KR100902303B1 - 펜더럼 밸브 - Google Patents

Abstract

본 발명은 가스의 통과시 밸브 플레이트에 반응 생성물 및 이물질이 침착 또는 잔존하지 않도록 밸브 플레이트를 가열하거나 열을 지속적으로 공급하기 위한 히팅수단을 구비한 펜더럼 밸브를 제공한다. 그 펜더럼 밸브는 일측에 가스가 통과하는 개구부(12)와, 타측에 개구부(12)와 연통하는 중공공간(142)이 형성되는 하우징부(14)를 구비하는 본체(10); 밸브의 폐쇄시 본체(10)의 개구부(12)를 밀봉하기 위한 밀봉부재(20); 본체(10)의 개구부(12)를 선택적으로 개폐하기 위해 개구부(12)와 하우징부(14)의 중공공간(142) 사이를 선회 작동하는 몸체(32)를 구비하는 밸브 플레이트(30); 그 밸브 플레이트(30)를 선회 작동시키기 위한 액튜에이터(40); 및 밸브 플레이트(30)를 가열하거나 열을 공급하기 위한 히팅장치(50)로 구성된다.

펜더럼 밸브, 밸브 플레이트, 히팅장치, 히터, 하우징

Description

펜더럼 밸브{A Pendulum Valve}

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 펜더럼 밸브의 사시도.

도 2는 도 1의 펜더럼 밸브의 밸브플레이트의 부분 절취 사시도.

도 3 내지 도 5는 본 발명에 따른 펜더럼 밸브의 작동상태를 각각 보여주는 종단면도.

도 6 내지 도 8은 본 발명에 따른 펜더럼 밸브의 작동상태를 각각 보여주는 횡단면도.

♣ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ♣

10: 본체 20: 밀봉부재

30: 밸브 플레이트 40: 액튜에이터

50: 히팅장치

본 발명은 펜더럼 밸브(pendulum valve)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 가스의 통과시 밸브 플레이트에 반응 생성물 및 이물질이 침착 또는 잔존하지 않도록 밸브 플레이트를 가열하거나 열을 지속적으로 공급하기 위한 히팅수단을 구비한 펜더럼 밸브에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 등과 같이 고정밀도가 요구되는 부품, 부재, 장치 등과 같은 물체들은 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되고 있다. 이 같은 요구사항에 따라 반도체는 공기 중에 포함된 이물질의 접촉이 완전하게 차단될 수 있는 진공상태의 분위기에서 제조되어야 한다. 결국 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술이 반도체의 제품성에 많은 영향을 미치게 된다.

한편, 반도체 및 LCD 제조장치의 공정챔버 출구측과 진공펌프 사이에는 배관 및 진공펌프 등 부대설비의 보수, 유지시 배관라인의 개폐를 위하여 게이트 밸브가 설치된다. 이 같은 게이트 밸브의 종래예로는, 등록특허 제10-497418호, 제10-539691호, 제10-544299호, 제10-550312호 등이 있다.

상기와 같은 특허에 개시된 종래의 대부분의 게이트 밸브는 가스가 출입될 수 있는 몸체, 원형의 밸브 플레이트, 그 밸브 플레이트가 설치되는 프레임, 그 프레임을 슬라이딩시키기 위한 유압 또는 공압식 액튜에이터, 그 액튜에이터와 프레임을 연결하기 위한 커넥터 등으로 구성되어 있다. 이 같은 구성에 따라, 가스의 공급 제어를 위해 액튜에이터에 공급되는 유압 또는 공압의 방향에 따라 커넥터가 전개 또는 수축됨과 동시에 프레임이 슬라이딩되면, 밸브 플레이트가 몸체의 출입구를 개방하거나 폐쇄하여 가스의 공급을 제어한다.

또한, 최근에는 위와 같은 케넥터 방식 또는 아암 방식 밸브의 구성 및 설치의 복잡성과 설치 자유도의 제한으로 인한 단점을 해결하기 위한 밸브로서 일명 슬라이드 밸브라 칭하는 펜더럼 밸브가 특허공개 제10-2004-110099호, 제10-2005- 117522호 등에 개시되어 있다.

이와 같은 종래의 펜더럼 밸브 중 특허공개 제10-2005-2004-110099호에 개시된 펜더럼 밸브는 밸브 개구부를 갖는 밸브 본체와, 그 밸브 본체의 밀봉개구부에 삽설되는 밀봉 연결부와, 밸브 본체와 측방으로 연통하는 중공공간을 갖는 하우징과, 밸브 본체의 개구부와 하우징의 중공공간을 선회 또는 회전하는 방식으로 왕복동하여 밸브 개구부의 개도를 조절하는 밸브 플레이트와, 그 밸브 플레이트를 작동시키기 위한 스텝모터로 구성되어 있다.

이 같은 구성에 따라, 프로그램 또는 제어방식에 의해 스텝모터가 작동되어 밸브플레이트를 좌, 우 또는 정, 역방향으로 선회 또는 회전 운동시켜 밸브 개구부의 개도를 조절하거나 폐쇄하여 가스의 공급 또는 배기를 조절할 수 있는 것이다.

그러나, 이와 같은 종래의 커넥터형, 펜더럼형 등의 모든 게이트 밸브는 동일 문제점을 초래하는 것으로 나타났다. 즉, 예컨대 반도체 제조공정 중 재료가스가 밸브 플레이트에 의해 조절되어 공급되거나 배출되는 동안 가스 내의 반응 생성물 또는 이물질이 밸브 플레이트에 퇴적되거나 침착되어 밸브의 리크(leak)가 초래됨은 물론 밸브 플레이트의 작동 불량을 초래하여 가스공급을 정확하게 제어할 수 없으며, 이는 결국 반도체 소자 또는 웨이퍼의 제품성을 저하시키게 되는 문제점이 있었다.

또한, 밸브 플레이트에 부착되거나 퇴적되는 반응생성물 및 퇴적물을 수시로 제거할 수 없어 결국 반도체 제조장치 또는 처리장치를 정지시킨 후 이들을 제거해야 하므로 생산성이 저하되는 문제점이 있다.

본 발명은 상기 문제점들을 해결하기 위해 발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 공급 가스 또는 배기가스에 의한 반응생성물 및 이물질이 밸브플레이트에 침착되거나 고착되는 것을 방지하여 밸브 플레이트의 작동을 항상 정상적으로 유지하기 위한 펜더럼 밸브를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 밸브 본체의 밸브 개구부 내에서의 밸브 플레이트의 분위기 온도와 하우징의 중공공간에서의 밸브 플레이트의 분위기 온도를 유사 내지는 동일하게 유지하여 반응생성물 및 이물질의 고상화를 방지하여 밸브 플레이트의 표면을 청결하게 유지할 수 있는 펜더럼 밸브를 제공하는데 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 펜더럼 밸브는, 가스의 공급 및 배출을 위한 펜더럼 밸브로서, 일측에 가스가 통과하는 개구부와, 타측에 개구부와 연통하는 중공공간이 형성되는 하우징부를 구비하는 본체; 밸브의 폐쇄시 본체의 개구부를 밀봉하기 위한 밀봉부재; 본체의 개구부를 선택적으로 개폐하기 위해 개구부와 하우징부의 중공공간 사이를 선회 작동하는 몸체를 구비하는 밸브 플레이트; 그 밸브 플레이트를 선회작동시키기 위한 액튜에이터; 및 밸브 플레이트를 가열하거나 열을 공급하기 위해 상기 밸브 플레이트의 몸체를 가열하기 위한 히터와 상기 히터를 가열하기 위해 전원을 공급하기 위한 전원공급부재를 구비하는 히팅장치를 포함하는 펜더럼 밸브에 있어서, 상기 히터는 상기 밸브 플레이트의 몸체 전체를 가열할 수 있도록 상기 몸체의 내부에 관 또는 코일 형태로 일정 간격을 두고 몸체의 내부 전체에 걸쳐 설치되는 가열부와, 상기 가열부에 일체로 연결되며 상기 밸브 플레이트의 아암의 내부에 설치되어 연장되는 연결부와, 상기 연결부의 단부에 구비되는 콘센트로 구성되며; 상기 히팅장치의 전원공급부재는 상기 히터에 구비된 콘센트에 접속되는 플러그와, 일단이 플러그에 연결되는 와이어와, 상기 와이어의 종단에 구비되는 콘센트를 구비하고; 상기 전원공급부재의 와이어는 밸브 플레이트의 작동을 방해하지 않고 주변 분위기의 열로부터 보호될 수 있도록 보호부재로 포위되며; 상기 보호부재는 와이어의 수축 및 전개를 방해하지 않도록 탄성 및 복원성을 지니며, 분위기의 열에 대한 절연성 및 내열성을 갖는 재료로 형성되고; 상기 본체의 하우징의 일측에는 장착홈이 형성되며; 상기 히팅장치의 전원공급부재의 콘센트는 상기 본체의 하우징의 장착홈에 배치되고; 상기 전원공급부재의 콘센트와 상기 본체의 하우징의 장착홈 사이에는 밀폐부재가 실링되는 것을 특징으로 한다.

이하 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 도면들을 참조로 하여 상세하게 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 펜더럼 밸브의 사시도이고, 도 2는 도 1의 펜더럼 밸브의 밸브플레이트의 부분 절취 사시도이며, 도 3 내지 도 5는 본 발명에 따른 펜더럼 밸브의 작동상태를 각각 보여주는 횡단면도이고, 도 6 내지 도 8은 본 발명에 따른 펜더럼 밸브의 작동상태를 각각 보여주는 종단면도이다.

도 1 내지 8에 있어서, 본 발명에 따른 펜더럼 밸브는 전체적으로 외관을 형성하는 본체(10)를 구비한다. 그 본체(10)는 전체적으로 타원형으로 형성된다.

본체(10)의 일측에는 실제적으로 가스가 공급, 통과 또는 배출되도록 상부 및 하부에 채널 또는 배관(미도시)이 연결되며 원통형으로 형성되는 개구부(12)를 구비한다. 그 개구부(12)의 대체로 중앙부의 둘레에는 후술되는 밸브플레이트가 그 개구부(12)를 완전히 차폐할 수 있도록 밸브 플레이트의 주변부가 수용될 수 있는 그로브(122)가 전체적으로 형성된다.

또한, 본체(10)의 타측, 즉 상기 개구부(12)의 일측에는 후술되는 밸브 플레이트가 휴지상태를 유지하거나 수용되어 유지될 수 있는 하우징부(14)가 일체로 구비된다. 그 하우징(14)에는 후술되는 밸브 플레이트가 완전하게 수용되어 유지될 수 있는 사이즈의 중공공간(142)이 형성된다. 그 개구부(12)의 그로브(122)와 하우징부(14)의 중공공간(142)은 상호 연통한다.

선택적으로 본체(10)의 하우징부(14)에는 후술되는 히팅장치의 전원공급부재의 콘센트가 외부로 노출되게 설치되도록 장착홈(144)이 형성되는 것이 바람직하다.

그 본체(10)의 일측에 형성된 개구부(12)에는 밸브의 폐쇄시 완전한 밀봉을 이루기 위한 밀봉부재(20)가 삽설된다. 그 밀봉부재(20)는 개구부(12)의 축방향으로 변위 가능하여 후술되는 밸브 플레이트의 일측변과의 연계에 의해 개구부(12) 주변의 밀봉을 달성한다.

물론, 그 밀봉부재(20)의 상부변 및 하부변에는 밀봉링(222;224)이 구비되어 있어, 개구부(12)의 내측벽과의 접촉 밀봉 및 후술되는 밸브 플레이트의 상부면의 주변과 접촉 밀봉을 이루는 것이다.

상기 본체(10)의 내부에는 그 본체(10)의 개구부(12)를 선택적으로 또는 임의적으로 개폐하기 위한 밸브 플레이트(30)가 일정범위에서 선회 또는 회전 가능하게 설치된다.

그 밸브 플레이트(30)는 실제적으로 본체(10)의 개구부(12)를 개폐허기 위한 대체로 원형의 몸체(32)와, 그 몸체(32)로부터 일체로 연장 형성되는 아암(34)과, 그 아암(34)에 수직하게 구비되며 본체(10)에 회전가능하게 고정되는 선회축(36)을 일체로 구비한다. 선택적으로, 몸체(32)의 양 표면은 요홈형으로 형성될 수 있다.

한편, 밸브 플레이트(30)는 그것의 선회작동을 위한 동력을 전달하기 위해 액튜에이터(40)가 연결된다. 그 액튜에이터(40)는 정방향 및 역방향으로 구동가능하며 밸브 플레이트(30)의 선회축(36)이 연결되는 스텝모터(stepped motor)로 형성되는 것이 바람직하다.

특히, 본 발명의 주요 특징에 따르면, 본 발명에 따른 펜더럼 밸브는 밸브 플레이트(30)를 가열하거나 그 밸브 플레이트(30)에 열을 공급하기 위한 히팅장치(50)를 구비한다.

그 히팅장치(50)는 실제로 밸브 플레이트(30)의 몸체(32)를 실제적으로 가열하기 위한 히터(52)를 구비한다. 그 히터(52)는 밸브 플레이트(30)의 몸체(32) 전체를 일정하게 가열할 수 있도록 몸체(32)의 내부에 관 또는 코일 형태로 균일 또는 일정 간격을 두고 몸체(32)의 내부 전체에 걸쳐 설치되는 가열부(522)와, 그 가열부(522)에 일체로 연결되며 밸브 플레이트(30)의 아암(34)내부에 설치되어 연장되는 연결부(524)와, 그 연결부(524)의 단부에 구비되며 후술되는 와이어에 연결되어 전원을 공급받을 수 있도록 노출되는 콘센트(526)로 구성된다.

여기서, 히터(52)의 콘센트(526)는 밸브 플레이트(30)의 안정적이고 원활한 선회 운동을 위해 그 콘센트(526)가 밸브의 본체(10) 및 밀봉부재(20)와 접촉하거나 이들의 운동을 방해하지 않도록 구비되는 것이 바람직하다.

또한, 히팅장치(50)는 히터(52)를 가열하기 위해 전원을 공급하기 위한 전원공급부재(54)가 연결된다. 그 전원공급부재(54)는 히터(52)에 구비된 콘센트(526)에 접속되는 플러그(542)와, 일단이 플러그(542)에 연결되는 와이어(544)와, 그 와이어(544)의 종단에 구비되며 전원(미도시)에 연결된 플러그(미도시)가 해제 가능하게 접속되며 본체(10)의 하우징(14)의 일측에 형성된 장착홈(144)에 장착되는 콘센트(546)를 기본적으로 구비한다. 선택적으로, 펜더럼 밸브의 제조시, 본체(10)의 하우징(14)의 일측에 형성된 장착홈(144)과 전원공급부재(54)의 콘센트(546)사이에는 액밀 또는 기밀을 위해 밀폐부재(S)로 실링되는 것이 바람직하다. 물론, 전원공급부재(54)의 콘센트(546)에는, 예컨대 펜더럼 밸브 전체를 제어하거나 또는 그 펜더럼 밸브가 설치된 시스템 전체를 제어하기 위한 콘트롤러(미도시)가 연결되어 전 원이 예정된 명령에 따라 또는 자동적으로 공급되는 것이다.

한편, 전원공급부재(54)의 와이어(544)는 밸브 플레이트(30)의 작동을 방해하지 않고 주변 분위기의 열로부터 보호될 수 있도록 보호부재(548)로 포위되는 것이 바람직하다. 그 보호부재(548)는 와이어(544)의 수축 및 전개에 적합하도록 탄성 및 복원성이 우수한 반면 절연성 및 내열성이 우수한 재료로 형성되는 코일스프링으로 제조되는 것이 바람직하다. 물론, 그 보호부재(548)는 와이어(544)의 보호, 수축 및 전개에 영향을 주지 않는 한, 다른 다양한 형태로 형성되거나 제조될 수 있다.

이하, 전술된 바와 같이 구성된 게이트 밸브의 작동 및 그 작용모드를 상세히 설명한다.

먼저, 작업자는 진공시스템 또는 다른 시스템에 본 발명에 따른 펜더럼 밸브를 설치하기 위해, 밸브의 본체(10)의 개구부(12)의 상부 및 하부에 채널 또는 배관을 연결한다.

이와 같이 펜더럼펜더럼 설치된 상태에서 작업가스 또는 배출가스가 개구부(12)를 통해 통과하여 가스를 공급하거나 배출된다. 여기서, 스텝모터로 이루어진 액튜에이터(40)가 정,역으로 작동되어 그 액튜에이터(40)에 작동적으로 연결된 밸브 플레이트(30)가 선회 작동하며, 이 같은 선회 작동에 의해 밸브 플레이트(30)의 몸체(32)가 본체(10)의 개구부(12)의 개도를 조절하여 가스의 공급량 또는 배출량을 조절하게 되는 것이다.

즉, 도 3및 도 6에 도시된 바와 같이, 밸브 플레이트(30)의 몸체(32)가 하우 징(14)의 중공공간(142)에 완전히 수용되어 유지되는 경우에는 개구부(12)가 완전히 개방되어 가스가 최대로 공급 또는 배출되며, 역으로 도 5 도 8에 도시된 바와 같이, 밸브 플레이트(30)의 몸체(32)가 하우징(14)의 중공공간(142)을 완전히 벗어나 개구부(12) 및 그 주변의 그로브(122)에 위치하고 밀봉부재(20)전체와 접촉유지되는 경우에는 개구부(12)가 완전 폐쇄되어 가스의 공급 및 배출이 완전 차단되는 것이다. 한편, 도 4 도 7에 도시된 바와 같이, 밸브 플레이트(30)의 몸체(32)가 하우징(14)의 중공공간(142) 및 개구부(12)에 동시에 위치하는 경우에는 밸브 플레이트(30)의 몸체(32)에 의해 폐쇄되지 않은 개구부(12)를 통해서만 가스의 공급 및 배출이 이루어지는 것이다. 결국, 이와 같은 액튜에이터(40)의 작동에 따른 밸브플레이트(30)의 선회운동에 의한 본체(10)의 개구부(12)의 점유면적에 반비례적으로 가스가 공급되거나 배출되는 것이며, 이와 같은 밸브 플레이트(30)의 선회작동은 프로그램 또는 자동제어에 따라 순간적으로 또는 임의적으로 신속하게 이루어지는 것이다.

한편, 이와 같은 연속반복적인 밸브 플레이트(30)의 개폐 작동에 의한 가스의 공급 또는 배기 및 차단에 따라 그 가스에 포함된 반응생성물 또는 이물질은 주로 밸브 플레이트(30)의 몸체(32)에 집중된다.

이와 같이 밸브 플레이트(30)의 몸체(32) 또는 그 주변에 반응생성물 또는 이물질이 집중되면, 밸브 플레이트(30)에 몸체(32)를 히팅장치(50)를 이용하여 열을 공급하거나 가열하여 밸브·플레이트(30)에 집중되는 반응 생성물 또는 이물질이 고착되거나 침착되는 것을 방지할 수 있는 것이다.

즉, 밸브 플레이트(30)의 몸체(32)가 본체(10)의 개구부(12)에 위치하는 중에 그 몸체(32)에 반응생성물 및 이물질이 집중된 상태로 하우징(14)의 중공공간(142)으로 선회되어 유지되더라도, 밸브 플레이트(30)의 몸체(32)가 히팅장치(50)의 전원 공급부재(54)를 통해 히터(52)에 의해 개구부(12)내의 온도와 동일하거나 유사하게 유지됨으로써, 반응 생성물 또는 이물질이 고상으로 변하는 것이 방지되어 결국 이들이 밸브 플레이트(30)의 몸체(32)에 고착되거나 침착됨이 없이 가스와 함께 개구부(12)를 통해 배출되는 것이다.

물론, 히팅장치(50)의 히팅공정에 의하면, 본체(10)의 외부로 노출되는 전원 공급부재(54)의 콘센트(546)에 콘트롤러(미도시)에 연결된 플러그(미도시)가 접속되면, 전원이 연결부(544), 플러그(542) 및 히터(52)의 콘센트(524)를 통해 히터(50)의 가열부(522)로 공급되어 가열됨으로써, 밸브 플레이트(30)의 몸체(32)의 가열이 이루어지게 되는 것이다. 여기서, 히터(52)의 가열부(522)가 밸브 플레이트(30)의 몸체(32) 내부 전체에 관 또는 코일 형태로 균일 또는 일정 간격을 두고 몸체(32)의 내부 전체에 걸쳐 설치되어 있으므로 밸브 플레이트(30)의 몸체(32)가 전체적이고 균일하게 가열될 수 있는 것이다.

한편, 전원공급부재(54)의 와이어(544)는 밸브 플레이트(30) 및 그 몸체(32)에 접하지 않음은 물론 이들의 선회작동을 방해 하지 않으므로, 밸브 플레이트(30)는 항상 와이어(544)에 방해 받지 않고 원활하게 작동될 수 있는 것이다.

또한, 와이어(544)는 보호부재(548)에 의해 포위되거나 차폐됨으로써, 열 또는 본체(10)내로 침입될 수 있는 반응생성물 또는 이물질로부터 안정적으로 보호될 수 있으며, 더욱이 밸브 플레이트(30)의 작동에 따라 수축 및 전개될 수 있어 그 밸브 플레이트(30)의 작동을 안정적으로 유지할 수 있다.

전술된 바와 같이, 밸브 플레이트를 가열하거나 열을 공급하여 반응 생성물 및 이물질이 고착되거나 침착되는 것을 방지함으로써, 밸브 플레이트의 선회 작동 및 밸브 전체의 성능을 항상 최적의 상태로 유지할 수 있는 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 펜더럼 밸브에 의하면, 가스의 공급 또는 배출시 밸브 플레이트에 집중되는 반응 생성물 또는 이물질이 밸브 플레이트의 몸체에 제공되는 열에 의해 침착되거나 부착되는 것을 방지하고, 밸브 플레이트의 청결을 유지할 수 있음은 물론 원활한 선회 또는 슬라이딩 작동이 보장되며, 결과적으로 펜더럼 밸브 전체의 성능이 최적으로 유지됨으로써, 신뢰성 및 제품성이 향상되는 효과가 있는 것이다.

이상에서, 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대해 설명하였으나, 본 기술 분야의 당업자라면 첨부된 특허청구범위를 벗어남이 없이 다양한 변형예 및 수정예를 실시할 수 있을 것으로 이해된다.

Claims (9)

1. 가스의 공급 및 배출을 위한 펜더럼 밸브로서, 일측에 가스가 통과하는 개구부(12) 및 타측에 상기 개구부(12)와 연통하는 중공공간(142)이 형성되는 하우징부(14)를 구비하는 본체(10)와, 밸브의 폐쇄시 상기 본체(10)의 개구부(12)를 밀봉하기 위한 밀봉부재(20)와, 상기 본체(10)의 개구부(12)를 선택적으로 개폐하기 위해 상기 개구부(12)와 상기 하우징부(14)의 중공공간(142) 사이를 선회 작동하는 몸체(32)를 구비하는 밸브 플레이트(30)와, 상기 밸브 플레이트(30)를 선회작동시키기 위한 액튜에이터(40)와, 상기 밸브 플레이트(30)를 가열하거나 열을 공급하기 위해 상기 밸브 플레이트(30)의 몸체(32)를 가열하기 위한 히터(52)와 상기 히터(52)를 가열하기 위해 전원을 공급하기 위한 전원공급부재(54)를 구비하는 히팅장치(50)를 포함하는 펜더럼 밸브에 있어서,

   상기 히터(52)는 상기 밸브 플레이트(30)의 몸체(32) 전체를 가열할 수 있도록 상기 몸체(32)의 내부에 관 또는 코일 형태로 일정 간격을 두고 몸체(32)의 내부 전체에 걸쳐 설치되는 가열부(522)와, 상기 가열부(522)에 일체로 연결되며 상기 밸브 플레이트(30)의 아암(34)의 내부에 설치되어 연장되는 연결부(524)와, 상기 연결부(524)의 단부에 구비되는 콘센트(526)로 구성되며;

   상기 히팅장치(50)의 전원공급부재(54)는 상기 히터(52)에 구비된 콘센트(526)에 접속되는 플러그(542)와, 일단이 플러그(542)에 연결되는 와이어(544)와, 상기 와이어(544)의 종단에 구비되는 콘센트(546)를 구비하고;

   상기 전원공급부재(54)의 와이어(544)는 밸브 플레이트(30)의 작동을 방해하지 않고 주변 분위기의 열로부터 보호될 수 있도록 보호부재(548)로 포위되며;

   상기 보호부재(548)는 와이어(544)의 수축 및 전개를 방해하지 않도록 탄성 및 복원성을 지니며, 분위기의 열에 대한 절연성 및 내열성을 갖는 재료로 형성되고;

   상기 본체(10)의 하우징(14)의 일측에는 장착홈(144)이 형성되며;

   상기 히팅장치(50)의 전원공급부재(54)의 콘센트(546)는 상기 본체(10)의 하우징(14)의 장착홈(144)에 배치되고;

   상기 전원공급부재(54)의 콘센트(546)와 상기 본체(10)의 하우징(14)의 장착홈(144)사이에는 밀폐부재(S)가 실링되는 것을 특징으로 하는 펜더럼 밸브.
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