KR100901492B1 - 지그 및 이를 이용한 나이프 셋팅 방법 - Google Patents

Abstract

지그 및 이를 이용한 나이프 셋팅 방법에서, 지그는 서로 마주하도록 배치되어 기판이 통과되는 공간을 제공하는 두 개의 나이프 사이로 삽입되어 두 개의 나이프 사이의 갭이 정상적으로 설정되었는지 판단하는데 사용된다. 지그를 이용하여 두 개의 나이프 사이의 갭이 정상적으로 설정되었는지 판단한 후, 판단 결과 갭이 정상치보다 크거나 혹은 작으면, 두 개의 나이프 사이의 갭을 조정한다. 즉, 두 개의 나이프 사이의 갭은 기판의 건조력을 좌우하는 주요한 팩터이므로, 지그를 이용하여 갭이 정상적으로 셋팅될 수 있도록 하여 기판 전체의 건조력이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

Description

지그 및 이를 이용한 나이프 셋팅 방법{JIG AND METHOD OF SETTING A KNIFE USING THE SAME}

지그 및 이를 이용한 나이프 셋팅 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 서로 마주하는 두 개의 나이프 사이의 갭이 적절한지 판별하는데 사용되는 지그 및 이를 이용한 나이프 셋팅 방법에 관한 것이다.

기판 처리 장치는 반도체 제조용 웨이퍼 및 평판 디스플레이 제조용 유리 기판 등의 기판을 처리하는 장치이다.

이 중 평판 디스플레이 제조용 유리기판을 처리하는 장치는 연속적으로 연결되어 일련의 공정을 수행하는 다수의 처리베스(treating bath)를 구비한다. 예를 들어, 기판 세정을 위한 기판 처리 장치는 엔터런스(enterance) 베스, 세정 처리베스, 린스 처리베스 및 건조 처리베스 등으로 이루어질 수 있다.

각 처리베스에는 기판을 일정방향으로 이송시키기 위한 이송유닛이 구비되고, 세정 및 린스 처리베스에는 세정 및 린스 공정시 기판 상에 약액 및 DI(deionized) 워터(water)를 분사하기 위한 분사부가 구비된다.

세정 처리베스가 외부로부터의 기판을 엔터런스 처리베스를 통해 제공받으 면, 세정 처리베스에 구비된 분사부는 기판 상에 약액(예를 들어, 세정액 또는 식각액)을 분사한다. 이후, 기판은 린스 처리베스로 이송되고, 린스 처리베스의 분사부로부터 분사된 DI 워터에 의해서 기판이 세정된다. 다음, 건조 처리베스를 통해 기판이 건조되면, 기판의 세정 공정이 완료된다.

일반적으로, 건조 처리베스에는 기판 상/하부에 구비되어 기판 측으로 에어를 분사하는 두 개의 에어 나이프가 구비된다. 그러나, 최근 기판의 사이즈가 점차적으로 증가함에 따라서 에어 나이프의 길이 또한 증가하여 에어 나이프의 처짐 현상이 발생한다. 이러한 에어 나이프의 처짐 현상은 두 개의 에어 나이프 사이의 갭을 변화시키는 요인이 되고, 두 개의 에어 나이프 사이의 갭은 기판의 건조력을 좌우하는 주요한 요인이 된다.

따라서, 건조 공정 진행 이전에 두 개의 에어 나이프의 갭이 정상적으로 설정되었는지 검증할 수 있는 장치가 요구된다.

따라서, 본 발명의 목적은 서로 마주하는 두 개의 나이프 사이의 갭이 적절한지 판별하는데 사용가능한 지그를 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 상기한 지그를 이용하여 나이프의 위치를 셋팅하는 방법을 제공하는 것이다.

본 발명에 따른 지그는 서로 마주하도록 배치되어 기판이 통과되는 공간을 제공하는 두 개의 나이프의 토출구들 사이로 삽입되어 상기 토출구들 사이의 갭이 정상적으로 설정되었는지 판단하는데 사용되는 갭 측정부를 구비한다.

본 발명의 일 예로, 상기 갭 측정부는 플레이트 형상으로 이루어지고, 기 설정된 상기 토출구들 사이의 기준 갭과 동일한 두께를 갖는다.

본 발명의 일 예로, 상기 두 개의 나이프 각각은 상기 기판의 상면에 대하여 소정의 각도로 기울어져 배치되고, 상기 지그는 상기 기판에 대한 상기 두 개의 나이프 각각의 기울림 각도가 정상적으로 설정되었는지 판단하기 위하여 상기 갭 측정부로부터 연장된 각도 측정부를 더 구비한다.

구체적으로, 상기 두 개의 나이프 각각은 상기 토출구가 형성된 분사부를 구비하고, 상기 분사부의 측면은 상기 기판에 대하여 소정의 각도로 기울어진 경사면으로 이루어진다. 여기서, 상기 각도 측정부는 상기 갭 측정부의 상면으로부터 연장된 연장선에 대해서 기 설정된 기준 각도로 기울어진 제1 측정 경사면과 상기 갭 측정부의 하면으로부터 연장된 연장선에 대해서 상기 기준 각도로 기울어진 제2 측정 경사면을 구비한다.

지그의 갭 측정부가 두 개의 나이프 사이로 삽입되면, 제1 및 제2 측정 경사면은 분사구의 경사면과 마주하게 된다. 따라서, 제1 및 제2 측정 경사면과 분사구의 경사면을 비교하여 두 개의 나이프가 기판에 대해서 정상적으로 기울어졌는지 판단한다.

본 발명의 일 예로, 상기 두 개의 나이프는 상기 기판 상으로 에어를 분사하여 상기 기판을 건조시키는 에어 나이프이다.

본 발명에 따른 지그를 이용한 갭 측정 방법에서, 두 개의 나이프 사이에 기판이 통과되는 공간이 제공되도록 상기 두 개의 나이프의 토출구들 사이를 소정의 간격으로 이격시켜 배치한다. 상기 토출구들 사이로 갭 측정부가 구비된 지그를 삽입하여, 상기 갭 측정부의 삽입 여부에 따라서 상기 토출구들 사이의 갭이 정상적으로 설정되었는지 판단한다. 이후, 판단 결과를 근거로 상기 토출구 사이의 갭을 조정함으로써, 나이프를 정확한 위치에 셋팅할 수 있다.

이와 같은 지그 및 이를 이용한 나이프 셋팅 방법에 따르면, 지그를 이용하여 두 개의 나이프 사이의 갭이 정상적으로 셋팅되었는지 판단한 후, 판단 결과를 근거로 두 개의 나이프 사이의 갭을 조장함으로써, 두 개의 나이프 사이의 갭이 최적으로 거리로 이격되어 있는 상태에서 건조 공정이 수행될 수 있고, 그 결과 기판의 건조력이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.

도 1은 건조 챔버 내에 구비되는 두 개의 에어 나이프의 배치 구조를 나타낸 단면도이다.

도 1을 참조하면, 건조 챔버(미도시) 내에는 기판(10)을 건조시키기 위한 에어를 분사하는 두 개의 에어 나이프(110, 120)가 구비된다. 구체적으로, 제1 및 제2 에어 나이프(110, 120)는 에어를 분사하는 제1 및 제2 토출구(111, 121)가 서로 소정의 간격으로 이격되도록 배치된다. 건조 챔버 내로 건조시키기 위한 기판(10)이 유입되면, 유입된 기판(10)은 제1 및 제2 에어 나이프(110, 120) 사이에 제공된 이격 공간을 통과한다. 따라서, 상기 제1 에어 나이프(110)는 기판(10)의 상부에 구비되어 기판(10)의 상면으로 에어를 분사하고, 제2 에어 나이프(120)는 기판(20)의 하부에 구비되어 기판(10)의 하면으로 에어를 분사한다.

여기서, 제1 및 제2 에어 나이프(110, 120)에 각각 구비된 제1 및 제2 토출구(111, 121)와 기판(10)과의 이격 거리는 기판(10)의 건조력과 밀접한 관련이 있다. 즉, 기판(10)과 제1 및 제2 토출구(111, 121)와의 이격 거리가 증가하면, 기판(10)의 건조력이 저하되고, 이격 거리가 감소하면 건조력은 증가하지만, 제1 및 제2 에어 나이프(110, 120)와 기판(10)이 충돌할 확률이 증가하여 기판(10)의 파손 우려가 있다.

따라서, 제1 및 제2 에어 나이프(110, 120)에서 제1 및 제2 토출구(111, 121) 사이의 이격 거리를 기판(10)의 건조력을 저하시키지 않고 기판(10)과의 충돌 우려가 적은 값으로 설정하는 것이 매우 중요하다.

본 발명의 일 예로, 상기 제1 토출구(111)와 상기 기판(10)의 상면과의 이격거리(G2)는 3mm가 바람직하며, 제2 토출구(121)와 상기 기판(10)의 하면과의 이격거리(G3)는 2mm가 바람직하다. 즉, 상기 제1 및 제2 토출구(111, 121) 사이의 이격 거리(G1)는 기판(10)의 두께와 5mm를 합한 값과 동일한 것이 적당하다.

또한, 제1 및 제2 에어 나이프(110, 120)는 상기 기판(10)에 대해서 소정의 각도로 기울어져 배치된다. 구체적으로, 제1 및 제2 에어 나이프(110)는 삼각 형상의 단면을 가지며, 단부에 제1 및 제2 토출구(111, 121)가 각각 형성된 분사부를 구비한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 에어 나이프(110, 120)는 기판(10)에 대해서 우측으로 기울어진다. 본 발명의 일 예로, 상기 제1 에어 나이프(110)의 분사부의 우측면(112)은 기판(10)의 상면에 대해서 70°로 기울어지고, 제2 에어 나이프(120)의 분사부의 우측면(122)은 기판(10)의 하면에 대하여 70°로 기울어진다.

따라서, 제1 및 제2 에어 나이프(110, 120)는 이동하는 기판(10)으로 에어를 분사하여 기판(10)을 건조시킬 수 있다. 이러한 건조 공정은 세정 공정 이후에 수행될 수 있다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 지그의 사시도이다.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 지그(200)는 갭 측정부(210) 및 갭 측정부(210)로부터 연장된 각도 측정부(220)로 이루어진다.

갭 측정부(210)는 사각 플레이트 형상으로 이루어지고, 제1 및 제2 토출구(111, 121) 사이의 이격 거리(G1)의 최적값과 동일한 두께(t1)를 갖는다. 또한, 각도 측정부(220)는 갭 측정부(210)의 일단부로부터 연장되고 그 단면이 사다리꼴 형상을 갖는다.

각도 측정부(220)의 양 측면(221, 222)은 갭 측정부(210)의 상/하부면에 대해서 소정의 각도로 기울어진 경사면으로 이루어진다. 특히, 각도 측정부(220)의 제1 측정 경사면(221)은 상기 갭 측정부(210)의 상면으로부터 연장된 연장선에 대해서 제1 각도(θ1)로 기울어지고, 제1 측정 경사면(221)과 마주하는 제2 측정 경사면(222)은 상기 갭 측정부(210)의 하면으로부터 연장된 연장선에 대해서 제2 각도(θ2)로 기울어진다. 본 발명의 일 예로, 상기 제1 및 제2 각도(θ1, θ2)는 70°로 서로 동일하다.

도 3은 도 2에 도시된 지그를 이용하여 제1 및 제2 에어 나이프를 셋팅하는 과정을 나타낸 도면이다.

도 3을 참조하면, 제1 및 제2 에어 나이프(110, 120) 각각의 제1 및 제2 토출구(111, 121)가 소정의 간격으로 이격되도록 제1 및 제2 에어 나이프(110, 120)가 셋팅된다. 이후, 제1 및 제2 토출구(111, 121) 사이의 이격 거리가 정상적으로 설정되었는지 판별하기 위하여 지그(200)를 제1 및 제2 토출구(111, 121) 사이로 삽입한다.

즉, 상기 제1 및 제2 토출구(111, 121) 사이의 이격 공간으로 상기 지그(200)의 갭 측정부(210)가 정상적으로 삽입되지 않으면, 정상 거리보다 셋팅된 이격 거리가 좁은 것을 알 수 있다. 따라서, 상기 제1 및 제2 토출구(111, 121) 사이의 이격 거리를 기 셋팅된 이격 거리보다 증가시키는 조정이 필요하다.

한편, 상기 제1 및 제2 토출구(111, 121) 사이의 이격 거리가 상기 지그(200)의 갭 측정부(210)의 두께보다 크면, 갭 측정부(210)와 제1 및 제2 토출구(111, 121) 사이가 벌어져서 육안으로도 이격 거리가 정상 거리보다 크다는 것을 판별할 수 있다. 따라서, 상기 제1 및 제2 토출구(111, 121) 사이의 이격 거리를 기 셋팅된 이격 거리보다 감소시키는 조정이 필요하다.

이와 같이 지그(200)를 이용하여 제1 및 제2 에어 나이프(110, 120) 사이의 갭을 측정한 후 갭을 최적으로 조정함으로써, 제1 및 제2 에어 나이프(110, 120)를 이용한 건조 공정시 기판(10)의 건조력이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 지그(200)가 상기 제1 및 제2 토출구(111, 121) 사이로 삽입되면, 지그(200)의 각도 측정부(220)의 제1 측정 경사면(221)은 제1 에어 나이프(110)의 제1 경사면(112)과 마주하고, 각도 측정부(220)의 제2 측정 경사면(222)은 제2 에어 나이프(120)의 제2 경사면(122)과 마주한다. 이때, 제1 및 제2 측정 경사면(221, 222)과 제1 및 제2 경사면(112, 122)이 각각 정확하게 맞물리면, 상기 제1 및 제2 에어 나이프(110, 120)가 정상적인 각도로 기울어짐을 판단할 수 있다.

그러나, 상기 제1 및 제2 측정 경사면(221, 222)과 상기 제1 및 제2 경사면(112, 122) 각각이 서로 소정의 간격으로 벌어지면, 제1 및 제2 에어 나이프(110, 120)가 정상 각도보다 크거나 혹은 작게 셋팅된 것으로 판별할 수 있다. 이 경우, 제1 및 제2 에어 나이프(110, 120)의 기울림 각도를 다시 설정함으로써 상기 제1 및 제2 에어 나이프(110, 120)가 기판(10)에 대해서 정상 범위 내로 기울어질 수 있도록 조정할 수 있다.

상술한 바와 같이, 지그를 이용하여 제1 및 제2 에어 나이프(110, 120) 사이의 갭 및 제1 및 제2 에어 나이프(110, 120)의 기판(10)에 대한 기울림 각도를 측정할 수 있고, 그 결과를 근거로하여 제1 및 제2 에어 나이프(110, 120) 사이의 갭 및 기울림 각도를 최적으로 조정할 수 있음으로써, 기판(10)의 건조력이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

도 1은 건조 챔버 내에 구비되는 두 개의 에어 나이프의 배치 구조를 나타낸 단면도이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 지그의 사시도이다.

도 3은 도 2에 도시된 지그를 이용하여 제1 및 제2 에어 나이프를 셋팅하는 과정을 나타낸 도면이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10 : 기판 110, 120 : 제1 및 제2 에어 나이프

111, 121 : 제1 및 제2 토출구 112, 122 : 제1 및 제2 경사면

200 : 지그 210 : 갭 측정부

220 : 각도 측정부

Claims (11)

1. 서로 마주하도록 배치되어 기판이 통과되는 공간을 제공하는, 그리고 상기 기판의 상면에 대해 소정의 각도로 기울어져 배치되는 두 개의 나이프의 토출구들 사이로 삽입되어 상기 토출구들 사이의 갭이 정상적으로 설정되었는지 판별하는데 사용되는 갭 측정부; 및

   상기 갭 측정부로부터 연장되며, 상기 두 개의 나이프 각각의 기울림 각도가 정상적으로 설정되었는지 판별하는데 사용되는 각도 측정부를 포함하는 지그.
2. 제1항에 있어서,

   상기 갭 측정부는 플레이트 형상으로 이루어지고, 기 설정된 상기 토출구들 사이의 기준 갭과 동일한 두께를 갖는 것을 특징으로 지그.
3. 삭제
4. 제1항에 있어서, 상기 두 개의 나이프 각각은 상기 토출구가 형성된 분사부를 구비하고, 상기 분사부의 측면은 상기 기판에 대하여 소정의 각도로 기울어진 경사면으로 이루어지며,

   상기 각도 측정부는 상기 갭 측정부의 상면으로부터 연장된 연장선에 대해서 기 설정된 기준 각도로 기울어진 제1 측정 경사면과 상기 갭 측정부의 하면으로부터 연장된 연장선에 대해서 상기 기준 각도로 기울어진 제2 측정 경사면을 포함하는 것을 특징으로 하는 지그.
5. 제1항에 있어서, 상기 두 개의 나이프는 상기 기판 상으로 에어를 분사하는 에어 나이프인 것을 특징으로 하는 지그.
6. 두 개의 나이프 사이에 기판이 통과되는 공간을 제공하는, 그리고 상기 기판의 상면에 대해 소정의 각도로 기울어져 배치되는 두 개의 나이프의 토출구 사이를 소정의 간격으로 이격시켜 배치하는 단계;

   상기 토출구 사이로 갭 측정부가 구비된 지그를 삽입하여, 상기 갭 측정부의 삽입 여부에 따라서 상기 토출구들 사이의 갭이 정상적으로 설정되었는지 판단하는 단계; 및

   상기 갭 측정부가 상기 토출구 사이로 삽입될 때, 상기 갭 측정부로부터 연장된 각도 측정부를 이용하여 상기 두 개의 나이프 각각의 기울림 각도가 정상적으로 설정되었는지 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나이프 셋팅 방법.
7. 제6항에 있어서, 상기 토출구 사이로 갭 측정부가 구비된 지그를 삽입하는 단계에서,

   상기 갭 측정부는 플레이트 형상으로 이루어지고, 기 설정된 상기 토출구들 사이의 기준 갭과 동일한 두께를 갖는 것을 특징으로 나이프 셋팅 방법.
8. 삭제
9. 제6항에 있어서,

   상기 토출구 사이의 갭을 조정하는 단계; 및

   상기 기판에 대한 상기 두 개의 나이프의 기울림 각도를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나이프 셋팅 방법.
10. 기판을 향해 유체를 분사하는 나이프들 간의 간격 및 각도를 조절하기 위한 지그에 있어서,

    플레이트 형상을 갖는 갭 측정부; 및

    상기 갭 측정부의 일단으로부터 연장되는 각도 측정부를 포함하되,

    상기 각도 측정부는:

    상기 갭 측정부의 상면으로부터 상기 상면에 비해 제1 각도로 기울어져 연장되는 제1 측정 경사면; 및

    상기 갭 측정부의 하면으로부터 상기 하면에 비해 제2 각도로 기울어져 연장되는 제2 측정 경사면을 포함하는 것을 특징으로 하는 지그.
11. 제 10 항에 있어서,

    상기 제1 각도와 상기 제2 각도는 서로 동일한 것을 특징으로 하는 지그.

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