBm)를 사용하여 메모리 셀로부터 검증 데이터를 읽어내는 것이다. 이 쓰기용 센스 증폭기(11)에 의하여 프로그램 검증(verification)도 2 워드분을 동시에 실시할 수 있다. 또한, 리드 데이터 버스(RDBm)는 읽기용 센스 증폭기(3)에 접속되어 있기 때문에, 쓰기용 센스 증폭기(11)를 추가하는 대신에, 읽기용 센스 증폭기(3)를 사용하여 검증 데이터를 읽어내어도 좋다. 라이트 앰프(12)는 고속 써넣기 시에 리드 데이터 버스(RDB0 내지 RDBm)를 사용하여 메모리 셀에 데이터를 써넣는 것이다.The write sense amplifier 11 is a sense amplifier for high speed programming. The write sense amplifier 11 reads verification data from a memory cell using read data buses RDB0 to RDBm at high-speed writing. The write sense amplifier 11 can also perform program verification for 2 words at the same time. In addition, since the read data bus RDBm is connected to the read sense amplifier 3, instead of adding the write sense amplifier 11, the read data bus RDBm is used to read verification data using the read sense amplifier 3; You can do it. The write amplifier 12 writes data to a memory cell using the read data buses RDB0 to RDBm at the high-speed writing.

NMOS 트랜지스터(80, 81)는 고속 써넣기 시에 쓰기용 센스 증폭기(11) 및 라이트 앰프(12)를 리드 데이터 버스(RDB0 내지 RDBm)에 접속하는 스위치 수단이다.The NMOS transistors 80 and 81 are switch means for connecting the write sense amplifier 11 and the write amplifier 12 to the read data buses RDB0 to RDBm during high-speed writing.

각 뱅크(BANK0 내지 BANKn)의 비트선(BL)은 뱅크 선택 신호(RSEL00 내지 RSEL1n)가 게이트 입력이 되는 NMOS 트랜지스터(600 내지 6n3)를 거쳐 리드 데이터 버스(RDB0 내지 RDBm)에 접속되어 있다. 또한, 각 뱅크(BANK0 내지 BANKn)의 비트선(BL)은 뱅크 선택 신호(WSEL00 내지 WSEL1n)가 게이트 입력이 되는 NMOS 트랜지스터(700 내지 7n3)를 통하여 라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm)에 접속되어 있다. 이 때, m은 I/O번호인데, 예를 들면 0 내지 15의 정수이다.The bit lines BL of the banks BANK0 to BANKn are connected to the read data buses RDB0 to RDBm through the NMOS transistors 600 to 6n3 to which the bank selection signals RSEL00 to RSEL1n serve as gate inputs. The bit lines BL of the banks BANK0 to BANKn are connected to the write data buses WDB0 to WDBm through the NMOS transistors 700 to 7n3 to which the bank selection signals WSEL00 to WSEL1n are gated. . At this time, m is an I / O number, for example, an integer of 0 to 15.

뱅크(BANKn)이 리드 상태인 경우, 뱅크 선택 신호(RSEL0n 또는 RSEL1n)가 하이 레벨이 되고, 리드 센스 증폭기(3)는 리드 데이터 버스(RDB0 내지 RDBm)를 통하여 데이터의 읽기를 실시한다. 이 때, 16비트(1워드)를 동시에 읽어낼 수 있다. 뱅 크(BANKn)가 프로그램 상태 또는 검증 상태인 경우, 뱅크 선택 신호(WSEL0n 또는 WSELln)가 하이 레벨이 되고, 쓰기용 센스 증폭기(4) 및 라이트 앰프(5)는 라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm)를 통하여 프로그램 또는 검증을 실시한다. 이에 따라, 16비트(1워드) 동시 써넣기가 실시된다.When the bank BANKn is in the read state, the bank select signal RSEL0n or RSEL1n becomes high level, and the read sense amplifier 3 reads data through the read data buses RDB0 to RDBm. At this time, 16 bits (one word) can be read simultaneously. When the bank BANKn is in the program state or the verify state, the bank select signal WSEL0n or WSELln is at a high level, and the write sense amplifier 4 and the write amplifier 5 are written to the write data buses WDB0 to WDBm. Program or verify via As a result, 16-bit (1 word) writing is performed simultaneously.

통상, 뱅크 선택 신호(RSELOn, RSEL1n, WSELOn 및 WSEL1n)는 뱅크 BANK1 내지 BANKn마다 제어되고, 리드, 라이트를 동시에 실행하는 것이 가능하게 된다. 이것에 의하여, 듀얼 오퍼레이션 기능이 실현된다.Normally, the bank selection signals RSELOn, RSEL1n, WSELOn, and WSEL1n are controlled for each of the banks BANK1 to BANKn, so that read and write can be performed simultaneously. This realizes the dual operation function.

고속 써넣기 시에는 신호(FPGM)이 하이 레벨이 되고, 고속 써넣기용의 쓰기용 센스 증폭기(11) 및 라이트 앰프(12)가 NMOS 트랜지스터(80, 81)를 통하여 데이터 버스(RDB0 내지 RDBm)에 접속된다. 뱅크(BANKn)의 선택은 뱅크 선택 신호(RSEL0n, WSEL1n)가 하이(HIGH), 뱅크 선택 신호(RSEL1n 및 WSEL0n)가 로(LOW)로 실시되고, 점선으로 표시한 트랜지스터가 온이 되고, 신호 PGM이 하이일 때, 통상 써넣기 시의 2배의 비트수를 동시에 써넣고, 신호 PGMV가 하이일 때 프로그램 검증을 실시할 수 있다. 이것에 의하여, 2워드분(32비트)의 동시 써넣기가 실현된다.At high-speed writing, the signal FPGM is at a high level, and the write sense amplifier 11 and the write amplifier 12 for high-speed writing are connected to the data buses RDB0 to RDBm through the NMOS transistors 80 and 81. do. The bank BANKn is selected by the bank selection signals RSEL0n and WSEL1n being high, the bank selection signals RSEL1n and WSEL0n being low, and the transistors indicated by dotted lines are turned on and the signal PGM is turned on. At this high time, the number of bits twice as large as normal writing can be simultaneously written, and program verification can be performed when the signal PGMV is high. This realizes simultaneous writing of two words (32 bits).

도 3은 실시예 1에 의한 반도체 장치(10)의 뱅크 선택 신호를 생성하는 구성을 나타내는 도면이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 반도체 장치(10)는 제어 로직(13), 어드레스 버퍼(14) 및 뱅크 선택 회로(15)를 포함한다. 제어 로직(13)은 외부 명령을 받아, 신호 Read, 신호 Write, 신호 FPGM을 생성하고, 이들을 어드레스 버퍼(14)에 보낸다. 외부 명령은 라이트 명령, 고속 써넣기 명령 등의 명령을 포함한다.3 is a diagram showing a configuration of generating a bank selection signal of the semiconductor device 10 according to the first embodiment. As shown in FIG. 3, the semiconductor device 10 includes a control logic 13, an address buffer 14, and a bank selection circuit 15. The control logic 13 receives an external command, generates a signal Read, a signal Write, a signal FPGM, and sends them to the address buffer 14. External commands include commands such as write commands and fast write commands.

어드레스 버퍼(14)는 외부 어드레스 A(i) 및 콘트롤 로직(13)으로부터의 신호 Read, 신호 Write 신호 FPGM을 받아서, 읽기용 내부 어드레스 RA(i) 및 RAB(i), 읽기용 뱅크 선택 신호(RBSELn), 쓰기용 내부 어드레스 WA(i) 및 WAB(i), 쓰기용 뱅크 선택 신호(WBSELn)를 생성한다. 이 때, 읽기용 내부 어드레스 RAB(i)는 쓰기용 내부 어드레스 RA(i)의 반전 신호이다. 쓰기용 내부 어드레스 WAB(i)는 읽기용 내부 어드레스 WA(i)의 반전 신호이다. 뱅크 선택 회로(15)는 뱅크(BANK0 내지 BANKn)를 선택하는 선택 신호(RSEL0n, RESEL1n, WSEL0n 및 WSEL1n)를 생성한다.The address buffer 14 receives the signals Read and the signal Write signal FPGM from the external address A (i) and the control logic 13, and reads the internal addresses RA (i) and RAB (i) for reading and the bank selection signal for reading ( RBSELn), write internal addresses WA (i) and WAB (i), and write bank select signal WBSELn are generated. At this time, the read internal address RAB (i) is an inverted signal of the write internal address RA (i). The write internal address WAB (i) is an inverted signal of the read internal address WA (i). The bank select circuit 15 generates select signals RSEL0n, RESEL1n, WSEL0n, and WSEL1n for selecting the banks BANK0 to BANKn.

다음으로, 뱅크 선택 회로(15)에 대하여 설명한다. 도 4는 뱅크 선택 신호를 생성하는 뱅크 선택 회로(15)의 구성을 나타내는 도면이다. 뱅크 선택 회로(15)는 회로(151) 내지 회로(157)를 포함하고, 뱅크 선택 신호(RSEL0n, RSEL1n, WSEL0n 및 WSEL1n)를 생성하는 회로이다. 회로(151)는 NAND 회로(511) 및 인버터(512)를 포함하고, 신호 WBSELn 및 신호 FPGM으로부터 신호 FWBSELn을 생성한다. 회로(152) 및 회로(153)는 뱅크(BANKn)의 고속 프로그램 시에 뱅크 선택 신호(RSEL0n, WSEL1n)를 강제로 하이(HIGH)로 하는 회로이다.Next, the bank selection circuit 15 will be described. 4 is a diagram illustrating a configuration of the bank select circuit 15 that generates a bank select signal. The bank select circuit 15 includes circuits 151 to 157 and is a circuit that generates bank select signals RSEL0n, RSEL1n, WSEL0n, and WSEL1n. The circuit 151 includes a NAND circuit 511 and an inverter 512 and generates a signal FWBSELn from the signal WBSELn and the signal FPGM. The circuits 152 and 153 are circuits forcibly bringing the bank selection signals RSEL0n and WSEL1n high during the high speed programming of the bank BANKn.

회로 152는 NOR 회로(521) 및 인버터(522)를 포함하고, 신호 WA(j) 및 신호FPGM으로부터 신호 FWA(j)를 생성한다. 회로 153는 NAND 회로(531), 인버터(532, 533)를 포함하고, 신호 WAB(j) 및 신호(FPGM)로부터 신호 FWAB(j)를 생성한다. 회로 (154 내지 157)에 있어서, 인버터 회로(154a 내지 157a)는 VCC 레벨의 입력 신호를 VPP 레벨의 출력 신호로 레벨 시프트하는 회로이다. 회로(154)는 NAND 회로(541), NMOS 트랜지스터(542 및 543), PMOS 트랜지스터(544, 545)를 포함하고, 신호(RBSELn 및 신호RA(j))로부터 뱅크 선택 신호(RSEL1n)를 생성한다.Circuit 152 includes NOR circuit 521 and inverter 522 and generates signal FWA (j) from signal WA (j) and signal FPGM. The circuit 153 includes a NAND circuit 531 and inverters 532 and 533 and generates a signal FWAB (j) from the signal WAB (j) and the signal FPGM. In the circuits 154 to 157, the inverter circuits 154a to 157a are circuits for level shifting an input signal having a VCC level to an output signal having a VPP level. The circuit 154 includes a NAND circuit 541, NMOS transistors 542 and 543, and PMOS transistors 544 and 545, and generates a bank select signal RSEL1n from the signals RBSELn and signal RA (j). .

회로 155는 NAND 회로(551, 552), NOR 회로(553), NMOS 트랜지스터(554, 555), PMOS 트랜지스터(556, 557)를 포함하고, 신호(RBSELn), 신호(RAB(j)), 신호 (FWBSELn), 신호(FWA(j))로부터 뱅크 선택 신호(RSEL0n)를 생성한다. 회로 156은 NAND 회로(561), NMOS 트랜지스터(562, 563), PMOS 트랜지스터(564, 565)를 포함하고, 신호(WBSELn) 및 신호(FWA(j))로부터 뱅크 선택 신호(WSEL1n)를 생성한다.Circuit 155 includes NAND circuits 551 and 552, NOR circuit 553, NMOS transistors 554 and 555, and PMOS transistors 556 and 557, and signals RBSELn, signals RAB (j), and signals The bank selection signal RSEL0n is generated from (FWBSELn) and the signal FWA (j). The circuit 156 includes a NAND circuit 561, NMOS transistors 562 and 563, and PMOS transistors 564 and 565, and generates a bank select signal WSEL1n from the signal WBSELn and the signal FWA (j). .

회로 157은 NAND 회로(571), NMOS 트랜지스터(572, 573), PMOS 트랜지스터(574, 575)를 포함하고, 신호(WBSELn) 및 신호(FWAB(j))로부터 뱅크 선택 신호(WSEL0n)를 생성한다. 통상, 뱅크(BANKn) 리드 상태일 때, 어드레스 버퍼(14)로부터의 신호(RBSELn)가 하이로 되고, 라이트 상태일 때에 신호(WBSELn)가 하이로 되고, 리드 어드레스 RAB(j) 및 RA(j)로 뱅크 선택 신호(RSEL0n, RSEL1n)를 선택하여 라이트 어드레스 WAB(j) 및 WA(j)로 신호(WSELOn), 신호(WSEL1n)의 선택을 실시한다. 고속 써넣기 시에는 신호(FPGM)가 하이로 된다. 또한, 신호 WA(j), 신호 WAB(j)에 관계없이 내부 신호 FWA(j)가 하이(HIGH), FWAB(j)가 로(LOW)로 됨으로써, 뱅크 선택 신호(RSEL0n, WSEL1n)의 선택을 실시한다.The circuit 157 includes a NAND circuit 571, NMOS transistors 572 and 573, and PMOS transistors 574 and 575, and generates a bank select signal WSEL0n from the signal WBSELn and the signal FWAB (j). . Normally, the signal RBSELn from the address buffer 14 goes high when in the bank BANKn read state, and the signal WBSELn goes high when in the write state, and the read addresses RAB (j) and RA (j). Selects the bank selection signals RSEL0n and RSEL1n, and selects the signals WSELOn and WSEL1n with the write addresses WAB (j) and WA (j). At high speed writing, the signal FPGM goes high. In addition, regardless of the signals WA (j) and WAB (j), the internal signal FWA (j) becomes HIGH and FWAB (j) goes low, thereby selecting the bank selection signals RSEL0n and WSEL1n. Is carried out.

다음으로, 실시예 1에 따른 반도체 장치의 고속 써넣기 시의 동작에 대하여 설명한다. 도 5는 실시예 1에 따른 반도체 장치의 고속 써넣기 시의 타이밍도이다. 고속 써넣기 시에 사용자는 고속 써넣기 커맨드 FPGM과 함께, 2개의 어드레스와 2개의 데이터(16비트씩 총 32비트)를 연속적으로 입력한다. 이 때, 어드레스 입력은 칼럼 선택용(선택 트랜지스터(6n0 내지 6n3, 7n0 내지 7n3)의 최상위 어드레스 A(j)를 하이, 로를 바꾸어 입력하고, 그 외의 어드레스는 A(i)는 동일하다. 2개의 데이터는 각각의 라이트 앰프(5, 12)에 래치된다. 그 후, 신호(PGMV)가 하이로 되면 프로그램 검증이 시작된다.Next, the operation at the high speed writing of the semiconductor device according to the first embodiment will be described. Fig. 5 is a timing chart at the time of high speed writing of the semiconductor device according to the first embodiment. In the high-speed write, the user inputs two addresses and two data (a total of 32 bits in 16 bits each) together with the high-speed write command FPGM. At this time, the address input inputs the highest address A (j) for column selection (select transistors 6n0 to 6n3, 7n0 to 7n3) by switching high and low, and the other addresses are the same as A (i). Data are latched in the respective write amplifiers 5 and 12. Then, program verification is started when the signal PGMV becomes high.

프로그램 검증에서는 도 4에 도시하는 바와 같이, FWA(j) 및 FWAB(j)가 강제적으로 각각 하이, 로(HIGH, LOW)가 되고, 선택된 뱅크(BANKn)는 뱅크 선택 신호(RSEL0n 및 WSEL1n)가 항상 하이(HIGH)가 되고, 뱅크 선택 신호(RSEL1n 및 WSEL0n)가 항상 로(LOW)가 된다. 신호(PGMV)가 하이인 프로그램 검증 기간에, 검증 데이터가 리드 데이터 버스(RDB0 내지 RDBm) 및 라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm)에 공급되고, 32비트(2워드분) 동시에 프로그램 검증이 실시된다.In the program verification, as shown in Fig. 4, FWA (j) and FWAB (j) are forced to high and low, respectively, HIGH and LOW, and the selected bank BANKn has the bank selection signals RSEL0n and WSEL1n. It is always high and the bank select signals RSEL1n and WSEL0n are always low. In the program verify period in which the signal PGMV is high, the verify data is supplied to the read data buses RDB0 to RDBm and the write data buses WDB0 to WDBm, and program verification is performed simultaneously for 32 bits (for two words).

다음으로, 신호 PGM이 하이인 프로그램 기간에, 프로그램 전압이 리드 데이터 버스(RDB0 내지 RDBm) 및 라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm)에 공급되고, 32비트의 동시 써넣기가 실시된다. 다음으로, 신호(PGMV)가 하이인 프로그램 검증 기간에서 검증 데이터가 리드 데이터 버스(RDB0 내지 RDBm) 및 라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm)에 흐르고, 32비트(2워드분) 동시에 프로그램 검증을 하여 프로그램 검증을 패스하면 고속 써넣기는 종료하고, 신호(FPGM)가 로(LOW)로 된다. 이어서, 다른 데이터의 고속 써넣기를 실시할 때는 다시 FPGM 커맨드를 입력하여 동일하게 실시한다.Next, in the program period when the signal PGM is high, the program voltage is supplied to the read data buses RDB0 to RDBm and the write data buses WDB0 to WDBm, and 32-bit simultaneous writing is performed. Next, in the program verify period in which the signal PGMV is high, the verify data flows to the read data buses RDB0 to RDBm and the write data buses WDB0 to WDBm, and program verification is performed simultaneously for 32 bits (for two words). If the verification passes, the high-speed writing ends and the signal FPGM goes low. Subsequently, when high-speed writing of other data is performed, the same operation is performed again by inputting the FPGM command.

실시예 1에 의하면, 리드와 라이트를 동시에 실시할 수 있는 플래쉬 메모리에서는 통상 리드 데이터 버스, 라이트 데이터 버스를 가지므로, 고속 써넣기 시에는 리드와 라이트의 동시 실행을 금지하여 리드 데이터 버스와 라이트 데이터 버스 모두를 라이트 데이터 버스로서 사용하여, 많은 비트를 동시에 써넣고, 고속으로 써넣을 수 있다. 써넣기용의 데이터 버스를 별도로 설치할 필요가 없기 때문에, 칩 사이즈가 증대하지도 않는다.According to the first embodiment, since a flash memory capable of simultaneously reading and writing has a read data bus and a write data bus, simultaneous execution of read and write is prohibited during high-speed writing, so that the read data bus and the write data bus are prohibited. Using all as write data buses, many bits can be written simultaneously and written at high speed. Since the data bus for writing does not need to be installed separately, the chip size does not increase.

실시예 2 Example 2

다음으로, 실시예 2에 대하여 설명한다. 도 6은 실시예 2에 따른 반도체 장치의 구성도이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 반도체 장치(110)는 코어 셀 어레이(2), 읽기용 센스 증폭기(3), 쓰기용 센스 증폭기(4), 라이트 앰프(5), 쓰기용 센스 증폭기(11), 라이트 앰프(12)를 포함한다. 반도체 장치(110)는 또한, 실시예 1과 같이, 제어 로직(13), 어드레스 버퍼(14) 및 뱅크 선택 회로(15)를 포함한다. 이러한 반도체 장치(110)는 데이터의 소거나 써넣기를 실시하고 있는 도중에 다른 부분의 데이터를 읽어내는 것이 가능한 듀얼 오퍼레이션 타입이며, 버스트 모드 또는 페이지 모드를 구비하고 있다.Next, Example 2 will be described. 6 is a configuration diagram of a semiconductor device according to the second embodiment. As shown in FIG. 6, the semiconductor device 110 includes a core cell array 2, a read sense amplifier 3, a write sense amplifier 4, a write amplifier 5, and a write sense amplifier 11. And a write amplifier 12. The semiconductor device 110 also includes a control logic 13, an address buffer 14, and a bank selection circuit 15 as in the first embodiment. The semiconductor device 110 is a dual operation type capable of reading out data of another part while data is written or written, and has a burst mode or a page mode.

라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm)는 메모리 셀에 데이터를 써넣기 위한 것이다. 리드 데이터 버스(RDB0m 내지 RDB1m)는 메모리 셀로부터 데이터를 읽어내기 위한 것이다. 이 리드 데이터 버스(RDB0m 내지 RDB1m)는 라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm) 보다 많은 데이터 버스를 포함한다. 버스트 모드 또는 페이지 모드 스트럭쳐에서는 읽어내기 시에는 동시에 복수 워드(이 때, 예에서는 2워드)를 액세스하기 때문에, 입출력 단자 I/Om에 대하여는 동시에 리드 데이터 버스(RDB0m)와 리드 데이터 버스(RDB1m)의 두 개의 버스에 2워드 분의 데이터가 읽어내진다. 쉴드 배선(VSD)은 리드 데이터 버스(RDB00 내지 RDB1m)를 쉴드하기 위한 것이다.The write data buses WDB0 to WDBm are for writing data to memory cells. The read data buses RDB0m to RDB1m are for reading data from memory cells. The read data buses RDB0m to RDB1m include more data buses than the write data buses WDB0 to WDBm. In the burst mode or page mode structure, multiple words (in this example, two words) are accessed at the same time for reading. Therefore, the read data bus RDB0m and the read data bus RDB1m are simultaneously connected to the input / output terminal I / Om. Two words of data are read on two buses. The shield wiring VSD is for shielding the read data buses RDB00 to RDB1m.

코어 셀 어레이(2)는 제1 뱅크의 메모리 셀에 데이터를 써넣는 도중에 제2 뱅크의 메모리 셀로부터 데이터를 읽어낼 수 있는 복수의 뱅크(BANK0 내지 BANKn)를 포함한다. 뱅크(BANK0 내지 BANKn)의 메모리 셀은 복수의 섹터로 구성되어 있다. 읽기용 센스 증폭기(3)는 전류 비교 회로이며, 리드 데이터 버스(RDB0m 내지 RDB1m)를 사용하여 메모리 셀로부터 데이터를 읽어내고, 메모리 셀의 읽기 전류와 기준 전류를 비교하여 그 전류차를 증폭하여 출력한다.The core cell array 2 includes a plurality of banks BANK0 to BANKn capable of reading data from memory cells of the second bank while writing data to the memory cells of the first bank. The memory cells of the banks BANK0 to BANKn are composed of a plurality of sectors. The read sense amplifier 3 is a current comparison circuit, which reads data from a memory cell using read data buses RDB0m to RDB1m, compares the read current and the reference current of the memory cell, amplifies the current difference, and outputs the result. do.

쓰기용 센스 증폭기(4)는 통상 써넣기 시에 라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm)를 사용하여 메모리 셀로부터 검증 데이터를 읽어낸다. 이 쓰기용 센스 증폭기(4)는 고속 써넣기 시에 리드 데이터 버스(RDB00 내지 RDB0m)를 사용하여 메모리 셀로부터 검증 데이터의 읽어내기를 실시한다. 라이트 앰프(5)는 통상 써넣기 시에 라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm)을 사용하여 데이터의 써넣기를 실시한다. 라이트 앰프(5)는 고속 써넣기 시에 리드 데이터 버스(RDB00 내지 RDB0m)를 사용하여 메모리 셀로부터 검증 데이터의 읽어내기를 실시한다.The write sense amplifier 4 normally reads verification data from the memory cell using the write data buses WDB0 to WDBm at the time of writing. The write sense amplifier 4 reads verification data from a memory cell by using the read data buses RDB00 to RDB0m during high-speed writing. The write amplifier 5 writes data using the write data buses WDB0 to WDBm during normal writing. The write amplifier 5 reads verification data from the memory cell using the read data buses RDB00 to RDB0m at the high-speed writing.

쓰기용 센스 증폭기(11)는 고속 프로그램용의 센스 증폭기이다. 이 쓰기용 센스 증폭기(11)는 고속 써넣기 시에 리드 데이터 버스(RDB10 내지 RDB1m)를 사용하여 메모리 셀로부터 검증 데이터를 읽어낸다. 이 쓰기용 센스 증폭기(11)에 의하여 프로그램 검증도 2 워드분씩 동시에 실시할 수 있다. 라이트 앰프(12)는 고속 써넣기 시에 리드 데이터 버스(RDB10 내지 RDB1m)를 사용하여 메모리 셀에 데이터를 써넣는다. NMOS 트랜지스터(80 내지 83)는 고속 써넣기 시에, 쓰기용 센스 증폭기(4), 라이트 앰프(5), 쓰기용 센스 증폭기(11) 및 라이트 앰프(12)를 리드 데이터 버스(RDB00 내지 RDB1m)에 접속하는 스위치 수단이다.The write sense amplifier 11 is a sense amplifier for high speed programming. The write sense amplifier 11 reads verification data from a memory cell by using read data buses RDB10 to RDB1m during high-speed writing. The write sense amplifier 11 can also simultaneously perform program verification for two words each. The write amplifier 12 writes data to the memory cells using the read data buses RDB10 to RDB1m at the high-speed writing. When the NMOS transistors 80 to 83 write at high speed, the write sense amplifier 4, the write amplifier 5, the write sense amplifier 11, and the write amplifier 12 are connected to the read data buses RDB00 to RDB1m. It is a switch means to connect.

각 뱅크(BANK0 내지 BANKn)의 비트선(BL)은 뱅크 선택 신호(RSEL0 내지 RSELn)가 게이트 입력이 되는 NMOS 트랜지스터(600 내지 6n3)를 통하여 리드 데이터 버스(RDB00 내지 RDB1m)에 접속되어 있다. 또한, 각 뱅크(BANK0 내지 BANKn)의 비트선(BL)은 뱅크 선택 신호(WSEL00 내지 WSEL1n)가 게이트 입력이 되는 NMOS 트랜지스터(700 내지 7n3)를 통하여 라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm)에 접속되어 있다. 여기서 m은 I/O번호이고, 예를 들면 0 내지 15의 정수가 된다.The bit lines BL of the banks BANK0 to BANKn are connected to the read data buses RDB00 to RDB1m through the NMOS transistors 600 to 6n3 to which the bank selection signals RSEL0 to RSELn serve as gate inputs. The bit lines BL of the banks BANK0 to BANKn are connected to the write data buses WDB0 to WDBm through the NMOS transistors 700 to 7n3 to which the bank selection signals WSEL00 to WSEL1n are gated. . M is an I / O number, for example, becomes an integer of 0-15.

뱅크(BANK0 내지 BANKn)가 리드 상태인 경우, 뱅크 선택 신호(RSELn)가 하이 레벨이 되고, 읽기용 센스 증폭기(3)는 리드 데이터 버스(RDB00 내지 RDB1m)를 통하여 워드의 데이터의 읽기를 실시한다. 뱅크(BANKn)가 프로그램 또는 검증 상태인 경우, 뱅크 선택 신호 WSELOn 또는 WSEL1n이 하이 레벨이 되고, 쓰기용 센스 증폭기(4), 라이트 앰프(5)는 라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm)를 통하여 1 워드의 프로그램 또는 검증을 실시한다.When the banks BANK0 to BANKn are in the read state, the bank select signal RSELn becomes high level, and the read sense amplifier 3 reads word data through the read data buses RDB00 to RDB1m. . When the bank BANKn is in the program or verify state, the bank select signal WSELOn or WSEL1n becomes high level, and the write sense amplifier 4 and the write amplifier 5 have one word through the write data buses WDB0 to WDBm. Perform a program or verification.

통상, 뱅크 선택 신호(RSELn, WSELOn, WSEL1n)는 뱅크(BANKO 내지 BANKn)마다 제어되고, 리드 및 라이트를 동시에 실행할 수 있게 된다. 이에 따라, 듀얼 오퍼레이션 기능이 실현된다. 고속 써넣기 시에는 신호(FPGM)가 하이 레벨이 되고, 쓰기용 센스 증폭기(4), 라이트 앰프(5), 쓰기용 센스 증폭기(11) 및 라이트 앰프(12)가 NMOS 트랜지스터(80 내지 83)를 통하여 리드 데이터 버스(RDB00 내지 RDB1m)에 접속되어, 2워드분을 동시에 프로그램 또는 프로그램 검증을 할 수 있다.Normally, the bank select signals RSELn, WSELOn, and WSEL1n are controlled for each of the banks BANKO to BANKn, so that read and write can be executed simultaneously. Thus, the dual operation function is realized. At high-speed writing, the signal FPGM is at a high level, and the write sense amplifier 4, the write amplifier 5, the write sense amplifier 11, and the write amplifier 12 use the NMOS transistors 80 to 83. It is connected to the read data buses RDB00 to RDB1m through which two words can be simultaneously programmed or verified.

이와 같이, 실시예 2에서는 라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm)보다 많은 리드 데이터 버스(RDB00 내지 RDB1m)를 가지므로, 고속 써넣기 시에 리드 데이터 버스(RDB00 내지 RDB1m)만을 사용하여 복수의 비트에 동시 써넣기를 실시한다. 이 경우, 뱅크 선택 신호(RSELn, WSELOn, WSEL1n)의 제어가 간단해진다.As described above, since the second embodiment has more read data buses RDB00 to RDB1m than the write data buses WDB0 to WDBm, the write data buses RDB00 to RDB1m are simultaneously written to a plurality of bits using only the read data buses RDB00 to RDB1m. Is carried out. In this case, the control of the bank selection signals RSELn, WSELOn, and WSEL1n is simplified.

도 7은 실시예 2에 따른 반도체 장치의 고속 써넣기 시의 타이밍도이다. 뱅크(BANKn)의 고속 써넣기 시에, 신호(FPGM), 뱅크 선택 신호(RSELn)가 하이로 된다. 신호(PGMV)가 하이인 프로그램 검증 기간에서 검증 데이터가 리드 데이터 버스(RDB0m, RDB1m)에 흐르고, 프로그램 검증이 실시된다. 다음으로, 신호(PGM)가 하이인 프로그램 기간에 프로그램 전압이 리드 데이터 버스(RDB0m 및 RDB1m)에 공급되고, 32 비트의 동시 써넣기를 한다.7 is a timing chart at the time of high-speed writing of the semiconductor device according to the second embodiment. At high-speed writing of the bank BANKn, the signal FPGM and the bank select signal RSELn go high. In the program verify period in which the signal PGMV is high, verify data flows to the read data buses RDB0m and RDB1m, and program verify is performed. Next, in the program period when the signal PGM is high, the program voltage is supplied to the read data buses RDB0m and RDB1m, and 32-bit simultaneous writing is performed.

다음으로, 신호(PGMV)가 하이인 프로그램 검증 기간에서 검증 데이터가 리드 데이터 버스(RDB0m, RDB1m)에 흐르고, 프로그램 검증이 실시되고, 프로그램 검증을 패스하면 고속 써넣기는 종료되고, 신호(FPGM)가 로(LOW)로 된다. 계속하여 다른 데이터의 고속 써넣기를 실시할 때에는 다시 FPGM 커맨드를 입력하여 마찬가지로 실시한다.Next, in the program verification period in which the signal PGMV is high, the verification data flows to the read data buses RDB0m and RDB1m, the program verification is performed, and if the program verification passes, the high-speed writing ends and the signal FPGM It goes low. Subsequently, when high-speed writing of other data is performed again, the FPGM command is input again.

실시예 2에 의하면, 상기 메모리는 버스트 모드 스트럭쳐 또는 페이지 모드 스트럭쳐와 같이 복수 워드 분의 리드 데이터 버스를 갖는 메모리이고, 고속 써넣기 시에는 이들의 리드 데이터 버스를 라이트 데이터 버스로서 사용하므로, 많은 비트를 동시에 써넣을 수 있고, 고속으로 써넣기를 실시할 수 있다.According to the second embodiment, the memory is a memory having a read data bus for a plurality of words, such as a burst mode structure or a page mode structure, and at the time of high-speed writing, these read data buses are used as write data buses. It can write at the same time and can write at high speed.

실시예Example 3 3

다음으로, 실시예 3에 대하여 설명한다. 도 8은 실시예 3에 따른 반도체 장 치의 구성도이다. 실시예 3에서는 복수의 리드 데이터 버스가 각 뱅크마다 있는 경우의 예이다. 도 8에 도시된 바와 같이, 반도체 장치(210)는 코어 셀 어레이(2), 복수의 읽기용 센스 증폭기(3a 내지 3n), 쓰기용 센스 증폭기(4), 라이트 앰프(5), 쓰기용 센스 증폭기(11), 라이트 앰프(120)를 포함한다. 반도체 장치(210)는 또한, 실시예 1과 마찬가지로, 제어 로직(13), 어드레스 버퍼(14) 및 뱅크 선택 회로(15)를 포함한다.Next, Example 3 will be described. 8 is a configuration diagram of a semiconductor device according to the third embodiment. The third embodiment is an example in which a plurality of read data buses exist for each bank. As shown in FIG. 8, the semiconductor device 210 includes a core cell array 2, a plurality of read sense amplifiers 3a to 3n, a write sense amplifier 4, a write amplifier 5, a write sense The amplifier 11 includes a light amplifier 120. The semiconductor device 210 also includes a control logic 13, an address buffer 14, and a bank select circuit 15, similarly to the first embodiment.

반도체 장치(21O)는 데이터의 소거나 써넣기를 실시하고 있는 도중에 다른 부분의 데이터를 읽어내는 것이 가능한 듀얼 오퍼레이션 타입의 것이며, 페이지 모드나 버스트 모드를 구비하고 있다. 라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm)는 메모리 셀에 데이터를 써넣기 위한 것이다. 리드 데이터 버스(RDB000 내지 RDBn1m)는 메모리 셀로부터 데이터를 읽어내기 위한 것이다. 이 리드 데이터 버스(RDB000 내지 RDBn1m)는 뱅크(BANK0 내지 BANKn)마다 설치되어 있다. 쉴드 배선(VSD)은 리드 데이터 버스(RDB000 내지 RDBn1m)를 쉴드하기 위한 것이다.The semiconductor device 2200 is of a dual operation type that can read other portions of data while writing or writing data, and has a page mode and a burst mode. The write data buses WDB0 to WDBm are for writing data to memory cells. The read data buses RDB000 to RDBn1m are for reading data from memory cells. The read data buses RDB000 to RDBn1m are provided for each of the banks BANK0 to BANKn. The shield wiring VSD is for shielding the read data buses RDB000 to RDBn1m.

코어 셀 어레이(2)는 제1 뱅크의 메모리 셀에 데이터를 써넣는 도중에 제2 뱅크의 메모리 셀로부터 데이터를 읽어낼 수 있는 복수의 뱅크(BANK0 내지 BANKn)를 포함한다. 뱅크(BANK0 내지 BANKn)의 메모리 셀은 복수의 섹터로 구성되어 있다. 각 읽기용 센스 증폭기(3a 내지 3n)는 리드 데이터 버스(RDB000 내지 RDBn1m)를 사용하여 메모리 셀로부터 데이터를 읽어낸다. 이 읽기용 센스 증폭기(3a 내지 3n)는 뱅크마다 설치되어 있다.The core cell array 2 includes a plurality of banks BANK0 to BANKn capable of reading data from memory cells of the second bank while writing data to the memory cells of the first bank. The memory cells of the banks BANK0 to BANKn are composed of a plurality of sectors. Each read sense amplifier 3a to 3n reads data from the memory cell using the read data buses RDB000 to RDBn1m. The read sense amplifiers 3a to 3n are provided for each bank.

쓰기용 센스 증폭기(4)는 통상 써넣기 시에 라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm)를 사용하여 메모리 셀로부터 검증 데이터를 읽어낸다. 라이트 앰프(5)는 통상 써넣기 시에 라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm)를 사용하여 메모리 셀에 데이터를 써넣는다. 쓰기용 센스 증폭기(11)는 고속 프로그램용의 센스 증폭기이다. 쓰기용 센스 증폭기(4 및 11)는 고속 써넣기 시에 쉴드 배선(VSD)을 사용하여 메모리 셀로부터 검증 데이터를 읽어낸다. 이 쓰기용 센스 증폭기(11)에 의하여 프로그램 검증도 2 워드분씩 동시에 실시할 수 있다. 라이트 앰프(5 및 120)는 고속 써넣기 시에 쉴드 배선(VSD)를 사용하여 메모리 셀에 데이터를 써넣는다.The write sense amplifier 4 normally reads verification data from the memory cell using the write data buses WDB0 to WDBm at the time of writing. The write amplifier 5 writes data to a memory cell using the write data buses WDB0 to WDBm at the time of normal writing. The write sense amplifier 11 is a sense amplifier for high speed programming. The write sense amplifiers 4 and 11 read the verification data from the memory cell by using the shield wiring VSD during high-speed writing. The write sense amplifier 11 can also simultaneously perform program verification for two words each. The write amplifiers 5 and 120 write data into the memory cells using the shield wiring VSD at high speed writing.

NMOS 트랜지스터(80 내지 83)는 고속 써넣기 시에, 쓰기용 센스 증폭기(4), 라이트 앰프(5), 쓰기용 센스 증폭기(11) 및 라이트 앰프(120)를 쉴드 배선(VSD)에 접속하는 스위치 수단이다. NMOS 트랜지스터(800 내지 8n4)는 고속 써넣기 시에 비트선(BL)을 리드 데이터 버스(RDB000 내지 RDBn1m)를 통하여 쉴드 배선(VSD)에 접속하는 스위치 수단이다.The NMOS transistors 80 to 83 are switches for connecting the write sense amplifier 4, the write amplifier 5, the write sense amplifier 11, and the write amplifier 120 to the shield wiring VSD during high-speed writing. Means. The NMOS transistors 800 to 8n4 are switch means for connecting the bit line BL to the shield wiring VSD through the read data buses RDB000 to RDBn1m at the high-speed writing.

뱅크(BANKn)의 비트선(BL)은 뱅크 선택 신호(RSELn)가 게이트 입력이 되는 NMOS 트랜지스터(6n0 내지 6n3)를 통하여 리드 데이터 버스(RDBn0n 내지 RDBn1m)에 접속되어, 2 워드 분의 읽어내기가 실시된다. 또한, 뱅크(BANKn)의 비트선(BL)은 뱅크 선택 신호(WSEL0n 내지 WSEL1n)이 게이트 입력이 되는 NMOS 트랜지스터(7n0과 7n2, 또는 7n1과 7n3)를 통하여 라이트 데이터 버스(WDB0 내지 WDBm)에 접속되어, 1워드의 프로그램이 실시된다. 이 때, m은 I/O번호로, 예를 들면 0 내지 15의 정수가 된다.The bit line BL of the bank BANKn is connected to the read data buses RDBn0n to RDBn1m through the NMOS transistors 6n0 to 6n3 to which the bank selection signal RSELn is a gate input, so that reading of two words is possible. Is carried out. The bit line BL of the bank BANKn is connected to the write data buses WDB0 to WDBm through the NMOS transistors 7n0 and 7n2 or 7n1 and 7n3 to which the bank selection signals WSEL0n to WSEL1n are gate inputs. Then, one word program is implemented. At this time, m is an I / O number, and becomes an integer of 0-15, for example.

각 리드 데이터 버스(RDBO00 내지 RDBn1m)는 옆의 리드 데이터 버스의 영향을 완화하기 위하여, 쉴드 배선(VSD)으로 쉴드되어 있다. 이 쉴드 배선(VSD)은 뱅크 공통이므로 이것을 고속 써넣기 시의 데이터 버스로서 사용한다. 통상의 경우에는, 신호(FPGMB)는 하이 레벨이 되고, 쉴드 배선(VSD)은 NMOS 트랜지스터(90 내지 95)를 통하여 접지(VSS)에 접속된다. 고속 써넣기 시에 신호(FPGMB)는 로우 레벨이 되고, 접지(VSS)로부터 떨어진다. 신호(FPGM)가 하이 레벨로 되고, 쓰기용 센스 증폭기(4), 라이트 앰프(5)에는 뱅크(BANKn)의 리드 데이터 버스(RDBn00 내지 RDBn0m)가, 쓰기용 센스 증폭기(11) 및 라이트 앰프(120)에는 뱅크(BANKn)의 리드 데이터 버스(RDBn10 내지 RDBn1m)가 접속되어 2 워드씩 동시의 고속 써넣기 및 검증이 실시된다.Each read data bus RDBO00 to RDBn1m is shielded by a shield wiring VSD in order to alleviate the influence of the adjacent read data bus. Since the shield wiring VSD is bank common, this shield wiring VSD is used as a data bus for high-speed writing. In the normal case, the signal FGPMB is at a high level, and the shield wiring VSD is connected to the ground VSS through the NMOS transistors 90 to 95. At high-speed writing, the signal FGPMB goes low and is separated from ground VSS. The signal FPGM becomes high level, and the write data amplifiers RDBn00 to RDBn0m of the bank BANKn include the write sense amplifier 4 and the write amplifier 5 in the write sense amplifier 4 and the write amplifier 5. The read data buses RDBn10 to RDBn1m of the bank BANKn are connected to 120 to simultaneously perform high-speed writing and verifying every two words.

도 9는 실시예 3에 따른 반도체 장치의 고속 써넣기 시의 타이밍도이다. 뱅크(BANKn)의 고속 써넣기 시에 신호(FPGM), 뱅크 선택 신호(RSELn)가 하이로 된다. 신호(PGMV)가 하이인 프로그램 검증 기간에서 검증 데이터가 쉴드 배선(VSD)에 흘러, 프로그램 검증이 실시된다. 다음으로, 신호 PGM이 하이인 프로그램 기간에 프로그램 전압이 쉴드 배선(VSD)에 공급되고, 32 비트의 동시 써넣기가 실시된다.9 is a timing diagram at the time of high-speed writing of the semiconductor device according to the third embodiment. When the bank BANKn is fast written, the signal FPGM and the bank select signal RSELn go high. In the program verification period in which the signal PGMV is high, verification data flows into the shield wiring VSD, and program verification is performed. Next, in the program period when the signal PGM is high, the program voltage is supplied to the shield wiring VSD, and 32-bit simultaneous writing is performed.

다음으로, 신호(PGMV)가 하이인 프로그램 검증 기간에서 검증 데이터가 쉴드 배선(VSD)에 흘러, 프로그램 검증이 실시되고, 프로그램 검증을 패스하면 고속 써넣기는 종료되어 신호(FPGM)가 로(LOW)로 된다. 이어서, 다른 데이터의 고속 써넣기를 실시할 때에는 다시 FPGM 명령을 입력하고 마찬가지로 실시한다.Next, during the program verification period in which the signal PGMV is high, the verification data flows into the shield wiring VSD, and program verification is performed. When the program verification passes, the high-speed writing is terminated, and the signal FPGM goes low. It becomes Subsequently, when the high-speed writing of other data is performed, the FPGM instruction is input again, and the same operation is performed.

실시예 3에 의하면, 리드 데이터 버스가 뱅크마다 있는 경우, 각 리드 데이터 버스의 쉴드 배선을 고속 써넣기 시에는 라이트 데이터 버스로서 사용하므로, 많은 비트를 동시에 써넣을 수 있고, 고속으로 써넣기를 실시할 수 있다. According to the third embodiment, when there is a read data bus for each bank, since the shield wiring of each read data bus is used as the write data bus at the high-speed writing, many bits can be written at the same time and the writing can be performed at high speed. have.

또한, 실시예 1 및 실시예 2에서도 쉴드 배선(VSD)을 사용하여 고속 써넣기를 실현할 수도 있다.In addition, in the first and second embodiments, high speed writing can also be realized by using the shield wiring VSD.

또한, 라이트 앰프(12), 라이트 앰프(5), 라이트 앰프(5) 및 라이트 앰프(120), 쓰기용 센스 증폭기(11), 쓰기용 센스 증폭기(4), 쓰기용 센스 증폭기(4) 및 쓰기용 센스 증폭기(11), 뱅크 선택 회로(15)가 청구의 범위에 있어서의 제1 라이트 앰프, 제2 라이트 앰프, 제3 라이트 앰프, 제1 센스 증폭기, 제2 센스 증폭기, 제3 센스 증폭기, 선택 회로에 각각 대응한다. 또한, NMOS 트랜지스터(600 내지 6n3)가 복수의 뱅크 중 리드 데이터 버스에 접속하는 뱅크를 선택하는 스위치 수단이다.Further, the write amplifier 12, the write amplifier 5, the write amplifier 5 and the write amplifier 120, the write sense amplifier 11, the write sense amplifier 4, the write sense amplifier 4 and The write sense amplifier 11 and the bank selection circuit 15 are the first write amplifier, the second write amplifier, the third write amplifier, the first sense amplifier, the second sense amplifier, and the third sense amplifier in the claims. And a selection circuit respectively. The NMOS transistors 600 to 6n3 are switch means for selecting a bank to be connected to the read data bus among the plurality of banks.

이상 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 본 발명은 이러한 특정 실시예에 한정되지 않고, 청구의 범위에 기재된 본 발명의 요지의 범위 내에 있어서, 여러 가지의 변형, 변경이 가능하다.As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described in detail, this invention is not limited to this specific embodiment, A various deformation | transformation and a change are possible within the scope of the summary of this invention described in a claim.

Claims (28)

메모리 셀에 데이터를 써넣기 위한 라이트 데이터 버스(write data bus)와;A write data bus for writing data to the memory cells; 상기 메모리 셀로부터 데이터를 읽어내기 위한 리드 데이터 버스(read data bus)와; 그리고A read data bus for reading data from the memory cells; And 소정의 써넣기 시에 상기 리드 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀에 데이터를 써넣는 제 1 라이트 증폭기(write amplipier)를 포함하는 반도체 장치.And a first write amplifier for writing data to the memory cell using the read data bus at a predetermined write time. 제1항에 있어서, 상기 반도체 장치는,The semiconductor device of claim 1, wherein the semiconductor device comprises: 소정의 써넣기 시에 상기 라이트 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀에 데이터를 써넣는 제 2 라이트 증폭기를 더 포함하는 반도체 장치.And a second write amplifier for writing data to the memory cells using the write data bus at a predetermined write time. 제1항에 있어서, 상기 반도체 장치는,The semiconductor device of claim 1, wherein the semiconductor device comprises: 상기 리드 데이터 버스를 쉴드하기 위한 쉴드 배선들과; 그리고Shield wires for shielding the read data bus; And 소정의 써넣기 시에 상기 쉴드 배선들을 사용하여 상기 메모리 셀에 데이터를 써넣는 제 2 라이트 증폭기를 더 포함하는 반도체 장치.And a second write amplifier writing data into the memory cell using the shield wires at a predetermined writing time. 메모리 셀로부터 데이터를 읽어내는 리드 데이터 버스(read data bus)를 쉴드하기 위한 쉴드 배선(shield line)들과; 그리고Shield lines for shielding a read data bus that reads data from the memory cells; And 소정의 써넣기 시에 상기 쉴드 배선들을 사용하여 상기 메모리 셀에 데이터를 써넣는 라이트 증폭기를 포함하는 반도체 장치.And a write amplifier which writes data into the memory cell using the shield wires at a predetermined write time. 제4항에 있어서, 상기 반도체 장치는,The semiconductor device of claim 4, wherein the semiconductor device comprises: 상기 메모리 셀에 데이터를 써넣기 위한 라이트 데이터 버스를 더 포함하는 반도체 장치.And a write data bus for writing data to the memory cells. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 반도체 장치는,The semiconductor device according to any one of claims 1 to 3, wherein 상기 리드 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀로부터 검증된 데이터를 읽어내는 센스 증폭기를 더 포함하는 반도체 장치.And a sense amplifier using the read data bus to read verified data from the memory cell. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 반도체 장치는,The semiconductor device according to any one of claims 1 to 3, wherein 상기 라이트 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀로부터 검증된 데이터를 읽어내는 센스 증폭기를 더 포함하는 반도체 장치.And a sense amplifier that reads the verified data from the memory cell using the write data bus. 제3항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 반도체 장치는,The semiconductor device according to any one of claims 3 to 5, wherein 상기 쉴드 배선들을 사용하여 상기 메모리 셀로부터 검증된 데이터를 읽어내는 센스 증폭기를 더 포함하는 반도체 장치.And a sense amplifier that reads the verified data from the memory cell using the shield wires. 제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 반도체 장치는,The semiconductor device according to any one of claims 1 to 4, wherein 상기 리드 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀로부터 데이터를 읽어내는 센스 증폭기를 더 포함하는 반도체 장치.And a sense amplifier which reads data from the memory cell using the read data bus. 제1항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 반도체 장치는,The semiconductor device according to any one of claims 1 to 5, wherein 제 1 뱅크의 메모리 셀에 데이터를 써넣는 동안에 제 2 뱅크의 메모리 셀로부터 데이터를 읽어낼 수 있는 복수의 뱅크를 포함하는 셀 어레이를 더 포함하는 반도체 장치.And a cell array including a plurality of banks capable of reading data from memory cells of the second bank while writing data into the memory cells of the first bank. 제3항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 반도체 장치는,The semiconductor device according to any one of claims 3 to 5, wherein 제 1 뱅크의 메모리 셀에 데이터를 써넣는 동안에 제 2 뱅크의 메모리 셀로부터 데이터를 읽어낼 수 있는 복수의 뱅크를 포함하는 셀 어레이와; 그리고 A cell array comprising a plurality of banks capable of reading data from memory cells of a second bank while writing data into memory cells of a first bank; And 상기 뱅크마다 설치되어 상기 리드 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀로부터 데이터를 읽어내는 센스 증폭기를 더 포함하는 반도체 장치.And a sense amplifier provided in each bank to read data from the memory cell using the read data bus. 제3항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 반도체 장치는,The semiconductor device according to any one of claims 3 to 5, wherein 제 1 뱅크의 메모리 셀에 데이터를 써넣는 동안에 제 2 뱅크의 메모리 셀로부터 데이터를 읽어낼 수 있는 복수의 뱅크를 포함하는 셀 어레이를 더 포함하여 이루어지며, 상기 리드 데이터 버스는 상기 뱅크마다 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 장치.And a cell array including a plurality of banks capable of reading data from the memory cells of the second bank while writing data into the memory cells of the first bank, wherein the read data bus is provided for each bank. There is a semiconductor device characterized by the above-mentioned. 제1항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 반도체 장치는,The semiconductor device according to any one of claims 1 to 5, wherein 제 1 뱅크의 메모리 셀에 데이터를 써넣는 동안에 제 2 뱅크의 메모리 셀로부터 데이터를 읽어낼 수 있는 복수의 뱅크를 포함하는 셀 어레이와; 그리고A cell array comprising a plurality of banks capable of reading data from memory cells of a second bank while writing data into memory cells of a first bank; And 상기 뱅크를 선택하는 선택 신호를 생성하는 선택 회로를 더 포함하는 반도체 장치.And a selection circuit for generating a selection signal for selecting the bank. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 반도체 장치는,The semiconductor device according to any one of claims 1 to 3, wherein 소정의 써넣기 시에 상기 제 1 라이트 증폭기를 상기 리드 데이터 버스에 접속하는 스위치 수단을 더 포함하는 반도체 장치.And switching means for connecting said first write amplifier to said read data bus upon predetermined writing. 제3항에 있어서, 상기 반도체 장치는,The semiconductor device of claim 3, wherein the semiconductor device comprises: 소정의 써넣기 시에 상기 제 2 라이트 증폭기를 상기 쉴드 배선에 접속하는 스위치 수단을 더 포함하는 반도체 장치.And switching means for connecting the second light amplifier to the shield wiring at a predetermined writing time. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 반도체 장치는,The semiconductor device according to any one of claims 1 to 3, wherein 제 1 뱅크의 메모리 셀에 데이터를 써넣는 동안에 제 2 뱅크의 메모리 셀로부터 데이터를 읽어낼 수 있는 복수의 뱅크를 포함하는 셀 어레이와; 그리고 A cell array comprising a plurality of banks capable of reading data from memory cells of a second bank while writing data into memory cells of a first bank; And 상기 복수의 뱅크 중 상기 리드 데이터 버스에 접속하는 뱅크를 선택하는 스위치 수단을 더 포함하는 반도체 장치.And switching means for selecting a bank connected to the read data bus among the plurality of banks. 제3항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 반도체 장치는,The semiconductor device according to any one of claims 3 to 5, wherein 제 1 뱅크의 메모리 셀에 데이터를 써넣는 동안에 제 2 뱅크의 메모리 셀로부터 데이터를 읽어낼 수 있는 복수의 뱅크를 포함하는 셀 어레이와; 그리고A cell array comprising a plurality of banks capable of reading data from memory cells of a second bank while writing data into memory cells of a first bank; And 소정의 써넣기 시에 상기 복수의 뱅크 중 상기 쉴드 배선에 접속하는 뱅크를 선택하는 스위치 수단을 더 포함하는 반도체 장치.And switching means for selecting a bank to be connected to the shield wiring among the plurality of banks at a predetermined writing time. 제1항 내지 제3항 및 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3 and 5, 상기 리드 데이터 버스는 상기 라이트 데이터 버스보다 많은 데이터 버스로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 장치.And the read data bus comprises more data buses than the write data bus. 제1항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 반도체 장치는 반도체 기억 장치인 것을 특징으로 하는 반도체 장치.The semiconductor device according to any one of claims 1 to 5, wherein the semiconductor device is a semiconductor memory device. 라이트 데이터 버스를 사용하여 메모리 셀에 데이터를 써넣는 단계와;Writing data into the memory cell using the write data bus; 리드 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀로부터 데이터를 읽어내는 단계와; 그리고Reading data from the memory cell using a read data bus; And 소정의 써넣기 시에 상기 리드 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀에 데이터를 써넣는 단계를 포함하는 데이터 써넣기 방법.And writing data into the memory cell using the read data bus at a predetermined writing time. 제20항에 있어서, 상기 데이터 써넣기 방법은,The method of claim 20, wherein the data writing method is 소정의 써넣기 시에 상기 라이트 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀에 데이터를 써넣는 단계를 더 포함하는 데이터 써넣기 방법.And writing data to the memory cell using the write data bus at a predetermined write time. 제20항에 있어서, 상기 데이터 써넣기 방법은,The method of claim 20, wherein the data writing method is 소정의 써넣기 시에 상기 리드 데이터 버스를 쉴드하기 위한 쉴드 배선을 사용하여 상기 메모리 셀에 데이터를 써넣는 단계를 더 포함하는 데이터 써넣기 방법.And writing data into the memory cell using a shield wire for shielding the read data bus at a predetermined write time. 리드 데이터 버스를 사용하여 메모리 셀로부터 데이터를 읽어내는 단계와; 그리고Reading data from the memory cell using the read data bus; And 소정의 써넣기 시에 상기 리드 데이터 버스를 쉴드하기 위한 쉴드 배선을 사용하여 상기 메모리 셀에 데이터를 써넣는 단계를 포함하는 데이터 써넣기 방법.And writing data into the memory cell using a shield wire for shielding the read data bus at a predetermined write time. 제20항 내지 제23항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 데이터 써넣기 방법은,The method according to any one of claims 20 to 23, wherein the data writing method is 상기 리드 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀로부터 검증된 데이터를 읽어내는 단계를 더 포함하는 데이터 써넣기 방법.And reading the verified data from the memory cell using the read data bus. 제20항 내지 제22항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 데이터 써넣기 방법은,23. The method of claim 20, wherein the data writing method is 상기 라이트 데이터 버스를 사용하여 상기 메모리 셀로부터 검증된 데이터를 읽어내는 단계를 더 포함하는 데이터 써넣기 방법.And reading the verified data from the memory cell using the write data bus. 제22항 또는 제23항에 있어서, 상기 데이터 써넣기 방법은,The method of claim 22 or 23, wherein the data writing method is 상기 쉴드 배선을 사용하여 상기 메모리 셀로부터 검증된 데이터를 읽어내는 단계를 더 포함하는 데이터 써넣기 방법.And reading the verified data from the memory cell using the shield wire. 제20항 내지 제23항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 데이터 써넣기 방법은,The method according to any one of claims 20 to 23, wherein the data writing method is 상기 메모리 셀을 각각 포함하는 복수의 뱅크를 선택하는 선택 신호를 생성하는 단계를 더 포함하는 데이터 써넣기 방법.And generating a selection signal for selecting a plurality of banks each including the memory cells. 제20항 내지 제23항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 데이터 써넣기 방법은,The method according to any one of claims 20 to 23, wherein the data writing method is 복수의 뱅크 중에서 제 1 뱅크의 메모리 셀에 데이터를 써넣는 동안에 제 2 뱅크의 메모리 셀로부터 데이터를 읽어내는 단계를 더 포함하는 데이터 써넣기 방법.And reading data from the memory cells of the second bank while writing the data into the memory cells of the first bank of the plurality of banks.
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